WO2020189995A1 - 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템 및 그 방법 - Google Patents

위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템 및 그 방법 Download PDF

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WO2020189995A1
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voltage
time
control terminal
attenuation time
static electricity
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Inventor
이지원
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주식회사 제이테피언스
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    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05F—STATIC ELECTRICITY; NATURALLY-OCCURRING ELECTRICITY
    • H05F3/00—Carrying-off electrostatic charges
    • H05F3/06—Carrying-off electrostatic charges by means of ionising radiation

Definitions

  • the present invention relates to a system for preventing the generation of static electricity by measuring attenuation time for each location, and more specifically, a voltage is applied and measured to suppress the generation of static electricity in a semiconductor process, and ions generated from the ionizer according to the amount of voltage change are manufactured in a semiconductor.
  • Semiconductor manufacturing by measuring whether it reaches the object, which is a process facility, within the correct time period, and if it does not reach within the time, by increasing the power of the ionizer fan (FAN) or increasing the value of ions so that the voltage change occurs within the set attenuation time. It relates to a static electricity prevention system by measuring attenuation time by location to prevent defects in mass-produced products in process facilities.
  • the ionizer In order to prevent the generation of static electricity in the process, the ionizer has generated ions and sprayed the ions onto the object, which is a semiconductor manufacturing process facility.
  • the above-described conventional method cannot control the ionizer in real time due to a problem in that it is not possible to clearly grasp the generation rate of static electricity, which may vary due to humidity, temperature, and other factors, so power is consumed because the ionizer must be continuously turned on at the same intensity. There is a problem.
  • Korean Patent Publication No. 10-1622320 name of the invention: an ion beam supply device and a high vacuum static electricity removal system including the same, announcement date: May 18, 2016).
  • a voltage is applied and measured to suppress the generation of static electricity in a semiconductor process, and according to the amount of voltage change, it is measured whether ions generated from the ionizer reach the object, which is a semiconductor manufacturing process facility, within the correct time period. If this is not possible, attenuation time for each location to prevent defects in mass-produced products in semiconductor manufacturing process facilities by increasing the power of the ionizer fan (FAN) or increasing the value of ions so that voltage changes occur within the set attenuation time. It aims to provide a static electricity prevention system through measurement.
  • a method for preventing static electricity generation through measurement of attenuation time for each location comprises: (a) receiving, by a control terminal, a system setting input through a setting window displayed through a display; (b) generating, by the control terminal, a voltage generation signal and a voltage measurement signal, and transmitting them to an automatic voltage regulator; (c) receiving, by the automatic voltage regulator, the voltage measurement signal and the voltage generation signal to a plurality of voltage meters and a plurality of voltage generators installed at different locations together in a space where the target facility is installed, respectively; (d) calculating, by the control terminal, a decay time using time information received together with voltage measurement data from the automatic voltage regulator; (e) comparing, by the control terminal, the calculated attenuation time calculated in step (d) with a reference attenuation time set in step (a); And (f) controlling, by the control terminal, an output of the ionizer when the calculated decay time is greater than the reference decay time (slower).
  • the control terminal sets communication ports and communication speeds for each of the plurality of voltage meters, and target voltage , A reference voltage, a reference decay time setting, and a decay time measurement reservation (date, hour, minute, second) setting signal.
  • step (c) of the method for preventing generation of static electricity by measuring the attenuation time for each location according to the present invention for achieving the above object is (c-1) the voltage measuring signal received by the automatic voltage regulator Receiving the measured current voltage by passing it to; (c-2) transmitting, by the automatic voltage regulator, the voltage generation signal to the voltage generator to increase the voltage by the target voltage set from the current voltage; (c-3) generating, by the voltage generator, a voltage until the space in which the target facility is installed reaches a target voltage; And (c-4) when the voltage rises by the target voltage, the automatic voltage regulator stopping driving of the voltage generator and measuring a change in voltage from the target voltage until the reference voltage is reached. And (c-5) transmitting, by the automatic voltage regulator, the time when the voltage measurement data reaches the target voltage, and the time data when the reference voltage is reached, to the control terminal. .
  • step (e) of the method for preventing static electricity generation by measuring the attenuation time for each location according to the present invention for achieving the above object the control terminal compares the calculated attenuation time with the reference attenuation time, If the calculated decay time is smaller than the reference decay time (if it is fast), repeat the steps after step (b) in accordance with the attenuation time measurement reservation (date, time, minute, second) set in step (a). Characterized in that.
