KR101436899B1 - Glass align provision equipment - Google Patents

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Abstract

글라스 정렬공급장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 글라스 정렬공급장치는, 정전 캐리어가 적재되는 캐리어 적재부를 구비하는 진공 챔버유닛과, 진공 챔버유닛에 승강가능하게 설치되되 정전 캐리어 상으로 반입되는 글라스를 지지하는 글라스 지지유닛과, 진공 챔버유닛의 하부에 설치되되 글라스 지지유닛에 결합되어 글라스 지지유닛을 승강시키는 리프트 유닛과, 진공 챔버유닛의 내부에 설치되어 정전 캐리어의 기준점과 캐리어의 기준점을 촬영하는 카메라 유닛과, 리프트 유닛의 하부에 설치되되 카메라 유닛으로부터 제공되는 정전 캐리어의 기준점과 글라스의 기준점의 위치를 기초로 글라스가 정전 캐리어의 정해진 위치로 합착될 수 있도록 글라스를 정렬시키는 정렬 스테이지유닛을 포함한다.A glass alignment feeder is disclosed. A glass alignment and supply apparatus according to an embodiment of the present invention includes a vacuum chamber unit including a carrier mounting unit on which an electrostatic carrier is mounted, a glass support member mounted on the vacuum chamber unit to support the glass, A camera unit mounted inside the vacuum chamber unit for photographing a reference point of the electrostatic carrier and a reference point of the carrier, a camera unit mounted on the lower part of the vacuum chamber unit and coupled to the glass supporting unit to elevate the glass supporting unit, And an alignment stage unit provided below the lift unit for aligning the glass so that the glass can be attached to a predetermined position of the electrostatic carrier based on the position of the reference point of the electrostatic carrier and the position of the reference point of the glass provided from the camera unit.

Description

글라스 정렬공급장치{GLASS ALIGN PROVISION EQUIPMENT}[0001] GLASS ALIGN PROVISION EQUIPMENT [0002]

본 발명은, 글라스 정렬공급장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 글라스의 반송과정에서 글라스를 정렬시키는 데 사용되는 글라스 정렬공급장치에 관한 것이다.The present invention relates to a glass alignment supply device, and more particularly, to a glass alignment supply device used for aligning a glass in a process of transporting a glass.

OLED(Organic Light-Emitting Diode;유기 발광 다이오드)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하여 스스로 빛을 내는'자체발광형 유기물질'을 말한다. OLED는 낮은 전압에서 구동이 가능하고 얇은 박형으로 만들 수 있으며, 넓은 시야각과 빠른 응답 속도를 갖고 있어 현재의 LCD를 대체할 수 있는 차세대 디스플레이 장치로 각광받고 있다.OLED (Organic Light-Emitting Diode) refers to a 'self-emitting organic material' that emits light by using electroluminescence that emits light when a fluorescent organic compound is energized. OLEDs can be driven at low voltages and can be made thinner, have a wide viewing angle, and have a fast response time, making them a next-generation display device that can replace current LCDs.

이러한 OLED의 제조공정은 크게 패턴(Pattern) 형성 공정, 유기박막 증착 공정, 봉지 공정, 그리고 유기박막이 증착된 기판과 봉지 공정을 거친 기판을 붙이는 합착 공정이 있다.The manufacturing process of the OLED includes a pattern forming process, an organic thin film deposition process, a sealing process, and a bonding process in which a substrate having an organic thin film deposited thereon and a sealing process are attached to the substrate.

OLED 제조공정에 사용되는 캐리어(carrier)는 글라스(glass)를 붙여 다음 공정으로 이동하는 기구 물인데, 글라스(glass)와 접촉하는 부분은 정전척(ESC, Electrostatic Chuck)로 구성되어 있다. 정전척은 정전기력을 이용하여 글라스(glass)를 붙여주는 장치로서, 글라스(glass)와 정전척의 거리가 대략 2mm 정도까지, 글라스가 정전척에 안정적으로 붙여져 있을 수 있다.The carrier used in the OLED manufacturing process is a mechanism that moves the glass to the next process by attaching a glass. The portion contacting the glass is composed of an electrostatic chuck (ESC). The electrostatic chuck is a device for attaching a glass using an electrostatic force, and the glass may be stably stuck to the electrostatic chuck until the distance between the glass and the electrostatic chuck is approximately 2 mm.

글라스는 이러한 정전척이 설치된 캐리어 상에 부착되어 증착공정으로 이동될 수 있는데, 글라스가 캐리어 상에 정확하게 합착되어야만 에러 없이 증착공정에 반입되어 증착패턴이 형성될 수 있다.The glass can be adhered to a carrier provided with such an electrostatic chuck and moved to a deposition process. If the glass is precisely adhered to the carrier, the deposition process can be carried out without any error, and a deposition pattern can be formed.

대한민국특허청 공개특허 제2006-0000704호Korean Patent Application Publication No. 2006-0000704

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 증착공정에 글라스를 반송하는 캐리어 상에 글라스를 정확하게 정렬시켜 합착시킬 수 있는 글라스 정렬공급장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a glass alignment and supply device capable of precisely aligning and adhering a glass on a carrier carrying a glass in a deposition process.

본 발명의 일 측면에 따르면, 정전 캐리어가 적재되는 캐리어 적재부를 구비하는 진공 챔버유닛; 상기 진공 챔버유닛에 승강가능하게 설치되되, 상기 정전 캐리어 상으로 반입되는 글라스를 지지하는 글라스 지지유닛; 상기 진공 챔버유닛의 하부에 설치되되, 상기 글라스 지지유닛에 결합되어 상기 글라스 지지유닛을 승강시키는 리프트 유닛; 상기 진공 챔버유닛의 내부에 설치되어 상기 정전 캐리어의 기준점과 상기 글라스의 기준점을 촬영하는 카메라 유닛; 및 상기 리프트 유닛의 하부에 설치되되, 상기 카메라 유닛으로부터 제공되는 상기 정전 캐리어의 기준점과 상기 글라스의 기준점의 위치를 기초로, 상기 글라스가 상기 정전 캐리어의 정해진 위치로 합착될 수 있도록 상기 글라스를 정렬시키는 정렬 스테이지유닛을 포함하는 글라스 정렬공급장치가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a vacuum chamber comprising: a vacuum chamber unit having a carrier mounting portion on which an electrostatic carrier is mounted; A glass supporting unit mounted on the vacuum chamber unit so as to be able to move up and down, the glass supporting unit supporting a glass carried on the electrostatic carrier; A lift unit installed at a lower portion of the vacuum chamber unit and coupled to the glass supporting unit to elevate the glass supporting unit; A camera unit installed inside the vacuum chamber unit and photographing a reference point of the electrostatic carrier and a reference point of the glass; And a controller that is provided at a lower portion of the lift unit and that aligns the glass so that the glass is adhered to a predetermined position of the electrostatic carrier on the basis of a reference point of the electrostatic carrier and a position of a reference point of the glass, A glass aligning and feeding device including an alignment stage unit can be provided.

상기 글라스 지지유닛은, 상기 정전 캐리어 상에 배치되어 상기 글라스에 접촉되는 다수의 지지 팁; 상기 지지 팁이 상단부에 결합되는 지지대; 및 상기 지지대가 결합되어 지지되는 지지 베이스를 포함할 수 있다.Wherein the glass supporting unit comprises: a plurality of support tips disposed on the electrostatic carrier and contacting the glass; A support base to which the support tip is coupled to an upper end; And a support base to which the supporter is coupled and supported.

