WO2016133282A1 - 챠지 플레이트 모니터 및 그 운용방법 - Google Patents

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WO2016133282A1
WO2016133282A1 PCT/KR2016/000011 KR2016000011W WO2016133282A1 WO 2016133282 A1 WO2016133282 A1 WO 2016133282A1 KR 2016000011 W KR2016000011 W KR 2016000011W WO 2016133282 A1 WO2016133282 A1 WO 2016133282A1
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plate
hvps
relay switch
conductive plate
unit
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PCT/KR2016/000011
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윤주훈
문태훈
최현욱
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주식회사 동일기연
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    • H—ELECTRICITY
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    • H01T23/00—Apparatus for generating ions to be introduced into non-enclosed gases, e.g. into the atmosphere

Definitions

  • the present invention relates to a charge plate monitor and a method of operating the same, and in particular, a charge plate configured to remove a stray capacitor of a relay switch by using a voltage feedback method. It relates to a monitor and its operation method.
  • the charge plate monitor is a display device comprising a measuring body, a seven-segment or liquid crystal display, a measuring plate connected to the measuring body, and an ionizer having a bar structure as an evaluation target.
  • positioned in the longitudinal direction of an ionizer is comprised.
  • the main body of the measuring instrument includes a high-voltage power supply, a surface electrometer, an electric field, a timer, and the like, and is mainly equipped with a function of measuring the surface potential of the measuring plate. Ion balance performance is measured.
  • the measuring plate has a structure in which, for example, two conductive plates each having a width of 150 mm are combined at intervals of 6 to 20 mm, and have a capacitance of about 20 pF as a whole.
  • an ion generated by the emitter of the ionizer is charged by applying a high voltage of +1000 V or -1000 V, for example, to the measurement plate from the high voltage power supply of the measuring instrument main body.
  • a high voltage of +1000 V or -1000 V for example, to the measurement plate from the high voltage power supply of the measuring instrument main body.
  • the time required for the measurement plate is measured by the meter body. In this case, the shorter the measurement time, the higher the ion generation amount or generation rate by the ionizer, and thus the higher the antistatic performance can be evaluated.
  • various types of voltage may be applied to the measurement plate in the range of ⁇ 1000 to ⁇ 5000V. The mode for performing this measurement operation is called attenuation measurement mode.
  • the potential of the measuring plate is grounded to 0 V, and the positive / minus ions generated by the ionizer are brought into contact with the measuring plate, and the positive ion generated by the ionizer is produced.
  • the potential of the measuring plate is stabilized at around 0 V, so the magnitude and polarity of the potential can be measured by the measuring instrument body to evaluate the ion balance performance of the ionizer.
  • the mode for performing this measurement operation is called an ion balance measurement mode.
  • Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-2008-519260 discloses an ion balance monitor capable of simultaneously measuring ion balance and ion generation rate by dividing a measurement plate into a plurality of sections and applying a predetermined bias voltage. have.
  • the measurement plate is divided into a plurality of sections, and the positive and negative ions of the generated ions by the ionizer or the positive / negative ions are applied while one or more bias voltages are respectively applied across one of these sections. It is characterized by measuring the incidence rate.
  • the starting technique does not solve the complicated operation of the ionizer and prolongation of the measurement time.
  • Korean Patent Publication No. 10-2012-0049780 discloses a charge plate for evaluating the ionizer performance by measuring the ionizer's antistatic performance and ion balance performance (plus / minus ion balance retention performance).
  • a charge plate monitor is disclosed in which a positive / negative ion generated by an ionizer is detected by a measurement plate, and a charge plate monitor which evaluates an ionizer's antistatic performance and an ion balance performance of a positive / minus ion is determined.
  • Charges provided in one measuring instrument main body include a function of measuring a decay time at which a potential of a measuring plate to which voltage is applied in advance is attenuated by a ion to a predetermined value, and a function of measuring an ion balance based on the potential of the measuring plate.
  • the measuring plate is the length of the ionizer to be evaluated.
  • a plurality of measuring plates are provided in parallel or in series with the main body of the measuring device. According to the disclosed technology, it is possible to evaluate the antistatic performance and the ion balance performance of a long ionizer by using one charge plate monitor by connecting the measuring plates of the required number of tables in parallel or in series with one measuring instrument main body.
  • the performance evaluation of the ionizer can be realized in a short time and at a low cost, and it is also applicable to various ionizers having different lengths by changing the number of tables of the measuring plate connected to the measuring instrument body in accordance with the length of the ionizer.
  • the measurement plate of the conventional charge plate monitor as described above is separated from the conductive plate, the earth ground, as shown in FIG.
  • Floating Ground consisting of an Insulator between the conductive plate and the floating ground.
  • measuring plates should be made with an equivalent capacitance (e.g. 20 pF ⁇ 2 pF capacitance) using a voltage follower method that separates the conductive plate from the floating ground.
  • an equivalent capacitance e.g. 20 pF ⁇ 2 pF capacitance
  • follow the voltage applied to the conductive plate to apply the same voltage (high voltage) of the same 1000V to the floating ground to use a high voltage cable, which has the disadvantage that the selection of high voltage cable is very important.
  • high voltage high voltage
  • a non-contact method when the high pressure is applied to the mechanical connection and to be completely separated, there is a difficult disadvantage to implement a mechanical device that greatly affects the weight and size.
  • the problem to be solved by the present invention is to solve the above-mentioned disadvantages, to eliminate the stray capacitor of the relay switch (Voltage Feedback) method (Eliminate) It is to provide a charge plate monitor and its operation method.
  • a means for solving the above problems comprising: a measuring plate portion having an insulator between the conductive plate, the ground surface body, the conductive plate and the ground surface body; A non-contact electrometer unit disposed between the conductive plate and the ground surface of the measuring plate unit and detecting a potential of the conductive plate; A measuring unit measuring or bypassing the conductive plate potential detected by the non-contact electrometer unit; And a voltage feedback circuit unit which feeds back the conductive plate potential bypassed by the measuring unit and applies it to the relay switch stage.
  • the charge plate monitor is characterized in that it further comprises a HVPS formed by coupling the power supply portion together with the measurement plate.
