JP4031491B2 - Panel inspection device - Google Patents

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Description

本発明はパネル検査装置(PANEL INSPECTION APPARATUS)に係り、より詳しくは、パネルのアクティブ領域検査及び外観検査を容易に行えるように構造を改善したパネル検査装置に関する。   The present invention relates to a panel inspection apparatus (PANEL INSPECTION APPARATUS), and more particularly to a panel inspection apparatus having an improved structure so that an active area inspection and an appearance inspection of a panel can be easily performed.
一般に、パネルはLCD(LIQUID CRYSTAL DISPLAY)に装着されて画像を形成するものであって、画像が形成されるアクティブ領域と、アクティブ領域の外側に設けられた縁領域とを含む。このようなパネルは多段階の製造工程によって製造され、このような製造工程には性能などを検査するための検査過程が含まれる。   Generally, the panel is mounted on an LCD (LIQUID CRYSTAL DISPLAY) to form an image, and includes an active area where an image is formed and an edge area provided outside the active area. Such a panel is manufactured by a multi-stage manufacturing process, and the manufacturing process includes an inspection process for inspecting performance and the like.
このようなパネルの検査過程は、電気的な信号によってパネルの画像が形成されるアクティブ領域の性能を検査するアクティブ領域検査と、パネルのアクティブ領域及び縁領域の外観品質を検査する外観検査とに分けられる。   The panel inspection process includes an active area inspection for inspecting the performance of an active area in which an image of the panel is formed by an electrical signal, and an appearance inspection for inspecting the appearance quality of the active area and the edge area of the panel. Divided.
図1は従来のパネルのアクティブ領域の性能を検査するためのパネル検査装置の概略図である。図1に示されているように、このような従来のパネル検査装置101はパネル105の下部に設けられたバックライト110と、バックライト110とパネル105との間に設けられてパネル105を支持しバックライト110から発生した光がパネル105のアクティブ領域にのみ照射されるようにパネル105の縁領域をカバーするパネルジグ120と、パネル105の上側に設けられてパネル105のアクティブ領域を撮影するカメラ130とを含む。   FIG. 1 is a schematic view of a panel inspection apparatus for inspecting the performance of an active area of a conventional panel. As shown in FIG. 1, such a conventional panel inspection apparatus 101 supports a panel 105 by being provided between a backlight 110 provided at a lower portion of the panel 105 and between the backlight 110 and the panel 105. A panel jig 120 that covers the edge region of the panel 105 so that light generated from the backlight 110 is irradiated only to the active region of the panel 105, and a camera that is provided on the upper side of the panel 105 and photographs the active region of the panel 105 130.
このような構成によって、従来のパネル検査装置101はバックライト110に電源を印加しパネル105に電気的な信号を印加してアクティブ領域に基準画像を形成させた後、アクティブ領域で画像の品質及び明るさの均一度などを検査することができる。   With such a configuration, the conventional panel inspection apparatus 101 applies power to the backlight 110 and applies an electrical signal to the panel 105 to form a reference image in the active area. The brightness uniformity can be inspected.
図2は従来のパネルの外観を検査するためのパネル検査装置の概略図である。図2に示されているように、このような従来のパネル検査装置201はパネル205の下部に設けられたバックライト210と、パネル205の上側に設けられてパネル205の全体外観を撮影するカメラ230とを含む。   FIG. 2 is a schematic view of a panel inspection apparatus for inspecting the appearance of a conventional panel. As shown in FIG. 2, such a conventional panel inspection apparatus 201 includes a backlight 210 provided at the lower part of the panel 205 and a camera provided on the upper side of the panel 205 for photographing the entire appearance of the panel 205. 230.
このような構成によって、従来のパネル検査装置201はバックライト210に電源を印加してパネル205全体面の外観に突き刺されるか引っ掻かれた傷などがあるか否かを検査することができる。   With such a configuration, the conventional panel inspection apparatus 201 can apply power to the backlight 210 to inspect whether there is a scratch or the like that is stuck or scratched on the appearance of the entire panel 205.
しかし、このような従来のパネル検査装置はパネルのアクティブ領域検査及び外観検査を行うように各々別途に設けられ、各パネル検査装置の間にはパネルを移送するための別途の移送手段が設けられなければならないので、パネル検査装置の構造が複雑で検査時間が長くなるという問題がある。   However, such a conventional panel inspection apparatus is separately provided so as to perform an active area inspection and a visual inspection of the panel, and a separate transfer means for transferring the panel is provided between the panel inspection apparatuses. Therefore, there is a problem that the structure of the panel inspection apparatus is complicated and the inspection time becomes long.
そして、このような従来のパネル検査装置は各パネルに合うように別途のパネルジグが設けられなければならないので、多様な大きさを有するパネルを容易に支持することができる方策が要求される。   Such a conventional panel inspection apparatus needs to be provided with a separate panel jig so as to be fitted to each panel. Therefore, a measure that can easily support panels having various sizes is required.