  • the method for preventing static electricity by measuring the attenuation time for each position according to the present invention for achieving the above object is the time and the reference when the control terminal enters the target voltage measured by any one of a plurality of voltage meters.
  • the calculated decay time which is the difference between the time at which the voltage reaches the voltage, is not faster than the reference decay time in the step (e)
  • the step (f) is performed.
  • a voltage of a predetermined volt is generated by a voltage generator, and the time whether it falls to a reference volt within a decay time by operating the ion generator is measured, and the fan driving force of the ion generator or the amount of ions generated.
  • FIG. 1 is a block diagram of a system for preventing generation of static electricity by measuring attenuation time for each location according to the present invention.
  • FIG. 2 is a flow chart of a method for preventing static electricity generation by measuring a decay time for each location according to the present invention.
  • FIG. 3 is a view showing a screen window for a system setting step in the method of preventing static electricity generation by measuring a decay time for each location according to the present invention.
  • FIG. 4 is a flowchart of a step of receiving, at a control terminal, measurement data measured by an automatic voltage regulator of a static electricity generation prevention system through measurement of attenuation time for each location according to the present invention.
  • FIG. 5 is a diagram of a correction table for correcting a measured value to an actual value in the method for preventing static electricity generation through measurement of attenuation time for each location according to the present invention.
  • FIG. 6 is a view showing a window showing a state of a plurality of voltage meters and a set attenuation time of the static electricity generation prevention system through the measurement of attenuation time for each location according to the present invention.
  • FIG. 1 is a block diagram of a system for preventing generation of static electricity by measuring a decay time for each location according to the present invention.
  • the system for preventing static electricity by measuring the attenuation time for each location includes a target facility 100, an automatic voltage regulator 200, a voltage meter 300, and a voltage generator. 400), an ionizer 500, and a control terminal 600.
  • the target facility 100 corresponds to equipment that may generate static electricity in a semiconductor process, and corresponds to manufacturing equipment in which product defects may occur due to static electricity.
  • the target facility 100 is not limited to the above-described semiconductor manufacturing equipment, and various electronic device manufacturing equipment capable of causing defects in a product manufactured due to the generation of static electricity may be the target.
  • the automatic voltage regulator 200 allows voltage to be generated in the space where the target facility 100 is installed and measures the voltage change in real time.
  • the voltage meter 300 measures voltage using a light sensor, and is installed around the target facility 100 to measure the voltage around it.
  • a plurality of voltage measuring devices 300 are installed at different locations or heights around the target facility 100 to measure the voltage at the corresponding location.
  • the voltage generator 400 is installed around the target facility 100, like the voltage meter 300 described above, to generate a voltage around it.
  • the voltage generator 400 is preferably installed at different locations or heights around the target facility 100 to generate a voltage at that location.
  • the ionizer 500 is installed in a space in which various target facilities 100 such as semiconductor manufacturing equipment are installed, and when the target facility is charged with a positive charge, it generates negative ions to neutralize the space. Conversely, the target facility When negatively charged, positively charged cations are generated and the space is neutralized.
  • the control terminal 600 is a device corresponding to a desktop PC, a tablet PC, a mobile phone, and other mobile terminals, and is connected to the automatic voltage regulator 200 and the ionizer 500 so that the automatic voltage regulator 200 A voltage generation signal is generated and transmitted to, and real-time voltage measurement data measured through the voltage meter 300 is received, and a decay time from the generated voltage to a reference voltage is measured.
  • the control terminal unit 600 compares the measured attenuation time with the reference attenuation time, and determines that if the measured attenuation time exceeds the reference attenuation time, it is determined that the possibility of static electricity occurring around the target facility 100 is increased, and the ionizer Control to increase the output of 500.
  • the control terminal 600 performs a step of receiving an input for setting the plurality of voltage measuring devices 300 according to different positions to different set values through a setting window displayed through the equipped display (S100) .
  • the setting includes the steps of designating the communication port and speed for each voltage meter 300, selecting the communication speed, setting the reference voltage and the reference attenuation time, and scheduling attenuation time measurement ( Date, hour, minute, second) step, target voltage setting step, etc.
