KR20120096522A - 기판 처리 시스템 및 군 관리 장치 - Google Patents
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Abstract
기판을 처리하는 기판 처리 장치와, 기판 처리 장치에 접속되는 군 관리 장치와, 구비하는 기판 처리 시스템으로서, 군 관리 장치는, 기판 처리의 진행 상황 또는 기판 처리 장치의 상태를 나타내는 모니터 데이터를 기판 처리 장치로부터 수신하는 통신 수단; 통신 수단이 수신한 모니터 데이터를 생산 정보 데이터에 관련지어서 독출 가능하게 격납하는 데이터베이스부; 데이터베이스부로부터 모니터 데이터 및 생산 정보 데이터를 독출하고, 모니터 데이터를 기초로 대표값 데이터를 생성하고, 모니터 데이터, 생산 정보 데이터 및 대표값 데이터를 포함하는 파일을 작성하여 독출 가능하게 격납하는 파일 아카이브부; 및 소정의 검색 조건의 입력을 접수해서 파일을 검색하고, 검색 조건에 합치하는 상기 파일에 격납되어 있는 데이터를 표시 수단에 표시하는 데이터 검색부;를 구비한다.
Description
본 발명은, 기판을 처리하는 기판 처리 장치와 상기 기판 처리 장치에 접속되는 군(群) 관리 장치를 구비하는 기판 처리 시스템 및 군 관리 장치에 관한 것이다.
레시피에 기초하는 기판 처리 프로세스[뱃치(batch) 처리]를 반복 실행하는 기판 처리 장치 내에는, 기판 처리 프로세스의 진행 상황이나 기판 처리 장치의 상태를 나타내는 모니터 데이터(예컨대 온도, 가스 유량, 압력 등의 시계열 데이터)의 발생 개소(箇所)(예컨대 온도 센서, 가스 유량계, 압력계 등, 이하 이들을 데이터 발생 개소라고 부른다)가 다수 존재한다. 기판 처리 장치가 복수 존재할 경우, 기판 처리 프로세스의 진행 상황이나 기판 처리 장치군의 상태를 통합적이고 또한 효율적으로 관리하기 위해서, 복수의 기판 처리 장치에 접속되는 군 관리 장치(상위 관리 장치)가 사용될 수 있다. 군 관리 장치는, 기판 처리 프로세스의 진행 상황이나 기판 처리 장치의 상태를 나타내는 전술한 데이터를 각 기판 처리 장치로부터 수신하고, 수신한 데이터를 데이터베이스(DB)에 독출(讀出) 가능하게 격납(格納)하도록 구성된다.
기판 처리 장치나 기판 처리 프로세스에 이상(異常)이 발생한 경우, 기판 처리 장치의 사용자나 보수원(이하, 조작원이라고도 부른다)은, 군 관리 장치를 조작하여, DB에 격납된 데이터를 독출하고, 독출한 데이터를 소정의 해석 방법에 기초하여 해석하여, 이상 현상의 발생 요인을 해석(이하, 이상 해석이라고 부른다)하였다. 하지만, 군 관리 장치에 축적되는 모니터 데이터의 양은 방대해서, 이상 해석 시에 필요한 정보를 적절한 형식으로 인출하기 위해서는 경험과 수고가 필요했다. 그렇기 때문에 이상 해석을 적절하게 수행할 수 없거나 또는 조작원의 기량(技量)에 의해 해석 결과에 편차가 생겨는 경우가 있었다.
또한 방대한 모니터 데이터를 자기(磁氣) 테이프 등의 외부 기억 장치를 이용하여 백업하면, 과거의 모니터 데이터를 참조하기 위해서는 백업 데이터를 군 관리 장치에 복원하는 리스토어 작업이 필요해져, 데이터 이용의 편리성이 저하한다. 또한 군 관리 장치에 구축되는 데이터베이스를 분할해서 그 일부를 외부 기억 장치 등에 백업하였을 경우에도, 마찬가지로 과거의 모니터 데이터를 참조하기 위해서 리스토어 작업이 필요해져, 데이터 이용의 편리성이 저하한다.
본 발명의 목적은, 모니터 데이터를 참조할 때의 편리성을 향상시키는 것이 가능한 기판 처리 시스템 및 군 관리 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 제1 형태에 의하면, 기판을 처리하는 기판 처리 장치와, 상기 기판 처리 장치에 접속되는 군 관리 장치를 구비하는 기판 처리 시스템으로서, 상기 군 관리 장치는, 기판 처리의 진행 상황 또는 상기 기판 처리 장치의 상태를 나타내는 모니터 데이터를 상기 기판 처리 장치로부터 수신하는 통신 수단; 상기 통신 수단이 수신한 상기 모니터 데이터를 생산 정보 데이터에 관련지어서 독출 가능하게 격납하는 데이터베이스부; 상기 데이터베이스부로부터 상기 모니터 데이터 및 상기 생산 정보 데이터를 독출하고, 상기 모니터 데이터를 기초로 대표값 데이터를 생성하고, 상기 모니터 데이터, 상기 생산 정보 데이터 및 상기 대표값 데이터를 포함하는 파일을 작성하여 독출 가능하게 격납하는 파일 아카이브부; 및 소정의 검색 조건의 입력을 접수하여 상기 파일을 검색하고, 상기 검색 조건에 합치(合致)하는 상기 파일에 격납되어 있는 데이터를 표시 수단에 표시하는 데이터 검색부;를 구비하는 기판 처리 시스템이 제공된다.
본 발명의 제2 형태에 의하면, 기판 처리의 진행 상황 또는 기판 처리 장치의 상태를 나타내는 모니터 데이터를 상기 기판 처리 장치로부터 수신하는 통신 수단; 상기 통신 수단이 수신한 상기 모니터 데이터를 생산 정보 데이터에 관련지어서 독출 가능하게 격납하는 데이터베이스부; 상기 데이터베이스부로부터 상기 모니터 데이터 및 상기 생산 정보 데이터를 독출하고, 상기 모니터 데이터를 기초로 대표값 데이터를 생성하고, 상기 모니터 데이터, 상기 생산 정보 데이터 및 상기 대표값 데이터를 포함하는 파일을 작성하여 독출 가능하게 격납하는 파일 아카이브부;및 소정의 검색 조건의 입력을 접수하여 상기 파일을 검색하고, 상기 검색 조건에 합치하는 상기 파일에 격납되어 있는 데이터를 표시 수단에 표시하는 데이터 검색부;를 구비하는 군 관리 장치가 제공된다.
본 발명의 제3 형태에 의하면, 기판을 처리하는 기판 처리 장치와, 상기 기판 처리 장치에 접속되는 군 관리 장치를 구비하는 기판 처리 시스템으로서, 상기 군 관리 장치는, 기판 처리의 진행 상황 또는 상기 기판 처리 장치의 상태를 나타내는 모니터 데이터를 상기 기판 처리 장치로부터 수신하는 통신 수단; 상기 통신 수단이 수신한 상기 모니터 데이터를 생산 정보 데이터 및 정의 정보 데이터에 관련지어서 독출 가능하게 격납하는 데이터베이스부; 상기 데이터베이스부로부터 상기 생산 정보 데이터 및 상기 정의 정보 데이터에 관련지어진 상기 모니터 데이터를 독출하고, 상기 모니터 데이터를 기초로 대표값 데이터를 생성하고, 상기 모니터 데이터, 상기 생산 정보 데이터, 상기 정의 정보 데이터 및 상기 대표값 데이터를 포함하는 파일을 작성하여 독출 가능하게 격납하는 파일 아카이브부; 및 소정의 검색 조건의 입력을 접수하여 상기 파일을 검색하고, 상기 검색 조건에 합치하는 상기 파일에 격납되어 있는 데이터를 표시 수단에 표시하는 데이터 검색부;를 구비하는 기판 처리 시스템이 제공된다.
본 발명의 제4 형태에 의하면, 기판 처리의 진행 상황 또는 기판 처리 장치의 상태를 나타내는 모니터 데이터를 상기 기판 처리 장치로부터 수신하는 통신 수단; 상기 통신 수단이 수신한 상기 모니터 데이터를 생산 정보 데이터 및 정의 정보 데이터에 관련지어서 독출 가능하게 격납하는 데이터베이스부; 상기 데이터베이스부로부터 상기 생산 정보 데이터 및 상기 정의 정보 데이터에 관련지어진 상기 모니터 데이터를 독출하고, 상기 모니터 데이터를 기초로 대표값 데이터를 생성하고, 상기 모니터 데이터, 상기 생산 정보 데이터, 상기 정의 정보 데이터 및 상기 대표값 데이터를 포함하는 파일을 작성하여 독출 가능하게 격납하는 파일 아카이브부; 및 소정의 검색 조건의 입력을 접수하여 상기 파일을 검색하고, 상기 검색 조건에 합치하는 상기 파일에 격납되어 있는 데이터를 표시 수단에 표시하는 데이터 검색부;를 구비하는 군 관리 장치가 제공된다.
본 발명에 따른 기판 처리 시스템 및 군 관리 장치에 의하면, 모니터 데이터를 참조할 때의 편리성을 향상시키는 것이 가능해진다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 처리 시스템의 개요 구성도.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 처리 장치 및 군 관리 장치의 블록 구성도.
도 3은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 군 관리 장치의 내부 동작을 예시하는 모식도.
도 4는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 파일의 구조를 예시하는 모식도.
도 5는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 대표값 데이터부의 구조를 예시하는 모식도.
도 6은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 파일 아카이브부에 의한 파일 조작의 양상을 예시하는 개략도.
도 7은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 데이터 검색부에 의한 파일 검색의 양상을 예시하는 개략도.
도 8은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 사투시도(斜透視圖).
도 9는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 측면 투시도.
도 10은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 처리로(處理爐)의 종단면도(縱斷面圖).
도 11은 본 발명의 또 다른 실시 형태에 따른 기판 처리 시스템에서 관리되는 정의 정보 데이터의 구조를 예시하는 모식도.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시 형태에 따른 군 관리 장치에서 정의 정보 데이터가 관리되는 양상을 나타내는 플로우도.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시 형태에 따른 군 관리 장치에서 정의 정보 데이터가 파일 아카이브 내에 격납되는 양상을 예시하는 모식도.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 처리 장치 및 군 관리 장치의 블록 구성도.
도 3은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 군 관리 장치의 내부 동작을 예시하는 모식도.
도 4는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 파일의 구조를 예시하는 모식도.
도 5는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 대표값 데이터부의 구조를 예시하는 모식도.
도 6은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 파일 아카이브부에 의한 파일 조작의 양상을 예시하는 개략도.
도 7은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 데이터 검색부에 의한 파일 검색의 양상을 예시하는 개략도.
도 8은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 사투시도(斜透視圖).
도 9는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 측면 투시도.
도 10은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 처리로(處理爐)의 종단면도(縱斷面圖).
도 11은 본 발명의 또 다른 실시 형태에 따른 기판 처리 시스템에서 관리되는 정의 정보 데이터의 구조를 예시하는 모식도.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시 형태에 따른 군 관리 장치에서 정의 정보 데이터가 관리되는 양상을 나타내는 플로우도.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시 형태에 따른 군 관리 장치에서 정의 정보 데이터가 파일 아카이브 내에 격납되는 양상을 예시하는 모식도.
<본 발명의 일 실시 형태>
이하에 본 발명의 일 실시 형태에 대하여 설명한다.
(1) 기판 처리 시스템의 구성
우선 도 1을 참조하여, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 처리 시스템의 구성에 대하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 처리 시스템의 개요 구성도다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에 따른 기판 처리 시스템은, 처리 순서 및 처리 조건이 정의된 레시피에 기초한 기판 처리 프로세스를 실행하는 적어도 1대의 기판 처리 장치(100)와, 기판 처리 장치(100)와 데이터 교환 가능하도록 접속되는 군 관리 장치(500)를 구비한다. 기판 처리 장치(100)와 군 관리 장치(500) 사이는 예컨대 구내 회선(LAN)이나 광역 회선(WAN) 등의 네트워크(400)에 의해 접속된다.
(2) 기판 처리 장치의 구성
계속해서 본 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(100)의 구성에 대하여 도 8, 도 9를 참조하여 설명한다. 도 8은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 사투시도다. 도 9는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(100)의 측면 투시도다. 또한 본 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(100)는 예컨대 웨이퍼 등의 기판에 산화, 확산 처리, CVD 처리 등을 수행하는 종형(縱型)의 장치로서 구성된다.
도 8, 도 9에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(100)는 내압 용기로서 구성된 광체(111, 筐體)를 구비한다. 광체(111)의 정면벽(111a)의 정면 전방부(前方部)에는, 메인터넌스 가능하도록 설치된 개구부로서의 정면 메인터넌스구(103)가 개설된다. 정면 메인터넌스구(103)에는, 정면 메인터넌스구(103)를 개폐(開閉)하는 한 쌍의 정면 메인터넌스문(104)이 설치된다. 실리콘 등의 웨이퍼(200, 기판)를 수납한 포드(110, 기판 수용기)가 광체(111) 내외로 웨이퍼(200)를 반송하는 캐리어로서 사용된다.
