KR20080086916A - 탄소 나노튜브 전자 방출 음극용 결합제 물질 경화 - Google Patents

탄소 나노튜브 전자 방출 음극용 결합제 물질 경화 Download PDF

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Abstract

결합제 물질, 무기 폴리머는 탄소 나노튜브 페이스트를 조제하는데 이용된다. 이러한 물질은 200℃에서 경화될 수 있고 500℃에 이르기까지 열적 안정성을 갖는다. 이러한 결합제 물질의 낮은 탈가스화는 전계 방출 디바이스들의 수명 연장을 위한 유력한 후보물이다. 이러한 결합제 물질을 이용한 보다 나은 접착력으로 인해, 액체 형태로부터 강한 접착력의 필러블 폴리머가 CNT 음극상에 인가되어 표면 상에서 균일한 접촉 및 압력으로 균일한 활성화가 달성될 수 있다. 필러블 폴리머 필름들은 리소그래피 프로세스들을 이용하여 전계 방출 디바이스들에 대해 고-해상도로 패터닝된 탄소 나노튜브 음극들을 제조하기 위해 활성화층 및 마스크층으로 사용될 수 있다.

Description

탄소 나노튜브 전자 방출 음극용 결합제 물질 경화{CURING BINDER MATERIAL FOR CARBON NANOTUBE ELECTRON EMISSION CATHODES }
본 출원은 U.S. 가출원번호 60/755,978호에 대한 우선권을 청구한다.
본 발명은 전반적으로 전계 방출 디스플레이에 관한 것으로, 특히 전계 방출용 탄소 나노튜브의 사용에 관한 것이다.
탄소 나노튜브들(CNTs)은 전계 방출 디스플레이들(FEDs)용의 냉음극 물질들로서 유망한 후보물이다. CNT FED는 저가의 인쇄 기술로 제조될 수 있어, 액정 디스플레이들(LCDs) 및 플라즈마 디스플레이 패널들(PDPs)과 같은 현재 형태의 플랫 패널 디스플레이들에 대해 경쟁력이 있다. 음극 균일도는 CNT FED들을 상업화시키는데 있어 중요한 요인이다. 전계 방출 균일도와 관련된 중요한 문제점들로는 CNT들의 균일한 분산, CNT 픽셀들의 물리적 크기 균일도 및 음극들의 활성 균일도가 있으며 이는 대부분의 인쇄 CNT 음극은 접착 테잎, 롤러, 샌드 블라스팅 등을 포함하는 다양한 방법으로 활성화될 것을 요구하기 때문이다. 활성화 프로세스는 CNT들을 상향 상승시키거나 또는 결합제 물질들로부터 CNT들을 해체시켜(free) 이들을 인가된 전계에 응답하여 상향 기립하게 할 수 있다.
한편, 3극 구조물을 위해 10 나노미터 깊이의 캐비티들로 증착된 CNT 캐소드 들에 대해, 현재 활성화 프로세스들은 평탄한 표면 상의 CNT 음극들 상에서 동일한 균일한 활성화 작용을 하지 않는다. 균일한 활성화를 갖기 위해, 활성화 물질로부터 CNT 음극의 표면에 대한 물리적으로 균일한 접촉 및 균일한 압력은 균일한 전계 방출 음극을 얻는데 있어 매우 중요하다. 그러나 3극 구조물들의 깊은 캐비티로 인해, 활성화 물질은 CNT 캐소드들의 표면들과 동일한 압력으로 균일하게 접촉하지 않을 수 있어, 불균일한 전계 방출이 야기된다.
새로운 결합제 물질, 무기 폴리머는 탄소 나노튜브 페이스트들을 조제하는데(formulate) 이용된다. 이러한 물질은 200℃에서 경화될 수 있고 500℃에 이르기까지 열-안정성을 갖는다. 이러한 결합제 물질의 낮은 가스-방출은 전계 방출 디바이스의 수명을 바람직하게 연장시킬 수 있게 한다. 이러한 결합제 물질로 인한 보다 나은 접착력으로 인해, 표면 상에 균일한 접촉 및 압력으로 균일한 활성화가 달성되도록 액체 형태로부터 강한 접착성의 필러블(peelable) 폴리머가 CNT 음극에 인가될 수 있다. 필러블 폴리머 필름들은 리소그래피 프로세스들을 이용하여 전계 방출 디바이스들을 위한 높은 고-해상도로 패터닝된 탄소 나노튜브 음극들을 제조하기 위해 활성화층 및 마스크층 모두에 사용될 수 있다.
전술한 것들은 하기 본 발명의 보다 상세한 설명을 보다 쉽게 이해할 수 있게 본 발명의 특징 및 기술적 장점들을 다소 광범위하게 개략한 것이다. 본 발명의 청구항들의 주제를 구성하는 본 발명의 추가 장점 및 특징들이 하기에 설명된다.
본 발명, 본 발명의 장점들의 보다 완벽한 이해를 돕기 위해, 하기 첨부되는 도면들과 관련하여 하기 설명이 참조된다.
도 1은 PPSQ 사다리형(ladder-like) 무기 폴리머(HO-PPSQ-H)의 화학적 구조를 나타내는 도면;
도 2는 표준 CNT 및 PPSQ CNT 음극들의 전계 방출 I-V 비교도;
도 3은 테잎에 의해 활성화된 PPSQ CNT 음극을 나타내는 도면;
도 4는 X-필름에 의해 활성화된 PPSQ CNT 음극을 나타내는 도면;
도 5는 200℃ 및 450℃에서 경화된 PPSQ CNT 음극들의 전계 방출 I-V 비교도;
도 6A 및 도 6B는 3극 구조물의 캐비티 속에 채워지고 활성화를 위한 필러블 후막(thick film)을 형성하도록 경화된 액체 폴리머(X-필름 수용액)를 나타내는 도면;
도 7은 50㎛ 깊이 웰들(wells)을 갖춘 3극 구조물 상에 X-필름 활성화를 사용함으로써 얻어진 균일한 전계 방출 이미지를 나타내는 도면;
도 8A-8I는 고해상도를 갖는 CNT 음극을 패터닝 및 활성화시키기 위해 필러블 필름을 사용하는 프로세스를 나타내는 도면;
도 9는 본 발명의 실시예들에 따라 구성된 전계 방출 디바이스를 나타내는 도면;
도 10은 본 발명의 실시예에 따라 구성된 데이터 프로세싱 시스템을 나타내 는 도면.
하기 설명에서, 본 발명의 전반적 이해를 돕기 위해 특정한 음극 물질 등과 같은 다수의 특정한 설명이 개시된다. 그러나 당업자들은 이러한 특정한 설명 없이도 본 발명을 실행할 수 있을 것이다. 이를 테면, 공지된 회로들은 불필요한 설명으로 인해 본 발명이 불명료해지지 않도록 하기 위해 블록도 형태로 도시된다. 대부분, 시간 고려 및 이와 같은 것들에 대한 설명은 본 발명의 완벽한 이해를 돕기 위해 필요하지 않고 관련 기술의 당업자들의 범주 내에 있기 때문에 생략했다.
도면들을 참조로, 도시된 부재들은 반드시 축적되도록 도시될 필요는 없으며 동일한 또는 유사한 부재들은 몇 개의 도면에 걸쳐 동일한 참조 번호로 지정된다.