상기 지지대의 상단부에는, 상기 지지 팁의 높이를 조절할 수 있는 팁 높이 조절부가 구비되며, 상기 팁 높이 조절부는, 상기 글라스의 처짐에 따라 상기 지지 팁의 위치를 수동으로 조절할 수 있는 조절너트를 포함할 수 있다.The tip height adjuster may adjust a height of the support tip, and the tip height adjuster may include an adjustment nut that can manually adjust the position of the support tip according to deflection of the glass .

상기 지지 팁은, 상기 글라스에 접촉되어 미끄럼을 방지하는 미끄럼 방지부재를 포함할 수 있다.The support tip may include a non-slip member that contacts the glass to prevent slippage.

상기 리프트 유닛은, 상기 진공 챔버유닛의 하부에 승강가능하게 설치되며 상기 글라스 지지유닛의 하부에 결합되는 글라스 승강모듈; 상기 글라스 승강모듈에 결합되어 상기 글라스 승강모듈의 승강을 안내하는 글라스 승강 가이드모듈; 및 상기 글라스 승강모듈에 결합되어 상기 글라스 승강모듈을 승강시키는 글라스 승강 구동모듈을 포함할 수 있다.The lift unit may include a glass lifting and lowering module mounted on a lower portion of the vacuum chamber unit so as to be vertically movable and coupled to a lower portion of the glass supporting unit; A glass elevation guide module coupled to the glass elevation module to guide the elevation of the glass elevation module; And a glass elevation drive module coupled to the glass elevation module to elevate the glass elevation module.

상기 글라스 승강모듈은, 상기 진공 챔버유닛의 하부에 승강가능하게 설치되어 상기 글라스 지지유닛에 결합되는 글라스 승강로드; 상기 글라스 승강로드가 지지되도록 결합되는 승강 베이스; 및 상기 승강 베이스의 중앙부에 설치되어 상기 글라스 승강 구동모듈에 결합되는 승강지지 브라켓을 포함할 수 있다.The glass elevating and lowering module includes a glass lifting rod that is installed at a lower portion of the vacuum chamber unit so as to be vertically movable and is coupled to the glass supporting unit. A lifting base coupled to be supported by the glass lifting rod; And a lifting support bracket installed at a central portion of the lifting base and coupled to the glass lifting drive module.

상기 글라스 승강모듈은, 상기 글라스 승강로드가 삽입되도록 상기 승강 베이스에 설치되어 상기 글라스 승강로드의 승강 시에 상기 진공 챔버유닛에 대한 기밀을 유지하는 글라스 승강벨로우즈를 더 포함할 수 있다.The glass lifting / lowering module may further include a glass lifting / lowering bellows installed in the lifting base to insert the glass lifting rod and maintain the airtightness of the vacuum chamber unit when the glass lifting rod is lifted or lowered.

상기 글라스 승강 구동모듈은, 상기 승강지지 브라켓에 상하방향으로 설치되되, 상단부 및 하단부가 상기 글라스 승강 가이드모듈 및 상기 정렬 스테이지유닛 상에 회전가능하게 결합되는 글라스 승강 볼 스크류; 및 상기 글라스 승강 볼 스크류의 하단부에 커플러에 의해 결합되는 글라스 승강 구동모터를 포함할 수 있다.The glass elevating and lowering driving module includes a glass elevating ball screw installed vertically on the elevating support bracket and having an upper end and a lower end rotatably coupled to the glass elevating guide module and the alignment stage unit; And a glass elevating drive motor coupled to a lower end of the glass elevating ball screw by a coupler.

상기 글라스 승강 가이드모듈은, 상기 글라스 승강 볼 스크류의 상단부가 회전가능하게 결합되는 스크류 고정판; 및 상기 정렬 스테이지유닛 상에 쌍으로 대향하게 설치되어 상기 스크류 고정판에 결합되는 글라스 승강 리니어 가이드를 포함할 수 있다.The glass elevating guide module includes a screw fixing plate to which an upper end of the glass elevating ball screw is rotatably coupled; And a glass lifting linear guide installed on the alignment stage unit so as to face each other and coupled to the screw fixing plate.

상기 정렬 스테이지유닛은, 상기 글라스 승강 가이드모듈의 하단부에 설치되는 UVW 방식의 얼라이너 모듈을 포함할 수 있다.The alignment stage unit may include an aligner module of a UVW type installed at a lower end of the glass elevation guide module.

상기 카메라 유닛은, 상기 캐리어의 반입방향에 교차하게 설치되는 한 쌍의 카메라 가이드모듈; 상기 카메라 가이드모듈에 이동가능하게 설치되는 카메라 대기압박스; 및 상기 카메라 대기압박스에 설치되는 카메라 모듈을 포함할 수 있다.Wherein the camera unit comprises: a pair of camera guide modules installed to cross the carrying direction of the carrier; A camera atmospheric pressure box movably installed in the camera guide module; And a camera module installed in the atmospheric pressure box of the camera.

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본 발명에 따르면, 한 쌍의 카메라 모듈에 의해 정전 캐리어의 기준점을 촬영하고, 정전 캐리어 상으로 반입된 글라스의 기준점의 위치를 촬영한 후, 한쪽 기준점에 다른 기준점의 위치로 정렬 스테이지유닛에 의해 정렬시키고, 리프트 유닛에 의해 글라스 지지유닛에 지지된 글라스를 하강시켜 캐리어 상의 정해진 위치로 글라스를 정확하게 합착시킬 수 있는 글라스 정렬공급장치를 제공할 수 있다.According to the present invention, the reference point of the electrostatic carrier is photographed by the pair of camera modules, the position of the reference point of the glass carried on the electrostatic carrier is photographed, and then the reference point is aligned And the glass supported and supported by the glass supporting unit is lowered by the lift unit so that the glass can be accurately attached to the predetermined position on the carrier.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 글라스 정렬공급장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 정면도이다.
도 3은 Ⅰ-Ⅰ 단면도이다.
도 4는 도 1의 측면도이다.
도 5는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ 단면도이다.
도 6은 도 3의 글라스 지지유닛과 리프트 유닛의 확대도이다.
도 7은 정전 캐리어를 통과하는 글라스 지지유닛에 의해 글라스가 지지된 상태도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 글라스 정렬공급방법의 순서도이다.1 is a perspective view of a glass alignment supply apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a front view of Fig.
3 is a sectional view taken along the line I-I.
4 is a side view of Fig.
5 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG.
Fig. 6 is an enlarged view of the glass supporting unit and the lift unit of Fig. 3;
7 is a state in which a glass is supported by a glass supporting unit passing through an electrostatic carrier.
8 is a flowchart of a method of supplying and sorting a glass according to an embodiment of the present invention.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다. 이하, 증착공정에 사용되는 기판으로는 글라스(glass) 기판뿐만 아니라 플렉서블 기판 등 OLED 디스플레이 패널 및 태양광 패널과 같은 대면적 패널의 제작을 위한 다양한 재질이 사용될 수 있다. 글라스는 도면 상에서 "g"로 지시되며, 글라스가 부착되는 정전 캐리어는 "c"로 지시된다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements. Hereinafter, a variety of materials for manufacturing a large-area panel such as an OLED display panel and a solar panel, such as a flexible substrate, can be used as the substrate used in the deposition process. The glass is indicated by "g" on the drawing, and the electrostatic carrier to which the glass is attached is indicated by "c".

