JP2012060059A - 基板処理システム、及び基板処理装置並びに基板処理装置の表示方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板を処理する基板処理装置と、基板処理装置に接続される群管理装置と、を備える基板処理システムであって、基板処理装置は、少なくとも基板処理装置を構成する各部品の状態を示すモニタデータを取得し、複数のモニタデータを集約し、モニタデータの最大値、平均値、最小値のうち少なくともいずれかを有するパッケージデータを生成し、パッケージデータを群管理装置に送信するように構成されており、群管理装置は、パッケージデータを基板処理装置から受信して読み出し可能に記憶するように構成されている。
【選択図】図1
Description
に関する。
以下に、本発明の第1の実施形態について説明する。
続いて、本実施形態にかかる基板処理装置100の構成について、図12,図13を参照しながら説明する。図12は、本発明の第1の実施形態にかかる基板処理装置の斜透視図である。図13は、本発明の第1の実施形態にかかる基板処理装置の側面透視図である。なお、本実施形態にかかる基板処理装置100は、例えばウエハ等の基板に酸化、拡散処理、CVD処理などを行なう縦型の装置として構成されている。
の正面メンテナンス扉104が設けられている。シリコン等のウエハ(基板)200を収納したポッド(基板収容器)110が、筐体111内外へウエハ200を搬送するキャリアとして使用される。
対して装填(チャージング)及び脱装(ディスチャージング)することが可能なように構成されている。
次に、本実施形態にかかる基板処理装置100の動作について、図12,図13を参照しながら説明する。
設定されている。
続いて、本実施形態にかかる処理炉202の構成について、図14を用いて説明する。図14は、本発明の第1の実施形態にかかる基板処理装置100の処理炉202の縦断面図である。
、マニホールド209が配設されている。マニホールド209は、例えばステンレス等からなり、上端及び下端が開口した円筒形状に形成されている。マニホールド209は、インナーチューブ204の下端部とアウターチューブ205の下端部とにそれぞれ係合しており、これらを支持するように設けられている。なお、マニホールド209とアウターチューブ205との間には、シール部材としてのOリング220aが設けられている。マニホールド209がヒータベース251に支持されることにより、プロセスチューブ203は垂直に据え付けられた状態となっている。プロセスチューブ203とマニホールド209により反応容器が形成される。
の断熱板216が水平姿勢で多段に複数枚配置されており、ヒータ206からの熱がマニホールド209側に伝わりにくくなるように構成されている。
続いて、半導体デバイスの製造工程の一工程として、上記構成に係る処理炉202を用いてCVD法によりウエハ200上に薄膜を形成する方法について、図14を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、基板処理装置100を構成する各部の動作は基板処理装置用コントローラ240により制御される。
ディング)される。その後、処理済のウエハ200はボート217より取り出され、ポッド110内へ格納される(ウエハディスチャージ)。
続いて、本実施形態に係る基板処理装置用コントローラ240の構成について、図1を用いて説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係る基板処理システムのブロック構成図である。
続いて、上述の基板処理装置100とデータ交換可能なように構成された本実施形態にかかる群管理装置500の構成について、主に図1を参照しながら説明する。
また、本発明の実施の形態によれば、制御部501は、データ保持部503に記憶されたパッケージデータを読み出しグラフ化するグラフ作成機能550を備えている。
次に、本実施形態の基板処理システムにおけるデータ処理方法について図面を用いて説明する。図3は、本実施形態のデータ処理方法に係るフローチャート図である。図4〜8は、本実施形態のデータ処理方法をより詳細に示すフローチャート図である。
パッケージデータ記憶領域初期化工程S10は、パッケージデータを生成する前段階の工程であって、図2に示すパッケージデータ記憶領域291内のデータ消去、カウンタ292内のデータ消去を行う。具体的には、パッケージデータ記憶領域初期化工程S10では、図4に示すステップS11〜S14を実行する。ステップS11では、パッケージデータ記憶領域291のうち、最大値記憶領域291a内のデータを消去する。ステップS12では、パッケージデータ記憶領域291のうち、最小値記憶領域291c内のデータを消去する。ステップS13では、パッケージデータ記憶領域291のうち、平均値記憶領域291c内のデータを消去する。ステップS14では、カウンタ292に記憶されたモニタデータの積算回数(カウント数)をリセットして「0」に設定する。これらの処理を終えると、パッケージデータ記憶領域初期化処理S110が完了する。パッケージデータ記憶領域初期化工程S10を実行することにより、直前の所定周期のパッケージデータに係る各種データが消去され、次の所定周期のパッケージデータを生成する準備が整う。
