KR20070030267A - 로킹 장치 - Google Patents

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레이볼드 압틱스 게엠베하
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Abstract

본 발명은 제1 용기(recipient) 및 제2 용기 사이의 벽(wall)에 배열되는 로킹 개구(locking opening)용 로킹 장치(locking device)에 관한 것으로, 상기 로킹 개구는 제1 용기의 내부(interior)에 배열되는 차단 부재(blocking element) 및 상기 차단 부재와 연계되는 카운터 플레이트(counter-plate)를 포함하고, 제1 마그넷 장치(magnet device)는 카운터 플레이트의 영역에, 상기 제1 마그넷 장치와 연계되는 제2 마그넷 장치는 차단 부재의 영역에 구비되며, 제1 및 제2 마그넷 장치에 의한 로킹 개구의 폐쇄 및/또는 개방을 위해 차단 부재 및 카운터 플레이트 사이에 정 접촉력 및/또는 부 접촉력이 발생될 수 있다.

Description

로킹 장치{LOCKING DEVICE}
본 발명은 독립 특허청구항의 전제부에 따른 로킹 장치에 관한 것이다.
특히 기판 코팅(substrate coating)을 위한 소위 인라인 시스템(inline-system)의 경우 진공실(vacuum chamber)의 로킹 밸브(locking valve)에서는, 로킹 밸브 플랩(locking valve flap)을 용기(recipient)에 대해 밀봉할 때 흔히 문제가 발생한다. 선회 가능한 로킹 밸브 플랩을 갖는 로킹 밸브에서 중요한 영향을 미치는 요인은 변형(deformation), 특히 로킹 밸브의 로킹 상태(locking condition)에서 플랩(flap)을 용기에 대고 누를 때 발생하는 선회축(swivelling shaft) 및 로킹 밸브 플랩의 비틀림(torsion)이다. 여기에서 발생하는 변형의 결과 로킹 개구(locking opening)를 둘러싸는 탄성 밀봉 부재(elastic sealing element)에 로킹 밸브 플랩이 접촉되는 접촉력(contact prssure)이 불균등해지므로, 신뢰할만한 밀봉을 위해 반드시 필요한 최소 접촉력이 밀봉 부재의 경로를 따라 모든 지점에서 보장되는 것은 아니다. 그러므로, 충분한 밀봉을 보장하기 위해서는 통상적인 방안으로는 비용이 많이 소요되는데, 부품들이 상당히 높은 토크(torque) 및 상응하는 접촉력을 낼 수 있을 만큼 부피가 커야 하기 때문이다.
독일 특허 DE-OS 3941 502에는 부압실(negative pressure chamber) 및 부압실 양쪽에 구비되는 로킹 밸브를 포함하는 장치가 개시되어 있다. 밸브 플레이트(valve plate)는 길이가 긴 평행육면체(parallelepipede) 형태를 띠고, 각각 세 개의 필로형 베어링(pillow block)과 견고하게 결합된다. 필로형 베어링을 통과하는 축(axis)은 그 자체로 다시 선회 레버(swivelling lever)와 연결되고, 랙 피니언(rack pinion)에 의해 모터(motor)와 함께 선회 가능하다. 밸브 플레이트는 위치가 고정된 베어링(bearing) 주위를 움직일 수 있는 레버(lever)에 대해 틸팅(tilting) 가능하게 고정되므로, 밸브 플레이트의 밀봉면(sealing face)을 부압실의 하우징(housing) 밀봉면에 대고 누를 수 있다. 그러나 공지되어 있는 이러한 로킹 밸브로는 기밀성(tightness)의 요구를 충분히 달성할 수가 없음이 드러났다. 로킹 상태에서 반드시 필요한 원뿔형 니플(conical nipple)의 부하가 불균등해지고, 로킹 상태에서의 밀봉 플레이트(sealing plate) 내지 구동축(drive axle)이 너무 심하게 휘기 때문이다. 이러한 문제는 가령 평평한 대규모 기판(large-area substrate)용 인라인 시스템에서 전형적으로 나타나는 것처럼, 특히 밸브 플레이트의 넓이/길이 비율이 심할 때 나타난다.
