JP2018531510A - 基板製造のためのウエハプレートおよびマスク器具 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 201
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 17
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 116
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims abstract description 30
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 358
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 47
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 35
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 29
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 25
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 12
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 11
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000012634 fragment Substances 0.000 claims description 4
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 claims 5
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 claims 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 25
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 21
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 6
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 5
- 238000013461 design Methods 0.000 description 5
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 4
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 3
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- KPLQYGBQNPPQGA-UHFFFAOYSA-N cobalt samarium Chemical compound [Co].[Sm] KPLQYGBQNPPQGA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 2
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 2
- 229910000938 samarium–cobalt magnet Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 2
- 101001073212 Arabidopsis thaliana Peroxidase 33 Proteins 0.000 description 1
- 101001123325 Homo sapiens Peroxisome proliferator-activated receptor gamma coactivator 1-beta Proteins 0.000 description 1
- 102100028961 Peroxisome proliferator-activated receptor gamma coactivator 1-beta Human genes 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005513 bias potential Methods 0.000 description 1
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 229920001973 fluoroelastomer Polymers 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 239000007943 implant Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002907 paramagnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229920003223 poly(pyromellitimide-1,4-diphenyl ether) Polymers 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 description 1
- 239000007779 soft material Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
- H01L21/682—Mask-wafer alignment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
- H01L21/681—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment using optical controlling means
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- H—ELECTRICITY
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
Claims (28)
- 真空処理チャンバにおいてウエハを処理するためのシステムであって、
キャリアのそれぞれが複数の開口部を有するフレームを含み、前記開口部のそれぞれが1枚のウエハを収容するように構成された、複数のキャリアと、
前記複数のキャリアを前記システムにおいて搬送するように構成された搬送器具と、
ウエハプレートのそれぞれが1枚のウエハを支持するように構成された、複数のウエハプレートと
前記キャリアのそれぞれに複数のウエハプレートを取り付けるための取付器具において、前記ウエハプレートのそれぞれは、前記ウエハプレートの1つに配置された前記ウエハのそれぞれが前記キャリアの前記複数の開口部の1つに配置されるように、対応するキャリアの下側の対応する位置に取り付けられる、取付器具と、
マスクのぞれぞれが前記キャリアの前記複数の開口部の1つの前側に取り付けられる、複数のマスクと、
前記ウエハプレートの1つを前記キャリアの前記複数の開口部の1つの下方で支持するように構成されるとともに、移動、回転、および上昇の動作のために構成された、位置合わせステージと、
