KR20120030032A - 스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 장치, 스크린 인쇄기, 및 스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 방법 - Google Patents

스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 장치, 스크린 인쇄기, 및 스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 방법 Download PDF

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KR20120030032A
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테츠야 타나카
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Abstract

캐비티 기판 대응의 스크린 인쇄용 마스크에 대해 효율적으로 페이스트를 닦아낼 수 있는 스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 장치, 스크린 인쇄기 및 스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.　플랫부 대응 마스크 영역 MRF의 하면에 페이퍼 부재(34)의 접찰영역(34a)을 접찰시켜 플랫부 대응 마스크 영역(MRF)의 하면에 부착된 페이스트(PT)를 닦아내어, 캐비티부 대응 마스크 영역(MRC) 내의 각 돌출부(3a)의 하면에 페이퍼 부재(34)의 접찰영역(34a)을 순차적으로 접찰시켜 각 돌출부(3a)의 하면에 부착된 페이스트(PT)를 닦아낸다. 각 돌출부(3a)의 하면에 부착된 페이스트(PT)를 닦는데 있어서, 페이퍼 부재(34)의 접찰영역(34a)이 하나의 돌출부(3a)로부터 이간한 후, 다른 돌출부(3a)에 접촉할 때까지의 사이에 페이퍼 부재(34)의 권취를 실시하여 페이퍼 부재(34)의 접찰영역 (34a)을 갱신한다.

Description

스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 장치, 스크린 인쇄기, 및 스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 방법{DEVICE FOR CLEANING SCREEN PRINTING MASK, SCREEN PRINTING MACHINE, AND METHOD FOR CLEANING SCREEN PRINTING MASK}
본 발명은, 스크린 인쇄용 마스크의 하면에 부착된 페이스트를 닦아내는 스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 장치, 스크린 인쇄기 및 스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 방법에 관한 것이다.
기판의 전극에 땜납 페이스트 등의 페이스트를 인쇄할 경우에 기판에 접촉시켜서 사용되는 스크린 인쇄용 마스크(이하, 간단히 마스크라고 칭한다)에서는, 판(마스크) 분리를 한 후에 마스크에 부착된 페이스트를 닦아내고, 다음의 스크린 인쇄에 대비할 필요가 있다. 이러한 마스크에 부착된 페이스트를 닦아내기 위한 클리닝 장치에서는, 페이퍼 부재의 소정 영역(접찰(摺擦)영역)을 마스크의 하면에 접찰 시키는 것에 의해서, 마스크에 부착된 페이스트를 닦아내게 된다(예를 들면, 일본특개 2004-66832호 공보).
그런데, 기판 중에는, 기판의 상면(플랫부)뿐만이 아니라, 기판의 상면으로부터 움푹 들어가게 설치된 개구부(캐비티부)의 저면에도 전극이 설치된, 이른바 캐비티 기판이 알려져 있다. 이 캐비티 기판은 캐비티부에 설치된 캐비티부 전극과 플랫부에 설치된 플랫부 전극을 구비하고 있기 때문에, 캐비티 기판 대응의 마스크는, 캐비티부 전극에 대응하는 패턴공과 플랫부 전극에 대응하는 패턴공을 구비한다. 이 경우, 마스크에는, 캐비티부에 감합(嵌合)하는 하방으로 돌출된 형상의 복수의 돌출부가 설치되고, 이 돌출부의 저면에 캐비티부 전극에 대응하는 패턴공이 형성된다.
이러한 캐비티 기판 대응의 마스크에서는, 복수의 돌출부의 저면에 캐비티부 전극에 대응하는 패턴공이 형성된 캐비티부 대응 마스크 영역과 평판 형상 부분에 플랫부 전극에 대응하는 패턴공이 형성된 플랫부 대응 마스크 영역이 서로 다른 영역으로서 존재하는 형태로 이루어질 수 있다. 이에 따라, 이러한 마스크에 대해서 클리닝을 실시할 때, 캐비티부 대응 마스크 영역 내의 각 돌출부의 하면에 페이퍼 부재의 접찰영역을 순차적으로 접찰시켜서 이루어지는 클리닝과, 플랫부 대응 마스크 영역의 하면에 페이퍼 부재의 접찰영역을 접찰시켜서 이루어지는 클리닝을 각각 실시할 수 있어, 마스크의 클리닝을 간단하게 할 수 있게 된다.
특허 문헌 1 : 일본특개 2004-66832호 공보
그러나, 상기와 같이, 각 돌출부의 하면에 페이퍼 부재의 접찰영역을 순차적으로 접찰 시킬 경우, 하나의 돌출부의 클리닝을 마치고, 이 돌출부로부터 이간(離間)한 페이퍼 부재가 다른 돌출부에 접촉할 경우에, 이전의 돌출부로부터 닦아낸 페이스트(paste)가 다음의 돌출부에 칠해지는 경우가 있다. 이와 같이 이전의 돌출부로부터 닦아낸 페이스트가 다음의 돌출부에 칠해지면, 이후의 돌출부의 클리닝에서는, 그 칠해진 페이스트도 닦아내지 않으면 안 되기 때문에, 클리닝의 작업 효율이 저하되는 경우가 발생되는 문제점이 있었다.
