KR20110052912A

KR20110052912A - 액정 공급장치 및 액정 공급 및 회수방법

Info

Publication number: KR20110052912A
Application number: KR1020090109654A
Authority: KR
Inventors: 김희근; 김준영
Original assignee: 주식회사 탑 엔지니어링
Priority date: 2009-11-13
Filing date: 2009-11-13
Publication date: 2011-05-19
Also published as: CN102078851A; TWI528071B; KR101695333B1; TW201131246A

Abstract

본 발명은 액정 공급장치 및 액정 공급 및 회수방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 액정 공급장치는 액정 탱크; 상기 액정 탱크에 압력을 공급하는 압력 공급 유닛; 액정을 액정 병에 주입하는 액정 주입장치; 상기 액정 탱크와 액정 주입장치를 연결하여, 상기 액정 탱크내부에 공급되는 압력에 의해 상기 액정 탱크의 액정이 상기 액정 주입장치로 흐르는 튜브; 및 상기 튜브로 액정을 흐르게 하거나 흐르지 못하게 하는 개폐 유닛을 포함하며, 상기 튜브에 잔류하는 액정을 감지하는 감지 유닛이 구비된다. 또한 액정 공급 및 회수방법은 액정 탱크내부에 압력을 공급하여 상기 액정 탱크에 저장된 액정을 튜브를 통해 액정 병에 공급하는 액정 공급 단계; 상기 액정 병에 액정 량이 일정 수준까지 채워지면 상기 튜브를 통해 공급되는 액정을 차단시키는 액정 공급 중지 단계; 상기 튜브에 있는 액정을 상기 액정 탱크로 회수하는 액정 회수 단계; 상기 튜브에 액정이 있는지 없는지를 판단하는 판단 단계를 포함한다. 본 발명에 따르면, 액정 탱크, 튜브 등을 새 것들로 교체할 때, 상기 튜브내에 있는 액정을 상기 액정 탱크로 회수하고 상기 튜브에 회수되지 않은 액정이 있는지를 확인한 다음 상기 튜브에 액정이 잔류하지 않을 경우 상기 액정 탱크 및 튜브를 새 것들로 교체하게 된다.

Description

액정 공급장치 및 액정 공급 및 회수방법{APPARATUS FOR SUPPLYING A LIQUID CRYSTAL AND METHOD FOR SUPPLYING AND RETURNING A LIQUID CRYSTAL}

본 발명은 액정 공급장치 및 액정 공급 및 회수방법에 관한 것이다.

도 1은 액정 디스펜서와 액정 공급시스템을 개략적으로 도시한 측면도이다.

도 1에 도시한 바와 같이, 액정 디스펜서가 설치되고 상기 액정 디스펜서가 내부에 위치하도록 상기 클린 부스(clean booth)(B)(일명, 커버 프레임이라고도 함)가 설치된다. 상기 클린 부스 밖에 액정 공급시스템이 설치된다.

상기 액정 디스펜서는 프레임(100)과, 상기 프레임(100)에 장착되는 스테이지(200)와, 상기 스테이지(200)의 양쪽에 각각 위치하도록 상기 프레임(100)에 결합되는 제1 가이드 유닛(G1)들과, 상기 제1 가이드 유닛(G1)들에 결합되는 헤드 유닛 지지대(400)와, 상기 헤드 유닛 지지대(400)를 움직이는 제1 구동유닛(미도시), 상기 헤드 유닛 지지대(400)에 구비되는 제2 가이드 유닛(G2)과, 상기 제2 가이드 유닛(G2)에 결합되는 복수 개 헤드 유닛(500)들과, 상기 헤드 유닛(500)들을 움직이는 제2 구동유닛(미도시)을 포함한다.

상기 헤드 유닛(500)은, 도 1, 2에 도시한 바와 같이, 상기 제2 가이드 유닛 에 연결되는 지지 조립체(510)와, 상기 지지 조립체(510)에 결합되는 액정 병 삽입부재(520)와, 상기 액정 병 삽입부재(520)에 삽입된 액정 병(530)과, 상기 액정 병(530)의 입구를 막도록 액정 병(530)의 주둥이에 결합되는 마개(540)와, 상기 지지 조립체(510)의 하부에 구비된 노즐 유닛(550)과, 상기 마개(540)에 관통된 상태로 결합되어 상기 액정 병(530)의 액정이 노즐 유닛(550)으로 흐르는 노즐 연결 튜브(560)를 포함한다.

