KR20090080844A

KR20090080844A - 액정 적하장비, 그것의 액정 공급 장치 및 공급 방법

Info

Publication number: KR20090080844A
Application number: KR1020080006831A
Authority: KR
Inventors: 김준영; 안만호
Original assignee: 주식회사 탑 엔지니어링
Priority date: 2008-01-22
Filing date: 2008-01-22
Publication date: 2009-07-27
Also published as: JP2009172585A; TW200932373A; CN101493608A; TWI350211B; CN101493608B; KR100933524B1

Abstract

본 발명에 따른 액정 적하장비, 그것의 액정 공급 장치 및 공급 방법은, 시린지를 교체하지 않고, 시린지를 디스펜서 헤드에 그대로 장착한 상태에서, 시린지 쪽 수급 라인과 이 시린지에 액정을 공급하는 공급 라인이 액정 충전시에만 자동으로 연결되어 액정을 충전할 수 있도록 구성함으로써 시린지 교체 작업시 발생하는 기포 유입 등의 문제를 해결할 수 있고, 액정 충전 작업의 편의성이 향상됨은 물론 신속한 액정 공급으로 공정 효율 및 생산성 향상에 기여할 수 있는 효과가 있다.

클린 부스, 디스펜서, 시린지, 노즐, 액송탱크, 액정, 적하

Description

액정 적하장비, 그것의 액정 공급 장치 및 공급 방법{DEVICE FOR DISPENSING LIQUID CRYSTAL, AND APPARATUS AND METHOD FOR SUPPLYING THE LIQUID CRYSTAL THEREOF}

본 발명은 평판 디스플레이 장치 등의 기판 상에 액정을 적하하기 위한 적하 장비에 관한 것으로서, 특히 디스펜서 헤드에 구비된 시린지에 액정을 공급하기 위한 액정 적하장비, 그것의 액정 공급 장치 및 공급 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 평판 디스플레이로는 LCD, PDP, OLED 등이 개발되어 사용되고 있으며, 이 중에서, 액정 디스플레이(LCD)는 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정 셀들의 광 투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다.

이러한 액정 디스플레이는 TFT 기판과 컬러필터 기판 사이에 전기적인 신호가 인가됨에 따라 광의 투과 여부를 결정하는 액정층이 구비되고, 실런트 패턴에 의해 봉입되는 구조를 갖는다.

액정 디스플레이 제작 방법 중 하나로, TFT 기판과 컬러필터 기판을 각각 제 작한 다음, 두 기판 중 어느 하나의 기판에 실런트 패턴을 형성하고, 이 실런트 패턴의 안쪽 영역에 도트들을 배열한 형태의 패턴으로 액정 방울들을 적하한 다음, 두 기판을 합착한다. 이때 두 기판이 합착되면서 액정 방울들은 두 기판 사이에서 액정층을 형성하게 된다.

이와 같은 액정 디스플레이 제작 방법은 각각의 기능을 갖는 제조 장비들에 배열된 제조 라인에서 진행된다.

특히, 기판에 액정을 적하하여 공정 및 실런트 패턴을 형성하는 공정은 액정 또는 실런트 도포 장비인 디스펜서에서 이루어진다.

디스펜서에서 액정 적하 장비의 구성을 살펴보면 다음과 같다.

액정 적하 장비는 디스펜서 헤드가 구비되고, 이 디스펜서 헤드에 액정이 저장된 시린지가 장착된다. 또한 디스펜서 헤드에는 기판에 액정을 토출하여 적하하는 토출기가 구비된다. 토출기에는 노즐이 구비되어 상기 시린지로부터 액정을 공급받아 기판에 액정을 토출하면서 적하할 수 있도록 이루어진다.

여기서 시린지는 소형의 통형 구조로 이루어지는 바, 액정이 소진되면, 노즐에 액정을 공급하는 토출기 등의 동작을 정지시킨 후에 실린지를 교체해주어야 한다.

그러나, 새로운 실린지로 교체할 때, 시린지와 토출기의 노즐을 연결하여야 하는데, 연결 작업 과정에서 기포가 유입되어 액정 정량 토출에 문제가 발생하게 된다. 또한 시린지를 자주 교체해주어야 하므로, 작업자가 상당히 번거로워지고, 시린지 교체시 액정 적하 공정이 중지되므로 작업성은 물론 생산성이 떨어지는 문 제가 있다.

물론, 디스펜서 헤드에 장착되지 않은 별도의 액정공급탱크로부터 액정을 공급받을 수 있도록 구성할 수 있으나, 이와 같은 경우에 액정공급탱크와 토출기 사이의 연결 라인이 복잡하게 연결되고, 특히 액정 종류가 변경되었을 경우에 액정공급장치내 설치된 토출기는 물론, 액정공급탱크에 연결된 튜브를 모두 교체하여야 하거나, 튜브 내 액정을 모두 클리닝하는 작업이 필요하게 되어, 작업성이 떨어짐은 물론 상당한 교체 시간 소요로 생산 효율도 크게 저하되는 문제점이 있다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 시린지의 교체 없이 시린지에 액정을 간편하게 충전(充塡)할 수 있도록 구성함으로써 종래와 같이 시린지 교체 작업시 발생할 수 있는 기포 유입을 방지함과 아울러 작업성은 물론 생산성을 높일 수 있는 액정 적하장비, 그것의 액정 공급 장치 및 공급 방법을 제공하는 데 목적이 있다.

또한 본 발명은, 클린 부스 외부에서 시린지에 액정을 충전할 수 있도록 구성함으로써 클린 부스 내부의 액정 적하 공정 환경을 더욱 청결하게 하여 적하 공정의 신뢰성을 높일 수 있는 액정 적하장비, 그것의 액정 공급 장치 및 공급 방법을 제공하는 데 목적이 있다.

또한 본 발명은, 시린지와 이 시린지에 액정을 충전하는 공급 라인이 충전시에만 상호 연결되어 액정의 충전이 이루어질 수 있도록 구성함으로써 공급 라인의 교체 작업 없이 간편하게 충전할 수 있고, 공정 효율의 향상을 도모할 수 있는 액정 적하장비, 그것의 액정 공급 장치 및 공급 방법을 제공하는 데 목적이 있다.

