KR20150063357A

KR20150063357A - 데이터 생성 시스템 및 데이터 생성 방법

Info

Publication number: KR20150063357A
Application number: KR1020157003278A
Authority: KR
Inventors: 도모야스 후루타
Original assignee: 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
Priority date: 2012-09-28
Filing date: 2013-05-30
Publication date: 2015-06-09
Also published as: TW201413481A; US20150253763A1; TWI507901B; JP5969875B2; CN104685468A; JP2014072307A; KR102061926B1; WO2014050207A1; CN104685468B

Abstract

기판 처리 장치의 사양에 대응하여 상기 기판 처리 장치를 동작시키기 위한 고품질인 컨피규레이션 데이터를 적은 작업 공정수로 생성한다. 서로 상이한 복수의 사양 및 서로 상이한 복수의 컨피규레이션 데이터를 계층 구조화하여 기억함과 더불어, 사양과 컨피규레이션 데이터의 계층간에서의 관련을 나타내는 관련 정보를 기억하는 기억부와, 기판 처리 장치의 사양을 취득하는 사양 취득부와, 사양 취득부가 취득한 사양에 대응하는 컨피규레이션 데이터를 관련 정보에 의거하여 상기 복수의 컨피규레이션 데이터로부터 선택하고, 사양 취득부에서 취득한 사양을 가지는 기판 처리 장치를 동작시키기 위한 컨피규레이션 데이터를 생성하는 데이터 생성부를 구비한다.

Description

데이터 생성 시스템 및 데이터 생성 방법{DATA GENERATION SYSTEM AND DATA GENERATION METHOD}

이 발명은, 기판 처리 장치의 사양에 대응하여 기판 처리 장치를 동작시키기 위한 컨피규레이션 데이터를 생성하는 데이터 생성 시스템 및 데이터 생성 방법에 관한 것이다. 또한, 기판 처리 장치에는, 기판에 대해 에칭, 현상, 세정 및 건조 등의 처리를 실시하는 장치가 포함된다. 또, 상기 기판에는 반도체 웨이퍼, 포토 마스크용 유리 기판, 액정 표시용 유리 기판, 플라스마 표시용 유리 기판, FED(Field Emission Display)용 기판, 광 디스크용 기판, 자기 디스크용 기판, 광자기 디스크용 기판 등의 각종 기판이 포함된다.

반도체 장치나 액정 표시 장치 등의 전자 부품을 제조하기 위해 여러 가지 기판 처리 장치가 제공되고 있다. 기판 처리 장치는 수주 설계 생산형의 제품이며, 동일 기종이어도 제품마다 하드웨어나 기구 등이 상이한 것이 많다. 그래서, 기판 처리 장치를 제어하기 위한 소프트웨어를 생성함에 있어서는, 예를 들어 특허 문헌 1에 기재되어 있는 바와 같이, 컨피규레이션 데이터를 생성하고 있다. 즉, 소프트웨어의 중심이 되는 컴퓨터 프로그램을 여러 가지 기판 처리 장치에 대해 공통화하는 한편, 컨피규레이션에 의해 컴퓨터 프로그램의 개개의 기능을, 각 장치의 수신지, 유저 요구, 제품 사양 등에 따라 전환한다. 여기서, 「제품 사양」은 제품을 구성하는 구성 부품과 각 부품의 기능에 의해 결정되는 것이다. 그리고 「제품 사양」 및 「수신지」 및 「유저 요구」를 포함한 것을 본 명세서에서는, 간단히 「사양」이라고 칭한다.

일본국 특허 공표 2007-523407호 공보

그러나 제품수의 증대에 따라 사양수도 많아져, 그에 따라 컨피규레이션 데이터에 포함되는 설정 항목도 팽대한 수로 되어 있다. 그로 인해, 다음과 같은 문제가 발생하고 있다. 최초의 문제점은, 데이터 생성에 상당한 공정수를 필요로 하는 것이다. 또, 데이터 생성시의 기술 미스가 발생하기 쉽고, 데이터의 정당성을 판단하는 것도 어려워지고 있다. 그 결과, 현재 상태에서는 고품질인 컨피규레이션 데이터의 생성에는 고도의 전문성이 요구된다.

이러한 문제를 해소하기 위해, 이미 생성되어 있는 컨피규레이션 데이터를 지식 매니지먼트하는 것을 생각할 수 있다. 그러나 기판 처리 장치의 소프트웨어 개발에 적합한 지식 매니지먼트는 전무했다.

이 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 기판 처리 장치의 사양에 대응하여 상기 기판 처리 장치를 동작시키기 위한 고품질인 컨피규레이션 데이터를 적은 작업 공정수로 생성하는 데이터 생성 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.

이 발명의 일 양태는, 기판 처리 장치의 사양에 대응하여 기판 처리 장치를 동작시키기 위한 컨피규레이션 데이터를 생성하는 데이터 생성 시스템으로서, 서로 상이한 복수의 사양 및 서로 상이한 복수의 컨피규레이션 데이터를 계층 구조화하여 기억함과 더불어, 사양과 컨피규레이션 데이터의 계층간에서의 관련을 나타내는 관련 정보를 기억하는 기억부와, 기판 처리 장치의 사양을 취득하는 사양 취득부와, 사양 취득부가 취득한 사양에 대응하는 컨피규레이션 데이터를 관련 정보에 의거하여 상기 복수의 컨피규레이션 데이터로부터 선택하고, 사양 취득부에서 취득한 사양을 가지는 기판 처리 장치를 동작시키기 위한 컨피규레이션 데이터를 생성하는 데이터 생성부를 구비한다.

또, 이 발명의 다른 양태는, 기판 처리 장치의 사양에 대응하여 기판 처리 장치를 동작시키기 위한 컨피규레이션 데이터를 생성하는 데이터 생성 방법으로서, 미리 서로 상이한 복수의 사양 및 서로 상이한 복수의 컨피규레이션 데이터를 계층 구조화한 계층화 정보와, 사양과 컨피규레이션 데이터의 계층간에서의 관련을 나타내는 관련 정보를 포함하는 지식 데이터베이스를 생성하는 공정과, 기판 처리 장치의 사양에 대응하는 컨피규레이션 데이터를 관련 정보에 의거하여 지식 데이터베이스로부터 선택하는 공정과, 선택된 컨피규레이션 데이터를, 기판 처리 장치를 동작시키기 위한 컨피규레이션 데이터로 하는 공정을 구비한다.