前記複数のマスクの1つを撮像するとともに、前記ウエハプレートが前記位置合わせステージに配置されたとき前記ウエハプレートの1つに配置されたウエハを撮像するように配置されたカメラと、
前記カメラから画像を受信して、前記位置合わせステージに補正信号を送信するコントローラと、を含むシステム。 - 前記複数のマスクは、複数の内マスクと複数の外マスクと含み、
前記複数の内マスクのそれぞれは、前記キャリアの前記複数の開口部の1つの上に配置するように構成され、前記ウエハの一部をマスキングするとともに前記ウエハの残りの部分を露出するために開口パターンを有し、
前記複数の外マスクのそれぞれは、対応する内マスクの上に配置するように構成され、前記内マスクを部分的にカバーするように構成された開口部を有する、請求項1に記載のシステム。 - 前記ウエハプレートのそれぞれは、アルミニウム製のフラットプレートである、請求項1に記載のシステム。
- 前記取付器具は、前記複数のウエハプレートのそれぞれに取り付けられた複数のマグネットを含む、請求項3に記載のシステム。
- 前記複数のウエハプレートのそれぞれは真空孔をさらに含む、請求項4に記載のシステム。
- 前記ウエハプレートを前記カメラの視界に入る位置に搬送するように構成されたコンベアベルトをさらに含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記搬送器具は、前記ウエハプレートが前記キャリアから取り外されたとき前記キャリアを搬送するように構成された第1リニアコンベアと、前記ウエハプレートを搬送するように構成された第2リニアコンベアとを含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記位置合わせステージはシートプレートを含み、該シートプレートは、前記ウエハプレートの前記真空孔に位置合わせされた第1組の真空孔と、前記ウエハプレートを前記シートプレートに保持するために吸引を行うように構成された第2組の真空孔とを有する、請求項5に記載のシステム。
- アンロードシートプレートを包含するアンロードステージをさらに含み、該アンロードシートプレートは、前記ウエハプレートの前記真空孔をブロックして前記真空孔への連通を妨げるとともに、前記ウエハプレートを前記アンロードシートプレートに保持するために吸引を行うように構成された一組の真空孔を含む、請求項5に記載のシステム。
- 前記ウエハプレートから任意の基板破片を回収するために前記ウエハプレートを回収容器の上へ垂直方向に傾斜させる機構を有する基板アンロードステーションをさらに含む、請求項1に記載のシステム。
- ウエハを処理するシステムであって、
第1組の吸引孔を有するロードシートプレートを備えるとともに垂直方向に移動可能であるロードステージを有する、ロードステーションと、
第2組の吸引孔および第3組の吸引孔を有する位置合わせシートプレートを備えるとともにx−y−zおよび回転方向に移動可能である位置合わせステージを有する、位置合わせステーションと、
第4組の吸引孔を有するアンロードシートプレートを備えるとともに垂直および傾斜方向に移動可能であるアンロードステージを有し、前記アンロードステージが傾斜方向に移動するとき前記アンロードシートプレートは垂直方向になる、アンロードステーションと、
前記位置合わせステーションと前記アンロードステーションとの間に配置された少なくとも1つの真空処理チャンバと、
ウエハプレートのそれぞれが1つのウエハを支持するように構成されるとともに、前記ウエハプレート上に配置されたウエハに真空を付加するように構成された第5組の吸引孔を有する、複数のウエハプレートと、
前記複数のウエハプレートを、連続して、前記ロードステーションから、前記位置合わせステーション、前記真空処理チャンバ、前記アンロードステーションへと搬送し、前記ロードステーションに戻るように搬送するために構成された搬送器具と、を含み、
前記第1組の吸引孔、前記第2組の吸引孔、および前記第4組の吸引孔は、前記ウエハプレートに真空を付加するように構成され、前記第3組の吸引孔は、前記第5組の吸引孔と位置合わせされて連通される、システム。 - 複数のキャリアをさらに含み、該キャリアのそれぞれは複数のウエハプレートを前記キャリアの下側から支持するように構成された、請求項11に記載のシステム。
- 複数のマスクをさらに含み、該マスクのそれぞれは前記キャリアの1つの上面に取り付けられる、請求項12に記載のシステム。
- 前記ウエハプレートのそれぞれは3つのメサを含み、前記メサのそれぞれは前記吸引孔の1つを含む、請求項11に記載のシステム。
- 前記メサのそれぞれは前記吸引孔の周りのシール部をさらに含む、請求項14に記載のシステム。
- 前記ウエハプレートのそれぞれは、緩衝リングと該緩衝リングに取り付けられた複数のマグネットとをさらに含む、請求項14に記載のシステム。
- 前記アンロードステーションが傾斜方向に移動するときウエハプレートからウエハの断片を受け入れるように構成された容器をさらに含む、請求項11に記載のシステム。
- 前記位置合わせステーションは、前記位置合わせステージに載置されたウエハプレートに配置されたウエハを撮像するとともに、キャリアに取り付けられたマスクを撮像するように位置合わせされたカメラをさらに含む、請求項13に記載のシステム。
- 前記カメラから画像を受信し、かつ前記ウエハを前記マスクに位置合わせするために前記位置合わせステージに位置合わせ信号を送信するコントローラをさらに含む、請求項18に記載のシステム。
- 前記搬送器具は、前記キャリアを搬送するように構成された第1コンベアベルトと、前記ウエハプレートを搬送するように構成された第2コンベアベルトとを含む、請求項12に記載のシステム。
- 真空処理チャンバにおいてウエハを処理するための方法であって、
キャリアの上面に、前記キャリアの開口部に重なるマスクを取り付けるステップと、
ウエハプレートの上面にウエハをロードするステップと、
前記ウエハを備えた前記ウエハプレートを位置合わせステーションに搬送して、前記ウエハプレートを位置合わせステージに配置するステップと、
カメラを作動させて前記位置合わせステージ上の前記ウエハを撮像するステップと、
前記マスクを備えた前記キャリアを前記位置合わせステーションに搬送するステップと、
前記カメラを作動させて前記マスクを撮像するステップと、
前記ウエハおよび前記マスクの画像を使用して位置ずれを計算するとともに、前記位置合わせステージを作動させて前記ウエハを前記マスクに位置合わせするステップと、
前記ウエハが前記マスクに位置合わせされると、前記位置合わせステージを上昇させて、前記ウエハが前記キャリアの開口部内に配置されるように前記ウエハプレートを前記キャリアの下側に取り付けるステップと、
前記位置合わせステージを下降させるステップと、
前記キャリアを前記真空処理チャンバに搬送して前記ウエハを処理するステップと、を含む方法。 - 前記ウエハプレートを前記位置合わせステージに配置するとき、前記ウエハに吸引を行うことをさらに含む、請求項21に記載の方法。
- 前記マスクを取り付けることには、前記キャリアに内マスクを取り付けることと、前記内マスク上に外マスクを取り付けることとを含む、請求項21に記載の方法。
- 前記ウエハプレートを前記キャリアの下側に取り付けることには、前記ウエハプレートと前記キャリアとの間に磁力を付加することを含む、請求項21に記載の方法。
- 前記マスクに前記磁力を付加することをさらに含む、請求項24に記載の方法。