또한 본 발명은, 시린지측 라인과 공급측 라인이 상호 연결될 때만 연결 라인이 개방되도록 구성함으로써 파티클 등 이물질 유입을 방지하여, 적하 작업의 신뢰성을 높일 수 있는 액정 적하장비, 그것의 액정 공급 장치 및 공급 방법을 제공하는 데 목적이 있다.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 액정 적하장비는, 기판이 위치되는 스테이지와, 상기 기판에 액정을 적하할 수 있도록 시린지 및 노즐이 구비된 디스펜서 헤드와, 상기 스테이지의 주변에 구비되어 상기 디스펜서 헤드를 지지하는 헤드 지지대와, 상기 디스펜서 헤드의 시린지에 기판에 적하할 액정을 공급하는 액정 공급기와, 상기 액정 공급기로부터 연결되어 액정을 공급하는 공급 라인과, 상기 디스펜서 헤드의 시린지에 연결된 수급 라인을 포함하고, 상기 헤드 지지대 및 디스펜서 헤드가 상기 스테이지의 상부에서 벗어나 상기 공급 라인이 위치된 쪽으로 이동함으로써 상기 수급 라인이 상기 공급 라인에 연결되어 상기 액정 공급기로부터 시린지에 액정을 충전할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 한다.

여기서 상기 스테이지, 디스펜서 헤드, 헤드 지지대는 외부와 차단된 클린 부스 내부에 위치되고, 상기 액정 공급기는 상기 클린 부스 외부에 위치되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 공급 라인과 수급 라인의 접속 위치는 클린 부스 내에 위치되게 구성되는 것이 바람직하다.

그리고 상기 공급 라인과 수급 라인의 접속부에는 두 라인이 서로 연결 또는 분리될 때 이물질이 유입되지 않도록 하는 이물질 방지캡이 각각 설치되는 것이 바람직하다.

다음, 상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 액정 적하장비의 액정 공급 장치는, 기판에 액정을 적하 또는 도포할 수 있도록 이루어진 디스펜서 헤드 와, 상기 디스펜서 헤드에 기판에 적하 또는 도포할 액정을 공급하는 액정 공급기와, 상기 액정 공급기로부터 연결되어 액정을 공급하는 공급 라인과, 상기 디스펜서 헤드 쪽에 구비되어 상기 공급 라인과 연결될 때 액정 공급기로부터 액정을 공급받는 수급 라인과, 상기 공급 라인과 수급 라인의 접속부에 구비되어 두 라인이 연결될 때 개방되어 이물질이 유입되지 않도록 하는 이물질 방지캡을 포함한 것을 특징으로 한다.

여기서 상기 디스펜서 헤드는, 기판에 액정을 토출하는 노즐과, 상기 수급 라인과 연결되어 액정을 저장한 상태에서 상기 노즐에 액정을 공급하는 시린지를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 액정 공급기는, 액정이 저장된 액정 탱크와, 상기 액정 탱크에 저장된 액정을 가압하여 상기 공급 라인을 통해 액정을 공급하는 액송 가압 장치를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 공급 라인의 끝단부 쪽이 수평 이동되어 상기 수급 라인의 입구부에 삽입됨으로써 상호 연결되게 구성되는 것이 바람직하다.

상기 공급 라인쪽 이물질 방지캡(이하 '공급측 캡'이라 함)은, 상하로 분리된 개폐 바디가 공급 라인의 끝단부를 폐쇄한 상태에서 수급 라인과 연결될 때 벌어지면서 개방되도록 구성되는 것이 바람직하다.

이때, 상기 공급측 캡은, 상기 개폐 바디의 이동에 따른 변위와 고정 구조물에 구비된 캠 프로파일(cam profile)의 상대 관계에 의해 개폐되도록 구성될 수 있다.

상기 공급측 캡과 공급 라인 사이에는 공급 라인이 공급측 캡에서 돌출된 후에 다시 원위치로 돌아갈 수 있도록 하는 리턴 스프링이 구비되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 수급 라인쪽 이물질 방지캡(이하 '수급측 캡'이라 함)은, 상기 공급측 캡에 구비된 푸시 바에 의해 개방되도록 구성되는 것이 바람직하다.

이때, 상기 수급측 캡은 상기 푸시 바가 접촉되는 대응 캠이 길게 형성될 수 있다. 그리고 상기 수급측 캡과 수급 라인 사이에는 상기 푸시 바에 대향되는 방향으로 탄성력을 제공하는 리턴 스프링이 구비될 수 있다.

상기와 달리, 상기 공급측 캡과 수급측 캡은 모터 또는 솔레노이드 액추에이터에 의해 자동 개폐되도록 구성될 수도 있다.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 액정 적하장비의 액정 공급 방법은, 디스펜서 헤드의 시린지의 액정을 충전하기 위해서 디스펜서 헤드를 액정 충전 위치로 이동시키는 제 1 단계와; 상기 제 1 단계가 이루어지면 시린지에 연결된 수급 라인과 액정 공급기와 연결된 공급 라인을 서로 연결하는 제 2 단계와; 상기 제 2 단계 후에 액정 공급기에서 시린지에 액정을 충전하는 제 3 단계와; 상기 제 3 단계 후에, 공급 라인에서 수급 라인을 분리하고, 디스펜서 헤드를 액정 적하 공정 위치로 이동시키는 제 4 단계를 포함한 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 2 단계, 제 3 단계에서 공급 라인과 수급 라인이 서로 연결될 때만 공급 라인과 수급 라인을 개폐하는 이물질 방지캡이 개방되게 하는 것이 바람직하다.

상기 제 1 단계는, 상기 시린지에 저장된 액정의 저장량을 측정하고, 저장량이 일정 이하일 경우에 디스펜서 헤드를 액정 충전 위치로 이동시키는 것이 바람직하다.

상기 시린지에 적하할 액정을 다른 종류로 변경할 경우에, 액정 공급기의 압송 탱크를 교체한 후에, 상기 제 1 단계에서 제 4 단계를 순차적으로 진행할 수도 있다.

본 발명에 따른 액정 적하장비, 그것의 액정 공급 장치 및 공급 방법은 다음과 같은 효과를 갖는다.

