JP5469683B2 - 基板処理システム、群管理装置、基板処理システムのデータ処理方法、及びアーカイブプログラム - Google Patents

Description

本発明は、基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置に接続される群管理装置と、を備える基板処理システム及び群管理装置に関する。

レシピに基づく基板処理プロセス（バッチ処理）を繰り返し実行する基板処理装置内には、基板処理プロセスの進行状況や基板処理装置の状態を示すモニタデータ（例えば温度、ガス流量、圧力等の時系列データ）の発生箇所（例えば温度センサ、ガス流量計、圧力計など、以下これらをデータ発生箇所と呼ぶ）が多数存在する。基板処理装置が複数存在する場合、基板処理プロセスの進行状況や基板処理装置群の状態を統合的かつ効率的に管理するため、複数の基板処理装置に接続される群管理装置（上位管理装置）が用いられることがある。群管理装置は、基板処理プロセスの進行状況や基板処理装置の状態を示す上述のデータを各基板処理装置から受信し、受信したデータをデータベース（ＤＢ）に読み出し可能に格納するように構成されている。

基板処理装置や基板処理プロセスに異常が発生した場合、基板処理装置のユーザや保守員（以下、操作員とも呼ぶ）は、群管理装置を操作して、ＤＢに格納されたデータを読み出し、読み出したデータを所定の解析方法に基づいて解析して、異常現象の発生要因を解析（以下、異常解析と呼ぶ）していた。しかしながら、群管理装置に蓄えられるモニタデータの量は膨大であり、異常解析時に必要な情報を適切な形式で引き出すには経験と手間が必要であった。その為、異常解析を適切に行えなかったり、また、操作員の技量によって解析結果にバラつきが生じてしまったりする場合があった。

また、膨大なモニタデータを、磁気テープなどの外部記憶装置を用いてバックアップすると、過去のモニタデータを参照するためにはバックアップデータを群管理装置に復元するリストア作業が必要になってしまい、データ利用の利便性が低下してしまう。また、群管理装置に構築されるデータベースを分割してその一部を外部記憶装置等にバックアップした場合にも、同様に、過去のモニタデータを参照するためにリストア作業が必要になってしまい、データ利用の利便性が低下してしまう。

本発明は、モニタデータを参照する際の利便性を向上させることが可能な基板処理システム及び群管理装置を提供することを目的とする。

本発明の第１の態様によれば、基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置に接続される群管理装置と、を備える基板処理システムであって、前記群管理装置は、基板処理の進行状況又は前記基板処理装置の状態を示すモニタデータを前記基板処理装置から受信する通信手段と、前記通信手段が受信した前記モニタデータを生産情報データに関連づけて読み出し可能に格納するデータベース部と、前記データベース部から前記モニタデータ及び前記生産情報データを読み出し、前記モニタデータを基に代表値データを生成し、前記モニタデータ、前記生産情報データ、及び前記代表値データを含むファイルを作成して読み出し可能に格納するファイルアーカイブ部と、所定の検索条件の入力を受けつけて前記ファイルを検索し、前記検索条件に合致する前記ファイルに格納されているデータを表示手段に表示するデータ検索部と、を備える基板処理システムが提供される。

本発明の第２の態様によれば、基板処理の進行状況又は基板処理装置の状態を示すモニタデータを前記基板処理装置から受信する通信手段と、前記通信手段が受信した前記モニタデータを生産情報データに関連づけて読み出し可能に格納するデータベース部と、前記データベース部から前記モニタデータ及び前記生産情報データを読み出し、前記モニタデータを基に代表値データを生成し、前記モニタデータ、前記生産情報データ、及び前記代表値データを含むファイルを作成して読み出し可能に格納するファイルアーカイブ部と、所定の検索条件の入力を受けつけて前記ファイルを検索し、前記検索条件に合致する前記ファイルに格納されているデータを表示手段に表示するデータ検索部と、を備える群管理装置が提供される。

本発明の第３の態様によれば、基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置に接続される群管理装置と、を備える基板処理システムであって、前記群管理装置は、基板処理の進行状況又は前記基板処理装置の状態を示すモニタデータを前記基板処理装置から受信する通信手段と、前記通信手段が受信した前記モニタデータを生産情報データ及び定義情報データに関連づけて読み出し可能に格納するデータベース部と、前記データベース部から前記生産情報データ及び前記定義情報データに関連づけた前記モニタデータを読み出し、前記モニタデータを基に代表値データを生成し、前記モニタデータ、前記生産情報データ、前記定義情報データ、及び前記代表値データを含むファイルを作成して読み出し可能に格納するファイルアーカイブ部と、所定の検索条件の入力を受けつけて前記ファイルを検索し、前記検索条件に合致する前記ファイルに格納されているデータを表示手段に表示するデータ検索部と、を備える基板処理システムが提供される。

本発明の第４の態様によれば、基板処理の進行状況又は基板処理装置の状態を示すモニタデータを前記基板処理装置から受信する通信手段と、前記通信手段が受信した前記モニタデータを生産情報データ及び定義情報データに関連づけて読み出し可能に格納するデータベース部と、前記データベース部から前記生産情報データ及び前記定義情報データに関連づけた前記モニタデータを読み出し、前記モニタデータを基に代表値データを生成し、前記モニタデータ、前記生産情報データ、前記定義情報データ、及び前記代表値データを含むファイルを作成して読み出し可能に格納するファイルアーカイブ部と、所定の検索条件の入力を受けつけて前記ファイルを検索し、前記検索条件に合致する前記ファイルに格納されているデータを表示手段に表示するデータ検索部と、を備える群管理装置が提供される。

本発明に係る基板処理システム及び群管理装置によれば、モニタデータを参照する際の利便性を向上させることが可能となる。

本発明の一実施形態に係る基板処理システムの概要構成図である。 本発明の一実施形態に係る基板処理装置及び群管理装置のブロック構成図である。 本発明の一実施形態に係る群管理装置の内部動作を例示する模式図である。 本発明の一実施形態に係るファイルの構造を例示する模式図である。 本発明の一実施形態に係る代表値データ部の構造を例示する模式図である。 本発明の一実施形態に係るファイルアーカイブ部によるファイル操作の様子を例示する概略図である。 本発明の一実施形態に係るデータ検索部によるファイル検索の様子を例示する概略図である。 本発明の一実施形態に係る基板処理装置の斜透視図である。 本発明の一実施形態に係る基板処理装置の側面透視図である。 本発明の一実施形態に係る基板処理装置の処理炉の縦断面図である。 本発明の他の実施形態に係る基板処理システムにて管理される定義情報データの構造を例示する模式図である。 本発明の他の実施形態に係る群管理装置にて定義情報データが管理される様子を示すフロー図である。 本発明の他の実施形態に係る群管理装置にて定義情報データがファイルアーカイブ内に格納される様子を例示する模式図である。

＜本発明の一実施形態＞
以下に、本発明の一実施形態について説明する。

（１）基板処理システムの構成
まず、図１を用いて、本発明の一実施形態に係る基板処理システムの構成について説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る基板処理システムの概要構成図である。

図１に示すとおり、本実施形態に係る基板処理システムは、処理手順及び処理条件が定義されたレシピに基づく基板処理プロセスを実行する少なくとも一台の基板処理装置１００と、基板処理装置１００とデータ交換可能なように接続される群管理装置５００と、を備えている。基板処理装置１００と群管理装置５００との間は、例えば構内回線（ＬＡＮ）や広域回線（ＷＡＮ）等のネットワーク４００により接続されている。

（２）基板処理装置の構成
続いて、本実施形態に係る基板処理装置１００の構成について、図８、図９を参照しながら説明する。図８は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置の斜透視図である。図９は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置１００の側面透視図である。なお、本実施形態に係る基板処理装置１００は、例えばウエハ等の基板に酸化、拡散処理、ＣＶＤ処理などを行なう縦型の装置として構成されている。

図８、図９に示すように、本実施形態に係る基板処理装置１００は、耐圧容器として構成された筐体１１１を備えている。筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部には、メンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が開設されている。正面メンテナンス口１０３には、正面メンテナンス口１０３を開閉する一対の正面メンテナンス扉１０４が設けられている。シリコン等のウエハ（基板）２００を収納したポッド（基板収容器）１１０が、筐体１１１内外へウエハ２００を搬送するキャリアとして使用される。

筐体１１１の正面壁１１１ａには、ポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が、筐体１１１内外を連通するように開設されている。ポッド搬入搬出口１１２は、フロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるようになっている。ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側には、ロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置されている。ロードポート１１４上には、ポッド１１０を載置されると共に位置合わせされるように構成されている。ポッド１１０は、工程内搬送装置（図示せず）によってロードポート１１４上に搬送されるように構成されている。

筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置されている。回転式ポッド棚１０５上には複数個のポッド１１０が保管されるように構成されている。回転式ポッド棚１０５は、垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７と、を備えている。複数枚の棚板１１７は、ポッド１１０を複数個それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。

筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置されている。ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと、搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成されている。ポッド搬送装置１１８は、ポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を相互に搬送するように構成されている。

筐体１１１内の下部には、サブ筐体１１９が、筐体１１１内の前後方向の略中央部から後端にわたって設けられている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａには、ウエハ２００をサブ筐体１１９内外に搬送する一対のウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が、垂直方向に上下二段に並べられて設けられている。上下段のウエハ搬入搬出口１２０には、ポッドオープナ１２１がそれぞれ設置されている。

各ポッドオープナ１２１は、ポッド１１０を載置する一対の載置台１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は、載置台１２２上に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。