- 真空処理チャンバにおいてウエハを処理するための方法であって、
ウエハプレートをロード位置に搬送して、前記ウエハプレートにウエハをロードするステップと、
前記ウエハプレートを位置合わせステーションに移動させて、前記ウエハプレートを位置合わせステージに配置するステップと、
前記ウエハを前記ウエハプレートに保持するために吸引を行うステップと
前記ウエハをカメラを使用して撮像して、画像から前記ウエハのx軸およびy軸を計算するステップと、
前記位置合わせステーションにキャリアを搬送するとともに、前記キャリアの開口部が前記ウエハプレートの上方に配置されるように前記キャリアを前記ウエハプレートの上方に配置して、マスク開口部を有するマスクが前記キャリアの上に配置されるステップと、
前記キャリアを持ち上げて、前記キャリアを機械的に固定された静止位置に配置するステップと、
前記カメラを作動させて前記キャリア上の前記マスク開口部を撮像するとともに、前記マスク開口部のx軸およびy軸を計算するステップと
位置合わせステージを作動させて、前記ウエハの前記x軸およびy軸を前記マスク開口部の前記x軸およびy軸に一致させるように前記ウエハプレートを移動させるステップと、
前記ウエハが前記キャリアの開口部内に配置されるように前記ウエハプレートが前記キャリアに接触して取り付けられるまで前記ウエハプレートを持ち上げるステップと、
真空を解除するステップと
前記ウエハプレートを備えた前記キャリアを前記真空処理チャンバに搬送するステップと、を含む方法。 - 吸引を行うことには、前記ウエハを前記ウエハプレートに保持するために、かつ前記ウエハプレートを前記ステージに保持するために吸引を行うことを含む、請求項26に記載の方法。
- 前記キャリアを前記真空処理チャンバから搬送することと、前記ウエハプレートをアンロードステージにロードすることと、前記アンロードステージを作動して前記ウエハプレートを傾斜させることで前記ウエハプレート上に位置する任意のウエハ断片を取り除くこととをさらに含む、請求項26に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201562235898P | 2015-10-01 | 2015-10-01 | |
US62/235,898 | 2015-10-01 | ||
PCT/US2016/055021 WO2017059373A1 (en) | 2015-10-01 | 2016-09-30 | Wafer plate and mask arrangement for substrate fabrication |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018531510A true JP2018531510A (ja) | 2018-10-25 |
JP2018531510A6 JP2018531510A6 (ja) | 2018-12-13 |
JP6816132B2 JP6816132B2 (ja) | 2021-01-20 |
Family
ID=58427960
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018517129A Active JP6816132B2 (ja) | 2015-10-01 | 2016-09-30 | 基板製造のためのウエハプレートおよびマスク器具 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6816132B2 (ja) |
KR (1) | KR102447219B1 (ja) |
CN (1) | CN108290694B (ja) |
MY (1) | MY190638A (ja) |
PH (1) | PH12018500685A1 (ja) |
SG (1) | SG10201906641WA (ja) |
TW (1) | TWI611998B (ja) |
WO (1) | WO2017059373A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6914600B2 (ja) * | 2017-10-24 | 2021-08-04 | 住重アテックス株式会社 | 固定装置およびイオン照射方法 |
WO2019225838A1 (ko) | 2018-05-25 | 2019-11-28 | 주식회사 엘지화학 | 배터리 하우징 및 이를 포함하는 배터리 모듈 |
US11137675B2 (en) | 2018-08-14 | 2021-10-05 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Mask and method for forming the same |
US11196360B2 (en) | 2019-07-26 | 2021-12-07 | Applied Materials, Inc. | System and method for electrostatically chucking a substrate to a carrier |
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- 2016-09-30 WO PCT/US2016/055021 patent/WO2017059373A1/en active Application Filing
- 2016-09-30 MY MYPI2018701283A patent/MY190638A/en unknown
- 2016-09-30 KR KR1020187009169A patent/KR102447219B1/ko active IP Right Grant
- 2016-09-30 SG SG10201906641WA patent/SG10201906641WA/en unknown
- 2016-09-30 CN CN201680070352.1A patent/CN108290694B/zh active Active
- 2016-10-03 TW TW105131864A patent/TWI611998B/zh not_active IP Right Cessation
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CN108290694B (zh) | 2021-05-04 |
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SG10201906641WA (en) | 2019-09-27 |
MY190638A (en) | 2022-04-29 |
JP6816132B2 (ja) | 2021-01-20 |
TW201722822A (zh) | 2017-07-01 |
WO2017059373A1 (en) | 2017-04-06 |
KR20180059804A (ko) | 2018-06-05 |
PH12018500685A1 (en) | 2018-10-15 |
KR102447219B1 (ko) | 2022-09-23 |
CN108290694A (zh) | 2018-07-17 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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