상기 마개(540) 내부에, 액정이 주입되는 주입 통로(H)가 구비된다. 상기 노즐 유닛(550)은 노즐(551)을 포함한다. 상기 마개(540)를 관통한 노즐 연결 튜브(560)의 한쪽 끝은 액정 병 내측 바닥면에 가깝게 위치한다.

미설명 부호 570은 연결 부재이다.

상기 액정 디스펜서의 스테이지(200)에 기판이 놓여진다. 상기 제1 구동유닛과 제2 구동유닛이 상기 헤드 유닛(500)들을 각각 설정된 데이터에 따라 움직인다. 상기 헤드 유닛(500)들이 움직이는 동안 노즐 유닛(550)의 노즐(551)을 통해 기판에 액정 방울을 떨어뜨린다.

상기 액정 병(530)에 담겨진 액정의 양이 일정 수준까지 감소되면 상기 헤드 유닛(500)을 액정을 공급받는 위치로 이동시킨다.

상기 액정 공급시스템은 베이스 플레이트(610)에 설치되는 액정 탱크(620)와, 상기 액정 탱크(620)에 압력을 공급하는 압력 공급 유닛(630)과, 상기 액정 탱크(620)와 압력 공급 유닛(630)을 연결하는 연결관(640)과, 상기 클린 부스(B)의 일측벽에 관통된 상태로 결합되는 액정 주입장치(700)와, 상기 액정 탱크(620)와 액정 주입장치(700)를 연결하는 튜브(650)와 상기 튜브(650)에 구비되는 밸브(660)를 포함한다.

상기 액정 주입장치(700)는 상기 클린 부스(B)의 벽에 결합되는 베이스 부재(720)와, 상기 베이스 부재(720)에 결합되는 엑츄에이터(730)와, 상기 엑츄에이터(730)에 결합되는 가이드 레일(미도시)과, 상기 가이드 레일에 슬라이딩 가능하게 결합되며, 상기 엑츄에이터(730)에 연결되는 슬라이딩 부재(740)와, 상기 슬라이딩 부재(740)에 고정되도록 결합되는 홀더(750)와, 상기 홀더(750)에 관통된 상태로 결합되는 튜브 지지관(710)을 포함한다.

상기 튜브(650)의 한쪽 끝 부분이 상기 튜브 지지관(710)에 관통된 상태로 결합되고 상기 튜브(650)의 다른 한쪽 끝 부분이 상기 액정 탱크(620)에 연결된다.

상기 헤드 유닛(500)이 액정을 공급받는 위치로 이동한 상태에서, 상기 엑츄에이터(730)가 상기 슬라이딩 부재(740)를 전진시킨다. 상기 슬라이딩 부재(740)가 전진함에 따라 그 슬라이딩 부재(740)에 결합된 홀더(750)와 상기 홀더(750)에 결합된 튜브 지지관(710) 및 튜브(650)가 앞으로 이동하여 상기 액정 병(530)의 마개(540)의 주입 통로(H)에 삽입된다.

상기 액정 탱크(620)에 저장된 액정이 튜브(650)를 통해 흐르도록 상기 밸브(660)를 열고 상기 압력 공급 유닛(630)이 상기 액정 탱크(620)에 압력을 공급한다. 상기 액정 탱크(620)에 공급된 압력에 의해 액정 탱크(620)에 저장된 액정이 튜브(650)를 통해 흐르면서 마개(540)의 주입 통로(H)를 통해 액정 병 내부에 공급된다.

상기 액정 병(530) 내부에 액정의 양이 일정 수준까지 채워지게 되면 상기 압력 공급 유닛(630)이 상기 액정 탱크(620)에 압력을 공급하는 것을 중단하고 상기 밸브(660)를 닫아 액정 탱크(620)에 저장된 액정이 상기 튜브(650)를 통해 액정 병에 공급되는 것을 중지시킨다.

상기 엑츄에이터(730)가 슬라이딩 부재(740)를 후진시킨다. 상기 슬라이딩 부재(740)가 후진함에 따라 그 슬라이딩 부재(740)에 결합된 홀더(750)와 상기 홀더(750)에 결합된 튜브 지지관(710) 및 튜브(650)가 뒤로 이동하여 상기 액정 병(530)의 마개(540)의 주입 통로(H)로부터 빠져나오게 된다.

상기 헤드 유닛(500)을 액정 방울을 기판에 떨어뜨리기 위한 위치로 이동시킨다.

위와 같이 상기 헤드 유닛(500)에 구비된 액정 병(530)에 액정의 양이 일정 수준까지 감소되면 액정 병(530)은 액정 공급시스템으로부터 액정을 공급받는다.

