KR20110109766A - 광학 검사를 위한 지지 기구 - Google Patents

광학 검사를 위한 지지 기구 Download PDF

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Abstract

지지 기구는 제1 스캐너에 제1 스캐닝 영역을 제공하는 제1 작업 프레임, 제1 패널을 지지하는 제1 프레임, 및 제2 패널을 지지하는 제2 프레임을 포함하되, 상기 제1 프레임은 상기 제1 작업 프레임의 제1측에 회동 가능하게 연결됨으로써 상기 제1 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 상기 제1 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서 상기 제1 프레임이 상기 제1 작업 프레임의 상기 제1측의 주위를 회동할 수 있고, 상기 제2 프레임은 상기 제1 작업 프레임의 제2측에 회동 가능하게 연결됨으로써 상기 제2 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 상기 제2 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서 상기 제2 프레임이 상기 제1 작업 프레임의 상기 제2측의 주위를 회동할 수 있고, 상기 제1 스캐닝 영역은 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임 중 어느 하나가 접힌 위치에 있고 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임 중 다른 하나가 펼친 위치에 있을 때 상기 제1 스캐너가 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임 중 상기 어느 하나를 스캔할 수 있게 한다.

Description

광학 검사를 위한 지지 기구{Support Mechanism for inspection systems}
본 발명은 광학 검사에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 광학 검사 시스템에 사용되는 지지 기구에 관한 것이다.
액정표시장치(liquid crystal display, LCD)와 같은 표시 장치는 텍스트, 이미지 및 동영상을 포함하는 정보를 전기적으로 표시하는 데에 사용된다. 액정표시장치는 편광 필터, 유리 기판, 컬러 필터, 액정 및 반사판과 같은 액정표시장치의 품질을 결정하는 다수의 레이어를 포함할 수 있다. 액정표시장치가 양품인지 여부를 검사하기 위하여, 육안검사가 종종 행해진다. 그러나 육안검사는 액정표시장치의 대량생산에 있어서 시간소모적이고, 힘들고 부정확할 수 있다. 게다가, 반도체 제조공정의 발달로 소형화된 액정표시장치 제품을 육안검사로 검사하는 것이 더욱 어려워 질 수 있다.
스캐너를 사용하여 물체의 결점이나 특징을 검사하는 검사 시스템이 본 발명의 발명자 중의 일부에 의한 미국 특허출원 12/732586 (명칭: "Inspection System", 출원일: 2010년 3월 26일, 이하 "586출원"이라 한다)에서 공개된 바 있다. 도 1은 586출원의 도 1A를 재작성한 것이고, 광학 검사를 위한 시스템(10)을 도시한다. 도 1을 참조하면, 시스템(10)은 패널(11), 스캐너(12), 신호발생기(14), 분석장치(16) 및 지지 프레임(13)과 같은 검사 대상의 제품을 포함할 수 있다. 검사될 패널(11)은, 예를 들어 오퍼레이터에 의해, 지지프레임(13)에 놓여질 수 있다. 스캐너(12)는 모터(15)에 의해 구동될 때 소정의 속도로 패널(11)을 따라 이동하도록 설정될 수 있다. 그러나 검사에 앞서 검사의 품질을 보장하기 위해 패널(11)의 예열 과정이 일반적으로 수행될 수 있다. 패널의 크기에 따라 예열 과정은, 예를 들어 20초 동안 수행될 수 있고, 따라서 검사 과정을 지연시킬 수 있다.
