WO2020185037A1 - 토탈 이온 관리 시스템 및 관리 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 토탈 이온 관리 방법은 (a) 전압 발생기가 소정 크기의 전압을 발생시키는 단계; (b) 이온 발생기)가 상기 전압의 크기를 기준전압으로 떨어트리기 위해 이온을 발생시키는 단계; (c) 전위센서가 상기 전압의 크기를 측정하는 단계; (d) 통합관리 단말기가 상기 (c)단계에서 측정한 측정전압과 상기 기준전압의 크기를 비교하는 단계; (e) 상기 통합관리 단말기가 상기 (d)단계에서 상기 측정전압이 상기 기준전압보다 작은 경우, 상기 측정전압이 상기 기준전압까지 떨어지는 감쇠시간(decay time)을 측정하여 기준시간과 비교하는 단계;를 포함하여 높은 순간 전압기 때문에 정전기로 인해 일어날 수 있는 불꽃으로 인한 화재를 예방할 수 있는 효과가 있고, 미세한 전기 기기 회로에 정전기로 인해 발생할 수 있는 오작동을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

토탈 이온 관리 시스템 및 관리 방법

본 발명은 토탈 이온 관리 시스템 및 관리 방법에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 전압발생기로 소정볼트의 전압을 발생시키고, 이온발생기를 동작시켜 감쇠 시간(decay time)내에 기준볼트까지 떨어지는지 시간을 측정하여 이온발생기가 제대로 동작하는지 확인을 통해 특정 공간에 분포되어 있는 정전기를 관리할 수 있는 토탈 이온 관리 시스템 및 관리 방법에 관한 것이다.

이온발생기(Ionizer)란, 고압전원을 이온생성전극에 인가함으로써 생성되는 코로나 방전을 통해 정전기를 제거하는 장치로써, 대상체에 생성된 정전기가 중화되어 제거될 수 있게 이온을 대상체로 전달한다.

이러한 이온발생기는 디스플레이, 반도체, 필름인쇄, 화학 및 나노 공정 등의 생산라인 등에 널리 사용된다.

하지만, 종래에는 이온발생기는 감쇠 시간(decay time) 측정 없이 전위센서로 관리전압만을 측정하여 정전기 발생여부를 탐지하기 때문에 제대로 동작하고 있는 확인할 수 없는 문제점이 있다.

[선행기술문헌]

[특허문헌]

대한민국 공개특허공보 제10-2014-0113187호(2014. 09. 24)

상술한 문제점을 해결하기 위해 발명된 본 발명은 전압발생기로 소정볼트의 전압을 발생시키고, 이온발생기를 동작시켜 감쇠 시간(decay time) 내에 기준볼트까지 떨어지는지 시간을 측정하여 이온발생기가 제대로 동작하는지 확인을 통해 특정 공간에 분포되어 있는 정전기를 관리할 수 있는 토탈 이온 관리 시스템 및 관리 방법을 제공하는데 목적이 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 토탈 이온 관리 방법은 (a) 전압 발생기가 소정 크기의 전압을 발생시키는 단계; (b) 이온 발생기)가 상기 전압의 크기를 기준전압으로 떨어트리기 위해 이온을 발생시키는 단계; (c) 전위센서가 상기 전압의 크기를 측정하는 단계; (d) 통합관리 단말기가 상기 (c)단계에서 측정한 측정전압과 상기 기준전압의 크기를 비교하는 단계; (e) 상기 통합관리 단말기가 상기 (d)단계에서 상기 측정전압이 상기 기준전압보다 작은 경우, 상기 측정전압이 상기 기준전압까지 떨어지는 감쇠시간(decay time)을 측정하여 기준시간과 비교하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게 상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 토탈 이온 관리 방법은 (d)단계에서 상기 측정전압이 상기 기준전압보다 작은 경우, 상기 통합관리 단말기는, 상기 측정전압을 떨어트리기 위해 상기 이온 발생기를 제어하여 이온 발생량을 증가시키는 상기 (b)단계 이후의 과정을 반복 수행하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게 상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 토탈 이온 관리 방법은 (e)단계에서 상기 감쇠시간이 상기 기준시간보다 큰 경우, 상기 통합관리 단말기는 상기 감쇠시간이 단축되도록 상기 이온 발생기를 제어하여 이온 발생량을 증가시키는 상기 (b)단계 이후의 과정을 반복 수행하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게 상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 토탈 이온 관리 방법은 상기 (b)단계 이후의 과정을 반복 수행하기 전, 상기 통합관리 단말기는 반복횟수가 기준반복횟수를 초과하는지 판단하거나, 또는 상기 이온 발생기의 최대출력으로 동작하는지 판단하는 단계;를 선행하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게 상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 토탈 이온 관리 방법에서 상기 통합관리 단말기는 상기 (b)단계 이후의 반복횟수가 기준반복횟수를 초과하거나, 또는 상기 이온 발생기가 이미 최대출력으로 동작하는 경우, 이상발생 경고, 관리자에게 통지, 또는 장비운용 중단 중, 어느 하나의 조치를 취하는 것을 특징으로 한다.