또한 독일 특허 DE 4203 473 A1에는 기판을 하나의 처리실(treating chamber)로부터 빼내 인접 처리실로 넣거나, 대기 공간(atmospheric space)으로부터 빼내 압력이 보다 작은 챔버(chamber)로 넣기 위한 회전 공급장치는 이미 공지되어 있다. 이 회전 공급장치는 위치가 고정된 베어링에 고정되는 게이트(gate) 형태의 밸브 플레이트, 밸브 플레이트와 작동 연결(working connection)되는 폐쇄 모터(closing motor) 및 로킹 개구를 둘러싸는 프레임(frame) 형태의 밀봉 부재를 포함한다. 밸브 플레이트는 밸브 플레이트에 대해 약간 평행하게 연장되는 밸브 거더(valve girder)에서, 탄성 변형이 가능한 적어도 하나의 연결 링크(connecting link)를 통해 연결된다. 이때, 밸브 플레이트 자체에 서로 직경으로 마주하는 두 개의 저널(journal)이 구비되고, 저널은 챔버 외부에 제공되는 구동 모터(drive motor)와 회전하지 않도록 연결된다. 밸브 거더는 벤딩(bending)에 강한 형상으로 형성된다. 이러한 로킹(locking)은 구조상 비용이 상당히 많이 들고, 밸브 플레이트의 비틀림으로 인한 입자 오염(particle contamination)을 방지하기 어렵다는 단점이 있다.
미국 특허 US 5 379 984에는 슬롯(slot)이 길고 좁게 연장되면서 통과하는 밸브체(valve body)를 구비하는 로킹 밸브가 개시되어 있다. 슬롯의 개구 사이드(opening side)에 배열되는 밸브 플레이트는 가느다란 밀봉 접촉면(sealing contact surface)으로 테이퍼(taper) 형성되어 있다. 확장되는 튜브(tube)를 밀봉하는 멤브레인(membrane)으로서 접촉면(contact surface)에 설치하기 위해, 움직일 수 있는 밀봉 부재가 제공된다. 밀봉부재는 선회축에 연결되기 때문에, 공지되어 있는 이러한 밸브 장치의 경우 개구 진로(opening course)를 따라 똑같은 압력을 보장하기가 어렵다. 그래서 이러한 로킹 밸브는 대기압(atmospheric pressure)이 결합력(clamping force)을 지탱하면서 밸브 플랩이 닫히는 방향으로 작용하도록 배열될 때에만, 진공(vacuum) 및 대기압 사이의 압력차를 견딜 수 있다.
또한, 미국 특허 US 6 263 542 B1에는 진공실용 선회 베어링(swivelling bearing)을 포함하는 플랩 장치가 개시되어 있다. 플랩 보디(flap body)는 비용이 많이 드는 가요성 연결(flexible connection), 예컨대 스프링 연결(spring connection)에 의해 선회 베어링으로부터 연결이 풀린다. 이로써 밀봉 압력이 불균등하여 누출(leakage)로 이어질 수 있는 위험을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명에 의한 로킹 장치의 횡단면도이다.
도 2는 본 발명에 의한 로킹 장치의 종단면도이다.
도 3은 로킹 개구의 진로를 따라 배열되는 마그넷 장치를 구비하는 로킹 개구의 세부 상세도이다.
