KR20080076767A - 종형 열처리 장치 및 종형 열처리 방법 - Google Patents

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가쯔유끼 히시야
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

본 발명의 과제는 투 보트 시스템이면서 지진 등의 외력에 의한 보트 반송 기구 위의 보트의 전도를 간단한 구조로 방지하는 것이다.
종형 열처리 장치(1)는 하부에 노구(5a)를 갖는 열처리로(5)와, 그 노구(5a)를 폐색하는 덮개체(17)와, 상기 덮개체(17) 위에 보온통(19)을 개재시켜 적재되고 다수의 기판(w)을 다단으로 보유 지지하는 기판 보유 지지구(4)와, 상기 덮개체(17)를 승강시켜 기판 보유 지지구(4)를 열처리로(5) 내에 반입ㆍ반출하는 승강 기구(18)를 구비하고 있다. 한쪽의 기판 보유 지지구(4)가 열처리로(5) 내에 있을 때에, 다른 쪽의 기판 보유 지지구(4)는 기판(w)의 이동 탑재를 위해 보유 지지구 적재대(22) 위에 적재된다. 보유 지지구 적재대(2)와 보온통(19) 사이에서 기판 보유 지지구(4)는 보유 지지구 반송 기구(23)에 의해 반송된다. 상기 보유 지지구 반송 기구(23)에 기판 보유 지지구(4)의 전도를 규제하는 전도 규제 부재(37)가 설치되어 있다.
종형 열처리 장치, 열처리로, 기판, 보유 지지구 반송 기구, 전도 규제 부재

Description

종형 열처리 장치 및 종형 열처리 방법 {VERTICAL HEAT PROCESSING APPARATUS AND VERTICAL HEAT PROCESSING METHOD}
[관련 출원의 참조]
본 특허 출원은 2007년 2월 14일에 제출된 일본 특허 출원 제2007-33665호 및 2007년 7월 27일에 제출된 일본 특허 출원 제2007-195591호의 이익을 향수한다. 이들 선출원에 있어서의 전체 개시 내용은, 인용함으로써 본 명세서의 일부로 된다.
본 발명은 종형 열처리 장치 및 종형 열처리 방법에 관한 것이다.
반도체 장치의 제조에 있어서는, 반도체 웨이퍼(기판)에 예를 들어 산화 처리, 성막 처리 등의 각종 처리를 실시하는 공정이 있고, 이와 같은 처리를 행하는 장치로서 예를 들어 다수매의 웨이퍼를 뱃치(batch)식으로 처리 가능한 종형 열처리 장치(반도체 제조 장치)가 이용되고 있다(예를 들어, 특허 문헌 1 참조). 이 종형 열처리 장치는, 하부에 노구(爐口)를 갖는 종형 열처리로(爐)의 하방에 로딩 영역(이동 탑재 영역)을 갖고, 이 로딩 영역에는, 상기 노구를 개폐하는 덮개체의 상부에 대구경 예를 들어 직경 300 ㎜인 다수매(100 내지 150매 정도)의 웨이퍼를 탑재 보유 지지하는 보트(기판 보유 지지구)를 보온통을 개재시켜 적재하고, 덮개체를 승강시켜 보트를 열처리로 내에 반입ㆍ반출하는 승강 기구나, 복수매의 웨이퍼를 수납한 캐리어(수납 용기)와 상기 보트와의 사이에서 웨이퍼의 이동 탑재를 행하는 이동 탑재 기구 등이 설치되어 있다.
상기 보트는 석영제로, 매우 고가인 것이다. 또한, 상기 웨이퍼도 고가로, 처리 공정이 진행함에 따라서 제조 비용이 증대된다. 따라서, 이들의 취급은 신중하게 행해진다.
그러나, 전술한 뱃치식 반도체 제조 장치에 있어서는, 장치의 구성상, 하드 및 소프트의 면에서 다양한 제약이 있어, 내진 구조 내지 내진 기능을 갖게 하는 것이 어려워, 충분한 내진 대책이 이루어지고 있지 않은 것이 현재의 상태이다. 이로 인해, 지진이 발생하여, 장치가 큰 요동을 받으면, 보트가 전도되어 보트나 웨이퍼의 파손 등 큰 손해를 초래할 우려가 있다.
이 문제를 해소하기 위해, 특허 문헌 1에 기재된 종형 열처리 장치에 있어서는, 기판 보유 지지구의 바닥판과 보온통을 기판 보유 지지구 고정 부재에 의해 서로 연결 고정하는 구조가 채용되어 있다.
[특허 문헌 1] 일본 특허 제3378241호 공보
그런데, 종형 열처리 장치에 있어서는, 상기 보트를 2개 사용하는 동시에, 웨이퍼의 이동 탑재를 행하기 위해 보트를 적재하는 보트 적재대와, 상기 보트 적재대와 보온통 사이에서 보트의 반송을 행하는 보트 반송 기구가 설치되어 있다. 그리고 한쪽의 보트를 열처리로 내에 반입하여 열처리를 행하고 있는 동안에, 보트 적재대 위의 다른 쪽의 보트에 대한 웨이퍼의 이동 탑재를 행하도록 한, 소위 투 보트 시스템이 채용되어 있다.
그러나, 이와 같은 투 보트 시스템을 채용한 종형 열처리 장치에 있어서는, 보온통 위의 보트의 교체를 수반하기 때문에, 기판 보유 지지구 고정 부재에 의해 보온통과 기판 보유 지지구를 연결 고정하는 구조를 채용하는 것이 어려워, 지진 등의 외력을 받으면 보온통 위의 보트나 보트 적재대 위의 보트뿐만 아니라, 보트 반송 기구 위의 보트도 전도될 우려가 있다. 또한, 본 출원인은, 보온통 위의 보트 및 보트 적재대 위의 보트의 전도를 각각 방지할 수 있도록 한 종형 열처리 장치 및 종형 열처리 방법을 선출원하고 있다.
본 발명은 상기 사정을 고려하여 이루어진 것으로, 투 보트 시스템이면서 지진 등의 외력에 의한 보트 반송 기구 위의 보트의 전도를 간단한 구조로 방지할 수 있는 종형 열처리 장치 및 종형 열처리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 하부에 노구가 형성된 열처리로와, 다수의 기판을 다단으로 보유 지지하는 동시에 열처리로 내에 반입되어 기판에 대해 열처리를 실시하는 한 쌍의 기판 보유 지지구와, 열처리로의 노구를 폐색하는 덮개체와, 덮개체 위에 설치된 보온통과, 덮개체를 승강시키는 승강 기구와 열처리로의 하방에 인접하여 설치된 보유 지지구 적재대와, 한 쌍의 기판 보유 지지구의 각각을 보온통 위 및 보유 지지구 적재대 위 사이에서 반송하는 보유 지지구 반송 기구를 구비하고, 상기 보유 지지구 반송 기구에 각 기판 보유 지지구의 전도를 규제하는 전도 규제 부재를 설치한 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치이다.
본 발명은, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 지지부에 지지된 바닥판의 상면에 간극을 갖고 대치하는 규제편을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치이다.
본 발명은, 상기 전도 규제 부재는, 상기 규제편을 측방으로부터 돌출 및 출 몰시키는 구동부를 더 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치이다.
본 발명은, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 지지부의 후방으로부터 수직으로 세워져 설치되고 기판 보유 지지구의 천장판을 압박하는 천장판 압박부를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치이다.
본 발명은, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 상면에는 규제 홈이 형성되고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 규제 홈에 대해 미소 간극을 갖고 대치하는 규제 바아를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치이다.
본 발명은, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 양측에는 평행한 한 쌍의 가로 구멍이 형성되고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 가로 구멍에 삽입되는 규제 바아를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치이다.
본 발명은, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 양측에는 평행한 한 쌍의 측홈이 형성되고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 측홈에 삽입되는 규제 바아를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치이다.
본 발명은, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판에는 세로 구멍이 형성되고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 지지부의 상면에 돌출 형성되고 상기 세로 구멍에 미소 간극을 갖고 끼워 맞추어지는 규제 돌기부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치이다.
본 발명은, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판은 링 형상으로 형성되고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 지지부의 상면에 돌출 형성되고 상기 링 형상의 바닥판의 내주벽에 미소 간극을 갖고 대치하는 복수의 규제 돌기부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치이다.