또한, 본 명세서에서의 「지식」은, 데이터의 대응 관계를 결정하는 지견의 총체를 의미하고 있다. 예를 들어 「기판 처리 장치에 있어서 A기능을 실현하기 위해 상기 기판 처리 장치는 X유닛을 필요로 한다」라고 하는 지견이나 「X유닛을 사용하는 경우에는 관련되는 부품 a, b가 필요한 한편, 부품 c는 불필요하다」라고 하는 지견, 「X국의 Y공장에 납입하는 기판 처리 장치는 Z1요구는 선택 가능하나, Z2요구는 안전 규격상, 선택할 수 없다」라고 하는 지견 등이 지식이며, 상기 관련 정보가 지식에 상당한다. 또, 사양 및 컨피규레이션 데이터와 더불어 상기 관련 정보를 포함한 데이터베이스가 「지식 데이터베이스」에 상당한다.

이상과 같이, 본 발명에서는, 컨피규레이션 데이터가 기판 처리 장치의 사양에 연관되어 계층 구조화되어 있다. 이와 같이 사양과 컨피규레이션 데이터가 소프트웨어의 개발 작업자(이하 「작업자」라고 한다)에게 알기 쉬운 형태로 지식 데이터베이스화되어 있다. 또, 상기 지식 데이터베이스에는, 사양과 컨피규레이션 데이터의 계층간에서의 관련을 나타내는 관련 정보가 포함되어 있다. 그리고 기판 처리 장치의 사양에 대응하는 컨피규레이션 데이터가 관련 정보에 의거하여 지식 데이터베이스로부터 선택된다. 따라서, 데이터 생성시에 있어서의 작업자의 공정수 및 기술 미스를 삭감할 수 있다. 또, 데이터의 정당성을 판단하는 것도 용이한 것이 된다. 그 결과, 고품질인 컨피규레이션 데이터를 적은 작업 공정수로 생성할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 데이터 생성 시스템의 일 실시 형태의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 2는 도 1의 데이터 생성 시스템에 기억되는 지식 데이터베이스의 구조를 개념적으로 도시하는 도이다.
도 3은 지식 데이터베이스에 포함되는 수신지 데이터층의 일례를 도시하는 도이다.
도 4는 지식 데이터베이스에 포함되는 유저 요구 데이터층의 일례를 도시하는 도이다.
도 5는 지식 데이터베이스에 포함되는 제품 사양 데이터층의 일례를 도시하는 도이다.
도 6은 지식 데이터베이스에 포함되는 관련 정보 테이블의 일례를 도시하는 도이다.
도 7은 도 1에 도시하는 데이터 생성 시스템의 동작을 나타내는 플로차트이다.
도 8은 도 1에 도시하는 데이터 생성 시스템의 동작을 나타내는 플로차트이다.
도 9는 도 1에 도시하는 데이터 생성 시스템에 의해 생성된 컨피규레이션 데이터의 일례를 도시하는 도이다.
도 10은 본 발명에 따른 데이터 생성 시스템에 있어서의 순방향의 가시화 기능을 개념적으로 도시하는 도이다.
도 11은 본 발명에 따른 데이터 생성 시스템에 있어서의 순방향의 가시화 기능을 개념적으로 도시하는 도이다.
도 12는 본 발명에 따른 데이터 생성 시스템에 있어서의 역방향의 가시화 기능을 개념적으로 도시하는 도이다.
도 13은 본 발명에 따른 데이터 생성 시스템에 있어서의 역방향의 가시화 기능을 개념적으로 도시하는 도이다.

도 1은, 본 발명에 따른 데이터 생성 시스템의 일 실시 형태의 구성을 도시하는 블록도이다. 데이터 생성 시스템(1)은, 기판 처리 장치의 사양에 대응하여 동 장치를 동작시키기 위한 컨피규레이션 데이터를 생성하는 시스템 서버(100)와, WEB 브라우저가 탑재된 클라이언트 단말(200)을 가지고 있다. 이들 시스템 서버(100)와 클라이언트 단말(200)은, 통신 네트워크(300), 예를 들어 TCP/IP(Transmission Control Protocol/Internet Protocol) 등의 표준 규격화된 통신 프로토콜을 사용한 인터넷을 통해 통신 가능하게 되어 있다.

클라이언트 단말(200)은, 단말 본체(210)와, 액정 디스플레이 등의 표시부(220)와, 키보드나 마우스 등을 가지는 조작부(230)를 구비하고 있다. 단말 본체(210)에는, 제어 유닛(211)과, 시스템 서버(100)의 사이에서 통신을 행하기 위한 통신 I/F(212)가 내장되어 있다. 제어 유닛(211)은 CPU(Central Processing Unit) 및 메모리 등을 가지는 컴퓨터를 주체로 하고, 미리 메모리에 기억되어 있는 프로그램에 따라 WEB 브라우저를 기동하여, 시스템 서버(100)에서 작성되는 표시 정보를 표시부(220)에 비춘다. 또한, 도 1에 도시하는 데이터 생성 시스템(1)에서는, 시스템 서버(100)에 대해 2대의 클라이언트 단말(200)이 설치되어 있는데, 클라이언트 단말(200)의 대수는 이에 한정되는 것이 아니고, 임의이다.

시스템 서버(100)는, 제어 유닛(110)과, 클라이언트 단말(200)의 사이에서 통신을 행하기 위한 통신 I/F(120)와, 지식 데이터베이스를 기억하는 기억부(130)를 구비하고 있다.

도 2는 도 1의 데이터 생성 시스템에 기억되는 지식 데이터베이스의 구조를 개념적으로 도시하는 도이다. 또한, 도 2 중의 부호 CD는 컨피규레이션 데이터를 의미하고 있고, 그 밖의 도면에 있어서도 컨피규레이션 데이터를 적당히 「CD」로 생략하여 표시한다.

