KR20060051450A

KR20060051450A - 기판의 처리 장치

Info

Publication number: KR20060051450A
Application number: KR1020050087548A
Authority: KR
Inventors: 히데키 스에요시; 아키노리 이소
Original assignee: 시바우라 메카트로닉스 가부시키가이샤
Priority date: 2004-09-22
Filing date: 2005-09-21
Publication date: 2006-05-19
Also published as: JP2006093339A; TW200616057A; JP4641168B2; TWI389185B; KR101160535B1; CN100514543C; CN1753150A

Abstract

본 발명은 처리조를 형성하는 판재를 두껍게 하지 않고, 그 강성을 향상시키는 것이 가능한 처리 장치를 제공한다.

본 발명의 기판의 처리 장치는, 기판을 처리하기 위한 처리 장치에 있어서,

판재에 의해 상면이 개방된 상자 모양으로 형성되고, 한쪽 면에 기판의 반입구(2), 다른 쪽 면에 반출구(3)가 형성된 처리조(1), 상기 처리조의 상부의 외주면을 따라 일체로 설치되어, 상기 처리조를 형성하는 판재를 보강하는 보강 프레임(7), 및 상기 보강 프레임에 회동 가능하게 장착되어, 상기 처리조의 상면을 개폐시키는 덮개(16)를 구비한다.

기판, 판재, 상면, 반입구, 반출구, 처리조, 보강 프레임, 덮개, 지지 기둥, 횡방향 부재, 흡입 덕트, 배기 덕트, 흡입구.

Description

기판의 처리 장치{APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATES}

도 1은 본 발명의 일실시예를 나타내는 처리 장치의 사시도이다.

도 2는 흡입 덕트를 실선으로 나타내고, 처리조를 쇄선으로 나타낸 처리 장치의 사시도이다.

도 3은 기판의 반송 방향에 교차하는 방향에 따른 처리 장치의 횡단면도이다.

도 4는 덮개의 일부를 남기도록 절단한 처리 장치의 평면도이다.

* 도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명 *

1: 처리조 2: 반입구

3: 반출구 5: 받침대

7: 보강 프레임 8: 지지 기둥

9: 횡방향 부재 11: 흡입 덕트

12: 흡입구 14: 배기 덕트

15: 지지 부재 16: 덮개

본 발명은 처리조 내에서 반송되는 기판을 예를 들면 약액(藥液) 등의 처리액으로 처리하는 기판의 처리 장치에 관한 것이다.

예를 들면 액정 표시 장치나 반도체 장치의 제조 공정에 있어서, 기판으로서의 유리 기판이나 반도체 웨이퍼를 에칭 처리하거나, 에칭 후에 마스크로서 사용된 레지스트의 박리 처리를 하거나, 에칭이나 박리 처리가 된 기판을 세정 처리하는 공정이 있다. 이와 같은 기판의 처리 공정에서는, 기판을 한 장씩 반송하면서 처리하는 매엽(枚葉) 방식이 채용되고 있다.

매엽 방식에 의해 기판을 처리하는 경우, 기판을 반송하면서 그 상하면 또는 상면에 샤워 노즐로부터 처리액을 분사하여 처리하는 처리 장치가 알려져 있다. 이 처리 장치는 처리조를 가진다. 처리조 내에는 상기 기판의 반송 방향을 따라 반송 롤러를 가지는 반송축이 소정 간격으로 회전 구동 가능하게 형성되어 있다. 따라서, 상기 기판은 회전 구동되는 반송축에 설치된 반송 롤러에 의해 처리조 내에서 반송되도록 되어 있다.

처리조 내에서 기판을 처리액에 의해 처리하면, 기판에 분사된 처리액이 안개(mist) 모양으로 되어 챔버 내부에서 부유한다. 챔버 내부에서 부유하는 안개 모양의 처리액은, 처리 후에 기판에 부착하고, 기판을 오염시키는 원인으로 된다. 특히 세정 처리된 기판에 안개 모양의 처리액이 부착되면, 품질 저하 또는 불량품의 발생을 초래하는 경우가 있어, 바람직하지 않다. 그래서, 처리조에는 배기 덕트를 접속시켜, 챔버 내에 생기는 안개 모양의 처리액을 포함하는 공기를 배기시키는 구성으로 되어 있다.