サブ筐体１１９内には、ポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５等が設置された空間から流体的に隔絶された移載室１２４が構成されている。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されている。ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａと、ウエハ移載装置１２５ａを昇降させるウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成されている。図１０に示すように、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂは、サブ筐体１１９の移載室１２４前方領域右端部と筐体１１１右側端部との間に設置されている。ウエハ移載装置１２５ａは、ウエハ２００の載置部としてのツイーザ（基板保持体）１２５ｃを備えている。これらウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ及びウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ２００をボート（基板保持具）２１７に対して装填（チャージング）及び脱装（ディスチャージング）することが可能なように構成されている。

移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させる待機部１２６が構成されている。待機部１２６の上方には、基板処理系としての処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部は、炉口シャッタ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。

図１０に示すように、サブ筐体１１９の待機部１２６右端部と筐体１１１右側端部との間には、ボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５の昇降台には、連結具としてのアーム１２８が連結されている。アーム１２８には、蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられている。シールキャップ２１９は、ボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。

ボート２１７は複数本の保持部材を備えている。ボート２１７は、複数枚（例えば、５０枚〜１２５枚程度）のウエハ２００を、その中心を揃えて垂直方向に整列させた状態でそれぞれ水平に保持するように構成されている。

図１０に示すように、移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側及びボートエレベータ１１５側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう供給フアン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されている。ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、図示はしないが、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置が設置されている。

クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、図示しないノッチ合わせ装置、ウエハ移載装置１２５ａ、待機部１２６にあるボート２１７の周囲を流通した後、図示しないダクトにより吸い込まれて筐体１１１の外部に排気されるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環されてクリーンユニット１３４によって移載室１２４内に再び吹き出されるように構成されている。

（３）基板処理装置の動作
次に、本実施形態に係る基板処理装置１００の動作について、図８、図９を参照しながら説明する。

図８、図９に示すように、ポッド１１０がロードポート１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放される。そして、ロードポート１１４の上のポッド１１０が、ポッド搬送装置１１８によってポッド搬入搬出口１１２から筐体１１１内部へと搬入される。

筐体１１１内部へと搬入されたポッド１１０は、ポッド搬送装置１１８によって回転式ポッド棚１０５の棚板１１７上へ自動的に搬送されて一時的に保管された後、棚板１１７上から一方のポッドオープナ１２１の載置台１２２上に移載される。なお、筐体１１１内部へと搬入されたポッド１１０は、ポッド搬送装置１１８によって直接ポッドオープナ１２１の載置台１２２上に移載されてもよい。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４内にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４内にクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、移載室１２４内の酸素濃度が例えば２０ｐｐｍ以下となり、大気雰囲気である筐体１１１内の酸素濃度よりも遥かに低くなるように設定されている。

載置台１２２上に載置されたポッド１１０は、その開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口が開放される。その後、ウエハ２００は、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてポッド１１０内からピックアップされ、ノッチ合わせ装置にて方位が整合された後、移載室１２４の後方にある待機部１２６内へ搬入され、ボート２１７内に装填（チャージング）される。ボート２１７内にウエハ２００を装填したウエハ移載装置１２５ａは、ポッド１１０に戻り、次のウエハ２００をボート２１７内に装填する。

この一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載機構１２５によるウエハのボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１の載置台１２２上には、別のポッド１１０が回転式ポッド棚１０５上からポッド搬送装置１１８によって搬送されて移載され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。

予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７内に装填されると、炉口シャッタ１４７によって閉じられていた処理炉２０２の下端部が、炉口シャッタ１４７によって開放される。続いて、ウエハ２００群を保持したボート２１７は、シールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されることにより処理炉２０２内へ搬入（ローディング）されていく。

ローディング後は、処理炉２０２内にてウエハ２００に任意の処理が実施される。処理後は、ノッチ合わせ装置１３５でのウエハの整合工程を除き、上述の手順とほぼ逆の手順で、処理後のウエハ２００を格納したボート２１７が処理室２０１内より搬出され、処理後のウエハ２００を格納したポッド１１０が筐体１１１外へと搬出される。

（４）処理炉の構成
続いて、本実施形態に係る処理炉２０２の構成について、図１０を用いて説明する。図１０は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置１００の処理炉２０２の縦断面図である。

図１０に示すように、処理炉２０２は、反応管としてのプロセスチューブ２０３を備えている。プロセスチューブ２０３は、内部反応管としてのインナーチューブ２０４と、その外側に設けられた外部反応管としてのアウターチューブ２０５と、を備えている。インナーチューブ２０４は、例えば石英（ＳｉＯ_２）または炭化シリコン（ＳｉＣ）等の耐熱性材料からなり、上端及び下端が開口した円筒形状に形成されている。インナーチューブ２０４内の筒中空部には、基板としてのウエハ２００を処理する処理室２０１が形成されている。処理室２０１内は、後述するボート２１７を収容可能なように構成されている。アウターチューブ２０５は、インナーチューブ２０４と同心円状に設けられている。アウターチューブ２０５は、内径がインナーチューブ２０４の外径よりも大きく、上端が閉塞し下端が開口した円筒形状に形成されている。アウターチューブ２０５は、例えば石英または炭化シリコン等の耐熱性材料からなる。

プロセスチューブ２０３の外側には、プロセスチューブ２０３の側壁面を囲うように、加熱機構としてのヒータ２０６が設けられている。ヒータ２０６は円筒形状であり、保持板としてのヒータベース２５１に支持されることにより垂直に据え付けられている。

アウターチューブ２０５の下方には、アウターチューブ２０５と同心円状になるように、マニホールド２０９が配設されている。マニホールド２０９は、例えばステンレス等からなり、上端及び下端が開口した円筒形状に形成されている。マニホールド２０９は、インナーチューブ２０４の下端部とアウターチューブ２０５の下端部とにそれぞれ係合しており、これらを支持するように設けられている。なお、マニホールド２０９とアウターチューブ２０５との間には、シール部材としてのＯリング２２０ａが設けられている。マニホールド２０９がヒータベース２５１に支持されることにより、プロセスチューブ２０３は垂直に据え付けられた状態となっている。プロセスチューブ２０３とマニホールド２０９により反応容器が形成される。

後述するシールキャップ２１９には、ガス導入部としてのノズル２３０が処理室２０１内に連通するように接続されている。ノズル２３０には、ガス供給管２３２が接続されている。ガス供給管２３２の上流側（ノズル２３０との接続側と反対側）には、ガス流量制御器としてのＭＦＣ（マスフローコントローラ）２４１を介して、図示しない処理ガス供給源や不活性ガス供給源等が接続されている。ＭＦＣ２４１には、ガス流量制御部２３５が電気的に接続されている。ガス流量制御部２３５は、処理室２０１内に供給するガスの流量が所望のタイミングにて所望の流量となるように、ＭＦＣ２４１を制御するように構成されている。

マニホールド２０９には、処理室２０１内の雰囲気を排気する排気管２３１が設けられている。排気管２３１は、インナーチューブ２０４とアウターチューブ２０５との隙間によって形成される筒状空間２５０の下端部に配置されており、筒状空間２５０に連通している。排気管２３１の下流側（マニホールド２０９との接続側と反対側）には、圧力検出器としての圧力センサ２４５、例えばＡＰＣ（Ａｕｔｏ Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｃｏｎｔｏｒｏｌｌｅｒ）として構成された圧力調整装置２４２、真空ポンプ等の真空排気装置２４６が上流側から順に接続されている。圧力調整装置２４２及び圧力センサ２４５には、圧力制御部２３６が電気的に接続されている。圧力制御部２３６は、圧力センサ２４５により検出された圧力値に基づいて、処理室２０１内の圧力が所望のタイミングにて所望の圧力となるように、圧力調整装置２４２を制御するように構成されている。

マニホールド２０９の下方には、マニホールド２０９の下端開口を気密に閉塞可能な炉口蓋体としてのシールキャップ２１９が設けられている。シールキャップ２１９は、マニホールド２０９の下端に垂直方向下側から当接されるようになっている。シールキャップ２１９は、例えばステンレス等の金属からなり、円盤状に形成されている。シールキャップ２１９の上面には、マニホールド２０９の下端と当接するシール部材としてのＯリング２２０ｂが設けられている。シールキャップ２１９の中心部付近であって処理室２０１と反対側には、ボートを回転させる回転機構２５４が設置されている。回転機構２５４の回転軸２５５は、シールキャップ２１９を貫通してボート２１７を下方から支持している。回転機構２５４は、ボート２１７を回転させることでウエハ２００を回転させることが可能なように構成されている。シールキャップ２１９は、プロセスチューブ２０３の外部に垂直に設備された昇降機構としてのボートエレベータ１１５によって、垂直方向に昇降されるように構成されている。シールキャップ２１９を昇降させることにより、ボート２１７を処理室２０１内外へ搬送することが可能なように構成されている。回転機構２５４及びボートエレベータ１１５には、搬送制御部２３８が電気的に接続されている。搬送制御部２３８は、回転機構２５４及びボートエレベータ１１５が所望のタイミングにて所望の動作をするように、これらを制御するように構成されている。

上述したように、基板保持具としてのボート２１７は、複数枚のウエハ２００を水平姿勢でかつ互いに中心を揃えた状態で整列させて多段に保持するように構成されている。ボート２１７は、例えば石英や炭化珪素等の耐熱性材料からなる。ボート２１７の下部には、例えば石英や炭化珪素等の耐熱性材料からなる円板形状をした断熱部材としての断熱板２１６が水平姿勢で多段に複数枚配置されており、ヒータ２０６からの熱がマニホールド２０９側に伝わりにくくなるように構成されている。

プロセスチューブ２０３内には、温度検出器としての温度センサ２６３が設置されている。ヒータ２０６と温度センサ２６３とには、電気的に温度制御部２３７が接続されている。温度制御部２３７は、温度センサ２６３により検出された温度情報に基づいて、処理室２０１内の温度が所望のタイミングにて所望の温度分布となるように、ヒータ２０６への通電具合を調整するように構成されている。

