KR20120128719A - 진공 처리 장치, 기판과 얼라이먼트 마스크의 이동 방법 및 위치 맞춤 방법 그리고 성막 방법 - Google Patents
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Abstract
진공조 내를 대기에 노출시키지 않아도 얼라이먼트 마스크를 교환할 수 있는 진공 처리 장치를 제공한다. 가스 도입 장치 (12) 의 하방에, 기판 승강 핀 (46) 과 기판 승강 핀 (46) 보다 상하 방향으로 긴 마스크 승강 핀 (45) 이 삽입된 플레이트 (23) 를 배치하고, 플레이트 (23) 의 하방에, 플레이트 (23) 와의 사이를 제 1 거리 이하로 근접시켰을 때에, 마스크 승강 핀 (45) 과 기판 승강 핀 (46) 이 각각 연직으로 실릴 수 있도록 구성된 핀 지지 부재 (24) 를 배치한다. 마스크 승강 핀 (45) 과 기판 승강 핀 (46) 에는, 플레이트 (23) 와 핀 지지 부재 (24) 사이를 제 1 거리보다 이간된 제 2 거리 이상으로 했을 때, 마스크 승강 핀 (45) 과 기판 승강 핀 (46) 을, 핀 지지 부재 (24) 상에서 핀 지지 부재 (24) 로부터 이간시켜 플레이트 (23) 에 의해 매달리도록 하는 걸림 부재 (47) 을 각각 형성한다.
Description
본 발명은, 진공 처리 장치, 기판과 얼라이먼트 마스크의 이동 방법 및 위치 맞춤 방법 그리고 성막 방법에 관한 것이다.
유기 EL 소자는, 발광 효율이 높아 얇은 발광 장치를 조립할 수 있기 때문에, 최근에는 대면적화하는 표시 장치나 조명 기기의 용도로 주목받고 있다.
유기 EL 소자의 제조 과정에서는, 기판 상에 하부 전극, 유기 발광층, 상부 전극을 형성하고, 이어서 이 기판 상에 질화 실리콘 또는 산질화 실리콘 등의 보호막을 형성한다.
유기 발광층은 열에 의해 손상되기 쉽기 때문에, 보호막의 형성 방법에는 열 CVD 법보다 저온에서 성막할 수 있는 플라즈마 CVD (PE-CVD) 법이 이용된다.
보호막을 예를 들어 배선용의 접속부가 노출된 상태가 되도록 성막할 필요가 있기 때문에, 기판 상에는 얼라이먼트 마스크를 배치한다. 진공조 내에 SiH4 등의 원료 가스와, N2, NH3, O2 등의 반응 가스를 도입하여 플라즈마를 발생시킨다. 원료 가스와 반응 가스는 얼라이먼트 마스크의 개구부에서 노출되어 있는 기판 상에 도달하고, 기판 상에는 개구부의 평면 형상에 따른 평면 형상의 박막이 형성된다.
현재, 상기 서술한 바와 같은 얼라이먼트 마스크는 성막 장치의 진공조 내를 대기에 개방한 후, 사람의 손으로 진공조 내에 배치하였다. 따라서, 진공조 내의 파티클 관리를 하기 어렵다는 문제가 있었다. 또, 장치의 다운 타임도 오래 걸려 일손도 필요하였다.
또한, 얼라이먼트 마스크는, 동일한 장치에서 생산하는 기판의 품종이 바뀔 때마다 변경을 해야 하므로, 진공조를 대기에 개방하여 얼라이먼트 마스크를 교환한다는 작업을 하루에 수회나 현장에서 실시하는 경우도 있어, 작업 시간을 단축시키는 것이 어려웠다.
본 발명은 상기 종래 기술의 문제를 해결하기 위해서 창작된 것으로, 그 목적은 진공조 내를 대기에 노출시키지 않아도 얼라이먼트 마스크를 교환할 수 있는 진공 처리 장치를 제공하는 것에 있다.
상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명은, 진공조와, 기판이 설치되는 플레이트와, 상기 플레이트에 형성된 마스크 승강용 관통공에 삽입되고 상단에 얼라이먼트 마스크를 배치 가능하게 구성된 마스크 승강 핀과, 상기 플레이트에 형성된 기판 승강용 관통공에 삽입되고 상단에 기판을 배치 가능하게 구성된 기판 승강 핀과, 상기 플레이트의 하방 위치에 배치되고 상기 플레이트에 대해 상하로 상대 이동 가능한 핀 지지 부재를 가지고, 상기 마스크 승강 핀은 상기 기판 승강 핀보다 상하 방향으로 길게 형성되고, 상기 플레이트의 하방을 향한 면과 상기 플레이트에 매달린 상기 기판 승강 핀의 하단 사이의 거리를 제 1 거리로 하고, 상기 플레이트의 하방을 향한 면과 상기 플레이트에 매달린 상기 마스크 승강 핀의 하단 사이의 거리를 제 2 거리로 하면, 상기 플레이트의 하방을 향한 면과 상기 핀 지지 부재의 상방을 향한 면의 사이가 상기 제 1 거리보다 작을 때, 상기 마스크 승강 핀과 상기 기판 승강 핀이 상기 핀 지지 부재에 지지되고, 상기 플레이트의 하방을 향한 면과 상기 핀 지지 부재의 상방을 향한 면의 사이가 상기 제 1 거리보다 크고, 상기 제 2 거리보다 작을 때, 상기 마스크 승강 핀이 상기 핀 지지 부재에 지지되고 상기 기판 승강 핀은 상기 플레이트에 매달리고, 상기 플레이트의 하방을 향한 면과 상기 핀 지지 부재의 상방을 향한 면의 사이가 상기 제 2 거리보다 클 때, 상기 마스크 승강 핀과 상기 기판 승강 핀이 상기 플레이트에 매달리는 진공 처리 장치이다.
본 발명은 진공 처리 장치로서, 상기 마스크 승강 핀과 상기 기판 승강 핀이 상기 핀 지지 부재 상에 실리고, 상기 마스크 승강 핀 상에 상기 얼라이먼트 마스크가 배치되고 상기 기판 승강 핀 상에 상기 기판이 배치된 상태에서, 상기 얼라이먼트 마스크와 상기 기판의 사이에, 기판 반송 로봇의 핸드가 삽입 가능하게 구성된 진공 처리 장치이다.
본 발명은 진공 처리 장치로서, 상기 기판 승강 핀의 상단을 횡방향으로 이동시킴으로써, 상기 기판 승강 핀 상에 배치된 상기 기판을 이동시키고, 상기 얼라이먼트 마스크와 상기 기판을 위치 맞춤하는 위치 맞춤 장치와, 상기 진공조 내의 상기 플레이트의 상방에 배치된 배치부와, 상기 배치부 상에 배치되고 상기 마스크 승강 핀 상에 배치된 상기 얼라이먼트 마스크의 주위가 하방으로부터 상방으로 이동하여 맞닿게 되고, 상기 얼라이먼트 마스크를 상기 진공조에 대해 임시 고정시키는 프레임체를 가지고, 상기 위치 맞춤은, 상기 얼라이먼트 마스크가 상기 프레임체에 맞닿게 된 상태에서 실시되는 진공 처리 장치이다.