* 도면의 부호 설명
VK1: 제1 진공실 VK2: 제2 진공실
1: 제1 진공실의 챔버 벽 1a: 제1 진공실의 연결 플랜지
2: 선회축 3: 플랩
3a: 카운터 플레이트 4: 밀봉 부재
5: 마그넷 코일 5': 마그넷 코일
5a: 마그넷 코일 6: 페로마그넷 플레이트/스트립
7: 로킹 개구 7a: 로킹 개구 영역
7b: 로킹 개구 영역 9: 제2 진공실의 챔버 벽
9a: 제2 진공실의 연결 플랜지 11: 선회축 베어링(bearing)
12: 부분 선회 밸브 엑츄에이터 13: 회전 전동 유도장치
14: 부분 선회 밸브 엑츄에이터용 홀더
17: 로킹 개구
본 발명의 목적은 벽(wall)에 배열되는 로킹 개구의 간단하고도 안전한 밀봉을 달성할 수 있는 로킹 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 목적은 독립 특허청구항의 특징들로 달성된다. 본 발명의 바람직한 개선 실시예들은 종속 청구항들에서 알 수 있다.
본 발명에 따르면 제1 용기의 내부(interior)에 배열되는 차단 부재(blocking element), 및 상기 차단 부재와 연계되는 카운터 플레이트(counter-plate)를 포함하고 제1 용기 및 제2 용기 사이의 벽에 배열되는 로킹 개구용 로킹 장치는, 상기 카운터 플레이트 영역에 제1 마그넷 장치(magnet device)를 구비한다. 제1 마그넷 장치와 연계되는 제2 마그넷 장치는 차단 부재의 영역에 제공된다. 로킹 개구의 폐쇄 및/또는 개방을 위해, 제1 및 제2 마그넷 장치에 의해 차단 부재 및 카운터 플레이트 사이에 정 접촉력(positive contact pressure) 및/또는 부 접촉력(negative contact pressure)이 발생될 수 있다. 본 발명에 따르면 밀봉를 야기하는 접촉력은 대체로 밀봉이 이루어지는 지점들에서 국부적으로 작용된다. 그러므로 원칙상으로는 동력 발생 지점 및 밀봉 지점 사이에서 샤프트(shaft) 등과 같은 동력 전달(power transmission) 부품들의 변형이 발생되지 않는다. 따라서 전체적으로 볼 때 부품들은 무척 가늘게(slim), 대체로 경량 구조(lightweight construction)로 형성될 수 있다. 또한 이것은 움직이는 부분이 작으므로 폐쇄 또는 개방 시간이 짧은 대단히 역동적인 시스템이 이루어질 수 있다는 장점을 지닌다. 여기에서 두 용기는 주로 진공실을 말한다.
상기에 언급된 마그넷 장치들 중 적어도 하나가 자기장(magnetic field)의 생성을 위해 개폐 가능한 마그넷 코일(switchable magnet coil)을 하나 이상 구비한다면, 결합력 및 개방력(opening force)의 발생 또는 차단이 특히 간단하게 이루어질 수 있다.
마그넷 장치들 중 하나가 페로마그넷 성분(ferromagnet-componet)을 포함하고 다른 마그넷 장치가 자기장의 생성을 위해 개폐 가능한 마그넷 코일을 구비하면, 개폐 가능성 및 간단하고 튼튼한 구조를 특히 비용이 저렴하게 결합할 수 있다.
전류가 통하지 않는 로킹 상태를 보장하기 위해 마그넷 장치들 중 하나가 제1 영구 자석부(permanent magnet-component)를 포함하고, 다른 마그넷 장치가 제2 영구 자석부 또는 페로마그넷 성분을 포함하고, 마그넷 장치들 중 적어도 하나가 마그넷 대향 자장(magnetic opposing field)에 의해 개방 임펄스(opening impulse)를 생성하기 위해 개폐 가능한 마그넷 코일을 추가로 구비하면, 전압 손실(voltage loss)이 약간 있을 때에도 로킹 개구가 안전하게 로킹될 수 있다.
대기압이 폐쇄 방향과 반대로 차단 부재에 작용할 때에도 차단 부재가 대기압에 대해 안전하게 밀봉될 수 있도록 마그넷 장치들이 설치되면, 본 발명에 따른 로킹 장치를 사용할 때 활용성(flexibility)이 높아질 수 있다. 이 경우 전류가 통하지 않는 로킹 상태에서도 이러한 밀봉이 확실히 보장되는 마그넷 장치들의 설치가 특히 바람직하다.