モニタデータ取得工程S20は、基板処理プロセスの進行状況又は基板処理装置100の状態を示すモニタデータを取得する工程である。具体的には、基板処理コントローラ240は、I/O制御部(ガス流量制御部235、圧力制御部236、温度制御部237)、又はメカ制御部238から処理炉202の状態(温度、ガス流量、圧力等)を少なくとも示すモニタデータを取得する。
パッケージデータ生成工程S30は、モニタデータ取得工程S20で取得したモニタデータを集約してパッケージデータを生成する工程である。パッケージデータ生成工程S30は、図3に示すように、取得したモニタデータと直前の最大値とを比較する処理を行う最大値更新処理S310と、取得したモニタデータと直前の最小値とを比較する処理を行う最小値更新処理S320と、取得したモニタデータを直前までのモニタデータの積算値に積算する処理を行う積算値更新処理S330と、モニタデータを取得する所定周期が経過したかどうかを判定するステップS340と、積算値に基づいて平均値を算出する平均値算出処理S350と、を有する。
たモニタデータが最大値記憶領域291aに記憶された最大値よりも小さい場合には、フローチャートの「No」に沿って進み、その後最大値更新処理S310が完了する。すなわち、この場合には最大値は更新されず、最大値記憶領域291aに記憶された値(最大値)がそのまま保持される。
パッケージデータ送信工程S40は、パッケージデータを基板処理装置100から群管理装置500に送信する工程である。パッケージデータ送信工程40は、図8に示すように、パッケージデータの値(少なくとも最大値、平均値、最小値の3つの算出データを含む値)が揃っているかを判定するステップS41と、パッケージデータの値が揃っていないと判断した場合に、抜けたデータを補填するステップS42と、パッケージデータを群管理装置500に送信するステップS43と、送信されるパッケージデータの平均値をバックアップするステップS44と、を有する。
ージデータを通信制御部239bに渡し、ネットワーク400を介して群管理装置500に送信する。パッケージデータを群管理装置500に送信したら、ステップS44に移行する。
パッケージデータ受信工程S50は、パッケージデータを基板処理装置100から受信する工程である。具体的には、群管理装置500の通信制御部504が、パッケージデータを基板処理装置100から受信する。通信制御部504は、基板処理装置100から受信したパッケージデータを共有メモリ502に渡し記憶させる。
パッケージデータ記憶工程S60は、基板処理装置100から受信したパッケージデータをデータ保持部503に記憶させる工程である。本実施の形態においては、群管理装置500の制御部501が、共有メモリ502に記憶されたパッケージデータを読み出す。制御部501は、読み出したパッケージデータをデータ保持部503に渡し、読み出し可能に記憶させる。また、パッケージデータにパッケージデータ生成時刻、装置ID、レシピID、経過時間等が付加されていれば、これらとパッケージデータとを関連付けてデータベース化し、読み出し可能にデータ保持部503に記憶させる。
パッケージデータ表示工程S70は、データ保持部503に記憶させるパッケージデータをデータ表示部505に表示させる工程である。本実施の形態においては、制御部501は、操作員による入力手段240bからの入力(操作コマンドの入力等)を受け付けて、データ保持部503に記憶させたパッケージデータを読み出し、データ表示部505に渡す。そして、データ表示部505は、制御部501から受けたパッケージデータを画面に表示する。尚、パッケージデータとともに、パッケージデータ生成時刻、モニタデータ取得時刻、装置ID、レシピID、経過時間等を表示してもよい。
グラフ作成工程S80は、データ保持部503に記憶させたパッケージデータを読み出してグラフ化する工程である。グラフ作成工程S80では、制御部501は、入力手段506による装置ID及び所定期間を含むデータ検索条件の入力を受け付けてデータ保持部503を検索し、パッケージデータ生成時刻、モニタデータ取得時刻、装置ID、レシピID、経過時間等に関連付けられたパッケージデータをデータ保持部から読み出す。そして、制御部501は、読み出したパッケージデータを、時間情報に基づいて開始時刻を揃えつつ各項目(最大値、平均値、最小値)ごとに時系列に重ね合わせてグラフ化することで、時系列グラフを作成する。また、制御部501は、作成した時系列グラフをデータ表示部505に表示させる。
本実施形態によれば、以下に示す1または複数の効果が得られる。
データは3つの値(最大値、平均値、最小値)を有するパッケージデータに集約されるので、図11(b)に示すように、データ量は3倍(×3)に抑えられる。すなわち、この場合には、取得したモニタデータのすべてを群管理装置500に送信する場合と比較して、データ量が3分の1以下に抑えられる。