본 발명은, 시린지를 교체하지 않고, 시린지를 디스펜서 헤드에 그대로 장착한 상태에서 액정을 충전할 수 있도록 구성되기 때문에 시린지 교체 작업시 발생하는 기포 유입 등의 문제를 해결할 수 있고, 시린지에 간편하게 액정을 충전하므로, 작업성은 물론 생산성 향상에 기여할 수 있는 효과가 있다.

또한 본 발명은, 시린지에 액정을 충전하는 액정 공급기를 클린 부스의 외부에 설치할 경우, 작업자가 시린지 교체를 위해 클린 부스 내에 들어갈 필요가 없게 되므로, 클린 부스 내부의 액정 적하 공정 환경을 더욱 청결하게 하여 액정 적하 공정의 신뢰성을 높일 수 있는 효과가 있다.

또한 본 발명은, 시린지 쪽 수급 라인과 이 시린지에 액정을 충전하는 공급 라인이 액정 충전시에만 자동으로 상호 연결된 상태에서 액정이 충전되도록 구성되 기 때문에 액정 충전 작업의 편의성이 향상됨은 물론 공급 라인의 교체 작업 없이 간편하게 충전할 수 있고, 신속한 액정 공급으로 공정 효율의 향상을 도모할 수 있는 효과가 있다.

또한 본 발명은, 시린지측 라인과 공급측 라인에 이물질 방지캡이 각각 설치되기 때문에 비연결 상태에서 라인을 통해 파티클 등 이물질이 유입되는 것을 방지하여 액정 적하 작업의 신뢰성을 높일 수 있는 효과도 있다.

또한 본 발명은, 액정의 종류가 변경될 경우에는 클린 부스 밖에서 액정이 저장된 액정 탱크만 교체하면 되므로, 연결 라인의 클리닝 작업을 최소화하는 등 액정 교체 작업성도 우수해지는 효과가 있다.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 액정 적하장비는, LCD 등의 평판 디스플레이, 반도체 등을 제조하는 장비에서, 액정을 기판에 적하 또는 도포할 때 공히 적용하여 사용할 수 있는 장비이다.

이하 설명될 본 발명의 실시예는 LCD 등의 평판 디스플레이 제조 공정에 사용되는 액정 적하장비를 중심으로 설명하고자 한다.

도 1 내지 도 5는 본 발명에 따른 액정 적하장비가 도시된 전체 구성도로서, 도 1은 사시도, 도 2 및 도 3은 측면도, 도 4 및 도 5는 평면도이다. 그리고 도 6은 본 발명의 연결 장치의 주요부 상세도이다.

도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 액정 적하장비는, 액정 적하 공정실인 클린 부스(10) 내에 프레임(11), 스테이지(13), 헤드 지지대(15), 디스펜서 헤드(20) 등이 구비되고, 클린 부스(10) 외부에 액정을 공급하는 액정 공급기(30)가 위치된다.

특히, 상기 액정 공급기(30)와 디스펜서 헤드(20) 사이에는 액정 공급이 가능한 구성 요소들에 의해 상호 연결되어 구성된다.

이와 같은 본 발명의 액정 적하장비를 구성하는 주요 구성 부분을 설명한다.

상기 프레임(11)은 상기 스테이지(13), 헤드 지지대(15), 디스펜서 헤드(20) 등의 클린 부스(10) 내에 위치된 각종 장비들을 지지할 수 있도록 구성된다.

상기 스테이지(13)는 액정을 도포 또는 적하할 유리기판(이하 '기판'이라 함)(S)을 지지하는 구성 부분으로서, X, Y, Z 축 방향으로 이동이 가능하도록 구성되는 것이 바람직하다.

상기 헤드 지지대(15)는 디스펜서 헤드(20)를 지지하고 이동시키기 위한 구성부분으로서, 도면에서와 같이, 갠트리(gantry) 구조로 이루어질 수 있으며, 프레임(11)의 상부에 구비된 레일(17)을 따라 적어도 일축 방향으로 직선 이동이 가능하게 구성된다.

상기 디스펜서 헤드(20)는 헤드 지지대(15)에 다수개가 일렬로 배치되게 장착되고, 각각의 헤드에는 액정을 기판 위에 적하 또는 도포할 수 있는 노즐(23; 도 6 참조)이 구비된다. 이러한 디스펜서 헤드(20)는 노즐을 X, Y, Z 축 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.

특히, 상기 디스펜서 헤드(20)에는 상기 액정 공급기(30)로부터 액정 또는 실런트를 공급받아 일정량 저장할 수 있는 시린지(22)가 구비될 수 있다. 이 시린지(22)는 액정 등을 기판(S)에 토출하는 노즐(23)과 연결되어 액정 등을 공급하게 된다. 여기서 시린지(22)와 노즐이 직접 연결되어 구성되는 것도 가능하고, 필요에 따라서는 시린지(22)와 노즐이 펌프를 통해 연결되는 것도 가능하다. 또한, 상기 시린지(22)에는 질소 가스 등을 도입하여 액정을 일정한 압력으로 노즐에 압송하도록 하는 가압 장치와 연결되어 구성되는 것도 가능하다.

이와 같이, 프레임(11), 스테이지(13), 헤드 지지대(15), 디스펜서 헤드(20) 등이 구비된 클린 부스(10) 내에는, 노즐에서 낙하된 액정량을 측정할 수 있는 밸런스 장비(18)가 구비될 수 있다. 이외에도, 기판(S)에 액정을 적하 또는 도포하는데 필요한 공지의 구성 또는 장비들이 함께 구성될 수 있음은 물론이다.

이제, 클린 부스(10) 외부에 구성되는 액정 공급기(30)와, 이 액정 공급기(30)에서 디스펜서 헤드(20)에 액정을 공급하기 위한 연결 장치의 구성을 설명한다.

상기 액정 공급기(30)는, 액정이 저장된 액정 탱크(31)와, 상기 액정 탱크(31)에 저장된 액정을 가압하여 액정을 공급하게 하는 액송 가압 장치(33)를 포함하여 구성된다.

여기서 액정 탱크(31)는, 디스펜서 헤드(20)의 시린지(22)에 공급될 액정 등이 저장되는 통으로서, 시린지(22)보다 상당히 크게 구성되어 상당량의 액정을 저장한 상태에서 시린지(22)에 액정을 지속적으로 보충해 줄 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.