지식 데이터베이스는, 4개의 데이터층(131~134) 및 3개의 테이블(135~137)(도 1)을 가지고 있다. 이들 데이터층 중 컨피규레이션 데이터층(134)은 기억부(130)에 기억된 복수의 컨피규레이션 데이터에 의해 형성되어 있다. 나머지 데이터층(131~133)은 컨피규레이션 데이터를 생성하기 위해 필요한, 기판 처리 장치의 각종 사양에 관한 데이터에 의해 형성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 컨피규레이션 데이터의 생성 대상이 되는 기판 처리 장치의 사양으로서, 「수신지」, 「유저 요구」 및 「제품 사양」의 3종류가 설정되어 있다. 이들 수신지, 유저 요구 및 제품 사양에 관련되는 데이터는 각각 수신지 데이터층(131)(도 3), 유저 요구 데이터층(132)(도 4) 및 제품 사양 데이터층(133)(도 5)으로 나누어 기억부(130)에 기억되어 있다. 이와 같이 데이터 생성 시스템(1)은 상기 사양에 관한 데이터를 계층적으로 유지하고 있다. 데이터 생성 시스템(1)은, 선택 가능한 사양 데이터를 표시하여 작업자에게 선택시키거나, 작업자에 의해 지정된 사양 데이터와 정합하는 다른 사양 데이터를 자동적 결정하여 연쇄적으로 표시함으로써, 작업자와 협동하여 컨피규레이션 데이터를 생성한다. 상세하게는 후술한다.

수신지에는, 예를 들어 도 3에 도시하는 바와 같이, 기판 처리 장치를 설치하는 나라, 회사나 공장 등이 포함되어 있다. 도 3의 수신지 데이터층(131)에는 복수의 수신지 데이터가 2단계로 구조화되어 저장되어 있다. 예를 들어, ID1「미국」에는, 「모체 수신지 ID1」의 값을 가지는 ID4「X사」 및 ID5「Y사」가 연관되어 있다. 또한, 이 ID5「Y사」에는, 「모체 수신지 ID5」의 값을 가지는 ID6「Y사 Y1공장」 및 ID7「Y사 Y2공장」이 연관되어 있다. 따라서, 수신지 데이터층(131)을 참조함으로써, 하나의 수신지 데이터에 관련되는 1 내지 복수의 수신지 데이터를 자동적으로 특정할 수 있다. 또한, 「미국」→「Y사」→「Y사 Y1공장」「Y사 Y2공장」이라고 하는 상층 계층으로부터 하층 계층으로 연관성을 더듬어 갈 뿐만 아니라, 「Y사 Y2공장」→「Y사」→「미국」이라고 하는 하층 계층으로부터 상층 계층으로 연관성을 더듬어 가는 것도 가능하다.

유저 요구 데이터층(132)은, 기판 처리 장치에 관하여 유저로부터 밀려드는 전형적인 요구를 유저 요구 데이터로서 저장한 것이다. 이는 도 4에 도시하는 바와 같이, 예를 들어, 「통상 한 종류의 약액으로 처리하는 곳을, 두 종류의 약액으로 처리하고 싶다」 혹은, 「축의 구동 도중에서 변속시킴으로써, 웨이퍼 세정 능력을 높이고 싶다」라고 하는 내용이다. 본 데이터층(132)에 저장된 데이터도 계층 구조화되어 있어, 각 유저 요구 데이터의 관련성을 파악할 수 있도록 되어 있다. 예를 들어, ID2의 「축의 구동 도중의 변속」의 실현에는 ID3의 「축의 저속 구동」이 불가결하기 때문에, ID2의 유저 요구와 ID3의 유저 요구는 모체 요구-자요구의 관계로 연관되어 있다. 즉, 모체 요구가 무효한 상태에서 자요구를 유효하게 할 수 없게 되어 있다. 이와 같이 유저 요구 데이터를 계층 구조화함으로써, 하나의 유저 요구를 선택하는 것만으로, 상기 유저 요구에 관련되는 1 내지 복수의 유저 요구를 자동적으로 설정할 수 있다.

또, 수신지마다 유저 요구가 상이한 것도 많다. 그래서, 본 실시 형태에서는, 수신지에 관련되는 데이터가, 유저 요구에 관련되는 데이터의 상위에 위치 결정되어, 수신지 데이터층(131)과 유저 요구 데이터층(132)이 계층 구조화된 상태로 기억부(130)에 기억되어 있다.

또한, 예를 들어 도 6(a)에 도시하는 바와 같이, 수신지와 유저 요구를 연관시킨 정보가 수신지-유저 요구 관련 정보 테이블(이하, 간단히 「상위 테이블」이라고 한다)(135)에 정리되어, 기억부(130)에 기억되어 있다. 예를 들어, 도 6(a)의 ID1의 행에 나타나는 바와 같이, 수신지 ID4(도 3의 ID4「X사」)에 대해서는 유저 요구 ID2가 연관되어 있다. 따라서, 작업자에 의해 수신지 ID4가 선택된 경우에는, 요구 ID2의 유저 요구 데이터가 유효하게 된다. 또, 수신지 ID7(도 3의 ID7 「Y사 Y2공장」)에 대해서는 유저 요구 ID3이 연관되어 있다. 따라서, 작업자에 의해 수신지 ID7이 선택된 경우에는, 요구 ID3의 유저 요구 데이터가 유효하게 된다. 이와 같이, 수신지가 지정되면, 상위 테이블(135)에 의거하여 유저가 요구하는 내용을 자동적으로 결정하는 것이 가능하게 되어 있다.

유저 요구가 정해지면, 그에 대응하는 제품 사양을 어느 정도(혹은, 어느 범위)로 결정하는 것이 가능하다는 것이 경험적으로 알려져 있다. 그래서, 본 실시 형태에서는, 유저 요구에 관련되는 데이터가 제품 사양에 관련되는 데이터의 상위에 위치 결정되어, 「유저 요구 데이터층(132)」과 「제품 사양 데이터층(133)」이 계층 구조화된 상태로 기억부(130)에 기억되어 있다. 제품 사양 데이터층(133)에서는, 제품(기판 처리 장치)이 어떠한 부품으로 구성되어 있고, 각각의 부품이 어떠한 기능을 가지고 있는가라고 하는 사항이 옵션의 부품·기능을 포함해 데이터베이스 관리되고 있다.

