JP2000035160A - 貫通口を有する室のための閉鎖組立体 - Google Patents
貫通口を有する室のための閉鎖組立体Info
- Publication number
- JP2000035160A JP2000035160A JP11147107A JP14710799A JP2000035160A JP 2000035160 A JP2000035160 A JP 2000035160A JP 11147107 A JP11147107 A JP 11147107A JP 14710799 A JP14710799 A JP 14710799A JP 2000035160 A JP2000035160 A JP 2000035160A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- closing plate
- housing
- closure assembly
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/04—Construction of housing; Use of materials therefor of sliding valves
- F16K27/044—Construction of housing; Use of materials therefor of sliding valves slide valves with flat obturating members
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/0272—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor permitting easy assembly or disassembly
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 室の中へ挿入可能な単一の構成要素として形
成された閉鎖組立体を提供すること。 【解決手段】 この閉鎖組立体は、ハウジング状部材(1
5)と、室(1) の貫通口を閉鎖するためのハウジング状部
材内を変位可能な閉鎖板(10)と、閉鎖板(10)を変位させ
るための駆動ユニット(11,12) とからなる。その際ハウ
ジング状部材は、その間に９０°の角度を区画する二つ
の互いに垂直なフランジ状連結面(16,17)を有し、また
取り付けねじ(20)受け入れ孔は、二つの連結面(16,17)
により形成された角度の二等分線にほぼ平行に延びる軸
線を有する。
成された閉鎖組立体を提供すること。 【解決手段】 この閉鎖組立体は、ハウジング状部材(1
5)と、室(1) の貫通口を閉鎖するためのハウジング状部
材内を変位可能な閉鎖板(10)と、閉鎖板(10)を変位させ
るための駆動ユニット(11,12) とからなる。その際ハウ
ジング状部材は、その間に９０°の角度を区画する二つ
の互いに垂直なフランジ状連結面(16,17)を有し、また
取り付けねじ(20)受け入れ孔は、二つの連結面(16,17)
により形成された角度の二等分線にほぼ平行に延びる軸
線を有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、貫通口を有する室
のための閉鎖組立体に関し、前記閉鎖組立体は、貫通口
が開いたままである開放位置と、閉鎖板が貫通口を密閉
する閉鎖位置との間で貫通口の軸線に対し垂直に変位可
能な閉鎖板と、閉鎖板の開放位置と閉鎖位置の間で閉鎖
板を変位させるための駆動部と、閉鎖板がその中を変位
可能であるハウジング状部材とを有し、前記ハウジング
状部材は二つのフランジ面を有し、そのうちの一方は室
の貫通口を囲んでおり、またハウジング状部材は、貫通
口が形成されているハウジングに閉鎖組立体を取り付け
るための取り付けねじを受け入れるための複数の貫通孔
を有する。
のための閉鎖組立体に関し、前記閉鎖組立体は、貫通口
が開いたままである開放位置と、閉鎖板が貫通口を密閉
する閉鎖位置との間で貫通口の軸線に対し垂直に変位可
能な閉鎖板と、閉鎖板の開放位置と閉鎖位置の間で閉鎖
板を変位させるための駆動部と、閉鎖板がその中を変位
可能であるハウジング状部材とを有し、前記ハウジング
状部材は二つのフランジ面を有し、そのうちの一方は室
の貫通口を囲んでおり、またハウジング状部材は、貫通
口が形成されているハウジングに閉鎖組立体を取り付け
るための取り付けねじを受け入れるための複数の貫通孔
を有する。
【０００２】
【従来の技術】物体を処理し、貯蔵しおよびまたは物体
を通すための真空室を用いることが知られており、その
ような真空室にシールと密閉面を有する閉鎖部材を設け
ることが知られている。密閉面は室に位置しておりかつ
開口の横側に配置されかつシールと共に構成要素を形成
している。直線状密閉面は貫通口の軸線に対し平行に延
びておりかつ貫通口軸線の方向において互いに側方にず
らされている少なくとも二つの密閉面部分を有する。変
位可能な閉鎖板は、簡単な仕方で直線に変位させること
により室を密閉できる形状を有する。閉鎖板とその変位
駆動部は別個の構成要素を形成している。そのような閉
鎖組立体は米国特許第4,881,717 号に開示されている。