본 발명이 해결하려는 과제는, 검사 품질의 하락 없이 연속 검사를 가능하게 하는 광학 검사 시스템에 사용되는 지지 기구를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하려는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 검사 시스템에서 스캐너에 의한 광학 스캔을 위한 패널을 지지하는 지지 기구의 일 태양은 제1 스캐너에 제1 스캐닝 영역을 제공하는 제1 작업 프레임, 제1 패널을 지지하는 제1 프레임, 및 제2 패널을 지지하는 제2 프레임을 포함하되, 상기 제1 프레임은 상기 제1 작업 프레임의 제1측에 회동 가능하게 연결됨으로써 상기 제1 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 상기 제1 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서 상기 제1 프레임이 상기 제1 작업 프레임의 상기 제1측의 주위를 회동할 수 있고, 상기 제2 프레임은 상기 제1 작업 프레임의 제2측에 회동 가능하게 연결됨으로써 상기 제2 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 상기 제2 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서 상기 제2 프레임이 상기 제1 작업 프레임의 상기 제2측의 주위를 회동할 수 있고, 상기 제1 스캐닝 영역은 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임 중 어느 하나가 접힌 위치에 있고 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임 중 다른 하나가 펼친 위치에 있을 때 상기 제1 스캐너가 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임 중 상기 어느 하나를 스캔할 수 있게 한다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 검사 시스템에서 스캐너에 의한 광학 스캔을 위한 패널을 지지하는 지지 기구의 다른 태양은 제1 스캐너에 제1 스캐닝 영역을 제공하는 제1 작업 프레임, 상기 제1 스캐너에 제2 스캐닝 영역을 제공하는 제2 작업 프레임, 제1 패널을 지지하는 제1 프레임, 제2 패널을 지지하는 제2 프레임, 및 상기 제1 스캐너를 회전시킴으로써 상기 제1 스캐너가 제1 방향에서 상기 제1 프레임을 스캔하고 상기 제1 방향의 반대 방향에서 상기 제2 프레임을 스캔할 수 있게 하는 회전자를 포함하되, 상기 제1 프레임은 상기 제1 작업 프레임의 제1측에 회동 가능하게 연결됨으로써 상기 제1 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 상기 제1 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서 상기 제1 프레임이 상기 제1 작업 프레임의 상기 제1측의 주위를 회동할 수 있고, 상기 제2 프레임은 상기 제2 작업 프레임의 제1측에 회동 가능하게 연결됨으로써 상기 제2 프레임이 상기 제2 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 상기 제2 프레임이 상기 제2 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서 상기 제2 프레임이 상기 제2 작업 프레임의 상기 제1측의 주위를 회동할 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 검사 시스템에서 스캐너에 의한 광학 스캔을 위한 패널을 지지하는 지지 기구의 또 다른 태양은 제1 스캐너에 제1 스캐닝 영역을 제공하는 제1 작업 프레임, 상기 제1 작업 프레임과 평행하게 연장되고, 제2 스캐너에 제2 스캐닝 영역을 제공하는 제2 작업 프레임, 제1 패널을 지지하는 제1 프레임, 제2 패널을 지지하는 제2 프레임, 제3 패널을 지지하는 제3 프레임, 및 제4 패널을 지지하는 제4 프레임을 포함하되, 상기 제1 프레임은 상기 제1 작업 프레임의 제1측에 회동 가능하게 연결됨으로써 상기 제1 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 상기 제1 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서 상기 제1 프레임이 상기 제1 작업 프레임의 상기 제1측의 주위를 회동할 수 있고, 상기 제2 프레임은 상기 제1 작업 프레임의 제2측에 회동 가능하게 연결됨으로써 상기 제2 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 상기 제2 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서 상기 제2 프레임이 상기 제1 작업 프레임의 상기 제2측의 주위를 회동할 수 있고, 상기 제3 프레임은 상기 제2 작업 프레임의 제1측에 회동 가능하게 연결됨으로써 상기 제3 프레임이 상기 제2 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 상기 제3 프레임이 상기 제2 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서 상기 제3 프레임이 상기 제2 작업 프레임의 상기 제1측의 주위를 회동할 수 있고, 상기 제4 프레임은 상기 제2 작업 프레임의 제2측에 회동 가능하게 연결됨으로써 상기 제4 프레임이 상기 제2 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 상기 제4 프레임이 상기 제2 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서 상기 제4 프레임이 상기 제2 작업 프레임의 상기 제2측의 주위를 회동할 수 있다.
본 발명의 다른 특징과 이점은 후술할 명세서에 기재된 부분 및 명세서로부터 자명하게 알 수 있는 부분에서 제시되거나 또는 본 발명의 실시를 통하여 습득할 수 있을 것이다. 본 발명의 특징과 이점은 청구항에 기재된 구성요소와 그 조합에 의해 실현되고 얻어질 것이다.
상술한 일반적 설명 및 후술할 상세한 설명은 예시적이고 설명적인 것일 뿐이며 본 발명을 제한하는 것이 아님을 이해하여야 한다.
도 1은 미국 특허 출원(출원번호 12/732,586)의 도 1A를 재작성한 도면이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 지지 기구의 사시도이다.
