KR100989321B1 - Manufacturing method of mask frame assembly divided by stick for manufacturing big size of amoled multi cell tv and mobile panel and mask frame assembly thereof - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 TV 혹은 모바일(Moblie) 패널 제작을 위한 스틱(Stick)마스크가 분할된 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법 및 그 마스크 프레임 어셈블리에 관한 것으로, 자세하게는 다수개의 분할 마스크를 이용하여 다면적의 다면취 마스크 프레임 어셈블리를 제조시 프레임의 중앙부에 Rib을 형성하여 프레임의 처짐을 최소화함으로써, 마스크를 프레임에 용접시 하부에 위치한 마더글라스와의 패턴을 매칭시 정도가 향상되어 정밀한 마스크 용접이 이루어지도록 하고, 또한 중앙부에 Rib 때문에 처짐이 최소화되어, 유기물 증착시 발생할 수 있는 쉐도우(Shadow) 현상을 방지함으로써 최종 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 패널의 품질을 획기적으로 높인 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법 및 그 마스크 프레임 어셈블리에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE
OLED(유기발광다이오드)는 반응속도가 박막트랜지스터액정표시장치(TFT LCD)보다 월등히 빠르다. 또 자체 발광으로 백라이트 없이 두께와 무게를 3분의 1이나 줄일 수 있으며 넓은 시야각과 저전력 소비 구조를 자랑하는 차세대 디스플레이이다.OLEDs (organic light emitting diodes) have a much faster reaction rate than thin film transistor liquid crystal displays (TFT LCDs). In addition, the self-illumination reduces thickness and weight by one third without backlight, and is a next-generation display with a wide viewing angle and low power consumption.
이러한 OLED는 AM방식(능동)과 PM방식(수동)으로 나뉜다. PMOLED는 AMOLED에 비해 제작단가가 낮고, 소비전력, 수명과 해상도에 한계가 있다. AMOLED는 각 화소마다 TFT와 커패시터가 있으며 소비전력, 수명, 해상도 측면 모두에서 우수하기 때문에, TFT의 제작으로 인해 제조비용이 높아진다는 단점을 딛고, 현재 각 분야의 활발한 개발과 양산 시도가 이어지고 있다. These OLEDs are divided into AM type (active) and PM type (passive). PMOLED has lower manufacturing cost than AMOLED and has limitations in power consumption, lifespan and resolution. Since AMOLED has TFT and capacitor in each pixel and is excellent in terms of power consumption, lifespan, and resolution, the manufacturing cost is increased due to the manufacture of TFT.
무엇보다 AMOLED의 강점은 무엇보다 화질 경쟁력이다. 최대 경쟁자인 LCD에 비해 색 재현율은 30% 포인트나 높고 명암비는 20배나 뛰어나다. LCD의 최대 약점인 동영상의 잔상현상도 AMOLED에서는 찾아볼 수 없다. 이는 LCD가 백라이트라는 간법광원을 액정, 컬러필터 등을 통과시키며 다소 복잡하게 화면을 연출하는 반면에 AMOLED는 유기물질이 자체 발광해 곧바로 자연색의 화면을 재현하기 때문이다.Most of all, AMOLED's strength is image quality competitiveness. Compared to LCD, the biggest competitor, the color reproduction rate is 30 percentage points higher and the contrast ratio is 20 times better. Afterimage of video, the biggest weakness of LCD, is not found in AMOLED. This is because LCD creates a complicated screen by passing a simple light source called backlight through liquid crystal and color filter, while AMOLED reproduces natural color screen by emitting organic material by itself.
더욱이 OLED는 LCD와 비교해 구조가 단순해 제조에 있어, 부품측면에서 매우 유리하다.
Moreover, OLED has a simple structure compared to LCD, which is very advantageous in terms of parts in manufacturing.
그러나 OLED는 재료 원가, 구동회로, 드라이버 IC 가격을 보면, OLED는 감가상각이 차지하는 비율이 전체 원가의 반에 이를 정도로 크다. 이는 OLED가 아직 소비자들에게 대중화되지 않아 대량생산에 의한 제조 단가 효과를 보기 어렵기 때문이다. 하지만 시간이 지나고 물량이 증가하면, 이 감가상각비가 줄어 가격적인 면에서 LCD와의 경쟁이 가능해 질 것으로 기대된다. 그 이유는 자체발광 방식으로 BLU와 컬러필터가 필요하지 않은 등 부품이 적고, 단순하기 때문에 충분히 단가를 낮출수 있기 때문이다. However, in terms of OLED material cost, driver circuit, and driver IC, OLED depreciation accounts for half of the total cost. This is because OLED is not yet popularized to consumers and it is difficult to see the cost effect of manufacturing by mass production. However, as time goes by, the depreciation costs will decrease and competition with LCDs will be possible. The reason for this is that since the components are small and simple, such as the BLU and the color filter are not required by the self-luminous method, the unit price can be lowered sufficiently.
따라서 가격경쟁력을 갖추기 위해서는 감가상각비를 줄이기 위한 각계의 노력이 필요하다.
Therefore, efforts to reduce depreciation costs are needed to secure price competitiveness.
그렇지만 대량생산을 위해서는 아직까지는 넘어야 할 기술적인 문제점들이 있다. 즉, 빛을 내는 유기물질이 제조환경에 매우 민감해 품질이 높은 양질의 디스플레이를 만들기가 여간 힘들지 않아 낮은 수율의 문제를 극복해야하는 과제가 있고, 향 후 대형화될수록 수율 확보는 더 어려워지는 시스템적인 문제들이 있다.
However, there are still technical problems to overcome for mass production. In other words, the organic material that emits light is very sensitive to the manufacturing environment, so it is not difficult to make a high-quality display of high quality. Therefore, there is a problem to overcome the problem of low yield. There is.
이하 마스크프레임어셈블리를 이용 유기물 증착기에서 AMOLED를 제조하는 원리를 보인 예시도를 도시하고 있는 도 12를 참고하여 AMOLED(능동형 유기발광다이오드)를 이용한 종래 디스플레이패널의 제조방법을 살펴본다.Hereinafter, a method of manufacturing a conventional display panel using an AMOLED (active organic light emitting diode) will be described with reference to FIG. 12, which shows an exemplary view showing a principle of manufacturing AMOLED in an organic vapor deposition apparatus using a mask frame assembly.
AMOLED 디스플레이 패널의 기본 구조는 유리기판 위에 양전극인 ITO(Induim-Tin-Oxide)를 형성하고 그 상면에 R, G, B 유기물을 증착하고, 다시 그 위에 음전극을 형성후 양전극과 음전극을 통전시켜 발광토록 하는 간단한 구조를 가진다. The basic structure of the AMOLED display panel is to form ITO (Induim-Tin-Oxide), a positive electrode on a glass substrate, and deposit R, G, and B organic materials on the upper surface of the AMOLED display panel, and then form a negative electrode on the upper surface, and then energize the positive and negative electrodes. It has a simple structure.
이러한 기본 구성을 가진 AMOLED 디스플레이를 제조하기 위한 종래 마스크 스트레칭(Mask Stretching) 방식은 마스크(Mask)를 정해진 타겟(Target) 위치로 맞추는 방식으로 마스크 프레임 어셈블리(Mask Frame Assembly)의 스트라이프(Stripe) 위치 정도를 측정하여 보상하는 플로우(Flow)를 반복적으로 수행하여 메칭(Matching)하는 방식이다.The conventional mask stretching method for manufacturing an AMOLED display having such a basic configuration is a stripe position of a mask frame assembly by fitting a mask to a predetermined target position. It is a method of matching by repeatedly performing a flow for measuring and compensating.
따라서 유기 증착기 내 유리기판 소자의 R.G B자리와 Mask의 Open 부위가 정확하게 Matching되어 증착 Source에서 유기물을 증발(Evaporating)시키면서 유기물이 유리기판 소자 내 격벽 사이에 정확하게 증착할 수 있도록 유도해주는 마스크 프레임 어셈블리의 정밀도가 매우 중요하다.
Therefore, the RG B position of the glass substrate element in the organic evaporator and the open part of the mask are accurately matched to evaporate the organic substance at the deposition source and induce the organic substance to be accurately deposited between the partition walls of the glass substrate element. Precision is very important.
즉, 원장 마스크(Mask)를 적용한 스트레칭(Stretching) 방식은 원장 마스크(Mask) 자체의 제작 오차 , 마스크 결점에 따른 수율저하, 및 소재업체에서 공급된 마스크 코일 사이즈(Mask Coil Size)등의 한계로 인해 현재 가능한 것은 4세대 Half급의 30" 원장 TV 수준이며 , 최대화 Size는 42" 단면취 수준이 최고수준의 기술이다. 하지만 증착을 위한 소모품 구성에 있어 워낙 고가이므로 경제성에서 한계성을 지니고 있다.
In other words, the stretching method using the ledger mask is limited due to the manufacturing error of the ledger mask itself, the yield reduction due to the mask defect, and the mask coil size supplied by the material manufacturer. It is currently available in the fourth-generation half-class 30 "ledger TV, and the maximum size is 42" cutout level. However, since it is very expensive in the consumable composition for deposition, it has a limit in economics.
이런 이유로 종래의 AMOLED는 양산화된 것들이 대부분 소형으로 하나의 원장으로 이루어진 마스크를 사용하여 마스크프레임어셈블리를 제조한 것으로 대면적의 AMOLED를 생산시 그 크기의 한계가 있다. For this reason, the conventional AMOLED is manufactured in a mask frame assembly using a mask composed of one ledger, which is mostly mass-produced, and has a limitation in size when producing a large-area AMOLED.
하나의 원장으로 된 마스크를 이용하여 대형화하기 어려운 이유는 마스크의 원재료인 코일의 공급 크기가 대형화에 필요한 크기 사이즈로 생산되지 않고 있기 때문이다. 즉, 채산성의 문제로 코일 생산업체에서는 AMOLED 디스플레이 업체에서 필요로 하는 크기를 생산하지 않기 때문이다.
The reason why it is difficult to enlarge the size using a mask made of one ledger is that the supply size of the coil, which is a raw material of the mask, is not produced in the size required for the enlargement. In other words, due to profitability, coil producers do not produce the size required by AMOLED display companies.