  • the non-contact electrometer unit detects a potential of the conductive plate when the high voltage is applied to the measurement plate unit through the relay switch in the HVPS.
  • the voltage feedback circuit unit applies a conductive plate potential detected by the non-contact electrometer unit to the relay switch stage to zero current flow, and the stray even after the contact of the relay switch is turned off. It is characterized by not being affected by the capacitor.
  • the measuring unit may generate an HVPS on signal and a relay switch on signal in the decay mode, apply an HVPS on signal to the HVPS, and apply a relay switch on signal to the relay switch.
  • the HVPS, the charge plate monitor characterized in that for supplying a voltage to the relay switch in accordance with the HVPS on signal applied from the measuring unit.
  • the non-contact electrometer may apply the detected conductive plate potential value to the measurement unit when the voltage supplied from the HVPS is greater than or equal to a preset value.
  • the measurement unit may generate a relay switch off signal when the voltage supplied from the HVPS is greater than or equal to a preset value, and generate an HVPS off signal when the voltage is less than or equal to the preset value, thereby generating a relay switch off signal. And applying the HVPS off signal to the HVPS.
  • the HVPS characterized in that for turning off the voltage applied to the relay switch in accordance with the HVPS off signal applied by the measuring unit.
  • the relay switch is switched off according to the relay switch off signal applied from the measurement unit, it characterized in that to turn off the voltage supplied from the HVPS.
  • the measuring unit reads the conductive plate potential value detected when the voltage supplied from the HVPS from the non-contact electrometer unit is greater than or equal to a preset value, and reads the conductive plate potential value read out from the voltage feedback circuit unit. By feeding back through to follow the applied voltage of the HVPS.
  • the measuring unit by feeding back the conductive plate potential value through the voltage feedback circuit unit to follow the applied voltage of the HVPS, it characterized in that the potential of both ends of the relay switch to be the same.
  • the non-contact electrometer provided between the conductive plate and the ground surface body provided in the measuring plate portion detecting the potential of the conductive plate; A measuring unit measuring or bypassing the conductive plate potential detected by the non-contact electrometer unit; And supplying, by the voltage feedback circuit unit, the conductive plate potential bypassed by the measurement unit to be applied to the relay switch stage.
  • the present invention provides a plate assembly with a high voltage generator and removes a stray capacitor of a relay switch by using a voltage feedback method.
  • a charge plate monitor and its operation method it is possible to eliminate the use of a high voltage cable, and to minimize the stray capacitance to maintain an equivalent capacitance (e.g., 20 pF ⁇ 2 pF capacitance).
  • an equivalent capacitance e.g. 20 pF ⁇ 2 pF capacitance
  • the stray capacitance does not affect the measured values such as the static discharge time, thereby accurately measuring the performance of the ionizer. It can be done.
  • the effect of the stray capacitor can be minimized to accurately measure the decay time of the industrial static eliminator.
  • the high-pressure applying unit coupled to the measuring plate together, it can be made simple while reducing the external size of the measuring body (controller), in the connection between the measuring body (controller) and the measuring plate Only the signal line is connected, so the cable can be easily selected.
  • the present invention when the high pressure is applied to the measurement plate in the charge plate monitor, the potential of the conductive plate is detected by a non-contacting electrometer, and the same voltage is applied to the relay switch stage to zero the flow of current.
  • the value of the plate capacitance can be equivalent to the equivalent capacitance (for example, 20 pF ⁇ 2 pF). It can be maintained at the (capacitance of), which also has the effect of not affecting the measured value such as natural discharge time.
  • 1 is a diagram illustrating a measurement plate of a conventional charge plate monitor.
  • FIG. 2 is a view illustrating a charge plate monitor according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating the voltage feedback circuit unit in FIG. 1.
  • first and second are intended to distinguish one component from another component, and the scope of rights should not be limited by these terms.
  • the first component may be named a second component, and similarly, the second component may also be named a first component.
  • first component may be named a second component
  • second component may also be named a first component.
  • a component is referred to as being “connected” to another component, it should be understood that there may be other components in between, although it may be directly connected to the other component.
  • a component when a component is said to be “directly connected” to another component, it should be understood that there is no other component in between.
  • other expressions describing the relationship between the components such as “between” and “immediately between” or “neighboring to” and “directly neighboring to”, should be interpreted as well.
  • FIG. 2 is a view illustrating a charge plate monitor according to an embodiment of the present invention.
  • the charge plate monitor 100 includes a measurement plate 110, a non-contact electrometer 120, a measurement 130, and a voltage feedback circuit 140.
  • the measuring plate 110 is a conductive plate, and the insulator 113 between the conductive plate 111, the ground surface body 112, the conductive plate 111, and the grounded surface 112 is formed. It includes, and the non-contact electrometer portion 120 is installed inside (that is, between the conductive plate 111 and the ground surface body 112).
  • the conductive plate 111 may have a size of 10-25 cm * 10-25 cm (preferably 15 cm (6 ′′) * 15 cm (6 ′′)).
  • the non-contact electrometer section 120 is provided inside the measurement plate section 110 (that is, between the conductive plate 111 and the ground surface body 112), and measures the measurement plate section 110 (conductive plate 111). The potential of)) is detected and the detected conductive plate potential is applied to the measuring unit 130.
  • the measuring unit 130 is a field meter and a digital to analog converter (DAC), and measures the conductive plate potential applied from the non-contact electrometer unit 120, and conducts from the non-contact electrometer unit 120.
  • the positive plate potential is bypassed to the voltage feedback circuit unit 140.
  • the voltage feedback circuit unit 140 feeds back the conductive plate potential, which is bypassed through the measuring unit 130, and applies the current to the relay switch stage to bring the current flow closer to zero. Therefore, even after the relay switch contact is turned off, it can be minimized so that it is hardly affected by the stray capacitor.
  • the charge plate monitor 100 having the above-described configuration includes a high voltage power supply (HVPS) in a plate assembly and a stray capacitor of a relay switch using the voltage feedback circuit unit 140. Eliminate) eliminates the need for high voltage cables, and minimizes stray capacitance to maintain equivalent capacitance (e.g. 20 pF ⁇ 2 pF capacitance). Thus, when the high voltage on (on) / off (off) using the relay switch can be prevented from affecting the measured value, such as electrostatic discharge time due to the stray capacitance, it is possible to accurately measure the performance of the ionizer.