다른 실시예로써, 상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 토탈 이온 관리 시스템은 소정 크기의 전압을 발생시키는 전압 발생기; 상기 전압의 크기를 기준전압으로 떨어트리기 위해 이온을 발생시키는 이온 발생기; 상기 전압의 크기를 측정하는 전위센서; 및 상기 전위센서가 측정한 측정전압과 상기 기준전압의 크기를 비교하고, 상기 측정전압이 상기 기준전압까지 떨어지는 감쇠시간(decay time)과 기준시간을 비교하는 통합관리 단말기;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게 상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 토탈 이온 관리 시스템의 상기 통합관리 단말기는 상기 측정전압이 상기 기준전압보다 작은 경우, 이온 발생량을 증가시키기 위해 상기 이온 발생기를 동작시키는 것을 특징으로 한다.

바람직하게 상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 토탈 이온 관리 시스템의 상기 통합관리 단말기는 상기 감쇠시간이 상기 기준시간보다 큰 경우, 상기 감쇠시간이 단축되도록 상기 이온 발생기를 동작시키는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 토탈 이온 관리 시스템 및 관리 방법은 전압발생기로 소정볼트의 전압을 발생시키고, 이온발생기를 동작시켜 감쇠 시간(decay time) 내에 기준볼트까지 떨어지는지 시간을 측정하여 이온발생기가 제대로 동작하는지 확인을 통해 특정 공간에 분포되어 있는 정전기를 관리함으로써, 높은 순간 전압기 때문에 정전기로 인해 일어날 수 있는 불꽃으로 인한 화재를 예방할 수 있는 효과가 있고, 미세한 전기 기기 회로에 정전기로 인해 발생할 수 있는 오작동을 방지할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명에 따른 토탈 이온 관리 시스템의 블록 구성도이다.

도 2a는 본 발명에 따른 기준시간 내에 기준전압으로 떨어뜨린 토탈 이온 관리 시스템의 시간에 따른 전위변화 그래프이고, 도 2b는 본 발명에 따른 기준시간 내에 기준전압으로 떨어뜨리지 못한 토탈 이온 관리 시스템의 시간에 따른 전위변화 그래프를 도시한 도면이다.

도 3은 본 발명에 따른 토탈 이온 관리 방법의 순서도 이다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면을 참조하여 상세하게 설명하도록 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.

제1, 제2, A, B 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급될 때에는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

명세서 및 청구범위 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 포함한다고 할때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 토탈 이온 관리 시스템의 블록 구성도이다.

도 1에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 토탈 이온 관리 시스템은 통합관리 단말기(100), 이온 발생기(200), 전압발생기(300), 및 전위센서(400)를 포함한다.

상기 통합관리 단말기(100)는 컴퓨터 또는 모바일 단말기가 해당할 수 있으며 상기 이온 발생기(200), 전압발생기(300), 및 전위센서(400)와 연결되어 각각을 제어하여 구동시킨다.

상기 이온 발생기(200)는 도 1에 도시된 바와 같이 웨이퍼, LCD, LED, 또는 IC chip 제조 및 검사 장비와 같은 대상체에 대전된 전하에 반대되는 이온을 발생시킨다.

보다 구체적으로 설명하면, 먼저 이온(ion)은 전자를 잃거나 얻어 전하를 띠는 원자 또는 분자를 이른다. 중성의 원자에서 한 개 이상의 전자를 잃으면, 원자는 양전하를 띠고, 한 개 이상의 전자를 얻으면 음전하를 띠게 된다. 양전하를 띤 이온을 양이온(cation), 음전하를 띤 이온을 음이온(anion)이라 부른다.