본 발명은 진공 처리 장치로서, 상기 얼라이먼트 마스크가 배치된 상기 마스크 승강 핀의 상승에 의해 상기 프레임체는 상기 얼라이먼트 마스크 상에 실리고, 상기 얼라이먼트 마스크와 함께 상기 배치부로부터 이간시켜 상승할 수 있도록 구성된 진공 처리 장치이다.
본 발명은, 상기 진공 처리 장치를 사용한 기판과 얼라이먼트 마스크의 이동 방법으로서, 상기 진공조 내에 기판과 얼라이먼트 마스크가 배치되어 있지 않은 상태에서, 상기 플레이트와 상기 핀 지지 부재와 상기 마스크 승강 핀의 상단과 상기 기판 승강 핀의 상단을, 제 1 핸드를 삽입하는 위치보다 하방에 위치시켜 두고, 얼라이먼트 마스크를 상기 제 1 핸드에 얹어 상기 진공조 내에 반입하고, 상기 핀 지지 부재를 상승시켜 상기 마스크 승강 핀을 상승시키고, 상기 마스크 승강 핀의 상단을 상기 얼라이먼트 마스크의 이면에 맞닿게 하여, 상기 얼라이먼트 마스크를 상기 제 1 핸드 상으로부터 상기 마스크 승강 핀 상에 옮겨 얹고, 상기 제 1 핸드를 상기 진공조 내로부터 발거 (拔去) 하는 얼라이먼트 마스크 반입 공정과, 상기 마스크 승강 핀 상의 상기 얼라이먼트 마스크를 제 2 핸드를 삽입하는 위치보다 상방에 위치시키고, 또한 상기 기판 승강 핀의 상단을 상기 제 2 핸드를 삽입하는 위치보다 하방에 위치시켜 두고, 기판을 상기 제 2 핸드에 얹어 상기 진공조 내에 반입하고, 상기 얼라이먼트 마스크와 상기 기판 승강 핀의 상단의 사이에 삽입하여 상기 핀 지지 부재를 상승시켜 상기 기판 승강 핀을 상승시키고, 상기 기판 승강 핀의 상단을 상기 기판의 이면에 맞닿게 하여, 상기 기판을 상기 제 2 핸드 상으로부터 상기 기판 승강 핀 상에 옮겨 얹고, 상기 제 2 핸드를 상기 진공조 내로부터 발거하는 기판 반입 공정을 갖는 기판과 얼라이먼트 마스크의 이동 방법이다.
본 발명은 기판과 얼라이먼트 마스크의 이동 방법으로서, 상기 제 1 핸드와 상기 제 2 핸드는 동일한 반송 로봇의 핸드인 기판과 얼라이먼트 마스크의 이동 방법이다.
본 발명은 기판과 얼라이먼트 마스크의 이동 방법으로서, 상기 제 1 핸드와 상기 제 2 핸드는 서로 상이한 반송 로봇의 핸드인 기판과 얼라이먼트 마스크의 이동 방법이다.
본 발명은, 상기 진공 처리 장치를 사용한 기판과 얼라이먼트 마스크의 이동 방법으로서, 상기 마스크 승강 핀과 상기 기판 승강 핀이 상기 핀 지지 부재 상에 실리고, 상기 마스크 승강 핀 상에 얼라이먼트 마스크가 배치되고 상기 기판 승강 핀 상에 기판이 배치된 상태에서, 상기 기판을 제 3 핸드를 삽입하는 위치보다 상방에 위치시키고, 또한 상기 플레이트를 상기 제 3 핸드를 삽입하는 위치보다 하방에 위치시켜 두고, 상기 제 3 핸드를 상기 기판과 상기 플레이트의 사이에 삽입하여 상기 핀 지지 부재를 강하시켜 상기 기판 승강 핀을 강하시키고, 상기 기판의 이면을 상기 제 3 핸드에 접촉시켜 상기 기판을 상기 기판 승강 핀 상으로부터 상기 제 3 핸드 상에 옮겨 얹고, 상기 기판을 상기 제 3 핸드에 얹어 상기 진공조 내로부터 반출하는 기판 반출 공정과, 상기 얼라이먼트 마스크를 제 4 핸드를 삽입하는 위치보다 상방에 위치시키고, 또한 상기 플레이트를 상기 제 4 핸드를 삽입하는 위치보다 하방에 위치시켜 두고, 상기 제 4 핸드를 상기 얼라이먼트 마스크와 상기 플레이트의 사이에 삽입하여 상기 핀 지지 부재를 강하시켜 상기 마스크 승강 핀을 강하시키고, 상기 얼라이먼트 마스크의 이면을 상기 제 4 핸드에 접촉시켜 상기 얼라이먼트 마스크를 상기 마스크 승강 핀 상으로부터 상기 제 4 핸드 상에 옮겨 얹고, 상기 얼라이먼트 마스크를 상기 제 4 핸드에 얹어 상기 진공조 내로부터 반출하는 얼라이먼트 마스크 반출 공정을 갖는 기판과 얼라이먼트 마스크의 이동 방법이다.
본 발명은 기판과 얼라이먼트 마스크의 이동 방법으로서, 상기 제 3 핸드와 상기 제 4 핸드는 동일한 반송 로봇의 핸드인 기판과 얼라이먼트 마스크의 이동 방법이다.
본 발명은 기판과 얼라이먼트 마스크의 이동 방법으로서, 상기 제 3 핸드와 상기 제 4 핸드는 서로 상이한 반송 로봇의 핸드인 기판과 얼라이먼트 마스크의 이동 방법이다.
본 발명은, 상기 진공 처리 장치를 사용한 기판과 얼라이먼트 마스크의 위치 맞춤 방법으로서, 상기 마스크 승강 핀과 상기 기판 승강 핀이 상기 핀 지지 부재 상에 실리고, 상기 마스크 승강 핀 상에 얼라이먼트 마스크가 배치되고 상기 기판 승강 핀 상에 기판이 배치된 상태에서, 상기 핀 지지 부재를 상승시켜 상기 마스크 승강 핀을 상승시키고, 상기 마스크 승강 핀 상의 상기 얼라이먼트 마스크를 상기 프레임체에 맞닿게 하고, 상기 기판 승강 핀의 상단을 횡방향으로 이동시켜, 상기 기판 승강 핀 상의 상기 기판을 이동시켜, 상기 얼라이먼트 마스크와 상기 기판을 위치 맞춤하는 기판과 얼라이먼트 마스크의 위치 맞춤 방법이다.
본 발명은, 상기 기판과 얼라이먼트 마스크의 위치 맞춤 방법에 의해 상기 기판과 상기 얼라이먼트 마스크가 위치 맞춤된 상태를 유지하면서, 상기 플레이트를 상승시켜 상기 플레이트의 표면을 상기 기판의 이면에 접촉시켜 상기 기판을 상기 기판 승강 핀으로부터 상기 플레이트 상에 옮겨 얹게 하고, 상기 기판 승강 핀을 상기 핀 지지 부재로부터 들어 올려 상기 플레이트에 매달고, 상기 플레이트를 상승시켜 상기 플레이트 상의 상기 기판의 표면을 상기 얼라이먼트 마스크의 이면에 접촉시켜 상기 얼라이먼트 마스크를 상기 마스크 승강 핀으로부터 상기 기판 상에 옮겨 얹게 하고, 상기 마스크 승강 핀을 상기 핀 지지 부재로부터 들어 올려 상기 플레이트에 매달고, 상기 얼라이먼트 마스크의 상방으로부터 박막 형성용의 재료 가스를 산포하여, 상기 얼라이먼트 마스크의 개구부로부터 노출한 상기 기판의 표면에 박막을 성막하는 성막 방법이다.