  • HVPS high voltage power supply
  • the charge plate monitor 100 having the configuration as described above can be applied as a device for measuring the performance of the industrial static eliminator, and accurately measures the decay time of the industrial static eliminator by minimizing the influence of the stray capacitor. can do.
  • the charge plate monitor 100 having the configuration as described above is formed by combining the high voltage power supply portion of the HVPS together with the measurement plate 110, thereby reducing the size of the measurement unit 130 while being simple. It can be made, and only the signal line in the connection between the measuring unit 130 and the measuring plate 110 may be easy to select the cable.
  • the charge plate monitor 100 having the above-described configuration detects the potential of the conductive plate 111 with the non-contact electrometer unit 120 when the high pressure is applied to the measurement plate unit 110 in the HVPS.
  • the voltage feedback circuit 140 to apply the conductive plate potential to the relay switch stage to bring the current flow close to zero, it is hardly affected by the stray capacitor even after the relay switch contact is turned off.
  • the value of the plate capacitance can be maintained at an equivalent capacitance (for example, 20 pF ⁇ 2 pF capacitance), so that the measured value such as natural discharge time can be avoided.
  • the charge plate monitor 100 having the above-described configuration may be used in a product which minimizes the influence of the stray capacitor or requires a high insulation resistance in a circuit for applying a voltage using a relay switch.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating the voltage feedback circuit unit in FIG. 1.
  • the measurement unit 130 applies the voltage of the HVPS to a main controller (not shown in the drawing for convenience of description) provided therein in the decay mode.
  • HVPS on signal for example, positive HVPS on signal (HVPS ON # 1), negative HVPS on signal (HVPS ON # 2)
  • relay switch on signal for example, plus relay switch on signal (+ OUT) ON # 1
  • the negative relay switch on signal -OUT ON # 2
  • the generated HVPS on signal for example, the positive HVPS on signal (HVPS ON # 1), negative HVPS on signal ( HVPS ON # 2)
  • the generated relay switch on signal for example, plus relay switch on signal (+ OUT ON # 1) and negative relay switch on signal (-OUT). ON # 2 to the positive and negative relay switches respectively.
  • the positive HVPS and the negative HVPS switch voltages according to the HVPS on signal for example, the positive HVPS on signal (HVPS ON # 1) and the negative HVPS on signal (HVPS ON # 2)) from the main controller. And a negative relay switch.
  • the positive relay switch and the negative relay switch are connected to the relay switch on signal (for example, the positive relay switch on signal (+ OUT ON # 1) and the negative relay switch on signal (-OUT ON # 2)) sent from the main controller. Accordingly, each switch is switched on to charge the conductive plate 111 of the measurement plate unit 110 with the voltage supplied from the positive HVPS and the negative HVPS at a voltage equal to or greater than a predetermined value (for example, 1050 V).
  • a predetermined value for example, 1050 V
  • the non-contact electrometer unit 120 detects the potential value of the measurement plate unit 110 (conductive plate 111) and applies the detected conductive plate potential value to the measurement unit 130. In this case, the positive HVPS is applied. And the conductive plate potential value detected when the voltage supplied from the negative HVPS is equal to or greater than a preset value (for example, 1050V) to the measurement unit 130.
  • a preset value for example, 1050V
  • the relay switch-off signal for example, the positive relay switch-off signal ( + OUT OFF # 1), to generate a negative relay switch-off signal (-OUT OFF # 2) and to turn off the applied voltage of the HVPS when the conductive plate potential value is below a preset value (for example, 100V).
  • a preset value for example, 100V.
  • an HVPS off signal for example, a positive HVPS off signal (HVPS OFF # 1) and a negative HVPS off signal (HVPS OFF # 2) and generates a corresponding relay switch off signal (for example, a positive relay switch off).
  • HVPS OFF # 1 e.g., plus HVPS off signal
  • HVPS OFF # 2 e.g., plus HVPS off signal
  • the positive HVPS and the negative HVPS are applied voltages to the positive relay switch and the negative relay switch according to the HVPS off signal (for example, the positive HVPS off signal (HVPS OFF # 1) and the negative HVPS off signal (HVPS OFF # 2)). Turn off each.
  • the HVPS off signal for example, the positive HVPS off signal (HVPS OFF # 1) and the negative HVPS off signal (HVPS OFF # 2).
  • the positive relay switch and the negative relay switch are connected to a relay switch off signal (for example, a positive relay switch off signal (+ OUT OFF # 1) and a negative relay switch off signal (-OUT OFF # 2)) sent from the main controller.
  • a relay switch off signal for example, a positive relay switch off signal (+ OUT OFF # 1) and a negative relay switch off signal (-OUT OFF # 2) sent from the main controller.
  • Each switch off accordingly turns off the voltages supplied from the positive HVPS and the negative HVPS.
  • the main controller of the measurement unit 130 reads the conductive plate potential value detected when the voltage supplied from the positive HVPS and the negative HVPS from the non-contact electrometer unit 120 is equal to or greater than a preset value (for example, 1050 V), Through the voltage feedback circuit unit 140 to follow the applied voltage of the HVPS until the read conductive plate potential value is equal to or less than a predetermined value (for example, 100 V), the potential of both ends of the relay switch is equal. This makes the current flow close to zero, thereby minimizing the influence of the stray capacitor even after the relay switch contacts are turned off.
  • a preset value for example, 1050 V
  • the embodiment of the present invention is not implemented only through the above-described apparatus and / or operation method, but through a program for realizing a function corresponding to the configuration of the embodiment of the present invention, a recording medium on which the program is recorded, and the like.
  • the implementation may be easily implemented by those skilled in the art from the description of the above-described embodiments.

