KR102122268B1 - 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템 및 그 방법 - Google Patents

위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템 및 그 방법 Download PDF

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    • H05F—STATIC ELECTRICITY; NATURALLY-OCCURRING ELECTRICITY
    • H05F3/00—Carrying-off electrostatic charges
    • H05F3/06—Carrying-off electrostatic charges by means of ionising radiation

Abstract

본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법은 (a) 제어단말부가 디스플레이를 통해 표시되는 설정 창을 통해 입력되는 시스템 설정을 수신하는 단계; (b) 상기 제어단말부가 전압 발생 신호와 전압 측정 신호를 생성하여 자동전압조정기에 송신하는 단계; (c) 상기 자동전압조정기가 상기 전압 측정 신호와 전압 발생 신호를 각각 대상시설물이 설치된 공간에 함께 상이한 위치에 설치된 복수의 전압측정기와 복수의 전압발생기에 전달하여 전압 측정 데이터를 수신하는 단계; (d) 상기 제어단말부가 상기 자동전압조정기로부터 전압 측정 데이터와 함께 수신한 시간정보를 이용하여 감쇠시간을 산출하는 단계; (e) 상기 제어단말부가 상기 (d)단계에서 산출된 산출 감쇠시간을 상기 (a)단계에서 설정한 기준 감쇠시간과 크기를 비교하는 단계; 및 (f) 상기 제어단말부가 상기 산출 감쇠시간이 상기 기준 감쇠시간보다 큰경우(느린 경우) 이오나이저의 출력을 제어하는 단계;를 포함하여 반도체 제조공정이나 기타의 전자·전기기기 제조공정에서 정전기로 인해 발생하는 제품의 불량률을 현저하게 줄일 수 있는 효과가 있다.