본 실시 예에 따르면 글라스 정렬공급장치는, OLED 공정 중 글라스를 정전 캐리어라는 이동장치에 붙여 다음 공정으로 이동시키기 위한 것으로서, 글라스와 정전 캐리어는 정밀한 영상정렬(Vision Align)을 통하여 정전 캐리어의 정전척(ESC)에 붙여지게 된다. 이러한 정전척(ESC, Electrostatic Chuck )은 정전기의 힘을 사용해 기판을 하부전극에 고정해주는 부품이다.According to the present embodiment, the glass alignment supply device is for moving the glass to the next process by attaching the glass to a moving device called an electrostatic carrier during the OLED process, and the glass and the electrostatic carrier are transferred to the electrostatic chuck (ESC). This electrostatic chuck (ESC) is a component that fixes the substrate to the lower electrode using the static electricity.

본 실시 예에 따른 글라스 정렬공급장치는, 진공 챔버유닛 내부에서 정전 캐리어의 정전척(ESC)에 글라스를 정렬하여 붙이는 일은 생산성 향상 및 시스템의 안정성 등을 위하여 꼭 필요한 기술로서, 후술하는 바와 같이 진공 내에서 글라스를 들어 올리고 내리는 장치가 필요하고, 진공 내에서 얼라인 마크(Align Mark)를 인식하여 정렬할 수 있는 영상장치(Vision) 및 이를 보정하기 위한 스테이지(Stage)를 주요 구성요소로 포함할 수 있다.The glass alignment and supply apparatus according to the present embodiment is an essential technique for improving the productivity and stability of the system and aligning the glass to the electrostatic chuck ESC of the electrostatic carrier inside the vacuum chamber unit. (Vision) capable of recognizing and aligning an Align Mark in a vacuum and a stage for correcting the alignment are included as main components .

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 글라스 정렬공급장치의 사시도이며, 도 2는 도 1의 정면도이며, 도 3은 Ⅰ-Ⅰ 단면도이며, 도 4는 도 1의 측면도이며, 도 5는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ 단면도이며, 도 6은 도 3의 글라스 지지유닛과 리프트 유닛의 확대도이며, 도 7은 정전 캐리어를 통과하는 글라스 지지유닛에 의해 글라스가 지지된 상태도이다.Fig. 1 is a perspective view of a glass alignment and supply apparatus according to an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a front view of Fig. 1, Fig. 3 is a cross- Fig. 6 is an enlarged view of the glass supporting unit and the lift unit of Fig. 3, and Fig. 7 is a view of the glass supported by the glass supporting unit passing through the electrostatic carrier.

도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 글라스 정렬공급장치는, 정전 캐리어가 적재되는 캐리어 적재부(101)를 구비하는 진공 챔버유닛(100)과, 진공 챔버유닛(100)에 승강가능하게 설치되되 정전 캐리어 상으로 반입되는 글라스를 지지하는 글라스 지지유닛(110)과, 진공 챔버유닛(100)의 하부에 설치되되 글라스 지지유닛(110)에 결합되어 글라스 지지유닛(110)을 승강시키는 리프트 유닛(120)과, 진공 챔버유닛(100)의 내부에 설치되어 정전 캐리어의 기준점과 글라스의 기준점을 촬영하는 카메라 유닛(150)과, 리프트 유닛(120)의 하부에 설치되되 카메라 유닛(150)으로부터 제공되는 정전 캐리어의 기준점과 글라스의 기준점의 위치를 기초로 글라스가 정전 캐리어의 정해진 위치로 합착될 수 있도록 글라스를 정렬시키는 정렬 스테이지유닛(155)을 포함한다.1 to 5, a glass alignment supply apparatus according to an embodiment of the present invention includes a vacuum chamber unit 100 having a carrier mounting portion 101 on which an electrostatic carrier is mounted, A glass support unit 110 mounted on the glass support unit 110 to support a glass carried on the electrostatic carrier and capable of moving up and down on the glass support unit 100, A camera unit 150 installed inside the vacuum chamber unit 100 for photographing a reference point of the electrostatic carrier and a reference point of the glass; And an alignment stage unit for aligning the glass so that the glass can be attached to a predetermined position of the electrostatic carrier on the basis of the reference point of the electrostatic carrier provided from the camera unit 150 and the position of the reference point of the glass It comprises 155.

이러한 본 실시 예에 따르면, 진공 챔버유닛(100)의 진공상태에서 대기압으로 설정된 카메라 유닛(150)에 의해 정전 캐리어의 기준점을 촬영하고, 정전 캐리어 상으로 반입된 글라스의 기준점의 위치를 촬영한 후, 한쪽 기준점을 다른 기준점의 위치로 정렬 스테이지유닛(155)에 의해 정렬시킬 수 있으며, 이후에는 글라스 지지유닛(110)에 지지된 글라스를 리프트 유닛(120)에 의해 하강시켜 정전 캐리어 상의 정해진 위치로 정확하게 부착시킬 수 있다.According to this embodiment, the reference point of the electrostatic carrier is photographed by the camera unit 150 set at atmospheric pressure in the vacuum state of the vacuum chamber unit 100, and the position of the reference point of the glass carried on the electrostatic carrier is photographed , One of the reference points can be aligned by the alignment stage unit 155 at the position of another reference point, and then the glass supported by the glass supporting unit 110 can be lowered by the lift unit 120 to a predetermined position on the electrostatic carrier And can be accurately attached.

이때 정전 캐리어 및 글라스의 기준점은 마킹 및 다른 방식에 의해 복수의 위치에 표시될 수 있는 것으로서, 평면에 투영되는 상호 간의 배치가 일치될 때 정렬되었다고 볼 수 있다.At this time, the reference points of the electrostatic carrier and the glass can be displayed at a plurality of positions by marking and other methods, and it can be said that alignment is performed when the mutual projections projected on the plane are matched.

즉 글라스는, 캐리어 상으로 이동될 수 있는 로봇핸드에 의해 진공 챔버유닛(100)의 내부로 반입되어 리프트 유닛(120)의 승강작동에 의해 글라스 지지유닛(110)에 상승된 후, 다시 하강되어 정전 캐리어 상으로 배치될 때, 미세정렬을 수행할 수 있는 정렬 스테이지유닛(155)에 의해 정렬됨으로써 마이크로미터 단위의 오차로 정전 캐리어 상에 배치될 수 있다.That is, the glass is carried into the vacuum chamber unit 100 by the robot hand which can be moved onto the carrier, raised to the glass support unit 110 by the lifting operation of the lift unit 120, When arranged on an electrostatic carrier, they can be arranged on an electrostatic carrier with an error of micrometres by being aligned by an alignment stage unit 155 capable of performing micro-alignment.

도 1 내지 도 7을 참조하여 본 실시 예에 따른 글라스 정렬공급장치의 구성요소들을 상세하게 설명하면 다음과 같다.The constituent elements of the glass alignment and supply apparatus according to this embodiment will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 7. FIG.