여기서 본 발명은, 캐비티 기판 대응의 스크린 인쇄용 마스크에 대해 효율적으로 페이스트를 닦아낼 수 있는 스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 장치, 스크린 인쇄기 및 스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 장치는, 평판 형상의 제1 마스크 영역 및 제1 마스크 영역과는 다른 영역으로서 설치되고 하방으로 돌출된 형상의 복수의 돌출부를 갖춘 제2 마스크 영역을 구비한 스크린 인쇄용 마스크의 하면에 부착된 페이스트를 닦아내는 스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 장치로서, 스크린 인쇄용 마스크의 하면에 접찰되는 접찰영역을 가진 페이퍼 부재와, 제1 마스크 영역의 하면에 페이퍼 부재의 접찰영역을 접찰시켜 제1 마스크 영역의 하면에 부착된 페이스트를 닦아내는 것과 동시에, 제2 마스크 영역 내의 각 돌출부의 하면에 페이퍼 부재의 접찰영역을 순차적으로 접찰시켜 각 돌출부의 하면에 부착된 페이스트를 닦아내는 페이퍼 부재 접찰수단과, 페이퍼 부재의 접찰영역이 하나의 돌출부로부터 이간된 후, 다른 돌출부에 접촉할 때까지의 사이에 페이퍼 부재의 권취를 실시해 페이퍼 부재의 접찰영역을 갱신하는 접찰영역 갱신 수단을 구비한다.
본 발명의 스크린 인쇄기는, 기판의 상면에 설치된 복수의 제1 전극 및 기판의 상면의 일부에 형성된 복수의 개구부 각각의 저면에 설치된 복수의 제2 전극에 스크린 인쇄를 실시하는 스크린 인쇄기로서, 기판의 상면에 접촉하게 사용되어 제1 전극에 대응하는 제1 패턴공이 형성된 평판 형상의 제1 마스크 영역 및 제1 마스크 영역과는 다른 영역으로서 설치되어, 기판의 개구부에 감합하는 하방으로 돌출된 형상의 복수의 돌출부의 각각에 제2 전극에 대응하는 제2의 패턴공이 형성된 제2 마스크 영역을 구비한 스크린 인쇄용 마스크와, 스크린 인쇄용 마스크의 제2 마스크 영역에 형성된 제2의 패턴공과 기판의 제2 전극을 합치시킨 상태로 제2 마스크 영역 내에 페이스트를 공급하고, 이후 스크린 인쇄용 마스크와 기판을 상대적으로 이간시키는 것에 의해서 제2 전극에 페이스트를 인쇄하고, 스크린 인쇄용 마스크의 제1 마스크 영역에 형성된 제1 패턴공과 기판의 제1 전극을 합치시킨 상태로 제1 마스크 영역내에 페이스트를 공급하고, 이 후 스크린 인쇄용 마스크와 기판을 상대적으로 이간시키는 것에 의해서 제1 전극에 페이스트를 인쇄하는 인쇄 실행 수단과, 스크린 인쇄용 마스크의 하면에 부착된 페이스트를 닦아내는 스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 장치를 구비하고, 스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 장치는, 스크린 인쇄용 마스크의 하면에 접찰되는 접찰영역을 가진 페이퍼 부재와, 제1 마스크 영역의 하면에 페이퍼 부재의 접찰영역을 접찰시켜 제1 마스크 영역의 하면에 부착된 페이스트를 닦아내는 것과 동시에, 제2 마스크 영역 내의 각 돌출부의 하면에 페이퍼 부재의 접찰영역을 순차적으로 접찰시켜, 각 돌출부의 하면에 부착된 페이스트를 닦아내는 페이퍼 부재 접찰수단과, 페이퍼 부재의 접찰영역이 하나의 돌출부로부터 이간된 후, 다른 돌출부에 접촉하기까지의 사이에 페이퍼 부재의 권취를 실시해 페이퍼 부재의 접찰영역을 갱신하는 접찰영역 갱신 수단을 구비한다.
본 발명의 스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 방법은, 평판 형상의 제1 마스크 영역 및 제1 마스크 영역과는 다른 영역으로서 설치되고 하방으로 돌출된 형상의 복수의 돌출부를 구비한 제2 마스크 영역을 가지는 스크린 인쇄용 마스크의 하면에 부착된 페이스트를 닦아내는 스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 방법으로서, 제1 마스크 영역의 하면에 페이퍼 부재의 접찰영역을 접찰시켜 제1 마스크 영역의 하면에 부착된 페이스트를 닦아내는 공정과, 제2 마스크 영역 내의 각 돌출부의 하면에 페이퍼 부재의 접찰영역을 순차적으로 접찰시켜 각 돌출부의 하면에 부착된 페이스트를 닦아내는 공정을 포함하고, 제2 마스크 영역 내의 각 돌출부의 하면에 페이퍼 부재의 접찰영역을 순차적으로 접찰시켜 각 돌출부의 하면에 부착된 페이스트를 닦아내는 공정에 있어서, 페이퍼 부재의 접찰영역이 하나의 돌출부로부터 이간된 후, 다른 돌출부에 접촉할 때까지의 사이에 페이퍼 부재의 권취를 실시해 페이퍼 부재의 접찰영역을 갱신한다.