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Abstract

본 발명은 전압 피드백(Voltage Feedback) 방식을 이용하여 릴레이 스위치(Relay Switch)의 스트레이 커패시터(Stray Capacitor)를 제거(Eliminate)하도록 한 챠지 플레이트 모니터 및 그 운용방법에 관한 것으로, 측정 플레이트부가 컨덕티브 플레이트, 그라운드 표면체, 컨덕티브 플레이트와 그라운드 표면체 사이의 절연체를 구비하며; 비접촉 전위계부가 측정 플레이트부의 컨덕티브 플레이트와 그라운드 표면체 사이에 설치되며, 컨덕티브 플레이트의 전위를 검출하며; 측정부가 비접촉 전위계부에서 검출한 컨덕티브 플레이트 전위를 측정하거나 바이패스시켜 주며; 전압 피드백 회로부가 측정부에서 바이패스되는 컨덕티브 플레이트 전위를 피드백하여 릴레이 스위치 단에 인가시켜 준다.

Description

챠지 플레이트 모니터 및 그 운용방법
본 발명의 기술 분야는 챠지 플레이트 모니터 및 그 운용방법에 관한 것으로, 특히 전압 피드백(Voltage Feedback) 방식을 이용하여 릴레이 스위치(Relay Switch)의 스트레이 커패시터(Stray Capacitor)를 제거(Eliminate)하도록 한 챠지 플레이트 모니터 및 그 운용방법에 관한 것이다.
챠지 플레이트 모니터(Charge Plate Monitor)는, 측정기 본체와, 세븐세그먼트(7-Segment) 또는 액정 표시기 등으로 이루어지는 표시장치와, 측정기 본체에 접속된 측정 플레이트와, 평가 대상인 바(Bar) 구조의 이오나이저(Ionizer)와, 이오나이저의 길이 방향으로 다수 배치된 이미터(방전 전극)를 포함하여 이루어진다. 여기서, 측정기 본체는, 고압 전원이나 표면 전위계, 전계계(電界計), 타이머 등이 내장되어 있으며, 주로 측정 플레이트의 표면 전위를 측정하는 기능을 구비하고 있고, 이오나이저의 제전(除電) 성능이나 이온 밸런스 성능을 측정한다. 또한, 측정 플레이트는, 예를 들어 한 변이 150mm의 도전성 플레이트를 6~20mm의 간격을 두고 2 개를 합한 구조로 되어 있고, 전체로서 약 20pF의 정전(靜電)용량을 가지고 있다.
첫 번째로, 이오나이저의 제전 성능을 측정하기 위해서는, 측정기 본체의 고압 전원으로부터 측정 플레이트에, 예를 들어 +1000V 또는 -1000V의 고전압을 인가하여 대전시켜, 이오나이저의 이미터에 의해 생성한 이온을 측정 플레이트에 닿게 하며, 이런 상태에서 측정 플레이트의 전위가 마이너스 이온에 의해 중화되어 +1000V로부터 +100V까지 감쇠(減衰)하는 데 필요한 시간, 또는 플러스 이온에 의해 중화되어 -1000V로부터 -100V까지 감쇠하는 데 필요한 시간을 측정기 본체에 의해 측정한다. 이때 해당 측정 시간이 짧을수록 이오나이저에 의한 이온 발생량 또는 발생률이 높아, 제전 성능이 높은 것으로 평가할 수 있다. 또한, 측정 플레이트에 대한 인가 전압은 ±1000 ~ ±5000V의 범위에서 각종 타입이 존재할 수 있다. 이러한 측정 동작을 수행하는 모드를 감쇠 측정 모드라고 한다.
두 번째로, 이온 밸런스 성능을 측정하기 위해서는, 측정 플레이트를 그라운드시켜 줌으로써 그 전위를 0V로 하여, 이오나이저에 의해 생성한 플러스/마이너스의 이온을 측정 플레이트에 닿게 하며, 이때 이오나이저가 생성하는 플러스 이온량과 마이너스 이온량이 같아지면, 측정 플레이트의 전위는 0V 부근에서 안정되므로, 해당 전위의 크기 및 극성을 측정기 본체에 의해 측정하여 이오나이저의 이온 밸런스 성능을 평가할 수 있다. 이러한 측정 동작을 수행하는 모드를 이온 밸런스 측정 모드라고 한다.
상술한 이오나이저에 의한 제전 대상물인 액정 디스플레이용 기판이나 플라즈마 디스플레이용 기판은, 최근 대형화의 추세에 있고, 이에 따라 바 구조의 이오나이저의 길이도 점차 길어지고 있다. 이와 같이 장척(長尺)의 이오나이저의 성능을 챠지 플레이트 모니터에 의해 시험하는 경우, 이오나이저의 전체 길이에 걸쳐서 배치된 다수의 이미터에 따라, 1대의 챠지 플레이트 모니터의 위치를 이오나이저의 길이 방향으로 상대적으로 이동시켜 순차적으로 측정할 필요가 생긴다. 그러므로 1대의 이오나이저의 성능을 평가하기 위해 많은 수고나 시간이 걸리게 된다. 이에 대하여, 장척의 이오나이저에 대하여 1회의 측정으로 끝내기 위해서는, 챠지 플레이트 모니터를 복수 대 배열하여 측정하면 되지만, 일반적으로 챠지 플레이트 모니터는 고가이기 때문에, 많은 비용이 소요된다.
일본공개특허 제10-2008-519260호(2008.06.05 공개)는 측정 플레이트를 복수 개의 섹션으로 분할하여 소정의 바이어스 전압을 인가함으로써, 이온 밸런스 및 이온 발생률을 동시에 측정 가능한 이온 밸런스 모니터에 관하여 개시되어 있다. 개시된 기술에 따르면, 측정 플레이트를 복수 개의 섹션으로 분할하고, 이들 각 섹션의 하나 건너에 플러스, 마이너스의 바이어스 전압을 각각 인가한 상태에서, 이오나이저에 의한 생성 이온의 이온 밸런스나 플러스/마이너스의 이온 발생률을 측정하는 것을 특징으로 한다. 그러나 개시 기술은 이오나이저의 장척화에 따른 조작의 번잡함이나 측정 시간의 장기화를 해결할 수 있는 것은 아니다.