한편, 기판으로 토출될 액정의 종류를 변경하려면, 기존 액정과 새로운 종류의 액정이 서로 섞이지 않게, 액정 탱크(620), 튜브(650), 밸브(660) 등을 새 것들로 교체해야 한다. 또한, 상기 액정 탱크(620)에 저장된 액정이 소진되면 액정 탱크(620), 튜브(650), 밸브(660) 등을 새 것들으로 교체해야 한다. 상기 튜브(650)와 밸브(660)가 한 개의 조립체로 이루어진 경우 액정 탱크(620)와 튜브(650)와 밸브(660)를 함께 교체한다. 그리고 상기 튜브(650)와 밸브(660)가 분리될 수 있는 경우 상기 액정 탱크(620)와 튜브(650)만을 교체하게 된다.

상기 액정 탱크(620), 밸브(660), 튜브(650)를 새 것들로 교체할 때 상기 액 정 주입장치(700)의 튜브 지지관(710)에 삽입된 튜브(650)를 잡아 당겨 상기 튜브(650)를 튜브 지지관(710)에서 빼내게 된다. 그리고 새로운 튜브를 상기 튜브 지지관(710)에 삽입하게 된다.

그러나 상기한 바와 같은 액정 공급시스템은 액정의 종류를 변경하거나 액정 탱크(620)에 저장된 액정이 소진되어 액정 탱크(620), 튜브(650), 밸브(660) 등을 새 것들로 교체하기 위하여 튜브(650)를 튜브 지지관(710)에서 빼내게 될 때 상기 튜브(650)에 액정이 남아 있을 경우 튜브(650)에 남아있는 액정이 떨어져 액정 디스펜서, 클린 부스, 바닥에 떨어지게 된다.

본 발명의 목적은 액정이 저장된 액정 탱크와 상기 액정 탱크의 액정이 액정 병으로 흐르는 튜브를 새 것(다른 것)으로 교체할 때 액정이 상기 튜브에 남아있지 않은 상태에서 액정 탱크 및 튜브를 교체하는 것이다.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 액정이 저장된 액정 탱크; 상기 액정 탱크에 압력을 공급하는 압력 공급 유닛; 액정을 액정 병에 주입하는 액정 주입장치; 상기 액정 탱크와 액정 주입장치를 연결하여, 상기 액정 탱크내부에 공급되는 압력에 의해 상기 액정 탱크의 액정이 상기 액정 주입장치로 흐르는 튜브; 및 상기 튜브로 액정을 흐르게 하거나 흐르지 못하게 하는 개폐 유닛을 포함하며, 상기 튜브에 잔류하는 액정을 감지하는 감지 유닛이 구비된다.

상기 감지 유닛은 상기 액정 주입장치의 옆에 위치하도록 상기 튜브에 구비되는 제1 센서와, 상기 액정 탱크의 옆에 위치하도록 상기 튜브에 구비되는 제2 센서를 포함한다.

또한, 액정 탱크내부에 압력을 공급하여 상기 액정 탱크에 저장된 액정을 튜브를 통해 액정 병에 공급하는 액정 공급 단계; 상기 액정 병에 액정 량이 일정 수준까지 채워지면 상기 튜브를 통해 공급되는 액정을 차단시키는 액정 공급 중지 단계; 상기 튜브에 있는 액정을 상기 액정 탱크로 회수하는 액정 회수 단계; 상기 튜브에 액정이 있는지 없는지를 판단하는 판단 단계를 포함하는 액정 공급 및 회수방 법이 제공된다.

상기 액정 공급 중지 단계는 상기 액정 탱크에 공급되는 압력을 차단하고 상기 튜브에 구비된 개폐 유닛을 닫아 상기 튜브를 통해 흐르는 액정을 차단시키는 것이 바람직하다.

상기 액정 회수 단계는 상기 액정 탱크내부를 대기압 상태로 만들고, 상기 튜브에 구비된 개폐 유닛을 열어 상기 튜브에 있는 액정이 자중에 의해 액정 탱크내부로 회수되는 것이 바람직하다.

상기 튜브의 두 곳에서 각각 액정이 잔류하는지 잔류하지 않는지를 판단하는 것이 바람직하다. 상기 튜브의 두 곳 중 한 곳은 액정이 액정 병으로 빠져나가는 곳이고, 다른 한 곳은 액정이 액정 탱크로부터 빠져나오는 곳이다.