본 발명은, 열처리로의 노구를 폐색하는 덮개체 위에, 다수의 기판을 다단으 로 보유 지지하는 한쪽의 기판 보유 지지구를 보온통을 개재시켜 적재하고, 덮개체를 상승시켜 기판 보유 지지구를 열처리로 내에 반입하는 공정과, 열처리로 내에서 기판을 열처리하는 공정과, 덮개판의 열처리 중에 보유 지지구 적재대 위의 다른 쪽의 기판 보유 지지구에 기판을 이동 탑재하는 공정과, 열처리 후에 열처리로로부터 반출한 보온통 위의 한쪽의 기판 보유 지지구와 보유 지지구 적재대 위의 다른 쪽의 기판 보유 지지구를 보유 지지구 반송 기구에 의해 교체하는 공정을 구비하고, 상기 보유 지지구 반송 기구는 전도 규제 부재를 갖고, 이 전도 규제 부재에 의해 한쪽의 기판 보유 지지구 및 다른 쪽의 기판 보유 지지구의 전도를 규제한 상태에서 각 기판 보유 지지구를 반송하는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 방법이다.
본 발명은, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 지지부에 지지된 바닥판의 상면에 간극을 갖고 대치하는 규제편을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 방법이다.
본 발명은, 상기 전도 규제 부재는, 상기 규제편을 측방으로부터 돌출 및 출몰시키는 구동부를 더 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 방법이다.
본 발명은, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지 부를 갖고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 지지부의 후방으로부터 수직으로 세워져 설치되고 기판 보유 지지구의 천장판을 압박하는 천장판 압박부를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 기재의 종형 열처리 방법이다.
본 발명은, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 어느 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 상면에는 규제 홈이 형성되고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 규제 홈에 대해 미소 간극을 갖고 대치하는 규제 바아를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 방법이다.
본 발명은, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 양측에는 평행한 한 쌍의 가로 구멍이 형성되고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 가로 구멍에 삽입되는 규제 바아를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 방법이다.
본 발명은, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 양측에는 평행한 한 쌍의 측홈이 형성되고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 측홈에 삽입되는 규제 바아를 갖고 있는 것 을 특징으로 하는 종형 열처리 방법이다.
본 발명은, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판에는 세로 구멍이 형성되고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 지지부의 상면에 돌출 형성되고 상기 세로 구멍에 미소 간극을 갖고 끼워 맞추어지는 규제 돌기부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 방법이다.
본 발명은, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판은 링 형상으로 형성되고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 지지부의 상면에 돌출 형성되고 상기 링 형상의 바닥판의 내주벽에 미소 간극을 갖고 대치하는 복수의 규제 돌기부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 방법이다.
본 발명에 따르면, 투 보트 시스템이면서 지진 등의 외력에 의한 보트 반송 기구(보유 지지구 반송 기구) 위의 보트(기판 보유 지지구)의 전도를 간단한 구조로 방지할 수 있다.
이하에, 본 발명을 실시하기 위한 최량의 형태에 대해, 첨부 도면을 기초로 상세하게 서술한다. 도1은 본 발명의 실시 형태에 관한 종형 열처리 장치를 개략적으로 도시하는 종단면도, 도2는 상기 종형 열처리 장치의 로딩 영역 내의 구성을 개략적으로 도시하는 평면도, 도3은 보온통 위의 웨이퍼 보트의 적재 상태를 개략적으로 도시하는 사시도, 도4는 반송 기구에 의해 웨이퍼 보트를 보온통 위에 적재하는 상태를 도시하는 사시도, 도5는 걸림 고정부와 피걸림 고정부가 걸림 고정 가능하게 된 상태를 도시하는 사시도이다.
도1 및 도2에 도시하는 바와 같이, 클린룸 내에 반도체 제조 장치, 예를 들어 종형 열처리 장치(1)가 설치되고, 이 열처리 장치(1)는 장치의 외부를 형성하는 하우징(2)을 구비하고 있다. 이 하우징(2) 내에는, 복수의 반도체 웨이퍼(기판)(W)를 수납한 캐리어(수납 용기)(3)의 반송ㆍ보관을 행하기 위한 반송 보관 영역(Sa)과, 작업 영역(이동 탑재 영역)인 로딩 영역(Sb)이 형성되고, 이들 반송 보관 영역(Sa)과 로딩 영역(Sb)은 격벽(6)에 의해 서로 구획되어 있다.
또한 하우징(2) 내에는 하부에 노구(5a)가 형성된 열처리로(5)와, 다수의 웨이퍼(W)를 보유 지지하는 동시에 열처리로(5) 내에 반입되어 웨이퍼(W)에 대해 열처리를 실시하는 한 쌍의 보트(기판 보유 지지구)(4)가 배치되어 있다.
또한 각 보트(4)는 다수, 예를 들어 100 내지 150매 정도의 웨이퍼(W)를 상하 방향으로 소정 피치로 다수로 적재할 수 있다. 또한 로딩 영역(Sb) 내에 있어서 보트(4)와 캐리어(3) 사이에서 웨이퍼(W)의 이동 탑재 작업을 행하거나, 열처리로(5)에 대해 보트(4)의 반입ㆍ반송 작업을 행할 수 있다.
열처리로(5)의 노구(5a)는 덮개체(17)에 의해 폐색되고, 이 덮개체(17) 위에 보온통(19)이 설치되어 있다. 또한 덮개체(17)의 하부에는, 덮개체(17) 및 보온통(19)을 회전시키는 회전 기구(20)가 설치되고, 또한 덮개체(17)에는 덮개체(17)를 승강시키는 승강 기구(18)가 설치되어 있다.
또한 로딩 영역(Sb) 내에는, 열처리로(5)의 하방에 인접하여, 적재대(22)가 설치되고, 또한 각 보트(4)는 보온통(19) 위 및 적재대(22) 위와의 사이에서 보트 반송 기구(23)에 의해 반송되도록 되어 있다.
상기 캐리어(3)는, 소정 구경 예를 들어 직경 300 ㎜인 웨이퍼를 수평 상태에서 상하 방향으로 소정 간격으로 다단으로 복수매 예를 들어 13 내지 25매 정도 수용 가능하고 운반 가능한 플라스틱제 용기로 이루어지고, 그 전방면부에 개구 형성된 웨이퍼 취출구에 이것을 기밀하게 폐색하기 위한 덮개를 착탈 가능하게 구비하고 있다(도시 생략).
상기 하우징(2)의 전방면부에는, 오퍼레이터 혹은 반송 로봇에 의해 캐리어(3)를 반입 반출하기 위한 반입출구(7)가 형성되고, 이 반입출구(7)에는 상하로 슬라이드 개폐하는 도어(8)가 설치되어 있다. 반송 보관 영역(Sa)에는, 반입출구(7) 근방에 캐리어(3)를 적재하기 위한 적재대(9)가 설치되고, 이 적재대(9)의 후방부에는 캐리어(3)의 덮개를 개방하여 웨이퍼(W)의 위치 및 매수를 검출하는 센서 기구(10)가 설치되어 있다. 또한, 적재대(9)의 상방 및 격벽(6)측의 상방에는 복수의 캐리어(3)를 보관해 두기 위한 보관 선반(11)이 설치되어 있다.
반송 보관 영역(Sa) 내의 상기 격벽(6)측에는, 웨이퍼의 이동 탑재를 행하기 위해, 캐리어(3)를 적재하기 위한 이동 탑재 스테이지(12)가 설치되어 있다. 반송 보관 영역(Sa)에는, 상기 적재대(9), 보관 선반(11) 및 이동 탑재 스테이지(12) 사이에서 캐리어(3)의 반송을 행하기 위한 캐리어 반송 기구(13)가 설치되어 있다.
캐리어 반송 영역(Sa)은, 도시하지 않은 공기 청정기(팬ㆍ필터 유닛)에 의해 청정화된 대기 분위기로 되어 있다. 로딩 영역(Sb)도, 그 한쪽에 설치한 공기 청정기(팬ㆍ필터 유닛)(14)에 의해 청정화되어 있고, 양압(陽壓)의 대기 분위기 또는 불활성 가스(예를 들어 N2 가스) 분위기로 되어 있다. 상기 격벽(6)에는, 이동 탑재 스테이지(12)에 적재된 캐리어(3)의 전방면부를 반송 보관 영역(Sa)측으로부터 접촉시켜 캐리어(3) 내와 로딩 영역(Sb) 내를 연통하기 위한 도시하지 않은 개구부가 형성되어 있는 동시에, 상기 개구부를 로딩 영역(Sb)측으로부터 폐쇄하는 도어(15)가 개폐 가능하게 설치되어 있다. 개구부는 캐리어(3)의 취출구와 대략 동일 구경으로 형성되어 있고, 개구부로부터 캐리어(3) 내의 웨이퍼의 출입이 가능하게 되어 있다.