Description

위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템 및 그 방법{SYSTEM FOR PREVENTING STATIC ELECTRICITY GENERATION THROUGH EACH LOCATION DECAY TIME MEASUREMENT AND THE METHOD THEREOF}
본 발명은 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 반도체 공정 내의 정전기 발생을 억제하기 위해 전압을 인가하고 측정하여 전압변화량에 따라 이오나이저로부터 발생한 이온이 반도체 제조공정 시설인 대상물까지 정확한 시간 내에 도달하는지 측정하고, 시간 내에 도달하지 못할 경우 이오나이저 팬(FAN)의 힘을 증가시키거나 또는 이온의 값을 증가시킴으로써 설정된 감쇠시간 내에 전압변화가 일어나도록 함으로써 반도체 제조공정 시설에서 양산되는 제품의 불량을 예방하기 위한 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템에 관한 것이다.
정전기 발생으로 제품의 불량률 높아질 수 있는 반도체 공정 또는 각종 제조 공정에서의 정전기 발생을 예방하기 위해 이오나이저가 이온을 발생시켜 반도체 제조공정 시설인 대상물에 해당 이온을 살포 시켜왔다.
하지만, 상술한 종래의 방식은 디스플레이, 반도체, 필름인쇄, 화학 및 나노 공정 등의 생산라인 등에 널리 사용되고는 있지만, 감쇠시간(decay time) 측정 없이 단순히 해당 위치에 이온만을 살포함으로써 습도, 온도 및 기타 요인으로 인해 달라질 수 있는 정전기 발생률을 명확하게 파악할 수 없다는 문제점이 있다.
또한, 상술한 종래의 방식은 습도, 온도 및 기타 요인으로 인해 달라질 수 있는 정전기 발생률을 명확하게 파악할 수 없는 문제점으로 인해 이오나이저를 실시간으로 제어하지못하고 계속 동일한 세기로 켜놓아야 하기 때문에 전력이 소비되는 문제점이 있다.
대한민국 등록특허공보 제10-1622320호(2016.05.12)
상술한 문제점을 해결하기 위해 본 발명은 반도체 공정 내의 정전기 발생을 억제하기 위해 전압을 인가하고 측정하여 전압변화량에 따라 이오나이저로부터 발생한 이온이 반도체 제조공정 시설인 대상물까지 정확한 시간 내에 도달하는지 측정하고, 시간 내에 도달하지 못할 경우 이오나이저 팬(FAN)의 힘을 증가시키거나 또는 이온의 값을 증가시킴으로써 설정된 감쇠시간 내에 전압변화가 일어나도록 함으로써 반도체 제조공정 시설에서 양산되는 제품의 불량을 예방하기 위한 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템의 제공을 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법은 (a) 제어단말부가 디스플레이를 통해 표시되는 설정 창을 통해 입력되는 시스템 설정을 수신하는 단계; (b) 상기 제어단말부가 전압 발생 신호와 전압 측정 신호를 생성하여 자동전압조정기에 송신하는 단계; (c) 상기 자동전압조정기가 상기 전압 측정 신호와 전압 발생 신호를 각각 대상시설물이 설치된 공간에 함께 상이한 위치에 설치된 복수의 전압측정기와 복수의 전압발생기에 전달하여 전압 측정 데이터를 수신하는 단계; (d) 상기 제어단말부가 상기 자동전압조정기로부터 전압 측정 데이터와 함께 수신한 시간정보를 이용하여 감쇠시간을 산출하는 단계; (e) 상기 제어단말부가 상기 (d)단계에서 산출된 산출 감쇠시간을 상기 (a)단계에서 설정한 기준 감쇠시간과 크기를 비교하는 단계; 및 (f) 상기 제어단말부가 상기 산출 감쇠시간이 상기 기준 감쇠시간보다 큰경우(느린 경우) 이오나이저의 출력을 제어하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게 상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법의 (a)단계에서 상기 제어단말부는 복수의 상기 전압측정기 마다의 통신포트와 통신속도를 설정, 목표전압, 기준전압, 기준 감쇠시간을 설정, 및 감쇠시간 측정예약(날짜, 시간, 분, 초)을 설정신호를 수신하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게 상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법의 (c)단계는 (c-1) 상기 자동전압조정기가 수신한 상기 전압 측정 신호를 상기 전압측정기에 전달하여 측정된 현재전압을 수신하는 단계; (c-2) 상기 자동전압조정기가 상기 현재전압에서 설정된 상기 목표전압만큼 전압을 높이기 위해, 상기 전압 발생 신호를 상기 전압발생기에 전달하는 단계; (c-3) 상기 전압발생기가 상기 대상시설물이 설치된 공간이 목표전압에 진입할 때까지 전압을 발생시키는 단계; 및 (c-4) 상기 목표전압만큼 전압이 상승한 경우, 상기 자동전압조정기가 상기 전압발생기의 구동을 정지시키고 목표전압에서 기준전압에 도달할 때까지 전압의 변화량을 측정하는 단계; 및 (c-5) 상기 자동전압조정기가 전압 측정 데이터와 함께 상기 목표전압에 도달한 시간, 및 상기 기준전압에 도달한 시간 데이터를 상기 제어단말부에 전달하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법의 (e)단계에서 상기 제어단말부가 상기 산출 감쇠시간과 상기 기준 감쇠시간의 크기를 비교 결과, 상기 산출 감쇠시간이 상기 기준 감쇠시간보다 작은 경우(빠른 경우), 상기 (a)단계에서 설정한 감쇠시간 측정예약(날짜, 시간, 분, 초)에 맞춰 상기 (b)단계 이후의 단계를 반복수행하는 것을 특징으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법은 제어단말부가 복수 개중 어느 하나의 상기 전압측정기에서 측정한 상기 목표전압에 진입할 때 시간과 상기 기준전압에 도달한 시간의 차인 산출 감쇠시간이 상기 (e)단계에서 기준 감쇠시간보다 빠르지 않을 경우 상기 (f)단계를 수행하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템은 전압발생기로 소정볼트의 전압을 발생시키고, 이온발생기를 동작시켜 감쇠시간(decay time) 내에 기준볼트까지 떨어지는지 시간을 측정하여 이온발생기의 팬 구동력 또는 이온의 발생량을 증가시키는 제어를 통해 정전기의 발생을 예방함으로써 관리함으로써, 반도체 제조공정이나 기타의 제조공정에서 정전기로 인해 발생하는 제품의 불량률을 현저하게 줄일 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템의 구성도 이다.
도 2는 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법의 흐름도이다.
도 3은 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법에서 시스템 세팅단계을 위한 화면창을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템의 자동전압조정기에서 측정된 측정데이터를 제어단말부에서 수신하는 단계의 흐름도 이다.
도 5는 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법에서 측정값을 실제값으로 보정하기 위한 보정테이블 도면이다.
도 6은 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템의 복수의 전압측정기 상태 및 설정 감쇠시간을 표시한 창을 도시한 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면을 참조하여 상세하게 설명하도록 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.
제1, 제2, A, B 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급될 때에는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
명세서 및 청구범위 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 포함한다고 할때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템의 구성도이다.
도 1에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템은 대상시설물(100), 자동전압조정기(AVR:Auto Voltage Regulator 200), 전압측정기(300), 전압발생기(400), 이오나이저(500), 및 제어단말부(600)를 포함한다.