도 5는 본 실시 형태에서 채용하고 있는 제품 사양 데이터층의 일례를 도시하고 있다. 특히, 동 도(a)는 제품 사양 데이터층을 설명하기 위한 클래스도이며, 소프트웨어 공학에 있어서의 오브젝트 모델링을 위해 표준화한 사양 기술 언어인 통일 모델링 언어(UML：Unified Modeling Language)에 따라 기재되어 있다. 도 5(a)에 있어서, 부호 133a~133c는 각각 「품목 클래스」, 「부품 클래스」 및 「기능 클래스」이다. 품목 클래스(133a)는 제품의 구성 요소인 부품의 모델이고, 복수의 부품이나 기능을 가질 수 있으며, 속성으로서 「명칭」을 가지고 있다. 본 실시 형태에서는, 동 도(b)에 도시하는 바와 같이, 기판 처리 장치를 구성하는 품목의 명칭으로서 「반도체 세정 장치」, 「스핀 처리 유닛」 등이 포함된다. 또, 부품 클래스(133b)는 제품의 구성 요소이며, 속성으로서 「명칭」, 「모체 품목」, 「모델 품목」 및 「선택 종별(필수, 옵션)」을 가진다. 본 실시 형태에서는, 동 도(c)에 도시하는 바와 같이, 품목을 모체로서 가지고, 명칭이 「제품 001」, 「유닛 001」 등인 부품이 포함되어 있다. 기능 클래스(133c)는 속성으로서 「명칭」, 「모체 품목/기능」 및 「선택 종별(필수, 옵션)」을 가진다. 본 실시 형태에서는, 동 도(d)에 도시하는 바와 같이, 품목 또는 기능을 모체로서 가지며, 명칭이 「기능 001」, 「기능 002」 등인 기능이 포함되어 있다.

제품 사양 데이터층(133)에서는, 기판 처리 장치에서 채용될 가능성이 있는 부품이나 기능의 상호 관계나, 필수/옵션의 구별이 규정되어 있다. 제품 사양 데이터층(133)에서는, 부품 테이블(도 5(c))에 도시되는 바와 같이, 품목과 부품이 연관되어 있다. 예를 들어, 반도체 세정 장치(ID1, 명칭：「제품 001」)에 대해서는 2종류의 스핀 처리 유닛, 즉, 「유닛 001」(ID6) 및 「유닛 002」(ID7)가 연관되어 있다. ID6의 선택 종별 열에 있듯이 「유닛 001」은 필수 요소이지만, 「유닛 002」는 옵션 요소이다. 또, 스핀 처리 유닛(ID2)에는 「디바이스 001(ID8, 명칭：모터)」과 「디바이스 002(ID9, 명칭：모터)」가 각각 옵션 부품으로서 연관되어 있다. 또한, 기능 테이블(도 5(d))에 도시하는 바와 같이, 제품 사양 데이터층(133)에서는, 품목과 기능이 연관되어 있다. 예를 들어, 반도체 세정 장치에 대해서는 「기능 001」이 필수 요소로서 연관되어 있다. 또, 이 「기능 001」에는 「기능 002」가 옵션 기능으로서 연관되어 있다. 이와 같이 기능 테이블은 데이터를 다층 구조로 유지하고 있다.

또, 도 6(b)에 도시하는 바와 같이, 유저 요구와 제품 사양을 연관시킨 정보가 유저 요구-제품 사양 관련 정보 테이블(이하, 간단히 「중위 테이블」이라고 한다)(136)에 정리되어, 기억부(130)에 기억되어 있다. 예를 들어, ID1의 행에 나타나는 바와 같이, 요구 ID1이 「유효」인 경우에는, 사양 ID5(도 5(C)에 도시하는 「제품 001」)과 사양 ID7(「유닛 002」) 의 조합을 제품 사양으로서 채용하도록 설정되어 있다. 마찬가지로, ID2의 행에 나타나는 바와 같이, 요구 ID2가 「유효」인 경우에는, 사양 ID5(「제품 001」)와 사양 ID6(「유닛 002」)과 사양 ID8(「디바이스 001」)) 의 조합을 제품 사양으로서 채용하도록 설정되어 있다. 또, ID3의 행에 나타나는 바와 같이, 요구 ID2가 「유효」인 경우에는, 사양 ID5(「제품 001」)와 사양 ID6(「유닛 002」)과 사양 ID9(「디바이스 002」))의 조합을 제품 사양으로서 채용하지 않도록 설정되어 있다. 이와 같이, 유저 요구와 중위 테이블(136)에 의거하여 제품 사양을 자동적으로 결정하는 것이 가능하게 되어 있다.

또한, 제품 사양이 정해지면, 그에 대응하는 컨피규레이션 데이터를 자동 결정하는 것이 가능하다. 그래서, 제품 사양에 관련되는 데이터가 컨피규레이션 데이터의 상위에 위치 결정되어, 「제품 사양 데이터층(133)」과 「컨피규레이션 데이터층(134)」이 계층 구조화된 상태로 기억부(130)에 기억되어 있다. 또, 제품 사양과 컨피규레이션 데이터를 연관시킨 정보가 제품 사양-컨피규레이션 데이터 관련 정보 테이블(이하, 간단히 「하위 테이블」이라고 한다)(137)에 정리되어, 기억부(130)에 기억되어 있다. 따라서, 제품 사양과 하위 테이블(137)에 의거하여 컨피규레이션 데이터를 자동적으로 결정하는 것이 가능하게 되어 있다.

본 실시 형태에서는 예를 들어 도 2에 도시하는 바와 같이, 수신지, 유저 요구, 제품 사양 및 컨피규레이션 데이터의 순서로 계층 구조화함과 더불어, 수신지-유저 요구 관련 정보, 유저 요구-제품 사양 관련 정보 및 제품 사양-컨피규레이션 데이터 관련 정보에 의거하여 각 사양 및 컨피규레이션 데이터를 연관시키고 있다.

도 1로 돌아와 데이터 생성 시스템(1)의 구성 설명을 계속한다. 제어 유닛(110)은, CPU 및 메모리 등을 가지는 컴퓨터를 주체로 하고, 미리 메모리에 기억되어 있는 프로그램에 따라, 표시 제어부(111), 사양 취득부(112), 데이터 생성부(113) 및 선택 데이터 취득부(114)로서 기능한다. 제어 유닛(110)에서는, WWW(World Wide Web) 서버 프로그램이 작동하고 있어, 메모리에 기억되어 있는 표시 정보를 클라이언트 단말(200)의 WEB 브라우저로부터 열람 가능하게 되어 있다.