상기 도어(15)에는, 캐리어(3)의 덮개를 개폐하는 도시하지 않은 덮개 개폐 기구 및 도어(15)를 로딩 영역(Sb)측으로부터 개폐하는 도시하지 않은 도어 개폐 기구가 설치되고, 이 도어 개폐 기구에 의해 도어(15) 및 덮개가 로딩 영역(Sb)측으로 개방 이동되고, 또한 웨이퍼의 이동 탑재의 방해가 되지 않도록 상방 또는 하방으로 이동(퇴피)되도록 되어 있다. 상기 이동 탑재 스테이지(12)의 하방에는, 결정 방향을 일정하게 하기 위해 웨이퍼의 주연부에 형성되어 있는 노치(절결부)를 한 방향으로 정렬시키기 위한 노치 정렬 기구(16)가 설치되어 있다. 이 노치 정렬 기구(16)는 로딩 영역(Sb)측에 임하여 개방되어 있고, 후술하는 이동 탑재 기구(24)에 의해 이동 탑재 스테이지(12) 위의 캐리어(3)로부터 이동 탑재되는 웨이퍼의 노치를 정렬시키도록 구성되어 있다.
한편, 로딩 영역(Sb)의 안쪽 상방에는, 하부에 노구(5a)를 갖는 종형 열처리로(5)가 설치되어 있고, 로딩 영역(Sb)에는, 다수 예를 들어 100 내지 150매 정도의 웨이퍼(W)를 상하 방향으로 소정 간격으로 다단으로 탑재한 예를 들어 석영제 보트(4)가 배치되고, 이 보트(4)는 덮개체(17)의 상부에 보온통(19)을 개재시켜 적재된다. 보트(4)를 열처리로(5) 내로 반입ㆍ반출하거나 노구(5a)를 개폐하기 위해, 덮개체(17)의 승강을 행하는 승강 기구(18)가 설치되어 있다. 상술한 바와 같이 덮개체(17)의 상부에는 그 폐색시에 노구(5a) 부분으로부터의 방열을 억제하는 보온통(차열체)(19)이 적재되고, 이 보온통(19)의 상부에 보트(4)가 적재되어 있다. 열처리로(5)는, 반응관과, 이 반응관 주위에 설치된 가열 장치(히터)로 주로 구성되고, 반응관에는 처리 가스나 불활성 가스(예를 들어 N2)를 도입하는 가스 도입계와, 반응관 내를 소정의 진공도로 감압 배기 가능한 진공 펌프를 갖는 배기계가 접속되어 있다.
상기 덮개체(17)에는 보온통(19)을 개재시켜 보트(4)를 회전하는 회전 기구(20)가 설치되어 있다. 노구(5a)의 근방에는, 덮개체(17)가 개방되어 열처리 후의 보트(4)가 반출되었을 때에 노구(5a)를 차폐하기 위한 셔터(21)가 수평 방향으 로 개폐 이동 가능(선회 가능)하게 설치되어 있다. 이 셔터(21)는, 이것을 수평 방향으로 선회 이동시켜 개폐시키는 도시하지 않은 셔터 구동 기구를 갖고 있다.
로딩 영역(Sb)의 한쪽 즉 공기 청정기(14)측에는, 웨이퍼(W)의 이동 탑재 등을 위해 보트(4)를 적재해 두기 위한 보트 적재대(보트 스테이지, 보유 지지구 적재대라고도 함)(22)가 설치되어 있다. 이 보트 적재대(22)는 1개라도 좋지만, 도2에 도시하는 바와 같이 공기 청정기(14)를 따라 전후에 배치된 제1 적재대(차지 스테이지)(22a)와 제2 적재대(스탠바이 스테이지)(22b)의 2개로 이루어져 있는 것이 바람직하다.
로딩 영역(Sb) 내의 하방이며, 제1 적재대(22a)와 제2 적재대(22b) 사이에는, 보트 적재대(22)와 덮개체(17) 위의 보온통(19) 사이, 구체적으로는 보트 적재대(22)의 제1 적재대(22a) 혹은 제2 적재대(22b)와 강하된 덮개체(17) 위의 보온통(19) 사이, 및 제1 적재대(22a)와 제2 적재대(22b) 사이에서 보트(4)의 반송을 행하는 보트 반송 기구(보유 지지구 반송 기구)(23)가 설치되어 있다. 또한, 로딩 영역(Sb) 내에는, 이동 탑재 스테이지(12) 위의 캐리어(3)와 보트 적재대(22) 위의 보트(4) 사이, 구체적으로는 이동 탑재 스테이지(12) 위의 캐리어(3)와 노치 정렬 기구(16) 사이, 노치 정렬 기구(16)와 보트 적재대(22)의 제1 적재대(22a) 위의 보트(4) 사이, 및 제1 적재대(22a) 위의 열처리 후의 보트(4)와 이동 탑재 스테이지(12) 위의 빈 캐리어(3) 사이에서 웨이퍼(W)의 이동 탑재를 행하기 위한 이동 탑재 기구(24)가 설치되어 있다.
보트(4)는, 도3에 도시하는 바와 같이 천장판(4a)과, 바닥판(4b)과, 천장 판(4a)과 바닥판(4b) 사이에 설치된 복수 예를 들어 3개의 지지 기둥(4c)을 갖고 있다. 상기 지지 기둥(4c)에는 웨이퍼(W)를 다단으로 보유 지지하기 위한 홈부(4d)가 소정 피치로 빗날 형상으로 형성되어 있다. 정면측 좌우의 지지 기둥(4c) 사이는, 웨이퍼를 출입하기 위해 확대 개방되어 있다.
보트 반송 기구(23)는, 1개의 보트(4)를 수직으로 지지하여 수평으로 신축 가능한 아암을 갖고 있다. 보트 반송 기구(23)는, 수평 선회 가능한 제1 아암(23a)과, 이 제1 아암(23a)의 선단부에 수평 선회 가능하게 축 지지되어 보트(4)의 하면[바닥판(4b)의 하면]을 지지하는 지지부인 평면 대략 U자 형상의 제2 아암(핸드)(23b)과, 제1 아암(23a) 및 제2 아암(23b)을 구동하는 구동부(23c)와, 이들 전체를 승강 이동시키는 승강 기구(23d)를 구비하고, 제1 아암(23a)과 제2 아암(23b)의 수평 선회 동작을 동기시킴으로써, 수평 직선 방향의 반송이 가능하게 구성되어 있다. 이와 같이 하여 아암을 신축시킴으로써 보트(4)를 반송하는 영역을 필요 최소한으로 하는 것이 가능하여, 장치 폭과 깊이 치수를 감소할 수 있다.
제2 아암(23b)의 상면에는 보트(4)의 바닥판(4b)의 하면을 복수점에서 지지하는 지지편(60)이 설치되어 있다. 또한, 지지편(60)은, 예를 들어 내열성 수지에 의해 형성되어 있고, 보트(4)의 하면을 복수점 예를 들어 3점에서 지지하도록 되어 있는 것이 바람직하다.
상기 이동 탑재 기구(24)는, 수평 회전 가능한 기대(24a)와, 기대(24a) 위에 진퇴 가능하게 설치되고 반도체 웨이퍼를 적재하는 복수매 예를 들어 5매의 박판 형상의 이동 탑재 아암(24b)을 갖고 있다. 상기 이동 탑재 아암(24b)으로서는, 5 매 중 중앙의 매엽 이동용 1매의 이동 탑재 아암과, 다른 4매의 이동 탑재 아암이 기대(24a) 위에 독립적으로 진퇴 가능하게 설치되어 있는 동시에, 다른 4매의 이동 탑재 아암이 중앙의 이동 탑재 아암을 기준으로 하여 상하 방향으로 피치 변환 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다. 기대(基臺)(24a)는, 로딩 영역(Sb)의 다른 쪽에 설치된 승강 기구(24c)에 의해 승강 가능하게 되어 있다.