そこで、本発明は上記の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、構造を単純化し、パネルのアクティブ領域検査及び外観検査の検査時間を減らすことができるパネル検査装置を提供することにある。   Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a panel inspection apparatus capable of simplifying the structure and reducing the inspection time of the active area inspection and the appearance inspection of the panel. is there.
また、本発明の他の目的は、多様な大きさのパネルを支持することができるパネル検査装置を提供することにある。   Another object of the present invention is to provide a panel inspection apparatus that can support panels of various sizes.
上記課題を解決するために、本発明によるパネル検査装置は、パネルを検査するためのパネル検査装置において、前記パネルを支持するセンタリングユニットと;前記センタリングユニットに支持された前記パネルの背面に光を供給するバックライトと;前記パネルに対して移動可能に設けられ、前記パネルのアクティブ領域が露出されるように前記パネルの周縁である縁領域をカバーするマスクと;前記パネルに対して移動可能に設けられ、前記パネルに電気的な信号を印加するように前記パネルの電極と接触可能に設けられたピンボードと;前記パネルの前方に設けられ、前記マスクによってカバーされた前記パネルのアクティブ領域及び前記マスクの移動によって露出された前記パネルの全体面のうちのいずれか一つを撮影する撮影部と、を含むことを特徴とする。   In order to solve the above-described problems, a panel inspection apparatus according to the present invention is a panel inspection apparatus for inspecting a panel; a centering unit that supports the panel; and a light beam on a back surface of the panel supported by the centering unit. A backlight to be supplied; a mask that is movable with respect to the panel and covers an edge region that is a peripheral edge of the panel so that an active area of the panel is exposed; and movable with respect to the panel A pin board provided in contact with an electrode of the panel so as to apply an electrical signal to the panel; an active area of the panel provided in front of the panel and covered by the mask; An imaging unit for imaging any one of the entire surface of the panel exposed by the movement of the mask. , Characterized in that it comprises a.
ここで、前記センタリングユニットは、前記パネルを、前記マスク、前記ピンボード及び前記撮影部のうちの少なくとも一つの中心に位置するように支持することができる。   Here, the centering unit can support the panel so as to be positioned at the center of at least one of the mask, the pinboard, and the imaging unit.
前記センタリングユニットは、前記パネルの両側面と接触可能に設けられた少なくとも一対のセンタリング部材と、前記一対のセンタリング部材が前記パネルに接触して支持するように前記一対のセンタリング部材を移動させるセンタリング部材駆動部とを含むことができる。   The centering unit includes at least a pair of centering members provided so as to be in contact with both side surfaces of the panel, and a centering member that moves the pair of centering members so that the pair of centering members are in contact with and support the panel. And a driving unit.
前記パネルの前方に設けられて前記パネルの前面に光を供給するフロントライトをさらに含むことができる。   A front light provided in front of the panel and supplying light to the front surface of the panel may be further included.
前記バックライトに対して移動可能に前記パネルの前方に設けられた支持台をさらに含み、前記支持台は前記フロントライトを支持し、前記マスク及び前記ピンボードを移動可能に支持することができる。   It further includes a support base provided in front of the panel so as to be movable with respect to the backlight. The support base supports the front light, and can support the mask and the pin board so as to be movable.
前記支持台に対して前記マスク及び前記ピンボードを一体に移動するように支持するマスク駆動部をさらに含み、前記マスク駆動部は前記マスク及び前記ピンボードを前記支持台の板面に起立した方向に移動させる第1駆動部と、前記マスク及び前記ピンボードを前記支持台の板面と並んだ方向に移動させる第2駆動部とを含むことができる。   A mask driving unit that supports the mask and the pin board so as to move together with the support; and the mask driving unit stands in a direction in which the mask and the pin board stand on the plate surface of the support; And a second driving unit for moving the mask and the pin board in a direction aligned with the plate surface of the support base.
前記マスクは前記パネルの前面縁領域と接触可能に設けられることができる。   The mask may be provided in contact with a front edge region of the panel.
前記バックライト及び前記パネルの間に設けられた保護板をさらに含むことができる。   A protective plate may be further provided between the backlight and the panel.
本発明によると、構造を単純化してパネルのアクティブ領域検査及び外観検査の検査時間を減らすことができるパネル検査装置を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the structure can be simplified and the panel inspection apparatus which can reduce the inspection time of the active area inspection of a panel and an external appearance inspection can be provided.
また、センタリングユニットを設けて多様な大きさのパネルを支持することができるパネル検査装置を提供することができる。   In addition, it is possible to provide a panel inspection apparatus that can support various-sized panels by providing a centering unit.