본 발명은 액정 탱크, 튜브, 개폐 유닛 등을 새 것들로 교체할 경우, 상기 튜브에 있는 액정을 상기 액정 탱크로 회수하고, 상기 튜브에 회수되지 않은 액정이 있는지를 확인한 다음 상기 튜브에 회수되지 않은 액정이 없는 것을 확인한 후 액정 탱크, 튜브, 개폐 유닛 등을 새 것들로 교체하게 된다. 따라서, 상기 액정 탱크, 튜브, 개폐 유닛 등을 새 것들로 교체할 때 액정이 액정 디스펜서, 클린 부스, 바닥 등에 떨어지지 않는다.

이하, 본 발명에 따른 액정 공급장치 및 액정 공급 및 회수방법의 실시예를 첨부도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 발명에 따른 액정 공급장치의 일실시예가 구비된 액정 디스펜서 및 액정 공급시스템을 도시한 측면도이다.

도 3을 참조하여, 본 발명에 따른 액정 공급장치의 일실시예를 설명한다.

먼저, 클린 부스(B) 내부에 액정 디스펜서가 설치된다. 상기 클린 부스(B) 밖에 액정 공급시스템이 설치된다.

상기 액정 디스펜서는 위에서 설명한 액정 디스펜서와 같다.

상기 액정 공급시스템은 베이스 플레이트(610)에 설치되는 액정 탱크(620)와, 상기 액정 탱크(620)에 압력을 공급하는 압력 공급 유닛(630)과, 상기 액정 탱크(620)와 압력 공급 유닛(630)을 연결하는 연결관(640)과, 상기 클린 부스(B)의 일측벽에 관통된 상태로 결합되는 액정 주입장치(700)와, 상기 액정 탱크(620)와 액정 주입장치(700)를 연결하는 튜브(650)와 상기 튜브(650)에 구비되는 개폐 유닛(800)을 포함한다. 상기 개폐 유닛(800)은 상기 튜브(650)로 액정을 흐르게 하거나 흐르지 못하게 한다. 상기 개폐 유닛(800)은 튜브(650)내의 액정과 접촉되지 않 고 튜브(650)의 외면을 눌러 튜브(650)내부를 막거나 통하게 하는 비접촉식 밸브인 것이 바람직하다. 상기 개폐 유닛(800)의 다른 실시예로 튜브(650)내의 액정과 접촉되면서 튜브(650)내부를 막거나 통하게 하는 비접촉식 밸브일 수 있다.

그리고 상기 튜브(650)내의 액정을 감지하는 감지하는 감지 유닛이 구비된다.

상기 감지 유닛은 상기 액정 주입장치(700)의 옆에 위치하도록 상기 튜브(650)에 구비되는 제1 센서(910)와, 상기 액정 탱크(620)의 옆에 위치하도록 상기 튜브(650)에 구비되는 제2 센서(920)를 포함한다. 상기 제1 센서(910)가 위치하는 부분은 액정이 액정 병(530)으로 빠져나가는 부분이고, 상기 제2 센서(920)가 위치하는 부분은 액정이 액정 탱크(620)로부터 빠져나오는 부분이다.

도 4는 본 발명에 따른 액정 공급 및 회수방법의 일실시예를 도시한 순서도이다.

도 3, 4에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 액정 공급 및 회수방법의 일실시예는 액정 공급 단계와, 액정 공급 중지 단계와, 액정 회수 단계와, 판단 단계를 포함한다.

상기 액정 공급 단계는 액정 탱크(620)내부에 압력을 공급하여 상기 액정 탱크(620)에 저장된 액정이 튜브(650)를 통해 액정 병(530) 내부에 흐르게 한다.

상기 액정 공급 중지 단계는 상기 액정 병(530) 내부에 액정 량이 일정 수준까지 채워지면 상기 튜브(650)를 통해 액정 병(530)에 공급되는 액정을 차단시킨다(막는다). 상기 액정 공급 중지 단계는 상기 액정 탱크(620)에 압력 공급을 중지하고 상기 튜브(650)에 구비된 개폐 유닛(800)을 닫아 상기 튜브(650)를 통해 상기 액정 병(530)으로 공급되는 액정을 차단시킨다.

상기 액정 회수 단계는 상기 튜브(650)내에 있는 액정을 상기 액정 탱크(620) 내부로 회수한다. 상기 튜브(650)내에 있는 액정을 액정 탱크(620)로 회수하는 방법의 일예로 상기 액정 탱크(620) 내부를 대기압 상태로 만들고, 상기 튜브(650) 내부가 통하도록 상기 튜브(650)에 구비된 개폐 유닛(800)을 열어 상기 튜브(650)에 있는 액정이 자중에 의해 액정 탱크(620) 내부로 흐르게 한다.