액체 형태의 폴리머 물질은 캐비티 구조물들을 채우고 경화된 폴리머 필름이 음극들의 표면으로부터 벗겨질 때 CNT 음극들을 활성화시키는 것으로 제시되었다(미국 특허 공보 No.2005/0129858A1, 2005.06.16). 액체 용액은 다공성 CNT 음극들 속으로 쉽게 천공되어, CNT 페이스트를 이용한 스크린 인쇄 및 스프레이에 의해 마련된 샘플들과 같은 음극 물질들의 대부분은 CNT의 접착력이 충분하지 않을 경우 쉽게 제거된다. 폴리머들의 높은 접착력으로 인해, 폴리머 물질이 벗겨질 때 CNT 음극 손상을 방지하기 위해 무기 파우더들이 폴리머의 접착력을 조절하는데 이용될 수 있다. 그러나, 폴리머 속에 무기 파우더를 균일하게 분산시키는 것은 쉽지 않으며, 이는 파우더는 폴리머의 바닥에 스며드는 경향이 있어 용액에 균일하게 떠있지 않기 때문이다. 따라서 파우더의 불균일한 분산은 경화시 폴리머 필름의 불균 일한 접착력을 유도할 수 있다. 이는 파우더를 함유한 폴리머 필름에 의해 활성화되는 CNT 음극의 전계 방출 균일성에 영향을 미친다. 그러나, CNT 음극의 접착력이 개선될 수 있다면, 너무 많은 CNT 음극 물질을 제거하거나 또는 CNT 음극을 손상시키지 않고도 균일한 활성화를 위해 순수한 폴리머 용액이 사용될 수 있다.
통상적으로 CNT 페이스트는 유기 또는 무기 결합제들, 솔벤트 및 다른 첨가물을 함유한다. 글라스 프릿(glass frit) 파우더는 통상적으로 무기 결합제로 사용되어 파이어링 프로세스가 프릿 물질들을 녹여 기판에 결합시킬 때 CNT들이 기판에 달라붙게 한다. 불행히도, 글라스 프릿 매트릭스, 기본적으로 금속 산화물 파우더들(PbO, SiO2, 및 B2O3 등)은 프릿 물질과 CNT들의 비-호환성 및 파이어링 이후 기판 상의 프릿 물질의 불연속적인 커버리지로 인해 기판 상에 CNT들과 강하게 결합되지 않는다. 기판 상의 프릿 물질의 불연속적인 커버리지는 CNT 접착-균일성 문제를 생성하며 이는 대면적 기판 상에서의 불균일한 접착은 활성화 프로세스가 적용될 때 CNT 물질들의 불균일한 제거를 유도하기 때문이다. CNT 음극의 접착력을 개선하기 위해, CNT들 및 기판 들에 대해 비교적 강한 결합 세기를 갖는 물질이 CNT 페이스트의 조제(formulation)를 위해 요구된다. 스핀-온 글라스 결합제(SOG)는 전계 방출 특성을 개선시키기 위해 다른 유기 전색제(organic vehicle)와 함께 CNT 페이스트를 조제하는 것으로 보고되었다(박 재홍 등, 아시안 디스플레이/IMID'04 Digest, 468, 2004). 그러나, 논문에 개시된 SOG 물질들은 경화된 이후에도 가스-배출 문제를 가지고 있어, 진공 디바이스들에 대해서는 바람직한 후보물 들이 되지 못한다(J.D.Romero, M.Khan, H.Fatemi 및 J.Turlo, J.Mater. Res., 6(9), 1996(1991)). CNT 페이스트에 대한 또 다른 문제점은 페이스트 내의 유기 물질들을 태워 없애는데 고온 파이어링 프로세스가 이용된다는 것이다. 통상적으로 파이어링 프로세스는 CNT 손상 및 CNT들의 일함수에 영향을 미치는 페이스트내의 유기 전색제 물질들로부터의 잔류물 생성으로 인해 CNT의 전계 방출 특성을 악화시킨다(R.Collazo, R. Schlesser 및 Z.Sitar, Appl.Phys. Lett. 78, 2058(2001)). 저온 가연성 유기 결합제는 360℃에서 CNT 음극들의 파이어링 온도를 감소시키는 것으로 조사되었다(Sora Lee, Won Bin Im, jong Hyuk Kang, and Duk Young Jeon, J. Vac.Sci.Technol.B23(2),745(2005)). 그러나 글라스 프릿 물질은 여전히 CNT 음극의 접착을 강화시키기 위해 요구된다. 낮은 농도를 갖는 유기 결합제로부터의 잔류 물질들은 불행히도 파이어링 이후에도 여전히 검출될 수 있다. 전계 방출 디바이스들이 진공 밀폐될 때 유기 물질로부터의 잔류물은 탈가스 문제를 야기시킬 수 있다. 그러나, 미국 특허 공보 No. US2005/0242344호에서 저온 경화 결합제 물질로 이용되는 유기실록산 폴리머는 400℃ 이상에서 태워질 필요가 있고 잔류 물질을 생성한다. CNT들을 손상시키지 않는 저온에서 경화될 수 있는 새로운 결합제 물질이 CNT 페이스트 조제를 위해 요구된다. 또한 결합제 물질은 고온 열적 안정성, 낮은 진공 탈가스화, 및 CNT들과의 양호한 분산을 가져야 한다.
실리콘 사다리형(ladder-like) 폴리머, 폴리페닐실세스퀴옥산(PPSQ)은 도 1에 도시된 것처럼 시스-신디오택틱(cis-syndiotactic) 더블 체인 구조를 갖는 무기 폴리머이다(J.F.Brown, Jr.,J.Polym.Sci.1C(1963)83). 이는 반도체 절연 필름들, 광섬유 결합, 우주 왕복선 외부 코팅, 및 방습 코팅을 위한 차세대 물질이다. 이러한 물질은 SiO2의 바람직한 물리적 특성들 및 유기 화학과 관련된 작용기 화학 반응성의 탁월한 선택으로 설계된다. 특히, 일렉트로닉스, 포토닉스 및 다른 물질 기술들에서의 현재 사용되는 실리콘-기반 무기물들에 대한 잠재적 교체 및 이들과의 호환성으로 인해 폴리페닐실세스퀴옥산((C6H5SiO1.5)x)은 상당량 발생된다. 저진공 탈가스화 특성으로, PPSQ 물질들은 전계 방출 디바이스들에 대해 기판과 양호한 접착력을 갖는 절연체로 간주된다(K.Nishimura 등, J.Vac.Sci.Techn.B 22(3), 1377(2004)). PPSQ 타입으로부터의 흡착 가스는 상당히 낮아(low), 진공 밀봉된 디바이스들의 수명 연장에 기여한다. PPSQ는 마이크로일렉트로닉스를 위해 양호한 접착력을 갖는 유전체 물질과 같이 기판 상에 박막 및 후막으로서 스핀-온 코팅 또는 스크린 인쇄될 수 있다. 이러한 형태의 물질은 낮은 열 수축을 갖는다. 열적 어닐링의 수축은 0.1% 미만이다. 또한 PPSQ 물질은 습식 및 건식 에칭에 의해 패터닝될 수 있다. 글라스 프릿 파우더와 달리, PPSQ 물질은 용액이 제조되도록 솔벤트에서 용해될 수 있어 CNT들은 기판 상에 균일한 접착층이 얻어지도록 접착 결합제 매트릭스에서 분해될 수 있다. 이러한 물질은 200℃에서 경화될 수 있고, 500℃에 이르는 열-안정성을 가져, 글라스 프릿 물질 또는 심지어 유기 결합제 물질들을 교체하기 위해 CNT 조제를 위한 양호한 결합제 후보물이 되게 한다. PPSQ-타입 폴리머는 C2H5O-PPSQ-C2H5 및 CH3-PPSQ-CH3와 같은 다른 화학적 작용기에 의해 결합-종결될 수 있다(bond-terminated).
폴리헤드랄 올리고머릭 실세스퀴옥산(polyhedral oligomeric silsesquioxane:POSS), 무기 폴리머의 또다른 형태가 CNT 페이스트의 조제에 사용될 수 있다. POSS 화학적 기술은 독특한 특성을 갖는다: 화학적 조성물은 실리카(SiO2)와 실리콘(R2SiO) 간에 하이브리드, 매개체(RSiO1.5)이다.
PPSQ CNT 페이스트 조제 1:
PPSQ 물질은 교반 머신을 이용하여 40~50wt% PPSQ 물질 및 40~50wt% 톨루엔을 15시간 동안 혼합함으로써 형성된다. PPSQ의 점성은 500~5000CP 범위일 수 있다. 다음 PPSQ CNT 페이스트는 하기와 같이 조제될 수 있다:
20~30wt% PPSQ + 60~70wt% 시너(thinner)(테르피네올) + 3~10wt% SWNTs + 3~10wt% 그래파이트(2~15 마이크론)가 손으로 모르타르에서 블렌딩될 수 있다. 다음, 이러한 혼합을 5회 처리하는데 3-롤 밀이 이용될 수 있다. 경계부를 생성하기 위해 그래파이트 파우더가 첨가되고 CNT들은 PPSQ 물질에 의해 완전히 매립되지 않아 일부 CNT들이 활성 프로세스에 의해 해방될 수 있다.