한국공개특허 제10-2012-0049780호(2012.05.17 공개)는 이오나이저의 제전 성능이나 이온 밸런스 성능(플러스/마이너스 이온의 밸런스의 유지 성능)을 측정하여 이오나이저의 성능을 평가하기 위한 챠지 플레이트 모니터에 관하여 개시되어 있는데, 이오나이저에 의해 생성되는 플러스/마이너스의 이온을 측정 플레이트에 의해 검출하고, 이오나이저의 제전 성능 및 플러스/마이너스의 이온의 이온 밸런스 성능을 평가하는 챠지 플레이트 모니터로서, 소정 전압이 미리 인가된 측정 플레이트의 전위가 이온에 의해 소정 값까지 감쇠하는 감쇠 시간을 측정하는 기능과, 측정 플레이트의 전위에 기초하여 이온 밸런스를 측정하는 기능을, 1대의 측정기 본체에 구비하여 이루어지는 챠지 플레이트 모니터에 있어서, 측정 플레이트를, 평가 대상인 이오나이저의 길이에 따라서 복수 대 구비하고, 이들 측정플레이트를, 측정기 본체에 대하여 병렬 또는 직렬로 접속한 것을 특징으로 한다. 개시된 기술에 따르면, 1대의 측정기 본체에 대하여 필요 테이블수의 측정 플레이트를 병렬 또는 직렬로 접속함으로써, 1대의 챠지 플레이트 모니터를 사용하여 장척의 이오나이저의 제전 성능이나 이온 밸런스 성능을 평가하는 것이 가능하여, 이오나이저의 성능 평가를 단시간 또한 저비용으로 실현할 수 있으며, 또한 이오나이저의 길이에 맞추어 측정기 본체와 접속하는 측정 플레이트의 테이블수를 변경하면, 길이가 상이한 각종 이오나이저에 대해서도 적용 가능하다.
상술한 바와 같은 종래 챠지 플레이트 모니터의 측정 플레이트는, 도 1에 도시된 바와 같이, 컨덕티브 플레이트(Conductive Plate), 대지 그라운드와 분리된
부동(浮動) 그라운드(Floating Ground), 컨덕티브 플레이트와 부동 그라운드 사이의 절연체(Insulator)로 이루어진다.
이러한 측정 플레이트는, 컨덕티브 플레이트와 부동 그라운드 간을 분리시킨 전압 팔로우어(Voltage Follower) 방식을 사용하여 등가적인 커패시턴스(예를 들어, 20pF ± 2pF의 정전용량)로 만들어 주어야 하는데, 접촉식 방법으로 측정할 경우에는 컨덕티브 플레이트에 인가되는 전압을 추종하여 부동 그라운드에 동일한 1000V의 전압(고압)을 인가해야 함으로 고압케이블을 사용해야 하며, 이로 인해 고압케이블의 선정이 매우 중요하게 되는 단점이 있다. 또한 비접촉식 방법으로 측정할 경우에는, 고압을 인가할 때에 기계적으로 연결했다가 완전히 분리되도록 하여야 하나, 무게 및 크기에 큰 영향을 미치는 기계적인 장치를 구현해야 하는 어려운 단점도 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 전술한 바와 같은 단점들을 해결하기 위한 것으로, 전압 피드백(Voltage Feedback) 방식을 이용하여 릴레이 스위치(Relay Switch)의 스트레이 커패시터(Stray Capacitor)를 제거(Eliminate)하도록 한 챠지 플레이트 모니터 및 그 운용방법을 제공하는 것이다.
상술한 과제를 해결하는 수단으로는, 본 발명의 한 특징에 따르면, 컨덕티브 플레이트, 그라운드 표면체, 컨덕티브 플레이트와 그라운드 표면체 사이의 절연체를 구비한 측정 플레이트부; 상기 측정 플레이트부의 컨덕티브 플레이트와 그라운드 표면체 사이에 설치되며, 컨덕티브 플레이트의 전위를 검출하는 비접촉 전위계부; 상기 비접촉 전위계부에서 검출한 컨덕티브 플레이트 전위를 측정하거나 바이패스시켜 주는 측정부; 및 상기 측정부에서 바이패스되는 컨덕티브 플레이트 전위를 피드백하여 릴레이 스위치 단에 인가시켜 주는 전압 피드백 회로부를 포함하는 챠지 플레이트 모니터를 제공한다.
일 실시 예에서, 상기 챠지 플레이트 모니터는, 전원 인가 부분을 상기 측정 플레이트부에 함께 결합시켜 형성한 HVPS를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에서, 상기 비접촉 전위계부는, 상기 HVPS에서 상기 릴레이 스위치를 통해 상기 측정 플레이트부에 고압을 인가할 때에 상기 컨덕티브 플레이트의 전위를 검출하는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에서, 상기 전압 피드백 회로부는, 상기 비접촉 전위계부에서 검출된 컨덕티브 플레이트 전위를 상기 릴레이 스위치 단에 인가하여 전류의 흐름을 제로로 해 주며, 상기 릴레이 스위치의 접점이 오프된 후에도 상기 스트레이 커패시터의 영향을 받지 않도록 하는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에서, 상기 측정부는, 디케이 모드 시에 HVPS온신호 및 릴레이스위치온신호를 생성시켜, HVPS온신호를 상기 HVPS로 인가하고 릴레이스위치온신호를 상기 릴레이 스위치로 인가하는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에서, 상기 HVPS는, 상기 측정부에서 인가한 HVPS온신호에 따라 전압을 상기 릴레이 스위치로 공급하는 것을 특징으로 하는 챠지 플레이트 모니터.