상기 보온통(19) 위에 적재된 보트(4)의 지진 등의 외력에 의한 전도를 방지하기 위해, 상기 보온통(19)의 상부에 걸림부(걸림 고정부)(25)가 설치되고, 보트(4)의 바닥부(4b)에는, 걸림부(25)에 걸림 고정하는 걸림 고정 홈부(피걸림 고정부)(26)가 형성되어 있다. 도5 내지 도9에 도시하는 바와 같이 보트(4)를 보트 반송 기구(23)에 의해 보온통(19)의 바로 위에 위치시킨 상태에서 보온통(19)을 회전 기구(20)에 의해 소정 각도 예를 들어 90도 회전시킴으로써 서로 걸림 고정 가능 또는 해제 가능하게 된다.
도3 내지 도5에 도시하는 바와 같이 상기 보트(4)는 고리 형상의 바닥판(4b)을 갖고, 상기 보온통(19)은 상기 바닥판(4b)의 하면을 그 주위 방향을 따라 적절한 간격으로 지지하는 복수 예를 들어 4개의 지지 기둥(19a)을 갖고 있다. 또한 구체적으로는, 보온통(19)은, 원판 형상의 베이스부(19b)와, 이 베이스부(19b)에 세워 설치된 복수의 지지 기둥(19a)과, 이들 지지 기둥(19a)을 따라 높이 방향으로 스페이서(19j)를 개재시켜 적절한 간격으로 다단으로 배치된 복수매의 차열판(19c)을 갖고 있고, 이들 구성 부재는 예를 들어 석영에 의해 형성되어 있다. 지지 기둥(19a)은 원통 형상이며, 상단부에는 그 개구 단부를 폐색하는 상단 부재(19e)가 일체적으로 설치되어 있다. 또한, 내외의 압력차에 의한 지지 기둥(19a)의 파손을 방지하기 위해 지지 기둥(19a)의 측면에는 지지 기둥(19a)의 내외를 연통하는 구멍부(19f)가 적절하게 형성되어 있다. 지지 기둥(19a)의 상단부 즉 상단 부재(19e)에는 보트(4)의 바닥판(4b)의 하면을 받치는 적재면(19g)과, 상기 적재면(19g)으로부터 수직으로 세워져 바닥판(4b)의 내주에 접하여 바닥판(4b)을 위치 결정하는 위치 결정부(19h)가 형성되어 있다. 바닥판(4b)의 내주에 위치 결정부(19h)가 끼워 맞춤 내지 결합하기 쉽게 하기 위해 위치 결정부(19h)의 상단 모서리부에는 경사면(19i)이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
보트(4)의 고리 형상의 바닥판(4b)을 지지하기 위해, 그 주위 방향을 따라 적절한 간격으로 배치된 상기 지지 기둥(19a)에 외접하는 외접원의 직경은 바닥판(4b)의 외경보다도 작게 형성되어 있다. 이로 인해 보트 반송 기구(23)의 제2 아암(23b)이 보트(4)의 바닥판(4b)의 하면을 지지하여 보온통(19)의 지지 기둥(19a)의 상단부에 적재할 때에 지지 기둥(19a)과 간섭하지 않도록 되어 있다. 그리고, 이들 지지 기둥(19a)의 외측부에 홈 형상의 피걸림 고정부인 걸림 고정 홈부(26)가 형성되고, 상기 바닥판(4b)의 하면에는 상기 각 걸림 고정 홈부(26)에 걸림 고정되는 갈고리 형상(단면 L자 형상)의 복수의 걸림 고정부인 걸림부(25)가 상기 걸림 고정 홈부(26)와 대응하는 위치에 설치되어 있다.
걸림부(25)는, 바닥판(4b)의 하면으로부터 수직 하강된 수직부(25a)와, 이 수직부(25a)의 하단부로부터 반경 방향 내측으로 돌출된 수평부(25b)로 이루어져 있다. 또한, 상기 걸림 고정 홈부(26)는, 보트 반송 기구(23)에 의해 보트(4)를 보온통(19)의 바로 위에 반송하여 보유 지지한 상태에서 보온통(19)을 회전 기구(20)에 의해 소정 각도 회전시켰을 때에, 그 걸림 고정 홈부(26) 내에 주위 방향으로부터 걸림부(25)의 수평부(25b)가 들어간다. 그때에 걸림부(25)의 수평부(25b)와 간섭하지 않는 홈 폭 및 홈 깊이로 형성되어 있다. 또한, 걸림부(25)가 걸림 고정 홈부(26)의 위치에 위치한 걸림 고정 가능 위치에서 보온통(19)의 회전이 정지하여, 보트 반송 기구(23)에 의해 보트(4)가 더욱 하강되어 보온통(19)의 지지 기둥(19a) 위에 적재되었을 때에도, 걸림부(25)의 수평부(25b)가 걸림 고정 홈부(26)에 접하지 않도록 홈 폭이 설계되어 있는 것이 파티클의 발생을 억제하는 데 있어서 바람직하다(도6 참조). 상기 수평부(25b)의 선단 및 걸림 고정 홈부(26)의 바닥면은 보온통(19)의 회전 중심을 중심으로 하는 곡면 형상으로 형성되어 있는 것이 바람직하다.
상기 회전 기구(20)로서는, 예를 들어 특허 제3579278호 공보에 기재된 것이 적용되고 있다. 즉, 도10에 도시하는 바와 같이 상기 덮개체(17)의 바닥부에는 축 구멍을 갖는 고정 부재(27)가 설치되고, 이 고정 부재(27)의 외주에는 바닥이 있는 회전통체(28)가 상하로 배치된 도시하지 않은 베어링 및 자성 유체 밀봉을 통해 회전 가능하게 설치되고, 이 회전통체(28)의 바닥부에는 상기 고정 부재(27)의 축 구멍에 헐겁게 끼워 관통된 회전축(29)이 설치되어 있다. 이 회전축(29)의 상단부가 덮개체(17)의 중앙부를 헐겁게 관통하고, 이 회전축(29)의 상단부에는 회전 테이블(30)이 장착되어 있다. 회전 테이블(30)은 덮개체(17)의 상부와 미소 간극을 두고 배치되고, 이 회전 테이블(30) 위에 상기 보온통(19)이 적재되고, 보온통(19)의 베이스부(19b)가 고정 부재(31)에 의해 회전 테이블(30)에 고정되어 있다. 회전통체(28)에는 이것을 회전 구동하기 위한 모터(32)가 타이밍 벨트(33)를 통해 연결되어 있다.
또한, 상기 걸림부(25)와 상기 걸림 고정 홈부(26)가 걸림 고정 가능하게 되는 위치 또는 해제 가능하게 되는 위치로 보온통(19)을 자동으로 회전 제어하기 위해, 상기 회전 기구(20)는, 보온통(19)의 회전 방향의 원점 위치를 검출하는 센서(34)와, 상기 센서(34)로부터의 검출 신호를 기초로 하여 상기 걸림부(25)와 상기 걸림 고정 홈부(26)가 걸림 고정 가능하게 되는 위치 또는 해제 가능하게 되는 위치로 보온통(19)을 회전 제어하기 위한 제어 장치(35)를 갖고 있는 것이 바람직하다. 상기 회전통체(28)의 외주부에는 피검출 부재(키커)(36)가 돌출 설치되고, 이 피검출 부재(36)를 검출하기 위한 센서(34)가 덮개체(17)의 하방에 설치되어 있다. 상기 제어 장치(35)는, 열처리시에는 보온통(19)을 개재시켜 보트(4)를 연속적으로 회전시키는 제어를 행하도록 되어 있다.
한편, 보트 반송 기구(23)에 의한 보트(4)의 반송 중에 그 보트(4)가 지진 등의 외력으로 전도하는 것을 방지하기 위해, 도4 내지 도14에 도시하는 바와 같이 상기 제2 아암(23b)의 상부에는 상기 제2 아암(23b)과의 사이에서 보트(4)의 바닥판(4b)을 상하로부터 끼우도록 규제하는 전도(轉倒) 규제 부재(37)가 설치되어 있다. 이 전도 규제 부재(37)는, 제2 아암(23b)의 상면부의 기부(基部)측[지지편(60)의 후방]에 설치되고, 지지편(60)에 지지된 보트(4)의 바닥판(4b)의 상면에 소정의 간격을 갖고 대치하는 규제편(37a)을 갖고 있다.