형태가 불균한 로킹 개구는 주로 특히 기판 캐리어(substrate carrier)로부터 수직으로 걸려있는 기판의 이송(transport)에 적합한 로킹 개구 형상(locking opening profile)을 구비하고, 이로써 로킹 개구 및 로킹 개구를 관통하여 움직이는 부분들 사이의 갭(gap)이 최소화될 수 있다. 이러한 실시예는 압력 및/또는 가스 혼합물이 상이한 인접 챔버들 사이에서 바람직하지 않은 과잉 전류 효과(excess current effect)를 줄일 수 있다.
마그넷 장치들이 로킹 개구의 진로를 따라 차단 부재가 로킹 개구의 로킹 상태에서 비틀림이 없도록 배열되면, 로킹 개구의 진로를 따른 접촉력의 차이 및 이와 함께 누출 또는 과잉 전류를 더욱 방지할 수 있다.
각각 장소 상황 및 다른 영향 요인들에 따라, 선회 장치(swivelling device)를 이용하여 위치 결정이 가능하고 선회할 수 있는 플랩 또는 선형 운동 장치(linear motion device)에 의해 위치 결정이 가능한 슬라이더 장치(slider device)를 차단 부재로 사용하는 것은 바람직하다. 선회 장치 내지 선형 운동 장치는 그밖에 주로 자동화 및/또는 수동 조정 가능한 폐쇄 내지 개방 운동의 시작과 종결을 가능하게 한다.
잘 알려져 있는 것처럼 변형 가능한 밀봉 부재, 주로 도넛형 밀봉 링(toroidal sealing ring)이 밀봉을 위해 카운터 플레이트 및/또는 차단 부재의 영역에 구비된다. 신뢰할만하고 비용이 저렴하며 교환이 쉬운 것으로는 탄성 고무로 된 O링이 바람직하다.
차단 부재가 페로마그넷 금속 박판(ferromagnetic sheet metal)으로 형성되는 성분을 구비하는 장치의 실시예가 특히 바람직하다.
밀봉 기능을 개선하기 위해서는, 차단 부재를 벤딩의 강도가 작은 플레이트로 형성하여, 관련 성분들의 공정 공차(process tolerance)가 비교적 클 때에도 로킹 상태에서 의도적으로 가능한 차단 부재의 변형을 통해 확실한 밀봉이 보장되는 것이 바람직하다.
본 발명의 기타 실시예 및 장점들은 또한 특허 청구항들의 요약과 무관하게 하기에서 도면을 참조하여 명백하게 설명된다.
도 1 및 도 2에는 제1 및 제2 용기 사이의 벽에 배열되는 로킹 개구에 적합한 본 발명에 따른 로킹 장치의 횡단면 A-A 내지 A-A에 대해 수직인 종단면이 도시되어 있다. 여기에서 용기는 진공실을 말한다. 이러한 로킹 장치는 평면 디스플레이(flat display)용 기판의 제조를 위한 소위 인라인 시스템에서 사용하는 게 바람직하다. 이러한 기판은 전형적으로 두께가 약 1㎜이고 장방형(rectangle)이며 크기가 1,000×1,200㎜ 이상이다. 기판은 인라인 시스템에 매달린 채, 튜브에 의해 서로 분리 가능한 일정한 개수의 진공실을 지나가는 선형 또는 U자형 경로(path)를 따라 유도된다. 기판 크기의 제약을 받는 전형적인 로킹 개구는 길이/넓이 비율이 극단적이라는 특징을 지닌다. 그렇지만 본 발명에 따른 로킹 장치가 또한 다른 로킹 개구 형상에도 적용될 수 있는 것은 물론이다. 본 발명에 의해 로킹 장치는 벽이 얇고 무게가 가벼운 부품들로 실행될 수 있으므로, 특히 전달률(transfer rate)이 높고 따라서 로킹 밸브를 신속히 작동시키는 자동화된 기판 조작에 적합한데, 이는 움직이는 부품이 작아야만 하기 때문이다.