이와 같은 문제점을 해결하기 위해 제시된 것이 다수개의 분할마스크를 이용하여 제조된 마스크프레임어셈블리이다. 이하에서 원장 방식이 아닌 분할 마스크를 이용하여 제조할 수 있는 최대 크기의 대면적 마스크프레임어셈블리의 제조방법을 살펴본다.In order to solve this problem, a mask frame assembly manufactured using a plurality of partition masks is proposed. Hereinafter, a method of manufacturing a large-area mask frame assembly having a maximum size that can be manufactured using a split mask rather than a ledger method will be described.
도 13은 종래 분할마스크를 이용한 마스크프레임어셈블리 제조공정도이고, 도 14는 종래 방법에 따라 마스크프레임어셈블리를 제조시 마더글라스 상부에 분할 마스크를 위치시킨후 인장력을 가하여 매칭하는 구조를 보인 예시도이고, 도 15는 종래 마스크프레임어셈블리를 제조시 마더글라스의 패턴과 분할마스크의 홀을 매칭시키는 원리를 보인 예시도이다.FIG. 13 is a manufacturing process diagram of a mask frame assembly using a conventional dividing mask, and FIG. 14 is an exemplary view showing a structure of matching a mask by applying a tensile force after placing a split mask on an upper portion of a mother glass when manufacturing a mask frame assembly according to a conventional method. FIG. 15 is an exemplary view illustrating a principle of matching a pattern of a mother glass and a hole of a split mask when manufacturing a conventional mask frame assembly.
도시된 바와 같이, 종래 방법에 따른 마스크프레임어셈블리의 제조방법은 다수개의 분할마스크를 양단을 그리퍼로 잡아 인장력을 가한 상태에서 하부에 위치한 마더글라스의 패턴과 매칭시켜 노광후 에칭된 마스크의 패턴 홀간을 매칭시킨 후, 프레임에 분할 마스트를 하나씩 용접하여 조립하고, 조립시 분할마스크가 들어가지 않는 프레임에는 가림마스크를 함께 용접하고, 마스크프레임어셈블리 제작후 마스크의 흔들림을 방지하기 위한 구성으로는 흔들림마스크를 함께 용접하여 마스크 프레임 어셈블리를 완성하는 방식이다.
As shown in the drawing, a method of manufacturing a mask frame assembly according to the conventional method is to grasp a plurality of split masks at both ends with grippers and to match the pattern of the mother glass located at the bottom in the state of applying a tensile force, thereby forming a pattern hole between the masks after exposure and etching. After matching, weld the splitting masts to the frame one by one and assemble them, weld the blanking mask together to the frame that does not enter the splitting mask during assembly, and use the shake mask to prevent the shaking of the mask after fabricating the mask frame assembly. Weld together to complete the mask frame assembly.
이러한 방법에 따라 제조된 대면적용(730 * 920mm 이상급) 마스크프레임어셈블리가 도 16 및 17에 개시되어 있다. 도 16은 종래 방법에 따라 프레임의 장변에 분할마스크가 용접된 대면적 마스크프레임어셈블리를 보인 예시도이고, 도 17은 종래 방법에 따라 프레임의 단변에 분할마스크가 용접된 대면적 마스크프레임어셈블리를 보인 예시도이다.A large area (730 * 920mm or greater) mask frame assembly made according to this method is disclosed in FIGS. 16 and 17. 16 is an exemplary view showing a large area mask frame assembly in which a split mask is welded to a long side of a frame according to a conventional method, and FIG. 17 is a large area mask frame assembly in which a split mask is welded to a short side of a frame according to a conventional method. It is an illustration.
하지만 상기와 같은 방법은 프레임과 마스크의 길이 증가에 따른 하중의 증가로 인한 중앙부가 처짐 등과 같은 문제를 포함한 다양한 문제가 발생하여 양산품으로 생산되지 어렵다는 문제가 있다.
However, the above-described method has a problem in that it is difficult to produce a mass product due to various problems, including problems such as sagging of the central part due to an increase in load due to an increase in the length of the frame and mask.
이하 보다 구체적으로 그 문제점을 살펴본다.Looking at the problem in more detail below.
대면적 4세대 이상 8세대 FMM(Fine Metal Mask)를 이용한 유기 증착기 내 유리기판 소자의 R.G B자리와 마스크(Mask의) 직접 패턴(Pattern) 형성을 위한 마스크프레임어셈블리(Mask Frame Assembly) 제작이 없이는 현재 3차원 TV , 저소비 전력 , 동영상 구현이 우수한 AMOLED 대면적화를 이루기 곤란하며, 양산성 확보, 경제성을 확보하기 위해서는 꼭 대면적 FMM 확보가 필수적인데, 종래 기술은 수평형 인장기 및 수직형 인장기를 이용하여 도 16, 17과 같은 마스크프레임어셈블리를 제조하고 있다. 하지만 이와 같은 많은 종래의 마스크프레임어셈블리는 많은 셀(Cell)을 집어 넣어 생산 수량 확보 및 모델(Model)의 다양성 확보차원에서는 장점을 가지고 있으나 박막용 INVAR Coil(두께 = 10 ~ 100um) 원재료의 길이, 두께의 한계성 등으로 재료 수급에 한계가 있다.
Without producing mask frame assembly for RG B-position of glass substrate device and mask direct pattern formation in organic vapor deposition equipment using large-area 4th generation and 8th generation FMM (Fine Metal Mask) Currently, it is difficult to achieve large-area AMOLED large area with excellent 3D TV, low power consumption, and video, and it is essential to secure large area FMM to secure mass production and economic feasibility. 16 and 17, a mask frame assembly is manufactured. However, many conventional mask frame assemblies have advantages in securing production quantity and model diversity by inserting many cells, but the length of the raw material for thin film INVAR Coil (thickness = 10 ~ 100um), There is a limit to the supply and demand of materials due to the limitation of thickness.
또한 박막용 INVAR Coil 재료의 방향을 달리하여 분할 마스크로 제작한다 하더라도 다음과 같은 문제가 발생한다.In addition, even when fabricated as a split mask by changing the direction of the thin film INVAR coil material, the following problems occur.
- INVAR Coil 원재료 평탄도 문제 -INVAR Coil Raw Material Flatness Problem
- Non Alkali 소다라임 유리의 평탄도 및 열팽창 계수(약 3 * 10-6/도 (강화유리))의 문제,-Problems of flatness and coefficient of thermal expansion (about 3 * 10-6 / degree (tempered glass)) of Non Alkali soda-lime glass,
- Non Alkali 소다라임 유리의 길이의 문제-Problems with the Length of Non Alkali Soda-lime Glass
- 점노광을 이용한 양면 포토마스크를 이용한 빔 균일성(Beam Uniformity)의 한계
-Limitation of Beam Uniformity using Double Sided Photo Mask Using Point Exposure
- UV 노광시 발생되는 온도상승에 따른 냉각(Cooling) 문제 등에 따른 마스크(Mask) 품질과 균일성(Uniformity) 한계성을 극복하기 곤란하여, 마스크(Mask) 포지션 위치정밀도(Position Accuracy)를 확보하기 어렵고, 그리고 마스크(Mask)의 중앙부(Center) 처짐에 따른 쉐도우(Shadow) 및 위치정밀도의 한계성을 극복하기 곤란하다는 문제점-It is difficult to secure the mask position position accuracy because it is difficult to overcome the mask quality and uniformity limitations due to the cooling problem caused by the temperature rise generated during UV exposure. , And it is difficult to overcome the limitations of shadow and position precision due to the deflection of the center of the mask.
- 마스크(Mask)를 인장 용접시에 장력에 의한 프레임(Frame)에 가해지는 힘에 의한 프레임(Frame) 변형 및 평탄도 변화 문제-Frame deformation and flatness change problem due to the force applied to the frame due to tension during tension welding of the mask
- 대면적 인바(INVAR) 및 강(Steel)의 평탄도 확보 문제-The problem of securing flatness of large area INVAR and steel
- 마스크프레임어셈블리(Mask Frame Assembly)의 증착후 마스크 세척(Mask Cleaning)에 의한 재생공정과 마스크프레임어셈블리(Mask Frame Assembly)의 자동 물류 구성시 진동 및 떨림에 의한 마스크(Mask) 위치 반복성의 변화 등이 문제점으로 대두 되고 있다.
-Regeneration process by mask cleaning after deposition of mask frame assembly and change of mask position repeatability due to vibration and vibration during automatic logistics configuration of mask frame assembly. This problem is emerging.
이와 같이 종래 마스크프레임어셈블리의 제조는 마스크(Mask)를 인장하여 카메라(Camera) 장치를 이용하여 마스크(Mask)와 마더글라스(Mother Glass)를 직접 매칭(Matching)하여 마스크 프레임(Mask Frame)에 용접을 통해 일체화 함으로써 마스크(Mask)의 위치결정 정도를 확보하는 것이 중요한데, 비록 다른 모든 부분들이 해결된다고 하더라도 마스크 프레임의 형태에 따른 구조적 문제 때문에 증착 쉐도우(Shadow)와 증착 위치성에 해가되는 마스크 중앙처짐을 방지하기란 쉬운일이 아니다.As described above, in the manufacture of a conventional mask frame assembly, the mask is stretched and directly matched to the mask and mother glass using a camera device, and then welded to the mask frame. It is important to secure the position of the mask by integrating through the mask. Although all other parts are solved, the mask center deflection is detrimental to the deposition shadow and the deposition position due to the structural problem of the shape of the mask frame. Preventing this is not easy.
또한 종래에는 마스크 무게에 의한 중앙부 마스크(Center Mask) 최고 처짐값이 150um 이하를 유지해 증착 쉐도우(Shadow) 등을 극복하기 위해 증착시 마스크(Mask)와 기판(Substrate)의 소프트 접촉(Soft Contact)을 유도하여 중력에 의한 마스크(Mask) 처짐에 의한 쉐도우(Shadow)를 방지하기 위한 마스크 척(Mask Chuck)으로 영구자석을 사용하는데 영구자석의 경우 단면적의 급격한 변화, NS극이 배치되지 않은 곳에서 자기장의 끊김 현상, 마스크(Mask) 길이가 길면 길수록 마스크의 NS 커플링(Coupling) 및 잔류자기장에 의한 미세 떨림에 의한 정착 위치성 저하를 극복하기가 쉽지 않다는 또 다른 문제점이 있다.