以下、添付図面を参照して本発明について詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
本発明によるパネル検査装置1は、パネル5の画像を形成するアクティブ領域6の性能を検査するアクティブ領域検査、及びパネル5の全体外観を検査する外観検査を順次に行うことができるように設けられた装置である。   The panel inspection apparatus 1 according to the present invention is provided so that an active area inspection for inspecting the performance of the active area 6 for forming an image of the panel 5 and an appearance inspection for inspecting the overall appearance of the panel 5 can be sequentially performed. Device.
図3は本発明によるパネル検査装置1の概略図であり、図4乃至図7は本発明の一例によるパネル検査装置1の斜視図及び作動斜視図である。これら図面に示されているように、本発明によるパネル検査装置1はパネル5を検査するようにパネル5を支持するセンタリングユニット20と、センタリングユニット20に支持されたパネル5の背面に光を供給するバックライト10と、パネル5に対して移動可能に設けられパネル5のアクティブ領域6が露出されるようにパネル5の周縁である縁領域7をカバーするマスク33と、パネル5に対して移動可能に設けられパネル5に電気的な信号を印加するようにパネル5の電極8と接触可能に設けられたピンボード35と、パネル5の前方に設けられパネル5を検査するためにパネル5を撮影する撮影部60と、を含む。本発明によるパネル検査装置1はパネル5の前方に設けられパネル5の前面(front side)に光を供給するフロントライト32をさらに含むことができる。本発明によるパネル検査装置1はバックライト10に対して移動可能にパネル5の前方に設けられた支持台30をさらに含むことができ、支持台30に対してマスク33及びピンボード35を一体に移動可能に支持するマスク駆動部41をさらに含むことができる。本発明によるパネル検査装置1はバックライト10及びパネル5の間に設けられた保護板15をさらに含むことができる。   FIG. 3 is a schematic view of the panel inspection apparatus 1 according to the present invention, and FIGS. 4 to 7 are a perspective view and an operation perspective view of the panel inspection apparatus 1 according to an example of the present invention. As shown in these drawings, the panel inspection apparatus 1 according to the present invention supplies light to the centering unit 20 that supports the panel 5 and the back surface of the panel 5 supported by the centering unit 20 so as to inspect the panel 5. A backlight 10 that is movable with respect to the panel 5, a mask 33 that covers the edge region 7 that is the peripheral edge of the panel 5 so that the active region 6 of the panel 5 is exposed, and a movement with respect to the panel 5. A pin board 35 provided so as to be able to contact the electrode 8 of the panel 5 so as to apply an electrical signal to the panel 5, and a panel 5 provided in front of the panel 5 for inspecting the panel 5. A photographing unit 60 for photographing. The panel inspection apparatus 1 according to the present invention may further include a front light 32 that is provided in front of the panel 5 and supplies light to the front side of the panel 5. The panel inspection apparatus 1 according to the present invention may further include a support base 30 provided in front of the panel 5 so as to be movable with respect to the backlight 10. The mask 33 and the pin board 35 are integrated with the support base 30. A mask driving unit 41 that is movably supported may be further included. The panel inspection apparatus 1 according to the present invention may further include a protection plate 15 provided between the backlight 10 and the panel 5.
パネル5はTFT−LCD(THIN FILM TRANSISTOR-LIQUID CRYSTAL DISPLAY)に装着されて画像を形成するディスプレイパネルを示す。しかし、パネル5はPDP(PLASMA DISPLAY PANEL)及び有機ELD(ELECTRO LUMINESCENCE DISPLAY)のような平面ディスプレイに装着されて画像を形成するディスプレイパネルを示すこともできる。パネル5は板状のガラス基板などで設けられ、画像を形成するように電気的回路を構成するパターンなどが形成された状態で検査を受けるようにパネル検査装置1に移送される。パネル5はその中央に画像が形成されるアクティブ領域(active area)6と、アクティブ領域6の外側であるパネル5の縁領域7と、パネル5の縁領域7にパターンなどと連結されピンボード35と接触可能に設けられた複数の電極8とを含む。パネル5はパネル移送手段(図示せず)によってパネル検査装置1に供給及び排出されることができる。そして、このようなパネル移送手段はパネル5を安着させて移送するコンベヤー方式及びパネル5を真空吸着して後述の保護板15に安着させる真空吸着方式など多様な方式に構成されることができる。パネル5は本発明の一例として、図5に示されているように、保護板15に安着しているので、パネル5の前方はパネル5の上側を示す。   Panel 5 is a display panel that is mounted on a TFT-LCD (THIN FILM TRANSISTOR-LIQUID CRYSTAL DISPLAY) to form an image. However, the panel 5 may be a display panel that forms an image by being mounted on a flat display such as a PDP (PLASMA DISPLAY PANEL) and an organic ELD (ELECTRO LUMINESCENCE DISPLAY). The panel 5 is provided by a plate-like glass substrate or the like, and is transferred to the panel inspection apparatus 1 so as to be inspected in a state in which a pattern constituting an electric circuit is formed so as to form an image. The panel 5 is connected to the active area 6 in which an image is formed at the center thereof, the edge area 7 of the panel 5 outside the active area 6, and a pattern to the edge area 7 of the panel 5. And a plurality of electrodes 8 provided in contact with each other. The panel 5 can be supplied to and discharged from the panel inspection apparatus 1 by panel transfer means (not shown). Such panel transfer means may be configured in various systems such as a conveyor system for seating and transporting the panel 5 and a vacuum suction system for vacuum-sucking the panel 5 and seating on the protective plate 15 described later. it can. As an example of the present invention, the panel 5 is seated on the protective plate 15 as shown in FIG. 5, and therefore the front of the panel 5 indicates the upper side of the panel 5.