본 발명에서는, 페이퍼 부재의 접찰영역이 하나의 돌출부로부터 이간된 후, 다른 돌출부에 접촉할 때까지의 사이에 페이퍼 부재의 권취를 실시해 페이퍼 부재의 접찰영역을 갱신하게 되어, 하나의 돌출부의 클리닝을 마치고, 이 돌출부로부터 이간된 페이퍼 부재가 다른 돌출부에 접촉했을 때에, 이전의 돌출부로부터 닦아낸 페이스트가 다음의 돌출부에 칠해지는 일이 없다. 이 때문에, 캐비티 기판 대응의 스크린 인쇄용 마스크에 대해 효율적으로 페이스트를 닦아낼 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 스크린 인쇄기의 개략 구성도,
도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 스크린 인쇄기가 인쇄 대상으로 하는 캐비티 기판의 (a) 평면도, (b) 측 단면도,
도 3은 본 발명의 일실시 예에 따른 스크린 인쇄기가 구비한 마스크의 (a) 평면도, (b) 측 단면도,
도 4(a),(b),(c),(d)는 본 발명의 일실시 예에 따른 스크린 인쇄기의 동작 설명도,
도 5(a),(b),(c),(d)는 본 발명의 일실시 예에 따른 스크린 인쇄기의 동작 설명도,
도 6은 본 발명의 일실시 예에 따른 스크린 인쇄기가 구비된 클리닝 장치의 동작 설명도, 및
도 7(a),(b),(c),(d)는 본 발명의 일실시 예에 따른 스크린 인쇄기가 구비된 클리닝 장치의 동작 설명도이다.
이하, 도면을 참조해 본 발명의 실시 형태에 대해 설명한다. 도 1에 있어서, 본 실시 형태에 있어서의 스크린 인쇄기(1)는, 인쇄 대상물인 기판(PB)를 유지하는 기판 유지부(2), 기판 유지부(2)에 의해서 유지된 기판(PB)의 상방에 수평으로 설치된 전체적으로 장방형 형상의 스크린 인쇄용 마스크(이하, 간단히 마스크; 3), 마스크(3)의 상방에 설치된 페이스트 공급 헤드(4), 마스크(3)의 하면에 하방으로부터 접촉해 스크린 인쇄기(1)에 의한 스크린 인쇄의 실행 후에 마스크(3)의 클리닝을 실시하는 클리닝 장치(5)를 구비하여 구성된다. 이하, 설명의 편의상, 마스크(3)의 단변 방향(도 1의 지면에 수직인 방향)을 X축 방향, 마스크(3)의 장변 방향(도 1의 지면 좌우 방향)을 Y축 방향, 마스크(3)의 두께 방향(상하 방향이며, 도 1의 지면 상하 방향)을 Z축 방향이라고 한다.
도 2(a), (b)에 있어서 기판(PB)은, 하층측 기판 부재(11) 및 하층측 기판 부재(11)의 상면에 맞붙여진 상층측 기판 부재(12)를 구비하여 이루어진다. 기판(PB)의(상층측 기판 부재; 12의) 상면에는 복수의 플랫부 전극(fd ; 제1 전극)이 설치되고, 상층측 기판 부재(12)의 상면의 일부에 설치된 개구부인 캐비티부(CV)의 저면(즉 하층측 기판 부재(11)의 상면)에는 복수의 캐비티부 전극(cd; 제2 전극)이 설치된다. 즉 이 기판(PB)은, 상면(상층측 기판 부재(12)의 상면)에 복수의 플랫부 전극(fd)을 구비하는 것과 동시에, 캐비티부(CV)의 저면(하층측 기판 부재; 11의 상면)에 복수의 캐비티부 전극(cd)를 구비한 캐비티 기판이다.
기판 유지부(2)는 수평면 내 방향(XY면 내 방향) 및 상하 방향(Z축 방향)으로 이동 가능하게 설치되어, 유지한 기판(PB)을 마스크(3)의 하방 임의의 위치에 위치 결정할 수 있다.
도 1 및 도 3(a), (b)에 있어서, 마스크(3)는 사방이 틀 부재(3w)에 의해서 지지되고, 틀 부재(3w)에 의해서 둘러싸인 구형(求刑)의 영역에는, 서로 별개의 영역인 플랫부 대응 마스크 영역(MRF)과 캐비티부 대응 마스크 영역(MRC)이 설치된다. 플랫부 대응 마스크 영역(MRF)에는, 상층측 기판 부재(12)의 상면에 설치된 복수의 플랫부 전극(fd)에 대응하는 복수의 제1 패턴공(h1)이 설치된다. 한편, 캐비티부 대응 마스크 영역(MRC)에는, 기판(PB)의 복수의 캐비티부(CV)의 각각에 감합하는 하방으로 돌출된 형상의 복수의 돌출부(3a)가 설치되고, 각 돌출부(3a)에는 하층측 기판 부재(11)의 상면(캐비티부; CV의 저면)에 설치된 복수의 캐비티부 전극(cd)에 대응하는 복수의 제2의 패턴공(h2)이 설치된다.
도 3(a)으로부터 알 수 있듯이, 플랫부 대응 마스크 영역(MRF)은 마스크(3)의 단변 방향(X축 방향)과 평행한 마스크(3)의 중심선(CL)을 사이에 두고 위치하는 2개의 마스크(3)의 영역의 일측으로 이루어지고, 캐비티부 대응 마스크 영역(MRC)은 중심선(CL)을 사이에 두고 위치하는 2개의 마스크(3)의 영역 중 타측으로 이루어진다. 이와 같이 본 실시 형태에 있어서의 마스크(3)는, 평판 형상의 플랫부 대응 마스크 영역(MRF; 제1 마스크 영역) 및 플랫부 대응 마스크 영역(MRF)과는 다른 영역으로서 설치되고, 하방으로 돌출된 형상의 복수의 돌출부(3a)를 갖춘 캐비티부 대응 마스크 영역(MRC; 제2 마스크 영역)을 구비하는 캐비티 기판 대응의 마스크가 된다.