광체(111)의 정면벽(111a)에는, 포드 반입 반출구(112, 기판 수용기 반입 반출구)가 광체(111) 내외를 연통하도록 개설된다. 포드 반입 반출구(112)는 프론트 셔터(113, 기판 수용기 반입 반출구 개폐 기구)에 의해 개폐된다. 포드 반입 반출구(112)의 정면 전방측에는, 로드 포트(114)[기판 수용기 수도대(受渡臺)]가 설치된다. 로드 포트(114) 상에는, 포드(110)를 재치(載置)되는 것과 함께 위치 맞춤되도록 구성된다. 포드(110)는 공정 내 반송 장치(도시되지 않음)에 의해 로드 포트(114) 상에 반송되도록 구성된다.
광체(111) 내의 전후 방향의 대략 중앙부에서의 상부(上部)에는, 회전식 포드 선반(105, 기판 수용기 재치 선반)이 설치된다. 회전식 포드 선반(105) 상에는 복수 개의 포드(110)가 보관되도록 구성된다. 회전식 포드 선반(105)은, 수직으로 입설(立設)되어서 수평면 내에서 간헐(間歇) 회전되는 지주(116)와, 지주(116)에 상중하단의 각 위치에서 방사 형상으로 지지된 복수 매의 붕판(棚板)(117, 기판 수용기 재치대)을 구비한다. 복수 매의 붕판(117)은, 포드(110)를 복수 개 각각 재치한 상태로 보지(保持)하도록 구성된다.
광체(111) 내에서의 로드 포트(114)와 회전식 포드 선반(105) 사이에는, 포드 반송 장치(118, 기판 수용기 반송 장치)가 설치된다. 포드 반송 장치(118)는, 포드(110)를 보지한 채 승강(昇降) 가능한 포드 엘리베이터(118a, 기판 수용기 승강 기구)와, 반송 기구로서의 포드 반송 기구(118b, 기판 수용기 반송 기구)로 구성된다. 포드 엘리베이터(118a)와 포드 반송 기구(118b)의 연속 동작에 의해, 로드 포트(114), 회전식 포드 선반(105), 포드 오프너(121)[기판 수용기 개체(蓋體) 개폐 기구] 사이에서, 포드 반송 장치(118)는 포드(110)를 서로 반송하도록 구성된다.
광체(111) 내의 하부에는, 서브 광체(119)가 광체(111) 내의 전후 방향의 대략 중앙부로부터 후단에 걸쳐서 설치된다. 서브 광체(119)의 정면벽(119a)에는, 웨이퍼(200)를 서브 광체(119) 내외에 반송하는 한 쌍의 웨이퍼 반입 반출구(120, 기판 반입 반출구)가 수직 방향으로 상하 2단으로 배열되어서 설치된다. 상하단의 웨이퍼 반입 반출구(120)에는, 포드 오프너(121)가 각각 설치된다.
각 포드 오프너(121)는, 포드(110)를 재치하는 한 쌍의 재치대(122)와, 포드(110)의 캡(개체)을 착탈하는 캡 착탈 기구(123, 개체 착탈 기구)를 구비한다. 포드 오프너(121)는, 재치대(122) 상에 재치된 포드(110)의 캡을 캡 착탈 기구(123)에 의해 착탈하는 것에 의해, 포드(110)의 웨이퍼 출입구를 개폐하도록 구성된다.
서브 광체(119) 내에는, 포드 반송 장치(118)나 회전식 포드 선반(105) 등이 설치된 공간으로부터 유체(流體)적으로 격리된 이재실(124, 移載室)이 구성된다. 이재실(124)의 전측(前側) 영역에는 웨이퍼 이재 기구(125, 기판 이재 기구)가 설치된다. 웨이퍼 이재 기구(125)는, 웨이퍼(200)를 수평 방향으로 회전 내지 직동(直動) 가능한 웨이퍼 이재 장치(125a, 기판 이재 장치)와, 웨이퍼 이재 장치(125a)를 승강시키는 웨이퍼 이재 장치 엘리베이터(125b, 기판 이재 장치 승강 기구)로 구성된다. 도 10에 도시하는 바와 같이, 웨이퍼 이재 장치 엘리베이터(125b)는 서브 광체(119)의 이재실(124) 전방 영역 우단부(右端部)와 광체(111) 우측 단부 사이에 설치된다. 웨이퍼 이재 장치(125a)는 웨이퍼(200)의 재치부로서의 트위져(125c, 기판 보지체)를 구비한다. 이들 웨이퍼 이재 장치 엘리베이터(125b) 및 웨이퍼 이재 장치(125a)의 연속 동작에 의해, 웨이퍼(200)를 보트(217, 기판 보지구)에 대하여 장전(裝塡, charging) 및 탈장(脫裝, discharging)하는 것이 가능하도록 구성된다.
이재실(124)의 후측 영역에는, 보트(217)를 수용하여 대기(待機)시키는 대기부(126)가 구성된다. 대기부(126)의 상방에는, 기판 처리계로서의 처리로(202)가 설치된다. 처리로(202)의 하단부는 노구(爐口) 셔터(147, 노구 개폐 기구)에 의해 개폐되도록 구성된다.
도 10에 도시하는 바와 같이, 서브 광체(119)의 대기부(126) 우단부와 광체(111) 우측 단부 사이에는, 보트(217)를 승강시키기 위한 보트 엘리베이터(115, 기판 보지구 승강 기구)가 설치된다. 보트 엘리베이터(115)의 승강대에는, 연결구로서의 암(128)이 연결된다. 암(128)에는, 개체로서의 씰 캡(219)이 수평으로 설치된다. 씰 캡(219)은 보트(217)를 수직으로 지지하고 처리로(202)의 하단부를 폐색(閉塞) 가능하도록 구성된다.
보트(217)는 복수 개의 보지 부재를 구비한다. 보트(217)는 복수 매(예컨대 50장?125장 정도)의 웨이퍼(200)를 그 중심을 맞추어서 수직 방향으로 정렬시킨 상태에서 각각 수평으로 보지하도록 구성된다.
도 10에 도시하는 바와 같이, 이재실(124)의 웨이퍼 이재 장치 엘리베이터(125b)측 및 보트 엘리베이터(115)측과 반대측인 좌측 단부에는, 청정화된 분위기 또는 불활성 가스인 클린 에어(133)를 공급하도록 공급 팬 및 방진 필터로 구성된 클린 유닛(134)이 설치된다. 웨이퍼 이재 장치(125a)와 클린 유닛(134) 사이에는 도시되지 않지만, 웨이퍼의 원주 방향의 위치를 정합시키는 기판 정합 장치로서의 노치 맞춤 장치가 설치된다.
클린 유닛(134)으로부터 분출[吹出]된 클린 에어(133)는, 도시되지 않은 노치 맞춤 장치, 웨이퍼 이재 장치(125a), 대기부(126)에 있는 보트(217)의 주위를 유통한 후, 도시되지 않은 덕트에 의해 흡입(吸入)되어 광체(111)의 외부로 배기되거나, 또는 클린 유닛(134)의 흡입측인 일차측(一次側, 공급측)에까지 순환되어 클린 유닛(134)에 의해 이재실(124) 내로 분출되도록 구성된다.
(3) 기판 처리 장치의 동작
다음으로, 본 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(100)의 동작에 대하여, 도 8, 도 9를 참조하여 설명한다.
도 8, 도 9에 도시하는 바와 같이, 포드(110)가 로드 포트(114)에 공급되면, 포드 반입 반출구(112)가 프론트 셔터(113)에 의해 개방된다. 그리고 로드 포트(114) 상의 포드(110)가 포드 반송 장치(118)에 의해 포드 반입 반출구(112)로부터 광체(111) 내부로 반입된다.
광체(111) 내부로 반입된 포드(110)는, 포드 반송 장치(118)에 의해 회전식 포드 선반(105)의 붕판(117) 상으로 자동적으로 반송되고 일시적으로 보관된 후, 붕판(117) 상으로부터 일방(一方)의 포드 오프너(121)의 재치대(122) 상으로 이재된다. 또한, 광체(111) 내부로 반입된 포드(110)는 포드 반송 장치(118)에 의해 직접 포드 오프너(121)의 재치대(122) 상에 이재되어도 좋다. 이 때, 포드 오프너(121)의 웨이퍼 반입 반출구(120)는 캡 착탈 기구(123)에 의해 닫혀 있으며, 이재실(124) 내에는 클린 에어(133)가 유통되어 충만되고 있다. 예컨대 이재실(124) 내에 클린 에어(133)로서 질소가스가 충만하는 것에 의해, 이재실(124) 내의 산소 농도가 예컨대 20ppm 이하가 되고, 대기(大氣) 분위기인 광체(111) 내의 산소 농도보다도 훨씬 낮게 되도록 설정된다.
재치대(122) 상에 재치된 포드(110)는 그 개구측 단면(端面)이 서브 광체(119)의 정면벽(119a)에서의 웨이퍼 반입 반출구(120)의 개구 연변부(緣邊部)에 압부(押付)되는 것과 함께 그 캡이 캡 착탈 기구(123)에 의해 떼어 내져서, 웨이퍼 출입구가 개방된다. 그 후 웨이퍼(200)는, 웨이퍼 이재 장치(125a)의 트위져(125c)에 의해 웨이퍼 출입구를 통해서 포드(110) 내로부터 픽업되고, 노치 맞춤 장치에 의해 방향이 정합된 후, 이재실(124)의 후방에 있는 대기부(126) 내로 반입되고, 보트(217) 내에 장전(차징)된다. 보트(217) 내에 웨이퍼(200)를 장전한 웨이퍼 이재 장치(125a)는 포드(110)에 돌아가 다음 웨이퍼(200)를 보트(217) 내에 장전한다.
이 일방(상단 또는 하단)의 포드 오프너(121)에서의 웨이퍼 이재 기구(125)에 의한 웨이퍼의 보트(217)에의 장전 작업 중에, 타방(하단 또는 상단)의 포드 오프너(121)의 재치대(122) 상에는, 별도의 포드(110)가 회전식 포드 선반(105) 상으로부터 포드 반송 장치(118)에 의해 반송되고 이재되어, 포드 오프너(121)에 의한 포드(110)의 개방 작업이 동시에 진행된다.
미리 지정된 매수의 웨이퍼(200)가 보트(217) 내에 장전되면, 노구 셔터(147)에 의해 닫혀 있던 처리로(202)의 하단부가 노구 셔터(147)에 의해 개방된다. 계속해서 씰 캡(219)이 보트 엘리베이터(115)에 의해 상승되는 것에 의해, 웨이퍼(200)군을 보지한 보트(217)는 처리로(202) 내에 반입(로딩)된다.
로딩 후에는 처리로(202) 내에서 웨이퍼(200)에 임의의 처리가 실시된다. 처리 후에는 노치 맞춤 장치(135)에서의 웨이퍼의 정합 공정을 제외하면, 전술한 순서와 거의 반대의 순서로 처리 후의 웨이퍼(200)를 격납한 보트(217)가 처리실(201) 내로부터 반출되고, 처리 후의 웨이퍼(200)를 격납한 포드(110)가 광체(111) 외로 반출된다.
(4) 처리로의 구성
계속해서 본 실시 형태에 따른 처리로(202)의 구성에 대하여 도 10을 참조하여 설명한다. 도 10은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(100)의 처리로(202)의 종단면도다.
도 10에 도시하는 바와 같이, 처리로(202)는 반응관으로서의 프로세스 튜브(203)를 구비한다. 프로세스 튜브(203)는, 내부 반응관으로서의 이너 튜브(204)와, 그 외측에 설치된 외부 반응관으로서의 아우터 튜브(205)를 구비한다. 이너 튜브(204)는, 예컨대 석영(SiO2) 또는 탄화실리콘(SiC) 등의 내열성 재료로부터 이루어지고, 상단 및 하단이 개구한 원통 형상으로 형성된다. 이너 튜브(204) 내의 통중공부(筒中空部)에는, 기판으로서의 웨이퍼(200)를 처리하는 처리실(201)이 형성된다. 처리실(201) 내는 후술하는 보트(217)를 수용 가능하도록 구성된다. 아우터 튜브(205)는 이너 튜브(204)와 동심원 형상으로 설치된다. 아우터 튜브(205)는 내경이 이너 튜브(204)의 외경보다도 크고 상단이 폐색하고 하단이 개구한 원통 형상으로 형성된다. 아우터 튜브(205)는 예컨대 석영 또는 탄화실리콘 등의 내열성 재료로부터 이루어진다.
프로세스 튜브(203)의 외측에는, 프로세스 튜브(203)의 측벽면을 둘러싸도록 가열 기구로서의 히터(206)가 설치된다. 히터(206)는 원통 형상이며 보지판으로서의 히터 베이스(251)에 지지되는 것에 의해 수직으로 설치된다.
