JP3364408B2 - 基板表面検査装置 - Google Patents
基板表面検査装置Info
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- JP3364408B2 JP3364408B2 JP10202297A JP10202297A JP3364408B2 JP 3364408 B2 JP3364408 B2 JP 3364408B2 JP 10202297 A JP10202297 A JP 10202297A JP 10202297 A JP10202297 A JP 10202297A JP 3364408 B2 JP3364408 B2 JP 3364408B2
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- Japan
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- substrate
- inspection
- stage
- fixing frame
- inspection stage
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1306—Details
- G02F1/1309—Repairing; Testing
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、検査ステージ上に
載置された基板を検査する基板表面検査装置に関し、特
に基板のおもて面及びうら面を容易に検査する技術に関
する。
載置された基板を検査する基板表面検査装置に関し、特
に基板のおもて面及びうら面を容易に検査する技術に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、例えばＬＣＤ(liquid crysta
l display:液晶表示) には、ガラス基板が用いられ、製
造工程中、そのガラス基板の表面及び裏面について、ゴ
ミ、キズ、ムラ等の有無が検査される。かかる検査は、
反射光及び透過光により目視検査で行われ、従来の基板
表面検査装置では、表面、裏面の検査を１ステージ毎に
行っていた。
l display:液晶表示) には、ガラス基板が用いられ、製
造工程中、そのガラス基板の表面及び裏面について、ゴ
ミ、キズ、ムラ等の有無が検査される。かかる検査は、
反射光及び透過光により目視検査で行われ、従来の基板
表面検査装置では、表面、裏面の検査を１ステージ毎に
行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
基板表面検査装置では、ガラス基板のセット、反転等
は、作業者の手により行われ、作業が煩雑であった。ま
た、近年、このような基板表面検査を同一のステージ上
で行いたいという要望が強くなってきた。本発明はこの
ような従来の課題に鑑みてなされたもので、基板のおも
て面及びうら面の検査を同一のステージ上で簡単に行え
るような基板表面検査装置を提供することを目的とす
る。
基板表面検査装置では、ガラス基板のセット、反転等
は、作業者の手により行われ、作業が煩雑であった。ま
た、近年、このような基板表面検査を同一のステージ上
で行いたいという要望が強くなってきた。本発明はこの
ような従来の課題に鑑みてなされたもので、基板のおも
て面及びうら面の検査を同一のステージ上で簡単に行え
るような基板表面検査装置を提供することを目的とす
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】このため、本発明による
基板表面検査装置は、検査ステージ上に載置された基板
のおもて面及びうら面を検査する基板表面検査装置にお
いて、上記検査ステージの上面に設けられ上記基板の周
端部を支持して該基板を固定する基板固定枠と、上記検
査ステージの上面側にて上記基板固定枠をその一端部を
中心に回動させて立ち上げその後更に回動させて検査ス
テージ上に倒すことにより上記基板のおもて面及びうら
面を反転させる反転手段と、上記立ち上げられた基板固
定枠を検査ステージの一側部から他側部へ横移動させる
移動手段と、上記検査ステージの上方に設けられ上記基
板固定枠に支持された基板のおもて面及びうら面につい