閉鎖部材と閉鎖板の取り付けは、二つの、別個に製造さ
れかつ別個に取り付けられた構成要素を、閉鎖板の閉鎖
位置で貫通口の密閉を確保して室内の真空の損失を防ぐ
ために互いに対し正確に定められた関係で室内に位置決
めさせなければならないので、極めて高い必要条件を満
足しなければならない。加工片を室の中へ持ってくるた
めの貫通口に加えて、室には、閉鎖板が室の内部へ突出
するための他の開口が設けられており、その変位駆動部
は室の外側に位置している。前述したように別個に取り
付けられる二つのここに述べた構成要素は、それぞれ二
つの前述した構成要素と関連している室の二つの壁が互
いに直角に延びて互いに当接して突き合わせ位置で共通
の縁を形成する室の領域に位置している。
を通すための真空室を用いることが知られており、その
ような真空室にシールと密閉面を有する閉鎖部材を設け
ることが知られている。密閉面は室に位置しておりかつ
開口の横側に配置されかつシールと共に構成要素を形成
している。直線状密閉面は貫通口の軸線に対し平行に延
びておりかつ貫通口軸線の方向において互いに側方にず
らされている少なくとも二つの密閉面部分を有する。変
位可能な閉鎖板は、簡単な仕方で直線に変位させること
により室を密閉できる形状を有する。閉鎖板とその変位
駆動部は別個の構成要素を形成している。そのような閉
鎖組立体は米国特許第4,881,717 号に開示されている。
閉鎖部材と閉鎖板の取り付けは、二つの、別個に製造さ
れかつ別個に取り付けられた構成要素を、閉鎖板の閉鎖
位置で貫通口の密閉を確保して室内の真空の損失を防ぐ
ために互いに対し正確に定められた関係で室内に位置決
めさせなければならないので、極めて高い必要条件を満
足しなければならない。加工片を室の中へ持ってくるた
めの貫通口に加えて、室には、閉鎖板が室の内部へ突出
するための他の開口が設けられており、その変位駆動部
は室の外側に位置している。前述したように別個に取り
付けられる二つのここに述べた構成要素は、それぞれ二
つの前述した構成要素と関連している室の二つの壁が互
いに直角に延びて互いに当接して突き合わせ位置で共通
の縁を形成する室の領域に位置している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、室の
中へ挿入可能な単一の構成要素として形成された閉鎖組
立体を提供することである。
中へ挿入可能な単一の構成要素として形成された閉鎖組
立体を提供することである。
【０００４】本発明の他の目的は、閉鎖組立体の簡単な
かつ容易な取り付けを確保する単一の閉鎖組立体を提供
することである。
かつ容易な取り付けを確保する単一の閉鎖組立体を提供
することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のこれらの目的お
よび他の目的は、以下明らかになるが、ハウジング状部
材の二つのフランジ状連結面が共に９０°の角度を形成
し、かつハウジング状部材を室に取り付けるための貫通
孔の軸線が、二つの連結面により形成された９０°の二
等分線に対しほぼ平行に延びている閉鎖組立体を設ける
ことにより達成される。
よび他の目的は、以下明らかになるが、ハウジング状部
材の二つのフランジ状連結面が共に９０°の角度を形成
し、かつハウジング状部材を室に取り付けるための貫通
孔の軸線が、二つの連結面により形成された９０°の二
等分線に対しほぼ平行に延びている閉鎖組立体を設ける
ことにより達成される。
【０００６】本発明の上記の新規な特徴によれば、二つ
の室壁が互いに直角に延びかつ共にそれらの突き合わせ
継ぎ手に共通の縁を形成する、室の領域に本発明による
閉鎖組立体を取り付けることができる。その突き合わせ
継ぎ手において、取り付けねじの傾斜した姿勢に因り、
取り付けねじはハウジング状部材に、二つの連結面に垂
直に延びる二つの成分を有する力を与える。二つの力の
成分によれば、二つのフランジ状連結面がその間に直角
を形成する二つの室壁を緊密に当接させることを確保す
る。これは、連結面と室壁の両方が９０°の角度を形成
するときに、二つのフランジ状連結面が室のそれぞれの
壁に対し平行に延びるからである。
の室壁が互いに直角に延びかつ共にそれらの突き合わせ
継ぎ手に共通の縁を形成する、室の領域に本発明による
閉鎖組立体を取り付けることができる。その突き合わせ
継ぎ手において、取り付けねじの傾斜した姿勢に因り、
取り付けねじはハウジング状部材に、二つの連結面に垂
直に延びる二つの成分を有する力を与える。二つの力の
成分によれば、二つのフランジ状連結面がその間に直角
を形成する二つの室壁を緊密に当接させることを確保す
る。これは、連結面と室壁の両方が９０°の角度を形成
するときに、二つのフランジ状連結面が室のそれぞれの
壁に対し平行に延びるからである。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示す実施の
形態により詳細に説明する。
形態により詳細に説明する。
【０００８】図において、同じかつ機能的に同様な要素
は同じ参照数字で表してある。
は同じ参照数字で表してある。
【０００９】すでに述べたように、図１は従来技術の真
空室の横断面図を示す。図１において、真空室１は真空
装置（図示省略）と導管２により連結されている。イン
サート３は、真空室１の側壁５に形成された開口４を通