본 발명의 진공 처리 장치에서는, 박막 형성용의 재료 가스를 도입하는 가스 도입 장치를 상기 플레이트의 상방에 형성하면, 플레이트 상에 기판과 얼라이먼트 마스크가 적층된 상태에서, 가스 도입 장치로부터 진공조 내에 재료 가스를 도입 하면, 얼라이먼트 마스크의 개구부로부터 노출된 상기 기판의 표면에 박막을 성막할 수 있다.
진공조 내를 대기에 노출시키지 않아도 얼라이먼트 마스크를 교환할 수 있게 되어, 작업 시간의 단축, 다운 타임의 향상, 파티클 관리를 하기 쉬워진다.
기판을 진공 처리하는 동안, 기판 승강 핀과 마스크 승강 핀을 핀 지지 부재로부터 이간시켜 둘 수 있으므로, 핀 사이의 거리가 기판이나 플레이트의 열 신장에 따라 자유롭게 변동할 수 있어, 핀 변형이 잘 발생되지 않는다.
도 1 은 본 발명의 진공 처리 장치의 기판과 얼라이먼트 마스크가, 진공조의 내부에 배치되어 있지 않은 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 2 는 본 발명의 진공 처리 장치의 핸드 상에 실린 얼라이먼트 마스크를 핸드와 함께 진공조 내에 반입한 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 3 은 본 발명의 진공 처리 장치의 마스크 승강 핀의 상단을 얼라이먼트 마스크의 이면에 맞닿게 한 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 4 는 본 발명의 진공 처리 장치의 얼라이먼트 마스크를 핸드 상으로부터 마스크 승강 핀 상에 옮겨 얹은 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 5 는 본 발명의 진공 처리 장치의 핸드를 진공조 내로부터 발거한 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 6 은 본 발명의 진공 처리 장치의 기판을 실은 핸드를 진공조 내에 반입한 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 7 은 본 발명의 진공 처리 장치의 기판 승강 핀의 상단을 기판의 이면에 맞닿게 한 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 8 은 본 발명의 진공 처리 장치의 얼라이먼트 마스크가, 마스크 승강 핀에 의해 프레임체에 맞닿게 된 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 9 는 본 발명의 진공 처리 장치의 진공조 내로부터 핸드를 발거한 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 10 은 본 발명의 진공 처리 장치의 기판과 얼라이먼트 마스크가 위치 맞춤된 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 11 은 본 발명의 진공 처리 장치의 기판과 얼라이먼트 마스크가 위치 맞춤된 상태에서 밀착된 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 12 는 본 발명의 진공 처리 장치의 플레이트 상에, 기판과, 얼라이먼트 마스크가 적층된 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 13 은 본 발명의 진공 처리 장치의 기판이 기판 승강 핀 상에 실린 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 14 는 본 발명의 진공 처리 장치의 기판과 플레이트의 사이에 핸드를 삽입한 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 15 는 본 발명의 진공 처리 장치의 기판을 기판 승강 핀 상으로부터 핸드 상에 옮겨 얹은 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 16 은 본 발명의 진공 처리 장치의 핸드를 진공조 내로부터 발거한 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 17 은 본 발명의 진공 처리 장치의 얼라이먼트 마스크와 플레이트 사이에 핸드를 삽입한 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 18 은 본 발명의 진공 처리 장치의 얼라이먼트 마스크를 마스크 승강 핀 상으로부터 핸드 상에 옮겨 얹은 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 19 는 본 발명의 진공 처리 장치의 핸드를 진공조 내로부터 발거한 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 20 은 얼라이먼트 마스크의 구조를 설명하기 위한 입체도이다.
도 21 은 진공조 내에 반입된 핸드의 평면도이다.
도 2 는 본 발명의 진공 처리 장치의 핸드 상에 실린 얼라이먼트 마스크를 핸드와 함께 진공조 내에 반입한 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 3 은 본 발명의 진공 처리 장치의 마스크 승강 핀의 상단을 얼라이먼트 마스크의 이면에 맞닿게 한 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 4 는 본 발명의 진공 처리 장치의 얼라이먼트 마스크를 핸드 상으로부터 마스크 승강 핀 상에 옮겨 얹은 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 5 는 본 발명의 진공 처리 장치의 핸드를 진공조 내로부터 발거한 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 6 은 본 발명의 진공 처리 장치의 기판을 실은 핸드를 진공조 내에 반입한 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 7 은 본 발명의 진공 처리 장치의 기판 승강 핀의 상단을 기판의 이면에 맞닿게 한 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 8 은 본 발명의 진공 처리 장치의 얼라이먼트 마스크가, 마스크 승강 핀에 의해 프레임체에 맞닿게 된 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 9 는 본 발명의 진공 처리 장치의 진공조 내로부터 핸드를 발거한 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 10 은 본 발명의 진공 처리 장치의 기판과 얼라이먼트 마스크가 위치 맞춤된 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 11 은 본 발명의 진공 처리 장치의 기판과 얼라이먼트 마스크가 위치 맞춤된 상태에서 밀착된 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 12 는 본 발명의 진공 처리 장치의 플레이트 상에, 기판과, 얼라이먼트 마스크가 적층된 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 13 은 본 발명의 진공 처리 장치의 기판이 기판 승강 핀 상에 실린 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 14 는 본 발명의 진공 처리 장치의 기판과 플레이트의 사이에 핸드를 삽입한 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 15 는 본 발명의 진공 처리 장치의 기판을 기판 승강 핀 상으로부터 핸드 상에 옮겨 얹은 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 16 은 본 발명의 진공 처리 장치의 핸드를 진공조 내로부터 발거한 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 17 은 본 발명의 진공 처리 장치의 얼라이먼트 마스크와 플레이트 사이에 핸드를 삽입한 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 18 은 본 발명의 진공 처리 장치의 얼라이먼트 마스크를 마스크 승강 핀 상으로부터 핸드 상에 옮겨 얹은 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 19 는 본 발명의 진공 처리 장치의 핸드를 진공조 내로부터 발거한 상태를 설명하기 위한 내부 구성도이다.
도 20 은 얼라이먼트 마스크의 구조를 설명하기 위한 입체도이다.
도 21 은 진공조 내에 반입된 핸드의 평면도이다.
부호 1 은, 본 발명의 일례의 진공 처리 장치를 나타내고 있다.
먼저, 진공 처리 장치 (1) 의 구조를 설명한다.
도 1 을 참조하여 이 진공 처리 장치 (1) 는 진공조 (11) 를 가지고 있고, 진공조 (11) 내부의 천정측에는, 샤워 노즐로 이루어지는 가스 도입 장치 (12) 가 배치되고, 그 바로 아래 위치에는 처리대 (13) 가 배치되어 있다.