종래, 처리조는 내약품성을 구비한 재료, 예를 들면 염화 비닐 등의 합성 수지로 된 판재에 의해 상자 모양으로 형성되어 있다. 그리고, 처리조는 그 크기에 따라 판재의 두께를 변화시켜, 그 판재에 의하여, 예를 들면 처리조 내에서 생기는 공기의 흐름에 의해 가해지는 풍압 등에 대하여, 손상되지 않는 강성을 갖도록 하였다. 즉, 처리조는 단일체로서 사용할 수 있는 강성을 갖도록 하였다.

그런데, 최근에는 상기 기판의 대형화가 현저하여, 액정 표시 장치에 사용되는 기판의 경우, 한 변이 2m 이상의 크기로 되는 것이 있다. 기판이 대형화되면, 그에 따라 처리조도 대형화되어야 한다. 처리조를 대형화하는 경우, 이 처리조에 단일체로서 사용할 수 있는 강성을 갖기 위해서는 판재의 두께를 수십 mm의 두께로 하여야 한다.

그러나, 처리조를 구성하는 판재를 두껍게 하여 강성을 갖도록 하면, 처리조의 중량이 무거워지기 때문에, 공장으로부터의 출하시 등에 취급이 곤란하게 되는 경우가 있다. 또한, 처리조를 형성하는 판재의 면적이 커지기 때문에, 판재를 두껍게 하더라도, 충분한 강성을 얻기 어렵고, 처리조 내에 생기는 기류 등의 영향을 받아 변형이 반복되어, 판재의 상호 접속 부분이 손상되는 우려가 있다.

본 발명의 목적은, 처리조가 대형화되어도, 판재를 두껍게 하지 않고 강성을 가질 수 있는 기판의 처리 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명은, 기판을 처리하기 위한 처리 장치에 있어서,

판재에 의해 상면이 개방된 상자 모양으로 형성되고, 한쪽 면에 상기 기판의 반입구, 다른 쪽 면에 반출구가 형성되어 있는 처리조,

상기 처리조의 상부의 외주면을 따라 일체로 설치되어, 상기 처리조를 형성하는 판재를 보강하는 보강 프레임, 및

상기 보강 프레임에 장착되어, 상기 처리조의 상면을 개폐시키는 덮개를 구비한 것을 특징으로 하는 기판의 처리 장치이다.

바람직하게는, 상기 처리조는 평면 형상이 직사각형이고, 상기 보강 프레임은, 상기 처리조의 외주면의 모서리에 설치되는 4개의 다각형 통 모양의 지지 기둥, 및 상기 처리조의 4개의 외면의 상부에 설치되며, 양쪽 단부가 각각의 모서리에 위치되는 상기 지지 기둥에 연결되어, 상기 처리조에 대응하는 직사각형 프레임 모양을 이룬 4개의 다각형 통 모양의 횡방향 부재를 포함한다.

바람직하게는, 상기 처리조의 상부의 내주면에 전체 길이에 걸쳐서 흡입 덕트가 일체로 설치되어 있고, 상기 흡입 덕트에 상기 처리조 내의 공기를 흡입하는 흡입구가 형성되어 있으며, 상기 흡입구로부터 흡입된 상기 처리조 내의 공기는 상기 흡입 덕트에 연결된 배기 덕트에 의해 배출된다.

바람직하게는, 상기 흡입 덕트에는 복수개의 상기 흡입구가 형성되어 있고, 각각의 상기 흡입구는 개방도가 조정될 수 있다.

본 발명에 의하면, 처리조를 형성하는 판재를 보강 프레임으로 보강하도록 하였기 때문에, 대형 처리조에서도, 판재를 두껍게 하여 중량이 무겁게 되지 않으면서, 강성을 높이는 것이 가능하다.