In addition, in order to overcome the deposition shadow by maintaining the center mask maximum deflection value of 150 μm or less due to the weight of the mask, soft contact between the mask and the substrate during the deposition is induced. Permanent magnets are used as mask chucks to prevent shadows from sagging due to gravity. In the case of permanent magnets, there is a sudden change in the cross-sectional area, The longer the disconnection phenomenon, the longer the mask length, there is another problem that it is not easy to overcome the deterioration of the fixing position due to the NS coupling (Coupling) of the mask and the fine vibration caused by the residual magnetic field.
또한 유리 사이즈(Size)의 대면적화에 따른 글래스 키핑(Glass Keeping)을 하는데 있어 "게코 척"이나 "글론 척"의 경우 글래스(Glass)를 잡기 위한 파지부에 자석(Magnet)이 설치될 수 없기 때문에 마스크가 길어질 경우 증착 품질에 많은 영향을 미치게 된다는 문제점이 있다.
In addition, in the case of glass keeping due to the large size of the glass, magnets cannot be installed in the holding part for holding the glass in the case of "gecko chuck" or "glon chuck". Therefore, there is a problem that the longer the mask has a lot of influence on the deposition quality.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 다수개의 분할 마스크를 이용하여 마스크 프레임 어셈블리를 제조시 중앙부의 처짐을 방지하기 위해 프레임의 중앙부에 Rib을 형성하고, Rib 분할된 프레임에 맞게 제조된 마더글라스에 형성된 패턴에 따라 분할마스크의 마스크홀을 정밀하게 매칭시키면서 인장력을 가하여 용접함으로써 유기물 증착시 발생할 수 있는 쉐도우(Shadow) 현상을 방지하여, 분할마스크의 일부 한 Line 정도의 Cell을 손해를 보더라도 마스크를 분할하여 프레임에 마스크를 붙임으로서 마스크의 길이에 따른 품질적 문제(마스크 Uniformity)를 해결한 고회상도 QVGA급 이상의 Mobile용 AMOLED나 TV용 AMOLED 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법 및 그 마스크 프레임 어셈블리를 제공하는 데 있다.
An object of the present invention for solving the above problems is to form a rib in the center of the frame in order to prevent the sag of the central portion when manufacturing the mask frame assembly using a plurality of split masks, manufactured to fit the Rib divided frame According to the pattern formed on the mother glass, the mask hole of the split mask is precisely matched and applied by a tensile force to prevent the shadow phenomenon that may occur when organic materials are deposited, so that even if one cell of the split mask is damaged. The method of manufacturing a high-resolution QVGA class mobile AMOLED or TV AMOLED mask frame assembly and the mask frame assembly that solve the quality problem (mask uniformity) according to the length of the mask by dividing the mask and attaching the mask to the frame. To provide.
본 발명의 다른 목적은 Rib 분할된 프레임에 맞게 마더글라스를 분할하되, 매칭용 패턴의 정도를 유지하면서 Rib이 안착되게 중앙부에 홈이 형성된 마더글라스 스테이지에 일체화시키는 공정을 포함하여 제조된 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법 및 그 마스크 프레임 어셈블리를 제공하는 데 있다.
Another object of the present invention is to divide the mother glass according to the Rib divided frame, while maintaining the degree of the matching pattern, while manufacturing the mask frame assembly including the step of integrating to the mother stage grooved groove formed in the center of the Rib To provide a method of manufacturing and a mask frame assembly thereof.
본 발명의 다른 목적은 Rib 분할된 프레임의 개별 분할부에 분할마스크를 용접시 마스크 재료인 상용 INVAR의 크기 문제를 해결하기 위해 2회 노광하여 프레임의 개별분할부에 해당하는 유효 영역에는 패턴노광 후 에칭하여 스트라이프(stripe)가 형성된 패턴마스크를 형성하고 나머지 미사용 영역은 인장시의 스트레스를 해소하기 위해 더미 노광후 에칭하여 스트레스 릴리프 슬롯을 형성한 더미마스크를 형성하여, 프레임에 용접 후 미사용 영역인 더미 마스크는 제거하는 공정을 포함하여 제조된 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법 및 그 마스크 프레임 어셈블리를 제공하는 데 있다.
Another object of the present invention is to expose the effective area corresponding to the individual divided parts of the frame after pattern exposure in order to solve the size problem of the commercial INVAR, which is a mask material when welding the divided masks to the individual divided parts of the Rib divided frame. Etching forms a patterned mask with a stripe, and the remaining unused areas are dummy exposures formed by etching after dummy exposure to form stress relief slots in order to relieve stress during stretching. The mask is to provide a method of manufacturing a mask frame assembly, including the step of removing the mask frame assembly.
본 발명의 다른 목적은 Rib 분할된 프레임의 개별 분할부에 분할마스크를 용접시 패턴마스크와 더미 마스크를 용접후 프레임에 용접후 유기물 증착에 사용되지 않는 미사용 영역인 더미 마스크는 다시 제거하는 공정을 포함하여 제조된 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법 및 그 마스크 프레임 어셈블리를 제공하는 데 있다.
Another object of the present invention includes a process of removing the dummy mask, which is not used for organic material deposition after welding the pattern mask and the dummy mask to the frame after welding the split mask to the individual partitions of the rib-divided frame. The present invention provides a method of manufacturing a mask frame assembly manufactured by the same, and a mask frame assembly thereof.
본 발명의 다른 목적은 Rib 분할된 프레임에 분할마스크를 용접시 그리퍼가 분할마스크의 양측단을 수평방향으로 인장력을 가하면서 용접후 유기물 증착에 사용되지 않는 미사용 영역인 더미 마스크만 제거하는 공정을 포함하여 제조된 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법 및 그 마스크 프레임 어셈블리를 제공하는 데 있다.
Another object of the present invention includes a step of removing only the dummy mask which is not used for organic material deposition after welding while the gripper applies tensile force in both directions of the split mask in the horizontal direction when welding the split mask to the Rib split frame. The present invention provides a method of manufacturing a mask frame assembly manufactured by the same, and a mask frame assembly thereof.
본 발명의 다른 목적은 Rib 분할된 프레임에 분할마스크를 용접시 그리퍼가 분할마스크의 양측단에 인장력을 가하면서 용접시 일측단은 수평방향으로 인장력을 가하고, Rib이 형성된 중앙부에서는 저마찰롤러를 구비한 수직방향그리퍼가 인장력을 가하면서 용접후 유기물 증착에 사용되지 않는 미사용 영역인 더미 마스크만 제거하는 공정을 포함하여 제조된 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법 및 그 마스크 프레임 어셈블리를 제공하는 데 있다.
Another object of the present invention is a gripper to apply a tensile force to both ends of the split mask when welding the split mask to the rib-divided frame while one side end to apply a tensile force in the horizontal direction during welding, and a low friction roller at the center portion where the rib is formed A vertical gripper provides a method of manufacturing a manufactured mask frame assembly including a process of removing only a dummy mask, which is an unused region, which is not used for organic material deposition after welding while applying a tensile force, and a mask frame assembly thereof.
상기한 바와 같은 목적을 달성하고 종래의 결점을 제거하기 위한 과제를 수행하는 본 발명은 (A) 중앙부 처짐을 방지하기 위한 Rib이 형성되어 분할마스크 설치공간이 분할된 프레임을 구비하는 단계와;The present invention to achieve the object as described above and to perform the problem for eliminating the conventional defects comprises the steps of: (A) forming a rib for preventing the central portion sag is divided partition frame installation space;
(B) 상기 Rib에 해당하는 영역을 제외한 부분에만 마스크패턴이 인쇄된 마더글라스를 Rib 회피구가 형성된 마더글라스 지그에 일체화하는 단계와;(B) integrating a mother glass printed with a mask pattern only in a portion except for the region corresponding to the Rib to a mother jig having a rib avoiding tool;
(C) 마더글라스와 일체화된 마더글라스 지그를 상기 프레임 하부에 위치시킨 후 분할마스크를 프레임에 장력을 인가하여 위치시킨 후, 하부에 위치한 마더글라스의 패턴과 매칭시키는 단계와;(C) placing a mother jig integrated with the mother glass below the frame, placing a split mask by applying tension to the frame, and matching the pattern of the mother glass located below the mother glass jig;
(D) 매칭된 분할마스크를 용접하는 단계;를 거치는 것을 특징으로 하는 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 패널 제작을 위한 RIB 분할된 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법을 제공함으로써 달성된다.
(D) welding a matched split mask; is achieved by providing a method of manufacturing a RIB split mask frame assembly for manufacturing a large area AMOD multi-faceted panel.
본 발명은 한 실시형태로 상기 (B)단계는 Rib 회피구가 형성된 마더글라스 지그 상면에, 프레임에 형성된 Rib의 영역을 제외하고 패턴이 인쇄된 한 장으로 이루어진 마더글라스를 올려놓은 후 접착제를 이용 마더글라스 지그 상면과 접착하고, 이후 커팅공정을 통해 Rib 회피구에 해당하는 영역의 마더글라스를 제거하여 일체화시킴으로써 동일한 마드글라스 위치결정 정도를 확보하는 단계인 것을 특징으로 한다.
According to an embodiment of the present invention, the step (B) is performed by using an adhesive after placing a mother glass made of a pattern printed on the mother jig on which the rib avoiding hole is formed, except for the region of the rib formed on the frame. Bonding with the upper surface of the mother jig, and after the cutting process to remove the mother glass of the area corresponding to the rib avoidance by integrating to ensure the same degree of positioning of the mad glass.
본 발명은 한 실시형태로 상기 (C)단계에서 장력 인가는 프레임의 수평방향 양측단쪽에 설치된 그리퍼까지 분할마스크의 양측단이 연장되어 수평방향 그리퍼가 분할마스크를 파지하여 장력을 인가하는 연장형 장력 인가방식으로 구성한 것을 특징으로 한다.
In one embodiment, the tension application in the step (C) is an extended tension in which both side ends of the dividing mask are extended to the grippers installed at both sides of the horizontal direction of the frame so that the horizontal gripper grips the dividing mask to apply tension. Characterized in that it is configured by the application method.
본 발명은 한 실시형태로 상기 (C)단계에서 장력 인가는 프레임의 수평방향 일측단쪽에 설치된 그리퍼까지 분할마스크의 일측단이 연장되어 그리퍼가 분할마스크의 일측단을 파지하여 장력을 가하고, 분할마스크의 타측단은 수직방향에 위치한 그리퍼가 프레임의 Rib을 지나 설치된 저마찰롤러 지점에서 상부방향으로 꺽인 분할마스크를 수직방향 그리퍼가 파지하여 장력을 인가하는 비연장형 장력 인가방식으로 구성한 것을 특징으로 한다.