PPSQ CNT 페이스트는 메쉬(mesh) 스크린으로 ITO 글라스 상에 인쇄될 수 있다. 액티브 CNT 음극 면적으로 3×3cm2일 수 있다. PPSQ CNT 음극은 파이어링 프로세스(질소에서 400℃)로 파이어링된다. CNT 음극들은 매우 양호한 접착력을 가지며 이는 폼 시트(foam shee)를 이용하여 물질들이 음극의 표면으로부터 거의 제거될 수 없기 때문이다. 표면으로부터 거의 제거되지 않은 PPSQ CNT 음극들에 대 해 접착 테이프 활성화가 이루어져 두께(~7미크론)는 활성화 이전 및 이후 동일하게 유지된다. 소프트 폼(soft foam) 및 접착 테이프가 활성화를 위해 사용될 때, 적절한 압력으로 롤러들을 통해 CNT 음극들의 표면 상에 폼(foam) 또는 테잎을 인가하기 위해 라미네이터(laminator)가 사용될 수 있다. PPSQ CNT 음극들은 글라스 프릿 및 유기 전색제를 함유하는 페이스트로부터 마련된 다른 CNT 음극들보다 기판 상에 상당히 나은 접착력을 제공한다. 접착 테잎 활성화 프로세스가 적용될 때 글라스 프릿 또는 다른 결합제를 함유하는 다른 탄소 나노튜브 음극에 대해 물질의 50% 이상이 제거된다. 도 2는 2개의 PPSQ CNT 음극들과 표준 CNT 음극으로부터의 I-V 곡선을 나타낸다. 표준 CNT 페이스트는 CNT들, 유기 전색제, 글라스 프릿, 및 솔벤트를 포함한다.
PPSQ-기반 CNT 음극들의 높은 접착력으로 인해, 수성(water-based) 폴리머(트랜스퍼 디바이스, 인크로부터 입수가능한 X-필름 복제 X2020)가 CNT 음극들을 활성화시키기 위해 이용된다. 수성 폴리머 용액은 56~78wt% 물, 17~34wt% 에틸 알콜, 3~8wt% 에탄올 호모폴리머, 및 1~2wt% 부틀(buthl) 알콜을 포함한다. 활성화 프로세스는 다음과 같다.
1)액체 폴리머(X-필름) 방울이 CNT 음극 상에 제공된다. 액체 용액이 음극 전체 위로 전체 균일하게 흐른다.
2) 60℃의 오븐에서 또는 공기중에서 X-필름 건조. X-필름의 두께는 X-필름 용액의 볼륨(volume)을 조절함으로써 50미크론 이상으로 제어될 수 있다.
3) CNT 음극을 활성화시키기 위해 X-필름이 벗겨진다.
액체 용액은 다공성 CNT 음극 속으로 쉽게 침투되어 대부분의 음극 물질들은 CNT의 접착력이 이를 테면 용사에 의해 마련된 샘플들 및 일부 인쇄된 샘플들과 충분히 좋지 않다면 제거될 수 있다. X-필름 활성화는 양호한 접착력을 갖는 인쇄된 PPSQ CNT 음극들에 대해 바람직하게 이루어진다. 표준 CNT 음극들은 450℃에서 파이어링되며 테잎 또는 폼에 의해 활성화될 수 있으나, X-필름은 CNT 음극 물질들 거의 모두를 제거하여, 기판 상에 CNT가 거의 남아있지 않아 매우 나쁜 전계 방출이 이루어진다.
미국 특허 공보 No.:US2005/0129858A1에서 이용되는 복잡한 폴리머 물질과 달리, X-필름은 물에서 용해가능한 폴리머로 실온에서 공기중에 경화될 수 있다. PPSQ CNT 페이스트는 종래의 CNT 페이스트들 보다 접착력이 매우 좋기 때문에 독특하다.
X-필름 활성화 사용의 장점 :
1) 3극 애플리케이션을 위한 웰(well)-구조 기판은 액체 용액에 의해 자연스럽게 채워지며 웰들에 있는 CNT 음극들의 표면 상에 균일한 콘택을 형성한다.
2) 라미네이터를 이용한 활성화는 통상적으로 큰 음극 위로 압력 편차를 생성하여, 균일성 문제가 유도된다. X-필름 활성화는 라미네이터 사용을 요구하지 않는다.
3) 경화 이후 전체 폴리머 시트가 형성되기 때문에 활성화 이후 음극 상에서는 어떠한 명백한 잔류물도 발견되지 않는다. 테잎을 이용하여, 접착제와 플라스틱 베이스가 분리되며 일부 접착제 잔류물은 음극 상에 남아있을 수 있다.
도 2에 도시된 것처럼, X-필름에 의해 활성화된 PPSQ CNT 음극은 개선된 전계 방출 특성을 갖는다. 도 3은 테잎에 의해 활성화된 PPSQ CNT 음극으로부터의 전계 방출 조명도를 나타낸다(4.2V/micron에서 30mA). 도 4는 X-필름에 의해 활성화된 PPSQ CNT 음극의 전계 방출 조명도를 나타낸다(3.9V/micron에서 30mA).
PPSQ CNT 페이스트 조제 2 :
이중-벽 CNT(DWNT)가 CNT 페이스트를 조제하기 위해 이용될 수도 있다. 15~25wt% PPSQ(솔벤트로서 톨루엔), 65~80wt% 시너, 2~10wt% DWNT, 및 2~10wt% 그래파이트(2~15 미크론)는 손으로 모르타르에서 블렌딩될 수 있다. 다음, 이러한 혼합을 적어도 5회 작업 처리하는데 3-롤 밀이 이용될 수 있다.
PPSQ CNT 페이스트는 메쉬 스크린(3×3㎠의 액티브 CNT 음극 면적을 가짐)으로 ITO 글라스 상에 프린트될 수 있다. PPSQ CNT 음극은 1시간 동안 베이킹(baking) 프로세스(공기중에서 200℃)로 경화될 수 있다. CNT 음극들은 매우 양호한 접착력을 갖는다. 테잎 활성화는 표면으로부터 제거되지 않은 물질을 갖는 PPSQ CNT 음극들에 대해 수행되어, 두께는 활성화 이전 및 이후 실질적으로 동일하게 유지된다. 도 5는 200℃ 및 450℃에서 경화된 PPSQ CNT 음극들로부터의 I-V 곡선들을 나타낸다. 이는 보다 낮은 온도의 경화 프로세스는 CNT가 손상을 보호하여, 낮은 전기장을 유도한다는 것을 나타낸다.
PPSQ CNT 페이스트 조제 3 :
또한, PPSQ는 접착력을 강화시키기 위해 다른 CNT 페이스트에 첨가될 수 있다. 이중-벽 CNT(DWNT) 페이스트가 5~15wt% PPSQ 물질로 조제되도록 호스트 페이스로 이용될 수 있다. 호스트 DWNT 페이스트는 10~20wt% CNT, 30~60wt% 유기 전색제, 30~60wt% 시너(thinner), 및 5~20wt% 글라스 프릿 파우더로 조제될 수 있다. 혼합물은 페슬(pestle)을 이용하여 모르타르에서 블렌딩된 다음 추가적인 분산을 위해 3 롤 밀에 의해 갈린다(ground). 시너(테르피네올)는 조제 동안 페이스트의 점도를 조절하는데 이용될 수 있다. 페이스트의 점도는 9000 CP 내지 90,000 센티푸아즈(CP) 범위일 수 있다.