상기 이온 발생기(200)는 상기 대상체가 양전하로 대전되어 있다면 음전하를 띤 음이온을 발생시켜 중성화시키고, 반대로 상기 대상체가 음전하로 대전되어 있다면 양전하를 띤 양이온을 발생시켜 중성화시킨다.

상기 전압발생기(300)는 주기적 또는 임의의 시점, 예를 들어 장비의 동작을 개시하는 시점에 1700V의 전압을 발생시키고, 이에 한정되지 않고 경우에 따라 1700V 이상의 전압 또는 1700V 이하의 전압을 발생시킬 수도 있다.

상기 전위 센서(400)는 웨이퍼, LCD, LED, 또는 IC chip 제조 및 검사 장비와 같은 대상체 또는 그 주변의 전위 즉 정전기 관리전압을 측정한다.

상기 정전기는 20,000V까지 발생하는 경우가 있는데, 피해발생을 예방하고 최소화하기 위해서는 최대한 빨리 전압을 떨어트릴 필요가 있다.

상술한 바와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 토탈 이온 관리 시스템에 의한 이온관리에 대하여 설명한다.

상기 통합관리 단말기(100)는 상기 전압 발생기(300)를 제어하여, 해당 전압 발생기(300)가 주기적으로 소정의 전압(1,700V)을 발생시키도록 한다.

그리고 나서, 상기 통합관리 단말기(100)는 상기 이온 발생기(200)를 제어하여, 해당 이온 발생기(200)가 양이온 또는 음이온을 발생시켜 상기 전압 발생기(300)에서 발생된 전압을 상쇄시킴으로써 기준전압(±30V)까지 떨어뜨리도록 한다.

이때, 상기 통합관리 단말기(100)의 상쇄시간 측정부(120)는 상기 전압 발생기(300)에서 발생시킨 전압에 대하여, 상기 전위센서(400)가 측정한 전압이 상기 이온 발생기(200)의 구동으로 인해 상기 기준전압 DB(110)에 저장된 기준전압까지 떨어지는 상쇄시간을 측정한다.

상기 통합관리 단말기(100)의 주제어부(130)는 상기 상쇄시간 측정부(120)가 측정한 상쇄시간이 기준시간(2s) 이내이면 상기 이온발생기(200)가 정상인 것으로 간주한다.

반면, 상기 상쇄시간이 기준시간(2s) 이상이면, 상기 주제어부(130)는 상기 이온 발생기(200)를 제어하여 상기 이온 발생기(200) 더 많은 이온을 발생시켜 상기 상쇄시간이 기준시간(2s) 범위 내로 들어올 수 있도록 한다.

본 발명에 따른 토탈 이온 관리 시스템은 임의의 시점 즉, 장비의 동작을 개시하는 시점 또는 정전기에 취약한 공정시점에서 상기 전압발생기(300)로 1700V의 전압을 발생시킨 뒤, 상기 이온 발생기(200)를 구동시켜 상기 통합관리 단말기(100)의 상쇄시간 측정부(120)를 통해 기준전압(30V)까지 떨어지는 시간을 측정할 수도 있다.

본 발명에 따른 토탈 이온 관리 시스템은 정상패턴 DB(150)에 저장된 정상패턴을 기준으로 문제상황이 발생한 경우, 통신부(140)를 통해 이상발생(waring)을 경고하거나, 관리자에게 통지하거나, 대상체에 작업을 진행하는 장비의 운용을 중단할 수 있다.

예를 들어, 본 발명에 따른 토탈 이온 관리 시스템은 상기 전압 발생기(300)가 1,700V 전압을 발생시킨 후, 상기 이온 발생기(200)를 구동시켜 기준전압(±30V)까지 기준시간(2s) 내에 떨어져서 유지되면 정상으로 간주하고, 임의의 전압(±45V)까지 떨어지면 이상발생(wring)을 경고하고, 다른 임의의 전압(±50V)까지 떨어지면 관리자에게 통지하며, 또 다른 임의의 전압(±50V)을 초과하는 경우 대상체에 작업을 진행하는 장비의 운용을 중단시킨다.