In one embodiment of the present invention, in the step (C), the tension is applied to one side end of the dividing mask to a gripper installed on one side of the horizontal direction of the frame so that the gripper grips one end of the dividing mask to apply tension. The other end of the vertical gripper is characterized in that the non-extension tension applying method to apply the tension by the gripper in the vertical direction gripper is divided in the upper direction at the low friction roller point installed past the rib of the frame.
본 발명은 한 실시형태로 상기 (D)단계는 마더글라스의 패턴과 매칭된 분할마스크를 용접후 마스크패턴이 형성되지 않은 분할마스크의 더미패턴 영역을 커팅하여 제거하는 단계인 것을 특징으로 한다.
According to an embodiment of the present invention, step (D) is a step of cutting a dummy pattern region of the divided mask in which the mask pattern is not formed after welding the divided mask matched with the pattern of the mother glass.
본 발명은 한 실시형태로 상기 분할마스크는 한 장의 마스크가 서로 다른 패턴을 가지게 2차례 노광하되, 1차로 한번에 노광된 마스크 영역에는 패턴 슬롯이 형성된 패턴 마스크를 형성하고, 2차 노광된 나머지 마스크 영역에는 마스크에 장력인가시 스트레스를 해소하여 장력 균형을 맞추기 위한 스트레스 릴리프 슬롯이 형성된 더미 마스크를 형성한 것을 특징으로 한다.
According to an embodiment of the present invention, the division mask is exposed two times so that one mask has a different pattern, but the mask area exposed at the first time forms a pattern mask with a pattern slot, and the remaining mask area exposed to the second time. It characterized in that the dummy mask formed with a stress relief slot for balancing the tension by applying a stress to the mask to solve the tension.
본 발명은 한 실시형태로 상기 분할마스크는 패턴 슬롯이 형성된 패턴 마스크와, 마스크에 장력인가시 스트레스를 해소하여 장력 균형을 맞추기 위한 스트레스 릴리프 슬롯이 형성된 더미 마스크를 용접하여 일체화시킨 것을 특징으로 한다.
According to an embodiment of the present invention, the division mask is integrated by welding a pattern mask in which a pattern slot is formed, and a dummy mask in which a stress relief slot for relieving stress when tension is applied to the mask is formed to balance tension.
본 발명은 한 실시형태로 상기 (D)단계는 Rib에 의해 나뉘어진 프레임의 분할영역 중 한쪽영역에 분할마스크를 설치하고, 이후 다른측 프레임의 분할 영역에 분할마스크를 설치하고, 다시 한쪽영역에 분할마스크를 설치하는 방식으로 분할된 프레임의 중앙부에서 프레임의 양측 방향으로 균형있게 분할마스크를 용접하는 것을 특징으로 한다.
In one embodiment of the present invention, in the step (D), the division mask is provided in one region of the divided regions of the frame divided by Rib, and then the division mask is installed in the division region of the other frame, and then in one region. The split mask is welded in a balanced manner in both directions of the frame at the center of the divided frame by installing the split mask.
본 발명은 한 실시형태로 상기 Rib은 프레임의 장변을 분할하여 형성한 것을 특징으로 한다.
In one embodiment, the rib is formed by dividing the long side of the frame.
본 발명은 한 실시형태로 상기 Rib은 프레임의 단변을 분할하여 형성한 것을 특징으로 한다.
In one embodiment, the rib is formed by dividing a short side of a frame.
본 발명은 한 실시형태로 상기 스트레스 릴리프 슬롯은 하프에칭 또는 풀에칭된 것을 특징으로 한다.
In one embodiment, the stress relief slot is half etched or full etched.
또한 본 발명은 다른 실시형태로 상기 제조방법에 제조된 중앙부 처짐을 방지하기 위한 Rib이 형성된 프레임과; Rib에 의해 형성된 프레임의 분할 영역 각각에 분할마스크가 용접되어 구성된 것을 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 패널 제작을 위한 RIB 분할된 마스크 프레임 어셈블리를 제공함으로써 달성된다.
In another aspect, the present invention is a frame formed with a rib for preventing the central portion sagging produced in the manufacturing method; It is achieved by providing a RIB-divided mask frame assembly for fabricating a large-area AMOLED multi-faceted panel, in which a dividing mask is welded to each of the divided regions of the frame formed by Rib.
본 발명은 한 실시형태로 상기 Rib은 프레임의 장변을 분할하여 형성한 것을 특징으로 한다.
In one embodiment, the rib is formed by dividing the long side of the frame.
본 발명은 한 실시형태로 상기 Rib은 프레임의 단변을 분할하여 형성한 것을 특징으로 한다.
In one embodiment, the rib is formed by dividing a short side of a frame.
상기와 같은 본 발명은 다수개의 분할 마스크를 이용하여 마스크 프레임 어셈블리를 제조시 중앙부의 처짐을 방지하기 위해 프레임의 중앙부에 Rib을 형성하고, Rib 분할된 프레임에 맞게 제조된 마더글라스에 형성된 패턴에 따라 분할마스크의 마스크홀을 정밀하게 매칭시키면서 인장력을 가하여 용접함으로써 유기물 증착시 발생할 수 있는 쉐도우(Shadow) 현상을 방지하였고, 특히 용접시 분할마스크의 일부 한 Line 정도의 Cell을 손해를 보더라도 마스크를 분할하여 프레임에 마스크를 붙임으로서 마스크의 길이에 따른 품질적 문제(마스크 Uniformity)를 해결하여 고회상도 QVGA급 이상의 Mobile용 AMOLED나 TV용 AMOLED 마스크 프레임 어셈블리의 제조함으로써 대면적 4세대 이상 8세대 FMM(Fine Metal Mask)에 의한 AMOLED 대면적화를 이루었다는 장점과,According to the present invention as described above, a rib is formed in the center of the frame to prevent sagging of the center part when the mask frame assembly is manufactured using a plurality of split masks, and according to the pattern formed on the mother glass manufactured to fit the split frame. By precisely matching the mask hole of the split mask and applying a tensile force to prevent the shadow phenomenon that may occur during organic material deposition, in particular, the mask is divided even if the cell loss of a part of the split mask is damaged. By attaching a mask to the frame, it solves the quality problem (mask uniformity) according to the length of the mask and manufactures high resolution QVGA class mobile AMOLED or TV AMOLED mask frame assembly. The advantage of achieving large area of AMOLED by metal mask)
또한 Rib 분할된 프레임에 맞게 마더글라스를 분할하되, 매칭용 패턴의 정도를 유지하면서 Rib이 안착되게 중앙부에 홈이 형성된 마더글라스 지그에 일체화시키는 공정을 포함함으로써 마더글라스의 패턴과 마스크의 패턴을 이루는 홀을 정밀하게 일치시킬 수 있다는 장점과,In addition, the mother glass is divided according to the Rib-divided frame, and the mother glass jig and the mask jig are formed by integrating the mother jig with a groove formed in the center to allow the rib to be seated while maintaining the degree of the matching pattern. The ability to precisely match the holes,
또한 Rib 분할된 프레임의 개별 분할부에 분할마스크를 용접시 마스크를 2회 노광하여 프레임의 개별분할부에 해당하는 유효 영역에는 패턴노광 후 에칭하여 스트라이프(stripe)가 형성된 패턴마스크를 형성하고 나머지 미사용 영역은 인장시의 스트레스를 해소하기 위해 더미 노광후 에칭하여 스트레스 릴리프 슬롯(하프 에칭 또는 풀에칭)을 형성한 더미마스크를 형성하여, 프레임에 용접 후 미사용 영역인 더미 마스크는 제거하는 공정을 포함함으로써 마스크 재료인 상용 INVAR의 크기 문제를 해결하였다는 장점과,In addition, the mask is exposed twice when welding the split mask to the individual divided parts of the rib-divided frame, and the pattern mask having the stripe is formed by pattern exposure and etching in the effective area corresponding to the individual divided parts of the frame, and the remaining unused. The region includes a step of forming a dummy mask in which a stress relief slot (half etching or full etching) is formed by etching after dummy exposure to relieve stress in tension, and removing a dummy mask that is an unused region after welding to the frame. Advantages of solving the size problem of commercial INVAR mask material
또한 Rib 분할된 프레임의 개별 분할부에 분할마스크를 용접시 패턴마스크와 더미 마스크를 용접후 프레임에 용접후 유기물 증착에 사용되지 않는 미사용 영역인 더미 마스크는 다시 제거하는 공정을 포함함으로써 마스크 재료인 상용 INVAR의 크기 문제를 해결하였다는 장점과,In addition, the pattern mask and the dummy mask are welded to the individual partitions of the rib-divided frame, and the dummy mask, which is not used for organic material deposition after welding to the frame after welding, is removed. The advantage of solving the size problem of INVAR,
또한 Rib 분할된 프레임에 분할마스크를 용접시 그리퍼가 분할마스크의 양측단을 수평방향으로 인장력을 가하면서 용접후 유기물 증착에 사용되지 않는 미사용 영역인 더미 마스크만 제거하는 공정을 포함함으로써 마스크 재료인 상용 INVAR의 크기 문제를 해결하면서 마스크의 처짐을 방지하였다는 장점과, In addition, when welding the split mask to the rib split frame, the gripper applies a tensile force to both ends of the split mask in the horizontal direction to remove only the dummy mask which is not used for organic material deposition after welding. In order to solve the size problem of INVAR, it prevented the mask from sagging.