ガス流量制御部２３５、圧力制御部２３６、搬送制御部２３８、温度制御部２３７は、基板処理装置全体を制御する表示装置制御部２３９に電気的に接続されている（以下、ガス流量制御部２３５、圧力制御部２３６、搬送制御部２３８、温度制御部２３７をＩ／Ｏ制御部とも呼ぶ）。これら、ガス流量制御部２３５、圧力制御部２３６、搬送制御部２３８、温度制御部２３７、及び表示装置制御部２３９は、基板処理装置用コントローラ２４０として構成されている。基板処理装置用コントローラ２４０の構成や動作については、後述する。

（５）処理炉の動作
続いて、半導体デバイスの製造工程の一工程として、上記構成に係る処理炉２０２を用いてＣＶＤ法によりウエハ２００上に薄膜を形成する方法について、図１０を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、基板処理装置１００を構成する各部の動作は基板処理装置用コントローラ２４０により制御される。

複数枚のウエハ２００がボート２１７に装填（ウエハチャージ）されると、図１０に示すように、複数枚のウエハ２００を保持したボート２１７は、ボートエレベータ１１５によって持ち上げられて処理室２０１内に搬入（ボートローディング）される。この状態で、シールキャップ２１９はＯリング２２０ｂを介してマニホールド２０９の下端をシールした状態となる。

処理室２０１内が所望の圧力（真空度）となるように、真空排気装置２４６によって真空排気される。この際、圧力センサ２４５が測定した圧力値に基づき、圧力調整装置２４２（の弁の開度）がフィードバック制御される。また、処理室２０１内が所望の温度となるように、ヒータ２０６によって加熱される。この際、温度センサ２６３が検出した温度値に基づき、ヒータ２０６への通電量がフィードバック制御される。続いて、回転機構２５４により、ボート２１７及びウエハ２００が回転させられる。

次いで、処理ガス供給源から供給されてＭＦＣ２４１にて所望の流量となるように制御されたガスは、ガス供給管２３２内を流通してノズル２３０から処理室２０１内に導入される。導入されたガスは処理室２０１内を上昇し、インナーチューブ２０４の上端開口から筒状空間２５０内に流出して排気管２３１から排気される。ガスは、処理室２０１内を通過する際にウエハ２００の表面と接触し、この際に熱ＣＶＤ反応によってウエハ２００の表面上に薄膜が堆積（デポジション）される。

予め設定された処理時間が経過すると、不活性ガス供給源から不活性ガスが供給され、処理室２０１内が不活性ガスに置換されるとともに、処理室２０１内の圧力が常圧に復帰される。

その後、ボートエレベータ１１５によりシールキャップ２１９が下降されてマニホールド２０９の下端が開口されるとともに、処理済のウエハ２００を保持するボート２１７がマニホールド２０９の下端からプロセスチューブ２０３の外部へと搬出（ボートアンローディング）される。その後、処理済のウエハ２００はボート２１７より取り出され、ポッド１１０内へ格納される（ウエハディスチャージ）。

（６）基板処理装置用コントローラの構成
続いて、本実施形態にかかる基板処理装置用コントローラ２４０の構成について、図２を用いて説明する。図２は、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置１００及び群管理装置５００のブロック構成図である。

基板処理装置用コントローラ２４０は、処理炉２０２を制御する上述のＩ／Ｏ制御部（ガス流量制御部２３５、圧力制御部２３６、温度制御部２３７）と、上記Ｉ／Ｏ制御部とデータ交換可能なように接続された上述の処理制御部２３９ａと、を備えている。処理制御部２３９ａは、Ｉ／Ｏ制御部を介して処理炉２０２の動作を制御するとともに、処理炉２０２の状態（温度、ガス流量、圧力等）を示すモニタデータを収集する（読み出す）ように構成されている。

基板処理装置用コントローラ２４０は、処理制御部２３９ａにデータ交換可能なように接続された表示装置制御部（操作部）２３９を備えている。表示装置制御部２３９には、ディスプレイ等のデータ表示部２４０ａとキーボード等の入力手段２４０ｂとがそれぞれ接続されるように構成されている。表示装置制御部２３９は、操作員による入力手段２４０ｂからの入力（操作コマンドの入力等）を受け付けると共に、基板処理装置１００の状態表示画面や操作入力受付画面等をデータ表示部２４０ａに表示するように構成されている。

また、基板処理装置用コントローラ２４０は、表示装置制御部２３９にデータ交換可能なように接続された搬送制御部２３８と、搬送制御部２３８にデータ交換可能なように接続されたメカ機構Ｉ／Ｏ２３８ａと、を備えている。メカ機構Ｉ／Ｏ２３８ａには、基板処理装置１００を構成する各部（例えばポッドエレベータ１１８ａ、ポッド搬送機構１１８ｂ、ポッドオープナ１２１、ウエハ移載機構１２５、ボートエレベータ１１５等）が接続されている。搬送制御部２３８は、メカ機構Ｉ／Ｏ２３８ａを介して基板処理装置１００を構成する各部の動作を制御するとともに、基板処理装置１００を構成する各部の状態（例えば位置、開閉状態、動作中であるかウエイト状態であるか等）を示すモニタデータを収集する（読み出す）ように構成されている。

また、基板処理装置用コントローラ２４０は、表示装置制御部２３９に接続されたデータ保持部２３９ｅを備えている。データ保持部２３９ｅには、基板処理装置用コントローラ２４０に種々の機能を実現するプログラムや、処理炉２０２にて実施される基板処理工程の設定データ（レシピデータ）や、Ｉ／Ｏ制御部（ガス流量制御部２３５、圧力制御部２３６、温度制御部２３７）や搬送制御部２３８から読み出した各種データ等が保持（記憶）されるように構成されている。

また、基板処理装置用コントローラ２４０は、表示装置制御部２３９に接続された通信制御部２３９ｂを備えている。また、図示しないが、上述のＩ／Ｏ制御部（ガス流量制御部２３５、圧力制御部２３６、温度制御部２３７）や搬送制御部２３８は、処理制御部２３９ａや表示装置制御部２３９を介さずに通信制御部２３９ｂと直接データ交換可能なようにも接続されている。なお、通信制御部２３９ｂは、後述する基板処理装置１００とネットワーク４００を介してデータ交換可能なように接続されている。

通信制御部２３９ｂは、Ｉ／Ｏ制御部（ガス流量制御部２３５、圧力制御部２３６、温度制御部２３７）を介して読み出した処理炉２０２の状態（温度、ガス流量、圧力等）を示すモニタデータを、処理制御部２３９ａ及び表示装置制御部２３９を介して受信し、群管理装置５００へ送信することが可能なように構成されている。また、通信制御部２３９ｂは、メカ機構Ｉ／Ｏ２３８ａを介して読み出した基板処理装置１００を構成する各部の状態（位置、開閉状態、動作中であるかウエイト状態であるか等）を示すモニタデータを、搬送制御部２３８及び表示装置制御部２３９を介して受信し、群管理装置５００へ送信することが可能なように構成されている。

また、通信制御部２３９ｂは、Ｉ／Ｏ制御部を介して読み出した処理炉２０２の状態（温度、ガス流量、圧力等）を示すモニタデータを、処理制御部２３９ａ及び表示装置制御部２３９を介さずに直接受信して群管理装置５００へ送信することが可能なように構成されている。また、通信制御部２３９ｂは、メカ機構Ｉ／Ｏ２３８ａを介して読み出した基板処理装置１００を構成する各部の状態（位置、開閉状態、動作中であるかウエイト状態であるか等）を示すモニタデータを、表示装置制御部２３９を介さずに直接受信して群管理装置５００へ送信することが可能なように構成されている。

図示しないが、上述のＩ／Ｏ制御部（ガス流量制御部２３５、圧力制御部２３６、温度制御部２３７）や搬送制御部２３８は、処理制御部２３９ａ、表示装置制御部２３９、及び通信制御部２３９ｂを介さずに、群管理装置５００と直接データ交換可能なようにも構成されている。そして、Ｉ／Ｏ制御部は、読み出した処理炉２０２の状態（温度、ガス流量、圧力等）を示すモニタデータを、処理制御部２３９ａ、表示装置制御部２３９、通信制御部２３９ｂを介さずに直接に群管理装置５００へ送信することが可能なように構成されている。また、メカ機構Ｉ／Ｏ２３８ａは、読み出した基板処理装置１００を構成する各部の状態（位置、開閉状態、動作中であるかウエイト状態であるか等）を示すモニタデータを、表示装置制御部２３９や通信制御部２３９ｂを介さずに直接に群管理装置５００へ送信することが可能なように構成されている。

（７）群管理装置の構成
続いて、上述の基板処理装置１００とデータ交換可能なように構成された本実施形態に係る群管理装置５００の構成について、主に図２〜図７を参照しながら説明する。

図２は、本実施形態に係る基板処理装置１００及び群管理装置５００のブロック構成図である。図３は、本実施形態に係る群管理装置５００の内部動作を例示する模式図である。図４は、本実施形態に係るファイルの構造を例示する模式図である。図５は、本実施形態に係る代表値データ部の構造を例示する模式図である。図６は、本実施形態に係るファイルアーカイブ部５１１によるファイル操作の様子を例示する概略図である。図７は、本実施形態に係るデータ検索部５１２によるファイル検索の様子を例示する概略図である。