먼저, 본 실시 예에 따른 글라스 지지유닛(110)은, 정전 캐리어 상에 배치되어 글라스에 접촉되는 다수의 지지 팁(111)과, 지지 팁(111)이 상단부에 결합되는 한 쌍의 지지대(112)와, 지지대(112)가 결합되어 지지되는 지지 베이스(113)를 포함할 수 있다. 이러한 지지대(112)의 상단부에는 지지 팁(111)의 높이를 조절할 수 있는 팁 높이 조절부(115)가 구비될 수 있다. 또한 지지 팁(111)은, 글라스에 접촉되어 미끄럼을 방지하는 미끄럼 방지부재(116)를 포함할 수 있다.The glass support unit 110 according to the present embodiment includes a plurality of support tips 111 that are disposed on an electrostatic carrier and contact the glass and a pair of supports 112 And a support base 113 to which the support base 112 is coupled and supported. At the upper end of the support base 112, a tip height adjustment unit 115 for adjusting the height of the support tip 111 may be provided. The support tip 111 may also include a non-slip member 116 that contacts the glass to prevent slippage.

즉 글라스는 정전 캐리어 상으로 반입된 후, 지지대(112)의 상승에 의해 지지 팁(111)에 접촉되어 상승될 수 있는데, 지지 팁(111)은 글라스의 테두리부를 지지할 수 있도록 정전 캐리어에 승강가능하게 배치될 수 있다.That is, after the glass is brought into the electrostatic carrier, it can be raised in contact with the supporting tip 111 by the elevation of the supporting table 112, and the supporting tip 111 can be elevated to the electrostatic carrier so as to support the edge of the glass .

정전 캐리어에는 지지 팁(111)이 통과하여 승강이동될 수 있도록 승강홀(117)들이 마련된다. 또한 지지대(112)는 정전 캐리어의 승강홀(117)들에 각각 한 쌍씩 배치되어 지지 팁(111)을 지지할 수 있는데, 본 실시 예에 따르면 글라스의 길이방향을 따라서는 8쌍이 배치될 수 있다. 이러한 지지대(112)는 지지 베이스(113)를 지지하여 승강시킬 수 있는 후술되는 리프트 유닛(120)의 글라스 승강모듈(125)에 의해 승강될 수 있다.The electrostatic carriers are provided with lift holes 117 so that the support tips 111 can pass through and move up and down. In addition, the pair of support rods 112 may be arranged in pairs in the lift holes 117 of the electrostatic carriers to support the support rods 111. According to the present embodiment, eight pairs can be disposed along the length direction of the glass rods . The support base 112 can be raised and lowered by a glass elevating and lowering module 125 of a lift unit 120, which will be described later, which supports the support base 113 and can be raised and lowered.

본 실시 예에 따른 지지대(112)의 상단부에 배치되는 팁 높이 조절부(115)는, 글라스의 처짐에 따라 지지 팁(111)의 위치를 수동으로 조절할 수 있는 조절너트(119)를 포함할 수 있다. 즉 조절너트(119)를 회전시켜 각 지지 팁(111)의 높이를 조절함으로써, 고유의 처짐량을 갖는 글라스의 테두리부의 위치에 따라 지지 팁(111)의 높이를 수동으로 조절할 수 있다.The tip height adjusting unit 115 disposed at the upper end of the support base 112 according to the present embodiment may include an adjustment nut 119 capable of manually adjusting the position of the support tip 111 in accordance with the deflection of the glass have. That is, by adjusting the height of each support tip 111 by rotating the adjustment nut 119, the height of the support tip 111 can be manually adjusted according to the position of the edge of the glass having a specific deflection amount.

즉 글라스가 글라스 지지유닛(110)에 의해 지지될 때, 글라스의 테두리부로부터 중앙부까지 처짐량이 증가하게 되는데, 이로 인한 영향으로 테두리부도 같은 레벨 상에 위치하지 못하고 각 모서리부 사이의 높이가 다르게 될 수 있으므로, 이를 맞추기 위해 지지팁의 높이를 조절하는 작업을 행할 수 있다.That is, when the glass is supported by the glass supporting unit 110, the amount of deflection from the rim to the center of the glass increases. Due to this, the rim can not be positioned on the same level and the height between the corner portions becomes different So that the height of the support tip can be adjusted to match this.

다음으로, 본 실시 예에 따른 글라스 지지유닛(110)을 승강운동시키기 위한 리프트 유닛(120)은, 진공 챔버유닛(100)의 하부에 승강가능하게 설치되며 글라스 지지유닛(110)의 하부에 결합되는 글라스 승강모듈(125)과, 글라스 승강모듈(125)에 결합되어 글라스 승강모듈(125)의 승강을 안내하는 글라스 승강 가이드모듈(130)과, 글라스 승강모듈(125)에 결합되어 글라스 승강모듈(125)을 승강시키는 글라스 승강 구동모듈(135)을 포함할 수 있다.The lift unit 120 for lifting and moving the glass support unit 110 according to the present embodiment is mounted on a lower portion of the vacuum chamber unit 100 so as to be able to move up and down, A glass lifting and lowering module 125 coupled to the glass lifting and lowering module 125 to guide the lifting and lowering of the glass lifting and lowering module 125 and a glass lifting and lowering module 130 coupled to the glass lifting and lowering module 125, And a glass lifting / lowering drive module 135 for lifting / lowering the lifter 125.

이러한 본 실시 예에 따른 글라스 승강모듈(125)은, 진공 챔버유닛(100)의 하부에 승강가능하게 설치되어 글라스 지지유닛(110)에 결합되는 글라스 승강로드(126)와, 글라스 승강로드(126)가 지지되도록 결합되는 승강 베이스(127)와, 글라스 승강로드(126)가 삽입되도록 승강 베이스(127)에 설치되어 글라스 승강로드(126)의 승강 시에 진공 챔버유닛(100)에 대한 기밀을 유지하는 글라스 승강벨로우즈(128)와, 승강 베이스(127)의 중앙부에 설치되어 글라스 승강 구동모듈(135)에 결합되는 승강지지 브라켓(129)을 포함할 수 있다.The glass lifting and lowering module 125 according to the present embodiment includes a glass lifting and lowering rod 126 that is installed at a lower portion of the vacuum chamber unit 100 so as to be vertically movable and coupled to the glass supporting unit 110, The glass lifting base 127 is provided on the lifting base 127 such that the glass lifting rod 126 is inserted so that the airtightness of the vacuum chamber unit 100 when the glass lifting rod 126 is lifted or lowered And a lift supporting bracket 129 provided at a central portion of the elevating base 127 and coupled to the glass elevating and lowering driving module 135.

본 실시 예에 따르면 글라스 승강모듈(125)의 글라스 승강로드(126)는, 진공 챔버유닛(100)의 바닥부를 관통하여 승강가능하게 설치되는데, 진공 챔버유닛(100)의 바닥부와 승강 베이스(127) 사이에는 글라스 승강로드(126)의 삽입이 가능한 승강벨로우즈(128)가 설치됨으로써 글라스 승강로드(126)의 승강 시에 진공 챔버유닛(100)의 기밀이 유지될 수 있다.According to the present embodiment, the glass lifting rod 126 of the glass lifting and lowering module 125 is installed to be able to move up and down through the bottom portion of the vacuum chamber unit 100. The bottom of the vacuum chamber unit 100 and the lifting base The airtightness of the vacuum chamber unit 100 can be maintained during the lifting and lowering of the glass lifting rod 126 by providing the lifting bellows 128 capable of inserting the glass lifting rod 126.