상기 대상시설물(100)은 반도체 공정 내의 정전기 발생 가능성이 있는 장비 등에 해당하며, 정전기 발생으로 인해 제품의 불량이 발생한 가능성이 있는 제조장비에 해당한다.
상기 대상시설물(100)은 상술한 반도체 제조장비에만 한정되지 않고, 정전기 발생으로 인해 제조되는 제품에 불량을 발생시킬 수 있는 각종 전자기기 제조장비가 그 대상이 될 수 있다.
상기 자동전압조정기(200)는 상기 대상시설물(100)이 설치된 공간에 전압이 발생되도록 하고 실시간으로 전압 변화를 측정하도록 한다.
상기 전압측정기(300)는 빛 센서를 이용하여 전압을 측정하는 것으로 상기 대상시설물(100)이 위치한 주변에 설치되어 주변의 전압을 측정한다.
특히, 상기 전압측정기(300)는 복수 개가 상기 대상시설물(100) 주변의 상이한 위치 또는 높이에 설치되어 해당위치의 전압을 측정하는 것이 바람직하다.
한편, 상기 전압발생기(400)는 상술한 상기 전압측정기(300)와 같이 상기 대상시설물(100)이 위치한 주변에 설치되어 주변의 전압을 발생시킨다.
상기 전압발생기(400)도 상기 전압측정기(300)와 마찬가지로 복수 개가 상기 대상시설물(100) 주변의 상이한 위치 또는 높이에 설치되어 해당위치에서 전압을 발생시키는 것이 바람직하다.
상기 이오나이저(500)는 반도체 제조장비 등 각종 대상시설물(100)이 설치된 공간에 설치되어 상기 대상시설물이 양전하로 대전되어 있으면 음전하를 띤 음이온을 발생시켜 해당 공간을 중성화시키고, 반대로 상기 대상시설물이 음전하로 대전되어 있으면 양전하를 띤 양이온을 발생시켜 해당 공간을 중성화시킨다.
상기 제어단말부(600)는 데스탑 PC, 태블릿 PC, 휴대폰, 및 기타 모바일 단말기에 해당하는 기기로, 상기 자동전압조정기(200) 및 상기 이오나이저(500)와 연결되어 상기 자동전압조정기(200)에 전압발생신호를 생성하여 송신하고, 상기 전압측정기(300)를 통해 측정한 실시간 전압측정 데이터를 수신하여 발생전압에서 기준전압으로 하강할 때까지의 감쇠시간(Decay time)을 측정한다.
상기 제어단말부(600)는 측정 감쇠시간과 기준 감쇠시간을 비교하여 측정 감쇠시간이 기준 감쇠시간을 벗어나면, 상기 대상시설물(100) 주변에서 정전기가 일어날 가능성이 높아진 것으로 판단하여, 상기 이오나이저(500)의 출력이 높아지도록 제어한다.
상술한 바와 같은 구성을 갖는 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템에 의한 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법에 대해 설명한다.
상기 제어단말부(600)는 구비된 디스플레이를 통해 표시되는 설정 창을 통해 상이한 위치에 따른 상기 복수의 전압측정기(300)를 각각 상이한 설정 값으로 설정하는 입력을 수신하는 단계를 수행한다(S100).
상기 설정은 도 3에 도시된 바와 같이 상기 전압측정기(300) 마다의 통신포트와 속도를 지정하는 단계, 통신속도를 선택하는 단계, 기준전압과 기준 감쇠시간을 설정하는 단계, 감쇠시간 측정예약(날짜, 시간, 분, 초)단계, 목표전압 설정단계 등을 포함한다.
상기 제어단말부(600)는 자동전압조정기(200)에 전압 발생 신호와 전압 측정 신호를 생성하여 송신하는 단계를 수행한다(S200).
상기 자동전압조정기(200)는 상기 전압 측정 신호와 전압 발생 신호를 각각 상기 전압측정기(300)와 상기 전압발생기(400)에 전달하여 전압 측정 데이터를 수신하는 단계를 수행한다(S300).
도 4를 참조하여 전압 측정 데이터를 수신하는 상기 (S300) 단계에 대해 보다 구체적으로 설명한다.
상기 자동전압조정기(200)는 상기 전압 발생 신호와 전압 측정 신호를 수신하고, 상기 대상시설물(100)이 설치된 공간에 함께 설치된 전압측정기(300)에 전압 측정 신호를 전달하여 측정된 현재전압을 수신하는 단계를 수행한다(S310).
상기 자동전압조정기(200)는 상기 현재전압에서 목표전압(예를 들어±1,700V)만큼 전압을 높이기 위해, 상기 전압 발생 신호를 상기 전압발생기(400)에 전달하는 단계를 수행한다(320).
상기 전압발생기(400)는 상기 대상시설물(100)이 설치된 공간이 목표전압에 진입할 때까지 전압을 발생시키는 단계를 수행한다(S330).