아우터 튜브(205)의 하방에는, 아우터 튜브(205)와 동심원 형상이 되도록 매니폴드(209)가 배설(配設)된다. 매니폴드(209)는 예컨대 스텐레스 등으로부터 이루어지고, 상단 및 하단이 개구한 원통 형상으로 형성된다. 매니폴드(209)는 이너 튜브(204)의 하단부와 아우터 튜브(205)의 하단부에 각각 계합(係合)하여 이들을 지지하도록 설치된다. 또한 매니폴드(209)와 아우터 튜브(205) 사이에는, 씰 부재로서의 O링(220a)이 설치된다. 매니폴드(209)가 히터 베이스(251)에 지지되는 것에 의해, 프로세스 튜브(203)는 수직으로 설치된 상태로 된다. 프로세스 튜브(203)와 매니폴드(209)에 의해 반응 용기가 형성된다.
후술하는 씰 캡(219)에는, 가스 도입부로서의 노즐(230)이 처리실(201) 내에 연통하도록 접속된다. 노즐(230)에는, 가스 공급관(232)이 접속된다. 가스 공급관(232)의 상류측[노즐(230)과의 접속측과 반대측]에는, 가스 유량 제어기로서의 MFC(241, Mass Flow Controller)를 개재하여, 도시되지 않은 처리 가스 공급원이나 불활성 가스 공급원 등이 접속된다. MFC(241)에는, 가스 유량 제어부(235)가 전기적(電氣的)으로 접속된다. 처리실(201) 내에 공급하는 가스의 유량이 원하는 타이밍에 원하는 유량이 되도록, 가스 유량 제어부(235)는 MFC(241)를 제어하도록 구성된다.
매니폴드(209)에는, 처리실(201) 내의 분위기를 배기하는 배기관(231)이 설치된다. 배기관(231)은, 이너 튜브(204)와 아우터 튜브(205)의 극간(隙間)에 의해 형성되는 통 형상[筒狀] 공간(250)의 하단부에 배치되어 있으며, 통 형상 공간(250)에 연통한다. 배기관(231)의 하류측[매니폴드(209)와의 접속측과 반대측]에는, 압력 검출기로서의 압력 센서(245), 예컨대 APC(Auto Pressure Contoroller)로서 구성된 압력 조정 장치(242), 진공 펌프 등의 진공 배기 장치(246)가 상류측으로부터 순서대로 접속된다. 압력 조정 장치(242) 및 압력 센서(245)에는, 압력 제어부(236)가 전기적으로 접속된다. 처리실(201) 내의 압력이 원하는 타이밍에 원하는 압력이 되도록, 압력 제어부(236)는 압력 센서(245)에 의해 검출된 압력값에 기초하여 압력 조정 장치(242)를 제어하도록 구성된다.
매니폴드(209)의 하방에는, 매니폴드(209)의 하단 개구를 기밀하게 폐색 가능한 노구 개체로서의 씰 캡(219)이 설치된다. 씰 캡(219)은 매니폴드(209)의 하단에 수직 방향 하측으로부터 당접되도록 구성된다. 씰 캡(219)은, 예컨대 스텐레스 등의 금속으로부터 이루어지고, 원반 형상으로 형성된다. 씰 캡(219)의 상면에는, 매니폴드(209)의 하단과 당접하는 씰 부재로서의 O링(220b)이 설치된다. 씰 캡(219)의 중심부 부근이며 처리실(201)과 반대측에는, 보트를 회전시키는 회전 기구(254)가 설치된다. 회전 기구(254)의 회전축(255)은 씰 캡(219)을 관통해서 보트(217)를 하방으로부터 지지한다. 회전 기구(254)는 보트(217)를 회전시키는 것에 의해 웨이퍼(200)를 회전시키는 것이 가능하도록 구성된다. 씰 캡(219)은, 프로세스 튜브(203)의 외부에 수직으로 설비된 승강 기구로서의 보트 엘리베이터(115)에 의해, 수직 방향으로 승강되도록 구성된다. 씰 캡(219)을 승강시키는 것에 의해, 보트(217)를 처리실(201) 내외에 반송하는 것이 가능하도록 구성된다. 회전 기구(254) 및 보트 엘리베이터(115)에는, 반송 제어부(238)가 전기적으로 접속된다. 반송 제어부(238)는, 회전 기구(254) 및 보트 엘리베이터(115)가 원하는 타이밍에 원하는 동작을 하도록, 이들을 제어하도록 구성된다.
전술한 바와 같이, 기판 보지구로서의 보트(217)는, 복수 매의 웨이퍼(200)를 수평자세로 또한 서로 중심을 맞춘 상태로 정렬시켜서 다단으로 보지하도록 구성된다. 보트(217)는 예컨대 석영이나 탄화규소 등의 내열성 재료로부터 이루어진다. 보트(217)의 하부에는, 예컨대 석영이나 탄화규소 등의 내열성 재료로부터 이루어지는 원판 형상을 한 단열 부재로서의 단열판(216)이 수평 자세에서 다단으로 복수 매 배치되어 있어서, 히터(206)로부터의 열이 매니폴드(209)측에 전달되는 것이 어려워지도록 구성된다.
프로세스 튜브(203) 내에는, 온도 검출기로서의 온도 센서(263)가 설치된다. 히터(206)와 온도 센서(263)에는, 전기적으로 온도 제어부(237)가 접속된다. 처리실(201) 내의 온도가 원하는 타이밍에 원하는 온도 분포가 되도록, 온도 제어부(237)는 온도 센서(263)에 의해 검출된 온도 정보에 기초하여 히터(206)에의 통전(通電) 상태를 조정하도록 구성된다.
가스 유량 제어부(235), 압력 제어부(236), 반송 제어부(238), 온도 제어부(237)는, 기판 처리 장치 전체를 제어하는 표시 장치 제어부(239)에 전기적으로 접속된다[이하, 가스 유량 제어부(235), 압력 제어부(236), 반송 제어부(238), 온도 제어부(237)를 I/O 제어부라고도 부른다]. 이들 가스 유량 제어부(235), 압력 제어부(236), 반송 제어부(238), 온도 제어부(237) 및 표시 장치 제어부(239)는, 기판 처리 장치용 컨트롤러(240)로서 구성된다. 기판 처리 장치용 컨트롤러(240)의 구성이나 동작에 대해서는 후술한다.
(5) 처리로의 동작
계속해서 반도체 디바이스의 제조 공정의 일 공정으로서 상기 구성에 따른 처리로(202)를 이용하여 CVD법에 의해 웨이퍼(200) 상에 박막을 형성하는 방법에 대하여, 도 10을 참조하여 설명한다. 또한 이하의 설명에서 기판 처리 장치(100)를 구성하는 각부(各部)의 동작은 기판 처리 장치용 컨트롤러(240)에 의해 제어된다.
복수 매의 웨이퍼(200)가 보트(217)에 장전(웨이퍼 차지)되면, 도 10에 도시하는 바와 같이 복수 매의 웨이퍼(200)를 보지한 보트(217)는 보트 엘리베이터(115)에 의해 들어 올려져 처리실(201) 내에 반입(보트 로딩)된다. 이 상태로 씰 캡(219)은 O링(220b)을 개재하여 매니폴드(209)의 하단을 씰링(seal)한 상태가 된다.
처리실(201) 내가 원하는 압력(진공도)이 되도록, 진공 배기 장치(246)에 의해 진공 배기된다. 이 때 압력 센서(245)가 측정한 압력값에 기초하여, 압력 조정 장치(242)[의 밸브의 개도(開度)]가 피드백 제어된다. 또한 처리실(201) 내가 원하는 온도가 되도록, 히터(206)에 의해 가열된다. 이 때 온도 센서(263)가 검출한 온도값에 기초하여, 히터(206)에의 통전량이 피드백 제어된다. 계속해서 회전 기구(254)에 의해 보트(217) 및 웨이퍼(200)가 회전된다.
이어서, 처리 가스 공급원으로부터 공급되어 MFC(241)에서 원하는 유량이 되도록 제어된 가스는, 가스 공급관(232) 내를 유통하여 노즐(230)로부터 처리실(201) 내로 도입된다. 도입된 가스는 처리실(201) 내를 상승하고 이너 튜브(204)의 상단 개구로부터 통 형상 공간(250) 내로 유출하고 배기관(231)으로부터 배기된다.
가스는 처리실(201) 내를 통과할 때에 웨이퍼(200)의 표면과 접촉하고, 이 때 열 CVD 반응에 의해 웨이퍼(200)의 표면 상에 박막이 퇴적(deposition)된다.
미리 설정된 처리 시간이 경과하면, 불활성 가스 공급원으로부터 불활성 가스가 공급되고 처리실(201) 내가 불활성 가스에 치환되는 것과 함께, 처리실(201) 내의 압력이 상압(常壓)으로 복귀된다.
그 후 보트 엘리베이터(115)에 의해 씰 캡(219)이 하강되어서 매니폴드(209)의 하단이 개구되는 것과 함께, 처리 완료된 웨이퍼(200)를 보지하는 보트(217)가 매니폴드(209)의 하단으로부터 프로세스 튜브(203)의 외부에 반출(보트 언로딩)된다. 그 후 처리 완료된 웨이퍼(200)는 보트(217)에 의해 취출(取出)되고 포드(110) 내에 격납된다(웨이퍼 디스차지).
(6) 기판 처리 장치용 컨트롤러의 구성
계속해서 본 실시 형태에 따른 기판 처리 장치용 컨트롤러(240)의 구성에 대하여, 도 2를 참조하여 설명한다. 도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(100) 및 군 관리 장치(500)의 블록 구성도다.
기판 처리 장치용 컨트롤러(240)는, 처리로(202)를 제어하는 전술한 I/O 제어부[가스 유량 제어부(235), 압력 제어부(236), 온도 제어부(237)]와, 상기 I/O 제어부와 데이터 교환 가능하도록 접속된 전술한 처리 제어부(239a)를 구비한다. 처리 제어부(239a)는, I/O 제어부를 개재하여 처리로(202)의 동작을 제어하는 것과 함께, 처리로(202)의 상태(온도, 가스 유량, 압력 등)를 나타내는 모니터 데이터를 수집(독출)하도록 구성된다.
기판 처리 장치용 컨트롤러(240)는 처리 제어부(239a)에 데이터 교환 가능하도록 접속된 표시 장치 제어부(239, 조작부)를 구비한다. 표시 장치 제어부(239)에는, 디스플레이 등의 데이터 표시부(240a)와 키보드 등의 입력 수단(240b)이 각각 접속되도록 구성된다. 표시 장치 제어부(239)는, 조작원에 의한 입력 수단(240b)으로부터의 입력(조작 커맨드의 입력 등)을 접수하는 것과 함께, 기판 처리 장치(100)의 상태 표시 화면이나 조작 입력 접수 화면 등을 데이터 표시부(240a)에 표시하도록 구성된다.
또한 기판 처리 장치용 컨트롤러(240)는, 표시 장치 제어부(239)에 데이터 교환 가능하도록 접속된 반송 제어부(238)와, 반송 제어부(238)에 데이터 교환 가능하도록 접속된 메카니즘 기구 I/O(238a)를 구비한다. 메카니즘 기구 I/O(238a)에는, 기판 처리 장치(100)를 구성하는 각부[예컨대 포드 엘리베이터(118a), 포드 반송 기구(118b), 포드 오프너(121), 웨이퍼 이재 기구(125), 보트 엘리베이터(115) 등]이 접속된다. 반송 제어부(238)는, 메카니즘 기구 I/O(238a)를 개재하여 기판 처리 장치(100)를 구성하는 각부의 동작을 제어하는 것과 함께, 기판 처리 장치(100)를 구성하는 각부의 상태(예컨대 위치, 개폐 상태, 동작 중인지 웨이트 상태인지 등)를 나타내는 모니터 데이터를 수집(독출)하도록 구성된다.
또한 기판 처리 장치용 컨트롤러(240)는 표시 장치 제어부(239)에 접속된 데이터 보지부(239e)를 구비한다. 데이터 보지부(239e)에는, 기판 처리 장치용 컨트롤러(240)에 여러 가지 기능을 실현하는 프로그램이나, 처리로(202)에서 실시되는 기판 처리 공정의 설정 데이터(레시피 데이터)나, I/O 제어부[가스 유량 제어부(235), 압력 제어부(236), 온도 제어부(237)]나 반송 제어부(238)로부터 독출한 각종 데이터 등이 보지(기억)되도록 구성된다.
또한 기판 처리 장치용 컨트롤러(240)는 표시 장치 제어부(239)에 접속된 통신 제어부(239b)를 구비한다. 또한 도시되지 않지만, 전술한 I/O 제어부[가스 유량 제어부(235), 압력 제어부(236), 온도 제어부(237)]나 반송 제어부(238)는, 처리 제어부(239a)나 표시 장치 제어부(239)를 개재하지 않고 통신 제어부(239b)와 직접 데이터 교환 가능하도록 접속된다. 또한 통신 제어부(239b)는 후술하는 기판 처리 장치(100)와 네트워크(400)를 개재하여 데이터 교환 가능하도록 접속된다.