이하, 본 발명의 일실시예를 도면을 참조하여 설명한다.

도 1은 본 발명의 처리 장치의 개략적 구조를 나타낸 사시도로서, 이 처리 장치는 처리조(1)를 구비하고 있다. 처리조(1)는, 예를 들면 염화 비닐 등의 합성 수지로 된 판재에 의해, 상면이 개방되며, 평면 형상이 직사각형인 상자 모양으로 형성되어 있다.

즉, 처리조(1)는, 도 2와 도 3에 나타낸 바와 같이 기판(W)의 반송 방향에 위치하는 제1 측판(1a)과 제2 측판(1b), 이들 측판(1a, 1b)과 교차하는 방향에 위치하는 전방판(1c)과 후방판(1d) 및 바닥판(1e)에 의해 전술한 상자 모양으로 형성되어 있다.

상기 처리조(1)의 제1 측판(1a)과 제2 측판(1b)에는, 각각 슬릿 모양의 반입구(2)와 반출구(3)가 상기 기판(W)의 반송 방향과 교차하는 처리조(1)의 전후방향에 대하여 소정 각도로 경사져 형성되어 있다. 이 실시예에서는 상기 반입구(2)와 반출구(3)는 처리조(1)의 후방으로부터 전방으로 향해 낮게 경사져 형성되어 있다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 상기 바닥판(1e)의 상기 전후 방향의 양쪽 단부에는 각각 계단부(4)가 형성되어 있다. 처리조(1)를 청정실 내에 설치할 때, 청정실 내의 발판을 구성하는 받침부재(5)(도 1에 쇄선으로 나타냄)에 상기 계단부(4)를 걸어맞춘다. 따라서, 처리조(1)를 상기 받침부재(5)에 안정된 상태로 설치할 수 있다.

상기 처리조(1)의 외면에는 보강 프레임(7)이 설치된다. 이 보강 프레임(7)은, 알루미늄 등의 경량의 금속에 의해 다각형 통 모양으로 형성된 4개의 지지 기 둥(8)을 가진다. 각 지지 기둥(8)은 상기 처리조(1)의 모서리에 배치되어 있다. 인접하는 모서리에 배치된 한 쌍의 지지 기둥(8)의 상부에는, 동일하게 알루미늄 등의 금속에 의해 다각형 통 모양으로 형성된 4개의 횡방향 부재(9)가 양단을 연결하여 형성되어 있다.

각 횡방향 부재(9)는, 각각 제1 및 제2 측판(1a, lb), 전방판(1c) 및 후방판(1d)의 상부 외면에 일면이 접촉되고, 그 일면이 도시되지 않은 나사에 의해 각 판에 연결 고정되어 있다. 따라서, 처리조(1)와 보강 프레임(7)은 일체화되어, 처리조(1)의 제1 및 제2 측판(1a, 1b), 전방판(1c) 및 후방판(1d)은 상기 보강 프레임(7)에 의해 보강되어 있다.

그리고, 상기 지지 기둥(8)은 하단이 상기 받침부재(5)에 장착되어 고정된다. 따라서, 보강 프레임(7)과 받침부재(5)가 일체화되어, 보강 프레임(7)의 강성이 높아지기 때문에, 보강 프레임(7)에 의한 처리조(1)의 보강 강도도 향상된다.

즉, 처리조(1)는, 이 처리조(1)를 구성하는 제1 및 제2 측판(1a, 1b), 전방판(1c), 후방판(1d) 및 바닥판(1e)을 두껍게 하지 않아도, 상기 보강 프레임(7)에 의해 강성을 갖는 것이 가능하도록 되어 있다.