상기 전압측정기(300)의 측정 결과 목표전압만큼 전압이 상승한 경우, 상기 자동전압조정기(200)는 상기 전압발생기(400)의 구동을 정지시키고 목표전압 도달 후, 하강하여 기준전압(예를 들어±30V)에 도달할 때까지 전압의 변화량을 측정하는 단계를 수행한다(S340).
이때, 상기 자동전압조정기(200)는 상기 전압측정기(300)에 의한 전압 변화량 측정시 상기 목표전압을 측정한 시간과 하강하여 기준전압에 도달한 시간을 함께 저장하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 자동전압조정기(200)는 상기 전압측정기(300)의 측정값과 실제 상기 전압발생기(400)에서 발생시킨 전압의 실제값과의 차이를 도 5에 도시된 바와 같이 보정테이블을 참고하여 보정하는 것이 바람직하다.
이후, 상기 자동전압조정기(200)는 상기 전압측정기(300)에 의한 전압 측정 데이터와 상승하여 목표전압에 도달한 시간과 하강하여 기준전압에 도달한 시간 데이터를 함께 상기 제어단말부(600)에 전달하는 단계를 수행한다(S350).
상기 제어단말부(600)는 상기 자동전압조정기(200)로부터 전압측정 데이터와 함께 수신한 시간정보를 이용하여 감쇠시간을 산출하는 단계를 수행한다(S400).
보다 구체적으로, 상기 전압발생기(400)의 구동에 따라 상기 대상시설물(100)이 설치된 공간이 목표전압에 진입할 때 시간을 TVH라고 하고, 하강하여 기준전압에 도달한 시간을 TVL라고 할 때, 상기 제어 단말부(600)는 감쇠시간(Decay Time)을 TVH와 TVL의 차로 산출한다.
또 다른 감쇠시간 산출방식은 상기 자동전압조정기(200)에 타이머가 형성되어, 목표전압에서 타이머를 활성화하고 기준전압에서 타이머를 정지시켜 타이머의 활성시간부터 정지시간까지 측정하여 감쇠시간(Decay Time)을 측정할 수도 있다.
상술한 목표전압과 기준전압은 상이한 위치에 설치된 복수의 전압측정기(300)와 복수의 상기 전압발생기(400) 각각에 대하여 설정 값에 따라 상이하게 독립적으로 적용되고, 상기 감쇠시간도 각각 독립적으로 산출된다.
한편, 상기 제어단말부(600)는 상기 (S400)단계에서 산출된 산출 감쇠시간을 상기 설정단계에서 설정한 기준 감쇠시간과 크기를 비교하는 단계를 수행한다(S500).
상기 (S500)단계에서 산출 감쇠시간이 기준 감쇠시간보다 느린 경우 산출 감쇠시간이 기준 감쇠시간을 앞서도록 상기 제어단말부(600)는 이오나이저 팬(FAN)의 힘을 증가시키거나 또는 이온의 값이 증가되도록 이오나이저를 제어하는 단계를 수행한다(S600).
상기 (S600)단계에서 산출 감쇠시간이 기준 감쇠시간보다 느린 경우(값이 큰경우) 적색경보를 표시창에 띄울 수도 있다.
상기 (S500)단계에서 산출 감쇠시간이 기준 감쇠시간보다 빠른 경우 상기 설정단계에서 설정된 일자의 시간에 상기 (S200)단계 이후의 단계를 반복수행한다.
한편, 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템에는 도 1에 도시된 바와 같이 복수의 전압측정기(300)와 전압발생기(400)가 구비되어 있고, 도 6에 도시된 바와 같이 각 센서에 대한 현재 상태와 감쇠시간이 설정되어 있다.
도 6에서 Sensor 1에 해당하는 상기 전압측정기(300)가 측정한 현재 값 1773에서 상기 타이머는 전위가 하강하여 1700전위에서 동작하고 800전위에서 정지하여 동작후 정지시까지 걸린 시간을 감쇠시간(0.11)로 표시하고 있다.
상기 제어단말부(600)는 복수의 전압측정기(300)와 전압발생기(400)를 관리하는 경우 복수의 전압측정기(300)와 전압발생기(400)에 대해 상기 (S100) 단계 및 상기 (S600)단계를 적용하고, 어느 하나의 전압측정기(300)에서 측정한 목표전압에 진입할 때 시간과 하강하여 기준전압에 도달한 시간의 차인 산출 감쇠시간이 상기 (S500)단계에서 기준 감쇠시간 보다 빠르지 않은 경우 상기 (S600)를 수행하는 것이 바람직하다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 사람이라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100 : 대상시설물
200 : 자동전압조정기(AVR:Auto Voltage Regulator)
300 : 전압측정기
400 : 전압발생기
500 : 이오나이저
600 : 제어단말부