이러한 액정 탱크(31)와 디스펜서 헤드(20)의 시린지(22)와의 연결 장치는, 시린지(22)에 액정을 보충할 필요가 있을 때만 연결되어, 액정 탱크(31)로부터 액정을 공급받을 수 있도록 분리 및 결합 가능하게 구성된다.

즉, 상기 연결 장치는, 상기 액정 탱크(31) 측에 연결되어 액정을 공급하는 공급 라인(41)과, 디스펜서 헤드(20)의 시린지(22) 쪽에 연결되어 상기 공급 라인(41)을 통해 액정을 공급받는 수급 라인(45)과, 상기 공급 라인(41)과 수급 라인(45)의 연결 부분에 구비되어 상호 결합되는 접속부(41a, 45a; 도 6 참조)로 이루어진다.

이와 같은, 연결 장치는, 시린지(22)에 액정을 보충할 필요가 있을 경우에, 도 3 및 도 5에서와 같이 헤드 지지대(15) 및 디스펜서 헤드(20)가 액정 탱크(31) 및 공급 라인(41) 쪽으로 이동함에 따라 수급 라인(45)과 공급 라인(41)에 자동 접속되면서 액정 등을 공급받을 수 있도록 구성되는 것이다.

이때, 공급 라인(41)과 수급 라인(45)의 접속 방법은, 다양한 방법으로 구성될 수 있는데, 공급 라인(41)이 고정된 상태에서 헤드 지지대(15) 및 디스펜서 헤드(20)가 이동되어 공급 라인(41)과 수급 라인(45)이 상호 연결되는 방법, 헤드 지지대(15) 및 디스펜서 헤드(20)는 공급 라인(41)의 근접 위치까지 이동된 상태에서 공급 라인(41)이 전진하면서 수급 라인(45)과 상호 연결되는 방법 또는 공급 라인(41)과 수급 라인(45)이 동시에 진진하면서 상호 연결되게 하는 방법 등이 가능하다.

이하 설명될 본 실시예에서는, 헤드 지지대(15) 및 디스펜서 헤드(20)가 공급 라인(41)의 근접 위치까지 이동한 상태에서 공급 라인(41)이 전진하면서 수급 라인(45)과 상호 연결되는 구성을 중심으로 주로 도 6을 참조하여 자세히 설명한다.

먼저, 공급 라인(41)은 액정 탱크(31)와 분리 가능하게 구성되는 것이 바람직하다. 즉, 액정 탱크(31)에 저장된 액정이 소진되거나, 다른 종류의 액정으로 교체할 필요가 있을 경우에, 액정 탱크(31)만을 교체할 수 있도록 구성하기 위한 것이다. 물론, 액정 탱크(31)와 공급 라인(41)을 일체형으로 구성하여 함께 교체하는 것도 가능할 수 있다.

또한 공급 라인(41) 상에는 공급되는 액정을 정화할 수 있는 필터기구(35)가 설치되어 구성될 수도 있다.

이러한 공급 라인(41)은 클린 부스(10) 외부에서 클린 부스(10) 내측으로 연결되어 구성되고, 특히 접속부(41a)가 위치된 라인은 전후 이동이 가능하도록 구성된다. 이를 위해, 공급 라인(41)의 중간 부분은 신축이 가능하도록 신축부(43)가 구성되고, 클린 부스(10)의 벽면 등의 특정 위치에는 공급 라인(41)의 접속부(41a)가 전진 또는 후진할 수 있도록 구동하는 라인접속 구동부(42)가 구성된다.

여기서 공급 라인(41)의 신축부(43)는 벨로우즈 관을 이용하거나, 파이프가 내외로 이중 결합된 구조 등 공지의 다양한 방법으로 구성할 수 있다. 그리고, 라인접속 구동부(42)는 접속부(41a) 쪽의 공급 라인(41)을 직선 이동시키는 구성이면, 공지의 다양한 방법을 이용하여 구성할 수 있다. 그 일례로 모터에 의해 회전하는 피니언과 라인 쪽에 구비된 랙을 이용하여 직선 이동하게 구성할 수 있다. 이때, 공급 라인(41)의 직선 이동을 안내하는 가이드가 구비됨은 물론이다.

다음, 수급 라인(45)은, 디스펜서 헤드(20)에 장착된 시린지(22)에 직접 연결되도록 구성되는 것이 바람직하고, 만약 시린지(22)가 구비되지 않은 디스펜서 헤드(20)의 경우에는 노즐에 액정을 공급할 수 있는 저장부 또는 토출 장치부에 연결되게 구성될 수 있다.

다음, 상기 공급 라인(41)과 수급 라인(45)이 상호 접속되는 접속부(41a, 45a)는, 기본적으로 클린 부스(10) 내에 위치되는 것이 바람직하고, 접속 구조는 상기 공급 라인(41)의 끝단부(41a)가 상기 수급 라인(45)의 입구부(54a)에 삽입된 상태로 결합되게 구성되는 것이 바람직하다.

구체적인 접속부(41a, 45a)의 구조는, 공급 라인(41)이 수급 라인(45)에 수평 방향으로 삽입되어 결합될 수 있도록 구성되고, 수급 라인(45)은 시린지(22)의 상단에 대략 수직 방향으로 세워지게 설치되고 상단부의 앞쪽에 입구부(45a)가 위치되도록 구성되는 것이 바람직하다.

특히, 접속부(41a, 45a)에는, 양측 공급 라인(41)이 서로 분리된 상태 또는 연결된 상태에서 이물질이 유입되지 않도록 하는 이물질 방지캡(50)이 설치된다.

이물질 방지캡(50)은, 상기 공급 라인(41)의 끝단부(41a)와 수급 라인(45)의 입구부(45a)를 각각 개폐할 수 있도록 공급측 캡(51)과 수급측 캡(55)으로 구성되는 것이 바람직하다.

이와 같은 이물질 방지캡(50)의 구체적인 구성에 대해서는 도 8 내지 도 13을 참조하여, 아래에서 자세히 설명한다.