도 1에는 제1 진공실(VK1) 및 제2 진공실(VK2) 사이에 장방형 갭(rectangular gap)으로 형성되는 로킹 개구가 배열되고, 로킹 개구는 이 경우에 제1 진공실(VK1)과 연계되는 제1 갭 영역(7), 및 제2 진공실(VK2)과 연계되는 제2 갭 영역(17)을 포함한다. 제1 및 제2 진공실(VK1 및 VK2) 사이에 연장되는 벽은 제1 진공실(VK1)의 연결 플랜지(connecting flange)(1a) 및 제2 진공실(VK2)의 연결 플랜지(9a)로 이루어지고, 연결 플랜지는 각각 진공실(VK1 내지 VK2)의 챔버 벽(chamber wall)(1 내지 9)과 연결된다. 로킹 개구는 장방형 플랩(3)으로 형성되는 차단 부재에 의해 카운터 플레이트(3a)와의 공동작용으로 로킹될 수 있다. 로킹 개구는 갭 영역(7)에 의해 형성되는 카운터 플레이트(3a)의 영역에 포함된다. 카운터 플레이트(3a)는 또한 변형 가능한 밀봉 부재, 주로 탄성 고무로 된 도넛형 밀봉 링을 구비하고, 도넛형 밀봉 링은 로킹 상태에서 변형되어 압력에 안전한 밀봉을 보장한다.
본 발명의 개선 형태에서는 차단 부재가 장방형과 다른 형태를 갖고, 이 형태는 주로 로킹 개구 형상에 적합하다.
플랩(3)은 선회축(2)에 배열되고, 선회축은 부분 선회 밸브 엑츄에이터(part-turn valve actuator)(12)를 갖는 회전 전동 유도장치(rotary transmission leadthrough)(13)에 의해 움직일 수 있다.
부분 선회 밸브 엑츄에이터 내지 선회축을 고정시키고 설치하기 위해 베어링(bearing)(11) 및 홀더(holder)(14)가 제공된다. 부분 선회 밸브 엑츄에이터(12)는 폐쇄 및 개방 운동을 시작하고 종결하는 기능을 한다. 부분 선회 밸브 엑츄에이터로서 공압식 실린더(pneumatic cylinder)가 제공되지만, 또한 유압식(hydraulic) 또는 전기식(electric) 구동도 물론 가능하다.
본 발명에 따르면 카운터 플레이트(3a)의 영역에 개폐 가능한 마그넷 코일(5, 5')을 갖는 제1 마그넷 장치가 제공되고, 차단 부재의 영역에는 제1 마그넷 장치와 연계되는 제2 마그넷 장치(6)가 구비된다. 제2 마그넷 장치(6)는 플랩(3) 뒷면에 배열되는 페로마그넷 플레이트(ferromagnetic plate) 또는 스트립 구조(strip structure)(6)로 형성된다. 마그넷 코일(5, 5')이 작동되면, 플랩(3) 및 코일(5, 5') 사이, 즉 차단 부재 및 카운터 플레이트(3a) 사이에 접촉력이 발생된다.
본 발명과는 다른 플랩(3) 형태들이 포함되는 것은 가능하면, 특히 플랩(3)은 주로 굽힘 강도(flexural strength)가 작은 페로마그넷 금속 박판으로 제조될 수 있다. 금속 박판의 두께는 0.5㎜ 및 10㎜ 사이가 바람직하고, 특히 1㎜ 및 8㎜ 사이가 바람직하다. 페로마그넷 플랩(3)의 경우, 플랩(3) 자체가 제2 마그넷 장치를 나타내기 때문에, 페로마그넷 플레이트(6)가 생략될 수 있다. 또한 변형 가능한 밀봉 부재가 플레이트(3)에도 선택적으로 또는 추가적으로 배열될 수 있다.