PPSQ CNT 페이스트 조제 4 :
10~30wt% PPSQ + 40~70wt% 시너(테르피네올) + 3~10wt% SWNT + (6~20wt%) 유기 전색제 + 3~20wt% 그래파이트(2~15 미크론)는 손으로 모르타르에서 블렌딩될 수 있다. 유기 전색제는 에틸 셀룰로오스(15-20%), 부틸 카르비톨 아세테이트(60-70%), 및 부틸 카르비톨(10-20%)을 포함한다. 다음, 이러한 혼합물 5회 처리하기 위해 3-롤 밀이 이용될 수 있다. 페이스트의 점도는 10000 CP 내지 90000 센티푸아즈(CP) 범위일 수 있다. 이러한 페이스트 조제로 마련된 CNT 음극은 390℃에서 파이어링되어 유기 전색제 물질로부터 타버린다. 이러한 조제에서 전색제 물질은 인쇄에 보다 적합한 PPSQ-기반 페이스트를 만들기 위한 것이다.
메쉬 스크린을 이용하여, PPSQ 개질 CNT 페이스트는 도 6에 도시된 것처럼, 50㎛ 깊이의 웰들을 갖는 3극 구조물들 상에 스크린 인쇄될 수 있다. 도 6A는 기 판(4)을 나타내며 기판 상의 전극들(3) 및 절연체들(2)은 3극 구조물의 웰들 내에 증착된 CNT 음극(1)으로 증착 및 패터닝된다. 도 6B는 X-필름의 액체 물질로부터 형성된 필러블(peelable) 폴리머 필름(5)을 나타낸다. 액체 폴리머(X-필름 수용액)는 3극 구조물의 캐비티에 채워지며 CNT 음극(1)의 활성화를 위해 두꺼운 필러블 필름(50㎛ 이상)을 형성하도록 경화된다.
X-필름 활성화로, 도 7에 도시된 것처럼, 깊은 캐비티를 갖는 보다 균일한 CNT-음극이 얻어질 수 있다. 도 7은 도 6에 도시된 것처럼, 50㎛의 깊은 웰을 갖는 3극 구조물 상에서 X-필름 활성화를 사용함으로써 얻어진 매우 균일한 전계 방출을 나타내는 전계 방출 조명도의 디지털 이미지를 나타낸다. 본 샘플에서, 픽셀 크기는 250×800㎛2이다.
PPSQ CNT 페이스트 및 X-필름을 이용함으로써 고-해상도로 패터닝된 CNT 음극 :
스크린 인쇄를 위한 해상도 제한은 50㎛ 보다 작은 피쳐들을 가지는 패턴을 얻기 어렵게 한다. UV(자외선) 민감성 폴리머가 CNT 패터닝에 이용될 수 있다. 불행히도, 이러한 폴리머 물질은 경화 이후 잔류물을 가질 수 있고, 또한 CNT 음극이 패터닝된 이후 활성화 프로세스가 요구된다. 또한, 통상적으로 UV 노출된 영역을 제거하기 위해 리프트-오프(lift-off) 프로세스가 요구된다. CNT 음극에 악영향을 미치는 이러한 리프트-오프 프로세스에 솔벤트가 통상적으로 사용된다. 필러 블 X-필름은 표준 리소그래피 프로세스를 사용함으로써 패터닝될 수 있다고 밝혀졌다. 본 명세서에 개시된 프로세스는 필러블 필름을 이용하여, CNT 음극들은 상대적으로 높은 해상도로 패터닝할 수 있고 또한 도 8에 도시된 것처럼, 필러블 필름이 제거될 때 활성화될 수 있다. PPSQ 물질은 비교적 높은 에칭 속도로 에칭될 수 있기 때문에 PPSQ CNT 음극은 RIE(반응성 이온 에칭)에 의해 CF4 및 O2를 사용하여 에칭될 수 있다. 도 8A에서, 전극들이 기판 상에 증착된다. 도 8B에서, 프로세스는 PPSQ CNT 음극의 인쇄로 이어진다. 도 8C는 음극의 상부에 코팅된 X-필름 스핀-온 코팅을 나타낸다. 도 8D는 X-필름층의 상부에 있는 포토레지스트 코팅을 나타낸다. 도 8E에서, 프로세스는 원하는 방식으로의 포토레지스트 패터닝으로 이어진다. 도 8F에서, X-필름은 포토레지스트를 이용한 전형적인 리소그래피 기술들을 이용하여 노출되고 제거된다. 도 8G에서, 노출된 PPSQ CNT 음극 물질은 건식 에칭에 의해 제거된다. 도 8H에서, 두꺼운 X-필름이 증착된 다음, 도 8I에서, 두꺼운 X-필름은 패턴 CNT 음극을 활성화시키기 위해 벗겨진다.
도 9는 앞서 생성된 것처럼, 음극을 사용하여 제조된 전계 방출 디스플레이(938)의 일부를 나타낸다. 전도성층(906)이 음극에 포함된다. 양극은 글라스 기판(902), 인듐 주석층(903), 및 다공성층(904)을 포함할 수 있다. 전기장은 양극과 음극 사이에 설정된다. 이러한 디스플레이(938)는 도 10을 참조로 도시된 것처럼 데이터 프로세싱 시스템(1013) 내에서 이용될 수 있다.
본 발명에 따라 통상적인 마이크로프로세서와 같은 중앙 처리 유 닛(CPU)(1010), 및 시스템 버스(1012)를 통해 상호접속된 다수의 다른 유닛들을 갖는 본 발명에 따른 데이터 프로세싱 시스템(1013)의 예시적인 하드웨어 구성을 나타내는 도 10에 본 발명을 실행하기 위한 대표적인 하드웨어 환경이 도시된다. 데이터 프로세싱 시스템(1013)은 랜덤 액세스 메모리(RAM)(1014), 리드 온리 메모리(ROM)(1016) 및 디스크 유닛(1020)과 테잎 드라이브(1040)와 같은 주변 디바이스들을 버스(1012)에 접속하기 위한 입/출력(IO) 어댑터(1018), 키보드(1024), 마우스(1026) 및/또는 터치 스크린 디바이스(미도시)와 같은 다른 유저 인터페이스 디바이스들을 버스(102)에 접속하기 위한 유저 인터페이스 어댑터(1022), 데이터 프로세싱 시스템(1013)을 데이터 프로세싱 네트워크에 접속하는 통신 어댑터(1034), 및 버스(1012)를 디스플레이 디바이스(1038)에 접속하는 디스플레이 어댑터(1036)를 포함한다. CUP(1010)는 예를 들어, 실행 유닛, 버스 인터페이스 유닛, 산술 로직 유닛 등의 마이크로프로세서 내에서 공통적으로 발견되는 회로소자를 포함하는, 본 명세서에 도시되지 않은 다른 회로소자를 포함할 수 있다.
본 발명 및 본 발명의 장점들이 상세히 설명되었지만, 첨부된 특허청구범위에 의해 한정되는 본 발명의 범주 및 사상을 이탈하지 않고 다양한 변형, 대체 및 개조가 이루어질 수 있다는 것을 이해할 것이다.

Claims (7)

  1. 탄소 나노튜브들과 혼합된 무기 폴리머를 포함하는 복합물(composite)로서, 상기 무기 폴리머는 실리콘, 사다리형 폴리머인, 복합물
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 무기 폴리머 결합제는 폴리페닐실세스퀴옥산(PPSQ)인 것을 특징으로 하는 복합물.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 무기 폴리머는 폴리헤드랄 올리고머릭 실세스퀴옥산(POSS)인 것을 특징으로 하는 복합물.
  4. 탄소 나노튜브, 그래파이트 파우더 및 무기 폴리머의 혼합물을 포함하는, 복합물.
  5. 기판;
    상기 기판 상의 전계 방출기 - 상기 전계 방출기는 탄소 나노튜브 및 무기 폴리머를 포함함 - ; 및
    상기 전계 방출기로부터 전자들의 전계 방출이 야기되도록 전기장을 생성하 는 회로소자
    를 포함하는 전계 방출 음극.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 무기 폴리머는 PPSQ를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 음극.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 무기 폴리머는 POSS를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 음극.