  • the control terminal 600 generates and transmits a voltage generation signal and a voltage measurement signal to the automatic voltage regulator 200 (S200).
  • the automatic voltage regulator 200 transmits the voltage measurement signal and the voltage generation signal to the voltage measurement device 300 and the voltage generator 400, respectively, to receive voltage measurement data (S300).
  • the step (S300) of receiving voltage measurement data will be described in more detail with reference to FIG. 4.
  • the automatic voltage regulator 200 receives the voltage generation signal and the voltage measurement signal, and transmits the voltage measurement signal to the voltage measuring device 300 installed together in the space where the target facility 100 is installed to receive the measured current voltage. Performing the step (S310).
  • the automatic voltage regulator 200 performs a step of transmitting the voltage generation signal to the voltage generator 400 in order to increase the voltage by the target voltage (for example, ⁇ 1,700V) from the current voltage (320).
  • the target voltage for example, ⁇ 1,700V
  • the voltage generator 400 performs a step of generating a voltage until the space in which the target facility 100 is installed reaches a target voltage (S330).
  • the automatic voltage regulator 200 stops driving the voltage generator 400, reaches the target voltage, and then lowers the reference voltage (for example, ⁇ 30V), the step of measuring a change in voltage is performed (S340).
  • the automatic voltage regulator 200 stores a time when the target voltage is measured and a time when the voltage change amount by the voltage meter 300 reaches the reference voltage by falling.
  • the automatic voltage regulator 200 determines the difference between the measured value of the voltage meter 300 and the actual value of the voltage actually generated by the voltage generator 400 by referring to the correction table as shown in FIG. It is desirable to correct.
  • the automatic voltage regulator 200 stores the voltage measurement data by the voltage measuring device 300 and the rising and falling time to reach the target voltage and the falling and falling time to the control terminal 600 together.
  • a step of transferring is performed (S350).
  • the control terminal 600 performs a step of calculating an attenuation time using time information received together with voltage measurement data from the automatic voltage regulator 200 (S400).
  • the control terminal unit 600 calculates a decay time as a difference between T VH and T VL .
  • Another decay time calculation method is that a timer is formed in the automatic voltage regulator 200, activates the timer at the target voltage, stops the timer at the reference voltage, and measures from the activation time to the stop time of the timer, and decay time. You can also measure.
  • the above-described target voltage and reference voltage are independently applied differently according to a set value for each of the plurality of voltage measuring devices 300 and the plurality of voltage generators 400 installed at different locations, and the attenuation time is also independently calculated. do.
  • control terminal 600 performs a step of comparing the calculated attenuation time calculated in step S400 with a reference attenuation time set in the setting step (S500).
  • the control terminal 600 increases the power of the ionizer fan (FAN) or the ion value so that the calculated decay time precedes the reference decay time.
  • a step of controlling the ionizer is performed to increase the value (S600).
  • step S600 If the decay time calculated in step S600 is slower than the reference decay time (if the value is large), a red alarm may be displayed on the display window.
  • the steps after the step (S200) are repeatedly performed at the time set in the setting step.
  • a plurality of voltage measuring devices 300 and a voltage generator 400 are provided as shown in FIG. 1, and as shown in FIG. The current state and attenuation time are set for each sensor.
  • the step (S100) and the (S600) for the plurality of voltage measuring devices 300 and the voltage generator 400 Step is applied and the calculated decay time, which is the difference between the time when the target voltage measured by any one of the voltage measuring devices 300 enters the target voltage and reaches the reference voltage by falling is not faster than the reference decay time in the step (S500).
  • the calculated decay time which is the difference between the time when the target voltage measured by any one of the voltage measuring devices 300 enters the target voltage and reaches the reference voltage by falling is not faster than the reference decay time in the step (S500).
  • the above (S600) is preferable to perform the above (S600).