이때 승강벨로우즈(128)의 상단부는 진공 챔버유닛(100)의 저면부에 밀착되도록 결합되며, 하단부는 폐쇄된 상태로 승강 베이스(127)의 결합될 수 있다. 승강벨로우즈(128)는, 소위 주름관으로서 글라스 승강로드(126)의 승강운동에 따라 신축운동될 수 있다.At this time, the upper end of the lifting bellows 128 is tightly coupled to the bottom surface of the vacuum chamber unit 100, and the lower end of the lifting bellows 128 is closed. The lifting bellows 128 can be stretched and contracted according to the lifting movement of the glass lifting rod 126 as a so-called corrugated tube.

또한 본 실시 예에 따른 글라스 승강 구동모듈(135)은, 승강지지 브라켓(129)에 상하방향으로 설치되되, 상단부 및 하단부가 글라스 승강 가이드모듈(130) 및 정렬 스테이지유닛(155) 상에 회전가능하게 결합되는 글라스 승강 볼 스크류(136)과, 글라스 승강 볼 스크류(136)의 하단부에 커플러(142)에 의해 결합되는 글라스 승강 구동모터(139)를 포함할 수 있다.The glass lifting and lowering drive module 135 according to the present embodiment is mounted on the lifting support bracket 129 in the vertical direction so that the upper and lower ends thereof are rotatable on the glass lifting guide module 130 and the alignment stage unit 155 And a glass lifting / lowering driving motor 139 coupled to the lower end of the glass lifting / lowering ball screw 136 by a coupler 142. The glass lifting /

본 실시 예에 따르면 글라스 승강 구동모터(139)는 글라스 승강 볼 스크류(136)의 스크류 환봉(137)을 회전시킬 수 있고, 스크류 환봉(137)의 회전에 따라 암 스크류(138)가 회전되어 승강될 수 있으며, 암 스크류(138)에 의해 결합되어 있는 승강지지 브라켓(129)이 상하방향으로 운동될 수 있다. 승강지지 브라켓(129)은, 승강 베이스(127)를 상하방향으로 운동시킬 수 있다. 이러한, 승강 베이스(127)의 운동에 따라 글라스 승강로드(126)가 상하방향으로 이동될 수 있다.According to the present embodiment, the glass elevating drive motor 139 can rotate the screw round bar 137 of the glass elevating ball screw 136 and the arm screw 138 is rotated in accordance with the rotation of the screw round bar 137, And the lift supporting bracket 129 coupled by the arm screw 138 can be moved in the vertical direction. The lifting support bracket 129 can move the lifting base 127 in the vertical direction. The glass lifting rod 126 can be moved up and down according to the movement of the lifting base 127.

또한 본 실시 예에 따른 글라스 승강 가이드모듈(130)은, 글라스 승강 볼 스크류(136)의 상단부가 회전가능하게 결합되는 스크류 고정판(141)과, 정렬 스테이지유닛(155) 상에 쌍으로 대향하게 설치되어 스크류 고정판(141)에 결합되되 승강 베이스(127)에 연결되어 승강 베이스(127)의 승강운동을 안내하는 글라스 승강 리니어 가이드(145)를 포함할 수 있다.The glass elevating guide module 130 according to the present embodiment includes a screw fixing plate 141 to which an upper end of a glass elevating ball screw 136 is rotatably engaged, And a glass lifting linear guide 145 coupled to the screw fixing plate 141 and connected to the lifting base 127 to guide the lifting and lowering of the lifting base 127.

이러한 글라스 승강 리니어 가이드(145)는, 스크류 고정판(141)과 후술되는 정렬 스테이지 유닛(155)의 상부 정렬블록(156) 사이에 상하 방향으로 설치될 수 있는데, 먼저 글라스 승강 볼 스크류(136)의 작동에 따른 승강 베이스(127)의 상하운동은 안내할 수 있으며, 정렬 스테이지유닛(155)의 UVW 방식의 얼라이너 모듈(157)에 의해 상부 정렬블록(156)이 구동되어 움직일 때, 상부 정렬블록(156)과 함께 움직여 스크류 고정판(141)을 움직일 수 있고, 이들에 결합되어 있는 승강 베이스(127)를 움직일 수 있다. 이에 따라 후술되는 정렬 스테이지유닛(155)에 의해 글라스 승강로드(126) 상에 지지되어 있는 글라스 지지유닛(110)이 움직여 정전 캐리어 상에서 글라스의 위치가 보정될 수 있다.The glass lifting linear guide 145 may be vertically installed between the screw fixing plate 141 and an upper alignment block 156 of an alignment stage unit 155 described later. Up and down movement of the lifting base 127 according to the operation can be guided and when the upper aligning block 156 is driven and moved by the UVW type aligner module 157 of the aligning stage unit 155, It is possible to move the screw fixing plate 141 by moving together with the screw 156 and move the lifting base 127 coupled to the screws. Thus, the position of the glass on the electrostatic carrier can be corrected by moving the glass holding unit 110 supported on the glass lifting rod 126 by the alignment stage unit 155 described later.

이러한 정렬 스테이지유닛(155)은, 글라스 승강 가이드모듈(130)의 하단부에 설치되는 UVW 방식의 얼라이너 모듈(157)을 포함할 수 있다. 이러한 UVW 방식의 얼라이너 모듈(157)은, 도시하진 않았으나 상부 정렬블록(156)을 움직일 수 있는 UVW의 얼라인 작동요소를 구비할 수 있다. 즉 UVW의 얼라인 작동요소를 갖춘 얼라인 방식은, 3축의 모터를 사용하며, U축은 X축이며, VW를 같은 수치로 움직이면 Y축의 움직임이 일어나는 방식으로서, XY평면 수직하는 Z축 회전 즉 Theta 회전은 UVW를 일정수치만큼 이동시키면 가능하다. 이러한 UVW의 얼라인 작동요소를 사용하는 얼라인 방식은 디스플레이 제작공정에서 두 물체를 정렬시키는 데 자주 사용하는 공지의 기술로서 자세한 설명은 생략하기로 한다.The alignment stage unit 155 may include an aligner module 157 of UVW type installed at the lower end of the glass elevation guide module 130. Such a UVW aligner module 157 may include an alignment operation element of UVW, which is not shown, but can move the upper alignment block 156. In other words, the alignment method with the alignment operation element of UVW uses a three-axis motor, the U-axis is the X-axis, and the V-axis moves in the Y-axis when the VW is moved to the same value. Rotation is possible by moving the UVW by a certain amount. The alignment method using the alignment operation element of the UVW is a well-known technique frequently used for aligning two objects in a display manufacturing process, and a detailed description thereof will be omitted.

본 실시 예에 따른 정렬 스테이지유닛(155)이 진공 챔버유닛(100)으로 반입된 글라스를 지지대(112)에 의해 움직여 정전 캐리어 상에서 정렬시키기 위해서는, 전술한 바와 같이 진공 챔버유닛(100)의 내부에 설치되는 카메라 유닛(150)에 의해 정전 캐리어와 글라스의 기준점을 각각 촬영하는 정렬방식을 채택할 수 있다.In order for the alignment stage unit 155 according to the present embodiment to move the glass carried in the vacuum chamber unit 100 by the support base 112 and align it on the electrostatic carrier, as described above, the vacuum chamber unit 100 It is possible to employ an alignment method for photographing the reference points of the electrostatic carrier and the glass by the camera unit 150 installed.

