JP2001124812A - イオナイザの調整・評価装置 - Google Patents
イオナイザの調整・評価装置Info
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- JP2001124812A JP2001124812A JP30354799A JP30354799A JP2001124812A JP 2001124812 A JP2001124812 A JP 2001124812A JP 30354799 A JP30354799 A JP 30354799A JP 30354799 A JP30354799 A JP 30354799A JP 2001124812 A JP2001124812 A JP 2001124812A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 実際の除電対象物に対するイオナイザの除電
能力およびイオナイザの正・負のイオンのバランスを精
度よく測定する。 【解決手段】 第１のコンデンサと、第１のコンデンサ
より静電容量が大きく、第１のコンデンサと入り切り可
能に接続される第２のコンデンサとを有する静電プレー
トと、該静電プレートの表面電位を測定する表面電位測
定部とを備えた装置とする。ここで前記第１のコンデン
サは２枚の金属板からなる平行平板コンデンサであるの
が実用上好ましい。
能力およびイオナイザの正・負のイオンのバランスを精
度よく測定する。 【解決手段】 第１のコンデンサと、第１のコンデンサ
より静電容量が大きく、第１のコンデンサと入り切り可
能に接続される第２のコンデンサとを有する静電プレー
トと、該静電プレートの表面電位を測定する表面電位測
定部とを備えた装置とする。ここで前記第１のコンデン
サは２枚の金属板からなる平行平板コンデンサであるの
が実用上好ましい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はイオナイザ（イオン
発生装置）の調整・評価装置に関し、より詳細にはイオ
ナイザの調整と評価が簡単な構造で精度よく行える装置
に関するものである。
発生装置）の調整・評価装置に関し、より詳細にはイオ
ナイザの調整と評価が簡単な構造で精度よく行える装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶部品やフィルムなどを製造する工場
などでは、周囲の環境によって静電気が発生し易くな
り、静電気による帯電が多数発生することがある。この
静電気による帯電によって機器の誤動作が生じたり、場
合によっては多くの静電気が瞬間的に流れて電子部品や
電子機器が損傷することがある。
などでは、周囲の環境によって静電気が発生し易くな
り、静電気による帯電が多数発生することがある。この
静電気による帯電によって機器の誤動作が生じたり、場
合によっては多くの静電気が瞬間的に流れて電子部品や
電子機器が損傷することがある。
【０００３】このため、このような電子部品や電子機器
などを製造する工場では、静電気を除去する目的で、イ
オンを発生させるイオナイザを配置することが一般に行
われている。このイオナイザの代表的なものとして、先
端の尖った放電電極に高電圧を印加してコロナ放電を起
こし、空気分子をイオン化するものがある。発生したイ
オンは空気中を浮遊し、除電対象物の表面に生じた静電
気を除去する。
などを製造する工場では、静電気を除去する目的で、イ
オンを発生させるイオナイザを配置することが一般に行
われている。このイオナイザの代表的なものとして、先
端の尖った放電電極に高電圧を印加してコロナ放電を起
こし、空気分子をイオン化するものがある。発生したイ
オンは空気中を浮遊し、除電対象物の表面に生じた静電
気を除去する。
【０００４】一般にイオナイザは正のイオンと負のイオ
ンとを交互または同時に発生させる。イオナイザを配設
する際には、このイオン発生量（除電能力）および正・
負のイオンのバランスを調整し最適化する必要がある。
また初期は最適化されていたイオナイザであっても長期
間使用すると、放電電極の劣化や汚れなどにより除電能
力の低下や正・負のイオンのバランスの崩れが生じ、却
って除電対象物を逆帯電させてしまうことがある。した