상기 처리조(1)의 내주면의 상부에는, 다각형 통 모양의 부재를 직사각형 프레임 모양으로 배치한 흡입 덕트(11)가 설치되어 있다. 도 2는 흡입 덕트(11)를 실선으로 나타내고, 처리조(1)를 쇄선으로 나타내고 있다. 도 3은 처리조(1)를 전후방향에 대하여 직교하는 횡방향에 따른 단면도로서, 상기 흡입 덕트(11)는 보강 프레임(7)을 형성하는 횡방향 부재(9)보다 단면이 큰 다각형 통 모양을 이루고 있 다.

상기 흡입 덕트(11)는, 예를 들면 처리조(1)와 동일한 염화 비닐 등의 재료에 의해 형성되어 있고, 그 외주면이 제1 및 제2 측판(1a, 1b), 전방판(1c) 및 후방판(1d)의 내면에 접촉되어, 도시하지 않은 나사 등으로 고정되어 있다.

처리조(1)의 내주면의 상부에, 이 처리조(1)와 일체로 흡입 덕트(11)를 설치함으로써, 이 흡입 덕트(11)에 의해 처리조(1)는 보강된다. 이에 따라서도, 처리조(1)는 제1 및 제2 측판(1a, 1b), 전방판(1c) 및 후방판(1d)을 두껍게 하지 않아도, 강성을 가질 수 있다.

도 2에 나타내듯이, 상기 흡입 덕트(11)의 상기 전방판(1c) 및 상기 후방판(1d)에 대응하는 부분의 내면에는, 각각 한 쌍의 흡입구(12)가 소정 간격으로 형성되어 있다. 각 흡입구(12)는 슬라이드 밸브(13)에 의해 개방도가 설정될 수 있다.

상기 흡입 덕트(11)의 상기 후방판(1d)의 내면에 설치된 부분에는 외부로부터 배기 덕트(14)가 접속되어 있다. 이 배기 덕트(14)는 도시하지 않은 배기 팬에 접속되어 있다. 배기 팬이 작동하면, 상기 처리조(1) 내의 공기가 상기 흡입 덕트(11)에 형성된 흡입구(12)로부터 흡입되어 배기된다.

흡입 덕트(11)의 상기 전방판(1c) 및 상기 후방판(1d)에 대응하는 부분에는 각각 슬라이드 밸브(13)에 의해 개방도가 조정될 수 있는 한 쌍의 흡입구(12)가 처리조(1)의 횡방향으로 소정 간격으로 형성되어 있다. 따라서, 각 흡입구(12)의 개방도를 조정하면, 처리조(1) 내의 공기를, 이 처리조(1) 내의 전후 방향 및 횡방향으로부터 대략 균일하게 배기할 수 있다.

도 3과 도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 흡입 덕트(11)의 내면에는, 처리조(1)의 횡방향 중앙에 전후방향을 따라 단면이 U자 모양인 지지부재(15)가 설치되어 있다. 상기 처리조(1)의 제1 측판(1a) 및 제2 측판(1b)의 외면에 설치된 상기 보강 프레임(7)의 한 쌍의 횡방향 부재(9)의 상면에 덮개(16) 각각의 일단부가 경첩(17)에 의해 회동 가능하게 연결되어 있다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 각 덮개(16)의 다른 단부는 L자 모양으로 절곡된 걸어 맞춤부(18)로 형성되어 있고, 이 걸어 맞춤부(l8)는, 덮개(16)를 대략 수평으로 누이면, 상기 지지부재(15)에 걸어 맞추어져, 상기 처리조(1)의 상면 개구를 공기 밀폐되도록 폐쇄시킨다. 덮개(16)의 상면에는 손잡이(19)가 설치되어, 이 덮개(16)를 개폐할 때 이용된다.