표시 제어부(111)는 상기 표시 정보를 제어하여 WEB 브라우저에 표시되는 표시 내용을 전환한다. 예를 들어 작업자가 클라이언트 단말(200)의 WEB 브라우저를 조작하여 지식 데이터베이스의 전체 표시를 요구하면, 표시 제어부(111)는 기억부(130)에 기억되어 있는 데이터층(131~134) 및 테이블(135~137)에 의거하여, 예를 들어 도 2에 도시하는 바와 같이 지식 데이터베이스를 계층적으로 도표화한 표시 정보를 작성한다. 이에 의해, WEB 브라우저에 의해 도 2에 도시하는 도표가 표시부(220)에 표시된다. 또한, 도 2는 지식 데이터베이스를 개념적으로 도시하는 도이며, 개념 이해의 용이화를 위해, 각 데이터층에 있어서의 데이터수 및 각 관련 정보의 수를 대폭으로 축소한 상태를 도시하고 있다. 또 필요에 따라, 사양 취득부(112)에서 취득한 사양에 관련되는 데이터나 정보만을 도표화한 표시(도 10), 혹은 선택 데이터 취득부(114)에서 취득한 컨피규레이션 데이터에 관련되는 데이터나 정보만을 도표화한 표시(도 12)로 전환하는 것이 가능하게 되어 있다. 이와 같이 지식 데이터베이스의 일부를 핀 포인트로 시각화하는, 이른바 데이터베이스의 가시화에 대해서는, 후에 상술한다.

사양 취득부(112)는, 작업자가 클라이언트 단말(200)로부터 입력한 사양에 관한 정보를 취득하여, 그 사양 정보를 데이터 생성부(113)에게 준다. 또, 선택 데이터 취득부(114)는, 작업자가 클라이언트 단말(200)로부터 선택한 컨피규레이션 데이터에 관한 정보를 취득하여, 그 선택 데이터 정보를 데이터 생성부(113)에게 준다.

데이터 생성부(113)는, 사양 취득부(112)로부터 수취한 사양에 대응하는 컨피규레이션 데이터를 지식 데이터베이스에 의거하여 생성한다. 또, 데이터 생성부(113)는, 데이터 생성 기능 외에, 지식 데이터베이스의 가시화 기능도 함께 가지고 있다. 이하, 도 1에 도시하는 데이터 생성 시스템(1)에 의한 컨피규레이션 데이터의 생성 방법에 대해 도 7 내지 도 9를 참조하면서 설명한 후에, 상기 가시화 기능에 대해 도 10 및 도 12를 참조하면서 설명한다.

도 7 및 도 8은 도 1에 도시하는 데이터 생성 시스템의 동작을 나타내는 플로차트이다. 어느 수신지에 설치하는 기판 처리 장치에 적합한 컨피규레이션 데이터를 생성하는 경우, 작업자는 데이터 생성 시스템(1)의 클라이언트 단말(200)을 개재하여 컨피규레이션 데이터의 생성을 지시한다. 그러자, 데이터 생성 시스템(1)에서는, 시스템 서버(100)가 통신 네트워크(300)를 개재하여 상기 클라이언트 단말(200)과 양방향 통신하면서 클라이언트 단말(200)과 협동하여 상기 기판 처리 장치에 적합한 컨피규레이션 데이터를 생성한다.

데이터 생성 작업이 개시되면, 수신지를 선택하는데 적합한 화면, 예를 들어 도 7의 우측 상부에 도시한 수신지의 선택용 화면(221)이 WEB 브라우저에 의해 표시부(220)에 표시되고, 작업자에 의한 수신지의 입력·편집을 허가한다(단계 S1). 선택용 화면(221)에서는, 수신지가 나라, 회사 및 공장의 순서로 단계적으로 표시되어 있고, 상기 표시에 따라 수신지를 국가 레벨부터 공장 레벨로 용이하게 축소 가능하게 되어 있다. 예를 들어 수신지로서 「Y2공장」을 WEB 브라우저에서 선택하면, 동 선택용 화면(221)에 나타내는 바와 같이, 선택된 「Y2공장」 및 이에 관련되는 「Y사」 및 「미국」이 밝게 표시된다(또한, 동 도의 선택용 화면(221)에서는 해칭 표시되어 있다).

여기서, 데이터 생성의 대상이 되어 있는 기판 처리 장치의 수신지가 이미 선택용 화면(221)에 표시되어 있을 때에는, 상기 예시와 같이 작업자는 조작부(230)의 마우스 등을 조작하여 수신지를 선택한다. 한편, 선택용 화면(221)에 데이터 생성의 대상이 되어 있는 기판 처리 장치의 수신지가 표시되어 있지 않을 때에는, 작업자는 WEB 브라우저에 의해 신규의 수신지를 추가하고, 또는 기존의 수신지를 변경한다.

이렇게 하여 기판 처리 장치의 수신지가 WEB 브라우저에서 선택 또는 입력되면, 시스템 서버(100)에 상기 수신지가 취득된다(단계 S2). 그리고, 상위 테이블(135)에 포함되는 수신지-유저 요구 관련 정보에 따라 각 요구의 유효·무효가 자동적으로 설정된다(단계 S3).

또, 예를 들어 도 7의 우측 중앙에 도시하는 유저 요구의 설정용 화면(222)이 WEB 브라우저에 표시되고, 작업자에 의한 유저 요구의 편집이 가능하게 되어 있다(단계 S4).

유저 요구의 설정용 화면(222)에는, 기억부(130)에 기억되어 지식화된 유저 요구(예를 들어 요구A, 자요구A－, 요구B, 자요구B－, B－)가 표시되고, 각 요구에 대해 유효·무효가 자동 설정되어 있다. 동 도의 설정용 화면(222)에서는, 유효화된 요구 또는 자요구가 해칭 표시되어 있다.

다음에, 기억부(130)에 기억되어 있지 않은 유저 요구가 존재하는, 즉 지식화되어 있지 않은 비지식의 유저 요구가 있는 경우(단계 S5에서 「YES」의 경우)에 대해 설명한다. 예를 들어, 「Y2공장」(수신지 데이터층(131))과 「유저 요구 A」(유저 요구 데이터층(132))이 연관되어 있지 않다고 한다. 이 경우, 단계 1에서 「Y2공장」이 선택되면, 수신지-유저 요구 관련 정보에 의거하여, 「유저 요구 A」는 자동적으로 무효가 되기 때문에, 유저 요구의 설정용 화면(222)에서 「유저 요구 A」는 밝게 표시되지 않는다. 그러나 특주 대응 등으로, 「Y2공장」 전용으로 「유저 요구 A」를 선택할 필요가 발생한 경우에는, 작업자는 단계 S5에서 「YES」를 선택한다. 그러면, 유저 요구의 설정용 화면(222)상에서 유저 요구의 추가나 변경 등의 편집을 받아들일 수 있게 된다(단계 S6). 작업자는 이 화면(222)상에서 마우스 조작 등의 편집 작업을 행함으로써, 현상 무효의 요구 A를 유효하게 할 수 있다. 단, 모체 요구 A가 무효인 상태에서 자요구 A－만을 유효하게 하는 편집은 할 수 없다. 이 편집에 의해, 단계 S2에서 취득된 요구 A와 상위 계층 데이터의 연관성(「Y2공장」→「요구 A」→「자요구 A－」)을 나타내는 관련성 정보가 생성된다. 상기 관련성 정보는 컨피규레이션 데이터 설정 완료까지 잠정적으로 유지되는 데이터이며, 수신지-유저 요구 관련 정보 테이블(135)에는 반영되지 않는 데이터이다. 또한, 이러한 비지식의 데이터에 대한 편집·잠정 유지 동작에 대해서는, 후에 설명하는 비지식의 제품 사용이나 컨피규레이션 데이터에 대해서도 마찬가지이다.