통신 제어부(239b)는, I/O 제어부[가스 유량 제어부(235), 압력 제어부(236), 온도 제어부(237)]를 개재하여 독출한 처리로(202)의 상태(온도, 가스 유량, 압력 등)를 나타내는 모니터 데이터를, 처리 제어부(239a) 및 표시 장치 제어부(239)를 개재하여 수신하고 군 관리 장치(500)에 송신하는 것이 가능하도록 구성된다. 또한 통신 제어부(239b)는, 메카니즘 기구 I/O(238a)를 개재하여 독출한 기판 처리 장치(100)를 구성하는 각부의 상태(위치, 개폐 상태, 동작 중인지 웨이트 상태인지 등)를 나타내는 모니터 데이터를, 반송 제어부(238) 및 표시 장치 제어부(239)를 개재하여 수신하고 군 관리 장치(500)에 송신하는 것이 가능하도록 구성된다.
또한 통신 제어부(239b)는, I/O 제어부를 개재하여 독출한 처리로(202)의 상태(온도, 가스 유량, 압력 등)를 나타내는 모니터 데이터를, 처리 제어부(239a) 및 표시 장치 제어부(239)를 개재하지 않고 직접 수신해서 군 관리 장치(500)에 송신하는 것이 가능하도록 구성된다. 또한 통신 제어부(239b)는, 메카니즘 기구 I/O(238a)를 개재하여 독출한 기판 처리 장치(100)를 구성하는 각부의 상태(위치, 개폐 상태, 동작 중인지 웨이트 상태인지 등)를 나타내는 모니터 데이터를, 표시 장치 제어부(239)를 개재하지 않고 직접 수신해서 군 관리 장치(500)에 송신하는 것이 가능하도록 구성된다.
도시되지 않지만 전술한 I/O 제어부[가스 유량 제어부(235), 압력 제어부(236), 온도 제어부(237)]나 반송 제어부(238)는, 처리 제어부(239a), 표시 장치 제어부(239) 및 통신 제어부(239b)를 개재하지 않고 군 관리 장치(500)와 직접 데이터 교환 가능하도록 구성된다. 그리고 I/O 제어부는, 독출한 처리로(202)의 상태(온도, 가스 유량, 압력 등)를 나타내는 모니터 데이터를, 처리 제어부(239a), 표시 장치 제어부(239), 통신 제어부(239b)를 개재하지 않고 직접 군 관리 장치(500)에 송신하는 것이 가능하도록 구성된다. 또한 메카니즘 기구 I/O(238a)는, 독출한 기판 처리 장치(100)를 구성하는 각부의 상태(위치, 개폐 상태, 동작 중인지 웨이트 상태인지 등)를 나타내는 모니터 데이터를, 표시 장치 제어부(239)나 통신 제어부(239b)를 개재하지 않고 직접 군 관리 장치(500)에 송신하는 것이 가능하도록 구성된다.
(7) 군 관리 장치의 구성
계속해서 전술한 기판 처리 장치(100)와 데이터 교환 가능하도록 구성된 본 실시 형태에 따른 군 관리 장치(500)의 구성에 대하여, 주로 도 2?도 7을 참조하여 설명한다.
도 2는 본 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(100) 및 군 관리 장치(500)의 블록 구성도다. 도 3은 본 실시 형태에 따른 군 관리 장치(500)의 내부 동작을 예시하는 모식도다. 도 4는 본 실시 형태에 따른 파일의 구조를 예시하는 모식도다. 도 5는 본 실시 형태에 따른 대표값 데이터부의 구조를 예시하는 모식도다. 도 6은 본 실시 형태에 따른 파일 아카이브부(511)에 의한 파일 조작의 양상을 예시하는 개략도다. 도 7은 본 실시 형태에 따른 데이터 검색부(512)에 의한 파일 검색의 양상을 예시하는 개략도다.
도 2에 도시하는 바와 같이, 군 관리 장치(500)는, 중앙 처리 장치(CPU)로서 구성된 제어부(501)와, 내부에 공유 메모리(502) 영역을 포함하는 메모리(도시되지 않음)와, HDD 등의 기억 장치로서 구성된 기억부(503)와, 표시 수단으로서의 디스플레이 장치 등의 데이터 표시부(505)와, 키보드 등의 입력 수단(506)과, 통신 수단으로서의 통신 제어부(504)를 포함하는 컴퓨터로서 구성된다. 전술한 메모리, 기억부(503), 데이터 표시부(505), 입력 수단(506), 통신 제어부(504)는, 내부 버스 등을 개재하여 제어부(501)와 데이터 교환 가능하도록 구성된다. 또한 제어부(501)는 도시되지 않은 시계 기능을 가지고 있다.
(통신 제어부)
통신 수단으로서의 통신 제어부(504)는, 기판 처리 장치용 컨트롤러(240)의 통신 제어부(239b)에 접속되어 있는 것과 함께 I/O 제어부[가스 유량 제어부(235), 압력 제어부(236), 온도 제어부(237)] 및 메카니즘 제어부(240c)에 접속된다. 통신 제어부(504)는 기판 처리 장치(100)로부터 모니터 데이터를 수신하고 공유 메모리(502)에 전달하도록 구성된다. 또한 공유 메모리(502)에 전달되는 모니터 데이터에는, 모니터 데이터를 특정하는 데이터 ID와, 모니터 데이터의 발생 시각을 나타내는 데이터 시각 정보와, 생산 정보 데이터가 부가되도록 구성된다. 또한 생산 정보 데이터에는, 모니터 데이터의 발생원인 기판 처리 장치(100)를 특정하는 장치 특정 정보(장치 명칭, 시리얼 번호, 어드레스 정보 등), 모니터 데이터 발생 시에 기판 처리 장치(100)가 실행하던 레시피를 특정하는 레시피 특정 정보, 모니터 데이터의 발생 시에 기판 처리 장치가 실행하던 기판 처리 프로세스를 특정하는 프로세스 특정 정보, 막 두께 값이나 웨이퍼(200)의 이재 포지션을 특정하는 정보, 생산 정보 데이터를 특정하는 데이터 ID(이하, 표시 데이터 ID라고도 부른다), 부호화(압축)하는 대상인지 아닌지를 나타내는 코드 정보 등이 포함된다.
(기억부)
기억부(503)에는, 데이터베이스 프로그램, 파일 아카이브 프로그램, 데이터 검색 프로그램(모두 도시되지 않음)이 각각 격납된다. 데이터베이스 프로그램은, 기억부(503)로부터 전술한 메모리(도시되지 않음)에 독출되어 제어부(501)에 실행되는 것에 의해, 후술하는 데이터베이스부(503a)를 군 관리 장치(500)에 실현하도록 구성된다. 또한 파일 아카이브 프로그램은, 기억부(503)로부터 전술한 메모리(도시되지 않음)로 독출되고 제어부(501)에서 실행되는 것에 의해, 후술하는 파일 아카이브부(511)를 군 관리 장치(500)에 실현하도록 구성된다. 또한 데이터 검색 프로그램은, 기억부(503)로부터 전술한 메모리(도시되지 않음)로 독출되고 제어부(501)에서 실행되는 것에 의해, 후술하는 데이터 검색부(512)를 군 관리 장치(500)에 실현하도록 구성된다.
(데이터베이스부)
데이터베이스부(503a)는, 통신 제어부(504)가 수신하여 공유 메모리(502)에 격납한 모니터 데이터를, 전술한 데이터 ID, 데이터 시각 정보, 생산 정보 데이터의 각각과 관련지어서, 기억부(503)에 독출 가능하게 격납하도록 구성된다.
(파일 아카이브부)
파일 아카이브부(511)는 데이터베이스부(503a)로부터 복수의 모니터 데이터, 해당 모니터 데이터에 관련지어진 생산 정보 데이터 및 데이터 ID 등을 각각 독출하도록 구성된다. 그리고 파일 아카이브부(511)는 독출한 모니터 데이터를 기초로 대표값 데이터를 생성하도록 구성된다. 대표값 데이터란 독출한 복수의 모니터 데이터 중, 예컨대 최소값, 최대값, 평균값 등을 나타내는 데이터다. 또한 대표값 데이터도 소정의 데이터 ID에 의해 특정된다. 대표값 데이터를 특정하는 데이터 ID를 이하 표시 데이터 ID라고도 부른다.
그리고 파일 아카이브부(511)는 데이터 ID에 기초하여 모니터 데이터, 생산 정보 데이터 및 대표값 데이터 중의 어느 하나를 부호화(압축)할 수 있게 구성된다. 예컨대 데이터 ID마다 모니터 데이터가 부호화(압축)되거나 되지 않거나 한다. 또한 생산 정보 데이터 및 대표값 데이터도 마찬가지로, 데이터 ID마다(표시 데이터 ID마다) 부호화되거나 되지 않거나 한다. 이와 같이 소정의 데이터를 부호화하는 것으로, 후술하는 파일(503b)의 사이즈를 삭감하는 것이 가능해진다. 또한 소정의 데이터에 대해서는 부호화하지 않는 것에 의해(압축을 선택적으로 수행하는 것에 의해), 데이터 복호화(復號化)의 수고를 덜어주고 데이터 액세스를 고속화시키는 것이 가능해진다.
그리고 파일 아카이브부(511)는 부호화된 데이터(예컨대 부호화된 모니터 데이터) 및 부호화되지 않은 데이터(예컨대 생산 정보 데이터 및 대표값 데이터)를 포함하는 파일(503b)을 작성하도록 구성된다. 그리고 파일 아카이브부(511)는 작성한 파일(503b)을 데이터 ID 및 데이터 시각 정보에 관련지어서 기억부(503)에 독출 가능하게 격납하도록 구성된다.
파일 아카이브부(511)가 작성한 파일(503b)의 개략 구조를 도 4의 (a)에 예시한다. 본 실시 형태에 따른 파일(503b)은, 헤더부, 모니터 데이터(또는 부호화된 모니터 데이터)를 격납하는 모니터 데이터부, 생산 정보 데이터(또는 부호화된 생산 정보 데이터)를 격납하는 생산 정보 데이터부 및 대표값 데이터(또는 부호화된 대표값 데이터)를 격납하는 대표값 데이터부를 구비한다.
파일(503b)의 헤더부는, 그 상세 구조가 도 4의 (b)에 예시되는 바와 같이, 파일(503b)의 버전 정보를 격납하는 "파일 버전" 영역, 파일 아카이브 프로그램의 버전 정보를 격납하는 "프로그램 버전" 영역, 파일(503b)의 선두로부터의 모니터 데이터부의 상대적인 시작 위치를 나타내는 포인터 정보를 격납하는 "모니터 데이터부 시작 포인터" 영역, 파일(503b)의 선두로부터의 생산 정보 데이터부의 상대적인 시작 위치를 나타내는 포인터 정보를 격납하는 "생산 정보 데이터부 시작 포인터" 영역, 파일(503b)의 선두로부터의 대표값 데이터부의 상대적인 시작 위치를 나타내는 포인터 정보를 격납하는 "대표값 데이터부 시작 포인터" 영역, 대표값 데이터부의 데이터 길이의 정보를 격납하는 "대표값 데이터부 데이터 길이" 영역, 예비 영역을 구비한다.
파일(503b)의 모니터 데이터부는, 그 상세 구조가 도 4의 (c)에 예시되는 바와 같이, 모니터 데이터 고유의 정보로서, 데이터 점수, 포맷 버전, 데이터 입도(粒度) 등을 격납하는 "헤더부" 영역, 파일(503b)의 선두로부터의 각 데이터의 데이터 격납부의 상대적인 시작 위치(포인터), 각 데이터의 데이터 길이, 모니터 데이터를 특정하는 데이터 ID, 부호화(압축) 방식의 종류, 부호화(압축)하는 대상인지 아닌지를 나타내는 부호화 정보 등을 격납하는 "인덱스부" 영역, 데이터 시각 정보가 부가된 모니터 데이터를 격납하는 "데이터부" 영역을 구비한다. 또한, 파일(503b)의 생산 정보 데이터부 및 대표값 데이터부는, 그 상세 구조를 도 4의 (d), 도 4의 (e)에 예시되는 바와 같이, 리스트형의 데이터 격납 영역으로서 구성된다.
파일(503b)의 생산 정보 데이터부에는, 도시되지 않지만 모니터 데이터의 발생원인 기판 처리 장치(100)를 특정하는 장치 특정 정보(장치 명칭, 시리얼 번호, 어드레스 정보 등), 모니터 데이터 발생 시에 기판 처리 장치(100)가 실행하던 레시피를 특정하는 레시피 특정 정보, 모니터 데이터의 발생 시에 기판 처리 장치가 실행하던 기판 처리 프로세스를 특정하는 프로세스 특정 정보, 막 두께 값이나 웨이퍼(200)의 이재 포지션을 특정하는 정보, 생산 정보 데이터를 특정하는 데이터 ID(표시 데이터 ID), 부호화(압축)하는 대상인지 아닌지를 나타내는 부호화 정보 등이 각각 격납된다.