한편, 상기한 액정 탱크(31), 연결 장치 등의 개수는 디스펜서 헤드(20)의 개수에 따라 적절하게 설정하여 구성할 수 있다. 본 실시예의 도면에서는 하나의 액정 탱크(31) 및 연결 장치가 두 개의 디스펜서 헤드(20) 측에 액정을 공급할 수 있는 구성을 예시하였다. 이때에는 디스펜서 헤드(20) 또는 공급 라인(41)이 수평 이동하여 하나의 공급 라인(41)이 두 개의 수급 라인(45) 중 어느 하나에 결합될 수 있도록 구성할 수 있다.

상기의 본 실시예에서는 액정 공급기(30)가 클린 부스(10) 외부에 위치된 구성을 중심으로 설명하였으나, 반드시 클린 부스(10) 외부에 배치되어 구성되는 것에 한정되지 않고, 액정 공급기(30)가 클린 부스(10) 내부에 위치되게 구성되는 것도 가능하다. 이때에는 액정 공급기(30)의 설치 위치만 다를 뿐 전체적인 구성은 상기에서 설명한 본 발명의 주요 구성과 동일하게 구성할 수 있다.

이제, 상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 액정 적하장비를 이용한 액정 공급 방법에 대하여 설명한다.

도 7은 본 발명에 따른 액정 적하장비의 액정 공급 방법을 나타낸 순서도이 다.

도 7을 기본으로 도 1 내지 도 6을 참조하여 설명한다.

먼저, 디스펜서 헤드(20)에 장착된 시린지(22)의 액정 저장량을 측정한다.

이때 시린지(22)의 저장량 측정 방법은 시린지(22) 내부 또는 외부에 설치된 센서를 이용하여 측정하거나, 시린지(22)의 무게를 감지하여 측정하는 방법 등 공지의 다양한 측정 장치 및 방법을 이용할 수 있다.

시린지(22)에 저장된 액정 저장량 측정 결과에 따라, 저장된 액정이 충분하다고 판단될 경우에는 정상적으로 스테이지(13), 헤드 지지대(15), 디스펜서 헤드(20) 등을 구동하면서 스테이지(13)에 로딩된 기판(S)에 액정을 토출 또는 적하하는 공정을 실시한다.(도 2 및 도 4 참조)

하지만, 시린지(22)에 저장된 액정이 충분하지 않거나 소진되었다고 판단될 경우에는, 정상적인 액정 적하 공정을 중단하고, 헤드 지지대(15)를 액정 충전 위치로 이송한다.(도 3 및 도 5 참조)

이때, 액정의 토출(적하) 상태를 측정하는 밸런스 장비(18)가 위치된 쪽으로 이동시킨다.

헤드 지지대(15)에 의해 디스펜서 헤드(20) 및 수급 라인(45)이 액정 충전 위치로 이송되면, 공급 라인(41)이 전진하면서 수급 라인(45)과 접속된다. 이때, 공급 라인(41)과 수급 라인(45)의 접속부를 닫고 있는 캡(51, 55)들이 개방되어 공급 라인(41)과 수급 라인(45)은 상호 개방된 상태가 된다.

이후 액정 탱크(31)에 저장된 액정이 공급 라인(41) 및 이와 접속된 수급 라 인(45)을 통해 시린지(22) 내에 공급되면서, 시린지(22) 내에 액정이 충전된다.

시린지(22) 내에 액정의 충전이 완료되면, 공급 라인(41)이 후진하면서 수급 라인(45)과 분리되고, 이와 동시에 공급 라인(41) 및 수급 라인(45)의 접속부(41a, 45a)는 각각의 캡(51, 55)에 의해 닫히게 된다.

이후, 충전된 시린지(22)를 포함한 디스펜서 헤드(20) 및 헤드 지지대(15)는 도 2 및 도 4에서와 같이 다시 기판(S)이 놓여 있는 스테이지(13) 상부로 이동하여 정상적인 액정 적하 공정을 실시할 수 있게 된다.

한편, 상기 액정 탱크(31)에 저장된 액정이 완전히 소진된 경우, 또는 기판(S)에 다른 액정을 이용하여 기판에 패턴 등을 형성할 경우에는, 클린 부스(10) 외부에 위치된 액정 탱크(31)만을 교체한 후에, 교체된 액정을 상기한 바와 같은 공급 라인(41) 및 수급 라인(45)의 연결 구조를 이용하여 시린지(22)에 충전한 후에, 액정 적하 공정을 실시한다.

이제, 도 8 내지 도 13을 참조하여, 공급 라인(41)과 수급 라인(45)의 접속부(41a, 45a)에 구비되는 이물질 방지캡(50)의 구체적인 구성에 대하여 설명한다.

이물질 방지캡(50)은 공급 라인(41)의 끝단부(41a)에 구비된 공급측 캡(51)과, 수급 라인(45)의 입구부(45a)에 구비된 수급측 캡(55)으로 구성된다.

이러한 각각의 캡(51, 55)은 공급 라인(41)과 수급 라인(45)이 접속되지 않을 경우에는, 각 라인의 개방된 부분을 폐쇄한 상태에서 두 라인(41, 45)이 상호 연결될 경우에만 개방되도록 구성된다.

각 캡(51, 55)의 개폐 구조에 대하여 설명한다.

먼저, 공급측 캡(51)은 공급 라인(41)의 끝단부(41a)가 삽입되어 있는 상태에서 공급 라인(41)이 전진할 경우에는 개폐 바디(52)가 벌어지면서 공급 라인(41)의 끝단부(41a)를 개방하도록 구성된다.

즉, 공급측 캡(51)은 상측 개폐 바디(52U)와 하측 개폐 바디(52L)가 서로 밀착된 상태에서 공급 라인(41)이 전진하면서 함께 전진하게 되고, 일정 이상 전진하게 되면, 양측면에 구비된 가이드 브래킷(60; 도 11 참조)에 의해 상하측 개폐 바디(52)가 벌어지도록 구성된다.

이와 같이 벌어진 상태에서 개폐 바디(52)는 수급 라인(45)의 입구부(45a) 벽에 접촉되면서 정지되고, 공급 라인(41)은 계속 전진하여 수급 라인(45)의 입구부(45a) 내측으로 삽입될 수 있도록 구성된다.