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Families Citing this family (47)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101166015B1 (ko) * 2006-04-26 2012-07-19 삼성에스디아이 주식회사 전자 방출원, 전자 방출원 형성용 조성물, 상기 전자방출원의 제조 방법 및 상기 전자 방출원을 구비한 전자방출 소자
CN101656769B (zh) * 2008-08-22 2012-10-10 清华大学 移动电话
CN101419518B (zh) * 2007-10-23 2012-06-20 清华大学 触摸屏
CN101464763B (zh) * 2007-12-21 2010-09-29 清华大学 触摸屏的制备方法
CN101458598B (zh) * 2007-12-14 2011-06-08 清华大学 触摸屏及显示装置
CN101470560B (zh) * 2007-12-27 2012-01-25 清华大学 触摸屏及显示装置
CN101620454A (zh) * 2008-07-04 2010-01-06 清华大学 便携式电脑
CN101458596B (zh) * 2007-12-12 2011-06-08 北京富纳特创新科技有限公司 触摸屏及显示装置
CN101458605B (zh) * 2007-12-12 2011-03-30 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 触摸屏及显示装置
CN101676832B (zh) * 2008-09-19 2012-03-28 清华大学 台式电脑
CN101458593B (zh) * 2007-12-12 2012-03-14 清华大学 触摸屏及显示装置
CN101458604B (zh) * 2007-12-12 2012-03-28 清华大学 触摸屏及显示装置
CN101458608B (zh) * 2007-12-14 2011-09-28 清华大学 触摸屏的制备方法
CN101458600B (zh) * 2007-12-14 2011-11-30 清华大学 触摸屏及显示装置
CN101458595B (zh) * 2007-12-12 2011-06-08 清华大学 触摸屏及显示装置
CN101458609B (zh) * 2007-12-14 2011-11-09 清华大学 触摸屏及显示装置
CN101458599B (zh) * 2007-12-14 2011-06-08 清华大学 触摸屏、触摸屏的制备方法及使用该触摸屏的显示装置
CN101419519B (zh) * 2007-10-23 2012-06-20 清华大学 触摸屏
CN101470559B (zh) * 2007-12-27 2012-11-21 清华大学 触摸屏及显示装置
CN101470558B (zh) * 2007-12-27 2012-11-21 清华大学 触摸屏及显示装置
CN101458602B (zh) * 2007-12-12 2011-12-21 清华大学 触摸屏及显示装置
CN101458594B (zh) * 2007-12-12 2012-07-18 清华大学 触摸屏及显示装置
CN101458606B (zh) * 2007-12-12 2012-06-20 清华大学 触摸屏、触摸屏的制备方法及使用该触摸屏的显示装置
CN101458597B (zh) * 2007-12-14 2011-06-08 清华大学 触摸屏、触摸屏的制备方法及使用该触摸屏的显示装置
CN101655720B (zh) * 2008-08-22 2012-07-18 清华大学 个人数字助理
CN101470566B (zh) * 2007-12-27 2011-06-08 清华大学 触摸式控制装置
CN101458603B (zh) * 2007-12-12 2011-06-08 北京富纳特创新科技有限公司 触摸屏及显示装置
CN101458975B (zh) * 2007-12-12 2012-05-16 清华大学 电子元件
CN101464757A (zh) * 2007-12-21 2009-06-24 清华大学 触摸屏及显示装置
CN101458601B (zh) * 2007-12-14 2012-03-14 清华大学 触摸屏及显示装置
CN101458607B (zh) * 2007-12-14 2010-12-29 清华大学 触摸屏及显示装置
CN101464765B (zh) * 2007-12-21 2011-01-05 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 触摸屏及显示装置
CN101464766B (zh) * 2007-12-21 2011-11-30 清华大学 触摸屏及显示装置
CN101464764B (zh) * 2007-12-21 2012-07-18 清华大学 触摸屏及显示装置
US8574393B2 (en) * 2007-12-21 2013-11-05 Tsinghua University Method for making touch panel
CN101470565B (zh) * 2007-12-27 2011-08-24 清华大学 触摸屏及显示装置
US8237677B2 (en) * 2008-07-04 2012-08-07 Tsinghua University Liquid crystal display screen
US8390580B2 (en) 2008-07-09 2013-03-05 Tsinghua University Touch panel, liquid crystal display screen using the same, and methods for making the touch panel and the liquid crystal display screen
CN101924816B (zh) * 2009-06-12 2013-03-20 清华大学 柔性手机
CN102013371B (zh) * 2009-09-04 2012-11-21 清华大学 一种冷阴极的表面处理方法
TWI407485B (zh) * 2009-09-22 2013-09-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 一種冷陰極的表面處理方法
CN102443247B (zh) * 2011-09-16 2013-01-23 桂林理工大学 一种氧化石墨烯接枝poss改性环氧树脂的制备方法
US10254786B2 (en) 2012-12-07 2019-04-09 3M Innovative Properties Company Method of making transparent conductors on a substrate
JP5881019B2 (ja) * 2013-03-07 2016-03-09 国立大学法人 鹿児島大学 カーボンナノチューブ分散剤、その製造方法、カーボンナノチューブ分散液、及びその製造方法
JP6487740B2 (ja) * 2014-04-07 2019-03-20 株式会社日本触媒 ポリシロキサン化合物、その製造方法、及び、ポリシロキサン化合物と導電性炭素材料とを含む導電性炭素材料含有組成物
CN105448624B (zh) * 2014-07-10 2017-09-01 清华大学 场发射阴极的制备方法
CN111128637B (zh) * 2018-11-01 2021-02-26 清华大学 场发射体的制备方法

Family Cites Families (184)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5458784A (en) 1990-10-23 1995-10-17 Catalytic Materials Limited Removal of contaminants from aqueous and gaseous streams using graphic filaments
US5547748A (en) 1994-01-14 1996-08-20 Sri International Carbon nanoencapsulates
US5691101A (en) 1994-03-15 1997-11-25 Kabushiki Kaisha Toshiba Photosensitive composition
US5866434A (en) * 1994-12-08 1999-02-02 Meso Scale Technology Graphitic nanotubes in luminescence assays
US6203814B1 (en) * 1994-12-08 2001-03-20 Hyperion Catalysis International, Inc. Method of making functionalized nanotubes
CN1192097C (zh) * 1995-03-10 2005-03-09 梅索磅秤技术有限公司 多阵列、多特异性的电化学发光检验
US6673533B1 (en) * 1995-03-10 2004-01-06 Meso Scale Technologies, Llc. Multi-array multi-specific electrochemiluminescence testing
US5512368A (en) * 1995-03-16 1996-04-30 E. I. Du Pont De Nemours And Company Fibers reinforced with inorganic whiskers
JPH09111135A (ja) * 1995-10-23 1997-04-28 Mitsubishi Materials Corp 導電性ポリマー組成物
US5800706A (en) 1996-03-06 1998-09-01 Hyperion Catalysis International, Inc. Nanofiber packed beds having enhanced fluid flow characteristics
US5965202A (en) 1996-05-02 1999-10-12 Lucent Technologies, Inc. Hybrid inorganic-organic composite for use as an interlayer dielectric
US6017390A (en) * 1996-07-24 2000-01-25 The Regents Of The University Of California Growth of oriented crystals at polymerized membranes
JP2000516708A (ja) * 1996-08-08 2000-12-12 ウィリアム・マーシュ・ライス・ユニバーシティ ナノチューブ組立体から作製された巨視的操作可能なナノ規模の装置
US6713173B2 (en) * 1996-11-16 2004-03-30 Nanomagnetics Limited Magnetizable device
US6683783B1 (en) 1997-03-07 2004-01-27 William Marsh Rice University Carbon fibers formed from single-wall carbon nanotubes
US6770583B2 (en) 1997-03-14 2004-08-03 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Transistion metal containing ceramic with metal nanoparticles
US6205016B1 (en) 1997-06-04 2001-03-20 Hyperion Catalysis International, Inc. Fibril composite electrode for electrochemical capacitors
DE19745549C2 (de) 1997-10-10 1999-11-04 Mannesmann Ag Gasspeicher
US6126888A (en) 1998-01-09 2000-10-03 Quantum Group Inc. Method for making strong mantles and other ceramic structures
US6287765B1 (en) 1998-05-20 2001-09-11 Molecular Machines, Inc. Methods for detecting and identifying single molecules
US6705152B2 (en) * 2000-10-24 2004-03-16 Nanoproducts Corporation Nanostructured ceramic platform for micromachined devices and device arrays
DE19859654A1 (de) 1998-12-15 2000-06-29 Mannesmann Ag Vorrichtung zum Speichern von Druckgas
DE60035078T2 (de) 1999-01-15 2008-01-31 3M Innovative Properties Co., St. Paul Herstellungsverfahren eines Donorelements für Übertragung durch Wärme
US6555945B1 (en) * 1999-02-25 2003-04-29 Alliedsignal Inc. Actuators using double-layer charging of high surface area materials
US6333016B1 (en) 1999-06-02 2001-12-25 The Board Of Regents Of The University Of Oklahoma Method of producing carbon nanotubes
US6444864B1 (en) 1999-06-07 2002-09-03 Drexel University Thermal plasma process for recovering monomers and high value carbons from polymeric materials