파일(503b)의 대표값 데이터부에는, 그 상세 내용이 도 5에 예시되는 바와 같이, 대표값의 명칭을 나타내는 대표값 명칭 정보, 평균?최대?최소?표준 편차 등의 대표값의 계산 조건을 나타내는 대표값 추출 조건 정보, 대표값의 추출을 수행하는 구간(예컨대 스텝 10번이나 스텝 DEPO 등)을 나타내는 대표값 추출 구간 정보, 실제로 대표값을 추출한 시작 일시와 종료 일시를 나타내는 대표값 추출 시간 정보, 대표값 그 자체를 나타내는 대표값 정보, 대표값을 생성한 일시를 나타내는 대표값 생성 일시 정보, 대표값 계산 시에 걸린 시간을 나타내는 대표값 계산 시간 정보, 대표값 계산 시에 사용한 데이터 점수를 나타내는 데이터 점수 정보, 동일한 파일(503b)에서 복수의 같은 대표값이 존재할 경우에 이들을 일의적으로 식별하기 위한 번호인 대표값 No 정보, 대표값 데이터를 특정하는 데이터 ID(표시 데이터 ID), 부호화(압축)하는 대상인지 아닌지를 나타내는 부호화 정보 등이 각각 격납된다.
파일 아카이브부(511)에 의한 파일(503b)의 작성은, 소정의 주기로 주기적으로 수행되고, 또는 기판 처리 장치(100)로부터의 알람 발생이나 기판 처리 레시피의 진행 상황에 따라서 부정기적으로 수행되거나 하도록 구성된다. 그리고 이와 같은 파일(503b)이 기억부(503) 내에 복수 격납되는 것에 의해, 기억부(503) 내에 기판 처리 장치(100)로부터 수신한 모니터 데이터의 파일 아카이브[파일(503b)의 집합체]가 구축된다.
또한 파일 아카이브부(511)는, 각 파일(503b)이 구비하는 헤더부, 모니터 데이터부, 생산 정보 데이터부 및 대표값 데이터부를 각각 독립해서 삭제 가능하도록 구성된다. 이러한 양상을 도 6에 예시한다. 도 6에서는, 헤더부, 모니터 데이터부, 생산 정보 데이터부 및 대표값 데이터부를 구비하는 파일(503b)에 대하여, 모니터 데이터부, 생산 정보 데이터부를 삭제한다. 파일 아카이브부(511)가 이와 같은 파일 조작을 수행하는 것으로, 예컨대 개시(開示)가 가능한 정보만을 격납한 파일을 제3자에게 출력하는 것이 가능해진다. 또한 파일 아카이브의 사이즈를 적절히 삭감하는 것이 가능해진다.
(데이터 검색부)
파일 아카이브[파일(503b)의 집합체]로부터 모니터 데이터를 검색하기 위해서는, 적어도 데이터 ID 및 데이터 시각 정보를 포함하는 소정의 검색 조건을 입력 수단(506)에 입력한다. 또한 파일 아카이브로부터 생산 정보 데이터 또는 대표값 데이터를 검색하기 위해서는, 적어도 데이터 ID(표시 데이터 ID)를 포함하는 소정의 검색 조건을 입력 수단(506)에 입력한다. 데이터 검색부(512)는, 전술한 검색 조건의 입력을 접수하고, 검색 조건에 합치하는 파일(503b)을 파일 아카이브로부터 검색하고, 검색 조건에 합치하는 파일(503b)에 격납되어 있는 데이터(모니터 데이터, 생산 정보 데이터, 대표값 데이터의 모든 데이터 또는 그 중의 어느 하나의 데이터)를, 표시 수단으로서의 데이터 표시부(505)에 표시하도록 구성된다.
또한 데이터 검색부(512)는, 동일한 대표값 데이터를 포함하는 복수의 파일(503b)을 검색하고, 이들의 파일(503b)로부터 동일한 대표값 데이터를 추출하여 연결시킨 파일을 작성하는 것이 가능하도록 구성된다. 이러한 양상을 도 7에 도시한다.
또한 데이터 검색부(512)는, 전술한 검색 조건의 입력을 접수하면, 파일(503b)을 검색할 뿐만 아니라 데이터베이스부(503a)를 검색하는 것이 가능하도록 구성된다. 즉 보수원은, 검색하고자 하는 모니터 데이터가 데이터베이스부(503a) 내 또는 파일 아카이브 내[파일(503b) 내] 중 어느 하나에 격납되어 있는지를 의식하지 않고도, 데이터 검색부(512)를 이용해서 과거의 모니터 데이터에 일원적으로 액세스하는[데이터베이스부(503a)와 파일 아카이브를 연속적으로 액세스하는] 것이 가능하도록 구성된다.
(8) 군 관리 장치의 동작
계속해서, 본 실시 형태에 따른 군 관리 장치(500)의 동작에 대하여 설명한다. 이러한 동작은, 반도체 장치의 제조 공정의 일 공정으로서 수행된다.
(모니터 데이터 수신 공정)
우선 군 관리 장치(500)가 구비하는 통신 제어부(504)가, 레시피의 진행 상황 또는 기판 처리 장치(100)의 상태를 나타내는 모니터 데이터를 기판 처리 장치(100)로부터 수신하고 공유 메모리(502)에 전달한다. 공유 메모리(502)에 전달되는 모니터 데이터에는, 모니터 데이터를 특정하는 데이터 ID와, 모니터 데이터의 발생 시각을 나타내는 데이터 시각 정보와, 생산 정보 데이터가 부가된다.
(모니터 데이터 격납 공정)
군 관리 장치(500)의 데이터베이스부(503a)가, 공유 메모리(502)에 격납된 모니터 데이터를, 전술한 데이터 ID, 데이터 시각 정보, 생산 정보 데이터의 각각과 관련지어서, 기억부(503)에 독출 가능하게 격납한다.
(파일 작성 공정)
군 관리 장치(500)의 파일 아카이브부(511)가 데이터베이스부(503a)로부터 복수의 모니터 데이터, 해당 모니터 데이터에 관련지어진 생산 정보 데이터 및 데이터 ID를 각각 독출한다. 그리고 파일 아카이브부(511)는 독출한 모니터 데이터를 기초로 대표값 데이터를 생성한다. 또한 파일 아카이브부(511)는, 데이터 ID에 기초하여 모니터 데이터, 생산 정보 데이터 및 대표값 데이터 중 적어도 어느 하나를 부호화(압축)하는 경우가 있다. 그리고 파일 아카이브부(511)는, 부호화된 데이터(전술한 예에서는 부호화된 모니터 데이터) 및 부호되지 않은 데이터(전술한 예에서는 생산 정보 데이터 및 대표값 데이터)를 포함하는 파일(503b)을 작성한다. 그리고 파일 아카이브부(511)는 작성한 파일(503b)을 데이터 ID 및 데이터 시각 정보에 관련지어서 기억부(503)에 독출 가능하게 격납한다.
또한 파일 아카이브부(511)에 의한 파일(503b)의 작성은, 소정의 주기로 주기적으로 수행되고, 또는 기판 처리 장치(100)로부터의 알람 발생이나 기판 처리 레시피의 진행 상황에 따라서 부정기적으로 수행되거나 한다. 그리고 이와 같은 파일(503b)이 기억부(503) 내에 복수 격납되는 것에 의해, 기억부(503) 내에 기판 처리 장치(100)로부터 수신한 모니터 데이터 파일 아카이브[파일(503b)의 집합체]가 구축된다.
(모니터 데이터 검색 공정)
군 관리 장치(500)의 데이터 검색부(512)가, 데이터 ID 및 데이터 시각 정보를 포함하는 소정의 검색 조건이나 적어도 데이터 ID(표시 데이터 ID)를 포함하는 소정의 검색 조건의 입력을 접수하고, 검색 조건에 합치하는 파일(503b)을 파일 아카이브로부터 검색하고, 검색 조건에 합치하는 파일(503b)에 격납되어 있는 데이터(모니터 데이터, 생산 정보 데이터, 대표값 데이터의 모든 데이터 또는 그 중의 어느 하나의 데이터)를 표시 수단으로서의 데이터 표시부(505)에 표시한다.
(9) 본 발명의 일 실시 형태에 의한 효과
본 실시 형태에 의하면, 이하에 나타내는 하나 또는 복수의 효과를 갖는다.
(a) 본 실시 형태에 따른 군 관리 장치(500)는, 통신 제어부(504)가 수신한 모니터 데이터를 생산 정보 데이터에 관련지어서 독출 가능하게 격납하는 데이터베이스부(503a)와, 데이터베이스부(503a)로부터 모니터 데이터 및 생산 정보 데이터를 독출하고, 모니터 데이터를 기초로 대표값 데이터를 생성하고, 모니터 데이터, 생산 정보 데이터 및 대표값 데이터를 포함하는 파일(503b)을 작성하여 독출 가능하게 격납하는 파일 아카이브부(511)와, 소정의 검색 조건의 입력을 접수해서 파일(503b)을 검색하고, 검색 조건에 합치하는 파일(503b)에 격납되어 있는 데이터를 데이터 표시부(505)에 표시하는 데이터 검색부(512)를 구비한다.
이에 의해 보수원은 다양하게 전달되는 데이터의 해석 및 표시 방법을 신속하게 또한 정확하게 선택하는 것이 가능해진다. 또한 군 관리 장치(500)에 축적된 방대한 데이터로부터 적절한 데이터를 신속하게 독출하는 것이 가능해진다. 그 결과 보수원의 기량에 상관없이 이상 해석을 신속하게 또한 정확하게 하는 것이 가능해지고, 이상 해석을 수행하는 조작원의 부담을 저감하는 것이 가능해진다. 또한 조작원의 기량에 의한 해석 결과의 편차를 억제하는 것이 가능해진다.
또한 파일 아카이브를 이용하는 것에 의해, 방대한 모니터 데이터를 자기 테이프 등의 외부 기억 장치를 이용하여 백업할 필요성이 없어진다. 이에 의해 과거의 모니터 데이터를 참조하기 위해서 백업 데이터를 군 관리 장치에 복원하는 리스토어 작업이 불필요해지고 데이터 이용의 편리성이 향상한다. 또한 군 관리 장치(500)에 구축되는 데이터베이스부(503a)를 분할해서 그 일부를 외부 기억 장치 등에 백업할 필요도 없어진다. 이에 의해 마찬가지로 과거의 모니터 데이터를 참조하기 위한 리스토어 작업이 불필요해지고 데이터 이용의 편리성이 향상한다.
또한 파일 아카이브를 이용하는 것에 의해, 데이터의 가반성(可搬性)을 높이는 것이 가능해진다. 그리고 파일(503b)의 보관에 대해서는 외부 기억 장치나 다른 컴퓨터를 활용하는 것에 의해, 군 관리 장치(500)가 구비하는 기억부(503)의 기억량을 유효하게 이용할 수 있다. 또한 파일(503b)의 해석은 오프라인이어도[군 관리 장치(500)에 격납되어 있지 않더라도] 수행할 수 있기 때문에, 원격지 등에서 용이하게 수행할 수 있게 된다.
또한 본 실시 형태와 같이 파일 아카이브를 구축하지 않는 종래의 군 관리 장치에서는, (1) 수집한 모니터 데이터를 데이터베이스나 파일 등의 불휘발성 매체에 기록하기 위해서, 예컨대 대용량의 하드 디스크 등을 탑재해도 물리적인 상한이 있거나, (2) 기판 처리 장치(100)의 구성이나 사양에 의해 모니터 데이터의 수집 주기(데이터의 입도)나 수집 점수가 달라지고, 불휘발성 매체에서의 사용 요령도 달라지기 때문에, 데이터 보존 기간을 보장할 수 없거나, (3) 데이터베이스 자체의 데이터 압축 효율이 높다고는 말할 수 없고 수집한 모니터 데이터의 장기 보존이 곤란한 경우가 있거나, (4) 테이블을 분할하거나 데이터 파티션 기능을 사용하거나 하여 데이터베이스 상의 데이터를 파일로서 분할하는 것도 가능하지만, 이러한 경우에서도 상위 시스템의 데이터베이스 엔진이 없으면 데이터를 열람할 수 없거나, (5) 데이터베이스 상에 축적한 모니터 데이터를 정기적으로 자기 테이프 등에 백업할 경우에는, 모니터 데이터를 활용하기 위해서 자기 테이프로부터의 리스토어 작업이 필요해지거나, (6) 데이터베이스 영역이 불휘발성 매체의 전체 용량에 비하여 불충분한 경우에는 리스토어 작업을 수행할 수 없으며, 또한, 데이터베이스 상에는 최신의 모니터 데이터가 격납되어 있기 때문에 낡은 모니터 데이터를 리스토어하는 것이 곤란하거나 하는 경우가 있었다.
(b) 본 실시 형태에 따른 파일 아카이브부(511)는, 데이터 ID에 기초하여 모니터 데이터, 생산 정보 데이터 및 대표값 데이터 중 어느 하나를 부호화(압축)할 수 있도록 구성된다. 예컨대 데이터 ID가 소정의 값이라면 모니터 데이터를 부호화(압축)하고, 표시 데이터 ID가 소정의 값이면 생산 정보 데이터 및 대표값 데이터를 부호화하지 않도록 구성된다. 이와 같이 소정의 데이터를 부호화하는 것으로, 후술하는 파일(503b)의 사이즈를 삭감하는 것이 가능해진다. 또한 소정의 데이터에 대해서는 부호화하지 않는 것에 의해(압축을 선택적으로 수행하는 것에 의해), 데이터 복호화의 수고를 덜어주고, 데이터 액세스를 고속화하는 것이 가능해진다.