이러한 기준점들의 촬영을 위한 카메라 유닛(150)은, 캐리어의 반입방향에 교차하게 설치되는 한 쌍의 카메라 가이드모듈(160)과, 카메라 가이드모듈(160)에 이동가능하게 설치되며 카메라의 시야확보를 위한 투명패널(162)을 갖는 카메라 대기압박스(161)와, 카메라 대기압박스(161)에 설치되는 카메라 모듈(165)을 포함할 수 있다.The camera unit 150 for photographing the reference points includes a pair of camera guide modules 160 installed to cross the carrying direction of the carrier, And a camera module 165 installed in the camera atmospheric pressure box 161. In addition,

카메라 모듈(165)은, 카메라 대기압박스(161)에 의해 대기압이 유지된 상태에서 카메라 가이드모듈(160)을 따라 정전 캐리어 및 글라스의 너비방향을 따라 각각 이동하여 이동 선상의 하방에 촬영가능하게 배치된 각각의 기준점을 촬영할 수 있으며, 이러한 각각의 기준점은 촬영된 후, 위치정보가 저장될 수 있다.The camera module 165 moves along the width direction of the electrostatic carrier and the glass along the camera guide module 160 while the atmospheric pressure is maintained by the camera atmospheric pressure box 161, And the position information can be stored after each of the reference points is photographed.

본 실시 예에 따른 글라스 정렬공급장치는, 진공 챔버유닛(100)에 설치되어 캐리어를 승강시킬 수 있는 캐리어 승강유닛(170)을 더 포함할 수 있다. 이러한 캐리어 승강유닛(170)은, 이후에 설치되는 글라스의 증착공정의 직전으로 글라스가 합착된 정전 캐리어를 반송시킬 수 있는 장치에 해당한다. 즉 캐리어 승강유닛(170)은, 증착공정으로 글라스를 뒤집어 투입하기 위한 반전장치(FLIPPER)에 연계된다.The glass alignment supply apparatus according to the present embodiment may further include a carrier lifting unit 170 installed in the vacuum chamber unit 100 and capable of lifting and lowering the carrier. This carrier elevating unit 170 corresponds to a device capable of transporting an electrostatic carrier to which a glass is attached immediately before a deposition process of a glass to be installed thereafter. That is, the carrier elevating unit 170 is connected to an inverting device (FLIPPER) for turning the glass upside down during the deposition process.

이러한 캐리어 승강유닛(170)은, 진공 챔버유닛(100)의 상부에 설치되어 정전 캐리어를 상승시키는 캐리어 승강구동모듈(175)과, 진공 챔버유닛(100)에 승강가능하게 설치되어 정전 캐리어의 승강을 안내하는 캐리어 승강안내모듈(185)을 포함할 수 있다.The carrier elevating unit 170 includes a carrier elevator driving module 175 installed on the upper portion of the vacuum chamber unit 100 to raise the electrostatic carrier, And a carrier lifting / guiding module 185 for guiding the carrier lifting /

캐리어 승강구동모듈(175)은, 진공 챔버유닛(100)의 상부 양측에 배치되며 캐리어 승강구동모터(172)에 의해 작동되는 한 쌍의 캐리어 승강구동부(176)와, 승강 지지프레임(177)에 설치되며 승강구동부(176)에 의해 작동되는 캐리어 볼 스크류(178)와, 캐리어 볼 스크류(178)에 의해 승강되며 승강 지지프레임(177)에 설치되되 캐리어 상부리니어가이드(179)에 결합되어 승강이 안내되는 캐리어 승강구동블록(181)을 포함할 수 있다. 캐리어 승강구동블록(181)은 후술되는 캐리어 승강로드(186)에 결합되며, 캐리어 승강로드(186)의 승강 시에 캐리어 승강로드(186)에 의한 누기를 방지할 수 있는 캐리어 벨로우즈(182)가 결합될 수 있다.The carrier lifting and lowering driving module 175 includes a pair of carrier lifting and lower driving parts 176 disposed on both sides of the upper portion of the vacuum chamber unit 100 and operated by the carrier lifting driving motor 172, A carrier ball screw 178 mounted on the lifting drive unit 176 and a carrier ball screw 178 mounted on the lifting support frame 177 and coupled to the carrier upper linear guide 179, And a carrier lifting drive block 181. The carrier lifting drive block 181 is coupled to a carrier lifting rod 186 to be described later and includes a carrier bellows 182 capable of preventing the carrier lifting rod 186 from leaking when the carrier lifting rod 186 is lifted or lowered Can be combined.

또한 캐리어 승강안내모듈(185)은, 캐리어 승강구동블록(181)의 모서리부에 결합되어 캐리어 승강구동블록(181)과 함께 승강되도록 진공 챔버유닛(100)의 상부에서 내부로 설치되는 캐리어 승강로드(186)와, 진공 챔버유닛(100)의 내부에 상하방향으로 설치되는 캐리어 내부리니어가이드(187)에 결합되어 정전 캐리어를 진공 챔버유닛(100)의 상부로 이동시킬 수 있는 캐리어 리프팅블록(188)을 포함할 수 있다.The carrier lifting and guiding module 185 is coupled to the edge of the carrier lifting drive block 181 so as to be lifted and moved together with the carrier lifting drive block 181, And a carrier lifting block 188 which is coupled to the carrier inner linear guide 187 installed in the vertical direction inside the vacuum chamber unit 100 to move the electrostatic carrier to the upper portion of the vacuum chamber unit 100 ).

이러한 캐리어 승강구동모터(172)의 구동에 따라 캐리어 승강구동블록(181)이 캐리어 볼 스크류(178)를 작동시키고, 이에 연결되어 있는 캐리어 리프팅블록(188)이 하강되어 정전 캐리어에 접촉된 후, 다시 캐리어 승강구동블록(181)의 상승에 따라 캐리어 리프팅블록(188)이 정전 캐리어와 함께 상승되고, 이에 따라 정전 캐리어는 진공 챔버유닛(100)의 상부에 배치되는 반출개구까지 이동될 수 있다.When the carrier lifting drive block 181 is driven by the carrier lifting driving motor 172 and the carrier lifting block 188 connected to the carrier lifting driving block 181 is lowered and brought into contact with the electrostatic carrier, The carrier lifting block 188 is raised together with the electrostatic carrier as the carrier lift block 181 rises again so that the electrostatic carrier can be moved to the take-out opening disposed at the top of the vacuum chamber unit 100. [

도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 글라스 정렬공급방법의 순서도이다.8 is a flowchart of a method of supplying and sorting a glass according to an embodiment of the present invention.

도 8에는 글라스가 정전 캐리어 상으로 반입된 후, 글라스 지지유닛의 지지 팁에 접촉되어 상승된 후, 지지대의 하강에 의해 하강하여, 정전 캐리어 상에 배치되는 과정이 순서대로 도시되어 있다. 도 8을 참조하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 글라스 정렬공급방법을 설명한다.Fig. 8 shows a sequence of a process in which the glass is brought into contact with the support tip of the glass supporting unit after being brought into the electrostatic carrier, elevated in contact with it, and then lowered by the lowering of the support and placed on the electrostatic carrier. Referring to FIG. 8, a glass alignment supply method according to an embodiment of the present invention will be described.