규제 부재(37)는, 제2 아암(23b)의 기부측 상면에 고착구 예를 들어 나사(61)로 고정되는 기부(37b)와, 상기 기부(37b)로부터 전방으로 연장된 평면 대략 U자 형상의 규제편(37a)으로 이루어지고, 이 규제편(37a)과 제2 아암(23b)의 지지편(60) 사이에는 보트(4)의 바닥판(4b)이 수평 방향으로부터 비접촉으로 들어갈 수 있는 공간이 형성되어 있다. 규제편(37a)은 제2 아암(23b)과 대응하여 평면 U자 형상으로 형성되어 있다. 또한, 규제편(37a)의 기부측에는 지지 기둥(4c)과의 간섭을 피하기 위한 절결부(37c)가 형성되어 있고(도4 참조), 또한 전방으로 연장된 좌우 규제편(37a)은 지지 기둥(4c)과의 간섭을 피하도록 좌우의 폭 치수가 설정되어 있다. 전도 규제 부재(37)는 보트 반송 기구(23)의 아암(23a, 23b)과 마찬가지로, 예를 들어 알루미늄에 의해 형성되어 있다.
또한, 보트 적재대(22) 위에 적재된 보트(4)가 지진 등의 외력으로 전도되는 것을 방지하기 위해, 다음과 같은 구성이 채용되고 있다. 도2, 도11, 도12, 도14 내지 도15에 도시하는 바와 같이 보트 적재대(22)에는 보트(4)를 위치 결정하기 위한 보트 위치 결정 기구(보유 지지구 위치 결정 기구)(38)가 설치되어 있다. 이 보트 위치 결정 기구(38)는 보트 적재대(22) 위에 있어서 실린더(38a)에 의해 직경 방향으로 확대 수축(접근 이격)되는 한 쌍의 롤러(38b)를 갖고 있다. 한편, 보트(4)의 바닥판(4b)의 내주에는 상기 한 쌍의 롤러(38b)가 확대 개방(이격)했을 때에 결합하는 V자 형상의 위치 결정 결합 홈(40)이 직경 방향으로 대향하여 형성되어 있다. 위치 결정 결합 홈(40)은 소정의 각도(θ) 예를 들어 120도로 확대 개방되어 있다. 이에 의해 보트(4)가 다소 어긋나 보트 적재대(22) 위에 적재되었다고 해도 보트(4)가 위치 결정되도록 되어 있다.
그리고, 상기 보트 적재대(22)에는 보트를 전도하지 않도록 파지하는 보트 파지 기구(보유 지지구 파지 기구)(41)가 설치되어 있다. 이 보트 파지 기구(41)는, 상기 롤러(38b)의 상부에 설치된 플랜지형 파지부(41a)를 갖고 있다. 이 파지부(41a)는 롤러(38b)가 위치 결정 결합 홈(40)에 결합할 때(롤러의 확대 개방시)에 보트(4)의 바닥판(4b)의 상면에 대치하여 상기 바닥판(4b)을 보트 적재대(22)(상세하게는 보트 적재대의 상면)와의 사이에서 파지한다.
보트 적재대(22)의 구성을 더욱 상세하게 서술하면, 보트 적재대(22)는, 고정판(42)과, 이 고정판(42) 위에 볼 베어링(43)을 통해 수평 이동 가능하게 지지된 상부판(44)을 갖고, 이 상부판(44) 위에 보트(4)가 적재된다. 고정판(42) 및 상부판(44)은 고리 형상으로 형성되어 있다. 볼 베어링(43)은, 고리 형상의 홀더(43a)와, 이 홀더(43a)에 지지된 다수의 작은 구(球)(43b)로 이루어져 있다. 상부판(44)은, 상부판(44)과 고정판(42) 중 어느 한쪽으로 돌출 설치된 핀(45)과, 이 핀(45)이 느슨하게 끼워지도록 다른 쪽에 형성된 규제 구멍(46)에 의해 소정의 범위 내에서 수평 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 상부판(44)과 고정판(42) 사이에는 상부판(44)을 그 중심이 보트 적재대(22)의 중심 위치로 복귀하도록 압박하기 위한 복수의 스프링(47)이 장착되어 있다.
보트 적재대(22) 중, 특히 제1 적재대(22a)는, 웨이퍼(W)의 이동 탑재 중에 상부판(44)이 수평 이동하지 않도록 하기 위해, 보트(4)의 위치 결정 후에 상부판(44)을 고정하는 상부판 고정 기구(48)가 설치되어 있다. 이 상부판 고정 기 구(48)는 단면이 역ㄷ자 형상인 프레임(49)과 에어 실린더(50)를 구비하고 있다. 이 중 프레임(49)은 상부편(49a)과 하부편(49b)을 갖고, 상부편(49a)이 상부판(44)의 하면에 고정되고 상부편(49a)과 하부편(49b) 사이에서 고정판(42) 및 볼 베어링(43)을 상하로부터 소정의 간극을 갖고 끼운다. 에어 실린더(50)는 프레임(49)의 하부편(49b)에 설치되고 상부편(49a)과의 사이에서 고정판(42) 및 볼 베어링(43)을 끼워 고정하는 신축 가능한 압박부(50a)를 갖는다.
또한, 보트 적재대(22)는, 좌우 한 쌍의 상기 실린더(38a, 38a)를 장착하기 위한 장착판(51)을 갖고, 이 장착판(51)에는 이동체(52)를 수평 이동 가능하게 지지하는 가이드(53)가 설치되고, 그 이동체(52)에 세워 설치된 지지 기둥(54)의 상단부에 상기 롤러(38b)가 그 축 주위로 회전 가능하게 축 지지되어 있다. 각 롤러(38b)의 상단부에 상기 파지부(41a)가 플랜지 형상으로 형성되어 있다. 상기 롤러(38b)는 열처리 후의 보트(4)의 바닥판(4b)에 접하기 때문에, 내열성을 갖는 수지에 의해 형성되어 있는 것이 바람직하다. 보트 적재대(22)의 한쪽에는 보트의 유무를 검지하는 센서(55)가 설치되어 있고, 이 센서(55)가 보트(4)가 적재된 것을 검지했을 때에 위치 결정을 행한다.
다음에 이상의 구성으로 이루어지는 종형 열처리 장치(1)의 작용 내지 종형 열처리 방법에 대해 설명한다. 우선, 다수의 웨이퍼(W)를 다단으로 보유 지지하고, 보온통(19)을 개재시켜 덮개체(17) 위에 적재된 보트(4)를, 덮개체(17)의 상승에 의해 열처리로(5) 내에 보온통(19)과 함께 반입하는 동시에 열처리로(5)의 노구(5a)를 덮개체(17)로 밀폐한다. 그리고, 회전 기구(20)에 의해 보온통(19)을 개 재시켜 보트(4)를 열처리로(5) 내에서 회전시키면서 소정의 온도, 소정의 압력 및 소정의 처리 가스 분위기 하에서 웨이퍼(W)를 소정 시간 열처리한다. 이 열처리 중에 보트 적재대(22)의 제1 적재대(22a) 위의 다른 하나의 보트(4)에 대한 웨이퍼(W)의 이동 탑재를 행한다. 이 경우, 우선, 보트(4)에 탑재되어 있는 열처리 후의 웨이퍼를 이동 탑재 기구(24)에 의해 이동 탑재 스테이지(12) 위의 빈 캐리어(3)에 반출하고, 다음에, 이동 탑재 스테이지(12) 위에 반송된 열처리 전의 웨이퍼를 수납한 캐리어(3)로부터 상기 빈 보트(4)에 열처리 전의 웨이퍼를 탑재한다.
상기 열처리로(5) 내에 있어서의 열처리가 종료되면, 덮개체(17)의 하강에 의해 보트(4)가 열처리로(5) 내로부터 로딩 영역(Sb)에 반출된다. 이 보트(4)에 대해 보트 반송 기구(23)의 제2 아암(23b)이 수평 방향으로부터 접근하고(도6 참조), 제2 아암(핸드)(23b)과 규제편(37a) 사이에 보트(4)의 바닥판(4b)을 위치시켜, 제2 아암의 상승에 의해 보트(4)를 지지편(60)으로 지지하여 소정 높이만큼 들어올린다(도7 참조). 이 상태에서 회전 기구(20)에 의해 보온통(19)을 소정의 각도 예를 들어 90도 회전시켜 걸림부(25)와 걸림 고정 홈부(26)가 해제 가능한 위치로 하면(도8 참조), 보트(4)를 소정 높이(걸림부와 보온통의 지지 기둥이 간섭하지 않는 높이)까지 더 들어올린 후 보트 적재대(22)의 제2 적재대(22b)의 방향으로 반송하고(도9 참조), 제2 적재대(22b) 위에 적재한다. 이와 같이 보트(4)의 반송에 있어서는, 제2 아암(23b)의 지지편(60)에 지지된 보트(4)의 바닥판(4b)의 상면에 대해 전도 규제 부재(37)의 규제편(37a)이 소정의 간극을 갖고 대치하고 있기 때문에, 지진이나 요동 등의 외력에 의해 보트(4)가 기울었다고 해도, 이것을 억제하여 보트(4)의 전도를 방지할 수 있다. 또한, 제2 적재대(22b) 위에 적재된 보트(4)는 위치 결정 기구(38)에 의해 위치 결정되는 동시에 플랜지형 전도 규제부(38c)에 의해 보트(4)의 전도가 방지된다.