상기 상하 개폐 바디(52U, 52L)를 벌려주는 수단은, 개폐 바디(52)의 이동에 따른 변위차에 의해 상대 변화를 발생시키는 캠 프로파일(cam profile)을 이용한 캠 가이드 방식으로 벌어지게 구성할 수 있다.

즉, 도 11에 도시된 바와 같이, 개폐 바디(52)의 양쪽에 클린 부스(10) 내의 고정 구조물(65)에 지지되는 가이드 브래킷(60)을 이용할 수 있다.

상기 가이드 브래킷(60)은 개폐 바디(52)의 양쪽에 위치되는 것이 바람직하며, 각 브래킷에는 개폐 바디(52)의 이동 궤적, 이동 위치를 안내하는 캠 슬롯(62)이 상하로 한 쌍씩 형성된다. 이때 상하 한 쌍의 캠 슬롯(62)은 초기에는 평형하게 연결되어 개폐 바디(52)가 닫혀 있는 상태로 이동하다가 일정 이상 이동하게 되면 캠 슬롯(62)이 양쪽으로 멀어지면서 개폐 바디(52)가 벌어질 수 있도록 형성된다.

그리고 상하 개폐 바디(52)의 양측면에는 상기 캠 슬롯(62)에 결합되는 돌기(52a)가 형성되는데, 이때 돌기(52a)는 캠 슬롯(62)에 구름 운동하면서 이동할 수 있도록 롤러로 구성되는 것이 바람직하다.

상기 캠 슬롯(62)은 도면에서와 같이 상측 및 하측 개폐 바디(52)가 안정적으로 이동하도록 안내할 수 있도록 앞쪽과 뒤쪽에 하나씩 두 개가 형성되는 것이 바람직하다. 이때 상기 돌기(52a)도 각 캠 슬롯(62)에 결합되게 두 개가 형성된다.

한편, 공급 라인(41) 및 공급측 캡(51)이 수급 라인(45)에서 분리되어 원위치로 돌아올 경우에, 공급 라인(41)과 공급측 캡(51) 사이의 상대 위치가 초기 상태로 돌아올 수 있도록 도 6에서와 같이 공급 라인(41)과 공급측 캡(51) 사이에 리턴 스프링(53)이 설치되는 것이 바람직하다.

또한, 상하 개폐 바디(52U, 52L) 사이에는 개폐 바디(52)가 개방된 상태에서도 내부를 밀봉할 수 있도록 신축 부재(미도시)가 연결되어 설치될 수 있으며, 마찬가지로, 개폐 바디(52)의 뒤쪽 부분과 공급 라인(41) 사이에도 도 6의 리턴 스프링(53)을 대신하여 신축 부재가 연결되어 설치될 수 있다. 이때 사용될 수 있는 신축 부재는 신장 후에 복원력을 발생시키는 벨로우즈 스프링 등을 이용할 수 있다.

공급측 캡(51)의 개폐 구조를 상기와 같은 변위차를 이용한 캠 방식의 개폐 구조 외에, 실시 조건에 따라 다양하게 구성할 수 있다.

그 하나의 방법으로 공급 라인(41)과 개폐 바디(52)의 상대 이동에 의해 공급측 캡(51)이 벌어지도록 구성할 수 있다. 즉, 공급 라인(41)과 개폐 바디(52)가 함께 전진하다가 개폐 바디(52)가 수급 라인(45)에 접촉되면서 더 이상 전진하지 못하게 되면, 이때 공급 라인(41)은 계속 전진하면서 개폐 바디(52)를 벌린 후에 수급 라인(45)의 입구에 진입하는 방식으로 구성하는 것도 가능하다.

다른 방법으로 상기한 바와 같은 기구적 방식의 개폐 구조가 아닌, 전동 모터 등을 이용한 구동력으로 상하 개폐 바디(52)가 자동으로 벌어지면서 개폐되게 구성하는 것도 가능하다.

다음, 상기 수급측 캡(55)은 기본적으로 수급 라인(45)의 상단부에 뚜껑 구조로 개폐되게 구성된다. 물론 후방 쪽에는 힌지(56)가 구비되어 캡(55)이 회전하면서 개방될 수 있도록 구성된다.

가장 바람직한 개폐 구조는, 상기 공급 라인(41)의 이동과 연동하여 개폐될 수 있도록 구성되는 것인데, 이에 대한 구조는 공급측 캡(51)이 전진하면, 공급측 캡(51)에 구비된 푸시 바(54)가 수급측 캡(55)을 강제로 밀어서 개방시키는 방식이다.

즉, 도 8 내지 도 10에서와 같이, 공급측 캡(51)에 푸시 바(54)를 길게 설치하고, 수급측 캡(55)에 푸시 바(54)가 접촉하면서 밀어줄 수 있는 대응 캠(59)을 구성하여, 공급측 캡(51)이 전진함에 따라 수급측 캡(55)이 푸시 바(54)에 밀려서 자동으로 개방되게 구성할 수 있다.

여기서 대응 캠(59)이 수급측 캡(55)의 양쪽면에 구성되는 것이 바람직한 바, 푸시 바(54)도 공급측 캡(51)의 상부에 나란히 두 개가 구비되는 것이 바람직하다.

한편, 상기 푸시 바(54)의 끝단부는 대응 캠(59)과의 원활한 접촉을 위해, 경사지거나 곡면으로 형성되는 것이 바람직하다.

그리고 상기 대응 캠(59)은 상기 수급측 캡(55)의 양측면에서 돌출되게 형성되는 것이 바람직하고, 그 모양은 도면에서와 같이 초기 위치는 완만한 경사를 이루다가 일정 구간을 넘어가면 급격한 곡면으로 연결되게 구성되는 것이 바람직하다.

이와 같은 방식으로 개방되는 수급측 캡(55)에는 공급측 캡(51)이 분리될 때, 다시 닫힐 수 있도록 하는 구조가 필요한 바, 이러한 구조는 수급측 캡(55)의 뒤쪽에 판형 구조의 리턴 스프링(57)을 이용하거나, 도면에 예시되지는 않았지만 힌지(56)에 장착되는 공지의 리턴 스프링을 이용할 수도 있다.