덮개(16)는 보강 프레임(7)의 횡방향 부재(9)에 장착되어 있다. 따라서, 덮개(16)를 개폐할 때 발생하는 모우먼트는 상기 횡방향 부재(9)가 받기 때문에, 상기 모우먼트는 처리조(1)의 제1 및 제2 측판(1a, lb)에 가해지지 않아, 제1 및 제2 측판(1a, lb)을 두껍게 하지 않아도 된다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 상기 처리조(1) 내에는, 반송 롤러(21)가 축방향으로 소정 간격으로 설치된 반송축(22)이 처리조(1)의 전후방향을 따라 형성되어 있다. 이 반송축(22)은, 축선을 상기 반입구(2) 및 반출구(3)의 경사 각도에 대응하는 각도로 경사져 회전 가능하게 지지되어 있다. 각 반송축(22)은 도시하지 않은 구동 기구에 의해 회전 구동된다.

상기 반송축(22)을 회전 구동시키면, 상기 반입구(2)로부터 처리조(1) 내로 반입된 기판(W)은 상기 반송축(22)에 설치된 반송 롤러(2l)에 의해 처리조(1)의 전후방향에 대하여 경사져 반송되어, 상기 반출구(3)로부터 반출된다. 기판(W)은 처리조(1) 내에서 반송되는 동안에, 이 처리조(1) 내의 기판(W)의 상면 쪽에 설치된 도시되지 않은 샤워 노즐로부터 분사되는 처리액에 의해 처리된다.

이와 같이 구성된 처리 장치에 의하면, 처리조(1)는 단일체로서는 높은 강성을 얻을 수 없는 두께의 합성 수지로 된 판재에 의해 형성되지만, 이 처리조(1)는 보강 프레임(7)에 의해 보강되어 있다. 즉, 제1 및 제2 측판(1a, 1b), 전방판(1c) 및 후방판(1d)의 상부 외면에, 4개의 지지 기둥(8)에 의해 직사각형 프레임 모양으로 연결된 횡방향 부재(9)를 각각 고정하도록 했다.

따라서, 처리조(1)를 형성하는 판재를 두껍게 하지 않고도, 보강 프레임(7)에 의해 소정의 강성을 갖게 하는 것이 가능하므로, 처리조(1)의 중량이 무겁게 되지 않고, 제1 및 제2 측판(1a, 1b), 전방판(1c) 및 후방판(1d)의 강성을 높일 수 있다.

상기 보강 프레임(7)의 지지 기둥(8)과 횡방향 부재(9)는 알루미늄에 의해 다각형 통 모양으로 형성되어 있다. 따라서, 경량임에도 불구하고, 높은 강성을 갖고 있기 때문에, 중량을 무겁게 하지 않으면서, 처리조(1)의 강성을 높일 수 있다.

상기 보강 프레임(7)의 지지 기둥(8)을 처리 장치가 설치되는 발판의 받침부재(5)에 고정하였기 때문에, 이 받침부재(5)에 의해 보강 프레임(7)의 강성을 높일 수 있다. 보강 프레임(7)의 강성을 높일 수 있으므로, 이 보강 프레임(7)에 의한 처리조(1)의 보강도 확실하게 된다.

처리조(1)의 상부 개구를 개폐시키는 덮개(16)를 상기 보강 프레임(7)의 횡방향 부재(9)에 장착하도록 했다. 따라서, 덮개(16)를 개폐시킬 때 생기는 모멘트가 처리조(1)에 직접 가해지지 않기 때문에, 처리조(1)를 형성하는 판재를 얇게 하는 것이 가능해진다.

또한, 덮개(16)의 하중의 일부 또는 전부를 보강 프레임(7)으로 지지하도록 하고 있으므로, 처리조(1)에 덮개(16)의 하중이 가해지지 않는다. 따라서, 처리조(1)를 형성하는 판재를 얇게 할 수 있다.

처리조(1)의 상부의 내주면 전체에 흡입 덕트(11)를 상기 처리조(1)와 일체로 설치하였기 때문에, 이 흡입 덕트(11)에 의해서도 처리조(1)를 보강할 수 있으므로, 그에 따라서도 처리조(1)를 형성하는 판재를 얇게 하는 것이 가능해진다.