도 2b는 도 2a에 도시된 지지 기구의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 지지 기구의 평면도이다.
도 4a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 지지 기구의 사시도이다.
도 4b는 도 4a에 도시된 지지 기구의 평면도이다.
도 5a는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 2a에 도시된 지지 기구에서의 브라켓을 도시한 사시도이다.
도 5b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 지지 기구에서의 브라켓을 도시한 사시도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일하거나 유사한 구성 요소를 지칭한다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 지지 기구(20)의 사시도이다. 도 2a를 참조하면, 지지 기구(20)는 제1 프레임(21), 제2 프레임(22) 및 제1 작업 프레임(251)을 포함할 수 있다. 제1 프레임(21), 제2 프레임(22) 및 제1 작업 프레임(251) 각각은 대체로 직사각형 모양을 가질 수 있다. 제1 작업 프레임(251)은 제1 스캐너(38)가 패널을 스캔할 수 있도록 제1 스캐닝 영역을 제공할 수 있다. 제1 프레임(21) 및 제2 프레임(22)은 각각 제1 패널(210) 및 제2 패널(220)을 지지하기에 적합할 수 있다. 구체적으로 제1 프레임(21)으로 예를 들면, 제1 패널(210)은 고정장치(27)에 의해 한 쌍의 폴(28)에 고정될 수 있고, 한 쌍의 폴(28)은 제1 프레임(21)의 한 쌍의 브라켓(29)에 고정될 수 있다. 한 쌍의 폴(28)은 제1 방향으로 평행하게 연장될 수 있고 제1 패널(210)의 크기에 맞게 소정의 간격으로 서로 이격될 수 있다. 제1 프레임(21)의 한 쌍의 브라켓(29)은 제1 방향과 대체로 수직인 제2 방향으로 평행하게 연장될 수 있고 폴(28)을 제자리에 고정시키기에 적합할 수 있다. 브라켓(29)의 구조는 도 5a 및 도 5b를 참조하여 상세히 후술될 것이다.
제1 프레임(21)은 제1 작업 프레임(251)의 제1측(도면부호 미표시)에 힌지(26)로 회동 가능하게 결합될 수 있다. 따라서, 제1 프레임(21)은 제1 프레임(21)이 제1 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 제1 프레임(21)이 제1 스캐닝 영역으로부터 멀어지는 펼친 위치 사이에서 제1 작업 프레임(251)의 제1측 주위를 회동할 수 있다. 비슷하게, 제2 프레임(22)은 제1 작업 프레임(251)의 제2측(도면부호 미표시)에 힌지(26)로 회동 가능하게 결합될 수 있고, 따라서 제2 프레임(22)이 제1 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 제2 프레임(22)이 제1 스캐닝 영역으로부터 멀어지는 펼친 위치 사이에서 제1 작업 프레임(251)의 제2측 주위를 회동할 수 있다.
스캐너(38)는 586출원에서 설명되고 도시된 예시적 스캐너(12)를 포함할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 스캐너(38)는 제1 작업 프레임(251)의 제1측에서 제2측으로 향하는 방향으로 연장되는 레일(258)을 따라 움직일 수 있고, 스캐너(38)는 제1측에서 제2측으로 향하는 방향 또는 그 반대의 방향으로 제1 패널(210) 또는 제2 패널(220)을 스캔할 수 있다.
지지 기구(20)는 또한 제1 작업 프레임(251)과 구조가 유사한 제2 작업 프레임(252)을 포함할 수 있다. 제2 작업 프레임(252)은 제1 작업 프레(251)임과 평행하게 연장될 수 있고, 스캐너(38) 또는 다른 스캐너에 제2 스캐닝 영역을 제공할 수 있다. 제1 작업 프레임(251) 및 제2 작업 프레임(252)은 다수의 리브(250)에 의해 이격될 수 있고, 따라서 스캐너(38)가 레일(258)을 따라 이동할 수 있는 공간을 정의할 수 있다.