한편, 제1 적재대(22a) 위의 보트(4)도 위치 결정 기구(38)에 의해 위치 결정되는 동시에 플랜지형 전도 규제부(38c)에 의해 보트(4)의 전도가 방지되어 있다. 이 제1 적재대(22a) 위의 보트(4)는, 전도 규제부(38c)에 의한 규제가 해제된 후, 보트 반송 기구(23)의 제2 아암(23b)에 지지되어 상기 덮개체(17)의 보온통(19)의 상방으로 반송된다. 그리고, 보트 반송 기구(23)에 의해 보트(4)를 보온통(19) 위에 하강시키고, 보트(4)가 보온통(19) 위에 적재되기 직전에 보온통(19)을 회전 기구(20)에 의해 소정 각도 예를 들어 90도 회전시켜 걸림부(25)와 걸림 고정 홈부(26)가 걸림 고정 가능하게 되는 위치로 한 후, 보트(4)를 더욱 하강시켜 보온통(19) 위에 적재하면 된다. 이와 같이 하여 보온통(19) 위로의 보트(4)의 적재가 완료되면, 덮개체(17)의 상승에 의해 보트(4)를 열처리로(5) 내에 반입하여 열처리를 개시하면 좋다. 그리고, 이 열처리 중에, 상기 제2 적재대(22b) 위의 보트(4)가 보트 반송 기구(23)에 의해 제1 적재대(22a) 위에 반송되고, 이 제1 적재대(22a) 위에 있어서, 이동 탑재 기구(24)에 의한 당해 보트(4)로부터 이동 탑재 스테이지(12) 위의 캐리어(3)로의 열처리 후 웨이퍼의 공급 작업과, 이동 탑재 스테이지(12) 위의 캐리어(3)로부터 보트(4)로의 열처리 전 웨이퍼의 탑재 작업이 행해져, 스루풋의 향상을 도모할 수 있다.
이와 같이, 본 실시 형태의 종형 열처리 장치(1)에 따르면, 상기 보온통(19) 의 상부와 보트(4)의 바닥부에, 보트(4)를 보트 반송 기구(23)에 의해 보온통(19)의 바로 위에 위치시킨 상태에서 보온통(19)을 회전 기구(20)에 의해 소정 각도 회전시킴으로써 서로 걸림 고정 가능 또는 해제 가능하게 되는 걸림부(25)와 걸림 고정 홈부(26)를 형성하고 있다. 이로 인해, 소위 투 보트 시스템이면서 지진 등의 외력에 의한 보온통(19) 위의 보트(4)의 전도를 간단한 구조로 방지할 수 있다.
이 경우, 상기 보트(4)는 고리 형상의 바닥판(4b)을 갖고, 상기 보온통(19)은, 상기 바닥판(4b)의 하면을 그 주위 방향을 따라 적절한 간격으로 지지하는 복수의 지지 기둥(19a)을 갖고, 이들 지지 기둥(19a)의 외측부에 걸림 고정 홈부(홈 형상의 피걸림 고정부)(26)를 형성하고, 상기 바닥판(4b)의 하면에 상기 각 걸림 고정 홈부(26)에 걸림 고정되는 걸림부(갈고리 형상의 걸림 고정부)(25)를 설치하고 있기 때문에, 간단한 구조로 보온통(19)과 보트(4) 사이의 로크와 해제를 확실하고 또한 용이하게 행할 수 있다.
또한, 상기 회전 기구(20)는, 보온통(19)의 회전 방향의 원점 위치를 검출하는 센서(34)와, 이 센서(34)로부터의 검출 신호를 기초로 하여 상기 걸림부(25)와 상기 걸림 고정 홈부(26)가 걸림 고정 가능하게 되는 위치 또는 해제 가능하게 되는 위치로 보온통(19)을 회전 제어하기 위한 제어 장치(35)를 갖고 있다. 이로 인해, 보온통(19)과 보트(4) 사이의 로크와 해제를 확실하고 또한 용이하게 행할 수 있다.
특히, 상기 보트 반송 기구(23)가 보트(4)의 전도를 규제하는 전도 규제 부재(37)를 갖고, 보트(4)의 반송시 내지 반송 중에 보트(4)를 전도하지 않도록 규제 하기 때문에, 소위 투 보트 시스템이면서 지진 등의 외력에 의한 보트 반송 기구(23) 위의 보트(4)의 전도, 도괴를 간단한 구조로 방지할 수 있다. 이 경우, 보트 반송 기구(23)는, 상기 보트(4)의 바닥판(4b)의 하면을 지지하는 지지편(60)을 두고, 상기 전도 규제 부재(37)는, 상기 지지편(60)에 지지된 바닥판(4b)의 상면에 간극을 갖고 대치하는 규제편(37a)을 갖고 있기 때문에, 구조의 간소화 및 제조 비용의 저감을 도모할 수 있다.
또한, 보트 적재대(22)에 보트(4)를 전도하지 않도록 파지하는 보트 파지 기구(41)를 설치하여, 보트 적재대(22)에 반송된 보트(4)를 전도하지 않도록 파지한다. 이로 인해, 소위 투 보트 시스템이면서 지진 등의 외력에 의한 보트 적재대(22) 위의 보트(4)의 전도를 간단한 구조로 방지할 수 있다. 이 경우, 보트 적재대(22)는, 확대 수축 가능한 한 쌍의 롤러(38b)를 개방 확대시킴으로써, 보트(4)의 고리 형상의 바닥판(4b)의 내주에 형성된 위치 결정 결합 홈(40)에 상기 롤러(38b)를 결합시켜 보트(4)의 위치 결정을 행하는 보트 위치 결정 기구(38)를 갖고 있다. 또한, 보트 파지 기구(41)는, 상기 보트 위치 결정 기구(38)의 롤러(38b)에 그 확대 개방시에 보트(4)의 바닥판(4b)의 상면에 대치하여 상기 바닥판(4b)을 보트 적재대(22)와의 사이에서 파지하는 파지부(41a)를 갖고 있다. 이로 인해, 보트(4)의 위치 결정과 동시에 지진 등의 외력에 의한 보트 적재대(22) 위의 보트(4)의 전도를 방지하는 것이 가능하고, 또한 보트 위치 결정 기구(38)의 롤러(38b)를 개량하는 것만으로 좋고, 구조의 간소화 및 비용의 저감을 도모할 수 있다. 이상에 의해, 보온통(4) 위, 보트 적재대(22) 위, 및 보트 반송 기구(23) 위 의 모든 단계에서의 보트(4)의 전도, 도괴를 방지할 수 있다.
도13은 보온통의 변형예를 나타내는 주요부 확대 단면도이다. 도13의 실시 형태의 보온통(19)에 있어서는, 지지 기둥(19a)의 상단 부재(19e)에 보트(4)의 바닥판(4b)을 장착 나사(41)로 고정하기 위한 나사 구멍(42)이 형성되어 있다. 장착 나사(41)는, 바닥판(4b)의 V자 형상의 결합 홈(40)을 통해 상기 나사 구멍(42)에 돌려 넣어지고, 장착 나사(41)의 머리부(41a)가 바닥판(4b)의 상면을 단단히 조여 바닥판(4b)을 지지 기둥(19a) 위에 고정하도록 되어 있다. 이 보온통(19)에 따르면, 보온통(19)과 보트(4)를 장착 나사(41)로 고정함으로써 원 보트 시스템에 이용할 수 있고, 장착 나사(41)를 제거하면 투 보트 시스템에도 이용할 수 있다.