バックライト10はパネル5の下側に配置されるようにベース部材9によって支持されてパネル5の背面に光を供給する。バックライト10とパネル5との間には偏光板(polarizer plate)13のような多様な光学シートを設けることができる。バックライト10は多様な大きさのパネル5に光を供給できるように十分に大きく設けられる。   The backlight 10 is supported by the base member 9 so as to be disposed below the panel 5 and supplies light to the back surface of the panel 5. Various optical sheets such as a polarizer plate 13 can be provided between the backlight 10 and the panel 5. The backlight 10 is provided sufficiently large so that light can be supplied to the panels 5 having various sizes.
保護板15は偏光板13とパネル5との間に透明な材質で設けられて、供給されたパネル5と偏光板13などを保護する。保護板15はバックライト10の全体をカバーするように十分に大きく設けられる。   The protective plate 15 is provided between the polarizing plate 13 and the panel 5 with a transparent material, and protects the supplied panel 5 and the polarizing plate 13. The protection plate 15 is provided sufficiently large so as to cover the entire backlight 10.
支持台30は保護板15の上側に配置され、支持台駆動部51によってベース部材9に対して乗降可能に設けられる。支持台30は板状に設けられ、その中央領域にはマスク33及びピンボード35が通過するように支持台貫通部31が形成される。つまり、支持台30は四角ドーナッツ形状に設けられる。しかし、支持台30はドーナッツ形状に限定されず多様な形状に設けられることができる。   The support table 30 is disposed on the upper side of the protection plate 15 and is provided so as to be able to get on and off the base member 9 by the support table driving unit 51. The support base 30 is provided in a plate shape, and a support base penetrating portion 31 is formed in the central region so that the mask 33 and the pin board 35 pass through. That is, the support base 30 is provided in a square donut shape. However, the support base 30 is not limited to the donut shape and can be provided in various shapes.
支持台駆動部51は一側がベース部材9に結合され他側が支持台30に結合されて支持台30をベース部材9に対して昇降させる。支持台駆動部51は本発明の一例としてシリンダー方式に設けられるが、支持台30及びベース部材9に結合されたスクリュー及びスクリューを回転させて支持台30を乗降させる駆動モータのような多様な方式に設けられることができる。支持台駆動部51は複数個設けられることが好ましい。   The support base drive unit 51 has one side coupled to the base member 9 and the other side coupled to the support base 30 to raise and lower the support base 30 relative to the base member 9. Although the support base drive unit 51 is provided in a cylinder system as an example of the present invention, various systems such as a drive motor that rotates the screw and the screw coupled to the support base 30 and the base member 9 to get on and off the support base 30. Can be provided. It is preferable that a plurality of support base driving parts 51 are provided.
フロントライト32は支持台30の下部面に装着されてパネル5の前面(front side)である上部面に光を供給する。フロントライト32はパネル5の上部側面に配置されるように支持台30に結合されてパネル5に傾斜するように光を供給する。フロントライト32は本発明の一例として四角形状のパネル5に対応して四角ドーナッツ形状に設けられる。しかし、フロントライト32はドーナッツ形状に限定されず多様な形状に設けられることができる。   The front light 32 is mounted on the lower surface of the support base 30 and supplies light to the upper surface which is the front side of the panel 5. The front light 32 is coupled to the support base 30 so as to be disposed on the upper side surface of the panel 5 and supplies light so as to be inclined to the panel 5. As an example of the present invention, the front light 32 is provided in a square donut shape corresponding to the quadrangular panel 5. However, the front light 32 is not limited to the donut shape and can be provided in various shapes.