図２に示すように、群管理装置５００は、中央処理装置（ＣＰＵ）として構成された制御部５０１と、内部に共有メモリ５０２領域を有するメモリ（図示せず）と、ＨＤＤなどの記憶装置として構成された記憶部５０３と、表示手段としてのディスプレイ装置などのデータ表示部５０５と、キーボード等の入力手段５０６と、通信手段としての通信制御部５０４と、を有するコンピュータとして構成されている。上述のメモリ、記憶部５０３、データ表示部５０５、入力手段５０６、通信制御部５０４は、内部バス等を介して制御部５０１とデータ交換可能なように構成されている。また、制御部５０１は、図示しない時計機能を有している。

（通信制御部）
通信手段としての通信制御部５０４は、基板処理装置用コントローラ２４０の通信制御部２３９ｂに接続されていると共に、Ｉ／Ｏ制御部（ガス流量制御部２３５、圧力制御部２３６、温度制御部２３７）及びメカ制御部２４０ｃに接続されている。通信制御部５０４は、基板処理装置１００からモニタデータを受信し、共有メモリ５０２に渡すように構成されている。なお、共有メモリ５０２に渡されるモニタデータには、モニタデータを特定するデータＩＤと、モニタデータの発生時刻を示すデータ時刻情報と、生産情報データと、が付加されるように構成されている。なお生産情報データには、モニタデータの発生源である基板処理装置１００を特定する装置特定情報（装置名称、シリアル番号、アドレス情報など）、モニタデータ発生時に基板処理装置１００が実行していたレシピを特定するレシピ特定情報、モニタデータの発生時に基板処理装置が実行していた基板処理プロセスを特定するプロセス特定情報、膜厚値やウエハ２００の移載ポジションを特定する情報、生産情報データを特定するデータＩＤ（以下、表示データＩＤとも呼ぶ）、符号化（圧縮）する対象であるか否かを示す符号化情報等が含まれている。

（記憶部）
記憶部５０３には、データベースプログラム、ファイルアーカイブプログラム、データ検索プログラム（すべて図示しない）がそれぞれ格納されている。データベースプログラムは、記憶部５０３から上述のメモリ（図示せず）に読み出されて制御部５０１に実行されることにより、後述するデータベース部５０３ａを群管理装置５００に実現するように構成されている。また、ファイルアーカイブプログラムは、記憶部５０３から上述のメモリ（図示せず）に読み出されて制御部５０１に実行されることにより、後述するファイルアーカイブ部５１１を群管理装置５００に実現するように構成されている。また、データ検索プログラムは、記憶部５０３から上述のメモリ（図示せず）に読み出されて制御部５０１に実行されることにより、後述するデータ検索部５１２を群管理装置５００に実現するように構成されている。

（データベース部）
データベース部５０３ａは、通信制御部５０４が受信して共有メモリ５０２に格納したモニタデータを、上述のデータＩＤ、データ時刻情報、生産情報データのそれぞれと関連づけて、記憶部５０３に読み出し可能に格納するように構成されている。

（ファイルアーカイブ部）
ファイルアーカイブ部５１１は、データベース部５０３ａから複数のモニタデータ、該モニタデータに関連づけられた生産情報データ及びデータＩＤ等をそれぞれ読み出すように構成されている。そして、ファイルアーカイブ部５１１は、読み出したモニタデータを基に代表値データを生成するように構成されている。代表値データとは、読み出した複数のモニタデータのうち、例えば最小値、最大値、平均値等を示すデータである。なお、代表値データも、所定のデータＩＤにより特定される。代表値データを特定するデータＩＤを、以下、表示データＩＤとも呼ぶ。

そして、ファイルアーカイブ部５１１は、データＩＤに基づいてモニタデータ、生産情報データ、及び代表値データのうちいずれかを符号化（圧縮）することが出来るように構成されている。例えば、データＩＤ毎に、モニタデータが符号化（圧縮）されたり、されなかったりする。また、生産情報データ及び代表値データも同様に、データＩＤ毎（表示データＩＤ毎）に符号化されたり、されなかったりする。このように所定のデータを符号化することで、後述するファイル５０３ｂのサイズを削減することが可能となる。また、所定のデータについては符号化しないことで（圧縮を選択的に行うことで）、データ復号化の手間を省き、データアクセスを高速化させることが可能となる。

そして、ファイルアーカイブ部５１１は、符号化されたデータ（例えば符号化されたモニタデータ）及び符号化していないデータ（例えば生産情報データ及び代表値データ）を含むファイル５０３ｂを作成するように構成されている。そして、ファイルアーカイブ部５１１は、作成したファイル５０３ｂを、データＩＤ及びデータ時刻情報に関連づけて、記憶部５０３に読み出し可能に格納するように構成されている。

ファイルアーカイブ部５１１が作成したファイル５０３ｂの概略構造を図４の（ａ）に例示する。本実施形態に係るファイル５０３ｂは、ヘッダ部、モニタデータ（或いは符号化されたモニタデータ）を格納するモニタデータ部、生産情報データ（或いは符号化された生産情報データ）を格納する生産情報データ部、及び代表値データ（或いは符号化された代表値データ）を格納する代表値データ部を備えている。

ファイル５０３ｂのヘッダ部は、詳細構造を図４の（ｂ）に例示するように、ファイル５０３ｂのバージョン情報を格納する“ファイルバージョン”領域、ファイルアーカイブプログラムのバージョン情報を格納する“プログラムバージョン”領域、ファイル５０３ｂの先頭からのモニタデータ部の相対的な開始位置を示すポインタ情報を格納する“モニタデータ部開始ポインタ”領域、ファイル５０３ｂの先頭からの生産情報データ部の相対的な開始位置を示すポインタ情報を格納する“生産情報データ部開始ポインタ”領域、ファイル５０３ｂの先頭からの代表値データ部の相対的な開始位置を示すポインタ情報を格納する“代表値データ部開始ポインタ”領域、代表値データ部のデータ長の情報を格納する“代表値データ部データ長”領域、予備領域を備えている。

ファイル５０３ｂのモニタデータ部は、詳細構造を図４の（ｃ）に例示するように、モニタデータ固有の情報として、データ点数、フォーマットバージョン、データ粒度等を格納する“ヘッダ部”領域、ファイル５０３ｂの先頭からの各データのデータ格納部の相対的な開始位置（ポインタ）、各データのデータ長、モニタデータを特定するデータＩＤ、符号化（圧縮）方式の種類、符号化（圧縮）する対象であるか否かを示す符号化情報等を格納する“インデックス部”領域、データ時刻情報が付加されたモニタデータを格納する“データ部”領域を備えている。また、ファイル５０３ｂの生産情報データ部及び代表値データ部は、詳細構造を図４の（ｄ），（ｅ）に例示するように、リスト型のデータ格納領域として構成されている。

ファイル５０３ｂの生産情報データ部には、図示していないが、モニタデータの発生源である基板処理装置１００を特定する装置特定情報（装置名称、シリアル番号、アドレス情報など）、モニタデータ発生時に基板処理装置１００が実行していたレシピを特定するレシピ特定情報、モニタデータの発生時に基板処理装置が実行していた基板処理プロセスを特定するプロセス特定情報、膜厚値やウエハ２００の移載ポジションを特定する情報、生産情報データを特定するデータＩＤ（表示データＩＤ）、符号化（圧縮）する対象であるか否かを示す符号化情報等がそれぞれ格納される。

ファイル５０３ｂの代表値データ部には、詳細を図５に例示するように、代表値の名称を示す代表値名称情報、平均・最大・最小・標準偏差などの代表値の計算条件を示す代表値抽出条件情報、代表値の抽出を行う区間（例えばステップ１０番やステップＤＥＰＯ等）を示す代表値抽出区間情報、実際に代表値を抽出した開始日時と終了日時を示す代表値抽出時間情報、代表値そのものを示す代表値情報、代表値を生成した日時を示す代表値生成日時情報、代表値計算に要した時間を示す代表値計算時間情報、代表値計算時に使用したデータ点数を示すデータ点数情報、同一のファイル５０３ｂで複数の同じ代表値が存在する場合にこれらを一意に識別するための番号である代表値Ｎｏ情報、代表値データを特定するデータＩＤ（表示データＩＤ）、符号化（圧縮）する対象であるか否かを示す符号化情報等がそれぞれ格納される。

ファイルアーカイブ部５１１によるファイル５０３ｂの作成は、所定の周期で周期的に行われたり、また、基板処理装置１００からのアラーム発生や基板処理レシピの進行状況に応じて不定期に行われたりするように構成されている。そして、このようなファイル５０３ｂが記憶部５０３内に複数格納されることで、記憶部５０３内に基板処理装置１００から受信したモニタデータのファイルアーカイブ（ファイル５０３ｂの集合体）が構築される。

なお、ファイルアーカイブ部５１１は、各ファイル５０３ｂが備えるヘッダ部、モニタデータ部、生産情報データ部、及び代表値データ部をそれぞれ独立して削除可能に構成されている。係る様子を図６に例示する。図６では、ヘッダ部、モニタデータ部、生産情報データ部、及び代表値データ部を備えるファイル５０３ｂに対し、モニタデータ部、生産情報データ部を削除している。ファイルアーカイブ部５１１がこのようなファイル操作を行うことで、例えば開示が可能な情報のみを格納したファイルを第三者に出力することが可能となる。また、ファイルアーカイブのサイズを適宜削減することが可能となる。

（データ検索部）
ファイルアーカイブ（ファイル５０３ｂの集合体）からモニタデータを検索するには、少なくともデータＩＤ及びデータ時刻情報を含む所定の検索条件を入力手段５０６に入力する。また、ファイルアーカイブから生産情報データ又は代表値データを検索するには、少なくともデータＩＤ（表示データＩＤ）を含む所定の検索条件を入力手段５０６に入力する。データ検索部５１２は、上述の検索条件の入力を受けつけて、検索条件に合致するファイル５０３ｂをファイルアーカイブから検索し、検索条件に合致するファイル５０３ｂに格納されているデータ（モニタデータ、生産情報データ、代表値データの全てのデータ、或いはそのうちいずれかのデータ）を、表示手段としてのデータ表示部５０５に表示するように構成されている。