て反射光で検査するための第１の照明装置と、上記検査
ステージの一側方に設けられ上記基板固定枠で立ち上げ
られた基板を透過光で検査するための第２の照明装置
と、を備えたものである。
基板表面検査装置は、検査ステージ上に載置された基板
のおもて面及びうら面を検査する基板表面検査装置にお
いて、上記検査ステージの上面に設けられ上記基板の周
端部を支持して該基板を固定する基板固定枠と、上記検
査ステージの上面側にて上記基板固定枠をその一端部を
中心に回動させて立ち上げその後更に回動させて検査ス
テージ上に倒すことにより上記基板のおもて面及びうら
面を反転させる反転手段と、上記立ち上げられた基板固
定枠を検査ステージの一側部から他側部へ横移動させる
移動手段と、上記検査ステージの上方に設けられ上記基
板固定枠に支持された基板のおもて面及びうら面につい
て反射光で検査するための第１の照明装置と、上記検査
ステージの一側方に設けられ上記基板固定枠で立ち上げ
られた基板を透過光で検査するための第２の照明装置
と、を備えたものである。
【０００５】かかる構成によれば、検査ステージの上面
に設けられた基板固定枠で基板の周端部を支持して該基
板を固定し、反転手段により上記検査ステージの上面側
にて 上記基板固定枠をその一端部を中心に回動させて立
ち上げその後更に回動させて検査ステージ上に倒すこと
により上記基板のおもて面及びうら面を反転させ、移動
手段により上記立ち上げられた基板固定枠を検査ステー
ジの一側部から他側部へ横移動させ、上記検査ステージ
の上方に設けられた第１の照明装置により上記基板固定
枠に支持された基板のおもて面及びうら面について反射
光で検査し、上記検査ステージの一側方に設けられた第
２の照明装置により上記基板固定枠で立ち上げられた基
板を透過光で検査する。
に設けられた基板固定枠で基板の周端部を支持して該基
板を固定し、反転手段により上記検査ステージの上面側
にて 上記基板固定枠をその一端部を中心に回動させて立
ち上げその後更に回動させて検査ステージ上に倒すこと
により上記基板のおもて面及びうら面を反転させ、移動
手段により上記立ち上げられた基板固定枠を検査ステー
ジの一側部から他側部へ横移動させ、上記検査ステージ
の上方に設けられた第１の照明装置により上記基板固定
枠に支持された基板のおもて面及びうら面について反射
光で検査し、上記検査ステージの一側方に設けられた第
２の照明装置により上記基板固定枠で立ち上げられた基
板を透過光で検査する。
【０００６】また、上記検査ステージは、そのステージ
面内で直交する２軸を中心にしてＸ，Ｙ方向にそれぞれ
傾斜可能に構成されたものである。これにより、上記検
査ステージが傾斜して基板から光が反射する角度を調節
できる。
面内で直交する２軸を中心にしてＸ，Ｙ方向にそれぞれ
傾斜可能に構成されたものである。これにより、上記検
査ステージが傾斜して基板から光が反射する角度を調節
できる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明する。図１は、例えばＬＣＤ用のガ
ラス基板の表面を検査する基板表面検査装置を示し、図
２は、図１のＡ−Ａ’断面図であり、図３は、図１の部
分拡大図である。。
図面に基づいて説明する。図１は、例えばＬＣＤ用のガ
ラス基板の表面を検査する基板表面検査装置を示し、図
２は、図１のＡ−Ａ’断面図であり、図３は、図１の部
分拡大図である。。
【０００８】基板固定枠２は、ガラス基板１を固定する
ための枠であり、ガラス基板１の周端部を支持して固定
するストッパ（図示せず）と、ガラス基板１が落下しな
いようにガラス基板１を吸着する吸着盤（図示せず）
と、を備えている。このガラス基板１は、一般的には５
５０×６５０ｍｍ、厚さ０．７ｍｍ程度のものであり、
ストッパは、このガラス基板１の端から５〜１０ｍｍ以
内の部分を支持する。
ための枠であり、ガラス基板１の周端部を支持して固定
するストッパ（図示せず）と、ガラス基板１が落下しな
いようにガラス基板１を吸着する吸着盤（図示せず）
と、を備えている。このガラス基板１は、一般的には５
５０×６５０ｍｍ、厚さ０．７ｍｍ程度のものであり、
ストッパは、このガラス基板１の端から５〜１０ｍｍ以
内の部分を支持する。
【０００９】基板固定枠２は、その一端部がシャフト７
に固定され、このシャフト７の端部には、平歯車８ａが