マスク33はパネル5の縁領域7をカバーするように板状に設けられる。マスク33はパネル5のアクティブ領域6が露出されるように中央領域にマスク貫通部34が形成されたドーナッツ形状に設けられる。マスク33はマスク駆動部41によって移動可能に設けられる。マスク33はパネル5の前面縁領域7と接触可能に設けられる。ここで、マスク33は、後述のピンボード35のピン36がパネル5の一側に設けられた電極8と接触するために電極8を加圧する場合にパネル5の他側が上げられることを防止することができる。   The mask 33 is provided in a plate shape so as to cover the edge region 7 of the panel 5. The mask 33 is provided in a donut shape in which a mask penetrating portion 34 is formed in the central region so that the active region 6 of the panel 5 is exposed. The mask 33 is movably provided by the mask driving unit 41. The mask 33 is provided so as to be in contact with the front edge region 7 of the panel 5. Here, the mask 33 prevents the other side of the panel 5 from being lifted when the electrode 36 is pressurized so that the pins 36 of the pin board 35 described later come into contact with the electrode 8 provided on one side of the panel 5. be able to.
ピンボード35はパネル5の電極8と接触可能に設けられた複数のピン36を含む。ピンボード35は本発明の一例としてマスク33と同様にドーナッツ形状に設けられマスク33の上側に設けられる。ピンボード35はマスク33の上側にマスク33と結合されてマスク駆動部41と共に移動可能に設けられる。しかし、ピンボード35はマスク33と別途の駆動手段によって移動することもできる。   The pin board 35 includes a plurality of pins 36 provided so as to be in contact with the electrodes 8 of the panel 5. As an example of the present invention, the pin board 35 is provided in a donut shape like the mask 33 and is provided above the mask 33. The pin board 35 is coupled to the mask 33 on the upper side of the mask 33 so as to be movable together with the mask driving unit 41. However, the pin board 35 can be moved by the mask 33 and a separate driving means.
マスク駆動部41は一側が支持台30に結合され、他側がマスク33に結合されて、マスク33及びピンボード35を支持台30に対して移動させる。マスク駆動部41はマスク33及びピンボード35を支持台30の板面に起立した方向に移動させる第1駆動部42と、マスク33及びピンボード35を支持台30の板面と並んだ方向に移動させる第2駆動部45とを含む。   One side of the mask driving unit 41 is coupled to the support base 30 and the other side is coupled to the mask 33 to move the mask 33 and the pin board 35 relative to the support base 30. The mask drive unit 41 moves the mask 33 and the pin board 35 in the direction standing on the plate surface of the support table 30, and the mask 33 and the pin board 35 in the direction aligned with the plate surface of the support table 30. A second drive unit 45 to be moved.
マスク駆動部41は、第1駆動部42と、一側が支持台に結合され他側がマスク33に結合されてマスク33及びピンボード35を支持台30に対して前後方向に移動させる第2駆動部45とを含む。   The mask drive unit 41 includes a first drive unit 42 and a second drive unit that has one side coupled to the support base and the other side coupled to the mask 33 to move the mask 33 and the pin board 35 in the front-rear direction with respect to the support base 30. 45.
第1駆動部42は一側が支持台に結合され他側がマスク33に結合されてマスク33及びピンボード35を支持台30に対して上下方向に移動させる。第1駆動部42は、支持台30から上下に起立した第1ガイド43と、マスク33及びピンボード35に結合されて第1ガイド43に沿ってスライディングする第1スライダー44とを含む。第1駆動部42は第1スライダー44が第1ガイド43に沿ってスライディングできるように駆動するシリンダーユニット(図示せず)などをさらに含む。第1駆動部42はマスク33及びピンボード35が支持台貫通部31を通過してパネル5に接触可能なように移動させる。   The first driving unit 42 has one side coupled to the support base and the other side coupled to the mask 33 to move the mask 33 and the pin board 35 in the vertical direction with respect to the support base 30. The first drive unit 42 includes a first guide 43 that stands up and down from the support base 30, and a first slider 44 that is coupled to the mask 33 and the pin board 35 and slides along the first guide 43. The first driving unit 42 further includes a cylinder unit (not shown) that drives the first slider 44 to slide along the first guide 43. The first drive unit 42 moves the mask 33 and the pin board 35 so as to be able to contact the panel 5 through the support base penetrating part 31.
第2駆動部45は一側が支持台に結合され他側がマスク33に結合されてマスク33及びピンボード35を支持台30に対して前後方向に移動させる。第2駆動部45は支持台30の上側に前後方向に設けられた第2ガイド46と、マスク33及びピンボード35に結合されて第2ガイド46に沿ってスライディングする第2スライダー47と、第2スライダー47が第2ガイド46に沿ってスライディングできるように駆動するシリンダーユニット48とを含む。第2駆動部45は支持台30の上側に上昇したマスク33及びピンボード35を前後方向に移動させる。   The second driving unit 45 has one side coupled to the support base and the other side coupled to the mask 33 to move the mask 33 and the pin board 35 in the front-rear direction with respect to the support base 30. The second driving unit 45 includes a second guide 46 provided in the front-rear direction on the upper side of the support 30, a second slider 47 coupled to the mask 33 and the pin board 35 and sliding along the second guide 46, 2 includes a cylinder unit 48 that is driven so that the slider 47 can slide along the second guide 46. The second driving unit 45 moves the mask 33 and the pin board 35 that have been raised above the support base 30 in the front-rear direction.