즉, 본 발명에 따른 토탈 이온 관리 시스템은 도 2a에 도시된 바와 같이, 상기 전압발생기(300)가 발생시킨 전위(1,700V)를 기준시간(2s) 내에 기준전압(30V) 내로 떨어 뜨리면, 상기 감쇠 시간(decay time)이 2초 미만으로 관리되고 있다는 것이고, 이는 곧 정전기 발생시 이온발생기가 정상적으로 작동함을 의미한다.

반대로, 도 2b에 도시된 바와 같이, 상기 전압발생기(300)가 발생시킨 전위(1,700V)를 기준시간(2s) 내에 기준전압(30V) 내로 떨어뜨리지 못하면, 상기 감쇠 시간(decay time)이 2초 미만으로 관리되고 있지 않다는 것이고, 이는 곧 정전기 발생시 이온발생기가 정상적으로 작동하고 있지 않음을 의미한다.

다른 실시예로서 이하에서 본 발명에 따른 토탈 이온 관리 방법에 대하여, 도 3을 참조하여 설명한다.

상기 통합관리 단말기(100)의 제어를 받아 상기 전압 발생기(300)는 양전하 또는 음전하로 대전되어 있을 수 있는 대전물체가 있는 공간에 주기적으로 소정의 전압(1,700V)을 발생시키는 단계를 수행한다(S100).

상기 통합관리 단말기(100)의 제어를 받아 상기 이온 발생기(200)는 상기 전압 발생기(300)에서 발생된 전압을 상쇄시킴으로써 기준전압(±30V)까지 떨어지도록 양이온 또는 음이온을 발생시키는 단계를 수행한다(S200).

상기 전위센서(400)가 상기 전압 발생기(300)에서 발생된 전압을 측정하는 단계를 수행한다(S300).

상기 통합관리 단말기(100)의 주제어부(130)는 상기 전위센서(400)가 측정한 측정전압과 상기 기준전압 DB(110)에 저장된 기준전압의 크기를 비교하는 단계를 수행한다(S400).

상기 (S400)단계에서 상기 측정전압이 상기 기준전압보다 큰 경우 상기 통합관리 단말기(100)는 상기 이온 발생기(200)를 제어하여 이온 발생량이 증가되도록 상기 (S200)단계 이후의 과정을 반복 수행한다.

상기 (S400)단계에서 상기 측정전압이 상기 기준전압보다 작은 경우 상기 통합관리 단말기(100)는 상기 측정전압이 상기 기준전압까지 떨어지는 감쇠시간과 기준시간을 비교하는 단계를 수행한다(S500).

상기 (S500)단계에서 상기 감쇠시간이 상기 기준시간보다 큰 경우, 상기 통합관리 단말기(100)는 상기 감쇠시간이 단축되도록 상기 이온 발생기(200)를 제어하여 이온 발생량을 증가시키는 상기 (S200)단계 이후의 과정을 반복 수행한다.

상기 (S500)단계에서 상기 감쇠시간이 상기 기준시간보다 작은 경우, 상기 통합관리 단말기(100)는 상기 이온발생기(200)가 정상인 것으로 메시지를 출력한다.

상기 (S400)단계에서 상기 측정전압이 상기 기준전압보다 크거나, 상기 (S500)단계에서 상기 감쇠시간이 상기 기준시간보다 커, 상기 통합관리 단말기(100)가 상기 이온 발생기(200)를 제어하여 이온 발생량이 증가되도록 상기 (S200)단계 이후의 과정을 반복 수행하기 전, 반복횟수가 기준반복횟수를 초과하는지 판단하거나, 또는 상기 이온 발생기(200)의 최대출력으로 동작하는지 판단하는 단계를 더 수행할 수 있다(S600).

상기 (S600)단계에서 상기 (S200)단계 이후의 과정을 반복 수행하는 반복횟수가 기준반복횟수를 초과하지 않고, 상기 이온 발생기(200)의 최대출력으로 동작하지 않은 경우 상기 (S200)단계 이후의 과정을 반복 수행한다.