連結されている。そして、図２に示すように、この平歯
車８ａに平歯車８ｂが噛み合い、この平歯車８ｂは、モ
ータ９の回転速度を減速する減速機１０に連結されてい
る。
に固定され、このシャフト７の端部には、平歯車８ａが
連結されている。そして、図２に示すように、この平歯
車８ａに平歯車８ｂが噛み合い、この平歯車８ｂは、モ
ータ９の回転速度を減速する減速機１０に連結されてい
る。
【００１０】検査ステージ５上には、バックボード６が
備えられている。このバックボード６は、ガラス基板１
の表面を見やすくするために備えられたものであり、黒
に塗装され、艶消しされている。検査ステージ５の上面
には、ボールネジ１１と、このボールネジ１１と噛み合
うボールナット１２と、が備えられている。また、図１
に示すように、検査ステージ５の下面には、モータ１３
が配置され、ボールネジ１１はタイミングベルト１４を
介してモータ１３に接続され、モータ１３が回転するこ
とによりボールネジ１１は回転し、ボールナット１２
は、検査ステージ５のステージ面と平行に移動する。な
お、上記基板固定枠２は、このボールナット１２に連結
されている。
備えられている。このバックボード６は、ガラス基板１
の表面を見やすくするために備えられたものであり、黒
に塗装され、艶消しされている。検査ステージ５の上面
には、ボールネジ１１と、このボールネジ１１と噛み合
うボールナット１２と、が備えられている。また、図１
に示すように、検査ステージ５の下面には、モータ１３
が配置され、ボールネジ１１はタイミングベルト１４を
介してモータ１３に接続され、モータ１３が回転するこ
とによりボールネジ１１は回転し、ボールナット１２
は、検査ステージ５のステージ面と平行に移動する。な
お、上記基板固定枠２は、このボールナット１２に連結
されている。
【００１１】検査ステージ５は架台１５によって支持さ
れ、この架台１５にはモータ１６の回転速度を減速する
減速機１７が連結されている。図３に示すように、この
減速機１７の回転軸は架台１５に連結されている。ま
た、図１に示すように、上記架台１５にはさらに減速機
１８が連結され、図２に示すように、この減速機１８は
タイミングベルト１９を介してモータ２０に連結されて
いる。
れ、この架台１５にはモータ１６の回転速度を減速する
減速機１７が連結されている。図３に示すように、この
減速機１７の回転軸は架台１５に連結されている。ま
た、図１に示すように、上記架台１５にはさらに減速機
１８が連結され、図２に示すように、この減速機１８は
タイミングベルト１９を介してモータ２０に連結されて
いる。
【００１２】尚、上記モータ９、平歯車８ａ，８ｂ、シ
ャフト７が、検査ステージ５の上面側にて上記基板固定
枠２をその一端部を中心に回動させて立ち上げその後更
に回動させて検査ステージ５上に倒すことにより上記基
板１のおもて面及びうら面を反転させる反転手段に相当
し、モータ１３、タイミングベルト１４、ボールネジ１
１、ボールナット１２が、上記立ち上げられた基板固定
枠２を検査ステージ５の一側部から他側部へ横移動させ
る移動手段に相当する。 また、上記モータ９、１３、１
６、２０には、例えばバックラッシュのないＡＣサーボ
モータ等が用いられる。そして、図４〜図７に示すよう
に、検査ステージ５の真上と側方には、夫々、反射光検
査用の第１の照明装置２１、透過光検査用の第２の照明
装置２２が配置されている。
ャフト７が、検査ステージ５の上面側にて上記基板固定
枠２をその一端部を中心に回動させて立ち上げその後更
に回動させて検査ステージ５上に倒すことにより上記基
板１のおもて面及びうら面を反転させる反転手段に相当
し、モータ１３、タイミングベルト１４、ボールネジ１
１、ボールナット１２が、上記立ち上げられた基板固定
枠２を検査ステージ５の一側部から他側部へ横移動させ
る移動手段に相当する。 また、上記モータ９、１３、１
６、２０には、例えばバックラッシュのないＡＣサーボ
モータ等が用いられる。そして、図４〜図７に示すよう
に、検査ステージ５の真上と側方には、夫々、反射光検
査用の第１の照明装置２１、透過光検査用の第２の照明
装置２２が配置されている。
【００１３】次に、このように構成された基板表面検査
装置の動作を説明する。まず、ガラス基板１を基板固定
枠２に載置する。そして、ガラス基板１をストッパで基
板固定枠２に固定することにより、ガラス基板１は、吸