撮影部60はパネル5の前方に設けられマスク33によってカバーされたパネル5のアクティブ領域6及びマスク33の移動によって露出されたパネル5の全体面のうちのいずれか一つを撮影する。撮影部60は、パネル5の前面を撮影するためのカメラ61と、カメラ61をベース部材9に対して支持するカメラ支持台63とを含む。撮影部60はカメラ61によって撮影された映像を分析して不良の有無を判断する制御部(図示せず)と連結される。   The photographing unit 60 photographs one of the active area 6 of the panel 5 provided in front of the panel 5 and covered by the mask 33 and the entire surface of the panel 5 exposed by the movement of the mask 33. The photographing unit 60 includes a camera 61 for photographing the front surface of the panel 5 and a camera support base 63 that supports the camera 61 with respect to the base member 9. The photographing unit 60 is connected to a control unit (not shown) that analyzes an image photographed by the camera 61 and determines whether there is a defect.
カメラ61はパネル5の上側に設けられてパネル5の前面を撮影する。カメラ61は、パネル5のアクティブ領域6を検査するためにマスク33及びピンボード35がパネル5に接触した場合には、マスク貫通部34を通じてパネル5のアクティブ領域6を撮影し、パネル5の外観を検査するためにマスク33及びピンボード35がパネル5から移動した場合には、パネル5のアクティブ領域6及び縁領域7を含むパネル5の全体面を撮影する。   The camera 61 is provided on the upper side of the panel 5 and photographs the front surface of the panel 5. When the mask 33 and the pin board 35 come into contact with the panel 5 in order to inspect the active area 6 of the panel 5, the camera 61 photographs the active area 6 of the panel 5 through the mask penetrating part 34 and the appearance of the panel 5. When the mask 33 and the pin board 35 are moved from the panel 5 to inspect the above, the entire surface of the panel 5 including the active area 6 and the edge area 7 of the panel 5 is photographed.
センタリングユニット20はパネル5をマスク33、ピンボード35及び撮影部60のうちの少なくとも一つの中心に位置するように支持する。センタリングユニット20は、パネル5の両側面と接触可能に設けられた少なくとも一対のセンタリング部材21と、一対のセンタリング部材21がパネル5に接触して支持するように一対のセンタリング部材21を移動させるセンタリング部材駆動部23とを含む。   The centering unit 20 supports the panel 5 so as to be positioned at the center of at least one of the mask 33, the pin board 35, and the imaging unit 60. The centering unit 20 includes at least a pair of centering members 21 provided so as to be in contact with both side surfaces of the panel 5 and a centering that moves the pair of centering members 21 so that the pair of centering members 21 are in contact with and supported by the panel 5. Member drive unit 23.
センタリング部材21は保護板15に移送されたパネル5を支持するように保護板15上に移動可能に設けられる。センタリング部材21はパネル5の両側面を支持するように一対設けられることができ、パネル5の左右側面及び前後側面を支持するように二対設けられることもできる。センタリング部材21はパネル5の側面と接触可能に長い棒状に設けられる。   The centering member 21 is movably provided on the protection plate 15 so as to support the panel 5 transferred to the protection plate 15. A pair of centering members 21 may be provided so as to support both side surfaces of the panel 5, and two pairs of centering members 21 may be provided so as to support the left and right side surfaces and the front and back side surfaces of the panel 5. The centering member 21 is provided in a long bar shape so as to be in contact with the side surface of the panel 5.
センタリング部材駆動部23は、一対のセンタリング部材21と結合された駆動スクリュー24と、駆動スクリュー24を回転させてセンタリング部材21を移動させる駆動モータ25とを含む。センタリング部材駆動部23は二対のセンタリング部材21を移動させるように一対設けられることができる。   The centering member drive unit 23 includes a drive screw 24 coupled to the pair of centering members 21 and a drive motor 25 that rotates the drive screw 24 to move the centering member 21. A pair of centering member driving units 23 may be provided to move two pairs of centering members 21.
このような構成によって、本発明によるパネル検査装置1の作動過程を説明すると次の通りである。   The operation process of the panel inspection apparatus 1 according to the present invention will be described as follows.