도16은 보트 반송 기구의 보트 전도 규제 부재의 다른 예를 나타내는 측면도이다. 도16의 실시 형태에서는, 상기 보트 반송 기구(23)는, 상기 보트(4)의 바닥판(4b)의 하면을 지지하는 지지편(60)을 갖고, 상기 전도 규제 부재(37)는, 상기 지지편(60)에 지지된 바닥판(4b)의 상면에 간극을 갖고 대치하는 규제편(37a)과, 상기 규제편(37a)을 측방으로부터 돌출 및 출몰시키는 구동부(62)를 갖고 있다. 구동부(62)로서는, 예를 들어 에어 실린더가 적용 가능하다. 규제편(37a)이 사용시에 기부측으로부터 선단 방향으로 돌출되고, 비사용시에 몰입되기(원래로 복귀됨, 인입됨) 때문에, 보트(4)의 수취 전달시에 규제편(37a)이 보트(4)와 간섭하여 방해가 되는 일은 없다. 본 실시 형태에 의해서도, 이전의 실시 형태와 같은 효과를 얻을 수 있다.
도17, 도18은 보트 반송 기구의 보트 전도 규제 부재의 다른 예를 각각 나타 내는 측면도이다. 우선, 도17의 실시 형태에서는, 상기 보트 반송 기구(23)는, 상기 보트(4)의 바닥판(4b)의 하면을 지지하는 지지편(60)을 갖고, 상기 전도 규제 부재(37)는, 상기 지지편(60)의 후방으로부터 수직으로 세워져 설치되고 보트(4)의 천장판(4a)을 압박하는 천장판 압박부(63)를 갖고 있다. 이 경우, 천장판 압박부(63)는, 제2 아암(23b)의 기부의 상면에 세워 설치된 지지 기둥(63a)과, 천장판(4a)에 설치되고 상기 지지 기둥(63a)의 선단부가 하방으로부터 삽입 관통되는 구멍부(63b)로 이루어져 있다. 이 구멍부(63b)를 형성하기 위해, 천장판(4a)에는 수평 방향으로 돌출한 돌출부(63c)가 형성되고, 이 돌출부(63c)에 구멍부(63b)가 수직으로 형성되어 있다. 구멍부(63b)는, 지지 기둥(63a)을 삽입 관통하기 쉽도록 크게 형성되어 있는 것이 바람직하다. 본 실시 형태에 따르면, 보트(4)를 지지편(60)으로 지지할 때에 상기 지지 기둥(63a)을 상기 천장판(4a)의 구멍부(63b)에 하방으로부터 삽입 관통시키면 좋고, 이에 의해 보트(4)의 전도를 방지할 수 있다.
도18의 실시 형태에서는, 천장판 압박부(63)는, 제2 아암(23b)의 기부의 상면에 세워 설치된 지지 기둥(63a)과, 상기 지지 기둥(63a)의 상단부에 설치되고 상기 보트(4)의 천장판(4a)의 상면과 소정의 간극을 갖고 대치하는 상부 규제편(63d) 으로 이루어져 있다. 이 상부 규제편(63d)은, 지지 기둥(63a)의 상단부로부터 천장판(4a) 위를 향해 수평으로 연장되어 있다. 본 실시 형태에 따르면, 보트(4)를 지지편(60)으로 지지할 때에 상기 지지 기둥(63a) 상단부의 상부 규제편(63d)을 상기 천장판(4a)의 상면에 대치시키면 좋고, 이에 의해 보트(4)의 전도를 방지할 수 있다.
도19 내지 도23은 보트 반송 기구의 보트 전도 규제 부재의 다른 예를 나타내는 측면도이다. 상기 실시 형태와 동일 부분은 동일 참조 부호를 부여하고 설명을 생략한다. 도19의 실시 형태에서는, 보트(4)는, 바닥판(4b)과, 천장판(4a)과, 바닥판(4b)과 천장판(4a) 사이에 설치되고 웨이퍼(W)를 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥(4c)을 갖고, 보트 반송 기구(23)는, 상기 보트(4)의 바닥판(4b)의 하면을 지지하는 지지부(제2 지지 아암)(23b)를 갖고 있다. 상기 보트(4)의 바닥판(4b)의 상면에는 평행한 한 쌍의 규제 홈(65)이 형성되고, 상기 전도 규제 부재(37)는, 상기 규제 홈(65)에 대해 미소 간극을 갖고 대치하는 규제 바아(규제편과 동일함)(37a)를 갖고 있다. 규제 바아(37a)는 박판 형상이며, 좌우 1쌍 설치되어 있지만, 평면 U자 형상으로 형성되어 있어도 좋다. 상기 규제 홈(65)은 규제 바아(37a)에 대응하여 좌우 한 쌍의 평행한 홈 형상으로 형성되어 있다. 규제 홈(65)의 측면과 규제 바아(37a)의 측면과의 사이에도 미소 간극이 형성되어 있다. 본 실시 형태에 따르면, 지진으로 보트(4)가 흔들린 경우, 규제 바아(37a)의 측면에 상기 규제 홈(65)의 측면이 걸리고, 규제 바아(37a)의 하면에 상기 규제 홈(65)의 바닥면이 걸려, 보트(4)의 전도를 방지할 수 있다.
도20의 실시 형태에서는, 보트의 바닥판(4b)의 양측에는 평행한 한 쌍의 가로 구멍(66)이 형성되고, 상기 전도 규제 부재(37)는, 상기 가로 구멍(66)에 삽입되는 규제 바아(37a)를 갖고 있다. 가로 구멍(66)은, 박판 형상의 규제 바아(37a)가 느슨하게 삽입 가능한 단면 직사각형으로 형성되어 있고, 가로 구멍(66)의 내벽과 규제 바아(37a) 사이에는 미소 간극이 형성되어 있다. 본 실시 형태에 따르면, 지진으로 보트(4)가 흔들린 경우, 규제 바아(37a)에 상기 가로 구멍(66)의 내벽이 걸려, 보트(4)의 전도를 방지할 수 있다.
도21의 실시 형태에서는, 보트의 바닥판(4b)의 양측에는 평행한 한 쌍의 측홈(67)이 형성되고, 상기 전도 규제 부재(37)는, 상기 측홈(67)에 삽입되는 규제 바아(37a)를 갖고 있다. 측홈(67)은, 박판 형상의 규제 바아(37a)가 느슨하게 삽입 가능한 단면 역ㄷ자 형상으로 형성되어 있고, 측홈(67)의 내벽과 규제 바아(37a) 사이에는 미소 간극이 형성되어 있다. 본 실시 형태에 따르면, 지진으로 보트(4)가 흔들린 경우, 규제 바아(37a)에 상기 측홈(67)의 내벽이 걸려, 보트(4)의 전도를 방지할 수 있다.
도22의 실시 형태에서는, 보트(4)의 바닥판(4b)에는 복수의 세로 구멍(68)이 형성되고, 상기 전도 규제 부재(37)는, 핸드(지지부)(23b)의 상면에 돌출 형성되고 상기 세로 구멍(68)을 미소 간극을 갖고 끼워 맞추어지는 규제 돌기부(70)로 이루어져 있다. 상기 세로 구멍(68)은, 횡단면 원형으로 형성되어 있고, 보트(4)의 바닥판(4b)의 좌우 2군데에 형성되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 도시예의 세로 구멍(68)은 관통 구멍이지만, 바닥판(4b)의 상면을 관통하고 있지 않은 스폿 페이싱 구멍이라도 좋다. 상기 규제 돌기부(70)는 원기둥 형상으로 형성되어 있다. 본 실시 형태에 따르면, 지진으로 보트(4)가 흔들린 경우, 핸드(23b) 위에 기립한 규제 돌기부(70)의 측면에 보트(4)의 바닥판(4b)의 세로 구멍(68)의 내주벽이 걸려, 보트(4)의 전도를 방지할 수 있다.
도23의 실시 형태에서는, 상기 보트(4)의 바닥판(4b)이 링 형상으로 형성되 어 있고, 상기 전도 규제 부재(37)는, 상기 지지부(23b)의 상면에 돌출 형성되고 상기 링 형상의 바닥판(4b)의 내주벽(4e)에 미소 간극을 갖고 대치하는 복수 예를 들어 3개의 규제 돌기부(71)를 갖고 있다. 규제 돌기부(71)는 원기둥 형상으로 형성되어 있고, 주위 방향으로 대략 동일 간격으로 배치되어 있다. 본 실시 형태에 따르면, 지진으로 보트(4)가 흔들린 경우, 핸드(23b) 위에 기립한 복수의 규제 돌기부(71)의 측면에 보트(4)의 바닥판(4b)의 내주벽(4e)이 걸려, 보트(4)의 전도를 방지할 수 있다.