がってイオナイザの定期的な点検や保守は不可欠であ
る。
ンとを交互または同時に発生させる。イオナイザを配設
する際には、このイオン発生量（除電能力）および正・
負のイオンのバランスを調整し最適化する必要がある。
また初期は最適化されていたイオナイザであっても長期
間使用すると、放電電極の劣化や汚れなどにより除電能
力の低下や正・負のイオンのバランスの崩れが生じ、却
って除電対象物を逆帯電させてしまうことがある。した
がってイオナイザの定期的な点検や保守は不可欠であ
る。
【０００５】配設前のイオナイザの調整や、使用中のイ
オナイザの点検・保守には、２枚の金属板を離隔対向位
置に配した平行平板コンデンサ（第１のコンデンサ）か
らなる静電プレートを調整用の除電対象物としてこれま
で用いてきた。図２に静電プレートの一例を示す。この
静電プレート１は、１５０ｍｍ×１５０ｍｍの２枚の金
属板１１ａ，１１ｂを、金属板の４隅に配設した柱状絶
縁体１２により離隔対向位置に固定したものであって、
２０ピコファラッドの静電容量を有するものである。
オナイザの点検・保守には、２枚の金属板を離隔対向位
置に配した平行平板コンデンサ（第１のコンデンサ）か
らなる静電プレートを調整用の除電対象物としてこれま
で用いてきた。図２に静電プレートの一例を示す。この
静電プレート１は、１５０ｍｍ×１５０ｍｍの２枚の金
属板１１ａ，１１ｂを、金属板の４隅に配設した柱状絶
縁体１２により離隔対向位置に固定したものであって、
２０ピコファラッドの静電容量を有するものである。
【０００６】この静電プレート１を用いて、イオナイザ
３から発生する正・負のイオンのバランスを測定する場
合には、イオナイザ３の放電電極３１，３２が設けられ
た面から一定距離を離して前記の静電プレート１を設置
し、イオナイザ３を起動させて、表面電位センサー２１
と表面電位計２２からなる表面電位測定部２で静電プレ
ート１の表面電位を計測して、イオナイザ３から発生す
る正・負のイオンのバランスを測定する。
３から発生する正・負のイオンのバランスを測定する場
合には、イオナイザ３の放電電極３１，３２が設けられ
た面から一定距離を離して前記の静電プレート１を設置
し、イオナイザ３を起動させて、表面電位センサー２１
と表面電位計２２からなる表面電位測定部２で静電プレ
ート１の表面電位を計測して、イオナイザ３から発生す
る正・負のイオンのバランスを測定する。
【０００７】一方イオナイザ３の除電能力を測定する場
合には、高圧電源４を用いて静電プレート１を充電した
後、高圧電源４を切り離し、イオナイザ３から一定距離
を離した位置に静電プレート１を設置し、そしてイオナ
イザ３を起動させて、静電プレート１の表面電位の減衰
速度を表面電位測定部２で計測して、イオナイザ３の除
電能力を測定する。
合には、高圧電源４を用いて静電プレート１を充電した
後、高圧電源４を切り離し、イオナイザ３から一定距離
を離した位置に静電プレート１を設置し、そしてイオナ
イザ３を起動させて、静電プレート１の表面電位の減衰
速度を表面電位測定部２で計測して、イオナイザ３の除
電能力を測定する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記の静電
プレートの寸法及び静電容量は、ＩＣなど半導体分野で
取り扱われているウエハを主な除電対象物として想定し
て規格化されたものであるため、除電対象物の寸法及び
静電容量がウエハに比べ大きい液晶分野やフィルム分野
では、前記の静電プレートではイオナイザの真の除電能
力を精度よく測定することは困難であった。すなわち、
イオナイザの除電能力を調整・評価するには、除電対象
物に近い静電容量を有する静電プレートを用いるのが望
ましいところ、液晶分野やフィルム分野では静電容量が
ナノファラッドレベルのものが日常的に見られるのに対
して、前記の静電プレートの静電容量は２０ピコファラ
ッドと遥かに小さく、この静電プレートでは数秒で除電
できても実際の除電対象物（静電容量が数百ピコファラ
ッド〜数十ナノファラッドのもの）では除電に分単位の
時間が必要となる場合があり、実際の除電対象物に対す
るイオナイザの真の除電能力が測定・評価できなかっ
た。
プレートの寸法及び静電容量は、ＩＣなど半導体分野で
取り扱われているウエハを主な除電対象物として想定し