또한 Rib 분할된 프레임에 분할마스크를 용접시 그리퍼가 분할마스크의 양측단에 인장력을 가하면서 용접시 일측단은 수평방향으로 인장력을 가하고, Rib이 형성된 중앙부에서는 저마찰롤러를 구비한 수직방향그리퍼가 인장력을 가하면서 용접후 유기물 증착에 사용되지 않는 미사용 영역인 더미 마스크만 제거하는 공정을 포함함으로써 마스크 재료인 상용 INVAR의 크기 문제를 해결하면서 마스크의 처짐을 방지하고, 또한 기 용접된 분할 마스크의 손상 없이도 용접이 가능하다는 장점을 가져, In addition, the gripper applies tensile force to both ends of the split mask when welding the split mask to the rib-divided frame, and one end applies a tensile force in the horizontal direction during welding, and a vertical gripper having a low friction roller is provided at the center portion where the rib is formed. By removing the dummy mask, which is an unused area that is not used for organic material deposition after welding while applying tensile force, it prevents the mask from sagging while solving the size problem of commercial INVAR, which is a mask material, and also damages the pre-welded split mask. The advantage of welding without
종래 INVAR Coil 원재료 평탄도 문제, 소다라임 유리의 평탄도 및 열팽창 계수(약 3 * 10-6/도 (강화유리))의 문제, 소다라임 유리의 길이의 문제, 점노광을 이용한 양면 포토마스크를 이용한 빔 균일성(Beam Uniformity)의 한계문제, UV 노광시 발생되는 온도상승에 따른 냉각(Cooling) 문제 등에 따른 마스크(Mask) 품질과 균일성(Uniformity) 한계성을 극복에 의한 마스크(Mask) 포지션 위치정밀도(Position Accuracy)를 확보 문제, 마스크(Mask)를 인장 용접시에 장력에 의한 프레임(Frame)에 가해지는 힘에 의한 프레임(Frame) 변형 및 평탄도 변화 문제, 대면적 인바(INVAR) 및 강(Steel)의 평탄도 확보 문제, 마스크프레임어셈블리(Mask Frame Assembly)의 증착후 마스크 세척(Mask Cleaning)에 의한 재생공정과 마스크프레임어셈블리(Mask Frame Assembly)의 자동 물류 구성시 진동 및 떨림에 의한 마스크(Mask) 위치 반복성의 변화 등이 문제점과 같은 종래의 문제점을 모두 해결하여 경제성을 가지면서 대면적 AMOLED용 고정세를 가지는 마스크프레임어셈블리 제작함으로써 대면적의 AMOLED 패널 제조가 가능하다는 효과를 가진 유용한 발명으로 산업상 그 이용이 크게 기대되는 발명이다.
Conventional INVAR Coil raw material flatness problem, soda-lime glass flatness and thermal expansion coefficient (about 3 * 10-6 / degree (tempered glass)) problem, soda-lime glass length problem, double-sided photomask using point exposure Mask position position by overcoming mask quality and uniformity limitations due to limitations in beam uniformity used and cooling problems caused by temperature rise during UV exposure Problem of securing position accuracy, problem of deformation and flatness of frame due to force applied to the frame by tension during tension welding of mask, large area INVAR and steel (Steel) flatness problem, mask regeneration process by mask cleaning after deposition of mask frame assembly and mask due to vibration and vibration during automatic logistic configuration of mask frame assembly (Ma sk) It is a useful invention with the effect that large-area AMOLED panel can be manufactured by manufacturing mask frame assembly having high-definition for large-area AMOLED while solving economic problems by changing all the problems such as position repeatability. It is an invention that is expected to be greatly used in the industry.
도 1은 본 발명에 따른 한 실시예에 따른 마스크 프레임 어셈블리를 보인 예시도이고,
도 2는 본 발명에 따른 다른 실시예에 따른 마스크 프레임 어셈블리를 보인 예시도이고,
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 마스크 프레임 어셈블리의 제조시 마더 글라스와 마더글라스 지그 및 분할마스크의 연장형 장력도를 보인 예시도이고,
도 4는 본 발명에 사용되는 한 실시예에 따른 분할 마스크 구조를 보인 예시도이고,
도 5는 본 발명에 사용되는 다른 실시예에 따른 분할 마스크 구조를 보인 예시도이고,
도 6은 본 발명에 사용되는 분할 마스크의 연장형 장력인가를 보인 예시도이고,
도 7는 본 발명에 사용되는 분할마스크이 비연장형 장력인가를 보인 예시도이고,
도 8은 본 발명에 따른 Rib이 형성된 프레임에 분할마스크를 용접하는 순서를 보인 예시도이고,
도 9는 본 발명에 사용되는 마더글라스를 보인 예시도이고,
도 10는 본 발명에 따른 마더글라스를 마더글라스지그에 설치시의 잘못 접착된 예 및 바르게 접착된 예를 보인 예시도이고,
도 11은 본 발명에 따른 마더글라스의 제조공정도이고,
도 12는 마스크프레임어셈블리를 이용 유기물 증착기에서 AMOLED를 제조하는 원리를 보인 예시도이고,
도 13은 종래의 분할마스크를 이용한 마스크프레임어셈블리 제조공정도이고,
도 14는 종래 방법에 따라 마스크프레임어셈블리를 제조시 마더글라스 상부에 분할 마스크를 위치시킨후 인장력을 가하여 매칭하는 구조를 보인 예시도이고,
도 15는 종래 마스크프레임어셈블리를 제조시 마더글라스의 패턴과 분할마스크의 홀을 매칭시키는 원리를 보인 예시도이고,
도 16은 종래 방법에 따라 프레임의 장변에 분할마스크가 용접된 대면적 마스크프레임어셈블리를 보인 예시도이고,
도 17은 종래 방법에 따라 프레임의 단변에 분할마스크가 용접된 대면적 마스크프레임어셈블리를 보인 예시도이다.1 is an exemplary view showing a mask frame assembly according to an embodiment according to the present invention,
2 is an exemplary view showing a mask frame assembly according to another embodiment according to the present invention;
3 is an exemplary view showing an extended tension diagram of a mother glass, a mother glass jig and a split mask when manufacturing a mask frame assembly according to an embodiment of the present invention;
4 is an exemplary view illustrating a split mask structure according to an embodiment used in the present invention.
5 is an exemplary view showing a split mask structure according to another embodiment used in the present invention,
Figure 6 is an exemplary view showing the application of the extended tension of the splitting mask used in the present invention,
7 is an exemplary view showing whether the division mask used in the present invention is non-extended tension,
8 is an exemplary view showing a sequence of welding a split mask on a frame formed with a rib according to the present invention,
9 is an exemplary view showing a mother glass used in the present invention,
10 is an exemplary view showing an example of incorrectly bonded and correctly bonded when the mother glass according to the present invention is installed on the mother jig,
11 is a manufacturing process of the mother glass according to the present invention,
12 is an exemplary view showing a principle of manufacturing AMOLED in an organic vapor deposition apparatus using a mask frame assembly,
13 is a manufacturing process diagram of a mask frame assembly using a conventional division mask,
FIG. 14 is an exemplary view showing a structure in which a split mask is positioned on an upper portion of a mother glass and a matching force is applied when a mask frame assembly is manufactured according to a conventional method.
15 is an exemplary view illustrating a principle of matching a pattern of a mother glass and a hole of a split mask when a conventional mask frame assembly is manufactured.
16 is an exemplary view showing a large-area mask frame assembly in which a split mask is welded to a long side of a frame according to a conventional method.
17 is an exemplary view showing a large-area mask frame assembly in which a split mask is welded to a short side of a frame according to a conventional method.
이하 본 발명의 실시 예인 구성과 그 작용을 첨부도면에 연계시켜 상세히 설명하면 다음과 같다. 또한 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
Hereinafter, the configuration and the operation of the embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.
도 1은 본 발명에 따른 한 실시예에 따른 마스크 프레임 어셈블리를 보인 예시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 다른 실시예에 따른 마스크 프레임 어셈블리를 보인 예시도이다. 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 마스크 프레임 어셈블리는 프레임(1)의 중앙부를 가로지르는 Rib이 형성하여 프레임(1)에 용접되는 분할마스크(2)의 영역부를 2개로 나눈 형상임을 알 수 있고, Rib에 의해 분할된 양측 공간 영역에 각각의 분할 마스크가 프레임(1) 및 RiB에 용접되어 형성된 구조임을 알 수 있다. 또한 Rib에 의해 분할된 공간면에 분할마스크(2)를 그리퍼(3)로 인장하여 용접시 도 1과 같이 Rib이 프레임(1)의 장변을 분할하여 분할마스크(2)를 장변방향으로 인장하여 용접하는 형태와 도 2와 같이 Rib이 프레임(1)의 단변을 분할하여 분할마스크(2)를 단변 방향으로 인장하여 용접하는 방법이 있다. 필요에 따라 선택한 방법으로 용접하면 된다. 이와 같이 구성됨으로 인해 마스크의 중앙부 처짐을 방지 또는 마스크 프레임 어셈블리의 중앙부 처짐을 방지하게 되며, 마스크 Size에 따른 재료수급 및 노광/에칭된 마스크의 품질의 완정성을 확보하여 대면적 4세대 이상 8세대 FMM(Fine Metal Mask)에 의한 AMOLED 대면적화를 이루게 된다
1 is an exemplary view showing a mask frame assembly according to an embodiment according to the present invention, Figure 2 is an exemplary view showing a mask frame assembly according to another embodiment according to the present invention. As shown in the figure, the mask frame assembly according to the present invention may be formed by forming a rib crossing the central part of the
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 마스크 프레임 어셈블리의 제조시 마더 글라스와 마더글라스 지그 및 분할마스크의 연장형 장력도를 보인 예시도이다. 여기서 연장형이란 프레임의 수평방향 양측단쪽에 설치된 그리퍼(3)까지 분할마스크의 양측단이 연장되어 그리퍼(3)가 파지하여 분할마스크에 장력을 인가하는 것으로 이와 같이 장력인가 후 하부에 위치한 마더글라스(4)와의 매칭이 끝나면 분할마스크를 프레임에 용접하도록 한다는 개념이다. 3 is an exemplary view showing an extended tension diagram of a mother glass, a mother glass jig and a split mask when manufacturing a mask frame assembly according to an embodiment of the present invention. Here, the extended type means that both ends of the splitting mask are extended to the
이와 상대되는 개념으로 비연장형 장력 인가형태가 있는데, 비연장형이란 프레임의 수평방향 일측단쪽에 설치된 그리퍼(3)까지 분할마스크의 일측단이 연장되어 그리퍼(3)가 분할마스크의 일측단을 파지하여 장력을 가하고, 분할마스크의 타측단은 수직방향에 위치한 그리퍼(3)가 프레임의 Rib을 지나 설치된 저마찰롤러(6) 지점에서 상부방향으로 꺽인 분할마스크를 수직방향 그리퍼(3)가 파지하여 장력을 인가한 상태에서 하부에 위치한 마더글라스(4)와의 매칭이 끝나면 분할마스크를 프레임에 용접하도록 하는 형태를 말한다. 구체적인 실시형태는 후술한다.In contrast to this, there is a non-extension type of tension application. An unextended type extends one end of the division mask to a
도시된 바와 같이 본 발명의 한 실시예에 따른 마스크 프레임 어셈블리는 Rib이 형성하여 프레임 상부에 분할 마스크가 양측에서 연장형 방식으로 그리퍼(3)에 의해 양측단 방향으로 파지하여 장력이 인가된 상태에서 얹혀지고, 그 하부에는 프레임상에 Rib이 형성된 분할 마스크에 대응하게 2개로 분할 형성된 마더글라스(4)가 위치하고, 2개로 나누어진 마더글라스(4) 하부에는 프레임에 형성된 Rib이 안착되어 지지되도록 Rib 회피구(51)가 형성된 마더글라스 지스(Jig)(5)가 위치한다. 마더글라스 지그(5)는 INVAR 재질의 지그(Jig)이다.