흡입 덕트(11)에는, 처리조(1)의 전방판(1c)과 후방판(1d)에 대응하는 부분에 각각 슬라이드 밸브(12)에 의해 개방도 조정이 가능한 한 쌍의 흡입구(12)가 형성되어, 처리조(1) 내의 공기를 흡입구(12)를 통해 배기 덕트(14)로 배출하도록 했다.

4개의 흡입구(12)는 처리조(1)의 전후 방향과 횡방향으로 나누어져 형성되어 있다. 따라서, 각 흡입구(12)의 개방도를 각각 설정함으로써, 처리조(1) 내의 공기를 전후 및 횡방향으로부터 균일하게 배출할 수 있다.

즉, 처리조(1) 내의 공기를 전체에 걸쳐서 균일하게 배출할 수 있기 때문에, 기판(W)을 처리액으로 처리했을 때 처리조(1) 내에 안개가 발생하여도, 그 안개를 처리조(1) 내에 체류시키지 않고 배출하는 것이 가능해진다. 따라서, 처리조(1) 내에서 처리된 기판(W)에 안개가 부착되어, 오염의 원인이 되는 것을 방지할 수 있다.

본 발명은 상기 일실시예에 한정되지 않고, 예를 들면 처리조를 형성하는 판재는 합성 수지에 한정되지 않으며, 내식성을 가지는 금속으로 형성된 판재이라도 된다. 또한, 보강 프레임은 4개의 지지 기둥과 횡방향 부재로 형성되어 있지만, 지지 기둥의 수는 5개 이상이라도 되고, 예를 들면 처리조(1)의 전방판과 후방판의 폭 방향 중앙부에 각각 지지 기둥을 설치하여, 6개로 해도 된다.

또, 상기 실시예에서는 덮개(16)의 일단부가 경첩(17)에 의해 회동 가능하게 연결되도록 했지만, 덮개의 일부 또는 전부를 보강 프레임으로 지지하는 구성이라도 된다

본 발명의 기판의 처리 장치에 의하면, 처리조를 형성하는 판재를 보강 프레임으로 보강하도록 하였기 때문에, 대형 처리조에서도, 판재를 두껍게 하여 중량이 무겁게 되지 않으면서, 강성을 높이는 것이 가능하다.

Claims

기판을 처리하기 위한 처리 장치에 있어서,

판재에 의해 상면이 개방된 상자 모양으로 형성되고, 한쪽 면에 상기 기판의 반입구, 다른 쪽 면에 반출구가 형성되어 있는 처리조,

상기 처리조의 상부의 외주면을 따라 일체로 설치되어, 상기 처리조를 형성하는 판재를 보강하는 보강 프레임, 및

상기 보강 프레임에 장착되어, 상기 처리조의 상면을 개폐시키는 덮개를 구비한 것을 특징으로 하는 기판의 처리 장치.
제1항에 있어서,

상기 처리조는 평면 형상이 직사각형이고, 상기 보강 프레임은, 상기 처리조의 외주면의 모서리에 설치되는 4개의 다각형 통 모양의 지지 기둥, 및 상기 처리조의 4개의 외면의 상부에 설치되며, 양쪽 단부가 각각의 모서리에 위치되는 상기 지지 기둥에 연결되어, 상기 처리조에 대응하는 직사각형 프레임 모양을 이룬 4개의 다각형 통 모양의 횡방향 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 처리 장치.
제1항에 있어서,

상기 처리조의 상부의 내주면에 전체 길이에 걸쳐서 흡입 덕트가 일체로 설 치되어 있고, 상기 흡입 덕트에 상기 처리조 내의 공기를 흡입하는 흡입구가 형성되어 있으며, 상기 흡입구로부터 흡입된 상기 처리조 내의 공기는 상기 흡입 덕트에 연결된 배기 덕트에 의해 배출되는 것을 특징으로 하는 기판의 처리 장치.
제3항에 있어서,

상기 흡입 덕트에는 복수개의 상기 흡입구가 형성되어 있고, 각각의 상기 흡입구는 개방도가 조정될 수 있는 것을 특징으로 하는 기판의 처리 장치.