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법은 (a) 제어단말부가 디스플레이를 통해 표시되는 설정 창을 통해 입력되는 시스템 설정을 수신하는 단계; (b) 상기 제어단말부가 전압 발생 신호와 전압 측정 신호를 생성하여 자동전압조정기에 송신하는 단계; (c) 상기 자동전압조정기가 상기 전압 측정 신호와 전압 발생 신호를 각각 대상시설물이 설치된 공간에 함께 상이한 위치에 설치된 복수의 전압측정기와 복수의 전압발생기에 전달하여 전압 측정 데이터를 수신하는 단계; (d) 상기 제어단말부가 상기 자동전압조정기로부터 전압 측정 데이터와 함께 수신한 시간정보를 이용하여 감쇠시간을 산출하는 단계; (e) 상기 제어단말부가 상기 (d)단계에서 산출된 산출 감쇠시간을 상기 (a)단계에서 설정한 기준 감쇠시간과 크기를 비교하는 단계; 및 (f) 상기 제어단말부가 상기 산출 감쇠시간이 상기 기준 감쇠시간보다 큰경우(느린 경우) 이오나이저의 출력을 제어하는 단계;를 포함하여 반도체 제조공정이나 기타의 전자·전기기기 제조공정에서 정전기로 인해 발생하는 제품의 불량률을 현저하게 줄일 수 있는 효과가 있다.

Description

위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템 및 그 방법
본 발명은 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 반도체 공정 내의 정전기 발생을 억제하기 위해 전압을 인가하고 측정하여 전압변화량에 따라 이오나이저로부터 발생한 이온이 반도체 제조공정 시설인 대상물까지 정확한 시간 내에 도달하는지 측정하고, 시간 내에 도달하지 못할 경우 이오나이저 팬(FAN)의 힘을 증가시키거나 또는 이온의 값을 증가시킴으로써 설정된 감쇠시간 내에 전압변화가 일어나도록 함으로써 반도체 제조공정 시설에서 양산되는 제품의 불량을 예방하기 위한 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템에 관한 것이다.
공정에서의 정전기 발생을 예방하기 위해 이오나이저가 이온을 발생시켜 반도체 제조공정 시설인 대상물에 해당 이온을 살포 시켜왔다.
하지만, 상술한 종래의 방식은 디스플레이, 반도체, 필름인쇄, 화학 및 나노 공정 등의 생산라인 등에 널리 사용되고는 있지만, 감쇠시간(decay time) 측정 없이 단순히 해당 위치에 이온만을 살포함으로써 습도, 온도 및 기타 요인으로 인해 달라질 수 있는 정전기 발생률을 명확하게 파악할 수 없다는 문제점이 있다.
또한, 상술한 종래의 방식은 습도, 온도 및 기타 요인으로 인해 달라질 수 있는 정전기 발생률을 명확하게 파악할 수 없는 문제점으로 인해 이오나이저를 실시간으로 제어하지 못하고 계속 동일한 세기로 켜놓아야 하기 때문에 전력이 소비되는 문제점이 있다.
관련 선행기술로는, 대한민국 등록특허공보 제10-1622320호(발명의 명칭: 이온 빔 공급 장치 및 이를 포함하는 고진공 정전기 제거 시스템, 공고일자: 2016년 5월 18일)가 있다.
본 발명의 일 실시예는 반도체 공정 내의 정전기 발생을 억제하기 위해 전압을 인가하고 측정하여 전압변화량에 따라 이오나이저로부터 발생한 이온이 반도체 제조공정 시설인 대상물까지 정확한 시간 내에 도달하는지 측정하고, 시간 내에 도달하지 못할 경우 이오나이저 팬(FAN)의 힘을 증가시키거나 또는 이온의 값을 증가시킴으로써 설정된 감쇠시간 내에 전압변화가 일어나도록 함으로써 반도체 제조공정 시설에서 양산되는 제품의 불량을 예방하기 위한 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템의 제공을 목적으로 한다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제(들)로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제(들)은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법은 (a) 제어단말부가 디스플레이를 통해 표시되는 설정 창을 통해 입력되는 시스템 설정을 수신하는 단계; (b) 상기 제어단말부가 전압 발생 신호와 전압 측정 신호를 생성하여 자동전압조정기에 송신하는 단계; (c) 상기 자동전압조정기가 상기 전압 측정 신호와 전압 발생 신호를 각각 대상시설물이 설치된 공간에 함께 상이한 위치에 설치된 복수의 전압측정기와 복수의 전압발생기에 전달하여 전압 측정 데이터를 수신하는 단계; (d) 상기 제어단말부가 상기 자동전압조정기로부터 전압 측정 데이터와 함께 수신한 시간정보를 이용하여 감쇠시간을 산출하는 단계; (e) 상기 제어단말부가 상기 (d)단계에서 산출된 산출 감쇠시간을 상기 (a)단계에서 설정한 기준 감쇠시간과 크기를 비교하는 단계; 및 (f) 상기 제어단말부가 상기 산출 감쇠시간이 상기 기준 감쇠시간보다 큰경우(느린 경우) 이오나이저의 출력을 제어하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게 