る真空室１の中へ導入できる加工片の処理のために用い
られている。密封面６を有する構成要素７が開口４の側
方に室１の内部に側壁５に配置されている。構成要素７
は側壁５に、例えばねじによってまたは溶接されること
により固定連結されている。密閉要素９を担持する閉鎖
板１０が開口４の軸線８に垂直に直線運動可能に室１に
支持されている。閉鎖板１０はピストンロッド１１とピ
ストンシリンダユニット１２により変位可能である。ピ
ストンロッド１１は開口１３を通って室１の中へ延びて
いる。ピストンシリンダユニット１２はハウジングによ
り囲まれており、このハウジングはハウジング１の上壁
に、中間に置かれたここに示されてないシールを介して
フランジにより取り付けられている。閉鎖板１０とピス
トンシリンダユニット１２は、構成要素７から分離され
て製造されかつ分離されて取り付けられたユニットであ
り、閉鎖板１０をその閉鎖位置に変位させたときに、適
当に気密な密封を確保するように両方の構成要素を互い
に対して真空室１の内側に取り付けるのは非常に費用が
かかる。
空室の横断面図を示す。図１において、真空室１は真空
装置（図示省略）と導管２により連結されている。イン
サート３は、真空室１の側壁５に形成された開口４を通
る真空室１の中へ導入できる加工片の処理のために用い
られている。密封面６を有する構成要素７が開口４の側
方に室１の内部に側壁５に配置されている。構成要素７
は側壁５に、例えばねじによってまたは溶接されること
により固定連結されている。密閉要素９を担持する閉鎖
板１０が開口４の軸線８に垂直に直線運動可能に室１に
支持されている。閉鎖板１０はピストンロッド１１とピ
ストンシリンダユニット１２により変位可能である。ピ
ストンロッド１１は開口１３を通って室１の中へ延びて
いる。ピストンシリンダユニット１２はハウジングによ
り囲まれており、このハウジングはハウジング１の上壁
に、中間に置かれたここに示されてないシールを介して
フランジにより取り付けられている。閉鎖板１０とピス
トンシリンダユニット１２は、構成要素７から分離され
て製造されかつ分離されて取り付けられたユニットであ
り、閉鎖板１０をその閉鎖位置に変位させたときに、適
当に気密な密封を確保するように両方の構成要素を互い
に対して真空室１の内側に取り付けるのは非常に費用が
かかる。
【００１０】本発明による閉鎖組立体を図２に示す。本
発明の閉鎖組立体１４は、二つのフランジ状連結面１６
と１７があるハウジング状部材１５を有する単一の構造
本体として形成されている。両連結面１６と１７は互い
に垂直に延びていて９０°の角度を形成している。ハウ
ジング状部材１５は取り付けねじ２０を受け入れるため
の貫通孔１９を有する。貫通孔１９の軸線は一点鎖線で
示してある。これらの貫通孔１９は両方の連結面１６と
１７に対し角度をなして延びておりかつ二つの連結面１
６と１７により形成された角度の二等分線にほぼ平行に
延びている。ねじこまれて締めつけられた取り付けねじ
２０は二つの連結面１６と１７に対しそれぞれ垂直に延
びる力の成分をハウジング状部材１５に与え、それによ
り両方の連結面１６と１７がそれぞれの真空室１の壁に
対し緊密に押圧されることが確保される。連結面１６と
１７には密封要素２１が設けられるのが好ましい。ハウ
ジング状部材１５は実質的にスライドハウジングとして
形成されている。しかしながら、連結面１６と１７はス
ライドハウジングの場合のように互いに平行に延びてい
ないで、前述したように互いに垂直に延びている。図２
および３に示したように、連結面のうち水平面１７は閉
鎖板１０を変位させるためのピストンシリンダユニット
１２を支持している。
発明の閉鎖組立体１４は、二つのフランジ状連結面１６
と１７があるハウジング状部材１５を有する単一の構造
本体として形成されている。両連結面１６と１７は互い
に垂直に延びていて９０°の角度を形成している。ハウ
ジング状部材１５は取り付けねじ２０を受け入れるため
の貫通孔１９を有する。貫通孔１９の軸線は一点鎖線で
示してある。これらの貫通孔１９は両方の連結面１６と
１７に対し角度をなして延びておりかつ二つの連結面１
６と１７により形成された角度の二等分線にほぼ平行に
延びている。ねじこまれて締めつけられた取り付けねじ
２０は二つの連結面１６と１７に対しそれぞれ垂直に延
びる力の成分をハウジング状部材１５に与え、それによ
り両方の連結面１６と１７がそれぞれの真空室１の壁に
対し緊密に押圧されることが確保される。連結面１６と
１７には密封要素２１が設けられるのが好ましい。ハウ
ジング状部材１５は実質的にスライドハウジングとして
形成されている。しかしながら、連結面１６と１７はス
ライドハウジングの場合のように互いに平行に延びてい
ないで、前述したように互いに垂直に延びている。図２
および３に示したように、連結面のうち水平面１７は閉
鎖板１０を変位させるためのピストンシリンダユニット
１２を支持している。
【００１１】図４および図５に示した閉鎖組立体の実施
の形態のハウジング状部材１５は図２〜３に示した実施
の形態のハウジング状部材よりいっそう簡単である。図
４〜５に示した実施の形態では、ハウジング状部材１５
はＬ形をしておりかつ垂直脚２２と水平脚２３を有し、
その際脚２２、２３の外面がそれぞれ連結面１６と１７