상기 판단 단계는 상기 튜브(650)내에 있는 액정을 액정 탱크(620)로 회수한 후 상기 튜브(650)에 회수되지 않은 액정, 즉 잔류하는 액정이 있는지 없는지를 판단한다. 센서를 이용하여 상기 튜브(650)에 잔류하는 액정을 감지하는 것이 바람직하다. 센서가 액정을 감지하면 튜브(650)내에 액정이 잔류하는 것이고, 상기 센서가 액정을 감지하지 못하면 튜브(650)내에 액정이 잔류하지 않는 것이다.

상기 튜브(650)의 두 곳에서 각각 튜브(650)내의 액정을 감지하는 것이 바람직하다. 상기 튜브(650)의 두 곳 중 한 곳은 액정이 액정 병(530)으로 빠져나가는 곳이고, 다른 한 곳은 액정이 액정 탱크(620)로부터 빠져나오는 곳이다.

이하, 본 발명에 따른 액정 공급장치 및 액정 공급 및 회수방법의 작용과 효과를 설명하면 다음과 같다.

상기 헤드 유닛(500)의 액정 병(530)에 담겨진 액정의 양이 일정 수준까지 감소되면 상기 헤드 유닛(500)을 액정을 공급받는 위치로 이동시킨다.

상기 액정 탱크(620)에 저장된 액정이 튜브(650)를 통해 흐르도록 상기 개폐 유닛(800)을 열고 상기 압력 공급 유닛(630)이 상기 액정 탱크(620)내부에 압력을 공급한다. 상기 액정 탱크(620)내부에 공급된 압력에 의해 액정 탱크(620)에 저장된 액정이 튜브(650)와 마개(540)의 주입 통로(H)를 통해 액정 병(530) 내부에 공급된다.

상기 액정 병(530) 내부에 액정의 양이 일정 수준까지 채워지게 되면 상기 압력 공급 유닛(630)이 상기 액정 탱크(620)에 압력을 공급하는 것을 중단하고 상기 개페 유닛(800)을 닫아 상기 액정 탱크(620)에 저장된 액정이 상기 튜브(650)를 통해 액정 병(530)에 공급되는 것을 중지시킨다.

위와 같이, 상기 헤드 유닛(500)에 구비된 액정 병(530)에 액정의 양이 일정 수준까지 감소되면 액정 병(530)은 액정 공급시스템으로부터 액정을 공급받는다.

한편, 기판으로 토출될 액정의 종류를 변경하거나, 액정 탱크(620)에 저장된 액정이 소진되면 액정 탱크(620), 튜브(650), 개폐 유닛(800) 등을 새 것들로 교체해야 한다. 상기 튜브와 개폐 유닛이 분리된 경우, 상기 액정 탱크(620)와 튜브(650)만을 새 것들로 교체하게 된다.

상기 액정 탱크(620), 튜브(650), 개폐 유닛을 새 것들로 교체할 경우, 먼저 상기 튜브(650)내에 있는 액정을 상기 액정 탱크(620)로 회수하게 된다.

상기 튜브(650)에 있는 액정을 다음과 같이 액정 탱크(620)로 회수한다. 먼저, 상기 액정 탱크(620) 내부를 대기와 통하게 하여 그 액정 탱크(620) 내부를 대기압 상태로 만든다. 그리고 상기 튜브(650)에 구비된 개폐 유닛(800)을 열어 튜브를 통하게 한다. 상기 튜브(650)내부에 있는 액정이 그 액정의 자중에 의해 튜브(650)를 통해 아래로 흐르면서 상기 액정 탱크(620) 내부로 회수된다.

상기 튜브(650)에 구비된 감지 유닛이 액정 탱크로 회수되지 않고 상기 튜브(650)에 잔류하는 액정을 감지한다. 상기 감지 유닛에 의해 액정이 감지되면 액정 디스펜서를 구성하는 제어 유닛에 신호를 보낸다. 상기 튜브(650)에 액정이 잔류하고 있지 않으면 상기 액정 주입장치(700)의 튜브 지지관(710)에 삽입된 튜브(650)를 잡아 당겨 상기 튜브(650)를 튜브 지지관(710)에서 빼내게 된다. 그리고 새로운 튜브(650)를 상기 튜브 지지관(710)에 삽입하게 된다.