Claims (5)

  1. (a) 제어단말부가 디스플레이를 통해 표시되는 설정 창을 통해 입력되는 시스템 설정을 수신하는 단계;
    (b) 상기 제어단말부가 전압 발생 신호와 전압 측정 신호를 생성하여 자동전압조정기에 송신하는 단계;
    (c) 상기 자동전압조정기가 상기 전압 측정 신호와 전압 발생 신호를 각각 대상시설물이 설치된 공간에 함께 상이한 위치에 설치된 복수의 전압측정기와 복수의 전압발생기에 전달하여 전압 측정 데이터를 수신하는 단계;
    (d) 상기 제어단말부가 상기 자동전압조정기로부터 전압 측정 데이터와 함께 수신한 시간정보를 이용하여 감쇠시간을 산출하는 단계;
    (e) 상기 제어단말부가 상기 (d)단계에서 산출된 산출 감쇠시간을 상기 (a)단계에서 설정한 기준 감쇠시간과 크기를 비교하는 단계; 및
    (f) 상기 제어단말부가 상기 산출 감쇠시간이 상기 기준 감쇠시간보다 큰경우(느린 경우) 이오나이저의 출력을 제어하는 단계;를 포함하고,
    상기 (a)단계에서
    상기 제어단말부는 복수의 상기 전압측정기 마다의 목표전압, 기준전압, 기준 감쇠시간 설정신호를 수신하고,
    상기 (c)단계는
    (c-1) 상기 자동전압조정기가 수신한 상기 전압 측정 신호를 상기 전압측정기에 전달하여 측정된 현재전압을 수신하는 단계;
    (c-2) 상기 자동전압조정기가 상기 현재전압에서 설정된 상기 목표전압만큼 전압을 높이기 위해, 상기 전압 발생 신호를 상기 전압발생기에 전달하는 단계;
    (c-3) 상기 전압발생기가 상기 대상시설물이 설치된 공간이 목표전압에 진입할 때까지 전압을 발생시키는 단계;
    (c-4) 상기 목표전압만큼 전압이 상승한 경우, 상기 자동전압조정기가 상기 전압발생기의 구동을 정지시키고 목표전압에서 기준전압에 도달할 때까지 전압의 변화량을 측정하는 단계; 및
    (c-5) 상기 자동전압조정기가 전압 측정 데이터와 함께 상기 목표전압에 도달한 시간, 및 상기 기준전압에 도달한 시간 데이터를 상기 제어단말부에 전달하는 단계;를 포함하는 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 (a)단계에서
    상기 제어단말부는
    복수의 상기 전압측정기 마다의 통신포트와 통신속도 설정, 및 감쇠시간 측정예약(날짜, 시간, 분, 초) 설정신호를 수신하는 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법.
  3. 삭제
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 (e)단계에서
    상기 제어단말부가
    상기 산출 감쇠시간과 상기 기준 감쇠시간의 크기를 비교 결과, 상기 산출 감쇠시간이 상기 기준 감쇠시간보다 작은 경우(빠른 경우), 상기 (a)단계에서 설정한 감쇠시간 측정예약(날짜, 시간, 분, 초)에 맞춰 상기 (b)단계 이후의 단계를 반복수행하는 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 제어단말부가
    복수 개중 어느 하나의 상기 전압측정기에서 측정한 상기 목표전압에 진입할 때 시간과 상기 기준전압에 도달한 시간의 차인 산출 감쇠시간이 상기 (e)단계에서 기준 감쇠시간보다 빠르지 않을 경우 상기 (f)단계를 수행하는 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100349514B1 (ko) * 1998-09-18 2002-08-21 일리노이즈 툴 워크스 인코포레이티드 저전압 모듈러 실내 이온화 시스템
KR20120049780A (ko) * 2010-11-09 2012-05-17 휴글엘렉트로닉스가부시키가이샤 챠지 플레이트 모니터
JP2012186148A (ja) * 2011-02-18 2012-09-27 Koganei Corp 除電装置および方法
KR101622320B1 (ko) 2014-06-16 2016-05-18 한국기초과학지원연구원 이온 빔 공급 장치 및 이를 포함하는 고진공 정전기 제거 시스템

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3859762B2 (ja) * 1996-04-18 2006-12-20 泰資 薩谷 気体における発生イオン密度の制御方法
JP4829503B2 (ja) * 2005-01-17 2011-12-07 株式会社Ｔｒｉｎｃ 除電器

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100349514B1 (ko) * 1998-09-18 2002-08-21 일리노이즈 툴 워크스 인코포레이티드 저전압 모듈러 실내 이온화 시스템
KR20120049780A (ko) * 2010-11-09 2012-05-17 휴글엘렉트로닉스가부시키가이샤 챠지 플레이트 모니터
JP2012186148A (ja) * 2011-02-18 2012-09-27 Koganei Corp 除電装置および方法
KR101622320B1 (ko) 2014-06-16 2016-05-18 한국기초과학지원연구원 이온 빔 공급 장치 및 이를 포함하는 고진공 정전기 제거 시스템

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