상기 (S600)단계에서 상기 (S200)단계 이후의 과정을 반복 수행하는 반복횟수가 기준반복횟수를 초과하거나, 또는 상기 이온 발생기(200)의 최대출력으로 동작하는 경우 상기 통합관리 단말기(100)는 이상발생 경고, 관리자에게 통지, 장비운용 중단 메시지를 출력한다.

상기 통합관리 단말기(100)는 상기 이온 발생기(200)의 정상, 이상발생 경고, 관리자에게 통지, 또는 장비운용 중단 결과 메시지를 자체 디스플레이부 또는 근거리의 프린터를 통해 출력 후, 상기 통신부(140)를 통해 직접 경보기를 통해 경보를 하고, 원거리의 관리자에게 통지하며, IoT로 연결된 장비를 중단시키는 단계를 수행한다(S700).

이제까지 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예들을 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.

[부호의 설명]

100 : 통합관리 단말기

110 : 기준전압 DB

120 : 상쇄시간 측정부

130 : 주제어부

140 : 통신부

150 : 정상패턴 DB

200 : 이온 발생기

300 : 전압발생기

400 : 전위센서

Claims (8)

1. (a) 전압 발생기가 소정 크기의 전압을 발생시키는 단계;

   (b) 이온 발생기)가 상기 전압의 크기를 기준전압으로 떨어트리기 위해 이온을 발생시키는 단계;

   (c) 전위센서가 상기 전압의 크기를 측정하는 단계;

   (d) 통합관리 단말기가 상기 (c)단계에서 측정한 측정전압과 상기 기준전압의 크기를 비교하는 단계;

   (e) 상기 통합관리 단말기가 상기 (d)단계에서 상기 측정전압이 상기 기준전압보다 작은 경우, 상기 측정전압이 상기 기준전압까지 떨어지는 감쇠시간(decay time)을 측정하여 기준시간과 비교하는 단계;를 포함하는 토탈 이온 관리 방법.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 (d)단계에서

   상기 측정전압이 상기 기준전압보다 작은 경우, 상기 통합관리 단말기는, 상기 측정전압을 떨어트리기 위해 상기 이온 발생기를 제어하여 이온 발생량을 증가시키는 상기 (b)단계 이후의 과정을 반복 수행하는 토탈 이온 관리 방법.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 (e)단계에서

   상기 감쇠시간이 상기 기준시간보다 큰 경우, 상기 통합관리 단말기는 상기 감쇠시간이 단축되도록 상기 이온 발생기를 제어하여 이온 발생량을 증가시키는 상기 (b)단계 이후의 과정을 반복 수행하는 토탈 이온 관리 방법.
4. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,

   상기 (b)단계 이후의 과정을 반복 수행하기 전, 상기 통합관리 단말기는 반복횟수가 기준반복횟수를 초과하는지 판단하거나, 또는 상기 이온 발생기의 최대출력으로 동작하는지 판단하는 단계;를 선행하는 토탈 이온 관리 방법.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 통합관리 단말기는

   상기 (b)단계 이후의 반복횟수가 기준반복횟수를 초과하거나, 또는 상기 이온 발생기가 이미 최대출력으로 동작하는 경우, 이상발생 경고, 관리자에게 통지, 또는 장비운용 중단 중, 어느 하나의 조치를 취하는 토탈 이온 관리 방법.
6. 소정 크기의 전압을 발생시키는 전압 발생기;

   상기 전압의 크기를 기준전압으로 떨어트리기 위해 이온을 발생시키는 이온 발생기;

   상기 전압의 크기를 측정하는 전위센서; 및

   상기 전위센서가 측정한 측정전압과 상기 기준전압의 크기를 비교하고, 상기 측정전압이 상기 기준전압까지 떨어지는 감쇠시간(decay time)과 기준시간을 비교하는 통합관리 단말기;를 포함하는 토탈 이온 관리 시스템.
7. 제 6항에 있어서,

   상기 통합관리 단말기는

   상기 측정전압이 상기 기준전압보다 작은 경우, 이온 발생량을 증가시키기 위해 상기 이온 발생기를 동작시키는 토탈 이온 관리 시스템.
8. 제 7항에 있어서,

   상기 통합관리 단말기는

   상기 감쇠시간이 상기 기준시간보다 큰 경우, 상기 감쇠시간이 단축되도록 상기 이온 발생기를 동작시키는 토탈 이온 관리 시스템.

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