단계 S5에서 비지식의 유저 요구가 없다고 판단되거나, 또는 단계 S6에서의 편집이 완료하면, 중위 테이블(136)에 포함되는 유저 요구-제품 사양 관련 정보에 따라 각 제품 사양의 채용·불채용이 자동적으로 설정된다(단계 S7). 또, 예를 들어 도 8의 우측 상부에 도시하는 제품 사양의 설정용 화면(223)이 WEB 브라우저에 의해 표시부(220)에 표시되고, 작업자에 의한 제품 사양의 편집이 가능하게 되어 있다(단계 S8). 동 도의 설정용 화면(223)에서는, 채용된 제품 사양(제품, 유닛, 서브 유닛, 기능)이 해칭 표시되어 있다.

제품 사양의 설정용 화면(223)에는, 기억부(130)에 기억되어 지식화된 제품 사양이 표시되고, 각 제품 사양에 대해 채용·불채용이 자동 설정되어 있다. 여기서, 기억부(130)에 기억되어 있지 않은 제품 사양이 존재하는, 즉 지식화되어 있지 않은 비지식의 제품 사양이 있는(단계 S9에서 「YES」) 경우, 유저 요구의 경우와 마찬가지로, WEB 브라우저에 의한 제품 사양의 추가나 변경 등의 편집이 받아들여진다(단계 S10).

단계 S9에서 비지식의 제품 사양이 없다고 판단되거나, 또는 단계 S10에서의 편집이 완료하면, 하위 테이블(137)에 포함되는 제품 사양-컨피규레이션 데이터 관련 정보에 대응하는 컨피규레이션 데이터가 선택적으로 추출되어, WEB 브라우저에 의해 표시부(220)에 표시된다(단계 S11). 여기서, 기억부(130)에 기억되어 있지 않은 컨피규레이션 데이터가 존재하는, 즉 지식화되어 있지 않은 비지식의 컨피규레이션 데이터가 있는(단계 S12에서 「YES」) 경우, 유저 요구의 경우와 마찬가지로, WEB 브라우저에 의한 컨피규레이션 데이터의 추가나 변경 등의 편집이 받아들여진다(단계 S13).

단계 S12에서 비지식의 컨피규레이션 데이터가 없다고 판단되거나, 또는 단계 S13에서의 편집이 완료함으로써, 데이터 생성의 대상이 되어 있는 기판 처리 장치에 적합한, 예를 들어 도 9에 도시하는 바와 같이 XML(Extensible Markup Language) 형식의 컨피규레이션 데이터가 완성된다. 그리고 데이터 생성 시스템(1)은 상기 컨피규레이션 데이터를 출력한다(단계 S14). 또한, 본 실시 형태에서는, 컨피규레이션 데이터가 XML 형식으로 기술되기 때문에, XML 데이터베이스를 이용하고 있다.

이상과 같이, 본 실시 형태에서는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 기판 처리 장치의 사양으로서 수신지, 유저 요구 및 제품 사양이 설정됨과 더불어, 이들과 컨피규레이션 데이터가 연관되어 4계층으로 구조화되어 있다. 이와 같이 사양과 컨피규레이션 데이터가 작업자에게 알기 쉬운 형태로 지식 데이터베이스화되어 있다. 게다가, 상기 지식 데이터베이스에는, 수신지 데이터층, 유저 요구 데이터층, 제품 사양 데이터층 및 컨피규레이션 데이터의 계층간에서의 관련을 나타내는 3개의 관련 정보(지식)가 포함되어 있다. 그리고 이들 관련 정보에 따라 기판 처리 장치의 사양에 대응하는 컨피규레이션 데이터를 지식 데이터베이스로부터 선택한다. 따라서, 데이터 생성시에 있어서의 작업자의 공정수 및 기술 미스를 삭감할 수 있다. 또, 데이터의 정당성을 판단하는 것도 용이한 것이 된다. 그 결과, 고품질인 컨피규레이션 데이터를 적은 작업 공정수로 효율적으로 생성할 수 있다.

또, 데이터 생성 중에 비지식의 데이터가 존재할 때마다, WEB 브라우저에 의해 상기 데이터를 편집하고, 지식 데이터베이스에 추가하는 것이 가능하게 되어 있다. 또, 관련 정보에 대해서도 비지식 데이터와 마찬가지로, 적당히 편집되어 지식 데이터베이스에 추가된다. 이로 인해, 상기 편집 추가를 반복해감으로써 지식 데이터베이스가 성장하여 데이터 생성을 더욱 간이하고, 게다가, 더욱 고정밀도로 행하는 것이 가능하게 된다.

그런데 상기 실시 형태에서는, 4개의 데이터층 및 3개의 관련 정보에 의해 지식 데이터베이스를 구성하고 있기 때문에, 수주 설계 생산형의 업태에 있어서도 데이터 구조의 이해가 용이화되어 있다. 즉, 상위 데이터층에서의 데이터 선택이 그 아래의 데이터층 중의 데이터에 직접적 또는 파생적으로 주는 영향을 직관적으로 이해 가능하게 되어 있다. 그러나 상기한 바와 같이 개발이 진행됨에 따라 데이터나 관련 정보가 추가된다. 그로 인해, 지식 데이터베이스가 복잡화되는 것은 부정할 수 없으며, 편집이 어려워지는 경우도 있다.

또, 상위 데이터층에서의 데이터 선택은 하위 데이터층에 대해 연쇄적인 영향을 주고, 게다가 상기 영향이 바로 아래의 데이터층 뿐만 아니라, 더욱 하위에 위치하는 데이터층에도 미치는 경우가 있다. 또한, 하위 데이터층에서의 데이터 선택이 상위의 데이터층에 어떠한 영향을 주는가 하는 점을, 데이터 생성시에 고려하는 것이 바람직한 경우도 있다. 이와 같이, 어느 계층에 있어서의 데이터 선택이 어느 계층의 데이터에 영향을 주는지를 이해하는 것은 데이터 생성에 있어서 중요한데, 데이터수의 증대에 따라 상기 이해에는 스킬이 필요하게 된다.