まず、支持台駆動部51によって支持台30をベース部材9に対して上昇させて保護板15上にパネル5を安着させ、センタリングユニット20を駆動してパネル5を支持する(図5参照)。そして、支持台駆動部51によって支持台30をベース部材9に対して下降させた後、マスク駆動部41の第2駆動部45によってマスク33及びピンボード35を支持台貫通部31に対応して前後方向に移動させる(図6参照)。その後、マスク駆動部41の第1駆動部42によってマスク33及びピンボード35を支持台貫通部31を通過してパネル5に接触させる(図7参照)。そして、バックライト10及びフロントライト32に電源を印加し、ピンボード35のピン36を通じてパネル5の電極8に電気的信号を印加してパネル5のアクティブ領域6に画像を形成させる。その後、カメラ61によってパネル5のアクティブ領域6を撮影してアクティブ領域6の不良の有無を判断するようにアクティブ領域検査を行うことができる。そして、マスク駆動部41の第1駆動部42及び第2駆動部45を順次に作動させて図4に示された状態でマスク33及びピンボード35を移動させる。そして、センタリングユニット20を駆動してパネル5からセンタリング部材21を離脱させる。その後、カメラ61によってパネル5のアクティブ領域6及び縁領域7を含む全体面を撮影してパネル5の外観の不良の有無を判断するように外観検査を行うことができる。   First, the support base 30 is raised with respect to the base member 9 by the support base drive unit 51 to seat the panel 5 on the protective plate 15, and the centering unit 20 is driven to support the panel 5 (see FIG. 5). . Then, after the support base 30 is lowered with respect to the base member 9 by the support base drive part 51, the mask 33 and the pin board 35 are made to correspond to the support base penetration part 31 by the second drive part 45 of the mask drive part 41. Move in the front-rear direction (see FIG. 6). Thereafter, the mask 33 and the pin board 35 are brought into contact with the panel 5 through the support base penetrating part 31 by the first driving part 42 of the mask driving part 41 (see FIG. 7). Then, power is applied to the backlight 10 and the front light 32, and an electrical signal is applied to the electrode 8 of the panel 5 through the pin 36 of the pin board 35 to form an image in the active area 6 of the panel 5. Thereafter, the active area inspection can be performed so that the active area 6 of the panel 5 is photographed by the camera 61 to determine whether or not the active area 6 is defective. Then, the first driving unit 42 and the second driving unit 45 of the mask driving unit 41 are sequentially operated to move the mask 33 and the pin board 35 in the state shown in FIG. Then, the centering unit 20 is driven to detach the centering member 21 from the panel 5. Thereafter, the entire surface including the active area 6 and the edge area 7 of the panel 5 can be photographed by the camera 61 to perform an appearance inspection so as to determine whether or not the appearance of the panel 5 is defective.
これによって、本発明によるパネル検査装置はパネル5のアクティブ領域検査及び外観検査を一つの装置で遂行できるようにすることによって構造を単純化させることができ、検査時間を減らすことができる。   Accordingly, the panel inspection apparatus according to the present invention can simplify the structure and reduce the inspection time by enabling the active area inspection and the appearance inspection of the panel 5 to be performed by one apparatus.
そして、本発明によるパネル検査装置はセンタリングユニットによって多様な大きさのパネルを支持することができる。   The panel inspection apparatus according to the present invention can support panels of various sizes by the centering unit.
従来のパネルのアクティブ領域検査用パネル検査装置の概略図である。It is the schematic of the panel inspection apparatus for the active area inspection of the conventional panel. 従来のパネルの外観検査用パネル検査装置の概略図である。It is the schematic of the panel inspection apparatus for the conventional appearance inspection of a panel. 本発明によるパネル検査装置の概略図である。It is the schematic of the panel inspection apparatus by this invention. 本発明の一例によるパネル検査装置の斜視図である。It is a perspective view of the panel inspection apparatus by an example of this invention. 図4のパネル検査装置の作動斜視図である。It is an operation | movement perspective view of the panel inspection apparatus of FIG. 図4のパネル検査装置の作動斜視図である。It is an operation | movement perspective view of the panel inspection apparatus of FIG. 図4のパネル検査装置の作動斜視図である。It is an operation | movement perspective view of the panel inspection apparatus of FIG.
