KR20070046692A - 반도체 장치의 시험 장치 및 반도체 장치의 시험 방법 - Google Patents
반도체 장치의 시험 장치 및 반도체 장치의 시험 방법 Download PDFInfo
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- 반도체 기판에 형성된 복수 개의 반도체 소자의 시험에 사용하는 반도체 장치의 시험 장치로서,상기 반도체 소자의 전극 단자에 대응하는 프로브 침과, 상기 프로브 침을 구성하는 프로브 침에 접속된 도전층을 포함하는 시험 유닛이, 복수 개 배열 설치되어 이루어지는 기판을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 시험 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 시험 유닛은 기판에 설치된 피시험 반도체 소자에 대응하는 개구부를 갖고, 상기 프로브 침은 상기 개구부의 주변에 배열 설치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 시험 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 시험 유닛은 기판에 설치된 피시험 반도체 소자에 대응하는 직사각형 모양의 개구부를 갖고, 상기 프로브 침은 상기 직사각형 모양 개구부의 4변 각각에 배열 설치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 시험 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 기판에서, 각 시험 유닛에서의 직사각형 모양 개구부는 서로 피시험 반 도체 소자의 N(정수)개만큼 이간(離間)하여 배열 설치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 시험 장치.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 시험 유닛에서, 상기 프로브 침에 접속된 신호 도전층은 핀 접속 단자부까지의 길이가 서로 같은 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 시험 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 기판에서, 각 시험 유닛 간에 전원용 도전층이 배열 설치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 시험 장치.
- 반도체 기판에 형성된 복수 개의 반도체 소자의 테스트에 대하여 동시에 시험 처리를 행하는 반도체 장치의 시험 방법으로서,피반도체 소자의 전극 단자에 대응하는 프로브 침과, 상기 프로브 침을 구성하는 프로브 침에 접속된 도전층을 포함하는 시험 유닛이 복수 개 배열 설치되어 이루어지는 기판을 사용하여 행하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 시험 방법.
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