진공조 (11) 는 진공 배기계 (31) 에 접속되어 있고, 가스 도입 장치 (12) 는 원료 가스 도입계 (32) 에 접속되어 있다. 진공 배기계 (31) 를 동작시켜, 진공조 (11) 의 내부를 진공 배기하면서 원료 가스 도입계 (32) 로부터 가스 도입 장치 (12) 에 박막 형성용 재료 가스인 원료 가스와 반응 가스가 공급되면, 가스 도입 장치 (12) 로부터 진공조 (11) 내에 원료 가스와 반응 가스가 산포된다.
진공조 (11) 내의 가스 도입 장치 (12) 와 처리대 (13) 사이의 위치의 진공조 (11) 의 벽면에는, 배치부 (18) 가 형성되어 있고, 배치부 (18) 상에는 프레임체 (14) 가 실려 있다. 프레임체 (14) 는, 배치부 (18) 상에서 이간과 배치가 가능하게 구성되어 있는데, 배치부 (18) 상에 실렸을 때에는, 배치부 (18) 에 의해 진공조 (11) 내에서 움직이지 않도록 고정된다. 프레임체 (14) 는 프레임형상으로 중앙에는 개구가 형성되어 있다.
성막시에는, 도 11 에 나타내는 바와 같이 처리대 (13) 상에 기판 (10) 과 얼라이먼트 마스크 (15) 가 이 순서로 적층되고, 또한 얼라이먼트 마스크 (15) 의 외주 부근 부분의 위에 프레임체 (14) 가 실린 상태에서, 가스 도입 장치 (12) 로부터 원료 가스와 반응 가스가 공급된다.
얼라이먼트 마스크 (15) 는, 도 20 에 나타내는 바와 같이 강성을 갖는 사각형 프레임 (35) 에 소정 형상의 차폐부 (36) 가 형성되고, 차폐부 (36) 와 차폐부 (36) 사이에 기판이 노출되도록 개구부 (37) 가 형성되어 있다.
도 11 을 참조하여 가스 도입 장치 (12) 는 얼라이먼트 마스크 (15) 상에 위치하고 있다. 가스 도입 장치 (12) 로부터 진공조 (11) 내에 산포된 원료 가스와 반응 가스는, 개구부 (37) 에 의해 노출되어 있는 기판 (10) 표면에 도달하고, 차폐부 (36) 에 의해 차단되어 기판 (10) 표면에 도달하지 않기 때문에, 개구부 (37) 의 평면 형상에 따른 평면 형상의 박막이 형성된다. 도 20 에서는, 선형상의 차폐부 (36) 를 갖는 얼라이먼트 마스크 (15) 가 도시되어 있지만, 이것에 한정되지 않고 복수의 개구부 (37) 가 매트릭스형상으로 나열된 형상 등, 차폐부 (36) 와 개구부 (37) 의 형상은 특별히 한정되지 않는다.
도 1 은, 기판 (10) 과 얼라이먼트 마스크 (15) 가 진공조 (11) 의 내부에 배치되어 있지 않은 상태를 나타내고 있고, 이 도 1 을 이용하여 진공 처리 장치 (1) 의 내부 구성을 설명한다.
처리대 (13) 는 통형상의 제 1 승강 부재 (21) 와, 축형상의 제 2 승강 부재 (22) 와, 플레이트 (23) 와, 핀 지지 부재 (24) 를 가지고 있다.
제 1 승강 부재 (21) 는 진공조 (11) 의 저면에 기밀하게 삽입 통과되고 있고, 핀 지지 부재 (24) 는 제 1 승강 부재 (21) 의 상단에 제 1 승강 부재 (21) 의 내부 공간 (25) 을 폐색시키지 않도록 장착되어 있다.
제 2 승강 부재 (22) 는 제 1 승강 부재 (21) 의 내부 공간 (25) 내에 삽입 통과되고 있다.
여기서는, 핀 지지 부재 (24) 는 관통공 (26) 을 갖는 평판으로, 관통공 (26) 이 제 1 승강 부재 (21) 의 단부에 위치하고, 제 1 승강 부재 (21) 의 내부 공간 (25) 상에 배치되고, 제 2 승강 부재 (22) 는 관통공 (26) 을 통과하여 제 1 승강 부재 (21) 의 내부 공간 (25) 에 삽입 통과되고 있다.
제 1 승강 부재 (21) 와 제 2 승강 부재 (22) 는 연직으로 배치되어 있다.
제 1 승강 부재 (21) 와 제 2 승강 부재 (22) 는 하단이 승강 장치 (29) 에 장착되어 있어, 승강 장치 (29) 를 동작시키면, 제 1 승강 부재 (21) 와 제 2 승강 부재 (22) 는 각각 독립적으로 상하 이동할 수 있도록 되어 있다. 제 1 승강 부재 (21) 와 제 2 승강 부재 (22) 가 상하 이동할 때에는, 진공조 (11) 내의 진공 분위기가 유지되도록 되어 있다. 승강 장치 (29) 는, 제 1 승강 부재 (21) 와 제 2 승강 부재 (22) 가 각각 독립적으로 상하 이동할 수 있으면, 구동계가 개별적으로 설치되어 있어도 되고, 공통으로 설치되어 있어도 된다. 또, 관통공 (26) 은, 제 1 승강 부재 (21) 와 제 2 승강 부재 (22) 에 개별적으로 형성되고, 각각 벨로우즈 등의 시일 부재가 형성되어도 된다.
플레이트 (23) 는, 제 2 승강 부재 (22) 의 상단에 장착되어 있다.
플레이트 (23) 는, 그 상방을 향한 면인 표면이 수평으로 되어 있고, 제 2 승강 부재 (22) 를 상하 이동시키면, 플레이트 (23) 의 표면은 수평한 상태에서 연직으로 상하 이동한다.
플레이트 (23) 에는, 마스크 승강용 관통공 (41) 과 기판 승강용 관통공 (42) 이 각각 복수개 형성되어 있다.
각 마스크 승강용 관통공 (41) 에는 마스크 승강 핀 (45) 이 각각 삽입 통과되고, 각 기판 승강용 관통공 (42) 에는 기판 승강 핀 (46) 이 각각 삽입 통과되어 있다.
플레이트 (23) 의 하방을 향한 면인 이면과, 후술하는 바와 같이 플레이트 (23) 에 매달린 기판 승강 핀 (46) 의 하단 사이의 거리를 제 1 거리라고 하고, 플레이트 (23) 의 이면과, 후술하는 바와 같이 플레이트 (23) 에 매달린 마스크 승강 핀 (45) 의 하단 사이의 거리를 제 2 거리라고 한다.
마스크 승강 핀 (45) 과 기판 승강 핀 (46) 의 바로 아래 위치에는, 핀 지지 부재 (24) 가 위치하고 있고, 플레이트 (23) 의 이면과 핀 지지 부재 (24) 의 상방을 향한 면 사이의 거리가, 서로 근접하는 제 1 거리 이하로 되었을 때, 마스크 승강 핀 (45) 의 하단과 기판 승강 핀 (46) 의 하단은 핀 지지 부재 (24) 상에 실리고, 마스크 승강 핀 (45) 의 상단과 기판 승강 핀 (46) 의 상단은, 플레이트 (23) 의 표면보다 상방으로 돌출할 수 있도록 되어 있다.