て規格化されたものであるため、除電対象物の寸法及び
静電容量がウエハに比べ大きい液晶分野やフィルム分野
では、前記の静電プレートではイオナイザの真の除電能
力を精度よく測定することは困難であった。すなわち、
イオナイザの除電能力を調整・評価するには、除電対象
物に近い静電容量を有する静電プレートを用いるのが望
ましいところ、液晶分野やフィルム分野では静電容量が
ナノファラッドレベルのものが日常的に見られるのに対
して、前記の静電プレートの静電容量は２０ピコファラ
ッドと遥かに小さく、この静電プレートでは数秒で除電
できても実際の除電対象物（静電容量が数百ピコファラ
ッド〜数十ナノファラッドのもの）では除電に分単位の
時間が必要となる場合があり、実際の除電対象物に対す
るイオナイザの真の除電能力が測定・評価できなかっ
た。
【０００９】他方、イオナイザの正・負イオンのバラン
スを測定するには、静電プレートの表面電位が変化しや
すい方が望ましい。すなわち静電容量の小さい静電プレ
ートが望ましい。
スを測定するには、静電プレートの表面電位が変化しや
すい方が望ましい。すなわち静電容量の小さい静電プレ
ートが望ましい。
【００１０】本発明はこのような従来の問題に鑑みてな
されたものであり、実際の除電対象物に対するイオナイ
ザの除電能力を精度よく測定・評価でき、しかもイオナ
イザの正・負のイオンのバランスをも精度よく測定でき
るイオナイザの調整・評価装置の提供をその目的とす
る。
されたものであり、実際の除電対象物に対するイオナイ
ザの除電能力を精度よく測定・評価でき、しかもイオナ
イザの正・負のイオンのバランスをも精度よく測定でき
るイオナイザの調整・評価装置の提供をその目的とす
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、第１の
コンデンサと、該第１のコンデンサより静電容量が大き
く、該第１のコンデンサと入り切り可能に接続される第
２のコンデンサとを有する静電プレートと、該静電プレ
ートの表面電位を測定する表面電位測定部とを備えたこ
とを特徴とするイオナイザの調整・評価装置が提供され
る。
コンデンサと、該第１のコンデンサより静電容量が大き
く、該第１のコンデンサと入り切り可能に接続される第
２のコンデンサとを有する静電プレートと、該静電プレ
ートの表面電位を測定する表面電位測定部とを備えたこ
とを特徴とするイオナイザの調整・評価装置が提供され
る。
【００１２】ここで前記第１のコンデンサは、２枚の金
属板からなる平行平板コンデンサであるのが実用上好ま
しい。また第１のコンデンサの静電容量は数十ピコファ
ラッドの範囲であり、第２のコンデンサの静電容量は数
百ピコファラッド〜数十ナノファラッドの範囲であるの
が実用上望ましい。
属板からなる平行平板コンデンサであるのが実用上好ま
しい。また第１のコンデンサの静電容量は数十ピコファ
ラッドの範囲であり、第２のコンデンサの静電容量は数
百ピコファラッド〜数十ナノファラッドの範囲であるの
が実用上望ましい。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明者等は、実際の除電対象物
に対するイオナイザの除電能力を精度よく測定・評価で
き、しかもイオナイザの正・負のイオンのバランスをも
精度よく測定できる装置に関して鋭意検討を重ねた結
果、従来から用いられている、平行平板コンデンサ（第
１のコンデンサ）を備えた静電プレートに、さらに当該
平行平板コンデンサより静電容量が大きいコンデンサを
入り切り可能に接続すればよいことを見出し本発明をな
すに至った。
に対するイオナイザの除電能力を精度よく測定・評価で
き、しかもイオナイザの正・負のイオンのバランスをも
精度よく測定できる装置に関して鋭意検討を重ねた結
果、従来から用いられている、平行平板コンデンサ（第
１のコンデンサ）を備えた静電プレートに、さらに当該
平行平板コンデンサより静電容量が大きいコンデンサを
入り切り可能に接続すればよいことを見出し本発明をな
すに至った。
【００１４】すなわち、静電容量が数十ピコファラッド
程度の第１のコンデンサを備えた従来の静電プレート
に、静電容量が数百ピコファラッド〜数十ナノファラッ
ドの範囲の比較的大容量の第２のコンデンサを入り切り
可能に接続し、イオナイザの正・負のイオンのバランス