を形成している。図４と５において、閉鎖板１０はハウ
ジング状部材１５内を変位可能であるが、その閉鎖位置
に示してある。このピストンシリンダユニット１２は水
平脚２３により支持されている。
の形態のハウジング状部材１５は図２〜３に示した実施
の形態のハウジング状部材よりいっそう簡単である。図
４〜５に示した実施の形態では、ハウジング状部材１５
はＬ形をしておりかつ垂直脚２２と水平脚２３を有し、
その際脚２２、２３の外面がそれぞれ連結面１６と１７
を形成している。図４と５において、閉鎖板１０はハウ
ジング状部材１５内を変位可能であるが、その閉鎖位置
に示してある。このピストンシリンダユニット１２は水
平脚２３により支持されている。
【００１２】本発明による閉鎖組立体の二つの実施の形
態は、ハウジング状部材１５の形状により互いに区別し
ており、その形状は図４と５に示した単純化した形式で
は、二つの脚２２と２３が互いに垂直に延びているＬ形
部材として形成されている。
態は、ハウジング状部材１５の形状により互いに区別し
ており、その形状は図４と５に示した単純化した形式で
は、二つの脚２２と２３が互いに垂直に延びているＬ形
部材として形成されている。
【００１３】本発明を好ましい実施の形態に関連して示
しかつ述べたけれども、種々の変形は当業者にとって明
らかになるだろう。それ故、本発明を開示された実施の
形態またはその細部に限定するつもりはなく、特許請求
の範囲の精神と範囲から逸脱することはできない。
しかつ述べたけれども、種々の変形は当業者にとって明
らかになるだろう。それ故、本発明を開示された実施の
形態またはその細部に限定するつもりはなく、特許請求
の範囲の精神と範囲から逸脱することはできない。
【図１】従来の真空室の長手方向横断面を示す。
【図２】図１に示した真空室の長手方向横断面図と同様
な真空室の長手方向横断面図を示す。
な真空室の長手方向横断面図を示す。
【図３】図２の線III-III に沿って切断した横断面図を
示す。
示す。
【図４】図２の長手方向横断面図と同様な長手方向横断
面図を示すが、本発明による閉鎖組立体の他の実施の形
態を示す。
面図を示すが、本発明による閉鎖組立体の他の実施の形
態を示す。
【図５】閉鎖組立体を横向きに見た図４に示した真空室
の横断面図を示し、その際ハウジング部分の垂直脚が部
分的に切り取られている。
の横断面図を示し、その際ハウジング部分の垂直脚が部
分的に切り取られている。
１ 室 ４ 開口 ５ 側壁 ６ 密封面 ７ 構成要素 １０ 閉鎖板 １１，１２ 駆動手段 １４ 閉鎖板 １５ ハウジング状部材 １６，１７ フランジ状連結面 １９ 貫通孔 ２０ 取り付けねじ
Claims (5)
- 【請求項１】 貫通口を有する室のための閉鎖組立体で
あって、前記閉鎖組立体は、貫通口が開いたままである
開放位置と、閉鎖板が貫通口を密閉する閉鎖位置との間
で貫通口の軸線に対し垂直に変位可能な閉鎖板と、閉鎖
板の開放位置と閉鎖位置の間で閉鎖板を変位させるため
の駆動手段と、閉鎖板がその中を変位可能であるハウジ
ング状部材とを備えた閉鎖組立体において、ハウジング
状部材（１５）は二つのフランジ状連結面（１６，１
７）を有し、そのうちの一方の連結面（１６）が室の貫
通口を囲んでおりかつ二つのフランジ状連結面（１６，
１７）は共に９０°の角度を互いに形成しており、ハウ
ジング状部材（１５）は室にハウジング状部材を取り付
けるための取り付けねじ（２０）を受け入れるための複
数の貫通孔（１９）を有し、その際貫通孔（２４）の軸
線（８）が、二つの連結面（１６，１７）により形成さ
れた角度の二等分線に対しほぼ平行に延びており、前記
閉鎖板（１７）は、閉鎖板の閉鎖位置において貫通孔を
囲む二つの連結面のうちの一方の連結面と密封係合する
ことを特徴とする閉鎖組立体。 - 【請求項２】 二つの接触面のうちのもう一つの接触面
（１７）は貫通口（２４）の軸線（８）に対し平行に延
びておりかつ閉鎖板（１０）を変位させるための駆動ユ
ニットを支持していることを特徴とする請求項１の閉鎖
組立体。 - 【請求項３】 取り付けねじ（２０）受け入れ孔（１
９）が貫通口（２４）の周りに分配されていることを特
徴とする請求項１の閉鎖組立体。 - 【請求項４】 取り付けねじ（２０）受け入れ孔（１
９）のうちの一つが両方の連結面（１６，１７）の頂点
領域にあることを特徴とする請求項１の閉鎖組立体。 - 【請求項５】 ハウジング状部材（１５）がＬ−形部材
として形成され、その際二つの脚（２２，２３）の外面
がフランジ状連結面（１６，１７）を形成することを特
徴とする請求項１の閉鎖組立体。（図４，５）
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US09/085,431 US5909867A (en) | 1998-05-27 | 1998-05-27 | Closing assembly for a chamber having a through-opening |
| US09/085431 | 1998-05-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000035160A true JP2000035160A (ja) | 2000-02-02 |
| JP4210391B2 JP4210391B2 (ja) | 2009-01-14 |