제3항에 있어서, 상기 릴레이 스위치는, 상기 측정부에서 인가한 릴레이스위치온신호에 따라 스위치 온되어, 상기 HVPS에서 공급되는 전압을 기 설정된 값 이상의 전압으로 상기 컨덕티브 플레이트에 챠지시켜 주는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에서, 상기 비접촉 전위계부는, 상기 HVPS에서 공급되는 전압이 기 설정된 값 이상일 때에 검출된 컨덕티브 플레이트 전위값을 상기 측정부로 인가하는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에서, 상기 측정부는, 상기 HVPS에서 공급되는 전압이 기 설정된 값 이상일 때에, 릴레이스위치오프신호 를 생성시키고, 전압이 기 설정된 값 이하 일 때 HVPS오프신호를 생성시켜, 릴레이스위치오프신호를 상기 릴레이 스위치로 인가하고 HVPS오프신호를 상기 HVPS로 인가하는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에서, 상기 HVPS는, 상기 측정부에서 인가한 HVPS오프신호에 따라 상기 릴레이 스위치로의 인가 전압을 오프시켜 주는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에서, 상기 릴레이 스위치는, 상기 측정부에서 인가한 릴레이스위치오프신호에 따라 스위치 오프되어, 상기 HVPS에서 공급되는 전압을 오프시켜 주는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에서, 상기 측정부는, 상기 비접촉 전위계부에서 상기 HVPS로부터 공급되는 전압이 기 설정된 값 이상일 때에 검출된 컨덕티브 플레이트 전위값을 읽어 들이며, 읽어 들인 컨덕티브 플레이트 전위값을 상기 전압 피드백 회로부를 통해 피드백시켜 상기 HVPS의 인가 전압을 추종하도록 하는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에서, 상기 측정부는, 컨덕티브 플레이트 전위값을 상기 전압 피드백 회로부를 통해 피드백시켜 상기 HVPS의 인가 전압을 추종하도록 하여, 상기 릴레이 스위치의 양단 전위를 동일하도록 해 주는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 한 특징에 따르면, 측정 플레이트부에 구비된 컨덕티브 플레이트와 그라운드 표면체 사이에 설치되어 있는 비접촉 전위계부가 상기 컨덕티브 플레이트의 전위를 검출하는 단계; 측정부가, 상기 비접촉 전위계부에서 검출한 컨덕티브 플레이트 전위를 측정하거나 바이패스시켜 주는 단계; 및 전압 피드백 회로부가, 상기 측정부에서 바이패스되는 컨덕티브 플레이트 전위를 피드백하여 릴레이 스위치 단에 인가시켜 주는 단계를 포함하는 챠지 플레이트 모니터의 운용방법을 제공한다.
본 발명의 효과로는, 플레이트어셈블리부(Plate Assembly)에 고압발생부를 구비시켜 주고 전압 피드백(Voltage Feedback) 방식을 이용하여 릴레이 스위치(Relay Switch)의 스트레이 커패시터(Stray Capacitor)를 제거(Eliminate)하도록 한 챠지 플레이트 모니터 및 그 운용방법을 제공함으로써, 고압 케이블의 사용을 불필요하게 할 수 있으며, 또한 스트레이 커패시턴스(Stray Capacitance)를 최소화시켜 등가적인 커패시턴스(예를 들어, 20pF ± 2pF의 정전용량)를 유지해 줄 수 있으며, 이에 릴레이 스위치를 이용한 고전압 온(On)/오프(Off) 시에 스트레이 커패시턴스에 의하여 정전기 방전 시간 등의 측정값에 영향이 없도록 해 줄 수 있으며, 이에 따라 이오나이저의 성능을 정확히 측정할 수 있다는 것이다. 또한, 본 발명에 의하면, 산업용 제전기의 성능을 측정하기 위한 챠지 플레이트 모니터에 있어서, 스트레이 커패시터의 영향을 최소화시켜 산업용 제전기의 디케이 타임(Decay Time)을 정확하게 측정할 수 있는 효과를 가진다.
본 발명에 의하면, 고압 인가부를 측정 플레이트에 함께 결합시켜 형성함으로써, 측정기 본체(컨트롤러)의 외형 크기를 줄이면서 심플(Simple)하게 만들어 줄 수 있으며, 측정기 본체(컨트롤러)와 측정 플레이트 간의 연결에 있어서 신호선만 연결되어 케이블 선정이 용이할 수 있는 효과도 가진다.
본 발명에 의하면, 챠지 플레이트 모니터에서 측정 플레이트에 고압을 인가할 때에 컨덕티브 플레이트의 전위를 비접촉 전위계(Non-contacting Electrometer)로 검출하고 릴레이 스위치 단에 동 전위를 인가하여 전류의 흐름을 제로(0)에 가깝게 해 주는 전압 피드백 회로를 사용함으로써, 릴레이 스위치의 접점이 오프된 후에도 스트레이 커패시터의 영향을 거의 받지 않도록 해 줄 수 있으며, 또한 플레이트 커패시턴스의 값을 등가적인 커패시턴스(예를 들어, 20pF ± 2pF의 정전용량)로 유지해 줄 수 있으며, 이에 자연 방전 시간 등의 측정값에 영향이 없도록 할 수 있는 효과도 가진다.
도 1은 종래 챠지 플레이트 모니터의 측정 플레이트를 설명하는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 챠지 플레이트 모니터를 설명하는 도면이다.
도 3은 도 1에 있는 전압 피드백 회로부를 설명하는 도면이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명에 관한 설명은 구조적 내지 기능적 설명을 위한 실시 예에 불과하므로, 본 발명의 권리범위는 본문에 설명된 실시 예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. 즉, 실시 예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 본 발명의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 본 발명에서 제시된 목적 또는 효과는 특정 실시예가 이를 전부 포함하여야 한다거나 그러한 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니므로, 본 발명의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.
본 발명에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
"제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 실시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
여기서 사용되는 모든 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 한 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미를 지니는 것으로 해석될 수 없다.
이제 본 발명의 실시 예에 따른 챠지 플레이트 모니터 및 그 운용방법에 대하여 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 챠지 플레이트 모니터를 설명하는 도면이다.
도 2를 참조하면, 챠지 플레이트 모니터(100)는, 측정 플레이트부(110), 비접촉 전위계부(120), 측정부(130), 전압 피드백 회로부(140)를 포함한다.
측정 플레이트부(110)는, 도전성 플레이트로서, 컨덕티브 플레이트(111), 그라운드 표면체(112), 컨덕티브 플레이트(111)와 그라운드 표면체(Grounded Surface)(112) 사이의 절연체(113)를 포함하며, 내부(즉, 컨덕티브 플레이트(111)와 그라운드 표면체(112) 사이)에 비접촉 전위계부(120)를 설치해 준다.
일 실시 예에서, 컨덕티브 플레이트(111)는 10~25cm*10~25cm(바람직하게는, 15cm(6”)*15cm(6”))의 크기를 가질 수 있다.
비접촉 전위계부(120)는, 측정 플레이트부(110)의 내부(즉, 컨덕티브 플레이트(111)와 그라운드 표면체(112) 사이)에 설치되며, 측정 플레이트부(110)(컨덕티브 플레이트(111))의 전위를 검출하여 해당 검출된 컨덕티브 플레이트 전위를 측정부(130)로 인가해 준다.