도 1에 있어서, 페이스트 공급 헤드(4)는 마스크(3)에 대해 수평면 내측 방향(XY면 내측 방향) 및 상하 방향(Z축 방향)으로 이동 가능하게 설치된 헤드 본체(21)와, 헤드 본체(21)의 하부에 설치되어 Y축 방향으로 대향하는 2개의 가이드 부재(22)를 구비하여 이루어진다. 각 가이드 부재(22)는 X축 방향으로 연장된 「주걱」형상의 부재이며, 헤드 본체(21)에 내장된 페이스트 카트리지(미도시)보다 하부로 공급(압송)되는 땜납 페이스트나 도전성 페이스트 등의 페이스트가 마스크(3) 상의 목적하는 개소에 집중하여 공급되도록 가이드를 한다.
도 1에 있어서, 클리닝 장치(5)는, 수평면 내측 방향(XY면 내측 방향) 및 상하 방향(Z축방향)으로 이동 가능하게 설치된 케이스 형태의 베이스부(31)와, 베이스부(31) 내에 설치되어 상방으로 개구된 형상의 백업 부재(32)와, 백업 부재(32)를 사이에 두고 Y축방향으로 대향해서 배치된 X축회전으로 회전가능한 한 쌍의 권취 롤러(33)와, 한 쌍의 권취 롤러(33)에 걸쳐지는 페이퍼 부재(34)와, 한 쌍의 권취 롤러(33)의 사이에서 백업 부재(32)를 사이에 두고 Y축방향으로 대향하여 배치되고 X축회전으로 회전 가능한 한 쌍의 안내 롤러(35)를 구비하여 이루어진다.
페이퍼 부재(34)는 그 상면이 점착면이 되고 한 쌍의 안내 롤러(35)의 사이의 백업 부재(32)에 의해서 지지되는 수평 영역은, 마스크(3)의 하면에 하방으로부터 접찰되는 접찰영역(34a)이 된다. 이 페이퍼 부재(34)의 접찰영역(34a)은, 한 쌍의 권취 롤러(33)를 같은 방향으로 구동하여 페이퍼 부재(34)를 권취함으로써 갱신할 수 있다. 백업 부재(32)의 내부에는 상방으로 개구된 공기 흡인 관로(32a)가 형성되고, 이 공기 흡인 관로(32a)로부터 공기를 진공 흡인하는 것으로, 페이퍼 부재(34)의 접찰영역(34a)을 통해 공기 흡인 관로(32a) 내에 공기를 흡인할 수 있다.
기판 유지부(2)의 수평면 내측 방향이동 및 상하 방향 이동에 의한 기판(PB)의 마스크(3)에 대한 위치 결정 동작은, 이 스크린 인쇄기(1)가 구비된 제어장치 (40; 도 1)가 미도시된 액츄에이터 등으로 구성된 기판 위치 결정 기구(41; 도 1)의 작동 제어를 실시하는 것에 의해 이루어진다.
페이스트 공급 헤드(4)의 헤드 본체(21)의 수평면 내측 방향이동 및 상하 방향 이동에 의한 페이스트 공급 헤드(4)의 마스크(3)에 대한 위치 결정 동작은, 제어장치(40)가 미도시된 액츄에이터 등으로 구성되는 페이스트 공급 헤드 이동 기구 (42; 도 1)의 작동 제어를 실시하는 것에 의해서 이루어지고, 페이스트 공급 헤드(4)로부터의 페이스트의 공급 동작은, 제어장치(40)가 미도시된 액츄에이터 등으로 구성된 페이스트 공급 기구(43; 도 1)의 작동 제어를 실시하는 것에 의해서 이루어진다.
클리닝 장치(5)의 베이스부(31)의 수평면 내측 방향이동 및 상하 방향 이동에 의한 클리닝 장치(5)의 마스크(3)에 대한 위치 결정 및 상대 이동 동작은, 제어장치(40)가 미도시된 액츄에이터 등으로 구성되는 클리닝 장치 이동 기구(44; 도 1)의 작동 제어를 실시하는 것에 의해 이루어진다. 또한 한 쌍의 권취 롤러(33)에 의한 페이퍼 부재(34)의 권취 동작(페이퍼 부재(34)의 접찰영역(34a)의 갱신 동작)은, 제어장치(40)가 미도시된 액츄에이터 등으로 구성되는 페이퍼 부재 권취 기구 (45; 도 1)의 작동 제어를 실시하는 것에 의해 이루어진다. 또한, 공기 흡인 관로 (32a)로부터 공기를 진공 흡인하는 공기의 흡인 동작은, 제어장치(40)가 미도시된 액츄에이터 등으로부터 구성되는 흡인 기구(46)의 작동 제어를 실시하는 것에 의해 이루어진다.