またデータ検索部５１２は、同一の代表値データを有する複数のファイル５０３ｂを検索し、これらのファイル５０３ｂから同一の代表値データを抽出して連結させたファイルを作成することが可能なように構成されている。係る様子を図７に示す。

なお、データ検索部５１２は、上述の検索条件の入力を受けつけたら、ファイル５０３ｂを検索するだけでなく、データベース部５０３ａを検索することが可能なように構成されている。すなわち、保守員は、検索しようとするモニタデータが、データベース部５０３ａ内或いはファイルアーカイブ内（ファイル５０３ｂ内）のいずれに格納されているかを意識することなく、データ検索部５１２を用いて過去のモニタデータに一元的にアクセスする（データベース部５０３ａとファイルアーカイブとをシームレスにアクセスする）ことが可能なように構成されている。

（８）群管理装置の動作
続いて、本実施形態に係る群管理装置５００の動作について説明する。係る動作は、半導体装置の製造工程の一工程として行われる。

（モニタデータ受信工程）
まず、群管理装置５００が備える通信制御部５０４が、レシピの進行状況又は基板処理装置１００の状態を示すモニタデータを、基板処理装置１００から受信し、共有メモリ５０２に渡す。共有メモリ５０２に渡されるモニタデータには、モニタデータを特定するデータＩＤと、モニタデータの発生時刻を示すデータ時刻情報と、生産情報データと、が付加されている。

（モニタデータ格納工程）
群管理装置５００のデータベース部５０３ａが、共有メモリ５０２に格納されたモニタデータと、上述のデータＩＤ、データ時刻情報、生産情報データのそれぞれと関連づけて、記憶部５０３に読み出し可能に格納する。

（ファイル作成工程）
群管理装置５００のファイルアーカイブ部５１１が、データベース部５０３ａから複数のモニタデータ、該モニタデータに関連づけられた生産情報データ及びデータＩＤをそれぞれ読み出す。そして、ファイルアーカイブ部５１１は、読み出したモニタデータを基に代表値データを生成する。なお、ファイルアーカイブ部５１１は、データＩＤに基づいてモニタデータ、生産情報データ、及び代表値データのうち少なくともいずれかを符号化（圧縮）することがある。そして、ファイルアーカイブ部５１１は、符号化されたデータ（上述の例では符号化されたモニタデータ）及び符号化していないデータ（上述の例では生産情報データ及び代表値データ）を含むファイル５０３ｂを作成する。そして、ファイルアーカイブ部５１１は、作成したファイル５０３ｂを、データＩＤ及びデータ時刻情報に関連づけて、記憶部５０３に読み出し可能に格納する。

なお、ファイルアーカイブ部５１１によるファイル５０３ｂの作成は、所定の周期で周期的に行われたり、また、基板処理装置１００からのアラーム発生や基板処理レシピの進行状況に応じて不定期に行われたりする。そして、このようなファイル５０３ｂが記憶部５０３内に複数格納されることで、記憶部５０３内に基板処理装置１００から受信したモニタデータのファイルアーカイブ（ファイル５０３ｂの集合体）が構築される。

（モニタデータ検索工程）
群管理装置５００のデータ検索部５１２が、データＩＤ及びデータ時刻情報を含む所定の検索条件や、少なくともデータＩＤ（表示データＩＤ）を含む所定の検索条件の入力を受けつけて、検索条件に合致するファイル５０３ｂをファイルアーカイブから検索し、検索条件に合致するファイル５０３ｂに格納されているデータ（モニタデータ、生産情報データ、代表値データの全てのデータ、或いはそのうちいずれかのデータ）を、表示手段としてのデータ表示部５０５に表示する。

（９）本発明の一実施形態による効果
本実施形態によれば、以下に示す１つ又は複数の効果を奏する。

（ａ）本実施形態に係る群管理装置５００は、通信制御部５０４が受信したモニタデータを生産情報データに関連づけて読み出し可能に格納するデータベース部５０３ａと、データベース部５０３ａからモニタデータ及び生産情報データを読み出し、モニタデータを基に代表値データを生成し、モニタデータ、生産情報データ、及び代表値データを含むファイル５０３ｂを作成して読み出し可能に格納するファイルアーカイブ部５１１と、所定の検索条件の入力を受けつけてファイル５０３ｂを検索し、検索条件に合致するファイル５０３ｂに格納されているデータをデータ表示部５０５に表示するデータ検索部５１２と、を備えている。

これにより、保守員は、多岐に渡るデータの解析及び表示方法を迅速かつ正確に選択することが可能となる。また、群管理装置５００に蓄えられた膨大なデータから適切なデータを迅速に読み出すことが可能となる。その結果、保守員の技量によらず異常解析を迅速かつ正確に行うことが可能となり、異常解析を行う操作員の負担を低減することが可能となる。また、操作員の技量による解析結果のバラつきを抑制することが可能となる。

また、ファイルアーカイブを利用することで、膨大なモニタデータを磁気テープなどの外部記憶装置を用いてバックアップする必要性がなくなる。これにより、過去のモニタデータを参照するためにバックアップデータを群管理装置に復元するリストア作業が不要となり、データ利用の利便性が向上する。また、群管理装置５００に構築されるデータベース部５０３ａを分割してその一部を外部記憶装置等にバックアップする必要もなくなる。これにより、同様に、過去のモニタデータを参照するためにリストア作業が不要になり、データ利用の利便性が向上する。

また、ファイルアーカイブを利用することで、データの可搬性を高めることが可能となる。そして、ファイル５０３ｂの保管については外部憶装置や他のコンピュータを活用することにより、群管理装置５００が備える記憶部５０３の記憶容量を有効利用することができる。また、ファイル５０３ｂの解析はオフラインであっても（群管理装置５００に格納されていなくても）行えるため、遠隔地などで容易に行えるようになる。

なお、本実施形態のようにファイルアーカイブを構築しない従来の群管理装置においては、（１）収集したモニタデータをデータベースやファイルなどの不揮発性媒体に記録するため、例えば大容量のハードディスク等を搭載しても物理的な上限があったり、（２）基板処理装置１００の構成や仕様によってモニタデータの収集周期（データの粒度）や収集点数が異なり、不揮発性媒体における使用要領も異なるため、データ保存期間が保障できなかったり、（３）データベース自体のデータ圧縮効率が高いとは言えず収集したモニタデータの長期保存が困難な場合があったり、（４）テーブルを分割したりデータパーティション機能を使用したりしてデータベース上のデータをファイルとして分割することも可能であるが、係る場合においても上位システムのデータベースエンジンがないとデータを閲覧することが出来なかったり、（５）データベース上に蓄積したモニタデータを定期的に磁気テープなどにバックアップする場合には、モニタデータを活用するために磁気テープからのリストア作業が必要になったり、（６）データベース領域が不揮発性媒体の全体容量に逼迫しているような場合にはリストア作業を行うことが出来ないし、また、データベース上には最新のモニタデータが格納されているため古いモニタデータをリストアすることが困難だったりする場合があった。

（ｂ）本実施形態に係るファイルアーカイブ部５１１は、データＩＤに基づいてモニタデータ、生産情報データ、及び代表値データのうちいずれかを符号化（圧縮）することが出来るように構成されている。例えば、データＩＤが所定の値であればモニタデータを符号化（圧縮）し、表示データＩＤが所定の値であれば生産情報データ及び代表値データを符号化しないように構成されている。このように所定のデータを符号化することで、後述するファイル５０３ｂのサイズを削減することが可能となる。また、所定のデータについては符号化しないことで（圧縮を選択的に行うことで）、データ復号化の手間を省き、データアクセスを高速化させることが可能となる。

（ｃ）本実施形態に係るファイルアーカイブ部５１１は、各ファイル５０３ｂが備えるヘッダ部、モニタデータ部、生産情報データ部、及び代表値データ部をそれぞれ独立して削除可能に構成されている。ファイルアーカイブ部５１１がこのようなファイル操作を行うことで、例えば開示が可能な情報のみを格納したファイルを第三者に出力することが可能となる。また、ファイルアーカイブのサイズを適宜削減することが可能となる。

（ｄ）本実施形態に係るデータ検索部５１２は、同一の代表値データを有する複数のファイル５０３ｂを検索し、これらのファイル５０３ｂから同一の代表値データを抽出して連結させたファイルを作成することが可能なように構成されている。これにより、保守員によるモニタデータ解析の利便性を向上させることが出来る。

（ｅ）本実施形態に係るデータ検索部５１２は、所定の検索条件の入力を受けつけたら、ファイル５０３ｂを検索するだけでなく、データベース部５０３ａを検索することが可能なように構成されている。すなわち、保守員は、検索しようとするモニタデータが、データベース部５０３ａ内或いはファイルアーカイブ内（ファイル５０３ｂ内）のいずれに格納されているかを意識することなく、データ検索部５１２を用いて過去のモニタデータへ一元的にアクセスする（データベース部５０３ａとファイルアーカイブとをシームレスにアクセスする）ことが可能となり、異常解析時の利便性が向上する。

＜本発明の他の実施形態＞
本実施形態に係る基板処理システムは、基板処理装置１００におけるモニタデータの発生箇所（例えば温度センサ、ガス流量計、圧力計など。以下、単にセンサとも呼ぶ）の状態を表す情報として「定義情報データ」を更に管理する点が、上述の実施形態と異なる。また、本実施形態に係る基板処理システムは、モニタデータを特定するデータＩＤとして、モニタデータの発生箇所（センサ）を特定する識別情報（以下、「センサＩＤ」と呼ぶ）を用いる点が、上述の実施形態と異なる。なお、センサＩＤとは、後述するように定義情報データに含まれるデータ項目の１つである。