次に、本発明の第2の実施形態について簡単に説明する。
上述の実施形態では、モニタデータを取得するごとに、最大値更新処理S310、最小値更新処理S320、積算値更新処理S330を実行しながら所定周期ごとのパッケージデータを生成しているが、本発明はこのような実施形態に限られない。例えば、所定周期内におけるすべてのモニタデータを取得した後、まとめてパッケージデータ生成工程S30を実行してもよい。
処理時に生成されるモニタデータを格納するようにしておき、本実施の形態におけるパッケージデータの生成を行うようにしてもよい。
以下に本発明の望ましい態様について付記する。
本発明の第1の態様は、
基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置に接続される群管理装置と、を備える基板処理システムであって、
前記基板処理装置は、
少なくとも前記基板処理装置を構成する各部品の状態を示すモニタデータを取得し、
複数の前記モニタデータを集約し、前記モニタデータの最大値、平均値、最小値のうち少なくともいずれかを有するパッケージデータを生成し、
前記パッケージデータを前記群管理装置に送信するように構成されており、
前記群管理装置は、
前記パッケージデータを前記基板処理装置から受信して読み出し可能に記憶するように構成されている基板処理システムである。
好ましくは、
前記基板処理装置は、
所定周期ごとに前記パッケージデータを生成するように構成されている付記1に記載の基板処理システムである。
また好ましくは、
前記基板処理装置は、
複数の前記モニタデータを積算して積算値を算出し、前記積算値を前記モニタデータの積算回数で除して前記平均値を算出して前記パッケージデータを生成するように構成され
ている付記1に記載の基板処理システムである。
また好ましくは、
前記群管理装置は、
前記群管理装置内に記憶される前記パッケージデータをグラフ化するように構成されている付記1から3のいずれかに記載の基板処理システムである。
本発明の第2の態様は、
基板を処理する基板処理装置であって、
少なくとも前記基板処理装置を構成する各部品の状態を示すモニタデータを取得し、
複数の前記モニタデータから選択された1つの前記モニタデータについて、少なくとも最大値、平均値、最小値の3つの算出データを有するパッケージデータを生成する基板処理装置である。
本発明の第3の態様は、
基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置に接続される群管理装置と、を有する基板処理システムにより実施されるデータ処理方法であって、
前記基板処理装置が、基板処理の進行状況又は前記基板処理装置の状態を示すモニタデータを取得する工程と、
前記基板処理装置が、複数の前記モニタデータを集約し、前記モニタデータの最大値、平均値、最小値のうち少なくともいずれかを有する前記パッケージデータを生成する工程と、
前記基板処理装置が、前記パッケージデータを前記群管理装置に送信する工程と、
前記群管理装置が、前記パッケージデータを前記基板処理装置から受信して読み出し可能に記憶する工程と、
を有するデータ処理方法である。
本発明の第4の態様は、
少なくとも基板処理装置を構成する各部品の状態を示すモニタデータを取得し、
複数の前記モニタデータから選択された1つの前記モニタデータについて、少なくとも最大値、平均値、最小値の3つの算出データを有するパッケージデータを生成し、
前記パッケージデータをグラフ化して表示する基板処理装置の表示方法である。
500 群管理装置
Claims (3)
- 基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置に接続される群管理装置と、を備える基板処理システムであって、
前記基板処理装置は、
少なくとも前記基板処理装置を構成する各部品の状態を示すモニタデータを取得し、
複数の前記モニタデータを集約し、前記モニタデータの最大値、平均値、最小値のうち少なくともいずれかを有するパッケージデータを生成し、
前記パッケージデータを前記群管理装置に送信するように構成されており、
前記群管理装置は、
前記パッケージデータを前記基板処理装置から受信して読み出し可能に記憶するように構成されている
ことを特徴とする基板処理システム。 - 基板を処理する基板処理装置であって、
少なくとも前記基板処理装置を構成する各部品の状態を示すモニタデータを取得し、
複数の前記モニタデータから選択された1つの前記モニタデータについて、少なくとも最大値、平均値、最小値の3つの算出データを有するパッケージデータを生成する
ことを特徴とする基板処理装置。 - 少なくとも基板処理装置を構成する各部品の状態を示すモニタデータを取得し、
複数の前記モニタデータから選択された1つの前記モニタデータについて、少なくとも最大値、平均値、最小値の3つの算出データを有するパッケージデータを生成し、
前記パッケージデータをグラフ化して表示する
ことを特徴とする基板処理装置の表示方法。
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