Family
ID=22191545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14710799A Expired - Lifetime JP4210391B2 (ja) | 1998-05-27 | 1999-05-26 | 貫通口を有する室のための閉鎖組立体 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5909867A (ja) |
| JP (1) | JP4210391B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012072888A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-12 | V Tex:Kk | バルブ装置 |
| KR20160099486A (ko) * | 2015-02-12 | 2016-08-22 | 에스엠시 가부시키가이샤 | 게이트 밸브 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7422653B2 (en) * | 2004-07-13 | 2008-09-09 | Applied Materials, Inc. | Single-sided inflatable vertical slit valve |
| DE102007048252A1 (de) | 2007-10-08 | 2009-04-09 | Vat Holding Ag | Vakuumventildichtungswerkstoff auf Basis von peroxidhärtbaren Fluorkautschuk-Compounds |
| CH700247B1 (de) * | 2007-10-10 | 2010-07-30 | Vat Holding Ag | Vakuumventil mit Dichtungsträgereinsatz. |
| DE102010053411B4 (de) * | 2009-12-15 | 2023-07-06 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
| CA2779721C (en) * | 2011-06-08 | 2019-12-17 | Quantum Supply Ltd. | Gate valve |
| CN112567158B (zh) | 2018-08-17 | 2023-05-12 | Vat控股公司 | 具有至少两个腔和至少一个转移阀的装置 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US769831A (en) * | 1903-11-02 | 1904-09-13 | John Edward Lewis Ogden | Securing valve-seats. |
| US3285565A (en) * | 1964-02-26 | 1966-11-15 | Kaiser Steel Corp | Removable valve seat |
| US4401292A (en) * | 1982-01-21 | 1983-08-30 | Acf Industries, Incorporated | Valve seat structure |
| US4573616A (en) * | 1982-05-24 | 1986-03-04 | Flo-Con Systems, Inc. | Valve, clamp, refractory and method |
| DE3717724A1 (de) * | 1987-05-26 | 1988-12-08 | Schertler Siegfried | Ventilschieber mit einem schiebergehaeuse |
| DE3801998C1 (ja) * | 1988-01-23 | 1989-05-18 | Schertler, Siegfried, Haag, Ch | |
| US5271602A (en) * | 1992-04-13 | 1993-12-21 | The Japan Steel Works Ltd. | Vacuum gate valve |
-
1998
- 1998-05-27 US US09/085,431 patent/US5909867A/en not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-05-26 JP JP14710799A patent/JP4210391B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012072888A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-12 | V Tex:Kk | バルブ装置 |
| KR20160099486A (ko) * | 2015-02-12 | 2016-08-22 | 에스엠시 가부시키가이샤 | 게이트 밸브 |