도 3에는 로킹 개구의 개방 진로를 따라 배열되는 마그넷 장치(5, 5')를 갖는 플랩이 열렸을 때 로킹 개구(7)의 상세도가 도시되어 있다. 로킹 개구는 제1 갭 영역(7a) 및 제2 갭 영역(7b)을 포함하는 개구 형상(opening profile)을 갖고, 제1 갭 영역(7a)은 재2 갭 영역(7b)보다 폭이 넓다. 이러한 로킹 개구 형상은 기판 캐리어에 수직으로 걸려있는 기판의 이송에 적합하다. 마그넷 장치(5, 5')는 양쪽에 제2 로킹 개구 영역(7b)을 포함한다. 마그넷 장치(5a)는 장소의 문제 때문에 제1 로킹 개구 영역(7a) 위쪽에 배열된다. 변형 가능한 밀봉 부재(4), 주로 도넛형 밀봉 링은 로킹 개구 및 마그넷 장치(5, 5' 및 5a)를 둘러싼다. 밀봉 부재의 다른 진로 역시 본 발명에 포함되는 것은 물론이다.
로킹 상태에서 마그넷 장치는 차단 부재가 비틀림 없고 접촉력이 충분하게 밀봉 부재(4)에 압력을 가할 정도로 로킹 개구의 진로를 따라 배열된다.
마그넷 장치는 또한 차단 부재가 밀봉 부재에 가하는 접촉력의 소정의 값이 실현 가능하도록 설치된다.
본 발명의 개선 형태에서는 개폐 가능한 마그네 장치가 주로 한 부분으로 된 마그넷 코일로 형성되고, 마그넷 코일은 개구 진로를 따라 로킹 개구를 한 번 또는 여러 번 에워싼다.
코일을 수용하는 부품의 상응하게 제공되는 빈 공간(hollow space)에, 진공에 적합한 주조 화합물(casting compound)을 주입함으로써 마그넷 코일을 고정시키는 것은 특히 바람직하다. 이를 위해, 예컨대 애럴다이트(araldite) 등과 같은 에폭시 수지(epoxy resin)가 사용될 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예에서 마그넷 장치들 중 하나는 영구 자석부를 포함한다. 다른 마그넷 장치도 마찬가지로 영구 자석부를 포함할 수 있다. 이로써 로킹 개구의 전류가 흐르지 않는 로킹 상태가 이루어질 수 있다. 마그넷 장치들 중 적어도 하나는 마그넷 대향 자장을 야기할 수 있는 개폐 가능한 마그넷 코일을 구비한다. 이로써 차단 부재 및 카운터 플레이터 사이에서 개방 임펄스 내지 부 접촉력(negative contact pressure)이 발생될 수 있다. 대기압이 닫는 방향과 반대로 차단 부재에 작용할지라도, 영구 자석 장치를 대기압에 대해 전류가 흐르지 않는 안전한 로킹 상태에 적합하게 설치하는 것이 특히 바람직하다.
본 발명을 또 다른 실시예에서는 두 개의 마그넷 장치가 영구 자석부를 포함하므로, 로킹 개구의 전류가 흐르지 않는 로킹 상태가 야기될 수 있다. 또한 흐름 및 개방 운동(flow- and opening motion)을 시작하고 끝낼 수 있는 구동 샤프트(drive shaft)가 구비된다. 이때, 구동 샤프트에 의해 활용되는 토크는 개방 운동일 때 두 마그넷 장치의 영구 자석들 사이의 인력(attraction force)을 견뎌낼 만큼은 되어야 한다.
상기의 설명에서 두 개의 용기가 진공실이라고 하였지만, 차단 부재가 용기 및 지속되는 대기압을 갖는 영역 사이의 분리 지점에 배열되는 본 발명의 실시예들도 물론 여기에 포함된다.