（１）群管理装置の構成
本実施形態に係る群管理装置５００のデータベース部５０３ａは、通信手段５０４が受信したモニタデータを、生産情報データ及び定義情報データに関連づけて読み出し可能に記憶部５０３に格納するように構成されている。また、本実施形態に係る群管理装置５００のファイルアーカイブ部５１１は、データベース部５０３ａから生産情報データ及び定義情報データに関連づけたモニタデータを読み出し、モニタデータを基に代表値データを生成し、モニタデータ、生産情報データ、定義情報データ、及び代表値データを含むファイル５０３ｂを作成して記憶部５０３に読み出し可能に格納するように構成されている。他の構成は、上述の実施形態と同様である。

定義情報データの具体的構成を図１１に例示する。なお、定義情報データのデータ構造は、例えばＳＥＭＩスタンダードに準拠したデータ構造とすることができる。

データ定義情報は、センサを特定する情報（センサＩＤ）、センサの位置を特定する情報（Ｌｏｃａｔｏｒ）、センサの型を特定する情報（ｅｌｅｍｅｎｔＴｙｐｅ）、センサの属性を特定する情報（Ａｔｔｒｉｂｕｔｅ）、現在そのセンサが有効であるか否か示すフラグ情報（Ｅｎｅｂｌｅ）、そのセンサから得たデータをモニタデータとして用いるか否か示すフラグ情報（Ｕｓｅ）、そのセンサに関するデータ定義情報の記録が始めて生成された日時を示す情報（ＣｒｅａｔｅＤａｔｅ）、そのセンサが削除等された日時を示す情報（ＯｂｓｏｌｅｔｅＤａｔｅ）を有する。

上述したように、センサＩＤは、モニタデータの発生箇所（センサ）を特定する情報であり、モニタデータを特定するデータＩＤとして利用される。センサＩＤは、後述するように、Ｌｏｃａｔｏｒ，ｅｌｅｍｅｎｔＴｙｐｅ，Ａｔｔｒｉｂｕｔｅに対して所定の演算することで得られる値であり、少なくとも基板処理装置１００内で一意（ユニーク）であり、また、基板処理装置１００に構成変更（センサの追加や削除）が生じても不変という特性を有する。Ｌｏｃａｔｏｒ，ｅｌｅｍｅｎｔＴｙｐｅ，Ａｔｔｒｉｂｕｔｅは、センサを識別するために基板処理装置１００の基板処理装置用コントローラ２４０等が保持している情報である。これらの情報は階層化されており、組み合わせることによりセンサの具体的構成を識別することが可能である。群管理装置５００においても、上述したセンサＩＤの算出等の目的でこれらの情報を管理する。Ｅｎｅｂｌｅフラグの値は、センサの死活を探知した群管理装置によって適宜操作される。また、Ｕｓｅフラグの値は、モニタデータの取得方針に応じて入力手段５０６等から適宜操作される。なお、ＣｒｅａｔｅＤａｔｅやＯｂｓｏｌｅｔｅＤａｔｅは、定義情報データの新規作成時や更新時に値が設定され、モニタデータの検索範囲を絞る際の検索条件などに利用することができる。

なお、上述のデータ定義情報は、基板処理装置１００が有するセンサ毎に管理される。

（２）群管理装置の動作
次に、群管理装置５００による定義情報データの管理（更新、復元、新規生成）動作を図１２に例示する。以下の動作は、群管理装置５００の起動時、及び基板処理装置１００の構成変更（センサの追加や削除）時等に随時行われる。

（定義情報データの更新動作）
まず、群管理装置５００が備える通信手段５０４が、基板処理装置１００からセンサ構成情報を受信する。具体的には、通信手段５０４が、基板処理装置１００から、センサの位置を特定するＬｏｃａｔｏｒ、センサの型を特定するｅｌｅｍｅｎｔＴｙｐｅ、センサの属性を特定するＡｔｔｒｉｂｕｔｅを含む情報を受信して、共有メモリ５０２に渡す。Ｌｏｃａｔｏｒ，ｅｌｅｍｅｎｔＴｙｐｅ，Ａｔｔｒｉｂｕｔｅの組は、基板処理装置１００のセンサ毎にそれぞれ受信される（Ｓ１１）。

そして、群管理装置５００のデータベース部５０３ａが、共有メモリ５０２からＬｏｃａｔｏｒ，ｅｌｅｍｅｎｔＴｙｐｅ，Ａｔｔｒｉｂｕｔｅの組を読み出し、これらに対して例えばハッシュ関数等を用いた演算を施し、センサＩＤ（ハッシュ値）を算出する。センサＩＤは、基板処理装置１００が有するセンサ毎、具体的には、センサ構成情報を受信することで検出されたセンサ毎に生成される。なお、Ｌｏｃａｔｏｒ，ｅｌｅｍｅｎｔＴｙｐｅ，Ａｔｔｒｉｂｕｔｅの組は、センサ固有（少なくとも基板処理装置１００内で一意）であり、且つ他のセンサの追加や削除が生じても変化しない情報である。そのため、上述の方法により得られるセンサＩＤも、少なくとも基板処理装置１００内で一意であり、また、基板処理装置１００に構成変更（センサの追加や削除）が生じても不変となる。センサＩＤの算出には、例えばＭＤ−５やＳＨＡ−１などのアルゴリズムを利用することが出来る。

そして、データベース部５０３ａは、記憶部５０３に既に定義情報データが格納されているか否かを確認するため、その読み出しを試みる（Ｓ１２）。

読み出しが成功した場合（Ｓ１３で「Ｙｅｓ」の場合であり、データベース部５０３ａに既存の定義情報データが存在し、破損していなかった場合）、データベース部５０３ａは、受信したセンサ構成情報に基づいて、記憶部５０３に格納されている定義情報データを更新する。例えば、新たなセンサＩＤが追加されていた場合（センサ構成情報から得られたセンサＩＤが、読み出した既存の定義情報データの中に存在しなかった場合。すなわちセンサが追加された場合）には、差分の定義情報データを新たに生成して、記憶部５０３に追加する。この際、追加されたセンサに関する定義情報データのＥｎａｂｌｅフラグを有効に設定すると共に、定義情報データが始めて生成された日時をＣｒｅａｔｅＤａｔｅに入力する。また、既存のセンサＩＤが消滅していた場合（既存の定義情報データに存在していたセンサＩＤが、センサ構成情報から得られたセンサＩＤに存在しなかった場合。すなわちセンサが削除等された場合）には、削除等されたセンサに関する定義情報データを記憶部５０３から削除することなく、Ｅｎａｂｌｅフラグを無効に変更すると共に、そのセンサが削除等された日時をＯｂｓｏｌｅｔｅＤａｔｅに入力する（Ｓ１４）。

Ｓ１４にて、データベース部５０３ａが管理していた既存の定義情報データに変更が生じた場合（Ｓ１５で「Ｙｅｓ」の場合であり、センサの追加や削除などがあった場合）、ファイルアーカイブ部５１２は、ファイルアーカイブを構成するファイル５０３ｂに対して同様の更新を行う。本実施形態に係るファイル５０３ｂは、モニタデータ、生産情報データ、定義情報データ、及び代表値データを含んでいる。ファイルアーカイブ部５１２は、ファイル５０３ｂ内の定義情報データに対して、データベース部５０３が行った更新と同様の更新を行う（Ｓ１６）。更新されたファイル５０３ｂ内の定義情報データの内容は、Ｓ１４で更新されたデータベース部５０３の定義情報データの内容と同一となる。その後、群管理装置５００は定義情報データの更新動作を終了する。

なお、仮に、ファイル５０３ｂ内の定義情報データが破損していた場合には、Ｓ１６を実施することで、定義情報データが自動的に復元される。復元される定義情報データの内容は、Ｓ１４で更新された定義情報データの内容と同一となる。

Ｓ１４にて、データベース部５０３ａが管理していた既存の定義情報データの内容に変更がなかった場合（Ｓ１５で「Ｎｏ」の場合であり、センサの構成に変更がなかった場合）には、ファイルアーカイブ部５１２は、ファイル５０３ｂの更新を行わない。その後、群管理装置５００は、定義情報データの更新動作を終了する。

（定義情報データの復元）
Ｓ１２にて、データベース部５０３ａが記憶部５０３からの既存の定義情報データの読み出しを試みた結果、読み出しが失敗した場合（Ｓ１３で「Ｎｏ」の場合であり、既存の定義情報データが存在しないか、破損している場合）、データベース部５０３ａは、ファイルアーカイブ（ファイル５０３ｂの集合体）に既に定義情報データが格納されているか否かを確認するため、その読み出しを試みる（Ｓ２１）。

読み出しが成功した場合（Ｓ２２で「Ｙｅｓ」の場合であり、ファイルアーカイブに既存の定義情報データが存在し、破損していなかった場合）、ファイルアーカイブ部５１２は、受信したセンサ構成情報に基づいて、ファイル５０３ｂに格納されている定義情報データを更新する。例えば、新たなセンサＩＤが追加されていた場合（センサ構成情報から得られたセンサＩＤが、読み出した既存の定義情報データの中に存在しなかった場合。すなわちセンサが追加された場合）には、差分の定義情報データを新たに生成して、ファイル５０３ｂに追加する。この際、追加されたセンサに関するＥｎａｂｌｅフラグを有効に設定すると共に、定義情報データが始めて生成された日時をＣｒｅａｔｅＤａｔｅに入力する。また、既存のセンサＩＤが消滅していた場合（既存の定義情報データに存在していたセンサＩＤが、センサ構成情報から得られたセンサＩＤに存在しなかった場合。すなわちセンサが削除等された場合）には、削除等されたセンサに関する定義情報データをファイル５０３ｂから削除することなく、Ｅｎａｂｌｅフラグを無効に変更すると共に、そのセンサが削除等された日時をＯｂｓｏｌｅｔｅＤａｔｅに入力する（Ｓ２３）。