도 2b는 도 2a에 도시된 지지 기구(20)의 평면도이다. 제1 패널(210)이 제1 프레임(21)에 놓여지고 세팅 과정에서 예열되어 검사 준비가 되어 있고, 제2 패널(220)은 세팅 과정의 준비가 되어 있다고 가정할 수 있다. 도 2b를 참조하면, 구동 중 제1 프레임(21) 및 제1 패널(210)은 점선 화살표로 나타나듯이 제1 작업 프레임(251)을 향하여 접힐 수 있다. 그 후 스캐너(38)는 레일(258)을 따라 이동하며 제1 패널(210)을 스캔할 수 있다. 제1 프레임(21)이 접혀 있을 때, 제2 패널(220)은 제2 프레임(22)에 놓여지고 예열될 수 있다.
스캔이 끝나고, 제1 패널(210)은 제1 프레임(21)에서 제거될 수 있는데, 제1 프레임(21)은 결과적으로 제1 작업 프레임(251)에서 세팅 위치로 펼쳐질 수 있다. 제2 프레임(22)의 세팅 과정이 끝나면, 제2 프레임(22) 및 제2 패널(220)은 제1 작업 프레임(251)을 향하여 접힐 수 있다. 다음으로, 제2 프레임(22)이 접히고 나서, 다른 패널이 제1 프레임(21)에 놓여지고 예열될 수 있다. 그 결과, 한 패널(210)이 검사되고 있는 동안 다른 패널(220)은 세팅되고, 이렇게 하여 일련의 패널의 연속적인 검사를 가능하게 할 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 지지 기구(30)의 평면도이다. 도 3을 참조하면, 지지 기구(30)는 도 2a에 도시된 지지 기구(20)와 비슷하게 제1 작업 프레임(251), 제2 작업 프레임(252) 및 스캐너(38)를 포함할 수 있다. 그러나, 제1 프레임(21)이 제1 작업 프레임(251)에 회동 가능하게 결합된 것과 달리, 제2 프레임(22)은 제2 작업 프레임(252)에 회동 가능하게 결합되어 있다. 구동 중, 제1 프레임(21) 및 제2 프레임(22)은 제1 작업 프레임(251) 및 제2 작업 프레임(252)를 향하여 각각 접힐 수 있다. 그 후 스캐너(38)는 시작점에서부터 레일(258)을 따라 이동하며, 예를 들면 레일(258)의 일측에 있는 제1 프레임(21)에 놓인 제1 패널(310)을 스캔한다. 제1 패널(310)이 스캔되고 나서, 스캐너(38)는 회전자(36)의 도움으로 뒤로 돌고 시작점으로 돌아가며 레일(258)의 타측에 있는 제2 프레임(22)에 놓인 제2 패널(320)을 스캔할 수 있다.
본 실시예에서는 하나의 제1 패널(310)과 하나의 제2 패널(320)이 스캔된다. 그러나, 다른 실시예에서는, 스캐너(38)가 레일(258)을 따라 왕복 이동을 함에 따라, 레일(258)의 일측에 있는 다수의 제1 패널과 레일(258)의 타측에 있는 다수의 제2 패널이 스캔될 수 있다.
도 4a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 지지 기구(40)의 사시도이다. 도 4a를 참조하면, 지지 기구(40)는, 예를 들면 제3 프레임(23) 및 제 4 프레임(24)이 추가될 수 있는 것을 제외하면, 도 2a를 참조하여 도시하고 설명한 지지 기구(20)와 비슷할 수 있다. 구체적으로, 제3 프레임(23) 및 제4 프레임(24)은 제2 작업 프레임(252)의 제1측(도면부호 미표시) 및 제2 작업 프레임(252)의 제2측(도면부호 미표시)에 각각 힌지에 의하여 회동 가능하게 결합될 수 있다. 따라서, 제3 프레임(23)은, 제3 프레임(23)이 제2 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 제3 프레임(23)이 제2 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서, 제2 작업 프레임(252)의 제1측 주위를 회동할 수 있다. 마찬가지로, 제4 프레임(24)은, 제4 프레임(24)이 제2 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 제4 프레임(24)이 제2 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서 제2 작업 프레임(252)의 제2측 주위를 회동할 수 있다.
본 실시예에서는 제1 스캐너(38)에 추가하여 제2 스캐너(48)가 제공될 수 있고, 제2 스캐너(48)는 레일(258)을 따라 이동하며 제3 프레임(23)에 놓인 제3 패널(230)을 스캔하거나 제4 프레임(24)에 놓인 제4 패널(240)을 스캔할 수 있다. 그러나, 다른 실시예에서는 하나의 스캐너(38)가 예를 들면 도 3에 도시된 회전자(36)와 같은 회전자에 의해 프레임들(21~24)에 놓인 패널들(210~240)을 스캔하는 데에 사용될 수 있다.