As shown, the mask frame assembly according to the exemplary embodiment of the present invention is formed in a state in which the rib is formed so that the split mask is gripped in both directions by the
도 3에 도시된 한 실시예 따른 분할마스크(2)는 일반적인 분할마스크가 아닌 본 발명에 따라 프레임의 중앙부에 형성된 Rib에 의해 분할된 분할영역에 설치되는 부분만 패턴이 형성되고, 그 외의 분할마스크 부분은 커팅되어 제거되도록 패턴이 형성되지 않은 것을 사용하였다. 이하 도 4 및 5에 따라 보다 구체적으로 본 발명에 따른 분할마스크 형태를 살펴본다. According to the exemplary embodiment of the present invention, the
도 4는 본 발명에 사용되는 한 실시예에 따른 분할 마스크 구조를 보인 예시도이고, 도 5는 본 발명에 사용되는 다른 실시예에 따른 분할 마스크 구조를 보인 예시도를 도시하고 있다.
4 is an exemplary view showing a split mask structure according to an embodiment used in the present invention, and FIG. 5 is an exemplary view showing a split mask structure according to another embodiment used in the present invention.
먼저 도 4와 같이 본 발명에 사용되는 분할마스크는 프레임에 용접되어 마스크프레임어셈블리를 형성할 일정영역의 마스크 표면에는 먼저 1차 노광하여 사용 패턴영역을 형성하고 나머지 미사용 영역은 그리퍼에 의한 장력 인가시 스트레스를 해소하여 장력 균형을 맞추기 위해 2차로 노광하여 에칭함으로써 1차 노광된 마스크 영역에는 패턴 슬롯이 형성된 패턴 마스크를 형성하고, 2차 노광된 마스크 영역에는 스트레스 릴리프 슬롯이 형성된 더미 마스크를 형성하여, 프레임에 용접 후 미사용 영역인 더미 마스크는 커팅하여 제거하도록 형성된다. 즉, 분할마스크의 일측 패턴마스크(21)는 프레임 및 프레임의 중앙부에 형성된 Rib에 용접되고, Rib 부분에 용접되지 않은 여분의 더미마스크(22)는 용접이 끝나면 커팅하여 제거하게 된다. 이때 스트레스 릴리프 슬롯은 하프에칭 또는 풀에칭하여 형성한다. First, as shown in FIG. 4, the division mask used in the present invention is first welded to a frame to form a pattern pattern by first exposing the mask surface of a predetermined region to form a mask frame assembly, and the remaining unused region is applied when the tension is applied by the gripper. In order to relieve stress and balance the tension, the second exposure and etching are performed to form a pattern mask in which a pattern slot is formed in the first exposed mask region, and a dummy mask in which a stress relief slot is formed in the second exposed mask region, After welding to the frame, the unused dummy mask is formed to be cut out. That is, one
이때 노광시 Pattern 부분으로 이용되는 부분은 반드시 한번의 노광을 통해 이루어 지게 한다. 이와 같은 방식은 분할마스크 재료인 INVAR나 SUS 재료가 Frame의 인장방향과 용접방향의 길이보다 긴 재료 확보가능시에 하는 것으로 상기와 같이 패턴마스크부와 비 패턴부인 더미마스크부를 나누어 2회에 Etching 시키는 것이다.
At this time, the part used as the pattern part during the exposure must be made through one exposure. In this way, the INVAR or SUS material, which is a split mask material, is capable of securing a material longer than the length of the frame in the tensile direction and the welding direction. Thus, the pattern mask part and the dummy mask part which are not pattern parts are divided and etched twice. will be.
도 5는 도시된 바와 같이 사전에 각각 형성된 패턴마스크(21)와 더미마스크(22)를 용접하여 분할마스크를 제조한 것으로, 도 4와 같이 하나의 분할마스크에 2번 노광후 각기 다른 패턴 슬롯과 스트레스 릴리프 슬롯을 형성하지 않고, 처음부터 다른 마스크를 구비하여 용접하여 하나의 분할마스크를 완성한 것이다. 즉, 패턴이 에칭된 패턴마스크(21)와 스트레스 릴리프 슬롯이 형성된 더미마스크(22)를 각각 제작 후 이를 용접하여 하나의 분할마스크를 완성한 것이다. 이때 스트레스 릴리프 슬롯은 하프에칭 또는 풀에칭하여 형성한다. 이와 같은 방식은 분할마스크 재료인 INVAR나 SUS 재료가 Frame의 인장방향과 용접방향의 길이보다 긴 재료 확보가 어려울 경우에 하는 것이다.
FIG. 5 shows a split mask manufactured by welding the
상기 도 4 및 5에 도시된 것처럼 본 발명은 분할마스크를 노광유효영역에서 안정된 품질을 확보할 수 있는 부분을 기준하여 마스크 패턴의 Uniformity확보를 통해 QVGA이상의 고회상도 Mask Frame을 안정되게 공급함으로써 마스크 처짐의 문제, 마스크길이문제, 노광영역 문제, 포토마스크의 길이가 길어짐에 따른 품질 및가격문제, 열팽창에 따른 품질문제 등을 극복하는 대면적용 Frame Assembly를 제작하는데 목적이 있다. 그 이유는 본 발명은 프레임을 분할하여 Rib을 형성함으로 인해 분할마스크 전체가 필요하지 않으므로 마스크전체에 마스크패턴을 형성할 필요가 없기 때문이다. 물론 분할마스크 전체에 패턴마스크를 노광후 에칭하여 사용할 수도 있지만 이 경우 종래 노광장치가 분할 마스크 전체를 균일하게 노광하기 어려워 정밀한 노광을 하기 위해서는 보다 정밀한 노광 공정이 필요하거나 전용노광기를 확보해야 하나 이는 분할마스크 제작상의 단가만 올라가고 바람직하지 않다. 또한 필요없는 자원의 낭비 및 마스크패턴 에칭에 따르는 단가의 상승이 있으므로 본 발명처럼 더미패턴만 형성하는 것이 가장 좋다. As shown in FIGS. 4 and 5, the present invention provides a mask by stably supplying a high resolution mask frame of QVGA or higher through securing the uniformity of the mask pattern on the basis of a part of the division mask to ensure stable quality in the exposure effective area. It aims to manufacture large-area frame assembly that overcomes problems of deflection, mask length, exposure area, quality and price of photomasks and thermal expansion. The reason is that the present invention does not need to form a mask pattern on the entire mask because the entire division mask is not necessary because of forming the rib by dividing the frame. Of course, it is possible to use the pattern mask after exposing and etching the entire division mask, but in this case, it is difficult for the conventional exposure apparatus to expose the entire division mask uniformly. Therefore, in order to perform precise exposure, a more accurate exposure process or a dedicated exposure machine must be secured. Only the cost of manufacturing the mask goes up, which is undesirable. In addition, since there is an increase in unit cost due to unnecessary waste of resources and mask pattern etching, it is best to form only a dummy pattern as in the present invention.
즉, 도시된 본 발명은 도시상 종래의 기술을 설명시 보여준 분할마스크와 동일하거나 작은 것처럼 보이나 실제로는 그 이상의 크기를 가질수 있는 것이어서 종래의 노광기를 이용시 전체 분할마스크의 영역을 노광시키기 어렵다. 설령 노광이 가능하다고 하더라도 노광으로 만들어진 Mask의 미세패턴의 정도롤 확보하는데 한계성이 있기 때문이다.In other words, the present invention shown may appear to be the same or smaller than the dividing mask shown in the description of the prior art, but may actually have a size larger than that of the dividing mask. Even if exposure is possible, there is a limit in securing the degree of fine pattern of the mask made by exposure.
도 6은 본 발명에 사용되는 분할 마스크의 연장형 장력인가를 보인 예시도이고, 도 7는 본 발명에 사용되는 분할마스크이 비연장형 장력인가를 보인 예시도이인데, 도시된 바와 같이 도 6은 분할마스크의 양측을 그리퍼 즉 본 발명에서는 X그리퍼라고 기재한 수평방향의 그리퍼가 파지하여 장력을 인가후 용접하도록 하는 일반적인 수평방향 연장형 장력인가 방식이고, 도 7은 Rib에 의해 분할된 영역을 각기 따로 장력을 인가하여 용접하도록 하는 방식으로, 이 방식은 Mask를 한번에 노광하여 Mask 길이를 불필요하게 길게 가져갈 필요가 없으며 프레임 끝단 일측면은 종전과 같이 그리퍼가 분할마스크의 일측을 파지하고, 타측인 Rib이 형성된 프레임은 저마찰롤러(6)를 이용 분할마스크를 상부방향으로 꺽은 후 상부쪽에서 위치한 본 발명에서는 Y그리퍼라고 기재된 그리퍼가 장력을 인가하여 용접하도록 한 비연장 장력 인가 방식이다. 이와 같은 비연장 장력인가 방식은 기 용접된 분할마스크에 간섭이 발생하지 않아 마스크프레임어셈블리의 품질이 좋아지게 된다. 저마찰롤러(6)는 경우에 따라 Y그리퍼와 하나의 장치로 구성할 수도 있고, 독립된 장치로 구성할 수 있다. 하지만 이와 같은 그리퍼와 저마찰롤러(6)의 세부 설치 구성은 본 발명의 핵심이 아니므로 생략한다. 다만 이와 같은 개념의 장치가 구비되기만 하면 된다.