(c) 본 실시 형태에 따른 파일 아카이브부(511)는, 각 파일(503b)이 구비하는 헤더부, 모니터 데이터부, 생산 정보 데이터부 및 대표값 데이터부를 각각 독립해서 삭제 가능하도록 구성된다. 파일 아카이브부(511)가 이와 같은 파일 조작을 수행하는 것에 의해, 예컨대 개시가 가능한 정보만을 격납한 파일을 제3자에게 출력하는 것이 가능해진다. 또한 파일 아카이브의 사이즈를 적절히 삭감하는 것이 가능해진다.
(d) 본 실시 형태에 따른 데이터 검색부(512)는, 동일한 대표값 데이터를 포함하는 복수의 파일(503b)을 검색하고, 이들의 파일(503b)로부터 동일한 대표값 데이터를 추출하여 연결시킨 파일을 작성하는 것이 가능하도록 구성된다. 이에 의해 보수원에 의한 모니터 데이터 해석의 편리성을 향상시킬 수 있다.
(e) 본 실시 형태에 따른 데이터 검색부(512)는, 소정의 검색 조건의 입력을 접수하면, 파일(503b)을 검색할 뿐만 아니라 데이터베이스부(503a)를 검색하는 것이 가능하도록 구성된다. 즉 보수원은, 검색하고자 하는 모니터 데이터가 데이터베이스부(503a) 내 또는 파일 아카이브 내[파일(503b) 내] 중 어느 하나에 격납되어 있는지를 의식하는 일 없이, 데이터 검색부(512)를 이용하여 과거의 모니터 데이터에 일원적으로 액세스하는[데이터베이스부(503a)와 파일 아카이브를 연속적으로 액세스하는] 것이 가능해져서, 이상 해석 시의 편리성이 향상한다.
<본 발명의 다른 실시 형태>
본 실시 형태에 따른 기판 처리 시스템은, 기판 처리 장치(100)에서의 모니터 데이터의 발생 개소(예컨대 온도 센서, 가스 유량계, 압력계 등. 이하, 단순히 센서라고도 부른다)의 상태를 나타내는 정보로서 「정의 정보 데이터」를 더 관리하는 점에서, 전술한 실시 형태와 다르다. 또한 본 실시 형태에 따른 기판 처리 시스템은, 모니터 데이터를 특정하는 데이터 ID로서, 모니터 데이터의 발생 개소(센서)를 특정하는 식별 정보(이하, 「센서 ID」라고 부른다)를 이용하는 점에서, 전술한 실시 형태와 다르다. 또한 센서 ID란 후술하는 바와 같이 정의 정보 데이터에 포함되는 데이터 항목 중의 하나다.
(1) 군 관리 장치의 구성
본 실시 형태에 따른 군 관리 장치(500)의 데이터베이스부(503a)는, 통신 수단(504)이 수신한 모니터 데이터를, 생산 정보 데이터 및 정의 정보 데이터에 관련지어서 독출 가능하게 기억부(503)에 격납하도록 구성된다. 또한,본 실시 형태에 따른 군 관리 장치(500)의 파일 아카이브부(511)는, 데이터베이스부(503a)로부터 생산 정보 데이터 및 정의 정보 데이터에 관련지어진 모니터 데이터를 독출하고, 모니터 데이터를 기초로 대표값 데이터를 생성하고, 모니터 데이터, 생산 정보 데이터, 정의 정보 데이터 및 대표값 데이터를 포함하는 파일(503b)을 작성하여 기억부(503)에 독출 가능하게 격납하도록 구성된다. 다른 구성은 전술한 실시 형태와 같다.
정의 정보 데이터의 구체적인 구성을 도 11에 예시한다. 또한 정의 정보 데이터의 데이터 구조는 예컨대 SEMI 스탠다드에 준거한 데이터 구조로 할 수 있다.
데이터 정의 정보는, 센서를 특정하는 정보(센서 ID), 센서의 위치를 특정하는 정보(Locator), 센서의 형(型)을 특정하는 정보(elementType), 센서의 속성을 특정하는 정보(Attribute), 현재 그 센서가 유효한지 아닌지를 나타내는 플래그 정보(Enable), 그 센서로부터 얻은 데이터를 모니터 데이터로서 사용할지 아닐지를 나타내는 플래그 정보(Use), 그 센서에 관한 데이터 정의 정보의 기록이 처음 생성된 일시를 나타내는 정보(CreateDate), 그 센서가 삭제된 등의 일시를 나타내는 정보(ObsoleteDate)를 포함한다.
전술한 바와 같이 센서 ID는, 모니터 데이터의 발생 개소(센서)를 특정하는 정보이며, 모니터 데이터를 특정하는 데이터 ID로서 이용된다. 센서 ID는 후술하는 바와 같이 Locator, elementType, Attribute에 대하여 소정의 연산을 수행하는 것에 의해 얻어지는 값이며, 적어도 기판 처리 장치(100) 내에서 일의적(unique)이며, 또한 기판 처리 장치(100)에 구성 변경(센서의 추가나 삭제)이 생겨도 불변이라는 특성을 가진다. Locator, elementType, Attribute는 센서를 식별하기 위해서 기판 처리 장치(100)의 기판 처리 장치용 컨트롤러(240) 등이 보지하고 있는 정보다. 이들의 정보는 계층화되어 있고, 조합시키는 것에 의해 센서의 구체적인 구성을 식별하는 것이 가능하다. 군 관리 장치(500)에서도, 전술한 센서 ID의 산출 등의 목적으로 이들의 정보를 관리한다. Enable 플래그의 값은 센서의 사활(死活)을 탐지한 군 관리 장치에 의해 적절히 조작된다. 또한 Use 플래그의 값은 모니터 데이터의 취득 방침에 따라서 입력 수단(506) 등으로부터 적절히 조작된다. 또한 CreateDate나 ObsoleteDate는, 정의 정보 데이터의 신규 작성 시나 갱신 시에 값이 설정되어, 모니터 데이터의 검색 범위를 좁힐 때의 검색 조건 등에 이용할 수 있다.
또한 전술한 데이터 정의 정보는 기판 처리 장치(100)가 포함하는 센서마다 관리된다.
(2) 군 관리 장치의 동작
다음으로 군 관리 장치(500)에 의한 정의 정보 데이터의 관리(갱신, 복원, 신규 생성) 동작을 도 12에 예시한다. 이하의 동작은 군 관리 장치(500)의 기동 시 및 기판 처리 장치(100)의 구성 변경(센서의 추가나 삭제) 시 등에 수시로 수행된다.
(정의 정보 데이터의 갱신 동작)
우선 군 관리 장치(500)가 구비하는 통신 수단(504)이 기판 처리 장치(100)로부터 센서 구성 정보를 수신한다. 구체적으로는 통신 수단(504)이 기판 처리 장치(100)로부터 센서의 위치를 특정하는 Locator, 센서의 형을 특정하는 elementType, 센서의 속성을 특정하는 Attribute를 포함하는 정보를 수신하여 공유 메모리(502)에 전달한다. Locator, elementType, Attribute의 조(組)는 기판 처리 장치(100)의 센서마다 각각 수신된다(S11).
그리고 군 관리 장치(500)의 데이터베이스부(503a)가, 공유 메모리(502)로부터 Locator, elementType, Attribute의 조를 독출하고, 이들에 대하여 예컨대 해시 함수 등을 이용한 연산을 수행하여, 센서 ID(해시 값)를 산출한다. 센서 ID는, 기판 처리 장치(100)가 가지는 센서마다 구체적으로는 센서 구성 정보를 수신하는 것으로 검출된 센서마다 생성된다. 또한 Locator, elementType, Attribute의 조는, 센서 고유[적어도 기판 처리 장치(100) 내에서 일의적]이며, 또한 다른 센서의 추가나 삭제가 생겨도 변화하지 않는 정보다. 그렇기 때문에 전술한 방법에 의해 얻어지는 센서 ID도, 적어도 기판 처리 장치(100) 내에서 일의적이며 또한 기판 처리 장치(100)에 구성 변경(센서의 추가나 삭제)이 생겨도 불변한다. 센서 ID의 산출에는, 예컨대 MD-5나 SHA-1 등의 알고리즘을 이용할 수 있다.
그리고 데이터베이스부(503a)는, 기억부(503)에 이미 정의 정보 데이터가 격납되어 있는지 아닌지를 확인하기 위해서, 그 독출을 시도한다(S12).
독출이 성공하였을 경우[S13에서 「Yes」의 경우이며, 데이터베이스부(503a)에 기존의 정의 정보 데이터가 존재하고 파손되지 않았을 경우], 데이터베이스부(503a)는 수신한 센서 구성 정보에 기초하여 기억부(503)에 격납되어 있는 정의 정보 데이터를 갱신한다. 예컨대 새로운 센서 ID가 추가되어 있었을 경우(센서 구성 정보로부터 얻어진 센서 ID가 독출한 기존의 정의 정보 데이터 중에 존재하지 않았을 경우. 즉 센서가 추가된 경우)에는, 차분(差分)의 정의 정보 데이터를 새롭게 생성하고, 기억부(503)에 추가한다. 이 때 추가된 센서에 관한 정의 정보 데이터의 Enable 플래그를 효율적으로 설정하는 것과 함께, 정의 정보 데이터가 처음 생성된 일시를 CreateDate에 입력한다. 또한 기존의 센서 ID가 소멸되어 있었을 경우(기존의 정의 정보 데이터에 존재하던 센서 ID가 센서 구성 정보로부터 얻어진 센서 ID에 존재하지 않았을 경우. 즉 센서가 삭제 등 되었을 경우)에는, 삭제된 등의 센서에 관한 정의 정보 데이터를 기억부(503)로부터 삭제하지 않고, Enable플래그를 무효로 변경하는 것과 함께, 그 센서가 삭제된 등의 일시를 ObsoleteDate에 입력한다(S14).
S14에서 데이터베이스부(503a)가 관리하던 기존의 정의 정보 데이터에 변경이 생겼을 경우(S15에서 「Yes」의 경우이며 센서의 추가나 삭제 등이 있었을 경우), 파일 아카이브부(512)는 파일 아카이브를 구성하는 파일(503b)에 대하여 같은 갱신을 수행한다. 본 실시 형태에 따른 파일(503b)은 모니터 데이터, 생산 정보 데이터, 정의 정보 데이터 및 대표값 데이터를 포함한다. 파일 아카이브부(512)는 파일(503b) 내의 정의 정보 데이터에 대하여 데이터베이스부(503)가 수행한 갱신과 같은 갱신을 수행한다(S16). 갱신된 파일(503b) 내의 정의 정보 데이터의 내용은 S14에서 갱신된 데이터베이스부(503)의 정의 정보 데이터의 내용과 동일해진다. 그 후 군 관리 장치(500)는 정의 정보 데이터의 갱신 동작을 종료한다.
또한 만일 파일(503b) 내의 정의 정보 데이터가 파손되어 있었을 경우에는, S16을 실시하는 것에 의해 정의 정보 데이터가 자동적으로 복원된다. 복원되는 정의 정보 데이터의 내용은 S14에서 갱신된 정의 정보 데이터의 내용과 동일해진다.
S14에서 데이터베이스부(503a)가 관리하고 있었던 기존의 정의 정보 데이터의 내용에 변경이 없었을 경우(S15에서 「No」의 경우이며 센서의 구성에 변경이 없었을 경우)에는, 파일 아카이브부(512)는 파일(503b)의 갱신을 수행하지 않는다. 그 후 군 관리 장치(500)는, 정의 정보 데이터의 갱신 동작을 종료한다.
(정의 정보 데이터의 복원)
S12에서 데이터베이스부(503a)가 기억부(503)로부터의 기존의 정의 정보 데이터의 독출을 시도한 결과, 독출이 실패하였을 경우(S13에서 「No」의 경우이며, 기존의 정의 정보 데이터가 존재하지 않거나 파손된 경우), 데이터베이스부(503a)는 파일 아카이브[파일(503b)의 집합체]에 이미 정의 정보 데이터가 격납되어 있는지 아닌지를 확인하기 위해서, 그 독출을 시도한다(S21).