도 4b는 도 4a에 도시된 지지 기구(40)의 평면도이다. 제1 패널(210) 및 제3 패널(230)이 각각 제1 프레임(21) 및 제3 프레임(23)에 놓여지고 세팅 과정에서 예열되어 검사 준비가 되어 있고, 제 2 패널(220) 및 제4 패널(240)은 각각 세팅 과정의 준비가 되어 있다고 가정할 수 있다. 도 4b를 참조하면, 공정 중 제1 프레임(21) 및 제1 패널(210)은 점선 화살표로 나타낸 바와 같이 제1 작업 프레임(251)을 행하여 접힐 수 있다. 그리고, 제3 프레임(23) 및 제3 패널(230)은 다른 점선 화살표로 나타낸 바와 같이 제2 작업 프레임(252)을 향하여 접힐 수 있다. 제1 스캐너(38) 및 제2 스캐너(48)는 레일(258)을 따라 이동하며 제1 패널(210) 및 제3 패널(230)을 각각 스캔할 수 있다.
제1 프레임(21)이 접혀 있는 동안 제2 패널(220)은 제2 프레임(22)에 놓여지고 예열될 수 있다. 비슷하게, 제3 프레임(23)이 접혀 있는 동안 제4 패널(240)은 제4 프레임(24)에 놓여지고 예열될 수 있다.
스캔이 끝나고, 제1 패널(210)은 제1 프레임(21)에서 제거될 수 있다. 이어서, 제1 프레임(21)은 제1 작업 프레임(251)에서 세팅 위치로 펼쳐질 수 있다. 또한, 제3 패널(230)은 제3 프레임(23)에서 제거될 수 있다. 이어서, 제3 프레임(23)은 제2 작업 프레임(252)에서 세팅 위치로 펼쳐질 수 있다.
그 결과, 제2 프레임(22)의 세팅 과정이 끝나면, 제2 프레임(22) 및 제2 패널(220)은 제1 작업 프레임(251)을 향하여 접힐 수 있다. 그 후, 제2 프레임(22)이 접히고 나서, 다른 패널은 제1 프레임(21) 위에 놓여지고 예열될 수 있다. 비슷하게, 제4 프레임(24)의 세팅 과정이 끝나면 제4 프레임(24) 및 제4 패널(240)은 제2 작업 프레임(252)을 향하여 접힐 수 있다. 그 후, 제4 프레임(24)이 접히고 나서, 다른 패널이 제3 프레임(23)에 놓여지고 예열될 수 있다.
그 결과, 제1 패널 쌍(210, 230)이 검사되고 있는 동안, 제2 패널 쌍(220, 240)이 세팅되고, 이렇게 하여 일련의 패널들의 연속적인 검사를 가능하게 할 수 있다.
도 5a는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 2a에 도시된 지지 기구(20)에서의 브라켓(29)의 사시도이다. 도 5a를 참조하면, 브라켓(29)은 베이스(290) 및 서로 마주하는 한 쌍의 테두리(291, 292)를 포함할 수 있다. 테두리(291, 292)는 베이스(290)와 연동하여 챔버(도면부호 미표시)를 형성하고 테두리(291, 292) 사이에 슬롯(도면부호 미표시)을 형성할 수 있다. 브라켓(29)는 볼트와 너트와 같은 체결요소로 폴(28)을 제자리에 고정시킬 수 있다. 구체적으로, 볼트(50)의 헤드는 챔버에 수납되고, 볼트(50)의 샤프트는 너트와 체결되도록 슬롯을 통하여 돌출될 수 있고 이렇게 하여 폴(28)의 일단이 고정될 수 있다.