Figure 6 is an exemplary view showing the application of the extended tension of the split mask used in the present invention, Figure 7 is an exemplary view showing that the split mask used in the present invention is not extended tension, as shown in Figure 6 is a split mask In the present invention, the gripper in the present invention is a general horizontal extension type tension application method in which the gripper in the horizontal direction described as the X gripper is gripped to apply a tension and then welded, and FIG. 7 shows the tension divided by the ribs separately. In this method, it is not necessary to expose the mask at a time to make the length of the mask unnecessarily long, and the gripper grips one side of the split mask as before, and the other side rib is formed. The frame is a Y gripper in the present invention located in the upper side after bending the splitting mask upward using the low friction roller (6). It described a non-extending tension applied to the gripper system to the welding by applying a tension. In this non-extension tension application method, the interference of the pre-welded split mask does not occur, thereby improving the quality of the mask frame assembly. The
도 8은 본 발명에 따른 Rib이 형성된 프레임에 분할마스크를 용접하는 순서를 보인 예시도이다. 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 분할마스크는 프레임의 중앙부부터 개별 분할마스크에 연장형 방식 또는 비연장형방식으로 장력을 인가후 용접하고, 분할마스크의 필요 없는 더미패턴부를 커팅하여 제거하면서 작업한다. 작업순서는 Rib에 의해 나뉘어진 프레임의 분할영역중 일측영역에 분할마스크를 설치하고, 이후 타측 프레임의 분할 영역에 분할마스크를 설치하고, 다시 일측 분할 영역에 분할마스크를 설치하면서 분할된 프레임의 중앙부에서 프레임의 양측 방향으로 균형있게 분할마스크를 용접해나가는 방식으로 한다. 분할 마스크 용접 순서는 도면상의 (1-1), (1-2)를 먼저 붙여 프레임(Frame) 변형에 의한 위치성 왜곡을 피하고 그 다음 대칭으로 (2-1), 및 (2-2)를 용접하여 마지막 (N-1), (N Mask)까지 위치결정 및 용접하면 완성된다. 이와 같이 용접함으로 인해 완성된 마스크프레임어셈블리는 뒤틀림이 생기지 않고 균일한 평탄도를 가지게 되어 AMOLED 디스플레이 패널을 제조시 쉐도우 현상등이 발생하지 않게 되어 고품질의 패널을 양산하게 된다.
8 is an exemplary view showing a procedure of welding the split mask to the frame formed with a rib according to the present invention. As shown in the drawing, the division mask according to the present invention works by applying tension to the individual division masks from the center of the frame in an extended or non-extension manner, and cutting and removing unnecessary dummy pattern portions of the division masks. The work order is to install a split mask on one side of the divided regions of the frame divided by Rib, and then install the split mask on the divided region of the other frame, and then install the split mask on one side of the divided frame. In this way, the splitting mask is welded in both directions of the frame in a balanced manner. The split mask welding sequence is preceded by (1-1) and (1-2) on the drawing to avoid positional distortion caused by frame deformation and then symmetrically (2-1) and (2-2). It is completed by welding and positioning and welding to the last (N-1), (N Mask). As a result of welding, the completed mask frame assembly has a uniform flatness without distortion, so that no shadow phenomenon occurs in manufacturing AMOLED display panels, thereby producing high quality panels.
도 9는 본 발명에 사용되는 마더글라스 Matching용 Pattern이 만들어진 예시도이고, 도 10은 본 발명에 따른 마더글라스를 마더글라스 지그에 서로 분할된 마드글라스를 아무리 위치결정을 잘하더라도 도 10의 (A)에서 보듯이 Yp1과 Yp2, Xp1과 Xp2 및 Thetap1과 Thetap2를 정위치에 일체화 할 수 없으며 도 10의 (B)에서처럼 Yp1과 Yp2, Xp1과 Xp2 및 Thetap1과 Thetap2를 정위치에 일체화 할 수 있는 마드글라스를 만드는 기술이 필요하며 도 11은 본 발명에 따른 마더글라스의 제조공정도이고, FIG. 9 is an exemplary view of a mother matching pattern used in the present invention, and FIG. 10 is a diagram of FIG. 10 no matter how well positioned the mother glass is placed on the mother jig. As shown in), Yp1 and Yp2, Xp1 and Xp2 and Thetap1 and Thetap2 cannot be integrated in place, and as shown in (B) of FIG. A technique for making glass is required and FIG. 11 is a manufacturing process diagram of the mother glass according to the present invention.
도시된 바와 같이 본 발명에 적용되는 마더글라스는 일반적인 마더글라스가 아닌 중앙부에 Rib이 형성된 프레임에 맞게 Rib의 영역을 제외하고 패턴이 인쇄된 마더글라스를 나누어 마더글라스 지그에 접착한 것으로, 이와 같이 마더글라스를 정확히 마더글라스 지그에 접착하여 일체화시키지 않으면 분할마스크와 마더글라스간을 매칭시 정밀한 매칭이 이루어지지 않는다 이를 극복하기 위해 한 장으로 Pattern이 형성된 도 11의 마드글라스(4)를 Rib 회피구(51)가 가공된 INVAR 혹은 철로된 마드글라스 지그(5)상에 로딩(Loading)한 다음 실링(Sealing)재를 이용하여 마드글라스 지그(5)와 마드글라스(4)를 접합하고, 프레임의 Rib의 간섭부를 레이저컷(LASER Cut)이나 다이아몬드(Diamond) 날을 이용하여 제거함으로써 프레임의 Rib(11)이 간섭을 피할 수 있도록 Rib 회피구(51)를 형성하며 비록 두 Pattern이라 할지라도 위치결정성을 전혀 잃지 않는 마더글라스 지그(Mother Glass Jig)를 구성하며 마드글라스 지그(5)는 열팽창을 최소화 할수 있도록 INVAR나 열팽창 작은 강종류를 사용하여 정밀한 위치결정된 마드글라스 지그를 완성한다.As shown, the mother glass applied to the present invention is bonded to the mother jig by dividing the mother glass printed with the pattern except for the region of the rib in accordance with the frame in which the rib is formed in the center instead of the general mother glass. If the glass is not accurately bonded to the mother jig and integrated, the matching between the split mask and the mother glass will not be performed accurately. To overcome this problem, replace the
이와 같은 작업이 완료되면 본 발명에 따른 분할마스크를 연장형 또는 비연장형 방식으로 장력을 인가하여 위치시킨 후, 상부에 위치한 카메라(미도시)를 통해 마스크의 패턴 홀을 통해 하부에 위치한 마더글라스의 패턴이 유효 범위안에 있게 되면 상부에 위치한 용접장치(미도시됨)를 이용 순치적으로 용접하면서 마스크패턴부만 프레인에 용접하고, 더미패턴부는 용접이 끝나면 제거하여 마스크프레임어셈블리를 제조하게 된다.When such a work is completed, the split mask according to the present invention is positioned by applying a tension in an extended or non-extended manner, and then the mother glass of the mother glass located below the pattern hole of the mask through a camera (not shown) located above. When the pattern is within the effective range, only the mask pattern portion is welded to the plane while the welding device (not shown) located at the upper portion is welded, and the dummy pattern portion is removed after the welding to manufacture the mask frame assembly.
본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
The present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiments, and various modifications can be made by any person having ordinary skill in the art without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. Of course, such changes will fall within the scope of the claims.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
(1) : 프레임 (2) : 분할마스크
(3) : 그리퍼 (4) : 마더글라스
(5) : 마더글라스 지그 (6) : 저마찰롤러
(11) : Rib (21) : 패턴마스크
(22) : 더미마스크 (51) : Rib 회피구<Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
(1): frame (2): split mask
(3): Grippers (4): Mother Glass
(5): Mother glass jig (6): Low friction roller
(11): Rib (21): Pattern Mask
(22): Dummy Mask (51): Rib Evasion
Claims (14)
(B) 상기 Rib에 해당하는 영역을 제외한 부분에만 마스크패턴이 인쇄된 마더글라스를 Rib 회피구가 형성된 마더글라스 지그에 일체화하는 단계와;
(C) 마더글라스와 일체화된 마더글라스 지그를 상기 프레임 하부에 위치시킨 후 분할마스크를 프레임에 장력을 인가하여 위치시킨 후, 하부에 위치한 마더글라스의 패턴과 매칭시키는 단계와;
(D) 매칭된 분할마스크를 용접하는 단계;를 거치는 것을 특징으로 하는 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 TV 패널 제작 및 모바일용 패널 제작을 위한 분할된 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법.
(A) forming a rib to prevent the central portion sag to have a divided frame installation space;
(B) integrating a mother glass printed with a mask pattern only in a portion except for the region corresponding to the Rib to a mother jig having a rib avoiding tool;
(C) placing a mother jig integrated with the mother glass below the frame, placing a split mask by applying tension to the frame, and matching the pattern of the mother glass located below the mother glass jig;
(D) welding a matched split mask; a method of manufacturing a divided mask frame assembly for producing a large area AMOLED multi-faceted TV panel and a panel for mobile.
상기 (B)단계는 Rib 회피구가 형성된 마더글라스 지그 상면에, 프레임에 형성된 Rib의 영역을 제외하고 패턴이 인쇄된 한 장으로 이루어진 마더글라스를 올려놓은 후 접착제를 이용 마더글라스 지그 상면과 접착하고, 이후 커팅공정을 통해 Rib 회피구에 해당하는 영역의 마더글라스를 제거하여 일체화시킴으로써 동일한 마드글라스 위치결정 정도를 확보하는 단계인 것을 특징으로 하는 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 TV 패널 제작 및 모바일용 패널 제작을 위한 분할된 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법.
The method according to claim 1,
In the step (B), the mother glass jig is formed on the top surface of the mother jig on which the rib avoidance is formed, except for the region of the rib formed on the frame, and then bonded to the top surface of the mother jig using the adhesive. Afterwards, by cutting and integrating the mother glass in the area corresponding to the rib avoidance sphere, the step of securing the same mad glass positioning degree is to produce a large area AMOLED multi-faceted TV panel production and mobile panel production Method of manufacturing a divided mask frame assembly for.
상기 (C)단계에서 장력 인가는 프레임의 수평방향 양측단쪽에 설치된 그리퍼까지 분할마스크의 양측단이 연장되어 수평방향 그리퍼가 분할마스크를 파지하여 장력을 인가하는 연장형 장력 인가방식으로 구성한 것을 특징으로 하는 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 TV 패널 제작 및 모바일용 패널 제작을 위한 분할된 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법.
The method according to claim 1,
In the step (C), the tension is applied to the gripper provided at both ends of the horizontal direction of the frame, so that both ends of the split mask are extended, and the horizontal gripper is configured by the extended tension applying method to apply the tension by holding the split mask. A method of manufacturing a divided mask frame assembly for producing a large-area AMOLED multi-faceted TV panel and a panel for mobile.