EP2224508B1 (en) 1999-07-02 2016-01-06 President and Fellows of Harvard College Method of separating metallic and semiconducting nanoscopic wires
DE10023456A1 (de) 1999-07-29 2001-02-01 Creavis Tech & Innovation Gmbh Meso- und Nanoröhren
US6299812B1 (en) 1999-08-16 2001-10-09 The Board Of Regents Of The University Of Oklahoma Method for forming a fibers/composite material having an anisotropic structure
US6723396B1 (en) * 1999-08-17 2004-04-20 Western Washington University Liquid crystal imprinting
US6423768B1 (en) 1999-09-07 2002-07-23 General Electric Company Polymer-organoclay composite compositions, method for making and articles therefrom
US6491891B1 (en) * 1999-09-10 2002-12-10 Ut-Battelle, Inc. Gelcasting polymeric precursors for producing net-shaped graphites
US6517995B1 (en) * 1999-09-14 2003-02-11 Massachusetts Institute Of Technology Fabrication of finely featured devices by liquid embossing
JP3834746B2 (ja) 1999-09-22 2006-10-18 潤二 伊藤 多孔質ゴム系電極用バインダー、これを用いた多孔質ゴム系電極及び多孔質ゴム系電極基材
US6318649B1 (en) 1999-10-06 2001-11-20 Cornerstone Technologies, Llc Method of creating ultra-fine particles of materials using a high-pressure mill
KR20020053862A (ko) * 1999-11-18 2002-07-05 바누치 유진 지. 광학 수소 검출기
US6352782B2 (en) 1999-12-01 2002-03-05 General Electric Company Poly(phenylene ether)-polyvinyl thermosetting resin
US6401526B1 (en) * 1999-12-10 2002-06-11 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Carbon nanotubes and methods of fabrication thereof using a liquid phase catalyst precursor
US6521703B2 (en) * 2000-01-18 2003-02-18 General Electric Company Curable resin composition, method for the preparation thereof, and articles derived thereform
AU3229901A (en) * 2000-02-16 2001-08-27 Asahi Kasei Kabushiki Kaisha Polyamide resin composition
US6979248B2 (en) 2002-05-07 2005-12-27 Applied Materials, Inc. Conductive polishing article for electrochemical mechanical polishing
US6991528B2 (en) * 2000-02-17 2006-01-31 Applied Materials, Inc. Conductive polishing article for electrochemical mechanical polishing
US6800155B2 (en) 2000-02-24 2004-10-05 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Conductive (electrical, ionic and photoelectric) membrane articlers, and method for producing same
US6414086B1 (en) * 2000-02-29 2002-07-02 Howmedica Osteonics Corp. Compositions, processes and methods of improving the wear resistance of prosthetic medical devices
US6610351B2 (en) 2000-04-12 2003-08-26 Quantag Systems, Inc. Raman-active taggants and their recognition
US6894100B2 (en) * 2000-04-26 2005-05-17 Asahi Kasei Kabushiki Kaisha Electrically conductive resin composition and production process thereof
US6913713B2 (en) 2002-01-25 2005-07-05 Konarka Technologies, Inc. Photovoltaic fibers
US6706963B2 (en) * 2002-01-25 2004-03-16 Konarka Technologies, Inc. Photovoltaic cell interconnection
US6919119B2 (en) 2000-05-30 2005-07-19 The Penn State Research Foundation Electronic and opto-electronic devices fabricated from nanostructured high surface to volume ratio thin films
US6384727B1 (en) * 2000-08-02 2002-05-07 Motorola, Inc. Capacitively powered radio frequency identification device
EP1312105A1 (en) * 2000-08-15 2003-05-21 The Trustees Of The University Of Pennsylvania Directed assembly of nanometer-scale molecular devices
US7094285B2 (en) 2000-09-20 2006-08-22 Goodrich Corporation Inorganic matrix compositions, composites incorporating the matrix, and process of making the same
JP3543967B2 (ja) * 2000-09-21 2004-07-21 松下電器産業株式会社 走査型プローブ顕微鏡探針とその作製方法、ならびにその探針を備えた走査型プローブ顕微鏡およびそれ用いた分子加工法
US6861481B2 (en) * 2000-09-29 2005-03-01 Solvay Engineered Polymers, Inc. Ionomeric nanocomposites and articles therefrom
JP3906152B2 (ja) * 2000-10-16 2007-04-18 旭化成ケミカルズ株式会社 アパタイト強化樹脂組成物
JP4182657B2 (ja) * 2000-10-17 2008-11-19 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式記録装置
US6682677B2 (en) * 2000-11-03 2004-01-27 Honeywell International Inc. Spinning, processing, and applications of carbon nanotube filaments, ribbons, and yarns
US6599446B1 (en) 2000-11-03 2003-07-29 General Electric Company Electrically conductive polymer composite compositions, method for making, and method for electrical conductivity enhancement
JP4887558B2 (ja) 2000-11-07 2012-02-29 ソニー株式会社 燃料電池の使用方法
EP1339782B1 (en) * 2000-11-21 2011-05-04 TYCO Electronics Corporation Pigments and compositions for use in laser marking
KR20030055346A (ko) 2000-12-11 2003-07-02 프레지던트 앤드 펠로우즈 오브 하버드 칼리지 나노센서
US6783746B1 (en) 2000-12-12 2004-08-31 Ashland, Inc. Preparation of stable nanotube dispersions in liquids
US6691505B2 (en) 2001-01-10 2004-02-17 Alliant Techsystems Inc. Fiber-reinforced rocket motor insulation
US6696565B2 (en) * 2001-01-17 2004-02-24 Purdue Research Foundation Method and associated pyrimido[4,5-d]pyrimidine-2,5-diones and pyrido[4,3-d]pyrimidin-2-ones for forming nanotubes
US6538725B2 (en) * 2001-01-22 2003-03-25 General Electric Company Method for determination of structural defects of coatings
US6782154B2 (en) 2001-02-12 2004-08-24 Rensselaer Polytechnic Institute Ultrafast all-optical switch using carbon nanotube polymer composites
JP3809342B2 (ja) * 2001-02-13 2006-08-16 喜萬 中山 受発光プローブ及び受発光プローブ装置
KR20040030506A (ko) * 2001-02-16 2004-04-09 이 아이 듀폰 디 네모아 앤드 캄파니 고전도성 폴리아닐린 조성물 및 그의 용도
JP3991602B2 (ja) * 2001-03-02 2007-10-17 富士ゼロックス株式会社 カーボンナノチューブ構造体の製造方法、配線部材の製造方法および配線部材
EP1385481A4 (en) * 2001-03-26 2006-06-07 Eikos Inc CARBON NANOTUBES IN STRUCTURES AND REPAIR COMPOSITIONS
CN1543399B (zh) * 2001-03-26 2011-02-23 艾考斯公司 含碳纳米管的涂层
DE10116232A1 (de) 2001-04-02 2002-10-10 Creavis Tech & Innovation Gmbh Verfahren zur Herstellung von Formkörpern mit innenbeschichteten Hohlräumen
US6977171B1 (en) 2001-04-03 2005-12-20 University Of Florida Detoxification and decontamination using nanotechnology therapy
AU2002307151A1 (en) * 2001-04-06 2002-10-21 Carnegie Mellon University A process for the preparation of nanostructured materials
US6689835B2 (en) * 2001-04-27 2004-02-10 General Electric Company Conductive plastic compositions and method of manufacture thereof
JP4207398B2 (ja) 2001-05-21 2009-01-14 富士ゼロックス株式会社 カーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法、並びに、カーボンナノチューブ構造体の配線およびそれを用いたカーボンナノチューブデバイス
US7052854B2 (en) * 2001-05-23 2006-05-30 University Of Florida Research Foundation, Inc. Application of nanotechnology and sensor technologies for ex-vivo diagnostics
JP3697243B2 (ja) 2001-05-24 2005-09-21 旭化成ケミカルズ株式会社 熱可塑性樹脂組成物及び成形体
CA2450014A1 (en) 2001-06-08 2002-12-19 Eikos, Inc. Nanocomposite dielectrics