도 5b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 지지 기구에서의 브라켓(59)의 사시도이다. 도 5b를 참조하면, 브라켓(59)는 제1 테두리 쌍(291, 292)에 의해 정의된 제1 공간 및 제1 슬롯뿐만 아니라, 제2 테두리 쌍(591, 592)에 의해 정의된 제2 공간 및 제2 슬롯을 가진다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
게다가 본 발명의 실시예에서 본 발명의 방법 및/또는 과정을 특정한 순서의 단계로 제시하였다. 그러나, 본 발명의 방법이나 과정은 여기에 제시된 단계의 특정한 순서에 한정되는 것이 아니다. 본 발명이 속하는 기술분야에서의 통상의 지식을 가진 자는 다른 순서의 단계 역시 가능함을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 명세서에 제시된 단계의 특정한 순서는 청구항을 제한하는 것으로 해석되어서는 안된다. 또한, 본 발명의 방법 및/또는 과정을 기재한 청구항은 기재된 순서에 의해 단계를 수행하는 것으로 한정되어서는 안되고, 당업자는 본 발명의 사상 및 범위 내에서 순서를 바꿀 수 있음을 쉽게 이해할 수 있을 것이다.
21: 제1 프레임 22: 제2 프레임
36: 회전자 38: 스캐너
210: 제1 패널 220: 제2 패널
251: 제1 작업 프레임 252: 제2 작업 프레임
258: 레일

Claims (20)

  1. 제1 스캐너에 제1 스캐닝 영역을 제공하는 제1 작업 프레임;
    제1 패널을 지지하는 제1 프레임; 및
    제2 패널을 지지하는 제2 프레임을 포함하되,
    상기 제1 프레임은 상기 제1 작업 프레임의 제1측에 회동 가능하게 연결됨으로써 상기 제1 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 상기 제1 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서 상기 제1 프레임이 상기 제1 작업 프레임의 상기 제1측의 주위를 회동할 수 있고,
    상기 제2 프레임은 상기 제1 작업 프레임의 제2측에 회동 가능하게 연결됨으로써 상기 제2 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 상기 제2 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서 상기 제2 프레임이 상기 제1 작업 프레임의 상기 제2측의 주위를 회동할 수 있고,
    상기 제1 스캐닝 영역은 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임 중 어느 하나가 접힌 위치에 있고 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임 중 다른 하나가 펼친 위치에 있을 때 상기 제1 스캐너가 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임 중 상기 어느 하나를 스캔할 수 있게 하는, 검사 시스템에서 스캐너에 의한 광학 스캔을 위한 패널을 지지하는 지지 기구.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1측으로부터 상기 제2측으로의 방향으로 연장되는 레일을 더 포함하되, 상기 레일은 상기 제1 스캐너가 상기 제1 작업 프레임의 상기 제1측 및 상기 제2측의 사이에서 이동할 수 있게 하는 지지 기구.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 스캐너에 제2 스캐닝 영역을 제공하는 제2 작업 프레임을 더 포함하되, 상기 제2 작업 프레임은 상기 제1 작업 프레임과 평행하게 연장되는 지지 기구.
  4. 제3항에 있어서, 제3 패널을 지지하는 제3 프레임을 더 포함하되, 상기 제3 프레임은 상기 제2 작업 프레임의 제1측에 회동 가능하게 연결됨으로써 상기 제3 프레임이 상기 제2 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 상기 제3 프레임이 상기 제2 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서 상기 제3 프레임이 상기 제2 작업 프레임의 상기 제1측의 주위를 회동할 수 있는 지지 기구.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제1 스캐너를 회전시킴으로써 상기 제1 스캐너가 제1 방향으로 이동할 때 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임 중 어느 하나를 스캔하고 상기 제1 방향과 반대 방향으로 이동할 때 상기 제3 프레임을 스캔할 수 있게 하는 회전자를 더 포함하는 지지 기구.
  6. 제5항에 있어서, 제4 패널을 지지하는 제4 프레임을 더 포함하되, 상기 제4 프레임은 상기 제2 작업 프레임의 제2측에 회동 가능하게 연결됨으로써 상기 제4 프레임이 상기 제2 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 상기 제4 프레임이 상기 제2 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서 상기 제4 프레임이 상기 제2 작업 프레임의 상기 제2측의 주위를 회동할 수 있는 지지 기구.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제2 스캐닝 영역은 상기 제3 프레임 및 상기 제4 프레임 중 어느 하나가 접힌 위치에 있고 상기 제3 프레임 및 상기 제4 프레임 중 다른 하나가 펼친 위치에 있을 때 상기 제1 스캐너가 상기 제3 프레임 및 상기 제4 프레임 중 상기 어느 하나를 스캔할 수 있게 하는 지지 기구.