を測定・調整するときは、第１のコンデンサと第２のコ
ンデンサとの接続を切り、第１のコンデンサのみを用い
た静電プレートの表面電位を測定する。このような静電
容量の小さい第１のコンデンサのみを用いると、第１の
コンデンサの表面電位が変化しやすく、イオナイザの正
・負イオンのバランスを精度よく測定することができ
る。
程度の第１のコンデンサを備えた従来の静電プレート
に、静電容量が数百ピコファラッド〜数十ナノファラッ
ドの範囲の比較的大容量の第２のコンデンサを入り切り
可能に接続し、イオナイザの正・負のイオンのバランス
を測定・調整するときは、第１のコンデンサと第２のコ
ンデンサとの接続を切り、第１のコンデンサのみを用い
た静電プレートの表面電位を測定する。このような静電
容量の小さい第１のコンデンサのみを用いると、第１の
コンデンサの表面電位が変化しやすく、イオナイザの正
・負イオンのバランスを精度よく測定することができ
る。
【００１５】他方イオナイザの除電能力を測定・評価す
るときは、第２のコンデンサを第１のコンデンサと接続
し、静電プレートの表面電位を測定する。第２のコンデ
ンサを第１のコンデンサと接続することによって、静電
プレートの静電容量を除電対象物に近いものとすること
ができ、実際の除電対象物に対するイオナイザの除電能
力を精度よく測定・評価することができる。
るときは、第２のコンデンサを第１のコンデンサと接続
し、静電プレートの表面電位を測定する。第２のコンデ
ンサを第１のコンデンサと接続することによって、静電
プレートの静電容量を除電対象物に近いものとすること
ができ、実際の除電対象物に対するイオナイザの除電能
力を精度よく測定・評価することができる。
【００１６】以下、本発明の装置について図により詳細
に説明する。なお、図２と同じ部材及び部位については
同じ符号を付して説明する。図１は、本発明の装置の概
説図である。
に説明する。なお、図２と同じ部材及び部位については
同じ符号を付して説明する。図１は、本発明の装置の概
説図である。
【００１７】第１のコンデンサ１１は、上金属プレート
１１ａと下金属プレート１１ｂとを柱状絶縁体１２で離
隔対向位置に保持したものであり、下金属プレート１１
ｂは接地されている。この第１のコンデンサ１１の静電
容量は上・下金属プレート間の距離やプレートの大きさ
などによって調整することができ、一般には数十ピコフ
ァラッド程度の静電容量となるように調整する。ここで
は静電容量が２０ピコファラッドとなるように上・下金
属プレートの大きさや柱状絶縁体１２の高さなどが調整
されている。
１１ａと下金属プレート１１ｂとを柱状絶縁体１２で離
隔対向位置に保持したものであり、下金属プレート１１
ｂは接地されている。この第１のコンデンサ１１の静電
容量は上・下金属プレート間の距離やプレートの大きさ
などによって調整することができ、一般には数十ピコフ
ァラッド程度の静電容量となるように調整する。ここで
は静電容量が２０ピコファラッドとなるように上・下金
属プレートの大きさや柱状絶縁体１２の高さなどが調整
されている。
【００１８】また上・下金属プレート１１ａ，１１ｂに
接続された耐高圧リード線１４はスイッチ１５を介して
第２のコンデンサ１３に接続している。第２のコンデン
サ１３は、除電対象物の有する静電容量に近い静電容量
となるように電極間距離やプレートの大きさなどを予め
調整しておく必要がある。第２のコンデンサ１３の静電
容量は除電対象物の静電容量に対応して決定されるが、
一般に数百ピコファラド〜数十ナノファラッドの範囲で
ある。また上・下金属プレート１１ａ，１１ｂは、高圧
電源４と接続されており、高圧電源４から上・下金属プ
レート１１ａ，１１ｂへ必要により高電圧が印加され
る。
接続された耐高圧リード線１４はスイッチ１５を介して
第２のコンデンサ１３に接続している。第２のコンデン
サ１３は、除電対象物の有する静電容量に近い静電容量
となるように電極間距離やプレートの大きさなどを予め
調整しておく必要がある。第２のコンデンサ１３の静電
容量は除電対象物の静電容量に対応して決定されるが、
一般に数百ピコファラド〜数十ナノファラッドの範囲で
ある。また上・下金属プレート１１ａ，１１ｂは、高圧
電源４と接続されており、高圧電源４から上・下金属プ