측정부(130)는, 필드메터(Fieldmeter) 및 DAC(Digital to Analog Converter)로서, 비접촉 전위계부(120)로부터 인가되는 컨덕티브 플레이트 전위를 측정하며, 또한 비접촉 전위계부(120)로부터 인가되는 컨덕티브 플레이트 전위를 전압 피드백 회로부(140)로 바이패스시켜 준다.
전압 피드백 회로부(140)는, 측정부(130)를 통해 바이패스되는 컨덕티브 플레이트 전위를 피드백(feedback)하여 릴레이 스위치(Relay Switch) 단에 인가시켜 전류의 흐름을 제로(0)에 가깝게 해 주며, 이에 릴레이 스위치의 접점이 오프된 후에도 스트레이 커패시터의 영향을 거의 받지 않도록 최소화해 줄 수 있다.
상술한 바와 같은 구성을 가진 챠지 플레이트 모니터(100)는, 플레이트 어셈블리(Plate Assembly)에 HVPS(High Voltage Power Supply)를 구비시켜 주고 전압 피드백 회로부(140)를 이용하여 릴레이 스위치의 스트레이 커패시터(Stray Capacitor)를 제거(Eliminate)함으로써, 고압 케이블의 사용을 불필요하게 할 수 있으며, 또한 스트레이 커패시턴스(Stray Capacitance)를 최소화시켜 등가적인 커패시턴스(예를 들어, 20pF ± 2pF의 정전용량)를 유지해 줄 수 있으며, 이에 릴레이 스위치를 이용한 고전압 온(On)/오프(Off) 시에 스트레이 커패시턴스에 의하여 정전기 방전 시간 등의 측정값에 영향이 없도록 해 줄 수 있으며, 이에 따라 이오나이저의 성능을 정확히 측정할 수 있다.
상술한 바와 같은 구성을 가진 챠지 플레이트 모니터(100)는, 산업용 제전기의 성능을 측정하는 장치로 적용할 수 있는데, 스트레이 커패시터의 영향을 최소화시켜 산업용 제전기의 디케이 타임(Decay Time)을 정확하게 측정할 수 있다.
상술한 바와 같은 구성을 가진 챠지 플레이트 모니터(100)는, HVPS의 고압 전원 인가 부분을 측정 플레이트부(110)에 함께 결합시켜 형성함으로써, 측정부(130)의 외형 크기를 줄이면서 심플(Simple)하게 만들어 줄 수 있으며, 측정부(130)와 측정 플레이트부(110) 간의 연결에 있어서 신호선만 연결되어 케이블 선정이 용이할 수 있다.
상술한 바와 같은 구성을 가진 챠지 플레이트 모니터(100)는, HVPS에서 측정 플레이트부(110)에 고압을 인가할 때에 컨덕티브 플레이트(111)의 전위를 비접촉 전위계부(120)로 검출하고, 해당 검출된 컨덕티브 플레이트 전위를 릴레이 스위치 단에 인가하여 전류의 흐름을 제로(0)에 가깝게 해 주는 전압 피드백 회로부(140)를 사용함으로써, 릴레이 스위치의 접점이 오프된 후에도 스트레이 커패시터의 영향을 거의 받지 않도록 해 줄 수 있으며, 또한 플레이트 커패시턴스의 값을 등가적인 커패시턴스(예를 들어, 20pF ± 2pF의 정전용량)로 유지해 줄 수 있으며, 이에 자연 방전 시간 등의 측정값에 영향이 없도록 할 수 있다.
상술한 바와 같은 구성을 가진 챠지 플레이트 모니터(100)는, 릴레이 스위치를 사용하여 전압을 인가하는 회로에 있어서, 스트레이 커패시터의 영향을 최소화하거나 높은 절연 저항을 필요로 하는 제품에 사용될 수 있다.
도 3은 도 1에 있는 전압 피드백 회로부를 설명하는 도면이다.
도 3을 참조하면, 측정부(130)에서는, 디케이 모드(Decay Mode) 시에 내부에 구비되어 있는 메인 컨트롤러(Main Controller)(설명의 편의상으로 도면에는 도시하지 않음)에서 HVPS의 전압을 인가하도록 하기 위한 HVPS온신호(예를 들어, 플러스HVPS온신호(HVPS ON#1), 마이너스HVPS온신호(HVPS ON#2)) 및 릴레이스위치온신호(예를 들어, 플러스릴레이스위치온신호(+OUT ON#1), 마이너스릴레이스위치온신호(-OUT ON#2))를 생성시켜 주며, 해당 생성시킨 HVPS온신호(예를 들어, 플러스HVPS온신호(HVPS ON#1), 마이너스HVPS온신호(HVPS ON#2))를 각각 플러스HVPS 및 마이너스HVPS로 보내며, 또한 해당 생성시킨 릴레이스위치온신호(예를 들어, 플러스릴레이스위치온신호(+OUT ON#1), 마이너스릴레이스위치온신호(-OUT ON#2))를 각각 플러스릴레이 스위치 및 마이너스릴레이 스위치로 보낸다.
플러스HVPS 및 마이너스HVPS는, 메인 컨트롤러로부터 보내오는 HVPS온신호(예를 들어, 플러스HVPS온신호(HVPS ON#1), 마이너스HVPS온신호(HVPS ON#2))에 따라 전압을 각각 플러스릴레이 스위치 및 마이너스릴레이 스위치로 공급해 준다.
플러스릴레이 스위치 및 마이너스릴레이 스위치는, 메인 컨트롤러로부터 보내오는 릴레이스위치온신호(예를 들어, 플러스릴레이스위치온신호(+OUT ON#1), 마이너스릴레이스위치온신호(-OUT ON#2))에 따라 각각 스위치 온되어, 플러스HVPS 및 마이너스HVPS로부터 공급되는 전압을 기 설정된 값(예를 들어, 1050V) 이상의 전압으로 측정 플레이트부(110)의 컨덕티브 플레이트(111)에 챠지(Charge)시켜 준다.