そして、データベース部５０３ａは、ファイルアーカイブから読み出した定義情報データと、受信したセンサ構成情報と、に基づいて、データベース部５０３ａが管理する定義情報データを復元する（Ｓ２４）。復元された定義情報データの内容は、上述のＳ２３で更新されたファイル５０３ｂ内の定義情報データの内容と同一となる。その後、群管理装置５００は定義情報データの復元動作を終了する。

（定義情報データの新規生成）
Ｓ２１にて、ファイルアーカイブ（ファイル５０３ｂの集合体）からの定義情報データの読み出しを試みた結果、読み出しが失敗した場合（Ｓ２２で「Ｎｏ」の場合。すなわち、データベース部５０３ａ及びファイルアーカイブのいずれからも定義情報データを読み込めなかった場合）、データベース部５０３ａは、受信したセンサ構成情報に基づいて定義情報データを新たに生成し、記憶部５０３に格納する。この際、新たに生成された定義情報データのＥｎａｂｌｅフラグを有効に設定すると共に、定義情報データが始めて生成された日時をＣｒｅａｔｅＤａｔｅに入力する（Ｓ３１）。

また、ファイルアーカイブ部５１２は、受信したセンサ構成情報に基づいて定義情報データを新たに生成し、ファイル５０３ｂに格納する（Ｓ３２）。係る様子を図１３に示す。ファイル５０３ｂに格納された定義情報データの内容は、上述のＳ３１で新たに生成されたファイル５０３ｂ内の定義情報データの内容と同一となる。その後、群管理装置５００は定義情報データの生成動作を終了する。

（３）本発明の一実施形態による効果
本実施形態によれば、上述の効果に加え、以下に示す１つ又は複数の効果を奏する。

本実施形態によれば、群管理装置５００が上述の定義情報データを管理することで、基板処理装置１００のセンサの構成を容易に把握することが可能となる。また、データＩＤとしてセンサＩＤを用いることにより、特定のセンサに注目した分析を容易に行うことが可能となる。例えば、データＩＤ（センサＩＤ）を用いてモニタデータを検索することで、膨大なモニタデータの中から、所定のセンサからのモニタデータのみを選択的に抽出したり、所定のセンサからのモニタデータのみを選択的に削除したりすることが容易となる。

なお、データＩＤとしてセンサＩＤを用いる場合、センサＩＤは、少なくとも基板処理装置１００内で一意（ユニーク）である必要がある。センサＩＤに重複があると、モニタデータの発生箇所を特定することができなくなってしまい、モニタデータを利用した分析（例えば代表値やモニタデータの生成、検索、表示等）が行えなくなってしまう。また、センサＩＤは、基板処理装置１００の構成変更（例えばセンサの追加や削除）があったときに不変である必要がある。センサＩＤに変更が生じると、変更後のセンサＩＤと、データバース５０３内やファイルアーカイブ内のデータＩＤ（センサＩＤ）との間で不整合が生じ、過去のモニタデータ等を利用できなくなってしまう。

これに対して、本実施形態によれば、基板処理装置１００から受信したＬｏｃａｔｏｒ，ｅｌｅｍｅｎｔＴｙｐｅ，Ａｔｔｒｉｂｕｔｅに対して例えばハッシュ関数等を用いた演算を施すことで、センサＩＤを算出する。ここで、Ｌｏｃａｔｏｒ，ｅｌｅｍｅｎｔＴｙｐｅ，Ａｔｔｒｉｂｕｔｅの組は、センサ固有（一意）であり、且つ他のセンサの追加や削除が生じても変化しない情報である。そのため、上述の方法により得られるセンサＩＤは、少なくとも基板処理装置１００内で一意であり、また、基板処理装置１００に構成変更（センサの追加や削除）が生じても不変となる。従って、本実施形態によれば、上述の課題を解決することが可能となる。

また、本実施形態によれば、定義情報データをデータベース部５０３ａとファイルアーカイブ部５１２との両方で保管・管理するようにしている。そして、データベース部５０３ａが記憶部５０３に格納した定義情報データが破損しても、ファイルアーカイブ部５１２がファイル５０３ｂに格納した定義情報ファイルと、基板処理装置１００から受信したセンサ構成情報とに基づいて、破損した定時情報データを復元させることが可能なように構成されている。また同様に、ファイルアーカイブ部５１２がファイル５０３ｂに格納した定義情報ファイルが破損しても、データベース部５０３ａが記憶部５０３に格納した定義情報データと、基板処理装置１００から受信したセンサ構成情報とに基づいて、破損した定時情報データを復元させることが可能なように構成されている。これにより、定義情報データの破損前後におけるデータの連続性を確保することが可能となる。

また本実施形態によれば、Ｌｏｃａｔｏｒ，ｅｌｅｍｅｎｔＴｙｐｅ，Ａｔｔｒｉｂｕｔｅを元に、センサＩＤ（すなわちデータＩＤ）を容易に得ることができる。そのため、装置故障発生時などで緊急のデータ解析が必要な場合に、基板処理システムのユーザ（半導体メーカ等）の都合等により定義情報データを入手できないことがあったとしても、係るセンサＩＤを用いてモニタデータに容易にアクセスすることが可能となる。

＜本発明の更に他の実施形態＞
本発明は、基板処理装置１００と群管理装置５００とが同じフロア（同じクリーンルーム内）に配置される場合に限定されない。例えば、基板処理装置１００をクリーンルーム内に配置すると共に、群管理装置５００を事務所内（クリーンルームとは異なるフロア）に配置し、レシピの進行状況や基板処理装置１００の状態を遠隔から監視するようにしてもよい。

本発明は、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、ＡＬＤ（Ａｔｏｍｉｃ Ｌａｙｅｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、ＰＶＤ（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法による成膜処理の他、拡散処理、アニール処理、酸化処理、窒化処理、リソグラフィ処理等の他の基板処理にも好適に適用できる。さらに、本発明は、薄膜形成装置の他、アニール処理装置、酸化処理装置、窒化処理装置、露光装置、塗布装置、乾燥装置、加熱装置等の他の基板処理装置にも好適に適用できる。

本発明は、本実施形態に係る半導体製造装置等のウエハ基板を処理する基板処理装置に限らず、ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）製造装置等のガラス基板を処理する基板処理装置にも好適に適用できる。

以上、本発明の実施の形態を具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。

＜本発明の好ましい態様＞
以下に本発明の望ましい態様について付記する。

本発明の一態様によれば、
基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置に接続される群管理装置と、を備える基板処理システムであって、
前記群管理装置は、
基板処理の進行状況又は前記基板処理装置の状態を示すモニタデータを前記基板処理装置から受信する通信手段と、
前記通信手段が受信した前記モニタデータを生産情報データに関連づけて読み出し可能に格納するデータベース部と、
前記データベース部から前記モニタデータ及び前記生産情報データを読み出し、前記モニタデータを基に代表値データを生成し、前記モニタデータ、前記生産情報データ、及び前記代表値データを含むファイルを作成して読み出し可能に格納するファイルアーカイブ部と、
所定の検索条件の入力を受けつけて前記ファイルを検索し、前記検索条件に合致する前記ファイルに格納されているデータを表示手段に表示するデータ検索部と、を備える基板処理システムが提供される。

好ましくは、
前記ファイルは、ヘッダ部、前記モニタデータを格納するモニタデータ部、前記生産情報データを格納する生産情報データ部、及び前記代表値データを格納する代表値データ部を備えている。

また好ましくは、
前記ファイルアーカイブ部は、前記ファイルが備える前記ヘッダ部、前記モニタデータ部、前記生産情報データ部、及び前記代表値データ部をそれぞれ独立して削除可能に構成されている。

また好ましくは、
前記データベース部は、前記通信手段が受信した前記モニタデータを、前記生産情報データ、前記モニタデータを特定するデータＩＤ、及び前記モニタデータの発生時刻を示すデータ時刻情報に関連づけて読み出し可能に格納し、
前記ファイルアーカイブ部は、前記データベース部から前記モニタデータ、前記生産情報データ、及び前記データＩＤを読み出し、前記モニタデータを基に前記代表値データを生成し、前記データＩＤに基づいて前記モニタデータ、前記生産情報データ、及び前記代表値データのうち少なくともいずれかを符号化し、前記符号化されたデータ及び前記符号化していないデータを含む前記ファイルを作成し、前記データＩＤ及び前記データ時刻情報に関連づけて読み出し可能に格納する。

また好ましくは、
前記データ検索部は、前記データＩＤ及び前記データ時刻情報を含む前記検索条件の入力を受けつけて前記ファイルを検索し、前記検索条件に合致する前記ファイルに格納されているデータを表示手段に表示する。

本発明の他の態様によれば、
基板を処理する基板処理装置に接続される群管理装置であって、
基板処理の進行状況又は前記基板処理装置の状態を示すモニタデータを前記基板処理装置から受信する通信手段と、
前記通信手段が受信した前記モニタデータを生産情報データに関連づけて読み出し可能に格納するデータベース部と、
前記データベース部から前記モニタデータ及び前記生産情報データを読み出し、前記モニタデータを基に代表値データを生成し、前記モニタデータ、前記生産情報データ、及び前記代表値データを含むファイルを作成して読み出し可能に格納するファイルアーカイブ部と、
所定の検索条件の入力を受けつけて前記ファイルを検索し、前記検索条件に合致する前記ファイルに格納されているデータを表示手段に表示するデータ検索部と、を備える群管理装置が提供される。