| KR102493588B1 (ko) * | 2015-02-12 | 2023-01-31 | 에스엠시 가부시키가이샤 | 게이트 밸브 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4210391B2 (ja) | 2009-01-14 |
| US5909867A (en) | 1999-06-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US2134072A (en) | Power chamber | |
| NZ270003A (en) | Vacuum insulated refrigerated cabinet: walls connected by strip soldered to edges of door opening | |
| JP2000035160A (ja) | 貫通口を有する室のための閉鎖組立体 | |
| AU2002320541A1 (en) | Panel seal for an air handling unit | |
| IL159601A (en) | Closing panel for air handling unit | |
| US5700014A (en) | Vacuum sealing structure | |
| US9581262B2 (en) | Vacuum valve | |
| US5934686A (en) | Seal arrangement to provide a seal along two surfacial rims that meet at an angle | |
| GB2327242A (en) | A cover assembly for closing across an opening in a panel | |
| GB2149488A (en) | Method of fabricating heat insulation housing for a refrigerator | |
| JP5563539B2 (ja) | 環境試験装置 | |
| CA2640322A1 (en) | Air filter housing with sealing means | |
| US6678937B2 (en) | Alternative method for sealing all-metal vacuum joints | |
| US6647859B2 (en) | Belt-fixing mechanism | |
| JPH09123749A (ja) | 自動車用空調装置のクーリング・ユニットへの膨脹弁の取付構造 | |
| CN218081028U (zh) | 一种新型激光切割真空吸附平台 | |
| US6450506B1 (en) | Sealing system for providing a gap-free seal between stationary structural parts | |
| JPH11141940A (ja) | エアフィルタの取付構造 | |
| JPS6221180Y2 (ja) | ||
| JP2000073860A (ja) | タイミングチェーンケースのシール構造 | |
| JPH0738630Y2 (ja) | 横枠と縦枠の連結部シール構造 | |
| JP2951859B2 (ja) | モニター装置等の収納ケース | |
| JP2577708Y2 (ja) | ガラス後嵌め式気密保持機構 | |
| JP3389594B2 (ja) | 駆動部材とスライド部材との連結機構 | |
| GB2024971A (en) | Device for Fastening Valve Housings |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060301 |
|
| A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20080408 |
|
| A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20080424 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080527 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080815 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080930 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081027 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111031 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121031 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131031 Year of fee payment: 5 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |