KR20120049780A

KR20120049780A - 챠지 플레이트 모니터

Info

Publication number: KR20120049780A
Application number: KR1020110012270A
Authority: KR
Inventors: 데쓰야 도쿠나가
Original assignee: 휴글엘렉트로닉스가부시키가이샤
Priority date: 2010-11-09
Filing date: 2011-02-11
Publication date: 2012-05-17
Also published as: CN102565568A; JP2012103056A; TW201219800A

Abstract

본 발명은, 챠지 플레이트 모니터(charge plate monitor)에 관한 것으로서, 액정 디스플레이 기판 등의 제전(除電) 대상물의 대형화에 기인하여 이오나이저(ionizer)가 장척(長尺)으로 된 경우라도, 1대의 챠지 플레이트 모니터에 의해 이오나이저의 성능을 평가 가능하게 한다. 이오나이저에 의해 생성되는 플러스/마이너스의 이온을 측정 플레이트에 의해 검출하고, 이오나이저의 제전 성능 및 플러스/마이너스의 이온의 이온 밸런스 성능을 평가하는 챠지 플레이트 모니터로서, 소정 전압이 미리 인가된 측정 플레이트의 전위가 상기 이온에 의해 소정값까지 감쇠(減衰)하는 감쇠 시간을 측정하는 기능과, 측정 플레이트의 전위에 기초하여 이온 밸런스를 측정하는 기능을, 1대의 측정기 본체(100)에 구비하여 이루어지는 챠지 플레이트 모니터에 있어서, 평가 대상인 이오나이저(300)의 길이에 따른 테이블수의 측정 플레이트(201, 202, 203)를 구비하고, 이들 측정 플레이트(201, 202, 203)를, 측정기 본체(100)에 대하여 병렬 또는 직렬로 접속한다.

Description

챠지 플레이트 모니터{CHARGE PLATE MONITOR}

본 발명은, 이오나이저(ionizer)의 제전(除電) 성능이나 이온 밸런스 성능(플러스/마이너스 이온의 밸런스의 유지 성능)을 측정하여 이오나이저의 성능을 평가하기 위한 챠지 플레이트 모니터(charge plate monitor)에 관한 것이다.

도 14는 종래의 챠지 플레이트 모니터의 개략적인 구성을 나타내고 있다.

도 14에 있어서, CPM'는 챠지 플레이트 모니터, 100A는 측정기 본체, 101A는 액정 표시기 등으로 이루어지는 표시부, 200A는 측정기 본체(100A)와 접속된 측정 플레이트, 300은 평가 대상인 바(bar) 구조의 이오나이저, 301F는 이오나이저(300)의 길이 방향으로 다수 배치된 이미터(방전 전극)이다.

측정기 본체(100A)에는, 고압 전원이나 표면 전위계, 전계계(電界計), 타이머 등이 내장되어 있다. 또한, 측정 플레이트(200A)는, 예를 들면, 한 변이 150㎜의 도전성 플레이트를 10~15[㎜]의 간격을 두고 2개 합한 구조로 되어 있고, 전체로서 약 20[pF]의 정전(靜電) 용량을 가지고 있다.

측정기 본체(100A)는 주로 측정 플레이트(200A)의 표면 전위를 측정하는 기능을 구비하고 있고, 이하에 설명하는 방법에 의해, 이오나이저의 제전(除電) 성능이나 이온 밸런스 성능을 측정한다.

상기 챠지 플레이트 모니터에 의해 이오나이저(300)의 제전 성능을 측정하기 위해서는, 측정기 본체(100A)의 고압 전원으로부터 측정 플레이트(200A)에, 예를 들면 +1000[V] 또는 －1000[V]의 고전압을 인가하여 대전시켜, 이오나이저(300)의 이미터(301)에 의해 생성한 이온을 측정 플레이트(200A)에 닿게 한다. 이 상태에서, 측정 플레이트(200A)의 전위가 마이너스 이온에 의해 중화되어 +1000[V]로부터 +100[V]까지 감쇠(減衰)하는 데 필요한 시간, 또는 플러스 이온에 의해 중화되어 －1000[V]로부터 －100[V]까지 감쇠하는 데 필요한 시간을 측정기 본체(100A)에 의해 측정한다. 이들 시간이 짧을 수록, 이오나이저(300)에 의한 이온 발생량 또는 발생율이 높아, 제전 성능이 높은 것으로 평가할 수 있다. 그리고, 측정 플레이트(200A)에 대한 인가 전압은, ±1000 ~ ±5000[V]의 범위에서 각종 타입이 존재한다.

여기서는, 상기 측정 동작을 행하는 모드를 감쇠 측정 모드라고 한다.

또한, 이온 밸런스 성능을 측정하기 위해서는, 측정 플레이트(200A)를 접지함으로써 그 전위를 0[V]로 하여, 이오나이저(300)에 의해 생성한 플러스/마이너스의 이온을 측정 플레이트(200A)에 닿게 한다. 이 때, 이오나이저(300)가 생성하는 플러스 이온량과 마이너스 이온량이 같아지면, 측정 플레이트(200A)의 전위는 0[V] 부근에서 안정되므로, 이 전위의 크기 및 극성을 측정기 본체(100A)에 의해 측정함으로써, 이오나이저의 이온 밸런스 성능을 평가할 수 있다.

여기서는, 상기 측정 동작을 행하는 모드를 이온 밸런스 측정 모드라고 한다.

그런데, 이오나이저에 의한 제전 대상물인 액정 디스플레이용 기판이나 플라즈마 디스플레이용 기판은, 최근, 대형화의 추세에 있고, 이에 따라 바 구조의 이오나이저의 길이도 점차 길어지고 있다.

이와 같이 장척(長尺)의 이오나이저의 성능을 챠지 플레이트 모니터에 의해 시험하는 경우, 도 14로부터도 명백한 바와 같이, 이오나이저(300)의 전체 길이에 걸쳐서 배치된 다수의 이미터(301)에 따라, 1대의 챠지 플레이트 모니터 CPM'의 위치를 이오나이저(300)의 길이 방향으로 상대적으로 이동시켜 순차적으로 측정할 필요가 생긴다. 그러므로, 1대의 이오나이저의 성능을 평가하기 위해 많은 수고나 시간이 걸리는 문제가 있었다.

이에 대하여, 장척의 이오나이저(300)에 대하여 1회의 측정으로 끝내기 위해서는, 챠지 플레이트 모니터 CPM'를 복수 대 배열하여 측정하면 되지만, 일반적으로 챠지 플레이트 모니터 CPM'는 고가이기 때문에, 많은 비용이 소요된다.

그리고, 측정 플레이트를 복수 개의 섹션으로 분할하고, 이들 각 섹션의 하나 건너에 플러스, 마이너스의 바이어스 전압을 각각 인가한 상태에서, 이오나이저에 의한 생성 이온의 이온 밸런스나 플러스/마이너스의 이온 발생율을 측정하도록 한 이온 밸런스 모니터가, 특허 문헌 1에 개시되어 있다.

일본 특표 2008-519260호 공보(단락 [0012]~[0017], 도 1~도 3 등)

특허 문헌 1에 기재된 종래 기술에서는, 측정 플레이트를 복수 개의 섹션으로 분할하여 소정의 바이어스 전압을 인가함으로써, 이온 밸런스 및 이온 발생율을 동시에 측정 가능하게 하고 있지만, 전술한 바와 같이 이오나이저의 장척화에 따른 조작의 번잡함이나 측정 시간의 장기화를 해결할 수 있는 것은 아니다.

그래서, 본 발명의 해결 과제는, 제전 대상물의 대형화에 기인하여 이오나이저가 장척으로 된 경우라도, 1대의 챠지 플레이트 모니터에 의해 이오나이저의 성능을 효율적으로 평가 가능하게 한 챠지 플레이트 모니터를 제공하는 것에 있다.

상기 문제점을 해결하기 위해, 청구항 1에 관한 발명은, 이오나이저에 의해 생성되는 플러스/마이너스의 이온을 측정 플레이트에 의해 검출하고, 상기 이오나이저의 제전 성능 및 플러스/마이너스의 이온의 이온 밸런스 성능을 평가하는 챠지 플레이트 모니터로서, 소정 전압이 미리 인가된 상기 측정 플레이트의 전위가 상기 이온에 의해 소정값까지 감쇠하는 감쇠 시간을 측정하는 기능과, 상기 측정 플레이트의 전위에 기초하여 이온 밸런스를 측정하는 기능을, 1대의 측정기 본체에 구비하여 이루어지는 챠지 플레이트 모니터에 있어서, 상기 측정 플레이트를, 평가 대상인 상기 이오나이저의 길이에 따라서 복수 대 구비하고, 이들 측정 플레이트를, 상기 측정기 본체에 대하여 병렬 또는 직렬로 접속한 것이다.