본 실시 예에 따른 글라스 정렬공급장치에 의해 글라스를 정전 캐리어에 붙이는 과정은, 반송로봇(TM Robot)의 로봇핸드에 의해 공급된 글라스가 핀업(Pin Up)장치 즉 리프트 유닛의 핀업에 의해 로봇핸드에서 분리되고, 영상정렬(Vision Align)을 거쳐 위치보정 후 정전 캐리어에 붙여지는 방식으로 진행된다.The process of attaching the glass to the electrostatic carrier by the glass aligning and feeding apparatus according to the present embodiment is such that the glass supplied by the robot hand of the transport robot (TM Robot) is transferred to the robot hand by the pin- And then the image is aligned through an image alignment (Vision Align), and then the image is attached to the electrostatic carrier after the position correction.

도 1 내지 도 7에 도시된 전술한 바와 같은 글라스 정렬공급장치를 이용한 본 발명의 일 실시 예에 따른 글라스 정렬공급방법은, 진공 챔버유닛(100)에 적재된 정전 캐리어의 기준점을 촬영하여 정전 캐리어의 기준점의 위치를 저장하는 단계와, 진공 챔버유닛(100)의 정전 캐리어 상으로 로봇핸드에 의해 글라스를 반입하는 단계와, 진공 챔버유닛(100)의 내부에 설치되는 글라스 지지유닛(110)을 리프트 유닛(120)에 의해 상승시켜 글라스를 로봇핸드로부터 이격시켜 지지하는 단계와, 글라스의 기준점을 촬영하여 글라스의 기준점의 위치를 저장하는 단계와, 진공 챔버유닛(100)의 하부에 설치되는 정렬 스테이지유닛(155)에 의해 글라스 지지유닛(110)을 움직여 정전 캐리어의 기준점의 위치로 글라스의 기준점을 정렬시키는 단계와, 리프트 유닛(120)에 의해 글라스 지지유닛(110)을 하강시켜 글라스를 정전 캐리어 합착시키는 단계를 포함할 수 있다.The glass alignment supply method using the above-described glass alignment supply apparatus shown in FIGS. 1 to 7 according to an embodiment of the present invention takes the reference point of the electrostatic carrier loaded in the vacuum chamber unit 100, A step of loading the glass by the robot hand onto the electrostatic carrier of the vacuum chamber unit 100, and a step of holding the glass support unit 110 installed inside the vacuum chamber unit 100 A step of lifting the glass by the lifting unit 120 to keep the glass away from the robot hand, a step of photographing the reference point of the glass to store the position of the reference point of the glass, Aligning the reference point of the glass with the position of the reference point of the electrostatic carrier by moving the glass supporting unit 110 by the stage unit 155; It moved down the support switch unit 110 may comprise a glass electrostatic carrier cementation.

이러한 본 실시 예에 따른 글라스 정렬공급방법은, 리프트 유닛(120)에 의해 글라스 지지유닛(110)을 하강시켜 카메라 유닛(150)의 촬영가능한 범위로 글라스를 하강시키는 단계를 더 포함할 수 있다.The glass alignment and supply method according to the present embodiment may further include a step of lowering the glass holding unit 110 by the lift unit 120 to lower the glass to a photographable range of the camera unit 150.

글라스는 로봇핸드에 의해 정전 캐리어 상으로 반송된 후, 정전 캐리어 상에서 위치가 정렬되어 캐리어에 합착될 수 있다. 이러한 과정에서 글라스를 글라스 지지유닛(110)에 의해 상승시켜 로봇핸드로부터 분리할 때, 글라스가 상승하여 카메라 유닛(150)에 인접하게 된다. 즉 글라스에 대해 카메라 유닛(150)의 초점이 맞지 않거나 기준점이 촬영가능한 영역으로부터 벗어날 수 있기 때문에, 글라스를 리프트 유닛(120)에 의해 카메라 유닛(150)으로부터 다시 하강시키는 과정이 실행될 수 있다.The glass can be transported onto the electrostatic carrier by the robotic hand, and then aligned on the electrostatic carrier and adhered to the carrier. In this process, when the glass is lifted by the glass support unit 110 and separated from the robot hand, the glass rises to be adjacent to the camera unit 150. [ The process of lowering the glass again from the camera unit 150 by the lift unit 120 can be executed because the camera unit 150 is not in focus with respect to the glass or the reference point can be moved out of the photographable area.

이상과 같이 본 발명의 일 실시 예에 따른 글라스 정렬공급장치 및 그 공급시스템에 대해 설명하였지만, 본 발명의 권리범위가 이러한 OLED 증착공정에 한정되는 것은 아니며, 캐리어에 대한 글라스의 정렬이 필요한 공정에는 모두 적용이 가능하다.Although the glass alignment supply apparatus and the supply system according to the embodiment of the present invention have been described above, the scope of the present invention is not limited to the OLED deposition process, and the processes requiring alignment of the glass with respect to the carrier It can be applied to all.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.

g: 글라스 c: 정전 캐리어
100: 진공 챔버유닛 101: 캐리어 적재부
110: 글라스 지지유닛 111: 지지 팁
112: 지지대 113: 지지 베이스
115: 팁 높이 조절부 116: 미끄럼 방지부재
117: 승강홀 119: 조절너트
120: 리프트 유닛 125: 글라스 승강모듈
126: 글라스 승강로드 127: 승강 베이스
128: 승강벨로우즈 129: 승강지지 브라켓
130: 글라스 승강 가이드모듈 135: 글라스 승강 구동모듈
136: 글라스 승강 볼 스크류 137: 스크류 환봉
138: 암 스크류 139: 글라스 승강 구동모터
141: 스크류 고정판 145: 글라스 승강 리니어 가이드
150: 카메라 유닛 155: 정렬 스테이지유닛
156: 상부 정렬블록 157: 얼라이너 모듈
160: 카메라 가이드모듈 161: 카메라 대기압박스
162: 투명패널 165: 카메라 모듈
170: 캐리어 승강유닛 175: 캐리어 승강구동모듈
176: 캐리어 승강구동부 177: 승강 지지프레임
178: 캐리어 볼스크류 179: 캐리어 상부리니어가이드
181: 캐리어 승강구동블록 182: 캐리어 벨로우즈
185: 캐리어 승강안내모듈 186: 캐리어 승강로드
187: 캐리어 내부리니어가이드 188: 캐리어 리프팅블록g: glass c: electrostatic carrier
100: Vacuum chamber unit 101: Carrier loading part
110: glass support unit 111: support tip
112: support base 113: support base
115: tip height adjusting portion 116: non-slip member
117: lift hole 119: adjusting nut
120: Lift unit 125: Glass lift module
126: glass lifting rod 127: lifting base
128: lift bellows 129: lift support bracket
130: Glass lifting guide module 135: Glass lifting driving module
136: Glass lifting ball screw 137: Screw round bar
138: arm screw 139: glass lifting drive motor
141: screw fixing plate 145: glass lifting linear guide
150: camera unit 155: alignment stage unit
156: upper alignment block 157: aligner module
160: camera guide module 161: camera atmospheric pressure box
162: transparent panel 165: camera module
170: carrier lifting unit 175: carrier lifting drive module
176: Carrier lift-up drive part 177: Lift-up support frame
178: Carrier ball screw 179: Carrier upper linear guide
181: carrier lifting drive block 182: carrier bellows
185: Carrier lifting / guiding module 186: Carrier lifting / lowering rod
187: carrier inner linear guide 188: carrier lifting block

Claims (13)