본 발명은 제1 용기의 내부에 배열되는 차단 부재, 및 상기 차단 부재와 연계되는 카운터 플레이트를 포함하고, 상기 제1 용기 및 제2 용기 사이의 벽에 배열되는 로킹 개구용 로킹 장치에 이용될 수 있다.

Claims (12)

  1. 제1 용기(recipient)의 내부에 배열되는 차단 부재(blocking element), 및 상기 차단 부재와 연계되는 카운터 플레이트(counter-plate)를 포함하고, 상기 제1 용기 및 제2 용기 사이의 벽(wall)에 배열되는 로킹 개구(locking opening)용 로킹 장치(locking device)에 있어서,
    상기 카운터 플레이트의 영역에 제1 마그넷 장치(magnet device)가 구비되며, 상기 차단 부재의 영역에 상기 제1 마그넷 장치와 연계되는 제2 마그넷 장치가 구비되고, 상기 제1 및 상기 제2 마그넷 장치에 의한 로킹 개구의 폐쇄 및 개방 중 어느 하나 또는 양자 모두를 위해 상기 차단 부재 및 상기 카운터 플레이트 사이에 정 접촉력(positive contact pressure) 및 부 접촉력(negative contact pressure) 중 어느 하나 또는 양자 모두가 발생될 수 있는
    것을 특징으로 하는 로킹 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 마그넷 장치들 중 적어도 하나는 자기장(magnetic field)의 생성을 위해 개폐 가능한 마그넷 코일(switchable magnet coil)을 하나 이상 구비하는 것을 특징으로 하는 로킹 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 마그넷 장치들 중 하나는 페로마그넷 성분(ferromagnet-component)을 포함하고, 다른 마그넷 장치는 자기장의 생성을 위해 개폐 가능한 마그넷 코일을 구비하는 것을 특징으로 하는 로킹 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 로킹 개구의 전류가 통하지 않는 로킹을 보장하기 위해 마그넷 장치들 중 하나는 제1 영구 자석부(permanent magnet-component)를 포함하고, 다른 마그넷 장치는 제2 영구 자석부를 포함하며, 상기 마그넷 장치들 중 적어도 하나는 대향 자장(magnetic opposing field)을 이용하여 개방 임펄스(opening impulse)를 생성하기 위해 개폐 가능한 마그넷 코일을 구비하는 것을 특징으로 하는 로킹 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 마그넷 장치들은 대기압(atmospheric pressure)에 대해 전류가 통하지 않는 상태에서 로킹할 수 있도록 설치되는 것을 특징으로 하는 로킹 장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    불균일한 로킹 개구가 주로 기판 캐리어(substrate carrier)에 수직으로 걸려있는 기판(substrate)의 이송(transport)에 적합한 로킹 개구 형상(locking opening profile)을 구비하는 것을 특징으로 하는 로킹 장치.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 마그넷 장치들은 상기 차단 부재가 로킹 개구의 로킹 상태에서 비틀림(torsion)이 없도록 로킹 개구의 진로를 따라 배열되는 것을 특징으로 하는 로킹 장치.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    주로 선회 장치(swivelling device)에 의해 위치 결정(positioning)이 가능하고 선회 가능한 플랩(flap)이 차단 부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 로킹 장치.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    주로 선형 운동 장치(linear motion device)에 의해 위치 결정이 가능하고 슬라이더판(slider plate)을 갖는 슬라이더 장치(slider device)가 차단 부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 로킹 장치.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 선회 장치는 유압식(hydraulic), 공압식(pneumatic) 및/또는 전자기계식(electromechanic)으로 작동 가능한 것을 특징으로 하는 로킹 장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 선형 운동 장치는 유압식, 공압식 및/또는 전자기계식으로 작동 가능한 것을 특징으로 하는 로킹 장치.
  12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 카운터 플레이트 및/또는 상기 차단 부재의 영역에 변형 가능한 밀봉 부재(sealing element), 주로 도넛형 밀봉 링(toroidal sealing ring)이 구비되는 것을 특징으로 하는 로킹 장치.
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