이 스크린 인쇄기(1)에 의한 기판(PB)으로의 스크린 인쇄 실행 공정에서는, 제어장치(40)는 우선, 마스크(3)의 캐비티부 대응 마스크 영역(MRC) 내의 각 제2의 패턴공(h2)과 기판 유지부(2)에 유지된 기판(PB)의 각 캐비티부 전극(cd)이 상하로 대응하게 기판(PB)을 이동시킨 후(도 4(a)), 기판(PB)을 상승시켜 기판(PB)의 상면과 마스크(3)의 하면을 접촉시킨다(도 4(b)). 이에 의해 마스크(3)의 돌출부(3a)와 기판(PB)의 캐비티부(CV)가 상하로 감합하여, 캐비티부 대응 마스크 영역(MRC) 내의 각 제2의 패턴공(h2)과 기판(PB)의 캐비티부 전극(cd)이 상하로 합치한다(위치 맞춤 공정).
제어장치(40)는, 기판(PB)의 상면과 마스크(3)의 하면을 접촉시키면, 페이스트 공급 헤드(4)의 가이드 부재(22)를 마스크(3)의 상면에 접촉시킨 후에 페이스트 공급 기구(43)를 작동시켜, 캐비티부 대응 마스크 영역(MRC) 내(돌출부; 3a내)에 페이스트(PT)를 공급한다(도 4(c), 페이스트 공급 공정). 이에 의해, 캐비티부 대응 마스크 영역(MRC) 내의 각 제2의 패턴공(h2)을 통해 각 캐비티부 전극(cd) 상으로 페이스트(PT)가 공급되므로, 이 후 기판(PB)과 마스크(3)를 상하 방향으로 상대적으로 이간(離間)시키면(판 누락 공정), 각 캐비티부 전극(cd)에 페이스트(PT)가 인쇄(전사)된다(도 4(d)).
제어장치(40)는 다음으로, 마스크(3)의 플랫부 대응 마스크 영역(MRF) 내의 각 제1 패턴공(h1)과 기판 유지부(2)에 유지된 기판(PB)의 각 플랫부 전극(fd)이 상하로 대향하도록 기판(PB)을 이동시킨 후(도 5(a)), 기판(PB)을 상승시켜 기판(PB)의 상면과 마스크(3)의 하면을 접촉시킨다(도 5(b)). 이에 의해 마스크(3)의 플랫부 대응 마스크 영역(MRF) 내의 각 제1 패턴공(h1)과 기판(PB)의 플랫부 전극(fd)이 상하로 합치한다.
제어장치(40)는, 기판(PB)의 상면과 마스크(3)의 하면을 접촉시키면, 페이스트 공급 헤드(4)의 가이드 부재(22)를 마스크(3)의 상면에 접촉시킨 뒤에 페이스트 공급 기구(43)를 작동시켜, 플랫부 대응 마스크 영역(MRF) 내에 페이스트(PT)를 공급한다(도 5(c)). 이에 의해 플랫부 대응 마스크 영역(MRF) 내의 각 제1 패턴공(h1)을 통해 각 플랫부 전극(fd) 상에 페이스트(PT)가 공급되므로, 이 후 기판 (PB)과 마스크(3)를 상하 방향으로 상대적으로 이간시키면, 각 플랫부 전극(fd)에 페이스트(PT)가 인쇄된다(도 5(d)).
또한, 캐비티부 전극(cd)은 기판(PB)의 상면으로부터 움푹 들어가게 설치된 캐비티부(CV) 내에 설치되어 있으므로, 캐비티부 전극(cd)으로의 페이스트(PT)의 인쇄가 종료한 후에 마스크(3)를 기판(PB)의 상면에 접촉시켜도, 마스크(3)가 캐비티부 전극(cd) 상의 페이스트(PT)와 접촉하지 않는다.
제어장치(40)는, 상기의 스크린 인쇄 실행 공정을 종료하면, 클리닝 장치(5)에 의해 마스크(3)의 하면의 클리닝을 실시한다. 이 마스크(3)의 하면의 클리닝에서는, 캐비티부 대응 마스크 영역(MRC)에 대한 클리닝과 플랫부 대응 마스크 영역 (MRF)에 대한 클리닝을 각각 따로 실시한다.
마스크(3)의 플랫부 대응 마스크 영역(MRF)의 클리닝에서는, 제어장치(40)는 도 6과 같이, 클리닝 장치 이동 기구(44)의 작동 제어를 실시해서, 플랫부 대응 마스크 영역(MRF)의 하면에 클리닝 장치(5)의 페이퍼 부재(34)의 접찰영역(34a)을 접촉시킨 후에, 베이스부(31)를 수평면 내측 방향(여기에서는 Y축방향)으로 이동시킨다(도 6에서 나타내는 화살표 D1). 이에 의해, 마스크(3)의 플랫부 대응 마스크 영역(MRF)의 하면에 부착된 페이스트(PT; 페이스트 PT의 찌꺼기 DS, 도 5(d) 참조)는 페이퍼 부재(34)의 접찰영역(34a)에 들러붙으므로, 마스크(3)의 플랫부 대응 마스크 영역(MRF)의 하면으로부터 페이스트(PT)을 닦아낼 수 있다(플랫부 대응 마스크 영역의 페이스트 닦음 공정).