상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법의 (a)단계에서 상기 제어단말부는 복수의 상기 전압측정기 마다의 통신포트와 통신속도 설정, 목표전압, 기준전압, 기준 감쇠시간 설정, 및 감쇠시간 측정예약(날짜, 시간, 분, 초) 설정신호를 수신하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게 상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법의 (c)단계는 (c-1) 상기 자동전압조정기가 수신한 상기 전압 측정 신호를 상기 전압측정기에 전달하여 측정된 현재전압을 수신하는 단계; (c-2) 상기 자동전압조정기가 상기 현재전압에서 설정된 상기 목표전압만큼 전압을 높이기 위해, 상기 전압 발생 신호를 상기 전압발생기에 전달하는 단계; (c-3) 상기 전압발생기가 상기 대상시설물이 설치된 공간이 목표전압에 진입할 때까지 전압을 발생시키는 단계; 및 (c-4) 상기 목표전압만큼 전압이 상승한 경우, 상기 자동전압조정기가 상기 전압발생기의 구동을 정지시키고 목표전압에서 기준전압에 도달할 때까지 전압의 변화량을 측정하는 단계; 및 (c-5) 상기 자동전압조정기가 전압 측정 데이터와 함께 상기 목표전압에 도달한 시간, 및 상기 기준전압에 도달한 시간 데이터를 상기 제어단말부에 전달하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게 상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법의 (e)단계에서 상기 제어단말부가 상기 산출 감쇠시간과 상기 기준 감쇠시간의 크기를 비교 결과, 상기 산출 감쇠시간이 상기 기준 감쇠시간보다 작은 경우(빠른 경우), 상기 (a)단계에서 설정한 감쇠시간 측정예약(날짜, 시간, 분, 초)에 맞춰 상기 (b)단계 이후의 단계를 반복수행하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게 상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법은 제어단말부가 복수 개중 어느 하나의 상기 전압측정기에서 측정한 상기 목표전압에 진입할 때 시간과 상기 기준전압에 도달한 시간의 차인 산출 감쇠시간이 상기 (e)단계에서 기준 감쇠시간보다 빠르지 않을 경우 상기 (f)단계를 수행하는 것을 특징으로 한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 첨부 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 전압발생기로 소정볼트의 전압을 발생시키고, 이온발생기를 동작시켜 감쇠시간(decay time) 내에 기준볼트까지 떨어지는지 시간을 측정하여 이온발생기의 팬 구동력 또는 이온의 발생량을 증가시키는 제어를 통해 정전기의 발생을 예방함으로써 관리함으로써, 반도체 제조공정이나 기타의 제조공정에서 정전기로 인해 발생하는 제품의 불량률을 현저하게 줄일 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템의 구성도 이다.
도 2는 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법의 흐름도이다.
도 3은 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법에서 시스템 세팅단계을 위한 화면창을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템의 자동전압조정기에서 측정된 측정데이터를 제어단말부에서 수신하는 단계의 흐름도 이다.
도 5는 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법에서 측정값을 실제값으로 보정하기 위한 보정테이블 도면이다.
도 6은 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템의 복수의 전압측정기 상태 및 설정 감쇠시간을 표시한 창을 도시한 도면이다.
*도면 중 주요 부호에 대한 설명
100 : 대상시설물
200 : 자동전압조정기(AVR:Auto Voltage Regulator)
300 : 전압측정기
400 : 전압발생기
500 : 이오나이저
600 : 제어단말부
본 발명의 이점 및/또는 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템의 구성도이다.
도 1에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템은 대상시설물(100), 자동전압조정기(AVR:Auto Voltage Regulator 200), 전압측정기(300), 전압발생기(400), 이오나이저(500), 및 제어단말부(600)를 포함한다.
상기 대상시설물(100)은 반도체 공정 내의 정전기 발생 가능성이 있는 장비 등에 해당하며, 정전기 발생으로 인해 제품의 불량이 발생한 가능성이 있는 제조장비에 해당한다.