상기 튜브(650)에 액정이 잔류하고 있으면 그 튜브(650)에 잔류하는 액정을 제거하고 상기 액정 주입장치(700)의 튜브 지지관(710)에 삽입된 튜브(650)를 잡아 당겨 상기 튜브(650)를 튜브 지지관(710)에서 빼내게 된다. 그리고 새로운 튜브를 상기 튜브 지지관(710)에 삽입하게 된다. 상기 튜브(650)에 잔류하는 액정을 제거하는 방법은 다양하게 구현될 수 있다.

이와 같이 본 발명은 액정 탱크(620), 튜브(650), 개폐 유닛(800)을 새 것들로 교체할 경우, 상기 튜브(650)내에 있는 액정을 상기 액정 탱크(620)로 회수하고 상기 튜브(650)에 회수되지 않은 액정이 있는지를 확인한 다음 상기 튜브(650)에 액정이 잔류하지 않는 것을 확인한 후 액정 탱크(620), 튜브(650), 개폐 유닛(800)을 새 것들로 교체하게 된다. 따라서, 상기 액정 탱크(620), 튜브(650), 개폐 유닛(800)을 새 것들로 교체할 때 액정이 액정 디스펜서, 클린 부스, 바닥 등에 떨어지는 것을 방지하게 된다.

도 1은 액정 디스펜서 및 액정 공급시스템을 도시한 측면도,

도 2는 상기 액정 디스펜서의 헤드 유닛과 액정 주입장치를 확대하여 도시한 측면도,

도 3은 본 발명에 따른 액정 공급장치의 일실시예가 구비된 액정 디스펜서와 액정 공급시스템을 도시한 측면도,

도 4는 본 발명에 따른 액정 공급 및 회수방법의 일실시예를 도시한 순서도.

Claims

액정이 저장된 액정 탱크;

상기 액정 탱크에 압력을 공급하는 압력 공급 유닛;

액정을 액정 병에 주입하는 액정 주입장치;

상기 액정 탱크와 액정 주입장치를 연결하여, 상기 액정 탱크내부에 공급되는 압력에 의해 상기 액정 탱크의 액정이 상기 액정 주입장치로 흐르는 튜브; 및

상기 튜브로 액정을 흐르게 하거나 흐르지 못하게 하는 개폐 유닛을 포함하며,

상기 튜브에 잔류하는 액정을 감지하는 감지 유닛이 구비된 것을 특징으로 하는 액정 공급장치.
제 1 항에 있어서, 상기 감지 유닛은 상기 액정 주입장치의 옆에 위치하도록 상기 튜브에 구비되는 제1 센서와, 상기 액정 탱크의 옆에 위치하도록 상기 튜브에 구비되는 제2 센서를 포함하는 액정 공급장치.
액정 탱크내부에 압력을 공급하여 상기 액정 탱크에 저장된 액정을 튜브를 통해 액정 병에 공급하는 액정 공급 단계;

상기 액정 병에 액정 량이 일정 수준까지 채워지면 상기 튜브를 통해 공급되는 액정을 차단시키는 액정 공급 중지 단계;

상기 튜브에 있는 액정을 상기 액정 탱크로 회수하는 액정 회수 단계;

상기 튜브에 액정이 있는지 없는지를 판단하는 판단 단계를 포함하는 액정 공급 및 회수방법.
제 3 항에 있어서, 상기 액정 공급 중지 단계는 상기 액정 탱크에 공급되는 압력을 차단하고 상기 튜브에 구비된 개폐 유닛을 닫아 상기 튜브를 통해 흐르는 액정을 차단시키는 것을 특징으로 하는 액정 공급 및 회수방법.
제 3 항에 있어서, 상기 액정 회수 단계는 상기 액정 탱크내부를 대기압 상태로 만들고, 상기 튜브에 구비된 개폐 유닛을 열어 상기 튜브에 있는 액정이 자중에 의해 액정 탱크내부로 회수되는 것을 특징으로 하는 액정 공급 및 회수방법.
제 3 항에 있어서, 상기 튜브의 두 곳에서 각각 액정이 잔류하는지 잔류하지 않는지를 판단하는 것을 특징으로 하는 액정 공급 및 회수방법.
제 6 항에 있어서, 상기 튜브의 두 곳 중 한 곳은 액정이 액정 병으로 빠져나가는 곳이고, 다른 한 곳은 액정이 액정 탱크로부터 빠져나오는 곳인 것을 특징으로 하는 액정 공급 및 회수방법.