마스크 승강 핀 (45) 의 길이는, 기판 승강 핀 (46) 보다 상하 방향으로 길게 되어 있고, 마스크 승강 핀 (45) 의 하단과 기판 승강 핀 (46) 의 하단이 핀 지지 부재 (24) 상에 실려 있을 때, 하단의 높이는 동등하기 때문에, 상단은 마스크 승강 핀 (45) 쪽이 기판 승강 핀 (46) 보다 높은 위치에 있다.
제 1 승강 부재 (21) 를 상하 이동시킴으로써 핀 지지 부재 (24) 를 상하 이동시키면, 마스크 승강 핀 (45) 과 기판 승강 핀 (46) 은 마스크 승강용 관통공 (41) 내와 기판 승강용 관통공 (42) 내에 각각 삽입 통과된 상태에서, 플레이트 (23) 에 대해 상하 이동된다.
마스크 승강 핀 (45) 의 상부와 기판 승강 핀 (46) 의 상부에는, 플레이트 (23) 의 일부와 접촉되는 플랜지형상의 걸림 부재 (47) 가 형성되어 있다. 또한, 플레이트 (23) 의 구멍에 걸리게 되면, 걸림 부재 (47) 의 형상은 도면에 도시되어 있는 형상에 한정되지 않고, 상부의 직경이 커져 있는 형상이어도 된다.
각 관통공 (41, 42) 내에는 돌기 또는 단차 (段差) 가 형성되어 있다. 도 9 를 참조하여 마스크 승강 핀 (45) 과 기판 승강 핀 (46) 이 마스크 승강용 관통공 (41) 내와 기판 승강용 관통공 (42) 내에 각각 삽입 통과되어 핀 지지 부재 (24) 상에 실린 상태에서, 플레이트 (23) 를 상승시키고, 핀 지지 부재 (24) 를 플레이트 (23) 에 대해 상대적으로 강하시켜, 마스크 승강 핀 (45) 과 기판 승강 핀 (46) 을 플레이트 (23) 에 대해 상대적으로 강하시키면, 도 10 을 참조하여 기판 승강 핀 (46) 의 걸림 부재 (47) 가 기판 승강용 관통공 (42) 내의 플레이트 (23) 의 일부인 돌기나 단차에 접촉되어 기판 승강 핀 (46) 의 상대적인 강하가 정지된다. 또한, 핀 지지 부재 (24) 를 상대적으로 강하시키면, 도 11 을 참조하여 기판 승강 핀 (46) 의 하단으로부터 핀 지지 부재 (24) 표면이 이간된다. 또한, 핀 지지 부재 (24) 를 상대적으로 강하시키면, 이어서, 마스크 승강 핀 (45) 의 걸림 부재 (47) 가 마스크 승강용 관통공 (41) 내의 동일한 돌기나 단차에 접촉되어 마스크 승강 핀 (45) 의 상대적인 강하가 정지되고, 도 12 를 참조하여 플레이트 (23) 의 이면과 핀 지지 부재 (24) 의 상방을 향한 면 사이의 거리가 제 1 거리보다 이간되는 제 2 거리 이상으로 되었을 때, 마스크 승강 핀 (45) 의 하단으로부터 핀 지지 부재 (24) 는 이간된다.
이 상태에서는, 마스크 승강 핀 (45) 과 기판 승강 핀 (46) 은 플레이트 (23) 에 매달려 있고, 그 마스크 승강 핀 (45) 의 상단과 기판 승강 핀 (46) 의 상단은, 플레이트 (23) 의 표면 이하의 높이에 위치하고 있어, 플레이트 (23) 의 표면 상으로는 돌출하지 않도록 되어 있다.
플레이트 (23) 의 이면과 플레이트 (23) 에 매달린 기판 승강 핀 (46) 의 하단 사이의 거리가 상기 서술한 제 1 거리이고, 플레이트 (23) 의 이면과 플레이트 (23) 에 매달린 마스크 승강 핀 (45) 의 하단 사이의 거리가 상기 서술한 제 2 거리이다.
다음으로, 진공 처리 장치 (1) 를 사용한 성막 공정에 대해 설명한다.
도 11 에 나타내는 바와 같이 진공조 (11) 의 벽면에는 개구 (39) 가 형성되어 있다.
개구 (39) 의 외부에는, 개구 (39) 에 의해 진공조 (11) 와 내부가 연통된 반송실 (17) 이 배치되어 있고, 반송실 (17) 내에는 기판 반송 로봇 (50) 이 배치되어 있다.
핀 지지 부재 (24) 와 플레이트 (23) 를 강하시켜 두면, 도 2 를 참조하여 기판 반송 로봇 (50) 의 핸드 (48) 는, 개구 (39) 를 통과하여 반송실 (17) 로부터 진공조 (11) 의 내부로 이동할 수 있도록 되어 있다.
진공조 (11) 내에서 성막되는 기판 (10) 과, 기판 (10) 의 성막에 사용되는 얼라이먼트 마스크 (15) 는 양방 모두 사각형이며, 얼라이먼트 마스크 (15) 쪽이 적어도 사각형 프레임 (35) 의 분만큼 커져 있다 (도 20 참조).
기판 반송 로봇 (50) 은, 기판 (10) 과 얼라이먼트 마스크 (15) 어느 것이나 반송 가능하게 구성되어 있다.
반송실 (17) 과 진공조 (11) 는 진공 배기에 의해 진공 분위기에 놓여져 있고, 여기서, 기판 반송 로봇 (50) 의 핸드 (48) 상에 얼라이먼트 마스크 (15) 가 실려져 있는 것으로 하면, 먼저, 기판 반송 로봇 (50) 을 동작시켜, 도 2 에 나타내는 바와 같이 기판 반송 로봇 (50) 의 핸드 (48) 상에 얹혀 있는 얼라이먼트 마스크 (15) 를 핸드 (48) 와 함께 진공조 (11) 내에 반입한다. 도 21 은 진공조 (11) 내에 반입된 핸드 (48) 의 평면도를 나타내고 있다.
그 상태로부터 핀 지지 부재 (24) 에 의해 마스크 승강 핀 (45) 을 상승시키고, 마스크 승강 핀 (45) 에 핸드 (48) 의 손가락 (49) 사이를 통과시켜, 도 3 에 나타내는 바와 같이 마스크 승강 핀 (45) 의 상단을 얼라이먼트 마스크 (15) 의 이면에 맞닿게 한다.
그 상태로부터 마스크 승강 핀 (45) 을 상승시켜, 도 4 에 나타내는 바와 같이 얼라이먼트 마스크 (15) 를 핸드 (48) 상으로부터 마스크 승강 핀 (45) 상에 옮겨 얹는다.
이 때, 얼라이먼트 마스크 (15) 는, 마스크 승강 핀 (45) 상을 슬라이딩하여 정해진 위치에 설치된다.
얼라이먼트 마스크 (15) 를 핸드 (48) 상으로부터 마스크 승강 핀 (45) 상에 옮겨 얹는 동안에는 기판 승강 핀 (46) 은 얼라이먼트 마스크 (15) 와는 접촉되지 않고, 또, 기판 승강 핀 (46) 의 상단은 핸드 (48) 의 높이보다 낮게 되어 있어, 도 5 에 나타내는 바와 같이 핸드 (48) 를 진공조 (11) 내로부터 발거하고, 이어서, 도 6 에 나타내는 바와 같이 기판 (10) 을 얹은 핸드 (48) 를 진공조 (11) 내에 반입한다.