着盤によって吸着され、落下が防止される。ガラス基板
１の表面検査は、まず、ガラス基板１のおもて面に光を
反射させておもて面を検査し、次に、ガラス基板１を垂
直状態に立てて光を透過させ、そして、ガラス基板１を
水平状態に倒してうら面に反転して光を反射させること
により行われる。
装置の動作を説明する。まず、ガラス基板１を基板固定
枠２に載置する。そして、ガラス基板１をストッパで基
板固定枠２に固定することにより、ガラス基板１は、吸
着盤によって吸着され、落下が防止される。ガラス基板
１の表面検査は、まず、ガラス基板１のおもて面に光を
反射させておもて面を検査し、次に、ガラス基板１を垂
直状態に立てて光を透過させ、そして、ガラス基板１を
水平状態に倒してうら面に反転して光を反射させること
により行われる。
【００１４】ガラス基板１のおもて面を検査する場合、
図４に示すように、ガラス基板１の面が検査ステージ５
のステージ面と平行になるように基板固定枠２を配設す
る。そして、第１の照明装置２１でガラス基板１のおも
て面を真上から照明する。ガラス基板１の表面にゴミ、
キズ、ムラ等があると、照明装置２１の光はガラス基板
１上で散乱するため、これによりこのガラス基板１の表
面のゴミ等の有無がはっきり分かる。
図４に示すように、ガラス基板１の面が検査ステージ５
のステージ面と平行になるように基板固定枠２を配設す
る。そして、第１の照明装置２１でガラス基板１のおも
て面を真上から照明する。ガラス基板１の表面にゴミ、
キズ、ムラ等があると、照明装置２１の光はガラス基板
１上で散乱するため、これによりこのガラス基板１の表
面のゴミ等の有無がはっきり分かる。
【００１５】尚、光が反射する角度を調節する場合は、
モータ１６又はモータ２０を回転させて検査ステージ５
を傾斜させる。即ち、図１に示すモータ１６を回転させ
たとき、モータ１６の回転速度は減速機１７によって減
速され、減速機１７に連結された架台１５が回動し、検
査ステージ５は、図２に示すようにＸ方向に傾斜する。
また、図２に示すモータ２０を回転させたとき、モータ
２０の回転がタイミングベルト１９を介して減速機１８
に伝達され、減速機１８の回転軸の回転により、検査ス
テージ５は、図１に示すようにＹ方向に傾斜する。
モータ１６又はモータ２０を回転させて検査ステージ５
を傾斜させる。即ち、図１に示すモータ１６を回転させ
たとき、モータ１６の回転速度は減速機１７によって減
速され、減速機１７に連結された架台１５が回動し、検
査ステージ５は、図２に示すようにＸ方向に傾斜する。
また、図２に示すモータ２０を回転させたとき、モータ
２０の回転がタイミングベルト１９を介して減速機１８
に伝達され、減速機１８の回転軸の回転により、検査ス
テージ５は、図１に示すようにＹ方向に傾斜する。
【００１６】次に、ガラス基板１に光を透過させて検査
をする場合は、モータ９及びモータ１３を回転させる。
図２に示すモータ９の回転は、平歯車８ｂ，８ａを介し
てシャフト７に伝達され、該シャフト７が回転して基板
固定枠２は図５に示すように垂直状態に立ち上がる。ま
た、図１に示すモータ１３を回転させたときは、該モー
タ１３の回転速度が図示省略の減速機によって減速さ
れ、タイミングベルト１４を介してボールネジ１１が回
転し、ボールナット１２が移動し、基板固定枠２が図６
に示すように、検査ステージ５の一側部から他側部へ横
方向に移動する。基板固定枠２は、このボールナット１
２に連結されているので、検査ステージ５のステージ面
と平行に移動する。基板固定枠２が垂直状態に立ち上が
ったら、モータ９の回転を停止し、ボールナット１２が
所定の位置まで移動したとき、モータ１３の回転を停止
する。尚、モータ９及びモータ１３の駆動タイミング
は、例えば基板固定枠２を立ち上げてから移動させるよ
うに、別々に駆動してもよい。そして、第２の照明装置
２２でガラス基板１を照明し、反対側からガラス基板１
を観察する。
をする場合は、モータ９及びモータ１３を回転させる。
図２に示すモータ９の回転は、平歯車８ｂ，８ａを介し
てシャフト７に伝達され、該シャフト７が回転して基板
固定枠２は図５に示すように垂直状態に立ち上がる。ま
た、図１に示すモータ１３を回転させたときは、該モー
タ１３の回転速度が図示省略の減速機によって減速さ
れ、タイミングベルト１４を介してボールネジ１１が回