レート１１ａ，１１ｂへ必要により高電圧が印加され
る。
【００１９】一方上金属プレート１１ａの表面電位を測
定するために、表面電位計２２から延出した表面電位セ
ンサー２１が上金属プレート１１ａの表面上に離隔設置
され、測定値は表面電位計２２の外部出力からアナログ
データとしてオシロスコープなどの表示記録器２３に取
り込まれ表示・記録される。
定するために、表面電位計２２から延出した表面電位セ
ンサー２１が上金属プレート１１ａの表面上に離隔設置
され、測定値は表面電位計２２の外部出力からアナログ
データとしてオシロスコープなどの表示記録器２３に取
り込まれ表示・記録される。
【００２０】図１の装置では、上・下金属プレート１１
ａ，１１ｂと表面電位測定部２を別々に設けているが、
これらを一体的に設けてももちろん構わない。
ａ，１１ｂと表面電位測定部２を別々に設けているが、
これらを一体的に設けてももちろん構わない。
【００２１】このような装置を用いたイオナイザの調整
・評価方法を次に説明する。まずイオナイザ３を上金属
プレート１１ａの上側に所定距離を離して設置する。そ
してイオナイザ３の正・負のイオンのバランスを測定・
調整する場合には、第１のコンデンサ１１と第２のコン
デンサ１３との接続をスイッチ１５をオフにして切断す
る。次にイオナイザ３を起動させて、静電プレート１
（第１のコンデンサ１１）の表面電位を表面電位測定部
２で測定する。第１のコンデンサ１１の静電容量は２０
ピコファラッドと小さいため、イオナイザ３で発生した
イオンによって上金属プレート１１ａは容易に帯電して
表面電位が変化する。表面電位のこの変化を表示記録器
２３で観察しがらイオナイザ３の正・負のイオンのバラ
ンスを調整する。
・評価方法を次に説明する。まずイオナイザ３を上金属
プレート１１ａの上側に所定距離を離して設置する。そ
してイオナイザ３の正・負のイオンのバランスを測定・
調整する場合には、第１のコンデンサ１１と第２のコン
デンサ１３との接続をスイッチ１５をオフにして切断す
る。次にイオナイザ３を起動させて、静電プレート１
（第１のコンデンサ１１）の表面電位を表面電位測定部
２で測定する。第１のコンデンサ１１の静電容量は２０
ピコファラッドと小さいため、イオナイザ３で発生した
イオンによって上金属プレート１１ａは容易に帯電して
表面電位が変化する。表面電位のこの変化を表示記録器
２３で観察しがらイオナイザ３の正・負のイオンのバラ
ンスを調整する。
【００２２】他方、イオナイザ３の除電能力を測定・評
価する場合は、第１のコンデンサ１１と第２のコンデン
サ１３とをスイッチ１５をオンにして接続した後、高圧
電源４によって第１のコンデンサ１１及び第２のコンデ
ンサ１３に高電圧を印加する。高圧電源４との接続を切
断した後、イオナイザ３を起動させて第１のコンデンサ
１１及び第２のコンデンサ１３に貯まった電荷の除電を
行う。このときの上金属プレート１１ａの表面電位の減
衰を、表面電位センサー２１及び表面電位計２２、表示
記録器２３からなる表面電位測定部２で測定・観察し
て、表面電位が所定量減衰するのに要する時間からイオ
ナイザ３の除電能力を評価する。
価する場合は、第１のコンデンサ１１と第２のコンデン
サ１３とをスイッチ１５をオンにして接続した後、高圧
電源４によって第１のコンデンサ１１及び第２のコンデ
ンサ１３に高電圧を印加する。高圧電源４との接続を切
断した後、イオナイザ３を起動させて第１のコンデンサ
１１及び第２のコンデンサ１３に貯まった電荷の除電を
行う。このときの上金属プレート１１ａの表面電位の減
衰を、表面電位センサー２１及び表面電位計２２、表示
記録器２３からなる表面電位測定部２で測定・観察し
て、表面電位が所定量減衰するのに要する時間からイオ
ナイザ３の除電能力を評価する。
【００２３】なお本発明で使用できる表面電位測定部２
は、前記説明した表面電位測定装置に限定されるもので
はなく、従来公知の表面電位測定装置が使用でき、例え
ば入力インピーダンスの高い高圧プローブを用いて静電
プレート１の表面電位を直接測定するものであってもよ
い。
は、前記説明した表面電位測定装置に限定されるもので
はなく、従来公知の表面電位測定装置が使用でき、例え
ば入力インピーダンスの高い高圧プローブを用いて静電
プレート１の表面電位を直接測定するものであってもよ