이상, 본 발명의 실시 형태를 도면에 의해 상세하게 서술해 왔지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서의 다양한 설계 변경 등이 가능하다.
도1은 본 발명의 실시 형태에 관한 종형 열처리 장치를 개략적으로 도시하는 종단면도.
도2는 상기 종형 열처리 장치의 로딩 영역 내의 구성을 개략적으로 도시하는 평면도.
도3은 보온통 위의 웨이퍼 보트의 적재 상태를 개략적으로 도시하는 사시도.
도4는 반송 기구에 의해 웨이퍼 보트를 보온통 위에 적재하는 상태를 도시하는 사시도.
도5는 걸림 고정부와 피걸림 고정부가 걸림 고정 가능하게 된 상태를 도시하는 사시도.
도6은 보온통 위에 웨이퍼 보트가 적재되어 있는 상태를 도시하는 도면.
도7은 보온통 위로부터 웨이퍼 보트를 반송할 때에 소정 높이만큼 들어올린 상태를 도시하는 도면이다.
도8은 웨이퍼 보트를 소정 높이만큼 들어올린 상태에서 보온통을 회전시켜 해제 가능하게 한 상태를 도시하는 사시도.
도9는 보온통 위로부터 웨이퍼 보트를 소정 높이만큼 더 들어올린 후 측방으로 반송하는 상태를 도시하는 도면.
도10은 보온통의 회전 기구를 개략적으로 도시하는 도면.
도11은 보트 적재대 위에 있어서의 웨이퍼 보트의 위치 결정 기구를 개략적으로 도시하는 평면도.
도12는 도11의 A-A선 확대 단면도.
도13은 보온통의 변형예를 나타내는 주요부 확대 단면도.
도14의 (a)는 보트 적재대의 일례를 나타내는 개략적 평면도, 도14의 (b)는 그 개략적 단면도.
도15는 보트 반송 기구의 보트 전도 규제 부재의 일례를 나타내는 측면도.
도16은 보트 반송 기구의 보트 전도 규제 부재의 다른 예를 나타내는 측면도.
도17은 보트 반송 기구의 보트 전도 규제 부재의 다른 예를 나타내는 측면도.
도18은 보트 반송 기구의 보트 전도 규제 부재의 다른 예를 나타내는 측면도.
도19는 보트 반송 기구의 보트 전도 규제 부재의 다른 예를 나타내는 측면도.
도20의 (a)는 보트 반송 기구의 보트 전도 규제 부재의 다른 예를 나타내는 평면도이고, 도20의 (b)는 그 측면도.
도21의 (a)는 보트 반송 기구의 보트 전도 규제 부재의 다른 예를 나타내는 평면도이고, 도21의 (b)는 그 측면도.
도22의 (a)는 보트 반송 기구의 보트 전도 규제 부재의 다른 예를 나타내는 평면도이고, 도22의 (b)는 그 측면도.
도23의 (a)는 보트 반송 기구의 보트 전도 규제 부재의 다른 예를 나타내는 평면도이고, 도23의 (b)는 그 측면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 종형 열처리 장치
3 : 캐리어
4 : 보트(기판 보유 지지구)
5 : 열처리로
9 : 적재대
12 : 이동 탑재 스테이지
17 : 덮개체
22 : 보트 적재대
23 : 보트 반송 기구
37 : 전도 규제 부재
60 : 지지편
W : 웨이퍼

Claims (18)

  1. 하부에 노구가 형성된 열처리로와,
    다수의 기판을 다단으로 보유 지지하는 동시에, 열처리로 내에 반입되어 기판에 대해 열처리를 실시하는 한 쌍의 기판 보유 지지구와,
    열처리로의 노구를 폐색하는 덮개체와,
    덮개체 위에 설치된 보온통과,
    덮개체를 승강시키는 승강 기구와,
    열처리로의 하방에 인접하여 설치된 보유 지지구 적재대와,
    한 쌍의 기판 보유 지지구의 각각을, 보온통 위 및 보유 지지구 적재대 위 사이에서 반송하는 보유 지지구 반송 기구를 구비하고,
    상기 보유 지지구 반송 기구에 각 기판 보유 지지구의 전도(轉倒)를 규제하는 전도 규제 부재를 설치한 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 지지부에 지지된 바닥판의 상면에 간극을 갖고 대치하는 규제편을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 전도 규제 부재는, 상기 규제편을 측방으로부터 돌출 및 출몰시키는 구동부를 더 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 지지부의 후방으로부터 수직으로 세워져 설치되고 기판 보유 지지구의 천장판을 압박하는 천장판 압박부를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 상면에는 규제 홈이 형성되고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 규제 홈에 대해 미소 간극을 갖고 대치하는 규제 바아를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하 는 지지부를 갖고, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 양측에는 평행한 한 쌍의 가로 구멍이 형성되고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 가로 구멍에 삽입되는 규제 바아를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 양측에는 평행한 한 쌍의 측홈이 형성되고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 측홈에 삽입되는 규제 바아를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판에는 세로 구멍이 형성되고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 지지부의 상면에 돌출 형성되고 상기 세로 구멍에 미소 간극을 갖고 끼워 맞추어지는 규제 돌기부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판은 링 형상으로 형성되고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 지지부의 상면에 돌출 형성되고 상기 링 형상의 바닥판의 내주벽에 미소 간극을 갖고 대치하는 복수의 규제 돌기부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치.
  10. 열처리로의 노구를 폐색하는 덮개체 위에, 다수의 기판을 다단으로 보유 지지하는 한쪽의 기판 보유 지지구를 보온통을 개재시켜 적재하고, 덮개체를 상승시켜 기판 보유 지지구를 열처리로 내에 반입하는 공정과,
    열처리로 내에서 기판을 열처리하는 공정과,
    덮개판의 열처리 중에 보유 지지구 적재대 위의 다른 쪽의 기판 보유 지지구에 기판을 이동 탑재하는 공정과,
    열처리 후에 열처리로로부터 반출한 보온통 위의 한쪽의 기판 보유 지지구와 보유 지지구 적재대 위의 다른 쪽의 기판 보유 지지구를 보유 지지구 반송 기구에 의해 교체하는 공정을 구비하고,
    상기 보유 지지구 반송 기구는 전도 규제 부재를 갖고, 이 전도 규제 부재에 의해 한쪽의 기판 보유 지지구 및 다른 쪽의 기판 보유 지지구의 전도를 규제한 상태에서 각 기판 보유 지지구를 반송하는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 지지부에 지지된 바닥판의 상면에 간극을 갖고 대치하는 규제편을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 전도 규제 부재는, 상기 규제편을 측방으로부터 돌출 및 출몰시키는 구동부를 더 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 방법.
  13. 제10항에 있어서, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 지지부의 후방으로부터 수직으로 세워져 설치되고 기판 보유 지지구의 천장판을 압박하는 천장판 압박부를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 방법.
  14. 제10항에 있어서, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 상면에는 규제 홈이 형성되 고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 규제 홈에 대해 미소 간극을 갖고 대치하는 규제 바아를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 방법.
  15. 제10항에 있어서, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 양측에는 평행한 한 쌍의 가로 구멍이 형성되고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 가로 구멍에 삽입되는 규제 바아를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 방법.
  16. 제10항에 있어서, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 양측에는 평행한 한 쌍의 측홈이 형성되고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 측홈에 삽입되는 규제 바아를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 방법.
  17. 제10항에 있어서, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하 는 지지부를 갖고, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판에는 세로 구멍이 형성되고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 지지부의 상면에 돌출 형성되고 상기 세로 구멍에 미소 간극을 갖고 끼워 맞추어지는 규제 돌기부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 방법.
  18. 제10항에 있어서, 상기 기판 보유 지지구는, 바닥판과, 천장판과, 바닥판과 천장판 사이에 설치되고 기판을 다단으로 보유 지지하기 위한 지지 기둥을 갖고, 상기 보유 지지구 반송 기구는, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판의 하면을 지지하는 지지부를 갖고, 상기 기판 보유 지지구의 바닥판은 링 형상으로 형성되고, 상기 전도 규제 부재는, 상기 지지부의 상면에 돌출 형성되고 상기 링 형상의 바닥판의 내주벽에 미소 간극을 갖고 대치하는 복수의 규제 돌기부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 방법.
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