転し、ボールナット１２が移動し、基板固定枠２が図６
に示すように、検査ステージ５の一側部から他側部へ横
方向に移動する。基板固定枠２は、このボールナット１
２に連結されているので、検査ステージ５のステージ面
と平行に移動する。基板固定枠２が垂直状態に立ち上が
ったら、モータ９の回転を停止し、ボールナット１２が
所定の位置まで移動したとき、モータ１３の回転を停止
する。尚、モータ９及びモータ１３の駆動タイミング
は、例えば基板固定枠２を立ち上げてから移動させるよ
うに、別々に駆動してもよい。そして、第２の照明装置
２２でガラス基板１を照明し、反対側からガラス基板１
を観察する。
【００１７】次に、ガラス基板１のうら面を検査すると
きは、モータ９を更に同方向に回転させる。モータ９の
回転は、減速機１０、平歯車８ｂ，８ａを介してシャフ
ト７に伝達され、シャフト７が回動し、基板固定枠２が
図７に示すように反対側に倒れ、ガラス基板１のガラス
面が検査ステージ５のステージ面と平行になったとき、
モータ９の回転を停止させる。そして、ガラス基板１の
おもて面を検査したときと同様に、第１の照明装置２１
でガラス基板１のうら面を照明して該ガラス基板１から
の反射光によりガラス基板１のうら面を観察し、ゴミ等
の有無の検査が行われる。
きは、モータ９を更に同方向に回転させる。モータ９の
回転は、減速機１０、平歯車８ｂ，８ａを介してシャフ
ト７に伝達され、シャフト７が回動し、基板固定枠２が
図７に示すように反対側に倒れ、ガラス基板１のガラス
面が検査ステージ５のステージ面と平行になったとき、
モータ９の回転を停止させる。そして、ガラス基板１の
おもて面を検査したときと同様に、第１の照明装置２１
でガラス基板１のうら面を照明して該ガラス基板１から
の反射光によりガラス基板１のうら面を観察し、ゴミ等
の有無の検査が行われる。
【００１８】かかる構成によれば、基板固定枠２は垂直
及び水平状態に回動し、検査ステージ５のステージ面と
平行に基板固定枠２は横移動するようになっているの
で、ガラス基板１のおもて面及びうら面の検査を同一の
ステージ上で行うことができる。また、ガラス基板１の
操作を人手を介さずに行うことができ、ガラス基板１の
おもて面及びうら面の検査を容易に行うことができる。
及び水平状態に回動し、検査ステージ５のステージ面と
平行に基板固定枠２は横移動するようになっているの
で、ガラス基板１のおもて面及びうら面の検査を同一の
ステージ上で行うことができる。また、ガラス基板１の
操作を人手を介さずに行うことができ、ガラス基板１の
おもて面及びうら面の検査を容易に行うことができる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１に係る発
明によれば、検査ステージの上面に設 けられた基板固定
枠で基板の周端部を支持して該基板を固定し、反転手段
により上記検査ステージの上面側にて上記基板固定枠を
その一端部を中心に回動させて立ち上げその後更に回動
させて検査ステージ上に倒すことにより上記基板のおも
て面及びうら面を反転させ、移動手段により上記立ち上
げられた基板固定枠を検査ステージの一側部から他側部
へ横移動させ、上記検査ステージの上方に設けられた第
１の照明装置により上記基板固定枠に支持された基板の
おもて面及びうら面について反射光で検査し、上記検査
ステージの一側方に設けられた第２の照明装置により上
記基板固定枠で立ち上げられた基板を透過光で検査する
ことができる。したがって、同一の検査ステージ上で基
板のおもて面及びうら面を容易に検査することができ
る。
明によれば、検査ステージの上面に設 けられた基板固定
枠で基板の周端部を支持して該基板を固定し、反転手段
により上記検査ステージの上面側にて上記基板固定枠を
その一端部を中心に回動させて立ち上げその後更に回動
させて検査ステージ上に倒すことにより上記基板のおも
て面及びうら面を反転させ、移動手段により上記立ち上
げられた基板固定枠を検査ステージの一側部から他側部
へ横移動させ、上記検査ステージの上方に設けられた第
１の照明装置により上記基板固定枠に支持された基板の
おもて面及びうら面について反射光で検査し、上記検査
ステージの一側方に設けられた第２の照明装置により上
記基板固定枠で立ち上げられた基板を透過光で検査する
ことができる。したがって、同一の検査ステージ上で基