상기 (C)단계에서 장력 인가는 프레임의 수평방향 일측단쪽에 설치된 그리퍼까지 분할마스크의 일측단이 연장되어 그리퍼가 분할마스크의 일측단을 파지하여 장력을 가하고, 분할마스크의 타측단은 수직방향에 위치한 그리퍼가 프레임의 Rib을 지나 설치된 저마찰롤러 지점에서 상부방향으로 꺽인 분할마스크를 수직방향 그리퍼가 파지하여 장력을 인가하는 비연장형 장력 인가방식으로 구성한 것을 특징으로 하는 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 TV 패널 제작 및 모바일용 패널 제작을 위한 분할된 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법.
The method according to claim 1,
In the step (C), the tension is applied so that one end of the split mask extends to the gripper installed at one end of the horizontal direction of the frame, and the gripper grips one end of the split mask to apply tension, and the other end of the split mask is placed in the vertical direction. Large area AMMOLED multi-sided TV panel production, characterized by the non-extension tension application method in which the gripper is placed in the upper direction at the low friction roller point installed through the rib of the frame and gripper is applied by the vertical gripper to apply tension. And a method of manufacturing a divided mask frame assembly for manufacturing a mobile panel.
상기 (D)단계는 마더글라스의 패턴과 매칭된 분할마스크를 용접후 마스크패턴이 형성되지 않은 분할마스크의 더미패턴 영역을 커팅하여 제거하는 단계인 것을 특징으로 하는 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 TV 패널 제작 및 모바일용 패널 제작을 위한 분할된 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법.
The method according to claim 1,
Step (D) is a step of fabricating a large area AMOLED multi-sided TV panel, characterized in that the step of cutting the dummy pattern area of the divided mask is not formed after welding the split mask matched with the pattern of the mother glass. Method of manufacturing a divided mask frame assembly for manufacturing a panel for mobile.
상기 분할마스크는 한 장의 마스크가 서로 다른 패턴을 가지게 2차례 노광하되, 1차로 한번에 노광된 마스크 영역에는 패턴 슬롯이 형성된 패턴 마스크를 형성하고, 2차 노광된 나머지 마스크 영역에는 마스크에 장력인가시 스트레스를 해소하여 장력 균형을 맞추기 위한 스트레스 릴리프 슬롯이 형성된 더미 마스크를 형성한 것을 특징으로 하는 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 TV 패널 제작 및 모바일용 패널 제작을 위한 분할된 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법.
The method according to claim 1,
The divided mask is exposed two times so that one mask has a different pattern, but a mask formed with a pattern slot is formed in a mask area exposed to the first at a time, and stress is applied to the mask in the remaining mask areas exposed to the second exposure. A method of manufacturing a divided mask frame assembly for producing a large-area AMOLED multi-faceted TV panel and a panel for mobile, characterized in that to form a dummy mask formed with a stress relief slot for balancing the tension to solve the problem.
상기 분할마스크는 패턴 슬롯이 형성된 패턴 마스크와, 마스크에 장력인가시 스트레스를 해소하여 장력 균형을 맞추기 위한 스트레스 릴리프 슬롯이 형성된 더미 마스크를 용접하여 일체화 시킨 것을 특징으로 하는 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 TV 패널 제작 및 모바일용 패널 제작을 위한 분할된 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법.
The method according to claim 1,
The division mask is a large-area AMOLED multi-sided TV panel fabrication, characterized in that the pattern mask formed with a pattern slot and the dummy mask formed with a stress relief slot for balancing the tension when the tension applied to the mask is welded and integrated. And a method of manufacturing a divided mask frame assembly for manufacturing a mobile panel.
상기 (D)단계는 Rib에 의해 나뉘어진 프레임의 분할영역 중 한쪽 영역에 분할마스크를 설치하고, 이후 다른측 프레임의 분할 영역에 분할마스크를 설치하고, 다시 한쪽영역에 분할마스크를 설치하는 방식으로 분할된 프레임의 중앙부에서 프레임의 양측 방향으로 균형있게 분할마스크를 용접하는 것을 특징으로 하는 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 TV 패널 제작 및 모바일용 패널 제작을 위한 분할된 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법.
The method according to claim 1,
In the step (D), a partition mask is installed in one region of the divided regions of the frame divided by Rib, and then a partition mask is installed in the partition region of the other frame, and a partition mask is installed in one region again. A method of manufacturing a divided mask frame assembly for producing a large-area AMOLED multi-faceted TV panel and a panel for mobile, characterized in that the split mask is welded in both directions of the frame in the center of the divided frame.
상기 Rib은 프레임의 장변을 분할하여 형성한 것을 특징으로 하는 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 TV 패널 제작 및 모바일용 패널 제작을 위한 분할된 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법.
The method according to claim 1,
The rib is a method of manufacturing a divided mask frame assembly for producing a large area AMOLED multi-faceted TV panel and mobile panel, characterized in that formed by dividing the long side of the frame.
상기 Rib은 프레임의 단변을 분할하여 형성한 것을 특징으로 하는 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 TV 패널 제작 및 모바일용 패널 제작을 위한 분할된 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법.
The method according to claim 1,
Wherein the rib is formed by dividing the short side of the large area AMOLED multi-faceted TV panel manufacturing method for manufacturing a divided mask frame assembly for mobile panel production.
상기 스트레스 릴리프 슬롯은 하프에칭 또는 풀에칭된 것을 특징으로 하는 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 TV 패널 제작 및 모바일용 패널 제작을 위한 분할된 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법.
The method according to claim 6 or 7,
Wherein said stress relief slot is half-etched or full-etched. A method of manufacturing a divided mask frame assembly for manufacturing a large-area AMOLED multi-faceted TV panel and a panel for mobile.
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Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102881652A (en) * | 2011-08-25 | 2013-01-16 | 株式会社汉松 | Segmentation mask framework components manufactured by AMOLED panel manufacturing |
| CN102903730A (en) * | 2011-08-19 | 2013-01-30 | 株式会社汉松 | Mask frame assembly used for organic deposition and package, and manufacturing method and device thereof |
| KR20180027691A (en) * | 2016-09-06 | 2018-03-15 | 삼성디스플레이 주식회사 | Division mask |
| KR20180030299A (en) * | 2016-09-12 | 2018-03-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | Division mask |
| KR20190085277A (en) * | 2018-01-10 | 2019-07-18 | 주식회사 티지오테크 | Supporter and producing system of mask integrated frame comprising the same |
| WO2022092846A1 (en) * | 2020-10-30 | 2022-05-05 | 에이피에스홀딩스 주식회사 | Deposition mask stick intermediate |
| KR20230151649A (en) | 2022-04-26 | 2023-11-02 | 주식회사 한송네오텍 | Manufacturing method of high-resolution large area mask frame assembly using partial pattern divided mask, and its high-resolution large area mask frame assembly |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019045240A1 (en) * | 2017-09-01 | 2019-03-07 | 주식회사 티지오테크 | Method for producing frame-integrated mask |
| KR102301332B1 (en) * | 2019-11-14 | 2021-09-14 | 주식회사 오럼머티리얼 | Producing method of template for supporting mask and producing method of mask integrated frame |
| CN113059290B (en) * | 2021-02-19 | 2022-12-09 | 福建华佳彩有限公司 | Method for processing mask plate through displacement control |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20080054741A (en) * | 2006-12-13 | 2008-06-19 | 엘지디스플레이 주식회사 | Frame mask assembly for organic light emitting device and method for manufacturing the same |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100459220C (en) * | 2002-09-20 | 2009-02-04 | 株式会社半导体能源研究所 | Fabrication system and manufacturing method of light emitting device |
| JP5151004B2 (en) * | 2004-12-09 | 2013-02-27 | 大日本印刷株式会社 | Metal mask unit and manufacturing method thereof |
| KR20100026655A (en) * | 2008-09-01 | 2010-03-10 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | Mask for thin film deposition and manufacturing method of oled using the same |
-
2010
- 2010-08-03 KR KR1020100074928A patent/KR100989321B1/en active IP Right Grant
-
2011
- 2011-07-21 CN CN201110205061.8A patent/CN102347456B/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-07-26 TW TW100126482A patent/TWI472027B/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20080054741A (en) * | 2006-12-13 | 2008-06-19 | 엘지디스플레이 주식회사 | Frame mask assembly for organic light emitting device and method for manufacturing the same |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102903730A (en) * | 2011-08-19 | 2013-01-30 | 株式会社汉松 | Mask frame assembly used for organic deposition and package, and manufacturing method and device thereof |
| KR101295354B1 (en) | 2011-08-19 | 2013-08-12 | (주)한 송 | Mask frame assembly for evaporation and pssivation for manufacturing White OLED panel, manufacturing method and apparatus thereof |
| CN102903730B (en) * | 2011-08-19 | 2016-07-06 | 株式会社汉松 | Organic deposit and encapsulation mask frame, its manufacture method and equipment |
| CN102881652B (en) * | 2011-08-25 | 2015-02-11 | 株式会社汉松 | Segmentation mask framework components manufactured by AMOLED panel manufacturing |
| CN102881652A (en) * | 2011-08-25 | 2013-01-16 | 株式会社汉松 | Segmentation mask framework components manufactured by AMOLED panel manufacturing |
| KR102642345B1 (en) * | 2016-09-06 | 2024-02-29 | 삼성디스플레이 주식회사 | Division mask |
| KR20180027691A (en) * | 2016-09-06 | 2018-03-15 | 삼성디스플레이 주식회사 | Division mask |
| KR20180030299A (en) * | 2016-09-12 | 2018-03-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | Division mask |
| KR102640219B1 (en) | 2016-09-12 | 2024-02-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | Division mask |
| KR102371174B1 (en) * | 2018-01-10 | 2022-03-08 | 주식회사 오럼머티리얼 | Supporter and producing system of mask integrated frame comprising the same |
| KR20190085277A (en) * | 2018-01-10 | 2019-07-18 | 주식회사 티지오테크 | Supporter and producing system of mask integrated frame comprising the same |
| WO2022092846A1 (en) * | 2020-10-30 | 2022-05-05 | 에이피에스홀딩스 주식회사 | Deposition mask stick intermediate |
| KR20230151649A (en) | 2022-04-26 | 2023-11-02 | 주식회사 한송네오텍 | Manufacturing method of high-resolution large area mask frame assembly using partial pattern divided mask, and its high-resolution large area mask frame assembly |
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