  8. 제5항에 있어서, 상기 제1 작업 프레임 및 상기 제2 작업 프레임의 사이의 공간에서 연장되는 레일을 더 포함하되, 상기 레일은 상기 제1 스캐너가 상기 제1 작업 프레임의 상기 제1측 및 상기 제2측의 사이에서 제1 방향으로 이동할 수 있게 하고, 상기 제2 작업 프레임의 상기 제1측 및 상기 제2측 사이에서 상기 제1 방향의 반대 방향으로 이동할 수 있게 하는 지지 기구.
  9. 제1항에 있어서, 제2 스캐너에 제2 스캐닝 영역을 제공하는 제2 작업 프레임을 더 포함하되, 상기 제2 작업 프레임은 상기 제1 작업 프레임과 평행하게 연장되는 지지 기구.
  10. 제9항에 있어서,
    제3 패널을 지지하는 제3 프레임; 및
    제4 패널을 지지하는 제4 프레임을 더 포함하되,
    상기 제3 프레임은 상기 제2 작업 프레임의 제1측에 회동 가능하게 연결됨으로써 상기 제3 프레임이 상기 제2 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 상기 제3 프레임이 상기 제2 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서 상기 제3 프레임이 상기 제2 작업 프레임의 상기 제1측의 주위를 회동할 수 있고,
    상기 제4 프레임은 상기 제2 작업 프레임의 제2측에 회동 가능하게 연결됨으로써 상기 제4 프레임이 상기 제2 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 상기 제4 프레임이 상기 제2 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서 상기 제4 프레임이 상기 제2 작업 프레임의 상기 제2측의 주위를 회동할 수 있는 지지 기구.
  11. 제10항에 있어서, 상기 제1 작업 프레임의 상기 제1측으로부터 상기 제2측으로의 방향으로 연장되는 레일을 더 포함하되, 상기 레일은 상기 제1 스캐너가 상기 제1 작업 프레임의 상기 제1측 및 상기 제2측의 사이에서 이동할 수 있게 하고, 상기 제2 스캐너가 상기 제2 작업 프레임의 상기 제1측 및 상기 제2측의 사이에서 이동할 수 있게 하는 지지 기구.
  12. 제10항에 있어서, 상기 제2 스캐닝 영역은 상기 제3 프레임 및 상기 제4 프레임 중 어느 하나가 접힌 위치에 있고 상기 제3 프레임 및 상기 제4 프레임 중 다른 하나가 펼친 위치에 있을 때 상기 제2 스캐너가 상기 제3 프레임 및 상기 제4 프레임 중 상기 어느 하나를 스캔할 수 있게 하는 지지 기구.
  13. 제1 스캐너에 제1 스캐닝 영역을 제공하는 제1 작업 프레임;
    상기 제1 스캐너에 제2 스캐닝 영역을 제공하는 제2 작업 프레임;
    제1 패널을 지지하는 제1 프레임;
    제2 패널을 지지하는 제2 프레임; 및
    상기 제1 스캐너를 회전시킴으로써 상기 제1 스캐너가 제1 방향에서 상기 제1 프레임을 스캔하고 상기 제1 방향의 반대 방향에서 상기 제2 프레임을 스캔할 수 있게 하는 회전자를 포함하되,
    상기 제1 프레임은 상기 제1 작업 프레임의 제1측에 회동 가능하게 연결됨으로써 상기 제1 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 상기 제1 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서 상기 제1 프레임이 상기 제1 작업 프레임의 상기 제1측의 주위를 회동할 수 있고,
    상기 제2 프레임은 상기 제2 작업 프레임의 제1측에 회동 가능하게 연결됨으로써 상기 제2 프레임이 상기 제2 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 상기 제2 프레임이 상기 제2 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서 상기 제2 프레임이 상기 제2 작업 프레임의 상기 제1측의 주위를 회동할 수 있는, 검사 시스템에서 스캐너에 의한 광학 스캔을 위한 패널을 지지하는 지지 기구.
  14. 제13항에 있어서, 제3 패널을 지지하는 제3 프레임을 더 포함하되, 상기 제3 프레임은 상기 제1 작업 프레임의 제2측에 회동 가능하게 연결됨으로써 상기 제3 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 상기 제3 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서 상기 제3 프레임이 상기 제1 작업 프레임의 상기 제2측의 주위를 회동할 수 있는 지지 기구.