상기 대상시설물(100)은 상술한 반도체 제조장비에만 한정되지 않고, 정전기 발생으로 인해 제조되는 제품에 불량을 발생시킬 수 있는 각종 전자기기 제조장비가 그 대상이 될 수 있다.
상기 자동전압조정기(200)는 상기 대상시설물(100)이 설치된 공간에 전압이 발생되도록 하고 실시간으로 전압 변화를 측정하도록 한다.
상기 전압측정기(300)는 빛 센서를 이용하여 전압을 측정하는 것으로 상기 대상시설물(100)이 위치한 주변에 설치되어 주변의 전압을 측정한다.
특히, 상기 전압측정기(300)는 복수 개가 상기 대상시설물(100) 주변의 상이한 위치 또는 높이에 설치되어 해당위치의 전압을 측정하는 것이 바람직하다.
한편, 상기 전압발생기(400)는 상술한 상기 전압측정기(300)와 같이 상기 대상시설물(100)이 위치한 주변에 설치되어 주변의 전압을 발생시킨다.
상기 전압발생기(400)도 상기 전압측정기(300)와 마찬가지로 복수 개가 상기 대상시설물(100) 주변의 상이한 위치 또는 높이에 설치되어 해당위치에서 전압을 발생시키는 것이 바람직하다.
상기 이오나이저(500)는 반도체 제조장비 등 각종 대상시설물(100)이 설치된 공간에 설치되어 상기 대상시설물이 양전하로 대전되어 있으면 음전하를 띤 음이온을 발생시켜 해당 공간을 중성화시키고, 반대로 상기 대상시설물이 음전하로 대전되어 있으면 양전하를 띤 양이온을 발생시켜 해당 공간을 중성화시킨다.
상기 제어단말부(600)는 데스탑 PC, 태블릿 PC, 휴대폰, 및 기타 모바일 단말기에 해당하는 기기로, 상기 자동전압조정기(200) 및 상기 이오나이저(500)와 연결되어 상기 자동전압조정기(200)에 전압발생신호를 생성하여 송신하고, 상기 전압측정기(300)를 통해 측정한 실시간 전압측정 데이터를 수신하여 발생전압에서 기준전압으로 하강할 때까지의 감쇠시간(Decay time)을 측정한다.
상기 제어단말부(600)는 측정 감쇠시간과 기준 감쇠시간을 비교하여 측정 감쇠시간이 기준 감쇠시간을 벗어나면, 상기 대상시설물(100) 주변에서 정전기가 일어날 가능성이 높아진 것으로 판단하여, 상기 이오나이저(500)의 출력이 높아지도록 제어한다.
상술한 바와 같은 구성을 갖는 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템에 의한 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법에 대해 설명한다.
상기 제어단말부(600)는 구비된 디스플레이를 통해 표시되는 설정 창을 통해 상이한 위치에 따른 상기 복수의 전압측정기(300)를 각각 상이한 설정 값으로 설정하는 입력을 수신하는 단계를 수행한다(S100).
상기 설정은 도 3에 도시된 바와 같이 상기 전압측정기(300) 마다의 통신포트와 속도를 지정하는 단계, 통신속도를 선택하는 단계, 기준전압과 기준 감쇠시간을 설정하는 단계, 감쇠시간 측정예약(날짜, 시간, 분, 초)단계, 목표전압 설정단계 등을 포함한다.
상기 제어단말부(600)는 자동전압조정기(200)에 전압 발생 신호와 전압 측정 신호를 생성하여 송신하는 단계를 수행한다(S200).
상기 자동전압조정기(200)는 상기 전압 측정 신호와 전압 발생 신호를 각각 상기 전압측정기(300)와 상기 전압발생기(400)에 전달하여 전압 측정 데이터를 수신하는 단계를 수행한다(S300).
도 4를 참조하여 전압 측정 데이터를 수신하는 상기 (S300) 단계에 대해 보다 구체적으로 설명한다.
상기 자동전압조정기(200)는 상기 전압 발생 신호와 전압 측정 신호를 수신하고, 상기 대상시설물(100)이 설치된 공간에 함께 설치된 전압측정기(300)에 전압 측정 신호를 전달하여 측정된 현재전압을 수신하는 단계를 수행한다(S310).
상기 자동전압조정기(200)는 상기 현재전압에서 목표전압(예를 들어±1,700V)만큼 전압을 높이기 위해, 상기 전압 발생 신호를 상기 전압발생기(400)에 전달하는 단계를 수행한다(320).
