JP5969875B2 - データ生成システムおよびデータ生成方法 - Google Patents
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Description
100…システムサーバー
110…制御ユニット
111…表示制御部
112…仕様取得部
113…データ生成部
114…選択データ取得部
130…記憶部
131…仕向け地データ層
132…ユーザー要求データ層
133…製品仕様データ層
134…コンフィグレーションデータ層
135…仕向け地−ユーザー要求関連情報テーブル
136…ユーザー要求−製品仕様関連情報テーブル
137…製品仕様−コンフィグレーションデータ関連情報テーブル
220…表示部
Claims (8)
- 基板処理装置の仕様に対応して前記基板処理装置を動作させるためのコンフィグレーションデータを生成するデータ生成システムであって、
互いに異なる複数の仕様および互いに異なる複数のコンフィグレーションデータを階層構造化して記憶するとともに、仕様とコンフィグレーションデータとの階層間での関連を示す関連情報を記憶する記憶部と、
前記基板処理装置の仕様を取得する仕様取得部と、
前記仕様取得部が取得した仕様に対応するコンフィグレーションデータを前記関連情報に基づいて前記複数のコンフィグレーションデータから選択し、前記仕様取得部で取得した仕様を有する基板処理装置を動作させるためのコンフィグレーションデータを生成するデータ生成部と、
を備えるデータ生成システム。 - 請求項1に記載のデータ生成システムであって、
前記記憶部は、前記複数の仕様をさらに階層構造化して記憶するとともに、階層間での仕様の関連を示す関連情報を記憶するデータ生成システム。 - 請求項1または2に記載のデータ生成システムであって、
前記複数の仕様と前記複数のコンフィグレーションデータとの階層構造を表示する表示部をさらに備えるデータ生成システム。 - 請求項3に記載のデータ生成システムであって、
前記表示部は、前記仕様取得部が仕様を取得すると、前記仕様取得部に取得された当該仕様と当該仕様に関連するコンフィグレーションデータとの階層構造のみを選択的に表示するデータ生成システム。 - 請求項3に記載のデータ生成システムであって、
前記複数のコンフィグレーションデータから一の選択を受け取るデータ選択部をさらに備え、
前記表示部は、前記データ選択部がコンフィグレーションデータの選択を受け取ると、前記データ選択部に受け取られたコンフィグレーションデータと当該コンフィグレーションデータに関連する仕様との階層構造のみを選択的に表示するデータ生成システム。 - 請求項1ないし5のいずれか一項に記載のデータ生成システムであって、
前記データ生成部は、前記仕様取得部が取得した仕様に対応するコンフィグレーションデータが前記記憶部に含まれないとき、当該仕様に対応するコンフィグレーションデータの編集を許容するデータ生成システム。 - 請求項6に記載のデータ生成システムであって、
前記データ生成部は、編集された当該コンフィグレーションデータと、当該コンフィグレーションデータおよび前記仕様取得部が取得した仕様の関連情報とを前記記憶部に書き込むデータ生成システム。 - 基板処理装置の仕様に対応して前記基板処理装置を動作させるためのコンフィグレーションデータを生成するデータ生成方法であって、
予め互いに異なる複数の仕様および互いに異なる複数のコンフィグレーションデータを階層構造化した階層化情報と、仕様とコンフィグレーションデータとの階層間での関連を示す関連情報とを含むナレッジデータベースを生成する工程と、
前記基板処理装置の仕様に対応するコンフィグレーションデータを前記関連情報に基づいて前記ナレッジデータベースから選択する工程と、
選択されたコンフィグレーションデータを、前記基板処理装置を動作させるためのコンフィグレーションデータとする工程と
を備えるデータ生成方法。
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