정전 캐리어가 적재되는 캐리어 적재부를 구비하는 진공 챔버유닛;
상기 진공 챔버유닛에 승강가능하게 설치되되, 상기 정전 캐리어 상으로 반입되는 글라스를 지지하는 글라스 지지유닛;
상기 진공 챔버유닛의 하부에 설치되되, 상기 글라스 지지유닛에 결합되어 상기 글라스 지지유닛을 승강시키는 리프트 유닛;
상기 진공 챔버유닛의 내부에 설치되어 상기 정전 캐리어의 기준점과 상기 글라스의 기준점을 촬영하는 카메라 유닛; 및
상기 리프트 유닛의 하부에 설치되되, 상기 카메라 유닛으로부터 제공되는 상기 정전 캐리어의 기준점과 상기 글라스의 기준점의 위치를 기초로, 상기 글라스가 상기 정전 캐리어의 정해진 위치로 합착될 수 있도록 상기 글라스를 정렬시키는 정렬 스테이지유닛을 포함하고,
상기 글라스 지지유닛은,
상기 정전 캐리어 상에 배치되어 상기 글라스에 접촉되는 다수의 지지 팁;
상기 지지 팁이 상단부에 결합되는 지지대; 및
상기 지지대가 결합되어 지지되는 지지 베이스를 포함하며,
상기 지지 팁은,
상기 글라스에 접촉되어 미끄럼을 방지하는 미끄럼 방지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 정렬공급장치.A vacuum chamber unit having a carrier mounting portion on which an electrostatic charge carrier is mounted;
A glass supporting unit mounted on the vacuum chamber unit so as to be able to move up and down, the glass supporting unit supporting a glass carried on the electrostatic carrier;
A lift unit installed at a lower portion of the vacuum chamber unit and coupled to the glass supporting unit to elevate the glass supporting unit;
A camera unit installed inside the vacuum chamber unit and photographing a reference point of the electrostatic carrier and a reference point of the glass; And
Wherein the glass is aligned at a predetermined position of the electrostatic carrier on the basis of a reference point of the electrostatic carrier and a position of a reference point of the glass provided on the lower portion of the lift unit, An alignment stage unit,
The glass supporting unit includes:
A plurality of support tips disposed on the electrostatic carrier and contacting the glass;
A support base to which the support tip is coupled to an upper end; And
And a support base to which the supporter is coupled and supported,
The support tip
And a non-slip member which contacts the glass to prevent slippage. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 지지대의 상단부에는, 상기 지지 팁의 높이를 조절할 수 있는 팁 높이 조절부가 구비되며,
상기 팁 높이 조절부는, 상기 글라스의 처짐에 따라 상기 지지 팁의 위치를 수동으로 조절할 수 있는 조절너트를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 정렬공급장치.The method according to claim 1,
A tip height adjusting unit capable of adjusting a height of the support tip is provided at an upper end of the support,
Wherein the tip height adjusting portion includes an adjusting nut capable of manually adjusting a position of the supporting tip according to sagging of the glass. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 리프트 유닛은,
상기 진공 챔버유닛의 하부에 승강가능하게 설치되며 상기 글라스 지지유닛의 하부에 결합되는 글라스 승강모듈;
상기 글라스 승강모듈에 결합되어 상기 글라스 승강모듈의 승강을 안내하는 글라스 승강 가이드모듈; 및
상기 글라스 승강모듈에 결합되어 상기 글라스 승강모듈을 승강시키는 글라스 승강 구동모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 정렬공급장치.The method according to claim 1,
The lift unit includes:
A glass lifting and lowering module installed at a lower portion of the vacuum chamber unit so as to be able to move up and down and coupled to a lower portion of the glass supporting unit;
A glass elevation guide module coupled to the glass elevation module to guide the elevation of the glass elevation module; And
And a glass elevation driving module coupled to the glass elevation module to elevate the glass elevation module. 제5항에 있어서,
상기 글라스 승강모듈은,
상기 진공 챔버유닛의 하부에 승강가능하게 설치되어 상기 글라스 지지유닛에 결합되는 글라스 승강로드;
상기 글라스 승강로드가 지지되도록 결합되는 승강 베이스; 및
상기 승강 베이스의 중앙부에 설치되어 상기 글라스 승강 구동모듈에 결합되는 승강지지 브라켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 정렬공급장치.6. The method of claim 5,
The glass elevating /
A glass lifting rod that is vertically installed on the lower portion of the vacuum chamber unit and is coupled to the glass supporting unit;
A lifting base coupled to be supported by the glass lifting rod; And
And a lift bracket installed at a central portion of the lifting base to be coupled to the glass lifting drive module. 제6항에 있어서,
상기 글라스 승강모듈은, 상기 글라스 승강로드가 삽입되도록 상기 승강 베이스에 설치되어 상기 글라스 승강로드의 승강 시에 상기 진공 챔버유닛에 대한 기밀을 유지하는 글라스 승강벨로우즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 정렬공급장치.The method according to claim 6,
Wherein the glass lifting / lowering module further comprises a glass lifting / lowering bellows installed in the lifting base to insert the glass lifting rod to maintain airtightness with respect to the vacuum chamber unit when the glass lifting rod is lifted / lowered. Supply device. 제6항에 있어서,
상기 글라스 승강 구동모듈은,
상기 승강지지 브라켓에 상하방향으로 설치되되, 상단부 및 하단부가 상기 글라스 승강 가이드모듈 및 상기 정렬 스테이지유닛 상에 회전가능하게 결합되는 글라스 승강 볼 스크류; 및
상기 글라스 승강 볼 스크류의 하단부에 커플러에 의해 결합되는 글라스 승강 구동모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 정렬공급장치.The method according to claim 6,
The glass elevating drive module includes:
A glass elevating ball screw installed on the elevating support bracket in a vertical direction and having an upper end and a lower end rotatably coupled to the glass elevating guide module and the alignment stage unit; And
And a glass elevating driving motor coupled to a lower end of the glass elevating ball screw by a coupler. 제8항에 있어서,
상기 글라스 승강 가이드모듈은,
상기 글라스 승강 볼 스크류의 상단부가 회전가능하게 결합되는 스크류 고정판; 및
상기 정렬 스테이지유닛 상에 쌍으로 대향하게 설치되어 상기 스크류 고정판에 결합되는 글라스 승강 리니어 가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 정렬공급장치.9. The method of claim 8,
The glass elevating guide module includes:
A screw fixing plate for rotatably coupling an upper end of the glass elevating ball screw; And
And a glass lifting linear guide installed on the alignment stage unit in a pair so as to be coupled to the screw fixing plate. 제5항에 있어서,
상기 정렬 스테이지유닛은, 상기 글라스 승강 가이드모듈의 하단부에 설치되는 UVW 방식의 얼라이너 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 정렬공급장치.6. The method of claim 5,
Wherein the alignment stage unit includes an aligner module of a UVW type installed at a lower end of the glass elevation guide module. 제1항에 있어서,
상기 카메라 유닛은,
상기 캐리어의 반입방향에 교차하게 설치되는 한 쌍의 카메라 가이드모듈;
상기 카메라 가이드모듈에 이동가능하게 설치되는 카메라 대기압박스; 및
상기 카메라 대기압박스에 설치되는 카메라 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 정렬공급장치.The method according to claim 1,
The camera unit includes:
A pair of camera guide modules installed to cross the carrying direction of the carrier;
A camera atmospheric pressure box movably installed in the camera guide module; And
And a camera module installed in the atmospheric pressure box of the camera. 삭제delete 삭제delete
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