AU2002363352A1 (en) * 2001-06-15 2003-05-19 The Pennsylvania State Research Foundation Method of purifying nanotubes and nanofibers using electromagnetic radiation
US7077939B1 (en) 2001-06-18 2006-07-18 The Texas A&M University System Method and apparatus for nanoparticle transport and detection
US6919592B2 (en) * 2001-07-25 2005-07-19 Nantero, Inc. Electromechanical memory array using nanotube ribbons and method for making same
US6911682B2 (en) * 2001-12-28 2005-06-28 Nantero, Inc. Electromechanical three-trace junction devices
US6643165B2 (en) 2001-07-25 2003-11-04 Nantero, Inc. Electromechanical memory having cell selection circuitry constructed with nanotube technology
US6574130B2 (en) 2001-07-25 2003-06-03 Nantero, Inc. Hybrid circuit having nanotube electromechanical memory
US6706402B2 (en) 2001-07-25 2004-03-16 Nantero, Inc. Nanotube films and articles
US6835591B2 (en) 2001-07-25 2004-12-28 Nantero, Inc. Methods of nanotube films and articles
US7118693B2 (en) 2001-07-27 2006-10-10 Eikos, Inc. Conformal coatings comprising carbon nanotubes
JP2003045760A (ja) 2001-07-30 2003-02-14 Asahi Glass Co Ltd 積層型電気二重層キャパシタモジュール
US6819845B2 (en) * 2001-08-02 2004-11-16 Ultradots, Inc. Optical devices with engineered nonlinear nanocomposite materials
JP2003050280A (ja) 2001-08-03 2003-02-21 Konica Corp 放射線画像検出器
WO2003016599A1 (fr) * 2001-08-09 2003-02-27 Asahi Kasei Kabushiki Kaisha Element a semi-conducteur organique
US7001556B1 (en) * 2001-08-16 2006-02-21 The Board Of Regents University Of Oklahoma Nanotube/matrix composites and methods of production and use
US6566665B2 (en) * 2001-08-17 2003-05-20 International Business Machines Corporation Method and apparatus for linking and/or patterning self-assembled objects
US6900264B2 (en) * 2001-08-29 2005-05-31 Georgia Tech Research Corporation Compositions comprising rigid-rod polymers and carbon nanotubes and process for making the same
WO2003019586A1 (en) * 2001-08-30 2003-03-06 Koninklijke Philips Electronics N.V. Magnetoresistive device and electronic device
EP1291932A3 (en) 2001-09-05 2006-10-18 Konica Corporation Organic thin-film semiconductor element and manufacturing method for the same
US6867295B2 (en) * 2001-09-07 2005-03-15 Dionex Corporation Ion exchange cryptands covalently bound to substrates
EP1436598B1 (en) 2001-09-10 2013-11-27 Meso Scale Technologies LLC Assay buffer, compositions containing the same, and methods of using the same
US6991876B2 (en) * 2001-10-05 2006-01-31 Sri International Metal/active oxygen batteries
EP1302312B1 (en) 2001-10-15 2005-12-28 Fuji Photo Film Co., Ltd. Lithographic printing plate precursor
US7074519B2 (en) 2001-10-26 2006-07-11 The Regents Of The University Of California Molehole embedded 3-D crossbar architecture used in electrochemical molecular memory device
US20030134212A1 (en) 2001-12-26 2003-07-17 Eastman Kodak Company Element with antistat layer
US6811724B2 (en) 2001-12-26 2004-11-02 Eastman Kodak Company Composition for antistat layer
US6784028B2 (en) 2001-12-28 2004-08-31 Nantero, Inc. Methods of making electromechanical three-trace junction devices
AUPR977301A0 (en) 2001-12-28 2002-01-31 Energy Storage Systems Pty Ltd An electrode for an energy storage device
US6887450B2 (en) * 2002-01-02 2005-05-03 Zyvex Corporation Directional assembly of carbon nanotube strings
US6919395B2 (en) 2002-01-04 2005-07-19 Acushnet Company Golf ball compositions comprising nanoparticulates
JP3453377B2 (ja) * 2002-01-08 2003-10-06 科学技術振興事業団 カーボンナノチューブ・カーボンナノホーン複合体とその製造方法
US7037562B2 (en) * 2002-01-14 2006-05-02 Vascon Llc Angioplasty super balloon fabrication with composite materials
US7091412B2 (en) 2002-03-04 2006-08-15 Nanoset, Llc Magnetically shielded assembly
US7115305B2 (en) 2002-02-01 2006-10-03 California Institute Of Technology Method of producing regular arrays of nano-scale objects using nano-structured block-copolymeric materials
US6953001B2 (en) 2002-02-04 2005-10-11 Kazak Composites, Incorporated Hatch or door system for securing and sealing openings in marine vessels
US6828015B2 (en) 2002-02-08 2004-12-07 Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. Composite containing thin-film particles having carbon skeleton, method of reducing the thin-film particles, and process for the production of the composite
US6740900B2 (en) * 2002-02-27 2004-05-25 Konica Corporation Organic thin-film transistor and manufacturing method for the same
WO2003084869A2 (en) 2002-03-04 2003-10-16 William Marsh Rice University Method for separating single-wall carbon nanotubes and compositions thereof
US7127294B1 (en) 2002-12-18 2006-10-24 Nanoset Llc Magnetically shielded assembly
US7235912B2 (en) 2002-03-08 2007-06-26 Chien-Min Sung Diamond-like carbon thermoelectric conversion devices and methods for the use and manufacture thereof
WO2003085719A2 (en) 2002-04-02 2003-10-16 Dow Global Technologies Inc. Process for making air gap containing semiconducting devices and resulting semiconducting device
WO2003087194A1 (en) 2002-04-05 2003-10-23 United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Polyimides from 2,3,3',4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride and aromatic diamines
US7122710B2 (en) 2002-04-08 2006-10-17 Wiiliam Marsh Rice University Fluorination of polymeric C60
KR20040101200A (ko) * 2002-04-08 2004-12-02 윌리엄 마쉬 라이스 유니버시티 불소화를 이용한 단일-장벽 탄소 나노튜브의 절단 방법
US6879143B2 (en) * 2002-04-16 2005-04-12 Motorola, Inc. Method of selectively aligning and positioning nanometer-scale components using AC fields
WO2003089515A1 (fr) 2002-04-22 2003-10-30 Konica Minolta Holdings, Inc. Composition de semi-conducteur organique, element semi-conducteur organique et procede pour les produire
US6908261B2 (en) * 2002-05-09 2005-06-21 Forward Ventures, Lp Conductor polymer backfill composition and method of use as a reinforcement material for utility poles
EP1361619A3 (en) * 2002-05-09 2007-08-15 Konica Corporation Organic thin-film transistor, organic thin-film transistor sheet and manufacturing method thereof
CN100341629C (zh) * 2002-05-21 2007-10-10 艾考斯公司 使碳纳米管涂层形成图案的方法和碳纳米管布线
US7122106B2 (en) 2002-05-23 2006-10-17 Battelle Memorial Institute Electrosynthesis of nanofibers and nano-composite films
US6872330B2 (en) * 2002-05-30 2005-03-29 The Regents Of The University Of California Chemical manufacture of nanostructured materials
US6946597B2 (en) 2002-06-22 2005-09-20 Nanosular, Inc. Photovoltaic devices fabricated by growth from porous template
JP3606855B2 (ja) 2002-06-28 2005-01-05 ドン ウン インターナショナル カンパニー リミテッド 炭素ナノ粒子の製造方法