한편, 마스크(3)의 캐비티부 대응 마스크 영역(MRC)의 클리닝에서는, 제어장치 (40)는, 도 7(a)과 같이, 클리닝 장치 이동 기구(44)의 작동 제어를 실시하여, 캐비티부 대응 마스크 영역(MRC) 내의 돌출부(3a)의 하나의 하면에 클리닝 장치(5)의 페이퍼 부재(34)의 접찰영역(34a)을 접촉시킨 후, 그 베이스부(31)를 수평면 내측 방향(여기에서는 Y축방향)으로 이동시킨다(도 7(a)에 나타낸 화살표 D2). 이에 의해, 마스크(3)의 캐비티부 대응 마스크 영역(MRC)의 하면에 부착된 페이스트(PT; 페이스트 PT의 찌꺼기 DS, 도 4(d) 참조)는 페이퍼 부재(34)의 접찰영역(34a)에 들러붙기 때문에, 마스크(3)의 캐비티부 대응 마스크 영역(MRC)의 하면으로부터 페이스트(PT)를 닦아낼 수 있다.
그리고, 제어장치(40)는, 하나의 돌출부(3a)의 하면의 클리닝이 종료하면, 다른(근처의) 돌출부(3a)로 이동해(도 7(b),(c),(d)에 나타낸 화살표 D3), 그 돌출부(3a)의 하면의 클리닝을 실시한다. 이에 의해 모든 돌출부(3)의 하면으로부터 페이스트(PT)를 닦아낼 수 있다(캐비티부 대응 마스크 영역의 페이스트 닦음 공정).
또한 상기한 양측 페이스트를 닦아내는 공정에 있어서, 페이스트(PT)를 닦아낼 때에는, 제어장치(40)는 흡인 기구(46)의 작동 제어를 실시하여, 공기 흡인 관로(32a)로부터 페이퍼 부재(34)의 접찰영역(34a)을 통해 공기를 진공 흡인한다. 이에 의해 마스크(3)의 하면에 부착된 페이스트(PT)는 페이퍼 부재(34) 측으로 흡입되므로, 페이스트(PT)를 닦아내는 것을 한층 효과적으로 실시할 수 있다.
한편, 제어장치(40)는, 상기의 캐비티부 대응 마스크 영역(MRC) 내의 각 돌출부(3a)의 하면에 페이퍼 부재(34)의 접찰영역(34a)을 순차적으로 접찰시켜 각 돌출부(3a)의 하면에 부착된 페이스트(PT)를 닦아내는 공정에 있어서, 페이퍼 부재 (34)의 접찰영역(34a)이 하나의 돌출부(3a)로부터 이간된 후, 다른 돌출부(3a)에 접촉할 때까지의 사이에 페이퍼 부재 권취 기구(45)를 작동시켜 페이퍼 부재(34)의 권취를 실시하고, 이에 의해 페이퍼 부재(34)의 접찰영역(34a)을 갱신한다(도 7(c),(d) 안에 나타내는 화살표 D4, 접찰영역 갱신 공정). 이에 의해 페이퍼 부재(34)에 부착된 페이스트(PT)의 찌꺼기(DS; 도 7(b),(c),(d))는 제거되고, 이전의 돌출부(3a)로부터 닦아낸 페이스트(PT)가 다음의 돌출부(3a)에 칠해지는 일이 없다.
상술한 것처럼, 본 실시 형태에 있어서의 스크린 인쇄용 마스크(3)의 클리닝 장치(5)는, 마스크(3)의 하면에 접찰되는 접찰영역(34a)을 구비한 페이퍼 부재 (34)와 마스크(3)의 플랫부 대응 마스크 영역(MRF; 제1 마스크 영역)의 하면에 페이퍼 부재(34)의 접찰영역(34a)을 접찰시켜 플랫부 대응 마스크 영역(MRF)의 하면에 부착된 페이스트(PT)를 닦아내는 것과 동시에, 캐비티부 대응 마스크 영역(MRC; 제2 마스크 영역) 내의 각 돌출부(3a)의 하면에 페이퍼 부재(34)의 접찰영역(34a)을 순차적으로 접찰시켜 각 돌출부(3a)의 하면에 부착된 페이스트(PT)를 닦아내는 페이퍼 부재접찰수단(클리닝 장치 이동 기구 ; 44 및 제어장치 ; 40)과 페이퍼 부재(34)의 접찰영역(34a)이 하나의 돌출부(3a)로부터 이간된 후, 다른 돌출부(3a)에 접촉할 때까지의 사이에 페이퍼 부재(34)의 권취를 실시해 페이퍼 부재 (34)의 접찰영역(34a)을 갱신하는 접찰영역 갱신 수단(페이퍼 부재 권취 기구 ; 45및 제어장치 ; 40)을 구비한다.
또한, 본 실시 형태에 있어서의 스크린 인쇄용 마스크(3)의 클리닝 방법은, 플랫부 대응 마스크 영역(MRF; 제1 마스크 영역)의 하면에 페이퍼 부재(34)의 접찰영역(34a)을 접찰시켜 플랫부 대응 마스크 영역(MRF)의 하면에 부착된 페이스트(PT)를 닦아내는 공정(플랫부 대응 마스크 영역의 페이스트 닦음 공정)과 캐비티부 대응 마스크 영역 (MRC; 제2 마스크 영역) 내의 각 돌출부(3a)의 하면에 페이퍼 부재(34)의 접찰영역(34a)을 순차적으로 접찰시켜 각 돌출부(3a)의 하면에 부착된 페이스트(PT)를 닦아 내는 공정(캐비티부 대응 마스크 영역의 페이스트 닦음 공정)을 포함하여, 캐비티부 대응 마스크 영역의 페이스트 닦음 공정에 있어서, 페이퍼 부재(34)의 접찰영역(34a)이 하나의 돌출부(3a)로부터 이간된 후, 다른 돌출부(3a)에 접촉할 때까지의 사이에 페이퍼 부재(34)의 권취를 실시해 페이퍼 부재(34)의 접찰영역(34a)을 갱신하는 공정(접찰영역 갱신 공정)을 실시한다.