얼라이먼트 마스크 (15) 와 기판 (10) 은 동일한 기판 반송 로봇 (50) 의 핸드 (48) 에 얹어 진공조 (11) 내에 반입할 수도 있고, 서로 상이한 개별적인 기판 반송 로봇 (50) 의 핸드 (48) 로 반입할 수도 있다.
다음으로, 핀 지지 부재 (24) 를 상승시킴으로써 기판 승강 핀 (46) 과 마스크 승강 핀 (45) 을 상승시키고, 도 7 에 나타내는 바와 같이 기판 승강 핀 (46) 에, 핸드 (48) 의 손가락 (49) 사이를 통과시켜 기판 승강 핀 (46) 의 상단을 기판 (10) 의 이면에 맞닿게 한다.
프레임체 (14) 는, 얼라이먼트 마스크 (15) 의 사각형 프레임 (35) 의 상방에 위치하고 있고, 핀 지지 부재 (24) 에 의해 기판 승강 핀 (46) 과 마스크 승강 핀 (45) 을 상승시키면, 도 8 에 나타내는 바와 같이 얼라이먼트 마스크 (15) 는 마스크 승강 핀 (45) 에 의해 프레임체 (14) 에 맞닿게 된다.
이 때, 얼라이먼트 마스크 (15) 에 형성된 감합부와, 프레임체 (14) 의 소정 위치에 형성된 감합부가 합쳐져 상대적으로 정해진 위치에서 정지된다. 감합부를 오목부와 볼록부에 의해 형성하고 물리적으로 슬라이딩하여 위치가 맞도록 형성해도 된다. 얼라이먼트 마스크 (15) 를 프레임체 (14) 에 접촉시킴으로써 상대적으로 정해진 위치에 정지시키는 것을 임시 고정시킨다고 한다.
기판 (10) 은 기판 승강 핀 (46) 에 의해 핸드 (48) 상으로부터 들어 올려져 있어, 도 9 에 나타내는 바와 같이 진공조 (11) 내로부터 핸드 (48) 를 발거한다.
이 상태에서는 기판 (10) 과 플레이트 (23) 는 이간되어 있고, 또한, 기판 (10) 과 얼라이먼트 마스크 (15) 는 이간되어 있다.
기판 승강용 관통공 (42) 과 기판 승강 핀 (46) 사이에는 간극이 형성되어 있고, 기판 승강 핀 (46) 을 경사지게 하여 기판 승강 핀 (46) 의 상단을 횡방향으로 이동시킬 수 있도록 되어 있다.
예를 들어, 기판 (10) 의 4 변을 따라 배치된 기판 승강 핀 (46) 중, 직교하는 2 변의 기판 승강 핀 (46) (가동 핀) 은 스프링 등에 의해 내측에 경사지는 방향으로 설치되어 있고, 가동 핀을 경사지게 하여 그 상단을 횡방향으로 이동시키고, 그 상단에 배치된 기판 (10) 을 가동 핀의 상단이 이동하는 방향과 동일 방향으로 이동시켜 다른 2 변의 기판 승강 핀 (46) (부동 핀) 에 대고 누름으로써, 기판 (10) 을 정해진 위치에 배치한다 (도 21 의 부호 46a 는 가동 핀을 나타내고, 부호 46b 는 부동 핀을 나타낸다). 상기에 의해 기판 (10) 과 얼라이먼트 마스크 (15) 가 정해진 위치에 배치된다. 여기서는 핀 지지 부재 (24) 를 수평 방향인 XY 방향으로 이동시킴으로써, 가동 핀의 하단이 지점 (支點) 으로 되어 가동 핀을 경사지게 하여 가동 핀의 상단을 핀 지지 부재 (24) 의 이동 방향과 역방향인 횡방향으로 이동시킨다.
또한, 상기는 핀의 형상이나 감합부에 의해 기판 (10), 얼라이먼트 마스크 (15) 및 프레임체 (14) 의 위치 맞춤을 실시하는 예를 나타냈는데, 얼라이먼트 마스크 (15) 와 프레임체 (14) 를 XY 방향으로 이동하는 위치 조정 기구 (도시 생략) 에 수수 (授受) 하고, 카메라로 얼라이먼트 마크를 측정하면서 기판 (10) 과 얼라이먼트 마스크 (15) 의 위치 맞춤을 해도 된다.
위치 맞춤이 종료되면 핀 지지 부재 (24) 의 정지에 의해 기판 (10) 을 정지시키고, 다음으로 도 10 에 나타내는 바와 같이 얼라이먼트 마스크 (15) 와 기판 (10) 이 위치 맞춰진 상태를 유지하면서 플레이트 (23) 를 상승시켜 기판 (10) 의 이면에 플레이트 (23) 의 표면을 접촉시키며 기판 (10) 을 플레이트 (23) 상에 실는다. 이 상태에서는 기판 (10) 과 얼라이먼트 마스크 (15) 는 위치 맞춤이 되어 있다.
다음으로, 플레이트 (23) 를 더 상승시키면, 도 11 에 나타내는 바와 같이 기판 (10) 은 플레이트 (23) 상에 실린 상태에서 상방으로 이동되고, 기판 (10) 의 표면은 얼라이먼트 마스크 (15) 의 이면에 맞닿게 되며 기판 (10) 과 얼라이먼트 마스크 (15) 는 위치 맞춤이 된 상태로 밀착된다.
이 때, 기판 승강 핀 (46) 은, 플레이트 (23) 에 의해 핀 지지 부재 (24) 상으로부터 들어 올려져 플레이트 (23) 에 매달린 상태로 되어 있다.
이어서, 도 12 에 나타내는 바와 같이 플레이트 (23) 를 더 상승시키면, 플레이트 (23) 상에 기판 (10) 과 얼라이먼트 마스크 (15) 가 적층되고, 얼라이먼트 마스크 (15) 의 외주 상에는 프레임체 (14) 가 실린 상태가 된다. 플레이트 (23) 의 상승에 의해 프레임체 (14) 는, 배치부 (18) 로부터 이간되어 배치부 (18) 의 상방으로 기판 (10) 과 얼라이먼트 마스크 (15) 와 함께 상승되고, 기판 승강 핀 (46) 에 더하여 마스크 승강 핀 (45) 도 플레이트 (23) 로부터 매달린 상태가 된다.
이 상태에서는, 기판 (10) 의 표면은 얼라이먼트 마스크 (15) 의 이면에 밀착되고, 기판 (10) 의 이면은 플레이트 (23) 의 표면에 밀착되어 있고, 가스 도입 장치 (12) 로부터 원료 가스와 반응 가스를 방출시키면, 원료 가스와 반응 가스는 얼라이먼트 마스크 (15) 의 개구부 (37) 를 통과하고 기판 (10) 표면의 개구부 (37) 와 면하는 위치에 도달하여 그 부분에 박막이 성장한다.