상기 전압발생기(400)는 상기 대상시설물(100)이 설치된 공간이 목표전압에 진입할 때까지 전압을 발생시키는 단계를 수행한다(S330).
상기 전압측정기(300)의 측정 결과 목표전압만큼 전압이 상승한 경우, 상기 자동전압조정기(200)는 상기 전압발생기(400)의 구동을 정지시키고 목표전압 도달 후, 하강하여 기준전압(예를 들어±30V)에 도달할 때까지 전압의 변화량을 측정하는 단계를 수행한다(S340).
이때, 상기 자동전압조정기(200)는 상기 전압측정기(300)에 의한 전압 변화량 측정시 상기 목표전압을 측정한 시간과 하강하여 기준전압에 도달한 시간을 함께 저장하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 자동전압조정기(200)는 상기 전압측정기(300)의 측정값과 실제 상기 전압발생기(400)에서 발생시킨 전압의 실제값과의 차이를 도 5에 도시된 바와 같이 보정테이블을 참고하여 보정하는 것이 바람직하다.
이후, 상기 자동전압조정기(200)는 상기 전압측정기(300)에 의한 전압 측정 데이터와 상승하여 목표전압에 도달한 시간과 하강하여 기준전압에 도달한 시간 데이터를 함께 상기 제어단말부(600)에 전달하는 단계를 수행한다(S350).
상기 제어단말부(600)는 상기 자동전압조정기(200)로부터 전압측정 데이터와 함께 수신한 시간정보를 이용하여 감쇠시간을 산출하는 단계를 수행한다(S400).
보다 구체적으로, 상기 전압발생기(400)의 구동에 따라 상기 대상시설물(100)이 설치된 공간이 목표전압에 진입할 때 시간을 T VH라고 하고, 하강하여 기준전압에 도달한 시간을 T VL라고 할 때, 상기 제어 단말부(600)는 감쇠시간(Decay Time)을 T VH와 T VL의 차로 산출한다.
또 다른 감쇠시간 산출방식은 상기 자동전압조정기(200)에 타이머가 형성되어, 목표전압에서 타이머를 활성화하고 기준전압에서 타이머를 정지시켜 타이머의 활성시간부터 정지시간까지 측정하여 감쇠시간(Decay Time)을 측정할 수도 있다.
상술한 목표전압과 기준전압은 상이한 위치에 설치된 복수의 전압측정기(300)와 복수의 상기 전압발생기(400) 각각에 대하여 설정 값에 따라 상이하게 독립적으로 적용되고, 상기 감쇠시간도 각각 독립적으로 산출된다.
한편, 상기 제어단말부(600)는 상기 (S400)단계에서 산출된 산출 감쇠시간을 상기 설정단계에서 설정한 기준 감쇠시간과 크기를 비교하는 단계를 수행한다(S500).
상기 (S500)단계에서 산출 감쇠시간이 기준 감쇠시간보다 느린 경우 산출 감쇠시간이 기준 감쇠시간을 앞서도록 상기 제어단말부(600)는 이오나이저 팬(FAN)의 힘을 증가시키거나 또는 이온의 값이 증가되도록 이오나이저를 제어하는 단계를 수행한다(S600).
상기 (S600)단계에서 산출 감쇠시간이 기준 감쇠시간보다 느린 경우(값이 큰경우) 적색경보를 표시창에 띄울 수도 있다.
상기 (S500)단계에서 산출 감쇠시간이 기준 감쇠시간보다 빠른 경우 상기 설정단계에서 설정된 일자의 시간에 상기 (S200)단계 이후의 단계를 반복수행한다.
한편, 본 발명에 따른 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 시스템에는 도 1에 도시된 바와 같이 복수의 전압측정기(300)와 전압발생기(400)가 구비되어 있고, 도 6에 도시된 바와 같이 각 센서에 대한 현재 상태와 감쇠시간이 설정되어 있다.
도 6에서 Sensor 1에 해당하는 상기 전압측정기(300)가 측정한 현재 값 1773에서 상기 타이머는 전위가 하강하여 1700전위에서 동작하고 800전위에서 정지하여 동작후 정지시까지 걸린 시간을 감쇠시간(0.11)로 표시하고 있다.