이와 같이, 본 실시 형태에서는, 페이퍼 부재(34)의 접찰영역(34a)이 하나의 돌출부(3a)로부터 이간된 후, 다른 돌출부(3a)에 접촉할 때까지의 사이에 페이퍼 부재(34)의 권취를 실시하여, 페이퍼 부재(34)의 접찰영역(34a)을 갱신함으로써, 하나의 돌출부(3a)의 클리닝을 끝내고, 이 돌출부로부터 이간한 페이퍼 부재(34)가 다른 돌출부(3a)에 접촉했을 때에, 이전의 돌출부(3a)로부터 닦아낸 페이스트(PT)가 다음의 돌출부(3a)에 칠해지는 일이 없다. 이 때문에, 캐비티 기판 대응의 스크린 인쇄용 마스크(3)에 대해 효율적으로 페이스트(PT)를 닦아낼 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 있어서의 스크린 인쇄기(1)는, 기판(PB)의 상면에 설치된 복수의 플랫부 전극(fd; 제1 전극) 및 기판(PB)의 상면의 일부에 형성된 복수의 캐비티부(CV; 개구부) 각각의 저면에 설치된 복수의 캐비티부 전극(cd; 제2 전극)에 스크린 인쇄를 실시하는 스크린 인쇄기(1)이며, 기판(PB)의 상면에 접촉해서 사용되고, 플랫부 전극(fd)에 대응하는 제1 패턴공(h1)이 형성된 평판 형상의 플랫부 대응 마스크 영역(MRF; 제1 마스크 영역) 및 플랫부 대응 마스크 영역(MRF)과는 다른 영역으로서 설치되어, 기판(PB)의 개구부(캐비티부 CV)에 감합하는 하방으로 돌출된 형상의 복수의 돌출부(3a)의 각각에, 캐비티부 전극(cd)에 대응하는 제2의 패턴공(h2)이 형성된 캐비티부 대응 마스크 영역(MRC; 제2 마스크 영역)을 구비한 마스크(3)와, 마스크(3)의 캐비티부 대응 마스크 영역(MRC)에 형성된 제2의 패턴공(h2)과, 기판(PB)의 캐비티부 전극(cd)을 합치시킨 상태로 캐비티부 대응 마스크 영역(MRC) 내에 페이스트(PT)를 공급하고, 이 후 마스크(3)와 기판(PB)을 상대적으로 이간시키는 것에 의해서 캐비티부 전극(cd)에 페이스트(PT)를 인쇄하여, 마스크 (3)의 플랫부 대응 마스크 영역(MRF)에 형성된 제1 패턴공(h1)과 기판(PB)의 플랫부 전극(fd)을 합치시킨 상태로 플랫부 대응 마스크 영역(MRF) 내에 페이스트(PT)를 공급해, 이 후 마스크(3)와 기판(PB)을 상대적으로 이간시키는 것에 의해서 플랫부 전극(fd)에 페이스트(PT)를 인쇄하는 인쇄 실행 수단(페이스트 공급 헤드; 4, 기판 유지부; 2, 페이스트 공급 기구; 43, 기판 위치 결정 기구; 41 및 제어장치 ; 40)과, 마스크(3)의 하면에 부착된 페이스트(PT)를 닦아내는 상기 클리닝 장치(5)를 구비한다.
이와 같은 스크린 인쇄기에서는, 캐비티부 대응 마스크 영역(MRC) 내의 돌출부(3a)에 방해되지 않고 플랫부 대응 마스크 영역(MRF)의 클리닝을 실시할 수 있으므로, 캐비티 기판 대응의 입체적인 스크린 인쇄용 마스크(3)의 클리닝을 양호하게 실시할 수 있다.
지금까지 본 발명의 실시 형태에 대해 설명했지만, 본 발명은 상술의 실시 형태에 나타낸 것으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 상술의 실시 형태에서는, 플랫부 대응 마스크 영역(MRF)의 하면의 클리닝을 실시한 후에 캐비티부 대응 마스크 영역(MRC)의 하면을 실시하도록 하고 있었지만, 그 순서는 역순이어도 좋다.
본 출원은, 2009년 5월 25일 출원의 일본 특허 출원(특원2009-124865)에 근거하는 것으로, 그 내용은 여기에 참조로서 포함된다.
캐비티 기판 대응의 스크린 인쇄용 마스크에 대해 효율적으로 페이스트를 닦아낼 수 있는 스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 장치 및 스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 방법을 제공한다.