い。
【００２４】また前記の装置では、第２のコンデンサ１
３を１つ付加して静電プレートの静電容量を調整した
が、必要に応じて第２のコンデンサを複数個設けてもも
ちろん構わない。
３を１つ付加して静電プレートの静電容量を調整した
が、必要に応じて第２のコンデンサを複数個設けてもも
ちろん構わない。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、実際の除電対象物に対
するイオナイザの除電能力を精度よく測定・評価でき、
しかもイオナイザの正・負のイオンのバランスをも精度
よく測定することができる。
するイオナイザの除電能力を精度よく測定・評価でき、
しかもイオナイザの正・負のイオンのバランスをも精度
よく測定することができる。
【図１】 本発明の装置を示す概説図である。
【図２】 従来の装置を示す概説図である。
１ 静電プレート ２ 表面電位測定部 ３ イオナイザ ４ 高圧電源 １１ 第１のコンデンサ １１ａ 上金属プレート １１ｂ 下金属プレート １２ 柱状絶縁体 １３ 第２のコンデンサ １４ 耐高圧リード線 １５ スイッチ ２１ 表面面電位センサー ２２ 表面電位計 ２３ 表示記録器
Claims (2)
- 【請求項１】 第１のコンデンサと、該第１のコンデン
サより静電容量が大きく、該第１のコンデンサと入り切
り可能に接続される第２のコンデンサとを有する静電プ
レートと、 該静電プレートの表面電位を測定する表面電位測定部と
を備えたことを特徴とするイオナイザの調整・評価装
置。 - 【請求項２】 前記第１のコンデンサが２枚の金属板か
らなる平行平板コンデンサである請求項１記載のイオナ
イザの調整・評価装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30354799A JP3476069B2 (ja) | 1999-10-26 | 1999-10-26 | イオナイザの調整・評価装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30354799A JP3476069B2 (ja) | 1999-10-26 | 1999-10-26 | イオナイザの調整・評価装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001124812A true JP2001124812A (ja) | 2001-05-11 |
| JP3476069B2 JP3476069B2 (ja) | 2003-12-10 |
Family
ID=17922327
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30354799A Expired - Fee Related JP3476069B2 (ja) | 1999-10-26 | 1999-10-26 | イオナイザの調整・評価装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3476069B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003001475A (ja) * | 2001-06-21 | 2003-01-08 | Toppan Printing Co Ltd | レーザー加工定盤およびフィルムキャリアの製造方法 |
| JP2008112707A (ja) * | 2006-10-03 | 2008-05-15 | Shishido Seidenki Kk | 帯電モニタ装置およびイオン生成装置の性能評価方法 |
| KR101329152B1 (ko) * | 2012-06-12 | 2013-11-14 | 한국산업기술시험원 | 이오나이저 자동 평가 장치 |
| WO2016133282A1 (ko) * | 2015-02-17 | 2016-08-25 | 주식회사 동일기연 | 챠지 플레이트 모니터 및 그 운용방법 |
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1999
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