本発明の更に他の態様によれば、
基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置に接続される群管理装置と、を備える基板処理システムであって、
前記群管理装置は、
基板処理の進行状況又は前記基板処理装置の状態を示すモニタデータを前記基板処理装置から受信する通信手段と、
前記通信手段が受信した前記モニタデータを生産情報データ及び定義情報データに関連づけて読み出し可能に格納するデータベース部と、
前記データベース部から前記生産情報データ及び前記定義情報データに関連づけた前記モニタデータを読み出し、前記モニタデータを基に代表値データを生成し、前記モニタデータ、前記生産情報データ、前記定義情報データ、及び前記代表値データを含むファイルを作成して読み出し可能に格納するファイルアーカイブ部と、
所定の検索条件の入力を受けつけて前記ファイルを検索し、前記検索条件に合致する前記ファイルに格納されているデータを表示手段に表示するデータ検索部と、
を備える基板処理システムが提供される。

好ましくは、
前記ファイルは、ヘッダ部、前記モニタデータを格納するモニタデータ部、前記生産情報データを格納する生産情報データ部、前記定義情報データを格納する定義情報データ部、及び前記代表値データを格納する代表値データ部を備えている。

また好ましくは、
前記ファイルアーカイブ部は、前記ファイルが備える前記ヘッダ部、前記モニタデータ部、前記生産情報データ部、前記定義情報データ部及び前記代表値データ部をそれぞれ独立して削除可能に構成されている。

また好ましくは、
前記データベース部は、前記通信手段が受信した前記モニタデータを、前記生産情報データ、前記定義情報データ、前記モニタデータを特定するデータＩＤ、及び前記モニタデータの発生時刻を示すデータ時刻情報に関連づけて読み出し可能に格納し、
前記ファイルアーカイブ部は、前記データベース部から前記生産情報データ、前記定義情報データ、前記データＩＤ、及び前記データ時刻情報に関連づけた前記モニタデータを読み出し、前記モニタデータを基に前記代表値データを生成し、前記データＩＤに基づいて前記モニタデータ、前記生産情報データ、前記定義情報データ、及び前記代表値データのうち少なくともいずれかを符号化し、前記符号化されたデータ及び前記符号化していないデータを含む前記ファイルを作成し、前記データＩＤ及び前記データ時刻情報に関連づけて読み出し可能に格納する。

また好ましくは、
前記データ検索部は、前記データＩＤ及び前記データ時刻情報を含む前記検索条件の入力を受けつけて前記ファイルを検索し、前記検索条件に合致する前記ファイルに格納されているデータを表示手段に表示する。

本発明の更に他の態様によれば、
基板処理の進行状況又は基板処理装置の状態を示すモニタデータを前記基板処理装置から受信する通信手段と、
前記通信手段が受信した前記モニタデータを生産情報データ及び定義情報データに関連づけて読み出し可能に格納するデータベース部と、
前記データベース部から前記生産情報データ及び前記定義情報データに関連づけた前記モニタデータを読み出し、前記モニタデータを基に代表値データを生成し、前記モニタデータ、前記生産情報データ、前記定義情報データ、及び前記代表値データを含むファイルを作成して読み出し可能に格納するファイルアーカイブ部と、
所定の検索条件の入力を受けつけて前記ファイルを検索し、前記検索条件に合致する前記ファイルに格納されているデータを表示手段に表示するデータ検索部と、
を備える群管理装置が提供される。

１００ 基板処理装置
２００ ウエハ（基板）
５００ 群管理装置
５０１ 制御部
５０２ 共有メモリ
５０３ 記憶部
５０３ａ データベース部
５０３ｂ ファイル
５０４ 通信制御部（通信手段）
５０５ データ表示部（表示手段）
５０６ 入力手段
５１１ ファイルアーカイブ部
５１２ データ検索部

Claims (9)

1. 基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置に接続される群管理装置と、を備える基板処理システムであって、
   前記群管理装置は、
   基板処理の進行状況又は前記基板処理装置の状態を示すモニタデータを前記基板処理装置から受信する通信手段と、
   前記通信手段が受信した前記モニタデータを生産情報データに関連づけて読み出し可能に格納するデータベース部と、
   前記データベース部から前記モニタデータ及び前記生産情報データを読み出し、
   前記モニタデータを基に代表値データを生成し、前記モニタデータ、前記生産情報データ、及び前記代表値データを含むファイルを作成して読み出し可能に格納するファイルアーカイブ部と、
   所定の検索条件の入力を受けつけて前記ファイルを検索し、前記検索条件に合致する前記ファイルに格納されているデータを表示手段に表示するデータ検索部と、
   を備える基板処理システム。
2. 基板処理の進行状況又は基板処理装置の状態を示すモニタデータを前記基板処理装置から受信する通信手段と、
   前記通信手段が受信した前記モニタデータを生産情報データに関連づけて読み出し可能に格納するデータベース部と、
   前記データベース部から前記モニタデータ及び前記生産情報データを読み出し、前記モニタデータを基に代表値データを生成し、前記モニタデータ、前記生産情報データ、及び前記代表値データを含むファイルを作成して読み出し可能に格納するファイルアーカイブ部と、
   所定の検索条件の入力を受けつけて前記ファイルを検索し、前記検索条件に合致する前記ファイルに格納されているデータを表示手段に表示するデータ検索部と、
   を備える群管理装置。
3. 基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置に接続される群管理装置と、を備える基板処理システムであって、
   前記群管理装置は、
   基板処理の進行状況又は前記基板処理装置の状態を示すモニタデータを前記基板処理装置から受信する通信手段と、
   前記通信手段が受信した前記モニタデータを生産情報データ及び定義情報データに関連づけて読み出し可能に格納するデータベース部と、
   前記データベース部から前記生産情報データ及び前記定義情報データに関連づけた前記モニタデータを読み出し、前記モニタデータを基に代表値データを生成し、
   前記モニタデータ、前記生産情報データ、前記定義情報データ、及び前記代表値データを含むファイルを作成して読み出し可能に格納するファイルアーカイブ部と、
   所定の検索条件の入力を受けつけて前記ファイルを検索し、前記検索条件に合致する前記ファイルに格納されているデータを表示手段に表示するデータ検索部と、
   を備える基板処理システム。
4. 基板処理の進行状況又は基板処理装置の状態を示すモニタデータを前記基板処理装置から受信する通信手段と、
   前記通信手段が受信した前記モニタデータを生産情報データ及び定義情報データに関連づけて読み出し可能に格納するデータベース部と、
   前記データベース部から前記生産情報データ及び前記定義情報データに関連づけた前記モニタデータを読み出し、前記モニタデータを基に代表値データを生成し、前記モニタデータ、前記生産情報データ、前記定義情報データ、及び前記代表値データを含むファイルを作成して読み出し可能に格納するファイルアーカイブ部と、
   所定の検索条件の入力を受けつけて前記ファイルを検索し、前記検索条件に合致する前記ファイルに格納されているデータを表示手段に表示するデータ検索部と、
   を備える群管理装置。
5. 基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置に接続される群管理装置と、を備える基板処理システムであって、
   前記群管理装置は、
   前記基板処理装置の状態を示すモニタデータを生産情報データに関連づけて読み出し可能に格納するデータベース部と、
   前記データベース部から前記モニタデータ及び前記生産情報データを読み出し、前記モニタデータを基に代表値データを生成し、前記モニタデータ、前記生産情報データ、及び前記代表値データを含むファイルを作成して読み出し可能に格納するファイルアーカイブ部と、
   を備える基板処理システム。
6. 基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置に接続される群管理装置と、を備える基板処理システムであって、
   前記群管理装置は、
   前記基板処理装置の状態を示すモニタデータを前記基板処理装置から受信する通信手段と、
   前記通信手段が受信した前記モニタデータを読み出し可能に格納するデータベース部と、
   前記データベース部から前記モニタデータを読み出し、前記モニタデータを基に代表値データを生成し、前記モニタデータ及び前記代表値データを含むファイルを作成して読み出し可能に格納するファイルアーカイブ部と、
   を備える基板処理システム。
7. 基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置に接続される群管理装置と、を備える基板処理システムであって、
   前記群管理装置は、
   前記基板処理装置の状態を示すモニタデータを読み出し可能に格納するデータベース部と、
   前記データベース部から前記モニタデータを読み出し、前記モニタデータを基に代表値データを生成し、前記モニタデータ及び前記代表値データを含むファイルを作成して読み出し可能に格納するファイルアーカイブ部と、
   を備える基板処理システム。
8. 基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置に接続される群管理装置と、を備える基板処理システムのデータ処理方法であって、
   前記基板処理装置の状態を示すモニタデータをデータベースに読み出し可能に格納する工程と、
   前記データベースから前記モニタデータを読み出し、読み出した前記モニタデータを基に代表値データを生成し、前記モニタデータ及び前記代表値データを含むファイルを作成して読み出し可能に格納する工程と、
   を有する基板処理システムのデータ処理方法。
9. 基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置に接続される群管理装置と、を備える基板処理システムで実行されるアーカイブプログラムであって、
   前記基板処理装置の状態を示すモニタデータをデータベースに読み出し可能に格納する工程と、
   前記データベースから前記モニタデータを読み出し、前記モニタデータを基に代表値データを生成する工程と、
   前記モニタデータ及び前記代表値データを含むファイルを作成して読み出し可能に格納する工程と、
   を有するアーカイブプログラム。