그리고 도 10에서와 같이 공급측 캡(51)이 벌어질 경우에, 푸시 바(54)도 함께 상승할 수 있는 바, 이와 같은 변위 발생에 대응할 수 있도록 힌지 홀(56a)을 도면에서와 같이 상하로 긴 슬롯 구조로 구성하는 것도 가능하다. 물론, 대응 캠(59)의 구조를 변경하여 푸시 바(54)가 상승할 경우에 장애를 갖지 않도록 구성할 수도 있다.

상기와 같이 기구적 접촉 방식을 이용하여 수급측 캡(55)을 개폐하는 방식 외에, 센서를 이용하여 공급 라인(41)이 전진하면 이를 감지하여 구동 모터 등의 구동 수단을 이용하여 수급측 캡(55)을 힌지(56)를 중심으로 자동으로 개폐할 수 있도록 구성하는 것도 가능하다.

도 12는 본 발명에 따른 이물질 방지캡의 다른 실시예를 보여주는 구성으로서, 두 라인(41, 45)의 상대 위치 감지에 따라 회전 모터(71) 또는 솔레노이드 액추에이터(75)를 작동시켜 각 라인의 끝단부(41a) 또는 입구부(45a)를 자동으로 개폐할 수 있도록 구성할 수 있다.

즉, 도면에서와 같이 공급 라인(41) 쪽은 끝단부(41a)를 막고 있는 개폐 플레이트(73)를 전동 모터(71)를 이용하여 회전시킴으로써 개방할 수 있도록 구성하고, 수급 라인(45) 쪽은 입구부(45a)를 막고 있는 개폐 플레이트(77)를 솔레노이드 액추에이터(75)를 이용하여 슬라이드 방식으로 개방시킬 수 있도록 구성할 수 있는 것이다.

물론 이와 반대로 공급 라인(41)에 솔레노이드 액추에이터를 이용한 슬라이드식 개폐 구조를 적용하고, 수급 라인(45)에 전동 모터를 이용한 회전식 개폐 구조를 적용하는 것도 가능하다.

또한, 도 13은 본 발명에 따른 이물질 방지캡의 또 다른 실시예를 보여주는 구성으로서, 주유건 구조와 유사하게 구성할 수도 있다.

즉, 공급 라인(41)이 수급 라인(45)의 입구부(45a)에 구비된 캡(85)을 밀어 서 개방시키도록 구성할 수 있다. 이때, 공급 라인(41)의 끝단부(41a)는 이물질의 유입이 최소화될 수 있도록 하측 방향으로 액정이 공급될 수 있도록 구성하는 것이 바람직하다.

또한, 공급 라인(41)의 끝단부(41a)도 개폐 가능한 구조로 구성할 경우, 끝단부(41a)에 개폐 플레이트(83)가 수급 라인(45)의 입구부(45a)에 걸리면서 개방될 수 있도록 구성할 수 있다. 그리고 개폐 플레이트를 지지하는 지지 박스(81)에는 개폐 플레이트(83)를 밀어주는 탄성 부재가 구비되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 지지 박스(81) 대신에 솔레노이드 액추에이터를 이용하여 개폐 플레이트(83)를 개폐시키도록 구성하는 것도 가능하다.

참조 번호 87은 상기 개폐 플레이트(85)가 원위치로 돌아오도록 하는 리턴 스프링을 나타낸다.

상기한 본 발명의 실시예에서는 액정을 적하하는 장비에 액정을 공급하는 장치 및 방법을 중심으로 설명하였으나, 실런트를 포함한 페이스트류를 공급하는 장치 및 방법도 동일하게 적용할 수 있다. 따라서 이와 같은 경우도 본 발명의 특허청구범위에 기재된 기술 사상의 범주에 있음은 물론이다.

도 1은 본 발명에 따른 액정 적하장비가 도시된 사시도,

도 2와 도 3은 본 발명에 따른 액정 적하장비가 도시된 측면도로서,

도 2는 액정 적하 위치의 측면도,

도 3은 액정 충전 위치의 측면도,

도 4 와 도 5는 본 발명에 따른 액정 적하장비가 도시된 평면도로서,

도 4는 액정 적하 위치의 측면도,

도 5는 액정 충전 위치의 측면도,

도 6은 본 발명에 따른 액정 적하장비의 액정 공급 장치가 도시된 상세도,

도 7은 본 발명에 따른 액정 적하장비의 액정 공급 방법을 나타낸 순서도,

도 8 내지 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 이물질 방지캡이 도시된 도면으로서,

도 8은 공급 라인과 수급 라인의 결합전 상태도,

도 9는 공급 라인과 수급 라인의 결합시의 상태도,

도 10은 공급 라인과 수급 라인이 결합된 상태도,

도 11은 공급측 캡의 개폐 구조를 보인 개략도,

도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 이물질 방지캡이 도시된 구성도,

도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 이물질 방지캡이 도시된 구성도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 클린 부스 11 : 프레임

13 : 스테이지 15 : 헤드 지지대

18 : 밸런스 장비 20 : 디스펜서 헤드

22 : 시린지 23 : 노즐

30 : 액정 공급기 31 : 압송 탱크

33 : 액송 가압 장치 41 : 공급 라인

41a : 끝단부 42 : 라인접속 구동부

43 : 신축부 45 : 수급 라인

45a : 입구부 50 : 이물질 방지캡

51 : 공급측 캡 52 : 개폐 바디

52a : 돌기 53 : 리턴 스프링

54 : 푸시 바 55 : 수급측 캡

56 : 힌지 57 : 리턴 스프링

59 : 대응 캠 60 : 가이드 브래킷

62 : 캠 슬롯

Claims

기판이 위치되는 스테이지와, 상기 기판에 액정을 적하 또는 도포할 수 있도록 시린지 및 노즐이 구비된 디스펜서 헤드와, 상기 스테이지의 주변에 구비되어 상기 디스펜서 헤드를 지지하는 헤드 지지대와, 상기 디스펜서 헤드의 시린지에 기판에 적하 또는 도포할 액정을 공급하는 액정 공급기와, 상기 액정 공급기로부터 연결되어 액정을 공급하는 공급 라인과, 상기 디스펜서 헤드의 시린지에 연결된 수급 라인을 포함하고,

상기 헤드 지지대 및 디스펜서 헤드가 상기 스테이지의 상부에서 벗어나 상기 공급 라인이 위치된 쪽으로 이동함으로써 상기 수급 라인이 상기 공급 라인에 연결되어 상기 액정 공급기로부터 시린지에 액정을 충전할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 액정 적하장비.
청구항 1에 있어서,