그래서, 도 1의 데이터 생성 시스템(1)은 2종류의 가시화 기능, 즉 (1) 상위 데이터층에서의 데이터 선택이 하위 데이터층에 주는 순방향의 영향을 시각화하는 기능과, (2) 반대로, 하위 데이터층에서의 데이터 선택이 상위 데이터층에 주는 역방향의 영향을 시각화하는 기능을 구비하고 있다. 이에 의해, 스킬을 갖지 않은 작업자라도, 어느 계층에 있어서의 데이터 선택이 다른 계층의 데이터에 어떠한 영향을 주는지를 직관적으로 이해 가능하게 되어 있다.

도 10은 도 1의 데이터 생성 시스템에 있어서의 순방향의 가시화 기능을 개념적으로 도시하는 도이다. 이 데이터 생성 시스템(1)에서는, 작업자가 클라이언트 단말(200)의 조작부(230)를 조작하여 순방향의 가시화 기능을 실행하면, 시스템 서버(100)의 제어 유닛(110)은 미리 메모리에 기억되어 있는 순방향 가시화 프로그램에 따라 동작한다. 더욱 상세하게는, 작업자가 가시화를 희망하는 데이터(예를 들어 도 10에서는 수신지 데이터층 중의 수신지 E)가 WEB 브라우저에서 선택되면, 상기 선택 데이터 및 상기 선택 데이터에 의해 영향을 받는 하위 데이터층의 데이터만이 표시부(220)에 표시된다(도 10). 이에 의해 선택 데이터를 기점으로 순방향에 미치는 영향이 표시부(220)에 표시된 도표로부터 직관적으로, 또한 용이하게 이해할 수 있다. 또한, 도 10에 도시하는 일례에서는, 수신지를 선택하고 있는데, 유저 요구 데이터층이나 제품 사양 데이터층의 데이터를 선택하면, 이것을 기점으로 하여 순방향에 미치는 영향이 표시부(220)에 표시된다.

또, 본 화면에 있어서, 각종 사양 변경을 행할 수도 있다. 예를 들어, 작업자에 의해 수신지를 수신지 E로부터 수신지 B로 변경했다고 한다. 이 경우, 도 11에 도시하는 바와 같이, 수신지 데이터층(131)으로부터 하위의 데이터층이 차례로 고쳐써짐과 더불어, 가시화 프로그램에 의해 유저 요구 데이터층(132)에 있어서의 사양 변경의 연쇄적 영향이 작업자에게 직관적으로 나타난다. 또, 도 7의 단계 S6에서 설명한 유저 요구나 제품 사양의 설정 변경도 본 화면에 있어서 행할 수 있고, 그 경우에도 도 11과 같은 연쇄적 영향을 작업자에게 직관적으로 이해시킬 수 있다.

도 12는 도 1의 데이터 생성 시스템에 있어서의 역방향의 가시화 기능을 개념적으로 도시하는 도이다. 이 데이터 생성 시스템(1)에서는, 작업자가 클라이언트 단말(200)의 조작부(230)를 조작하여 역방향의 가시화 기능을 실행하면, 시스템 서버(100)의 제어 유닛(110)은 미리 메모리에 기억되어 있는 역방향 가시화 프로그램에 따라 동작한다. 더욱 상세하게는, 순방향과 정반대의 방향의 가시화가 실행된다. 즉, 작업자가 가시화를 희망하는 데이터(예를 들어 도 12에서는 컨피규레이션 데이터층 중의 컨피규레이션 데이터 B)가 WEB 브라우저에서 선택되면, 상기 선택 데이터 및 상기 선택 데이터에 의해 영향을 받는 상위 데이터층의 데이터만이 표시부(220)에 표시된다(도 12). 이에 의해 선택 데이터를 기점으로 역방향에 미치는 영향이 표시부(220)에 표시된 도표로부터 직관적으로, 또한 용이하게 이해할 수 있다. 또한, 도 12에 도시하는 일례에서는, 컨피규레이션 데이터를 선택하고 있는데, 유저 요구 데이터층이나 제품 사양 데이터층의 데이터를 선택하면, 이것을 기점으로 하여 역방향에 미치는 영향이 표시부(220)에 표시된다.

또한, 본 화면에 있어서도 각종 사양 변경, 유저 요구나 제품 사용의 설정을 변경하는 것이 가능하다. 예를 들어, 작업자가 마우스 등에 의해 컨피규레이션 데이터를 데이터 B로부터 데이터 E로 변경하면, 역방향 가시화 프로그램은 도 12의 화면을 도 13의 화면으로 변경한다.

컨피규레이션 데이터 E를 기점으로 역방향으로 더듬어 가면, 컨피규레이션 데이터 B일 때는 불필요했던, 제품 사양 E가 필요하게 되는 것을 알 수 있다. 또, 유저 요구 B에 대응하고 있지 않은 것도 안다. 컨피규레이션 데이터를 작성·편집하는 작업자는, 도 13의 화면을 참조함으로써, 컨피규레이션 데이터의 수정이 상류 측에 어떠한 변경을 미칠지를 직관적으로 이해할 수 있다.

이상과 같이, 가시화 기능을 설치함으로써, 스킬을 갖지 않은 작업자라도, 어느 계층의 선택 데이터가 다른 계층의 데이터에 어떤 영향을 주는지를 직관적으로 이해할 수 있다. 따라서, 작업자는 정확하게 항목 설정을 행할 수 있다. 또, 가시화 기능에 의해 관련 정보의 옳고 그름과 누락 등을 판단하기 쉬워져, 관련 정보의 갱신을 적절히 행하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 가시화 기능에 의해 표시부(220)에 표시되는 도표를, 지식 데이터베이스에 설정되어 있는 데이터를 미조정할 때의 참고로서 이용할 수 있다. 이에 의해 지식 데이터베이스의 브러시 업을 효율적으로 행할 수 있다.