박막이 소정 막두께로 형성된 후, 가스 도입 장치 (12) 로부터의 원료 가스와 반응 가스의 방출을 정지시키고, 플레이트 (23) 를 강하시켜 프레임체 (14) 를 배치부 (18) 상에 실음과 함께, 기판 승강 핀 (46) 의 상단에 기판 (10) 을 실은 상태에서, 플레이트 (23) 를 강하시켜 기판 (10) 을 얼라이먼트 마스크 (15) 의 이면으로부터 이간시킴과 함께, 기판 승강 핀 (46) 도 핀 지지 부재 (24) 상에 실리고, 도 13 에 나타내는 바와 같이 기판 (10) 이 기판 승강 핀 (46) 상에 실린 상태로 한다.
이 때, 기판 (10) 을 핸드 (48) 보다 높은 위치에 정지시키고 플레이트 (23) 를 핸드 (48) 보다 낮은 위치에 배치시켜 두고, 도 14 에 나타내는 바와 같이 기판 (10) 과 플레이트 (23) 사이에 핸드 (48) 를 삽입하고, 이어서, 도 15 에 나타내는 바와 같이 핀 지지 부재 (24) 를 강하시켜 기판 승강 핀 (46) 을 강하시키고, 기판 (10) 을 기판 승강 핀 (46) 상으로부터 핸드 (48) 상에 옮겨 얹고, 도 16 과 같이 핸드 (48) 를 진공조 (11) 내로부터 발거한다.
그리고, 미(未)성막의 기판을 핸드 (48) 상에 실어 진공조 (11) 내에 반입하여, 상기와 동일하게 기판 표면에 얼라이먼트 마스크 (15) 를 실어 성막을 실시할 수 있고, 복수회 반복하면, 복수의 기판에 성막 처리를 실시할 수 있다.
다수 매수의 기판에 성막 처리를 실시하고 얼라이먼트 마스크 (15) 를 교환하는 경우에는, 도 17 에 나타내는 바와 같이 얼라이먼트 마스크 (15) 와 플레이트 (23) 의 사이에 핸드 (48) 를 삽입하고, 이어서, 핀 지지 부재 (24) 를 강하시켜 마스크 승강 핀 (45) 를 강하시키고, 도 18 에 나타내는 바와 같이 얼라이먼트 마스크 (15) 를 마스크 승강 핀 (45) 상으로부터 핸드 (48) 상에 옮겨 얹고, 도 19 에 나타내는 바와 같이 핸드 (48) 를 진공조 (11) 내로부터 발거하면, 새로운 얼라이먼트 마스크를 얹은 핸드를 진공조 (11) 내에 반입하여, 얼라이먼트 마스크의 교환을 실시할 수 있다.
얼라이먼트 마스크 (15) 와 기판 (10) 은 동일한 기판 반송 로봇 (50) 의 핸드 (48) 에 얹어 진공조 (11) 밖으로 반출할 수도 있고, 서로 상이한 개별적인 기판 반송 로봇 (50) 의 핸드 (48) 로 반출할 수도 있다.
또한, 상기 실시예는 성막 장치였지만, 얼라이먼트 마스크를 사용한 진공 처리 장치이면, 예를 들어 에칭 장치 등, 다른 종류의 진공 처리 장치에도 사용할 수 있다.
1……진공 처리 장치
10……기판
11……진공조
12……가스 도입 장치
14……프레임체
15……얼라이먼트 마스크
18……배치부
21……제 1 승강 부재
22……제 2 승강 부재
23……플레이트
24……핀 지지 부재
41……마스크 승강용 관통공
42……기판 승강용 관통공
45……마스크 승강 핀
46……기판 승강 핀
47……걸림 부재
48……핸드
50……기판 반송 로봇
10……기판
11……진공조
12……가스 도입 장치
14……프레임체
15……얼라이먼트 마스크
18……배치부
21……제 1 승강 부재
22……제 2 승강 부재
23……플레이트
24……핀 지지 부재
41……마스크 승강용 관통공
42……기판 승강용 관통공
45……마스크 승강 핀
46……기판 승강 핀
47……걸림 부재
48……핸드
50……기판 반송 로봇
Claims (12)
- 진공조와,
기판이 설치되는 플레이트와,
상기 플레이트에 형성된 마스크 승강용 관통공에 삽입되고 상단에 얼라이먼트 마스크를 배치 가능하게 구성된 마스크 승강 핀과,
상기 플레이트에 형성된 기판 승강용 관통공에 삽입되고 상단에 기판을 배치 가능하게 구성된 기판 승강 핀과,
상기 플레이트의 하방 위치에 배치되고 상기 플레이트에 대해 상하로 상대 이동 가능한 핀 지지 부재를 가지고,
상기 마스크 승강 핀은 상기 기판 승강 핀보다 상하 방향으로 길게 형성되고,
상기 플레이트의 하방을 향한 면과 상기 플레이트에 매달린 상기 기판 승강 핀의 하단 사이의 거리를 제 1 거리로 하고, 상기 플레이트의 하방을 향한 면과 상기 플레이트에 매달린 상기 마스크 승강 핀의 하단 사이의 거리를 제 2 거리로 하면,
상기 플레이트의 하방을 향한 면과 상기 핀 지지 부재의 상방을 향한 면의 사이가 상기 제 1 거리보다 작을 때, 상기 마스크 승강 핀과 상기 기판 승강 핀이 상기 핀 지지 부재에 지지되고,
상기 플레이트의 하방을 향한 면과 상기 핀 지지 부재의 상방을 향한 면의 사이가 상기 제 1 거리보다 크고, 상기 제 2 거리보다 작을 때, 상기 마스크 승강 핀이 상기 핀 지지 부재에 지지되고 상기 기판 승강 핀은 상기 플레이트에 매달리고,
상기 플레이트의 하방을 향한 면과 상기 핀 지지 부재의 상방을 향한 면의 사이가 상기 제 2 거리보다 클 때, 상기 마스크 승강 핀과 상기 기판 승강 핀이 상기 플레이트에 매달리는, 진공 처리 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 마스크 승강 핀과 상기 기판 승강 핀이 상기 핀 지지 부재 상에 실리고, 상기 마스크 승강 핀 상에 상기 얼라이먼트 마스크가 배치되고 상기 기판 승강 핀 상에 상기 기판이 배치된 상태에서,
상기 얼라이먼트 마스크와 상기 기판의 사이에, 기판 반송 로봇의 핸드가 삽입 가능하게 구성된, 진공 처리 장치. - 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 기판 승강 핀의 상단을 횡방향으로 이동시킴으로써, 상기 기판 승강 핀 상에 배치된 상기 기판을 이동시키고, 상기 얼라이먼트 마스크와 상기 기판을 위치 맞춤하는 위치 맞춤 장치와,
상기 진공조 내의 상기 플레이트의 상방에 배치된 배치부와,
상기 배치부 상에 배치되고 상기 마스크 승강 핀 상에 배치된 상기 얼라이먼트 마스크의 주위가 하방으로부터 상방으로 이동하여 맞닿게 되고, 상기 얼라이먼트 마스크를 상기 진공조에 대해 임시 고정시키는 프레임체를 가지고,