板のおもて面及びうら面を容易に検査することができ
る。
【００２０】また、請求項２に係る発明によれば、ステ
ージ面内で直交する２軸を中心にしてＸ，Ｙ方向にそれ
ぞれ傾斜可能に構成された検査ステージにより、該検査
ステージが傾斜して基板から光が反射する角度を調節す
ることができる。
ージ面内で直交する２軸を中心にしてＸ，Ｙ方向にそれ
ぞれ傾斜可能に構成された検査ステージにより、該検査
ステージが傾斜して基板から光が反射する角度を調節す
ることができる。
【図１】 本発明による基板表面検査装置の実施の形態
を示す側面図。
を示す側面図。
【図２】 図１のＡ−Ａ’断面図。
【図３】 図１の部分拡大図。
【図４】 上記基板表面検査装置の動作説明図。
【図５】 同上動作説明図。
【図６】 同上動作説明図。
【図７】 同上動作説明図。
１ ガラス基板
２ 基板固定枠５
検査ステージ ７
シャフト
８ａ，８ｂ 平歯車９，１３，１６，２０
モータ
１１ ボールネジ
１２ ボールナット１４
タイミングベルト ２１
第１の照明装置 ２２
第２の照明装置
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平４−301547（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−137091（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−57254（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−268209（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−8323（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−12945（ＪＰ，Ａ)
特公 平７−6885（ＪＰ，Ｂ２)
実公 昭55−3151（ＪＰ，Ｙ２)
実公 平６−39323（ＪＰ，Ｙ２)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01N 1/00 - 1/44
G01N 21/84
G02F 1/13
ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (2)
- 【請求項１】検査ステージ上に載置された基板のおもて
面及びうら面を検査する基板表面検査装置において、上記検査ステージの上面に設けられ上記 基板の周端部を
支持して該基板を固定する基板固定枠と、上記検査ステージの上面側にて上記基板固定枠をその一
端部を中心に回動させて立ち上げその後更に回動させて
検査ステージ上に倒すことにより上記 基板のおもて面及
びうら面を反転させる反転手段と、上記立ち上げられた 基板固定枠を検査ステージの一側部
から他側部へ横移動させる移動手段と、上記検査ステージの上方に設けられ上記基板固定枠に支
持された基板のおもて面及びうら面について反射光で検
査するための第１の照明装置と、 上記検査ステージの一側方に設けられ上記基板固定枠で
立ち上げられた基板を透過光で検査するための第２の照
明装置と、 を備えたことを特徴とする基板表面検査装置。 - 【請求項２】上記検査ステージは、そのステージ面内で
直交する２軸を中心にしてＸ，Ｙ方向にそれぞれ傾斜可
能に構成されたことを特徴とする請求項１に記載の基板
表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10202297A JP3364408B2 (ja) | 1997-04-18 | 1997-04-18 | 基板表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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- 1997-04-18 JP JP10202297A patent/JP3364408B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JPH10293088A (ja) | 1998-11-04 |
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