청구항 2에 관한 발명은, 청구항 1에 기재한 챠지 플레이트 모니터에 있어서, 상기 측정기 본체는, 복수 대의 상기 측정 플레이트에서의 상기 감쇠 시간 및 이온 밸런스의 측정 결과를 각각 표시하는 표시부를 구비한 것이다.

청구항 3에 관한 발명은, 청구항 1 또는 청구항 2에 기재한 챠지 플레이트 모니터에 있어서, 복수 대의 상기 측정 플레이트에 각각 어드레스를 설정하여 두고, 상기 측정기 본체는, 상기 어드레스에 따라 각각의 측정 플레이트에 의한 측정 데이터를 처리하는 것이다.

본 발명에 의하면, 1대의 측정기 본체에 대하여 필요 테이블수의 측정 플레이트를 병렬 또는 직렬로 접속함으로써, 1대의 챠지 플레이트 모니터를 사용하여 장척의 이오나이저의 제전 성능이나 이온 밸런스 성능을 평가하는 것이 가능하여, 이오나이저의 성능 평가를 단시간 또한 저비용으로 실현할 수 있다.

또한, 이오나이저의 길이에 맞추어 측정기 본체와 접속하는 측정 플레이트의 테이블수를 변경하면, 길이가 상이한 각종 이오나이저에 대해서도 적용 가능하게 된다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예의 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명의 제2 실시예의 개략적인 구성도이다.
도 3은 본 발명의 제3 실시예의 개략적인 구성도이다.
도 4는 본 발명의 제4 실시예의 개략적인 구성도이다.
도 5는 제1 실시예의 상세한 구성도이다.
도 6은 제2 실시예의 상세한 구성도이다.
도 7은 제4 실시예의 상세한 구성도이다.
도 8은 본 발명의 실시예의 사용 상태의 설명도이다.
도 9는 본 발명의 실시예의 사용 상태의 설명도이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 의한 측정 결과의 표시예를 나타낸 도면이다.
도 11은 본 발명의 실시예에 의한 측정 결과의 표시예를 나타낸 도면이다.
도 12는 본 발명의 실시예에 의한 측정 결과의 표시예를 나타낸 도면이다.
도 13은 본 발명의 실시예에 의한 측정 결과의 표시예를 나타낸 도면이다.
도 14는 종래의 챠지 플레이트 모니터의 개략적인 구성을 나타낸 도면이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다.

먼저, 본 발명에 관한 챠지 플레이트 모니터는, 1대의 측정기 본체와 복수 대의 측정 플레이트로 구성되어 있다.

도 1~도 3은 측정기 본체와 복수 대의 측정 플레이트를 유선에 의해 접속한 실시예의 개략적인 구성도이며, 도 1의 제1 실시예는, 1대의 측정기 본체(100)에 대하여 복수 대(예를 들면 3대)의 측정 플레이트(201, 202, 203)를 병렬로 접속한 예, 도 2의 제2 실시예는, 1대의 측정기 본체(100)에 대하여 복수 대의 측정 플레이트(201, 202, 203)를 직렬로 접속한 예, 도 3의 제3 실시예는, 1대의 측정기 본체(100)에 대하여 복수 대의 측정 플레이트(201, 202, 203)를 직렬로 접속한 회로를, 예를 들면, 3개를 병렬로 접속한 예이다.

또한, 도 4의 제4 실시예는, 1대의 측정기 본체(100)에 대하여 복수 대의 측정 플레이트(201, 202, 203)를 직렬로 접속한 회로를, 예를 들면, 3개를 병렬로 접속하여 접지하고, 각 직렬 회로를 측정기 본체(100)와의 사이에서 무선에 의해 접속한 예이다.

그리고, 도 1이나 도 2에 나타낸 실시예에 있어서, 측정기 본체(100)와 복수 대의 측정 플레이트(201, 202, 203)와의 사이, 또는 이들 직렬 회로와의 사이를, 무선에 의해 접속해도 된다.