상기 스테이지, 디스펜서 헤드, 헤드 지지대는 외부와 차단된 클린 부스 내부에 위치되고, 상기 액정 공급기는 상기 클린 부스 외부에 위치된 것을 특징으로 하는 액정 적하장비.
청구항 2에 있어서,

상기 공급 라인과 수급 라인의 접속 위치는 클린 부스 내에 위치되게 구성된 것을 특징으로 하는 액정 적하장비.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,

상기 공급 라인과 수급 라인의 접속부에는 두 라인이 서로 연결 또는 분리될 때 이물질이 유입되지 않도록 하는 이물질 방지캡이 각각 설치된 것을 특징으로 하는 액정 적하장비.
기판에 액정을 적하 또는 도포할 수 있도록 이루어진 디스펜서 헤드와,

상기 디스펜서 헤드에 기판에 적하 또는 도포할 액정을 공급하는 액정 공급기와,

상기 액정 공급기로부터 연결되어 액정을 공급하는 공급 라인과,

상기 디스펜서 헤드 쪽에 구비되어 상기 공급 라인과 연결될 때 액정 공급기로부터 액정을 공급받는 수급 라인과,

상기 공급 라인과 수급 라인의 접속부 중 적어도 어느 한쪽에 구비되어 두 라인이 연결될 때 개방되어 이물질이 유입되지 않도록 하는 이물질 방지캡을 포함한 것을 특징으로 하는 액정 적하장비의 액정 공급 장치.
청구항 5에 있어서,

상기 디스펜서 헤드는, 기판에 액정을 토출하는 노즐과, 상기 수급 라인과 연결되어 액정을 저장한 상태에서 상기 노즐에 액정을 공급하는 시린지를 포함한 것을 특징으로 하는 액정 적하장비의 액정 공급 장치.
청구항 5에 있어서,

상기 액정 공급기는, 액정이 저장된 액정 탱크와, 상기 액정 탱크에 저장된 액정을 가압하여 상기 공급 라인을 통해 액정을 공급하는 액송 가압 장치를 포함한 것을 특징으로 하는 액정 적하장비의 액정 공급 장치.
청구항 5에 있어서,

상기 공급 라인의 끝단부 쪽이 수평 이동되어 상기 수급 라인의 입구부에 삽입됨으로써 상호 연결되게 구성된 것을 특징으로 하는 액정 적하장비의 액정 공급 장치.
청구항 5에 있어서,

상기 공급 라인쪽 이물질 방지캡(이하 '공급측 캡'이라 함)은, 상하로 분리된 개폐 바디가 공급 라인의 끝단부를 폐쇄한 상태에서 수급 라인과 연결될 때 벌어지면서 개방되도록 구성된 것을 특징으로 하는 액정 적하장비의 액정 공급 장치.
청구항 9에 있어서,

상기 공급측 캡은, 상기 개폐 바디의 이동에 따른 변위와 고정 구조물에 구비된 캠 프로파일(cam profile)의 상대 관계에 의해 개폐되도록 구성된 것을 특징으로 하는 액정 적하장비의 액정 공급 장치.
청구항 9에 있어서,

상기 공급측 캡과 공급 라인 사이에는 공급 라인이 공급측 캡에서 돌출된 후에 다시 원위치로 돌아갈 수 있도록 하는 리턴 스프링이 구비된 것을 특징으로 하는 액정 적하장비의 액정 공급 장치.
청구항 5 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서,

상기 수급 라인쪽 이물질 방지캡(이하 '수급측 캡'이라 함)은, 상기 공급측 캡에 구비된 푸시 바에 의해 개방되도록 구성된 것을 특징으로 하는 액정 적하장비의 액정 공급 장치.
청구항 12에 있어서,

상기 수급측 캡은 상기 푸시 바가 접촉되는 대응 캠이 길게 형성된 것을 특징으로 하는 액정 적하장비의 액정 공급 장치.
청구항 12에 있어서,

상기 수급측 캡과 수급 라인 사이에는 상기 푸시 바에 대향되는 방향으로 탄성력을 제공하는 리턴 스프링이 구비된 것을 특징으로 하는 액정 적하장비의 액정 공급 장치.
청구항 5 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 있어서,

상기 공급측 캡과 수급측 캡은 모터 또는 솔레노이드 액추에이터에 의해 자동 개폐되도록 구성된 것을 특징으로 하는 액정 적하장비의 액정 공급 장치.
디스펜서 헤드의 시린지에 액정을 충전하기 위해서 디스펜서 헤드를 액정 충전 위치로 이동시키는 제 1 단계와;

상기 제 1 단계가 이루어지면 시린지에 연결된 수급 라인과 액정 공급기와 연결된 공급 라인을 서로 연결하는 제 2 단계와;

상기 제 2 단계 후에 액정 공급기에서 시린지에 액정을 충전하는 제 3 단계와;

상기 제 3 단계 후에, 공급 라인에서 수급 라인을 분리하고, 디스펜서 헤드를 액정 적하 공정 위치로 이동시키는 제 4 단계를 포함한 것을 특징으로 하는 액정 적하장비의 액정 공급 방법.
청구항 16에 있어서,

상기 2 단계, 제 3 단계에서 공급 라인과 수급 라인이 서로 연결될 때만 공급 라인과 수급 라인을 개폐하는 이물질 방지캡이 개방되게 하는 것을 특징으로 하는 액정 적하장비의 액정 공급 방법.
청구항 16 또는 청구항 17에 있어서,

상기 제 1 단계는, 상기 시린지에 저장된 액정의 저장량을 측정하고, 저장량이 일정 이하일 경우에 디스펜서 헤드를 액정 충전 위치로 이동시키는 것을 특징으 로 하는 액정 적하장비의 액정 공급 방법.
청구항 16 또는 청구항 17에 있어서,

상기 시린지에 충전할 액정을 다른 종류로 변경할 경우에, 액정 공급기의 압송 탱크를 교체한 후에, 상기 제 1 단계에서 제 4 단계를 순차적으로 진행하는 것을 특징으로 하는 액정 적하장비의 액정 공급 방법.