US6852410B2 (en) * 2002-07-01 2005-02-08 Georgia Tech Research Corporation Macroscopic fiber comprising single-wall carbon nanotubes and acrylonitrile-based polymer and process for making the same
US7061749B2 (en) * 2002-07-01 2006-06-13 Georgia Tech Research Corporation Supercapacitor having electrode material comprising single-wall carbon nanotubes and process for making the same
US7098056B2 (en) 2002-08-09 2006-08-29 Nanoink, Inc. Apparatus, materials, and methods for fabrication and catalysis
US7077891B2 (en) 2002-08-13 2006-07-18 Air Products And Chemicals, Inc. Adsorbent sheet material for parallel passage contactors
JP4547852B2 (ja) * 2002-09-04 2010-09-22 富士ゼロックス株式会社 電気部品の製造方法
US6878871B2 (en) * 2002-09-05 2005-04-12 Nanosys, Inc. Nanostructure and nanocomposite based compositions and photovoltaic devices
US6749982B2 (en) * 2002-09-27 2004-06-15 Eastman Kodak Company Imaging member with polyester base
US6881492B2 (en) * 2002-09-27 2005-04-19 Eastman Kodak Company Primer composition for polyesters
US7067867B2 (en) * 2002-09-30 2006-06-27 Nanosys, Inc. Large-area nonenabled macroelectronic substrates and uses therefor
JP4120527B2 (ja) * 2002-10-04 2008-07-16 旭硝子株式会社 テトラフルオロエチレン／エチレン系共重合体組成物
JP4458231B2 (ja) * 2002-10-08 2010-04-28 三菱瓦斯化学株式会社 ポリアミドおよび樹脂組成物
US7034854B2 (en) * 2002-11-12 2006-04-25 Nanoink, Inc. Methods and apparatus for ink delivery to nanolithographic probe systems
US7125533B2 (en) 2002-11-15 2006-10-24 William Marsh Rice University Method for functionalizing carbon nanotubes utilizing peroxides
WO2004051776A1 (ja) * 2002-12-02 2004-06-17 Sanyo Electric Co.,Ltd. 固体高分子電解質膜、当該膜を用いた固体高分子型燃料電池、およびその製造方法
US7074887B2 (en) 2002-12-17 2006-07-11 The Regents Of The University Of California Chemical synthesis of chiral conducting polymers
US6841213B2 (en) * 2002-12-27 2005-01-11 Scimed Life Systems, Inc Fiber pattern printing
US7244499B2 (en) * 2003-01-10 2007-07-17 Sanyo Electric Co., Ltd. Bonded structure including a carbon nanotube
US6833201B2 (en) 2003-01-31 2004-12-21 Clemson University Nanostructured-doped compound for use in an EL element
US6822032B2 (en) 2003-02-06 2004-11-23 General Electric Company Impact modified compositions of polyimide and polyamide resins
JP2004288609A (ja) * 2003-03-06 2004-10-14 Mitsubishi Electric Corp 電子放出源、その製造方法、及び画像表示装置
US7075105B2 (en) 2003-03-19 2006-07-11 Masataka Kano Organic bistable element, organic bistable memory device using the same, and method for driving said organic bistable element and organic bistable memory device
US6858528B2 (en) * 2003-03-20 2005-02-22 Intel Corporation Composite sacrificial material
JP4619624B2 (ja) * 2003-03-31 2011-01-26 旭硝子株式会社 積層ホース
WO2005008706A2 (en) 2003-04-01 2005-01-27 Cabot Microelectronics Corporation Electron source and method for making same
US6825060B1 (en) * 2003-04-02 2004-11-30 Advanced Micro Devices, Inc. Photosensitive polymeric memory elements
US7082683B2 (en) 2003-04-24 2006-08-01 Korea Institute Of Machinery & Materials Method for attaching rod-shaped nano structure to probe holder
JP3999746B2 (ja) * 2003-05-19 2007-10-31 ローム アンド ハース カンパニー ポリマーナノ粒子の高固形分調製方法
US6860956B2 (en) * 2003-05-23 2005-03-01 Agency For Science, Technology & Research Methods of creating patterns on substrates and articles of manufacture resulting therefrom
PL3120983T5 (pl) * 2003-06-24 2024-04-22 Aspen Aerogels, Inc. Ciągły arkusz materiału żelowego oraz ciągły arkusz materiału aerożelowego
US7125101B2 (en) 2003-07-30 2006-10-24 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Photonically activated fluid ejector apparatus and methods
US7026432B2 (en) * 2003-08-12 2006-04-11 General Electric Company Electrically conductive compositions and method of manufacture thereof
US7083885B2 (en) 2003-09-23 2006-08-01 Eastman Kodak Company Transparent invisible conductive grid
US6995266B2 (en) * 2003-10-03 2006-02-07 General Electric Company Thermally stable anthrapyridone compositions
US7119028B1 (en) 2003-10-29 2006-10-10 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Surface imprinted films with carbon nanotubes
US7122165B2 (en) 2003-11-03 2006-10-17 The Research Foundation Of State University Of New York Sidewall-functionalized carbon nanotubes, and methods for making the same
US7013998B2 (en) * 2003-11-20 2006-03-21 Halliburton Energy Services, Inc. Drill bit having an improved seal and lubrication method using same
US7118652B2 (en) 2003-12-04 2006-10-10 General Motors Corporation Airflow control devices based on active materials
US7059664B2 (en) * 2003-12-04 2006-06-13 General Motors Corporation Airflow control devices based on active materials
KR20050060287A (ko) * 2003-12-16 2005-06-22 삼성에스디아이 주식회사 카본나노튜브 에미터의 형성방법
US7056849B2 (en) * 2004-01-16 2006-06-06 General Electric Company Nanoscale ordered composites of covalent ceramics for high-temperature structural applications via block-copolymer-assisted assembly and method of making
US7052618B2 (en) * 2004-01-28 2006-05-30 Agilent Technologies, Inc. Nanostructures and methods of making the same
US6927249B1 (en) 2004-02-11 2005-08-09 Lg Chem, Ltd. Heat absorb-release plastic resin composition and molded product thereof
US7086939B2 (en) 2004-03-19 2006-08-08 Saint-Gobain Performance Plastics Corporation Chemical mechanical polishing retaining ring with integral polymer backing
KR20050096536A (ko) * 2004-03-31 2005-10-06 삼성에스디아이 주식회사 그리드 전극을 갖는 전자 방출 표시장치
US7019391B2 (en) * 2004-04-06 2006-03-28 Bao Tran NANO IC packaging
KR20050104839A (ko) 2004-04-29 2005-11-03 삼성에스디아이 주식회사 전자 방출원 제조 방법, 전자 방출원 및 상기 전자방출원을 구비하는 전자 방출 소자
US7029056B2 (en) * 2004-06-09 2006-04-18 General Motors Corporation Closure lockdown assemblies and methods utilizing active materials
US6893895B1 (en) * 2004-07-07 2005-05-17 Advanced Micro Devices, Inc. CuS formation by anodic sulfide passivation of copper surface
US7071259B2 (en) 2004-07-27 2006-07-04 Equistar Chemicals, Lp Functionalized propylene polymer compositions and composites containing same
US7063377B2 (en) * 2004-08-06 2006-06-20 General Motors Corporation Hood lift mechanisms utilizing active materials and methods of use
US7129133B1 (en) 2004-09-13 2006-10-31 Spansion Llc Method and structure of memory element plug with conductive Ta removed from sidewall at region of memory element film
US6998452B1 (en) * 2005-01-14 2006-02-14 The Goodyear Tire & Rubber Company Controlled free radical agent for nanocomposite synthesis
US7413613B2 (en) * 2005-03-28 2008-08-19 Teco Nanotech Co., Ltd Method for activating electron source surface of field emission display

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