독출이 성공하였을 경우(S22에서 「Yes」의 경우이며, 파일 아카이브에 기존의 정의 정보 데이터가 존재하고 파손되지 않았을 경우), 파일 아카이브부(512)는 수신한 센서 구성 정보에 기초하여 파일(503b)에 격납되어 있는 정의 정보 데이터를 갱신한다. 예컨대 새로운 센서 ID가 추가되어 있었을 경우(센서 구성 정보로부터 얻어진 센서 ID가 독출한 기존의 정의 정보 데이터 중에 존재하지 않았을 경우. 즉 센서가 추가되었을 경우)에는, 차분의 정의 정보 데이터를 새로 생성하고 파일(503b)에 추가한다. 이 때 추가된 센서에 관한 Enable 플래그를 효율적으로 설정하는 것과 함께, 정의 정보 데이터가 처음 생성된 일시를 CreateDate에 입력한다. 또한, 기존의 센서 ID가 소멸되어 있었을 경우(기존의 정의 정보 데이터에 존재하고 있었던 센서 ID가 센서 구성 정보로부터 얻어진 센서 ID에 존재하지 않았을 경우. 즉 센서가 삭제 등 되었을 경우)에는, 삭제된 등의 센서에 관한 정의 정보 데이터를 파일(503b)로부터 삭제하지 않고, Enable 플래그를 무효로 변경하는 것과 함께 그 센서가 삭제된 등의 일시를 ObsoleteDate에 입력한다(S23).
그리고 데이터베이스부(503a)는, 파일 아카이브로부터 독출한 정의 정보 데이터와 수신한 센서 구성 정보에 기초하여, 데이터베이스부(503a)가 관리하는 정의 정보 데이터를 복원한다(S24). 복원된 정의 정보 데이터의 내용은 전술한 S23에서 갱신된 파일(503b) 내의 정의 정보 데이터의 내용과 동일해진다. 그 후 군 관리 장치(500)는 정의 정보 데이터의 복원 동작을 종료한다.
(정의 정보 데이터의 신규 생성)
S21에서 파일 아카이브[파일(503b)의 집합체]로부터의 정의 정보 데이터의 독출을 시도한 결과 독출이 실패하였을 경우[S22에서 「No」의 경우. 즉 데이터베이스부(503a) 및 파일 아카이브 중의 어느 하나로부터도 정의 정보 데이터를 불러낼 수 없었을 경우), 데이터베이스부(503a)는 수신한 센서 구성 정보에 기초하여 정의 정보 데이터를 새롭게 생성하고 기억부(503)에 격납한다. 이 때 새롭게 생성된 정의 정보 데이터의 Enable 플래그를 유효하게 설정하는 것과 함께 정의 정보 데이터가 처음 생성된 일시를 CreateDate에 입력한다(S31).
또한 파일 아카이브부(512)는 수신한 센서 구성 정보에 기초하여 정의 정보 데이터를 새롭게 생성하고 파일(503b)에 격납한다(S32). 이러한 양상을 도 13에 도시한다. 파일(503b)에 격납된 정의 정보 데이터의 내용은 전술한 S31에서 새롭게 생성된 파일(503b) 내의 정의 정보 데이터의 내용과 동일해진다. 그 후 군 관리 장치(500)는 정의 정보 데이터의 생성 동작을 종료한다.
(3) 본 발명의 일 실시 형태에 의한 효과
본 실시 형태에 의하면 전술한 효과에 더해 이하에 도시하는 하나 또는 복수의 효과를 갖는다.
본 실시 형태에 의하면, 군 관리 장치(500)가 전술한 정의 정보 데이터를 관리하는 것에 의해, 기판 처리 장치(100)의 센서의 구성을 용이하게 파악하는 것이 가능해진다. 또한 데이터 ID로서 센서 ID를 이용하는 것에 의해, 특정한 센서에 주목한 분석을 용이하게 수행하는 것이 가능해진다. 예컨대 데이터 ID(센서 ID)를 사용해서 모니터 데이터를 검색하는 것으로, 방대한 모니터 데이터 중에서 소정의 센서로부터의 모니터 데이터만을 선택적으로 추출하거나 소정의 센서로부터의 모니터 데이터만을 선택적으로 삭제하거나 하는 것이 용이해진다.
또한 데이터 ID로서 센서 ID를 사용할 경우, 센서 ID는 적어도 기판 처리 장치(100) 내에서 오로지 일의적일 필요가 있다. 센서 ID에 중복이 있으면, 모니터 데이터의 발생 개소를 특정할 수 없어져 모니터 데이터를 이용한 분석(예컨대 대표값이나 모니터 데이터의 생성, 검색, 표시 등)을 수행할 수 없게 된다. 또한 센서 ID는 기판 처리 장치(100)의 구성 변경(예컨대 센서의 추가나 삭제)이 있었을 때에 불변할 필요가 있다. 센서 ID에 변경이 생기면, 변경 후의 센서 ID와 데이터 버스(503) 내나 파일 아카이브 내의 데이터 ID(센서 ID) 사이에서 부정합이 생겨, 과거의 모니터 데이터 등을 이용할 수 없게 된다.
이에 대하여 본 실시 형태에 의하면, 기판 처리 장치(100)로부터 수신한 Locator, elementType, Attribute에 대하여 예컨대 해시 함수 등을 이용한 연산을 수행하는 것에 의해, 센서 ID를 산출한다. 여기서, Locator, elementType, Attribute의 조는, 센서 고유(일의적)이며 또한 다른 센서의 추가나 삭제가 생겨도 변화되지 않는 정보다. 그렇기 때문에 전술한 방법에 의해 얻어지는 센서 ID는, 적어도 기판 처리 장치(100) 내에서 일이적이며 또한 기판 처리 장치(100)에 구성 변경(센서의 추가나 삭제)이 생겨도 불변한다. 따라서 본 실시 형태에 의하면, 전술한 과제를 해결하는 것이 가능해진다.
또한, 본 실시 형태에 의하면, 정의 정보 데이터를 데이터베이스부(503a)와 파일 아카이브부(512)의 양방(兩方)에서 보관?관리하도록 한다. 그리고 데이터베이스부(503a)가 기억부(503)에 격납한 정의 정보 데이터가 파손되도, 파일 아카이브부(512)가 파일(503b)에 격납한 정의 정보 파일과 기판 처리 장치(100)로부터 수신한 센서 구성 정보에 기초하여, 파손한 정시 정보 데이터를 복원시키는 것이 가능하도록 구성된다. 또한 마찬가지로 파일 아카이브부(512)가 파일(503b)에 격납한 정의 정보 파일이 파손되도, 데이터베이스부(503a)가 기억부(503)에 격납한 정의 정보 데이터와 기판 처리 장치(100)로부터 수신한 센서 구성 정보에 기초하여, 파손한 정시 정보 데이터를 복원시키는 것이 가능하도록 구성된다. 이에 의해 정의 정보 데이터의 파손 전후에서의 데이터의 연속성을 확보하는 것이 가능해진다.
또한 본 실시 형태에 의하면, Locator, elementType, Attribute를 바탕으로 센서 ID(즉 데이터 ID)를 용이하게 얻을 수 있다. 그렇기 때문에 장치 고장 발생 시 등에서 긴급한 데이터 해석이 필요할 경우에, 기판 처리 시스템의 사용자(반도체 메이커 등)의 형편 등에 의해 정의 정보 데이터를 입수할 수 없다 하더라도, 이러한 센서 ID를 이용하여 모니터 데이터에 용이하게 액세스하는 것이 가능해진다.
<본 발명의 또 다른 실시 형태>
본 발명은 기판 처리 장치(100)와 군 관리 장치(500)가 같은 플로어(같은 클린룸 내)에 배치될 경우에 한정되지 않는다. 예컨대 기판 처리 장치(100)를 클린룸 내에 배치하는 것과 함께, 군 관리 장치(500)를 사무소 내(클린룸과는 다른 플로어)에 배치하고, 레시피의 진행 상황이나 기판 처리 장치(100)의 상태를 원격으로부터 감시하도록 하여도 좋다.
본 발명은, CVD(Chemical Vapor Deposition)법, ALD(Atomic Layer Deposition), PVD(Physical Vapor Deposition)법에 의한 성막 처리 외에 확산 처리, 어닐링 처리, 산화처리, 질화처리, 리소그래피 처리 등의 다른 기판 처리에도 바람직하게 적용할 수 있다. 또한 본 발명은, 박막 형성 장치 외에, 어닐링 처리 장치, 산화처리 장치, 질화처리 장치, 노광 장치, 도포 장치, 건조 장치, 가열 장치 등의 다른 기판 처리 장치에도 바람직하게 적용할 수 있다.
본 발명은, 본 실시 형태에 따른 반도체 제조 장치 등의 웨이퍼 기판을 처리하는 기판 처리 장치에 한정되지 않고, LCD(Liquid Crystal Display) 제조 장치 등의 유리 기판을 처리하는 기판 처리 장치에도 바람직하게 적용할 수 있다.
이상 본 발명의 실시 형태를 구체적으로 설명하였으나, 본 발명은 전술한 실시 형태에 한정되지 않고, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지 변경이 가능하다.
<본 발명의 바람직한 형태>
이하에 본 발명의 바람직한 형태에 대하여 부기(附記)한다.
본 발명의 일 형태에 의하면,
기판을 처리하는 기판 처리 장치와, 상기 기판 처리 장치에 접속되는 군 관리 장치를 구비하는 기판 처리 시스템으로서,
상기 군 관리 장치는,
기판 처리의 진행 상황 또는 상기 기판 처리 장치의 상태를 나타내는 모니터 데이터를 상기 기판 처리 장치로부터 수신하는 통신 수단;
상기 통신 수단이 수신한 상기 모니터 데이터를 생산 정보 데이터에 관련지어서 독출 가능하게 격납하는 데이터베이스부;
상기 데이터베이스부로부터 상기 모니터 데이터 및 상기 생산 정보 데이터를 독출하고, 상기 모니터 데이터를 기초로 대표값 데이터를 생성하고, 상기 모니터 데이터, 상기 생산 정보 데이터 및 상기 대표값 데이터를 포함하는 파일을 작성하여 독출 가능하게 격납하는 파일 아카이브부; 및
소정의 검색 조건의 입력을 접수하여 상기 파일을 검색하고, 상기 검색 조건에 합치하는 상기 파일에 격납되어 있는 데이터를 표시 수단에 표시하는 데이터 검색부;
를 구비하는 기판 처리 시스템이 제공된다.
바람직하게는, 상기 파일은, 헤더부, 상기 모니터 데이터를 격납하는 모니터 데이터부, 상기 생산 정보 데이터를 격납하는 생산 정보 데이터부 및 상기 대표값 데이터를 격납하는 대표값 데이터부를 구비한다.
더욱 바람직하게는, 상기 파일 아카이브부는, 상기 파일이 구비하는 상기 헤더부, 상기 모니터 데이터부, 상기 생산 정보 데이터부 및 상기 대표값 데이터부를 각각 독립해서 삭제 가능하도록 구성된다.
더욱 바람직하게는, 상기 데이터베이스부는, 상기 통신 수단이 수신한 상기 모니터 데이터를, 상기 생산 정보 데이터, 상기 모니터 데이터를 특정하는 데이터 ID 및 상기 모니터 데이터의 발생 시각을 나타내는 데이터 시각 정보에 관련지어서 독출 가능하게 격납하고,
상기 파일 아카이브부는, 상기 데이터베이스부로부터 상기 모니터 데이터, 상기 생산 정보 데이터 및 상기 데이터 ID를 독출하고, 상기 모니터 데이터를 기초로 상기 대표값 데이터를 생성하고, 상기 데이터 ID에 기초하여 상기 모니터 데이터, 상기 생산 정보 데이터 및 상기 대표값 데이터 중 적어도 어느 하나를 부호화하고, 상기 부호화된 데이터 및 부호화되지 않은 데이터를 포함하는 상기 파일을 작성하고, 상기 데이터 ID 및 상기 데이터 시각 정보에 관련지어서 독출 가능하게 격납한다.
또한 바람직하게는, 상기 데이터 검색부는, 상기 데이터 ID 및 상기 데이터 시각 정보를 포함하는 상기 검색 조건의 입력을 접수해서 상기 파일을 검색하고, 상기 검색 조건에 합치하는 상기 파일에 격납되어 있는 데이터를 표시 수단에 표시한다.
본 발명의 다른 형태에 의하면,
기판을 처리하는 기판 처리 장치에 접속되는 군 관리 장치으로서,
기판 처리의 진행 상황 또는 상기 기판 처리 장치의 상태를 나타내는 모니터 데이터를 상기 기판 처리 장치로부터 수신하는 통신 수단;
상기 통신 수단이 수신한 상기 모니터 데이터를 생산 정보 데이터에 관련지어서 독출 가능하게 격납하는 데이터베이스부;
상기 데이터베이스부로부터 상기 모니터 데이터 및 상기 생산 정보 데이터를 독출하고, 상기 모니터 데이터를 기초로 대표값 데이터를 생성하고, 상기 모니터 데이터, 상기 생산 정보 데이터 및 상기 대표값 데이터를 포함하는 파일을 작성하여 독출 가능하게 격납하는 파일 아카이브부; 및
소정의 검색 조건의 입력을 접수하여 상기 파일을 검색하고, 상기 검색 조건에 합치하는 상기 파일에 격납되어 있는 데이터를 표시 수단에 표시하는 데이터 검색부;
를 구비하는 군 관리 장치가 제공된다.