또한, 본 발명은 상기한 실시 형태에 한정되는 것이 아니며, 그 취지를 일탈하지 않는 한에 있어서 상기 서술한 것 이외에 여러 가지 변경을 행하는 것이 가능하다. 예를 들어, 상기 실시 형태에서는, 컨피규레이션 데이터가 XML 형식으로 기술되어 있는데, 데이터 형식은 이에 한정되는 것이 아니며, CSV(Comma Separated Values) 형식이나 INI 형식 등의 다른 형식이어도 된다. 또, 컨피규레이션 데이터가 CSV 형식이나 INI 형식이면, 관계형 데이터베이스를 이용하는 것이 적절한데, 데이터베이스의 종류는 상기한 XML 데이터베이스나 관계형 데이터베이스에 한정되는 것이 아니며, 이것도 데이터 형식과 마찬가지로, 임의이다.

또, 상기 실시 형태에서는, 클라이언트 단말(200)을 설치하고, 상기 클라이언트 단말(200)에서 WEB 브라우저를 기동해 각종 데이터 선택이나 데이터 편집 등을 행하고 있는데, 클라이언트 단말(200)은 본 발명의 필수 구성은 아니다. 즉, 시스템 서버(100)에 표시부나 조작부를 장비시켜 시스템 서버(100)에서 전처리를 실행하도록 구성해도 된다.

또, 상기 실시 형태에서는, 기판 처리 장치의 사양으로서 수신지, 유저 요구 및 제품 사양을 설정하고, 이들 3종류의 사양을 계층 구조화하여 기억하고 있는데, 기판 처리 장치의 사양의 종류나 계층수에 대해서는 임의이다. 단, 기판 처리 장치의 사양을 2종류 혹은 4종류 이상으로 구성하는 경우에는, 상기 실시 형태와 마찬가지로, 계층간에서의 사양의 관련을 나타내는 관련 정보를 작성하여, 기억부(130)에 기억시켜 둘 필요가 있다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 단계 S6 등에서 생성된, 비지식화되어 있지 않은 관련성 정보를 잠정적으로 유지하는 것만으로 항구적인 정보로서 기억되는 경우는 없었다. 그러나 본 정보를, 수신지-유저 요구 관련 정보 테이블(135) 등의 테이블에 항구적인 정보로서 반영시키도록 해도 된다.

[산업상의 이용 가능성]

이 발명은, 기판 처리 장치의 사양에 대응하여 기판 처리 장치를 동작시키기 위한 컨피규레이션 데이터를 생성하는 데이터 생성 기술 전반에 적용할 수 있다.

1: 데이터 생성 시스템 100: 시스템 서버
110: 제어 유닛 111: 표시 제어부
112: 사양 취득부 113: 데이터 생성부
114: 선택 데이터 취득부 130: 기억부
131: 수신지 데이터층 132: 유저 요구 데이터층
133: 제품 사양 데이터층 134: 컨피규레이션 데이터층
135: 수신지-유저 요구 관련 정보 테이블
136: 유저 요구-제품 사양 관련 정보 테이블
137: 제품 사양-컨피규레이션 데이터 관련 정보 테이블
220: 표시부

Claims

기판 처리 장치의 사양에 대응하여 상기 기판 처리 장치를 동작시키기 위한 컨피규레이션 데이터를 생성하는 데이터 생성 시스템으로서,
서로 상이한 복수의 사양 및 서로 상이한 복수의 컨피규레이션 데이터를 계층 구조화하여 기억함과 더불어, 사양과 컨피규레이션 데이터의 계층간에서의 관련을 나타내는 관련 정보를 기억하는 기억부와,
상기 기판 처리 장치의 사양을 취득하는 사양 취득부와,
상기 사양 취득부가 취득한 사양에 대응하는 컨피규레이션 데이터를 상기 관련 정보에 의거하여 상기 복수의 컨피규레이션 데이터로부터 선택하고, 상기 사양 취득부에서 취득한 사양을 가지는 기판 처리 장치를 동작시키기 위한 컨피규레이션 데이터를 생성하는 데이터 생성부를 구비하는, 데이터 생성 시스템.
청구항 1에 있어서,
상기 기억부는, 상기 복수의 사양을 더욱 계층 구조화하여 기억함과 더불어, 계층 사이에서의 사양의 관련을 나타내는 관련 정보를 기억하는, 데이터 생성 시스템.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 복수의 사양과 상기 복수의 컨피규레이션 데이터의 계층 구조를 표시하는 표시부를 더 구비하는, 데이터 생성 시스템.
청구항 3에 있어서,
상기 표시부는, 상기 사양 취득부가 사양을 취득하면, 상기 사양 취득부에 취득된 상기 사양과 상기 사양에 관련되는 컨피규레이션 데이터의 계층 구조만을 선택적으로 표시하는, 데이터 생성 시스템.
청구항 3에 있어서,
상기 복수의 컨피규레이션 데이터로부터 하나의 선택을 수취하는 데이터 선택부를 더 구비하고,
상기 표시부는, 상기 데이터 선택부가 컨피규레이션 데이터의 선택을 수취하면, 상기 데이터 선택부에 수취된 컨피규레이션 데이터와 상기 컨피규레이션 데이터에 관련되는 사양의 계층 구조만을 선택적으로 표시하는, 데이터 생성 시스템.
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
상기 데이터 생성부는, 상기 사양 취득부가 취득한 사양에 대응하는 컨피규레이션 데이터가 상기 기억부에 포함되지 않을 때, 상기 사양에 대응하는 컨피규레이션 데이터의 편집을 허용하는, 데이터 생성 시스템.
청구항 6에 있어서,
상기 데이터 생성부는, 편집된 상기 컨피규레이션 데이터와, 상기 컨피규레이션 데이터 및 상기 사양 취득부가 취득한 사양의 관련 정보를 상기 기억부에 기록하는, 데이터 생성 시스템.
기판 처리 장치의 사양에 대응하여 상기 기판 처리 장치를 동작시키기 위한 컨피규레이션 데이터를 생성하는 데이터 생성 방법으로서,
미리 서로 상이한 복수의 사양 및 서로 상이한 복수의 컨피규레이션 데이터를 계층 구조화한 계층화 정보와, 사양과 컨피규레이션 데이터의 계층간에서의 관련을 나타내는 관련 정보를 포함하는 지식 데이터베이스를 생성하는 공정과,
상기 기판 처리 장치의 사양에 대응하는 컨피규레이션 데이터를 상기 관련 정보에 의거하여 상기 지식 데이터베이스로부터 선택하는 공정과,
선택된 컨피규레이션 데이터를, 상기 기판 처리 장치를 동작시키기 위한 컨피규레이션 데이터로 하는 공정을 구비하는, 데이터 생성 방법.