상기 제1 실시예 내지 제4 실시예에 있어서, 측정 플레이트는, 평가 대상인 바 구조의 이오나이저(도시하지 않음)의 전체 길이에 따라 필요 테이블수만큼 병렬 또는 직렬로 접속된다. 예를 들면, 도 1에서의 측정 플레이트(201)의 길이(또는 폭)가 L인 경우, 전체 길이가 3L 이상인 이오나이저에 대하여, 그 전체 길이를 균등하게 커버 가능할 수 있도록, 3대의 측정 플레이트(201, 202, 203)를 적당한 간격으로 배열하여 배치하면 된다.

다음에, 도 5는 제1 실시예의 상세한 구성도이다.

도 5의 (a)는 측정기 본체(100)의 상세한 구성을, 도 5의 (b)는 측정 플레이트(201, 202, 203)의 상세한 구성을 나타내고 있다. 그리고, 측정 플레이트(201, 202, 203)는 모두 동일한 구성이므로, 도 5의 (b)에서는 측정 플레이트(201)에 대하여 예시되어 있다.

도 5의 (a)에 나타낸 바와 같이, 측정기 본체(100)는, 챠지 플레이트 모니터 전체를 통괄적으로 제어하고, 또한 측정 플레이트(201, 202, 203)의 전위 측정이나 타이머 동작 등에 따른 연산 처리를 행하는 CPU(102a)와, 측정 플레이트(201, 202, 203)의 동작을 제어하기 위한 플레이트 제어 회로(102b)와, 측정 플레이트(201, 202, 203)의 전위(아날로그 신호)를 디지털 신호로 변환하는 A/D 변환 회로(102c)를 구비하고 있다. 여기서, CPU(102a)에는, 내부의 메모리에 측정 플레이트(201, 202, 203)를 각각 특정하기 위한 어드레스가 기억되어 있다.

또한, 측정기 본체(100)에는, 측정 결과인 이오나이저의 제전 성능이나 이온 밸런스에 기초하여 이오나이저에 대한 인가 전압 등을 적외선 통신에 의해 제어하기 위한 적외선 유닛(102d)이 설치되어 있다. 그리고, 이 적외선 유닛(102d)은, 본 발명에 있어서 반드시 필요한 요소는 아니다. 도시하지 않지만, 측정 결과에 따른 이오나이저의 제어는, CPU(102a)에 의해 무선 통신 수단을 통하여 행해도 된다.

CPU(102a)에는, 전원의 온 오프나 각종 입력 조작을 행하기 위한 스위치나 터치 패널 등으로 이루어지는 입력부(102e)가 접속되어 있는 동시에, 상기 표시부(101)를 구동시키기 위한 표시 회로(102f)가 접속되어 있다.

또한, 측정기 본체(100)에는, 온도 센서, 습도 센서, 풍속 센서 등의 센서부(102g)가 설치되어 있다. 이 센서부(102g)는 측정기 본체(100)의 주위 환경 조건을 측정하는 것이며, 필요에 따라 측정 플레이트(201, 202, 203) 측에 각각 설치하여 각 플레이트의 주위 환경 조건을 측정해도 된다.

다음에, 도 5의 (b)에 기초하여 측정 플레이트(201)의 구성을 설명한다.

측정 플레이트(201)는, 플레이트 제어부(201A)와 플레이트 본체(201B)로 구성되어 있다. 플레이트 제어부(201A)는, 측정기 본체(100)와 접속된 제어 회로(201a)와, 감쇠 측정 모드에 있어서 플레이트 본체(201B)에 플러스 또는 마이너스의 고전압을 인가하기 위한 플러스 전압 발생 회로(201b) 및 마이너스 전압 발생 회로(201c)와, 플레이트 본체(201B)의 전위를 검출하기 위한 정전기 센서(201e) 및 이것을 구동하는 센서 구동 회로(201d)와, 플레이트 본체(201B)[측정 플레이트(201)]의 어드레스를 기억한 메모리(201f)를 구비하고 있다.

플레이트 본체(201B)는, 전술한 바와 같이 이온 검출용의 소정의 크기의 도전성 플레이트를 2개 합한 구조로 되어 있지만, 편의상, 상세한 구조에 대해서는 도시하지 않고 있다.

그리고, 플러스 전압 발생 회로(201b) 및 마이너스 전압 발생 회로(201c)는 측정기 본체(100)에 내장해도 된다.

또한, 측정기 본체(100) 및 플레이트 제어부(201A)에는, 전원 회로(도시하지 않음)가 각각 내장되어 있다.

이어서, 이 제1 실시예의 동작을 설명한다.

먼저, 성능 평가의 대상인 이오나이저를 측정 플레이트(201, 202, 203)의 위쪽에 배치하고, 이오나이저로부터 발생시킨 이온을 송풍 수단 등에 의해 측정 플레이트(201, 202, 203)에 공급한다.

측정기 본체(100)에서는, 입력부(102e)에 의해 소정의 측정 모드(감쇠 측정 모드, 이온 밸런스 측정 모드)를 선택하고, CPU(102a)로부터 플레이트 제어 회로(102b)를 통하여 측정 플레이트(201, 202, 203)에 제어 신호(측정 지령)를 송출한다.

지금, 감쇠 측정 모드에서는, 측정 플레이트(201)의 플레이트 제어부(201A) 내의 제어 회로(201a)를 통하여 플러스 전압 발생 회로(201b) 또는 마이너스 전압 발생 회로(201c)를 구동하고, 플레이트 본체(201B)에 예를 들면 +1000[V] 또는 －1000[V]를 인가한다. 이 때, 플레이트 본체(201B)의 전위는, 정전기 센서(201e), 센서 구동 회로(201d) 및 제어 회로(201a)를 통하여 측정기 본체(100)의 A/D 변환 회로(102c)로부터 CPU(102a)에 입력되므로, CPU(102a)에서는, 플레이트 본체(201B)의 전위가 ＋1000[V]로부터 +100[V]로, 또는 －1000[V]로부터 －100[V]로 감쇠할 때까지의 시간을 내장된 타이머에 의해 측정한다.

그리고, 이 감쇠 측정 모드에서는, 이오나이저로부터 마이너스 이온만을 발생시켜 플레이트 본체(201B)의 전위가 ＋1000[V]로부터 ＋100[V]로 감쇠할 때까지의 시간, 또는 플러스 이온만을 발생시켜 －1000[V]로부터 －100[V]로 감쇠할 때까지의 시간을 각각 측정한다.

또한, 각각의 측정 플레이트(201)[플레이트 본체(201B)]의 측정 데이터는, 메모리(201f) 내의 어드레스가 부여되어 CPU(102a)에 보내진다.

CPU(102a)에서는, 측정한 감쇠 시간을 표시 회로(102f) 및 표시부(101)를 통하여 디지털 표시한다. 표시 형식으로서는, 예를 들면, 플러스 전압 인가 시의 감쇠 시간을 「＋1.2[s]」, 마이너스 전압 인가 시의 감쇠 시간을 「－2.0[s]」로 하도록 표시하면 된다.

상기 동작은, 어드레스가 상이한 다른 측정 플레이트(202, 203)에 대해서도 마찬가지이며, CPU(102a)에서는, 측정한 각각의 측정 플레이트(201, 202, 203)의 감쇠 시간을 판별하여 동시에 표시하는 것이 가능하다.

이 감쇠 측정 모드에 의해 측정한 감쇠 시간에 의해, 이오나이저로부터의 이온 발생량, 바꾸어 말하면 제전 성능을 측정할 수 있으므로, 그 결과에 따라 이오나이저에 대한 인가 전압의 제어나 이미터의 청소를 촉구하는 경보 등을 행할 수 있고, 이들 제어 신호나 경보 신호의 전송에는 적외선 유닛(102d)을 사용할 수 있다.

또한, 측정기 본체(100)로부터 이온 밸런스 측정 모드의 측정 지령이 측정 플레이트(201) 측으로 보내졌을 경우, 플레이트 제어부(201A)에서는 플러스 전압 발생 회로(201b), 마이너스 전압 발생 회로(201c)를 동작시키지 않고 플레이트 본체(201B)의 전위를 측정하여, 어드레스를 부가하여 측정기 본체(100)의 CPU(102a)에 보낸다. 이 때, 이오나이저로부터는 플러스/마이너스의 이온을 발생하게 한다.

CPU(102a)에서는, 보내져 온 전위의 극성 및 크기를 검출함으로써 플러스/마이너스 이온량의 밸런스 상태를 검출할 수 있으므로, 표시부(101)에 의해, 플러스/마이너스 이온량이 밸런스를 이루고 있을 때는, 「±0[V]」, 언밸런스 시에는 「＋3[V]」, 「?7[V]」 등의 표시를 행하게 할 수 있다.

다음에, 도 6은 제2 실시예의 상세한 구성도이며, 도 6의 (a)는 측정기 본체(100)의 구성을, 도 6의 (b)는 측정 플레이트(201)의 구성을 나타내고 있다. 이 제2 실시예는, 측정기 본체(100)에 대하여 측정 플레이트(201, 202, 203)가 직렬로 접속되는 점을 제외하면, 구성 상, 제1 실시예와 동일하다.

상기 제2 실시예의 동작은, 기본적으로 제1 실시예와 동일하지만, 직렬로 접속된 측정 플레이트(201, 202, 203)의 각각의 측정 데이터(플레이트 본체의 전위)에 각각 어드레스를 부가하고, 측정기 본체(100)에 직접 접속되어 있는 측정 플레이트(201)의 제어 회로(201a)에 있어서 각각의 측정 데이터를 일괄하여 CPU(102a)에 송출하는 등의 수순이 필요하다.

그리고, 도 3에 나타낸 제3 실시예에 대해서도, 기본적으로 도 5 또는 도 6의 구성을 적용할 수 있고, 직렬 및 병렬로 접속된 다수 대의 측정 플레이트의 각 어드레스를 CPU(102a) 및 제어 회로(201a)에 의해 관리하면 된다.

또한, 도 7은 제4 실시예의 상세한 구성도이며, 도 7의 (a)는 측정기 본체(150)의 구성을, 도 7의 (b)는 측정 플레이트(201)의 구성을 나타내고 있다.

도 7의 (a)에 나타낸 측정기 본체(150)에 있어서, CPU(102a)에는 무선 처리 회로(102h)가 접속되고, 이 무선 처리 회로(102h)에는 안테나(102i)가 접속되어 있ㅇ어, 측정 플레이트(201, 202, 203)와의 사이에서 제어 신호나 측정 데이터를 디지털 신호에 의해 무선 통신 가능하게 구성되어 있다. 이 무선 통신 방식으로서는, 소전력 무선 통신, Bluetooth(등록상표), 스펙트럼 확산 통신 등, 주지의 통신 방식을 이용할 수 있다.

도 7의 (b)에 나타낸 측정 플레이트(201)에서는, 플레이트 제어부(201C)에 무선 처리 회로(201g) 및 안테나(201h)가 형성되어 있어, 전술한 측정기 본체(150)와의 사이의 무선 통신에 사용된다.

상기 제4 실시예의 동작은, 측정기 본체(150) 측과 측정 플레이트(201, 202, 203)와의 사이의 통신 수단이 무선 통신 수단인 점 이외에는 제1 실시예와 마찬가지이지만, 제4 실시예에 따르면, 측정기 본체(150) 측과 측정 플레이트(201, 202, 203)와의 사이의 배선의 번거로움이 없고, 또한 이들의 설치 장소에 제약이 없는 등의 장점이 있다.

이어서, 도 8, 도 9는 본 발명의 실시예(예를 들면, 제3 실시예 또는 제4 실시예)의 사용 상태를 나타낸 도면이며, 도 8은 평면도에, 도 9는 측면도에 상당한다.

도 8에 있어서, G는 이오나이저(300)의 제전 대상물인 액정 디스플레이 등의 기판을 나타내고, 이 기판 G에 대해서 도시한 바와 같은 위치 관계로 배치되는 3대의 이오나이저(300)의 성능 평가를, 전술한 각각의 실시예의 챠지 플레이트 모니터를 사용하여 실시하는 경우를 상정(想定)하고 있다.

도 8에서는, 3대의 측정 플레이트(201, 202, 203)의 직렬 접속 회로를 측정기 본체에 대하여 3개를 병렬로 접속함으로써, 전체로 9대의 측정 플레이트를 채널1~채널9에 할당하고 있고, 이 채널 번호를 각각의 측정 플레이트의 프레임 내에 부여하고 있다.

도 8, 도 9에 나타낸 바와 같이, 기판 G에 대응하여 배치되는 이오나이저(300)의 길이 방향의 위치로부터 복수 개의 채널을 설정하고, 이들 채널에 측정 플레이트를 각각 대응시켜 제전 시간이나 이온 밸런스를 측정함으로써, 복수 대의 이오나이저(300)의 성능 평가를 효율적으로 행할 수 있다.

도 10~도 13은 본 발명의 실시예에 의한 측정 결과의 표시예를 나타낸 도면이다.

도 10은 도 9에 나타낸 각 채널 CH1~CH9에 대하여, 감쇠 측정 모드에 의한 플러스 전압의 감쇠 시간(＋t), 마이너스 전압의 감쇠 시간(－t) 및 이온 밸런스를 모아서 표시한 예이며, 상기 센서부(102g)에 의해 검출한 주위 환경 조건도 병행하여 표시하고 있다.

표시 방법으로서는, 감쇠 시간(＋t), (－t) 및 이온 밸런스의 수치가, 요주의에 상당하는 제1 설정값을 넘었을 경우에 수치를 등색(橙色)으로 표시하고, 이 제1 설정값보다 큰 제2 설정값을 넘었을 경우에는 수치를 적색에 의해 표시하여 경고하는 등의 방법을 생각할 수 있다.

그리고, 이들 측정 결과는 측정기 본체에 기억되어 있고, 필요에 따라 상위의 감시 시스템에 전송하거나, 외부의 PC로부터 유선 또는 무선 통신에 의해 판독하도록 구성하는 것도 가능하다.

도 11은 도 10과 같은 측정 데이터를, 각 채널 CH1~CH9의 위치에 대응시켜 이차원적으로 표시한 예이다.

또한, 도 12, 도 13은 각 채널에서의 이온 밸런스 상태를 그래프로 하여 표시한 예이며, 도 12는 복수 개 채널을 모아서 표시한 경우, 도 13은 각 채널을 개별적으로 표시한 예이다. 그리고, 가로축은 각각의 측정 플레이트(플레이트 본체) 상의 위치, 세로축은 플러스/마이너스의 전위이다. 각 그래프의 특성선은, 채널마다 표시색이나 선의 종류를 바꾸는 것을 생각할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 각각의 실시예에, 1대의 측정기 본체에 대하여 필요 테이블수의 측정 플레이트를 접속함으로써, 1대의 챠지 플레이트 모니터를 사용하여 장척의 이오나이저의 제전 성능, 이온 밸런스 성능을 평가할 수 있다.

100, 150: 측정기 본체
101: 표시부
102a: CPU
102b: 플레이트 제어 회로
102c: A/D 변환 회로
102d: 적외선 유닛
102e: 입력부
102f: 표시 회로
102g: 센서부
102h: 무선 처리 회로
102i: 안테나
201, 202, 203: 측정 플레이트
201A, 201C: 플레이트 제어부
201B: 플레이트 본체
201a: 제어 회로
201b: 플러스 전압 발생 회로
201c: 마이너스 전압 발생 회로
201d: 센서 구동 회로
201e: 정전기 센서
201f: 메모리
201g: 무선 처리 회로
201h: 안테나
300: 이오나이저
301: 이미터
G: 기판

Claims

이오나이저(ionizer)에 의해 생성되는 플러스/마이너스의 이온을 측정 플레이트에 의해 검출하고, 상기 이오나이저의 제전(除電) 성능 및 플러스/마이너스의 이온의 이온 밸런스 성능을 평가하는 챠지 플레이트 모니터(charge plate monitor)로서, 소정 전압이 미리 인가된 상기 측정 플레이트의 전위가 상기 이온에 의해 소정값까지 감쇠(減衰)하는 감쇠 시간을 측정하는 기능과, 상기 측정 플레이트의 전위에 기초하여 이온 밸런스를 측정하는 기능을, 1대의 측정기 본체에 구비하여 이루어지는 챠지 플레이트 모니터에 있어서,
상기 측정 플레이트를, 평가 대상인 상기 이오나이저의 길이에 따라서 복수 대 구비하고, 이들 측정 플레이트를, 상기 측정기 본체에 대하여 병렬 또는 직렬로 접속한, 챠지 플레이트 모니터.
제1항에 있어서,
상기 측정기 본체는, 복수 대의 상기 측정 플레이트에서의 상기 감쇠 시간 및 이온 밸런스의 측정 결과를 각각 표시하는 표시부를 구비한, 챠지 플레이트 모니터.
제1항 또는 제2항에 있어서,
복수 대의 상기 측정 플레이트에 각각 어드레스를 설정해 두고, 상기 측정기 본체는, 상기 어드레스에 따라 각각의 측정 플레이트에 의한 측정 데이터를 처리하는, 챠지 플레이트 모니터.