符号の説明Explanation of symbols
1 パネル検査装置
5 パネル
8 電極
9 ベース部材
10 バックライト
15 保護板
20 センタリングユニット
21 センタリング部材
23 センタリング部材駆動部
30 支持台
32 フロントライト
33 マスク
35 ピンボード
41 マスク駆動部
42 第1駆動部
45 第2駆動部
51 支持台駆動部
60 撮影部
61 カメラ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Panel inspection apparatus 5 Panel 8 Electrode 9 Base member 10 Backlight 15 Protection board 20 Centering unit 21 Centering member 23 Centering member drive part 30 Support stand 32 Front light 33 Mask 35 Pin board 41 Mask drive part 42 1st drive part 45 1st 2 drive part 51 support stand drive part 60 imaging part 61 camera

Claims (5)

  1. パネルを検査するためのパネル検査装置において、
    前記パネルを支持するセンタリングユニットと、
    前記センタリングユニットに支持された前記パネルの背面に光を供給するバックライトと、
    前記パネルに対して移動可能に設けられ、前記パネルのアクティブ領域が露出されるように前記パネルの周縁である縁領域をカバーするマスクと、
    前記パネルに対して移動可能に設けられ、前記パネルに電気的な信号を印加するように前記パネルの電極と接触可能に設けられたピンボードと、
    前記パネルの前方に設けられ、前記マスクによってカバーされた前記パネルのアクティブ領域及び前記マスクの移動によって露出された前記パネルの全体面のうちのいずれか一つを撮影する撮影部と、を含み、
    前記パネルの前方に設けられて前記パネルの前面に光を供給するフロントライトをさらに含み、
    前記バックライトに対して移動可能に前記パネルの前方に設けられた支持台をさらに含み、前記支持台は前記フロントライトを支持し、前記マスク及び前記ピンボードを移動可能に支持し、
    前記支持台に対して前記マスク及び前記ピンボードを一体に移動するように支持するマスク駆動部をさらに含み、前記マスク駆動部は前記マスク及び前記ピンボードを前記支持台の板面に起立した方向に移動させる第1駆動部と、前記マスク及び前記ピンボードを前記支持台の板面と並んだ方向に移動させる第2駆動部と、を含むことを特徴とするパネル検査装置。
    In panel inspection equipment for inspecting panels,
    A centering unit for supporting the panel;
    A backlight for supplying light to the back surface of the panel supported by the centering unit;
    A mask that is movably provided with respect to the panel and covers an edge region that is a peripheral edge of the panel so that an active region of the panel is exposed;
    A pin board provided so as to be movable with respect to the panel, and provided so as to be in contact with an electrode of the panel so as to apply an electrical signal to the panel;
    An imaging unit that is provided in front of the panel and shoots any one of an active area of the panel covered by the mask and an entire surface of the panel exposed by the movement of the mask ;
    A front light that is provided in front of the panel and supplies light to the front surface of the panel;
    Further comprising a support base provided in front of the panel movably with respect to the backlight, the support base supports the front light, movably supports the mask and the pin board,
    A mask driving unit configured to support the mask and the pin board so as to move integrally with the support table; And a second driving unit for moving the mask and the pin board in a direction aligned with the plate surface of the support base .
  2. 前記センタリングユニットは、前記パネルを、前記マスク、前記ピンボード及び前記撮影部のうちの少なくとも一つの中心に位置するように支持することを特徴とする請求項1に記載のパネル検査装置。   The panel inspection apparatus according to claim 1, wherein the centering unit supports the panel so as to be positioned at a center of at least one of the mask, the pinboard, and the imaging unit.
  3. 前記センタリングユニットは、
    前記パネルの両側面と接触可能に設けられた少なくとも一対のセンタリング部材と、
    前記一対のセンタリング部材が前記パネルに接触して支持するように前記一対のセンタリング部材を移動させるセンタリング部材駆動部と、を含むことを特徴とする請求項2に記載のパネル検査装置。
    The centering unit is
    At least a pair of centering members provided in contact with both side surfaces of the panel;
    The panel inspection apparatus according to claim 2, further comprising: a centering member driving unit that moves the pair of centering members so that the pair of centering members contact and support the panel.
  4. 前記マスクは前記パネルの前面縁領域と接触可能に設けられたことを特徴とする請求項1に記載のパネル検査装置。   The panel inspection apparatus according to claim 1, wherein the mask is provided so as to be in contact with a front edge region of the panel.
  5. 前記バックライト及び前記パネルの間に設けられた保護板をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のパネル検査装置。   The panel inspection apparatus according to claim 1, further comprising a protective plate provided between the backlight and the panel.
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CN104019961B (en) * 2014-05-29 2017-03-08 京东方光科技有限公司 A kind of backlight source detection apparatus

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63246795A (en) * 1987-04-01 1988-10-13 Nippon Telegraph & Telephone Display tester
JPH0783794A (en) * 1993-09-14 1995-03-31 Hitachi Electron Eng Co Ltd Positioning mechanism of large-sized liquid crystal panel
JPH0936208A (en) * 1995-07-14 1997-02-07 Teru Eng Kk Inspection device
JP2000337999A (en) * 1999-05-27 2000-12-08 Minato Electronics Inc Method and apparatus for automatically detecting image quality of display element using mask plate
JP4254085B2 (en) * 2001-08-28 2009-04-15 株式会社日立プラントテクノロジー Inspection apparatus and inspection method for liquid crystal panel substrate
JP2003194669A (en) * 2001-12-27 2003-07-09 Seiko Epson Corp Inspection method and inspection device for liquid crystal device
JP2004287368A (en) * 2003-01-27 2004-10-14 Tokyo Electron Ltd Inspecting device

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