상기 제어단말부(600)는 복수의 전압측정기(300)와 전압발생기(400)를 관리하는 경우 복수의 전압측정기(300)와 전압발생기(400)에 대해 상기 (S100) 단계 및 상기 (S600)단계를 적용하고, 어느 하나의 전압측정기(300)에서 측정한 목표전압에 진입할 때 시간과 하강하여 기준전압에 도달한 시간의 차인 산출 감쇠시간이 상기 (S500)단계에서 기준 감쇠시간 보다 빠르지 않은 경우 상기 (S600)를 수행하는 것이 바람직하다.
지금까지 본 발명에 따른 구체적인 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허 청구의 범위뿐 아니라 이 특허 청구의 범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 이는 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명 사상은 아래에 기재된 특허청구범위에 의해서만 파악되어야 하고, 이의 균등 또는 등가적 변형 모두는 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.

Claims (5)

  1. (a) 제어단말부가 디스플레이를 통해 표시되는 설정 창을 통해 입력되는 시스템 설정을 수신하는 단계;
    (b) 상기 제어단말부가 전압 발생 신호와 전압 측정 신호를 생성하여 자동전압조정기에 송신하는 단계;
    (c) 상기 자동전압조정기가 상기 전압 측정 신호와 전압 발생 신호를 각각 대상시설물이 설치된 공간에 함께 상이한 위치에 설치된 복수의 전압측정기와 복수의 전압발생기에 전달하여 전압 측정 데이터를 수신하는 단계;
    (d) 상기 제어단말부가 상기 자동전압조정기로부터 전압 측정 데이터와 함께 수신한 시간정보를 이용하여 감쇠시간을 산출하는 단계;
    (e) 상기 제어단말부가 상기 (d)단계에서 산출된 산출 감쇠시간을 상기 (a)단계에서 설정한 기준 감쇠시간과 크기를 비교하는 단계; 및
    (f) 상기 제어단말부가 상기 산출 감쇠시간이 상기 기준 감쇠시간보다 큰경우(느린 경우) 이오나이저의 출력을 제어하는 단계;를 포함하는 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 (a)단계에서
    상기 제어단말부는
    복수의 상기 전압측정기 마다의 통신포트와 통신속도 설정, 목표전압, 기준전압, 기준 감쇠시간 설정, 및 감쇠시간 측정예약(날짜, 시간, 분, 초) 설정신호를 수신하는 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 (c)단계는
    (c-1) 상기 자동전압조정기가 수신한 상기 전압 측정 신호를 상기 전압측정기에 전달하여 측정된 현재전압을 수신하는 단계;
    (c-2) 상기 자동전압조정기가 상기 현재전압에서 설정된 상기 목표전압만큼 전압을 높이기 위해, 상기 전압 발생 신호를 상기 전압발생기에 전달하는 단계;
    (c-3) 상기 전압발생기가 상기 대상시설물이 설치된 공간이 목표전압에 진입할 때까지 전압을 발생시키는 단계; 및
    (c-4) 상기 목표전압만큼 전압이 상승한 경우, 상기 자동전압조정기가 상기 전압발생기의 구동을 정지시키고 목표전압에서 기준전압에 도달할 때까지 전압의 변화량을 측정하는 단계; 및
    (c-5) 상기 자동전압조정기가 전압 측정 데이터와 함께 상기 목표전압에 도달한 시간, 및 상기 기준전압에 도달한 시간 데이터를 상기 제어단말부에 전달하는 단계;를 포함하는 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 (e)단계에서
    상기 제어단말부가
    상기 산출 감쇠시간과 상기 기준 감쇠시간의 크기를 비교 결과, 상기 산출 감쇠시간이 상기 기준 감쇠시간보다 작은 경우(빠른 경우), 상기 (a)단계에서 설정한 감쇠시간 측정예약(날짜, 시간, 분, 초)에 맞춰 상기 (b)단계 이후의 단계를 반복수행하는 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 제어단말부가
    복수 개중 어느 하나의 상기 전압측정기에서 측정한 상기 목표전압에 진입할 때 시간과 상기 기준전압에 도달한 시간의 차인 산출 감쇠시간이 상기 (e)단계에서 기준 감쇠시간보다 빠르지 않을 경우 상기 (f)단계를 수행하는 위치별 감쇠시간 측정을 통한 정전기 발생 방지 방법.
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