1 스크린 인쇄기
2 기판 유지부(인쇄 실행 수단)
3 스크린 인쇄용 마스크
3a 돌출부
4 페이스트 공급 헤드(인쇄 실행 수단)
5 클리닝 장치
34 페이퍼 부재
34a 접찰영역
40 제어장치(페이퍼 부재접찰수단, 접찰영역 갱신 수단, 인쇄 실행 수단)
41 기판 위치 결정 기구(인쇄 실행 수단)
43 페이스트 공급 기구(인쇄 실행 수단)
44 클리닝 장치 이동 기구(페이퍼 부재접찰수단)
45 페이퍼 부재 권취 기구(접찰영역 갱신 수단)
MRF 플랫부 대응 마스크 영역(제1 마스크 영역)
MRC 캐비티부 대응 마스크 영역(제2 마스크 영역)
h1 제1 패턴공
h2 제2의 패턴공
PB 기판
CV 캐비티부(개구부)
fd 플랫부 전극(제1 전극)
cd 캐비티부 전극(제2 전극)
PT 페이스트

Claims (3)

  1. 평판 형상의 제1 마스크 영역 및 제1 마스크 영역과는 다른 영역으로서 설치되고 하방으로 돌출된 형상의 복수의 돌출부를 갖춘 제2 마스크 영역을 구비한 스크린 인쇄용 마스크의 하면에 부착된 페이스트를 닦아내는 스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 장치로서,
    스크린 인쇄용 마스크의 하면에 접찰되는 접찰영역을 가진 페이퍼 부재와,
    제1 마스크 영역의 하면에 페이퍼 부재의 접찰영역을 접찰시켜 제1 마스크 영역의 하면에 부착된 페이스트를 닦아내는 것과 동시에, 제2 마스크 영역 내의 각 돌출부의 하면에 페이퍼 부재의 접찰영역을 순차적으로 접찰시켜 각 돌출부의 하면에 부착된 페이스트를 닦아내는 페이퍼 부재 접찰수단과,
    페이퍼 부재의 접찰영역이 하나의 돌출부로부터 이간된 후, 다른 돌출부에 접촉할 때까지의 사이에 페이퍼 부재의 권취를 실시해 페이퍼 부재의 접찰영역을 갱신하는 접찰영역 갱신 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 장치.
  2. 기판의 상면에 설치된 복수의 제1 전극 및 기판의 상면의 일부에 형성된 복수의 개구부 각각의 저면에 설치된 복수의 제2 전극에 스크린 인쇄를 실시하는 스크린 인쇄기로서,
    기판의 상면에 접촉하게 사용되어 제1 전극에 대응하는 제1 패턴공이 형성된 평판 형상의 제1 마스크 영역 및 제1 마스크 영역과는 다른 영역으로서 설치되어, 기판의 개구부에 감합하는 하방으로 돌출된 형상의 복수의 돌출부의 각각에, 제2 전극에 대응하는 제2의 패턴공이 형성된 제2 마스크 영역을 구비한 스크린 인쇄용 마스크와,
    스크린 인쇄용 마스크의 제2 마스크 영역에 형성된 제2의 패턴공과 기판의 제2 전극을 합치시킨 상태로 제2 마스크 영역 내로 페이스트를 공급하고, 이후 스크린 인쇄용 마스크와 기판을 상대적으로 이간시키는 것으로 제2 전극에 페이스트를 인쇄하고, 스크린 인쇄용 마스크의 제1 마스크 영역에 형성된 제1 패턴공과 기판의 제1 전극을 합치시킨 상태로 제1 마스크 영역 내에 페이스트를 공급하고, 이 후 스크린 인쇄용 마스크와 기판을 상대적으로 이간시키는 것에 의해서 제1 전극에 페이스트를 인쇄하는 인쇄 실행 수단과,
    스크린 인쇄용 마스크의 하면에 부착된 페이스트를 닦아내는 스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 장치를 구비하고,
    스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 장치는, 스크린 인쇄용 마스크의 하면에 접찰되는 접찰영역을 가진 페이퍼 부재와,
    제1 마스크 영역의 하면에 페이퍼 부재의 접찰영역을 접찰시켜 제1 마스크 영역의 하면에 부착된 페이스트를 닦아내는 것과 동시에, 제2 마스크 영역 내의 각 돌출부의 하면에 페이퍼 부재의 접찰영역을 순차적으로 접찰시켜, 각 돌출부의 하면에 부착된 페이스트를 닦아내는 페이퍼 부재 접찰수단과,
    페이퍼 부재의 접찰영역이 하나의 돌출부로부터 이간된 후, 다른 돌출부에 접촉하기까지의 사이에 페이퍼 부재의 권취를 실시해 페이퍼 부재의 접찰영역을 갱신하는 접찰영역 갱신 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄기.
  3. 평판 형상의 제1 마스크 영역 및 제1 마스크 영역과는 다른 영역으로서 설치되고 하방으로 돌출된 형상의 복수의 돌출부를 구비한 제2 마스크 영역을 가지는 스크린 인쇄용 마스크의 하면에 부착된 페이스트를 닦아내는 스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 방법으로서,
    제1 마스크 영역의 하면에 페이퍼 부재의 접찰영역을 접찰시켜 제1 마스크 영역의 하면에 부착된 페이스트를 닦아내는 공정과,
    제2 마스크 영역 내의 각 돌출부의 하면에 페이퍼 부재의 접찰영역을 순차적으로 접찰시켜 각 돌출부의 하면에 부착된 페이스트를 닦아내는 공정을 포함하고,
    제2 마스크 영역 내의 각 돌출부의 하면에 페이퍼 부재의 접찰영역을 순차적으로 접찰시켜 각 돌출부의 하면에 부착된 페이스트를 닦아내는 공정에 있어서, 페이퍼 부재의 접찰영역이 하나의 돌출부로부터 이간된 후, 다른 돌출부에 접촉할 때까지의 사이에 페이퍼 부재의 권취를 실시해 페이퍼 부재의 접찰영역을 갱신하는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄용 마스크의 클리닝 방법.
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