본 발명의 또 다른 형태에 의하면,
기판을 처리하는 기판 처리 장치와, 상기 기판 처리 장치에 접속되는 군 관리 장치를 구비하는 기판 처리 시스템으로서,
상기 군 관리 장치는,
기판 처리의 진행 상황 또는 상기 기판 처리 장치의 상태를 나타내는 모니터 데이터를 상기 기판 처리 장치로부터 수신하는 통신 수단;
상기 통신 수단이 수신한 상기 모니터 데이터를 생산 정보 데이터 및 정의 정보 데이터에 관련지어서 독출 가능하게 격납하는 데이터베이스부;
상기 데이터베이스부로부터 상기 생산 정보 데이터 및 상기 정의 정보 데이터에 관련지어진 상기 모니터 데이터를 독출하고, 상기 모니터 데이터를 기초로 대표값 데이터를 생성하고, 상기 모니터 데이터, 상기 생산 정보 데이터, 상기 정의 정보 데이터 및 상기 대표값 데이터를 포함하는 파일을 작성하여 독출 가능하게 격납하는 파일 아카이브부; 및
소정의 검색 조건의 입력을 접수하여 상기 파일을 검색하고, 상기 검색 조건에 합치하는 상기 파일에 격납되어 있는 데이터를 표시 수단에 표시하는 데이터 검색부;
를 구비하는 기판 처리 시스템이 제공된다.
바람직하게는, 상기 파일은, 헤더부, 상기 모니터 데이터를 격납하는 모니터 데이터부, 상기 생산 정보 데이터를 격납하는 생산 정보 데이터부, 상기 정의 정보 데이터를 격납하는 정의 정보 데이터부 및 상기 대표값 데이터를 격납하는 대표값 데이터부를 구비한다.
또한 바람직하게는, 상기 파일 아카이브부는, 상기 파일이 구비하는 상기 헤더부, 상기 모니터 데이터부, 상기 생산 정보 데이터부, 상기 정의 정보 데이터부 및 상기 대표값 데이터부를 각각 독립해서 삭제 가능하도록 구성된다.
또한 바람직하게는, 상기 데이터베이스부는, 상기 통신 수단이 수신한 상기 모니터 데이터를, 상기 생산 정보 데이터, 상기 정의 정보 데이터, 상기 모니터 데이터를 특정하는 데이터 ID 및 상기 모니터 데이터의 발생 시각을 나타내는 데이터 시각 정보에 관련지어서 독출 가능하게 격납하고,
상기 파일 아카이브부는, 상기 데이터베이스부로부터 상기 생산 정보 데이터, 상기 정의 정보 데이터, 상기 데이터 ID 및 상기 데이터 시각 정보에 관련지어진 상기 모니터 데이터를 독출하고, 상기 모니터 데이터를 기초로 상기 대표값 데이터를 생성하고, 상기 데이터 ID에 기초하여 상기 모니터 데이터, 상기 생산 정보 데이터, 상기 정의 정보 데이터,및 상기 대표값 데이터 중의 적어도 어느 하나를 부호화하고, 상기 부호화된 데이터 및 상기 부호화되지 않은 데이터를 포함하는 상기 파일을 작성하여, 상기 데이터 ID 및 상기 데이터 시각 정보에 관련지어서 독출 가능하게 격납한다.
또한 바람직하게는, 상기 데이터 검색부는, 상기 데이터 ID 및 상기 데이터 시각 정보를 포함하는 상기 검색 조건의 입력을 접수하여 상기 파일을 검색하고, 상기 검색 조건에 합치하는 상기 파일에 격납되어 있는 데이터를 표시 수단에 표시한다.
본 발명의 또 다른 형태에 의하면,
기판 처리의 진행 상황 또는 기판 처리 장치의 상태를 나타내는 모니터 데이터를 상기 기판 처리 장치로부터 수신하는 통신 수단;
상기 통신 수단이 수신한 상기 모니터 데이터를 생산 정보 데이터 및 정의 정보 데이터에 관련지어서 독출 가능하게 격납하는 데이터베이스부;
상기 데이터베이스부로부터 상기 생산 정보 데이터 및 상기 정의 정보 데이터에 관련지어진 상기 모니터 데이터를 독출하고, 상기 모니터 데이터를 기초로 대표값 데이터를 생성하고, 상기 모니터 데이터, 상기 생산 정보 데이터, 상기 정의 정보 데이터 및 상기 대표값 데이터를 포함하는 파일을 작성하여 독출 가능하게 격납하는 파일 아카이브부; 및
소정의 검색 조건의 입력을 접수하여 상기 파일을 검색하고, 상기 검색 조건에 합치하는 상기 파일에 격납되어 있는 데이터를 표시 수단에 표시하는 데이터 검색부;
를 구비하는 군 관리 장치가 제공된다.
100: 기판 처리 장치 200: 웨이퍼(기판)
500: 군 관리 장치 501: 제어부
502: 공유 메모리 503: 기억부
503a: 데이터베이스부 503b: 파일
504: 통신 제어부(통신 수단) 505: 데이터 표시부 (표시 수단)
506: 입력 수단 511: 파일 아카이브부
512: 데이터 검색부
500: 군 관리 장치 501: 제어부
502: 공유 메모리 503: 기억부
503a: 데이터베이스부 503b: 파일
504: 통신 제어부(통신 수단) 505: 데이터 표시부 (표시 수단)
506: 입력 수단 511: 파일 아카이브부
512: 데이터 검색부
Claims (9)
- 기판을 처리하는 기판 처리 장치와, 상기 기판 처리 장치에 접속되는 군(群) 관리 장치를 구비하는 기판 처리 시스템으로서,
상기 군 관리 장치는,
기판 처리의 진행 상황 또는 상기 기판 처리 장치의 상태를 나타내는 모니터 데이터를 상기 기판 처리 장치로부터 수신하는 통신 수단;
상기 통신 수단이 수신한 상기 모니터 데이터를 생산 정보 데이터에 관련지어서 독출(讀出) 가능하게 격납하는 데이터베이스부;
상기 데이터베이스부로부터 상기 모니터 데이터 및 상기 생산 정보 데이터를 독출하고, 상기 모니터 데이터를 기초로 대표값 데이터를 생성하고, 상기 모니터 데이터, 상기 생산 정보 데이터 및 상기 대표값 데이터를 포함하는 파일을 작성하여 독출 가능하게 격납(格納)하는 파일 아카이브부; 및
소정의 검색 조건의 입력을 접수하여 상기 파일을 검색하고, 상기 검색 조건에 합치(合致)하는 상기 파일에 격납되어 있는 데이터를 표시 수단에 표시하는 데이터 검색부;
를 구비하는 기판 처리 시스템. - 기판 처리의 진행 상황 또는 기판 처리 장치의 상태를 나타내는 모니터 데이터를 상기 기판 처리 장치로부터 수신하는 통신 수단;
상기 통신 수단이 수신한 상기 모니터 데이터를 생산 정보 데이터에 관련지어서 독출 가능하게 격납하는 데이터베이스부;
상기 데이터베이스부로부터 상기 모니터 데이터 및 상기 생산 정보 데이터를 독출하고, 상기 모니터 데이터를 기초로 대표값 데이터를 생성하고, 상기 모니터 데이터, 상기 생산 정보 데이터 및 상기 대표값 데이터를 포함하는 파일을 작성하여 독출 가능하게 격납하는 파일 아카이브부; 및
소정의 검색 조건의 입력을 접수하여 상기 파일을 검색하고, 상기 검색 조건에 합치하는 상기 파일에 격납되어 있는 데이터를 표시 수단에 표시하는 데이터 검색부;
를 구비하는 군 관리 장치. - 기판을 처리하는 기판 처리 장치와, 상기 기판 처리 장치에 접속되는 군 관리 장치를 구비하는 기판 처리 시스템으로서,
상기 군 관리 장치는,
기판 처리의 진행 상황 또는 상기 기판 처리 장치의 상태를 나타내는 모니터 데이터를 상기 기판 처리 장치로부터 수신하는 통신 수단;
상기 통신 수단이 수신한 상기 모니터 데이터를 생산 정보 데이터 및 정의 정보 데이터에 관련지어서 독출 가능하게 격납하는 데이터베이스부;
상기 데이터베이스부로부터 상기 생산 정보 데이터 및 상기 정의 정보 데이터에 관련지어진 상기 모니터 데이터를 독출하여, 상기 모니터 데이터를 기초로 대표값 데이터를 생성하고, 상기 모니터 데이터, 상기 생산 정보 데이터, 상기 정의 정보 데이터 및 상기 대표값 데이터를 포함하는 파일을 작성하여 독출 가능하게 격납하는 파일 아카이브부; 및
소정의 검색 조건의 입력을 접수하여 상기 파일을 검색하고, 상기 검색 조건에 합치하는 상기 파일에 격납되어 있는 데이터를 표시 수단에 표시하는 데이터 검색부;
를 구비하는 기판 처리 시스템. - 기판 처리의 진행 상황 또는 기판 처리 장치의 상태를 나타내는 모니터 데이터를 상기 기판 처리 장치로부터 수신하는 통신 수단;
상기 통신 수단이 수신한 상기 모니터 데이터를 생산 정보 데이터 및 정의 정보 데이터에 관련지어서 독출 가능하게 격납하는 데이터베이스부;
상기 데이터베이스부로부터 상기 생산 정보 데이터 및 상기 정의 정보 데이터에 관련지어진 상기 모니터 데이터를 독출하고, 상기 모니터 데이터를 기초로 대표값 데이터를 생성하고, 상기 모니터 데이터, 상기 생산 정보 데이터, 상기 정의 정보 데이터 및 상기 대표값 데이터를 포함하는 파일을 작성하여 독출 가능하게 격납하는 파일 아카이브부; 및
소정의 검색 조건의 입력을 접수하여 상기 파일을 검색하고, 상기 검색 조건에 합치하는 상기 파일에 격납되어 있는 데이터를 표시 수단에 표시하는 데이터 검색부;
를 구비하는 군 관리 장치. - 기판을 처리하는 기판 처리 장치와, 상기 기판 처리 장치에 접속되는 군 관리 장치를 구비하는 기판처리 시스템으로서,
상기 군 관리 장치는,
상기 기판 처리 장치의 상태를 나타내는 모니터 데이터를 생산 정보 데이터에 관련지어서 독출 가능하게 격납하는 데이터베이스부; 및
상기 데이터베이스부로부터 상기 모니터 데이터 및 상기 생산 정보 데이터를 독출하고, 상기 모니터 데이터를 기초로 대표값 데이터를 생성하고, 상기 모니터 데이터, 상기 생산 정보 데이터 및 상기 대표값 데이터를 포함하는 파일을 작성하여 독출 가능하게 격납하는 파일 아카이브부;
를 구비하는 기판 처리 시스템. - 기판을 처리하는 기판 처리 장치와, 상기 기판 처리 장치에 접속되는 군 관리 장치를 구비하는 기판 처리 시스템으로서,
상기 군 관리 장치는,
상기 기판 처리 장치의 상태를 나타내는 모니터 데이터를 상기 기판 처리 장치로부터 수신하는 통신 수단;
상기 통신 수단이 수신한 상기 모니터 데이터를 독출 가능하게 격납하는 데이터베이스부; 및
상기 데이터베이스부로부터 상기 모니터 데이터를 독출하고, 상기 모니터 데이터를 기초로 대표값 데이터를 생성하고, 상기 모니터 데이터 및 상기 대표값 데이터를 포함하는 파일을 작성하여 독출 가능하게 격납하는 파일 아카이브부;
를 구비하는 기판 처리 시스템. - 기판을 처리하는 기판 처리 장치와, 상기 기판 처리 장치에 접속되는 군 관리 장치를 구비하는 기판 처리 시스템으로서,
상기 군 관리 장치는,
상기 기판 처리 장치의 상태를 나타내는 모니터 데이터를 독출 가능하게 격납하는 데이터베이스부; 및
상기 데이터베이스부로부터 상기 모니터 데이터를 독출하고, 상기 모니터 데이터를 기초로 대표값 데이터를 생성하고, 상기 모니터 데이터 및 상기 대표값 데이터를 포함하는 파일을 작성하여 독출 가능하게 격납하는 파일 아카이브부;
를 구비하는 기판 처리 시스템. - 기판을 처리하는 기판 처리 장치와, 상기 기판 처리 장치에 접속되는 군 관리 장치를 구비하는 기판 처리 시스템으로서,
상기 군 관리 장치는,
상기 기판 처리 장치의 상태를 나타내는 모니터 데이터를 독출 가능하게 격납하는 데이터베이스부; 및
상기 데이터베이스부로부터 상기 모니터 데이터를 독출하고, 상기 모니터 데이터를 포함하는 파일을 작성하여 독출 가능하게 격납하는 파일 아카이브부;
를 구비하는 기판 처리 시스템. - 기판 처리 장치의 상태를 나타내는 모니터 데이터를 독출 가능하게 격납하는 데이터베이스부; 및
상기 데이터베이스부로부터 상기 모니터 데이터를 독출하고, 상기 모니터 데이터를 포함하는 파일을 작성하여 독출 가능하게 격납하는 파일 아카이브부;
를 구비하는 군 관리 장치.
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