  15. 제14항에 있어서, 상기 제1 스캐닝 영역은 상기 제1 프레임 및 상기 제3 프레임 중 어느 하나가 접힌 위치에 있고 상기 제1 프레임 및 상기 제3 프레임 중 다른 하나가 펼친 위치에 있을 때 상기 제1 스캐너가 상기 제1 프레임 및 상기 제3 프레임 중 상기 어느 하나를 스캔할 수 있게 하는 지지 기구.
  16. 제13항에 있어서, 제4 패널을 지지하는 제4 프레임을 더 포함하되, 상기 제4 프레임은 상기 제2 작업 프레임의 제2측에 회동 가능하게 연결됨으로써 상기 제4 프레임이 상기 제2 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 상기 제4 프레임이 상기 제2 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서 상기 제4 프레임이 상기 제2 작업 프레임의 상기 제2측의 주위를 회동할 수 있는 지지 기구.
  17. 제16항에 있어서, 상기 제2 스캐닝 영역은 상기 제2 프레임 및 상기 제4 프레임 중 어느 하나가 접힌 위치에 있고 상기 제2 프레임 및 상기 제4 프레임 중 다른 하나가 펼친 위치에 있을 때 상기 제2 스캐너가 상기 제2 프레임 및 상기 제4 프레임 중 상기 어느 하나를 스캔할 수 있게 하는 지지 기구.
  18. 제1 스캐너에 제1 스캐닝 영역을 제공하는 제1 작업 프레임;
    상기 제1 작업 프레임과 평행하게 연장되고, 제2 스캐너에 제2 스캐닝 영역을 제공하는 제2 작업 프레임;
    제1 패널을 지지하는 제1 프레임;
    제2 패널을 지지하는 제2 프레임;
    제3 패널을 지지하는 제3 프레임; 및
    제4 패널을 지지하는 제4 프레임을 포함하되,
    상기 제1 프레임은 상기 제1 작업 프레임의 제1측에 회동 가능하게 연결됨으로써 상기 제1 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 상기 제1 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서 상기 제1 프레임이 상기 제1 작업 프레임의 상기 제1측의 주위를 회동할 수 있고,
    상기 제2 프레임은 상기 제1 작업 프레임의 제2측에 회동 가능하게 연결됨으로써 상기 제2 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 상기 제2 프레임이 상기 제1 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서 상기 제2 프레임이 상기 제1 작업 프레임의 상기 제2측의 주위를 회동할 수 있고,
    상기 제3 프레임은 상기 제2 작업 프레임의 제1측에 회동 가능하게 연결됨으로써 상기 제3 프레임이 상기 제2 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 상기 제3 프레임이 상기 제2 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서 상기 제3 프레임이 상기 제2 작업 프레임의 상기 제1측의 주위를 회동할 수 있고,
    상기 제4 프레임은 상기 제2 작업 프레임의 제2측에 회동 가능하게 연결됨으로써 상기 제4 프레임이 상기 제2 스캐닝 영역을 향하여 접히는 접힌 위치와 상기 제4 프레임이 상기 제2 스캐닝 영역에서 멀어지는 펼친 위치 사이에서 상기 제4 프레임이 상기 제2 작업 프레임의 상기 제2측의 주위를 회동할 수 있는, 검사 시스템에서 스캐너에 의한 광학 스캔을 위한 패널을 지지하는 지지 기구.
  19. 제18항에 있어서, 상기 제1 스캐닝 영역은 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임 중 어느 하나가 접힌 위치에 있고 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임 중 다른 하나가 펼친 위치에 있을 때 상기 제1 스캐너가 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임 중 상기 어느 하나를 스캔할 수 있게 하는 지지 기구.
  20. 제18항에 있어서, 상기 제2 스캐닝 영역은 상기 제3 프레임 및 상기 제4 프레임 중 어느 하나가 접힌 위치에 있고 상기 제3 프레임 및 상기 제4 프레임 중 다른 하나가 펼친 위치에 있을 때 상기 제2 스캐너가 상기 제3 프레임 및 상기 제4 프레임 중 상기 어느 하나를 스캔할 수 있게 하는 지지 기구.
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