비접촉 전위계부(120)는, 측정 플레이트부(110)(컨덕티브 플레이트(111))의 전위값을 검출하여 해당 검출된 컨덕티브 플레이트 전위값을 측정부(130)로 인가해 주는데, 이때 플러스HVPS 및 마이너스HVPS로부터 공급되는 전압이 기 설정된 값(예를 들어, 1050V) 이상일 때에 검출된 컨덕티브 플레이트 전위값을 측정부(130)로 인가해 줄 수 있다.
한편, 측정부(130)의 메인 컨트롤러에서는, 플러스HVPS 및 마이너스HVPS로부터 공급되는 전압이 기 설정된 값(예를 들어, 1050V) 이상일 때에, 릴레이스위치오프신호(예를 들어, 플러스릴레이스위치오프신호(+OUT OFF#1), 마이너스릴레이스위치오프신호(-OUT OFF#2))를 생성하고 컨덕티브 플레이트 전위값이 기 설정된 값(예를 들어, 100V) 이하일 때에 HVPS의 인가 전압을 오프시켜 주기 위한 HVPS오프신호(예를 들어, 플러스HVPS오프신호(HVPS OFF#1), 마이너스HVPS오프신호(HVPS OFF#2)를 생성시켜 주며, 해당 생성시킨 릴레이스위치오프신호(예를 들어, 플러스릴레이스위치오프신호(+OUT OFF#1), 마이너스릴레이스위치오프신호(-OUT OFF#2))를 각각 플러스릴레이 스위치 및 마이너스릴레이 스위치로 보내며, 또한 해당 생성시킨 HVPS오프신호(예를 들어, 플러스HVPS오프신호(HVPS OFF#1), 마이너스HVPS오프신호(HVPS OFF#2))를 각각 플러스HVPS 및 마이너스HVPS로 보낸다.
플러스HVPS 및 마이너스HVPS는, HVPS오프신호(예를 들어, 플러스HVPS오프신호(HVPS OFF#1), 마이너스HVPS오프신호(HVPS OFF#2))에 따라 플러스릴레이 스위치 및 마이너스릴레이 스위치로의 인가 전압을 각각 오프시켜 준다.
플러스릴레이 스위치 및 마이너스릴레이 스위치는, 메인 컨트롤러로부터 보내오는 릴레이스위치오프신호(예를 들어, 플러스릴레이스위치오프신호(+OUT OFF#1), 마이너스릴레이스위치오프신호(-OUT OFF#2))에 따라 각각 스위치 오프되어, 플러스HVPS 및 마이너스HVPS로부터 공급되는 전압을 오프시켜 준다.
측정부(130)의 메인 컨트롤러에서는, 비접촉 전위계부(120)에서 플러스HVPS 및 마이너스HVPS로부터 공급되는 전압이 기 설정된 값(예를 들어, 1050V) 이상일 때에 검출된 컨덕티브 플레이트 전위값을 읽어 들이며, 해당 읽어 들인 컨덕티브 플레이트 전위값이 기 설정된 값(예를 들어 100V) 이하가 될때 까지 전압 피드백 회로부(140)를 통해 피드백시켜 HVPS의 인가 전압을 추종하도록 해줌으로써, 릴레이 스위치의 양단 전위를 동일하도록 해 주며, 이에 전류의 흐름을 제로(0)에 가깝게 해 주게 되며, 이에 따라 릴레이 스위치의 접점이 오프된 후에도 스트레이 커패시터의 영향을 거의 받지 않도록 최소화해 주게 된다.
이상, 본 발명의 실시 예는 상술한 장치 및/또는 운용방법을 통해서만 구현이 되는 것은 아니며, 본 발명의 실시 예의 구성에 대응하는 기능을 실현하기 위한 프로그램, 그 프로그램이 기록된 기록 매체 등을 통해 구현될 수도 있으며, 이러한 구현은 앞서 설명한 실시 예의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야의 전문가라면 쉽게 구현할 수 있는 것이다. 이상에서 본 발명의 실시 예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.

Claims (5)

  1. 컨덕티브 플레이트, 그라운드 표면체, 컨덕티브 플레이트와 그라운드 표면체 사이의 절연체를 구비한 측정 플레이트부;
    상기 측정 플레이트부의 컨덕티브 플레이트와 그라운드 표면체 사이에 설치되며, 컨덕티브 플레이트의 전위를 검출하는 비접촉 전위계부;
    상기 비접촉 전위계부에서 검출한 컨덕티브 플레이트 전위를 측정하거나 바이패스시켜 주는 측정부; 및
    상기 측정부에서 바이패스되는 컨덕티브 플레이트 전위를 피드백하여 릴레이 스위치 단에 인가시켜 주는 전압 피드백 회로부를 포함하는 챠지 플레이트 모니터.
  2. 제1항에 있어서,
    전원 인가 부분을 상기 측정 플레이트부에 함께 결합시켜 형성한 HVPS를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 챠지 플레이트 모니터.
  3. 제2항에 있어서, 상기 측정부는,
    디케이 모드 시에 HVPS온신호 및 릴레이스위치온신호를 생성시켜, HVPS온신호를 상기 HVPS로 인가하고 릴레이스위치온신호를 상기 릴레이 스위치로 인가하는 것을 특징으로 하는 챠지 플레이트 모니터.
  4. 제3항에 있어서, 상기 측정부는,
    상기 HVPS에서 공급되는 전압이 기 설정된 값 이상일 때에, 릴레이스위치오프신호를 생성하고 기 설정된 값 이하일 때 HVPS오프신호를 생성시켜, HVPS오프신호를 상기 HVPS로 인가하고 릴레이스위치오프신호를 상기 릴레이 스위치로 인가하는 것을 특징으로 하는 챠지 플레이트 모니터.
  5. 측정 플레이트부에 구비된 컨덕티브 플레이트와 그라운드 표면체 사이에 설치되어 있는 비접촉 전위계부가 상기 컨덕티브 플레이트의 전위를 검출하는 단계;
    측정부가, 상기 비접촉 전위계부에서 검출한 컨덕티브 플레이트 전위를 측정하거나 바이패스시켜 주는 단계; 및
    전압 피드백 회로부가, 상기 측정부에서 바이패스되는 컨덕티브 플레이트 전위를 피드백하여 릴레이 스위치 단에 인가시켜 주는 단계를 포함하는 챠지 플레이트 모니터의 운용방법.
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