상기 위치 맞춤은, 상기 얼라이먼트 마스크가 상기 프레임체에 맞닿게 된 상태에서 실시되는, 진공 처리 장치. - 제 3 항에 있어서,
상기 얼라이먼트 마스크가 배치된 상기 마스크 승강 핀의 상승에 의해 상기 프레임체는 상기 얼라이먼트 마스크 상에 실리고, 상기 얼라이먼트 마스크와 함께 상기 배치부로부터 이간시켜 상승할 수 있도록 구성된, 진공 처리 장치. - 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 진공 처리 장치를 사용한 기판과 얼라이먼트 마스크의 이동 방법으로서,
상기 진공조 내에 기판과 얼라이먼트 마스크가 배치되어 있지 않은 상태에서, 상기 플레이트와 상기 핀 지지 부재와 상기 마스크 승강 핀의 상단과 상기 기판 승강 핀의 상단을, 제 1 핸드를 삽입하는 위치보다 하방에 위치시켜 두고, 얼라이먼트 마스크를 상기 제 1 핸드에 얹어 상기 진공조 내에 반입하고, 상기 핀 지지 부재를 상승시켜 상기 마스크 승강 핀을 상승시키고, 상기 마스크 승강 핀의 상단을 상기 얼라이먼트 마스크의 이면에 맞닿게 하여, 상기 얼라이먼트 마스크를 상기 제 1 핸드 상으로부터 상기 마스크 승강 핀 상에 옮겨 얹고, 상기 제 1 핸드를 상기 진공조 내로부터 발거하는 얼라이먼트 마스크 반입 공정과,
상기 마스크 승강 핀 상의 상기 얼라이먼트 마스크를 제 2 핸드를 삽입하는 위치보다 상방에 위치시키고, 또한 상기 기판 승강 핀의 상단을 상기 제 2 핸드를 삽입하는 위치보다 하방에 위치시켜 두고, 기판을 상기 제 2 핸드에 얹어 상기 진공조 내에 반입하고, 상기 얼라이먼트 마스크와 상기 기판 승강 핀의 상단의 사이에 삽입하여 상기 핀 지지 부재를 상승시켜 상기 기판 승강 핀을 상승시키고, 상기 기판 승강 핀의 상단을 상기 기판의 이면에 맞닿게 하여, 상기 기판을 상기 제 2 핸드 상으로부터 상기 기판 승강 핀 상에 옮겨 얹고, 상기 제 2 핸드를 상기 진공조 내로부터 발거하는 기판 반입 공정을 갖는, 기판과 얼라이먼트 마스크의 이동 방법. - 제 5 항에 있어서,
상기 제 1 핸드와 상기 제 2 핸드는 동일한 반송 로봇의 핸드인, 기판과 얼라이먼트 마스크의 이동 방법. - 제 5 항에 있어서,
상기 제 1 핸드와 상기 제 2 핸드는 서로 상이한 반송 로봇의 핸드인, 기판과 얼라이먼트 마스크의 이동 방법. - 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 진공 처리 장치를 사용한 기판과 얼라이먼트 마스크의 이동 방법으로서,
상기 마스크 승강 핀과 상기 기판 승강 핀이 상기 핀 지지 부재 상에 실리고, 상기 마스크 승강 핀 상에 얼라이먼트 마스크가 배치되고 상기 기판 승강 핀 상에 기판이 배치된 상태에서, 상기 기판을 제 3 핸드를 삽입하는 위치보다 상방에 위치시키고, 또한 상기 플레이트를 상기 제 3 핸드를 삽입하는 위치보다 하방에 위치시켜 두고, 상기 제 3 핸드를 상기 기판과 상기 플레이트의 사이에 삽입하여 상기 핀 지지 부재를 강하시켜 상기 기판 승강 핀을 강하시키고, 상기 기판의 이면을 상기 제 3 핸드에 접촉시켜 상기 기판을 상기 기판 승강 핀 상으로부터 상기 제 3 핸드 상에 옮겨 얹고, 상기 기판을 상기 제 3 핸드에 얹어 상기 진공조 내로부터 반출하는 기판 반출 공정과,
상기 얼라이먼트 마스크를 제 4 핸드를 삽입하는 위치보다 상방에 위치시키고, 또한 상기 플레이트를 상기 제 4 핸드를 삽입하는 위치보다 하방에 위치시켜 두고, 상기 제 4 핸드를 상기 얼라이먼트 마스크와 상기 플레이트의 사이에 삽입하여 상기 핀 지지 부재를 강하시켜 상기 마스크 승강 핀을 강하시키고, 상기 얼라이먼트 마스크의 이면을 상기 제 4 핸드에 접촉시켜 상기 얼라이먼트 마스크를 상기 마스크 승강 핀 상으로부터 상기 제 4 핸드 상에 옮겨 얹고, 상기 얼라이먼트 마스크를 상기 제 4 핸드에 얹어 상기 진공조 내로부터 반출하는 얼라이먼트 마스크 반출 공정을 갖는, 기판과 얼라이먼트 마스크의 이동 방법. - 제 8 항에 있어서,
상기 제 3 핸드와 상기 제 4 핸드는 동일한 반송 로봇의 핸드인, 기판과 얼라이먼트 마스크의 이동 방법. - 제 8 항에 있어서,
상기 제 3 핸드와 상기 제 4 핸드는 서로 상이한 반송 로봇의 핸드인, 기판과 얼라이먼트 마스크의 이동 방법. - 제 3 항에 기재된 진공 처리 장치를 사용한 기판과 얼라이먼트 마스크의 위치 맞춤 방법으로서,
상기 마스크 승강 핀과 상기 기판 승강 핀이 상기 핀 지지 부재 상에 실리고, 상기 마스크 승강 핀 상에 얼라이먼트 마스크가 배치되고 상기 기판 승강 핀 상에 기판이 배치된 상태에서,
상기 핀 지지 부재를 상승시켜 상기 마스크 승강 핀을 상승시키고, 상기 마스크 승강 핀 상의 상기 얼라이먼트 마스크를 상기 프레임체에 맞닿게 하고,
상기 기판 승강 핀의 상단을 횡방향으로 이동시켜, 상기 기판 승강 핀 상의 상기 기판을 이동시켜, 상기 얼라이먼트 마스크와 상기 기판을 위치 맞춤하는, 기판과 얼라이먼트 마스크의 위치 맞춤 방법. - 제 11 항에 기재된 기판과 얼라이먼트 마스크의 위치 맞춤 방법에 의해 상기 기판과 상기 얼라이먼트 마스크가 위치 맞춤된 상태를 유지하면서, 상기 플레이트를 상승시켜 상기 플레이트의 표면을 상기 기판의 이면에 접촉시켜 상기 기판을 상기 기판 승강 핀으로부터 상기 플레이트 상에 옮겨 얹게 하고, 상기 기판 승강 핀을 상기 핀 지지 부재로부터 들어 올려 상기 플레이트에 매달고,
상기 플레이트를 상승시켜 상기 플레이트 상의 상기 기판의 표면을 상기 얼라이먼트 마스크의 이면에 접촉시켜 상기 얼라이먼트 마스크를 상기 마스크 승강 핀으로부터 상기 기판 상에 옮겨 얹게 하고, 상기 마스크 승강 핀을 상기 핀 지지 부재로부터 들어 올려 상기 플레이트에 매달고,
상기 얼라이먼트 마스크의 상방으로부터 박막 형성용의 재료 가스를 산포하여, 상기 얼라이먼트 마스크의 개구부로부터 노출된 상기 기판의 표면에 박막을 성막하는, 성막 방법.
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