KR20060020887A - 전자파 차폐 필름 및 이의 제조방법 - Google Patents

전자파 차폐 필름 및 이의 제조방법 Download PDF

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Abstract

휘도를 향상시킬 수 있는 전자파 차폐 필름, 이의 PDP 필터, 이를 포함하는 PDP 장치 및 이의 제조방법이 제공된다. 이 전자파 차폐 필름은, 투명기판과, 투명기판 상에 형성되고 투명기판을 향한 면이 흑화처리된 전자파 차폐막 패턴과, 전자파 차폐막 패턴 상에 형성된 흑색 도전막 패턴을 포함한다. 또한, 이 전자파 차폐 필름의 제조방법은, (a) 도전기판 상에 비도전막을 형성하는 단계와, (b) 비도전막을 패터닝하여 비도전막 패턴을 형성하는 단계와, (c) 비도전막 패턴에 의해 노출된 도전기판 상에 흑색 도전막 패턴을 형성하는 단계와, (d) 흑색 도전막 패턴 상에 전자파 차폐막 패턴을 형성하는 단계와, (e) 전자파 차폐막 패턴을 산화하여 흑화처리하는 단계와, (f) 일면에 점착제가 형성된 투명기판을 이용하여 흑색 도전막 패턴 및 전자파 차폐막 패턴을 도전기판으로부터 분리하는 단계를 포함한다.
PDP, 필터, 전자파 차폐막, 휘도

Description

전자파 차폐 필름, 이의 ＰＤＰ 필터, 이를 포함하는 ＰＤＰ 장치 및 이의 제조방법{Electromagnetic shielding film, PDP filter thereof, PDP apparatus having the same and fabrication method thereof}
도 1a 내지 도 1c는 종래 기술에 의한 전자파 차폐 필름의 제조방법을 순차적으로 나타낸 단면도들이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 PDP 장치를 나타내는 분해사시도이다.
도 3 내지 도 11b은 본 발명의 일 실시예에 의한 PDP 필터의 제조과정은 순차적으로 나타낸 단면도들이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
110: 케이스 120: 구동회로기판
130: 패널 어셈블리 140: PDP 필터
150: 커버 160: PDP 장치
200: 도전기판 210: 비도전막
212: 비도전막 패턴 220: 제1 시드층
230: 흑색 도전막 패턴 240: 제2 시드층
250: 전자파 차폐막 패턴 260: 투명기판
270: 점착제 300: 전자파 차폐 필름
본 발명은 전자파 차폐 필름, 이의 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma display panel, 이하 PDP) 필터(Filter), 이를 포함하는 PDP 장치 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 가시광선에 대한 반사율이 높은 전자파 차폐 필름에 대하여 사용자측뿐만 아니라 그 반대측에도 흑화처리를 하여 휘도를 개선하고 외관 품질을 향상시킬 수 있는 전자파 차폐 필름, 이 제조방법 및 이 필름을 이용한 PDP 필터 및 PDP 장치에 관한 것이다.
현대 사회가 고도로 정보화 되어감에 따라서 광일렉트로닉스 (Photoelectronics) 관련부품 및 기기가 현저하게 진보하고 보급되고 있다. 그 중에서, 화상을 표시하는 디스플레이장치는 텔레비전 장치용, 퍼스널컴퓨터의 모니터장치용 등으로서 현저하게 보급되고 있으며, 또한 이러한 디스플레이의 대형화와 동시에 박형화가 진행되고 있다.
일반적으로 PDP 장치는 기존의 디스플레이장치를 대표하는 CRT에 비해 대형화 및 박형화를 동시에 만족할 수 있어 차세대 디스플레이 장치로서 각광받고 있다. 이러한 PDP 장치는 가스방전현상을 이용하여 화상을 표시하는 것으로서, 표시용량, 휘도, 콘트라스트, 잔상, 시야각 등의 각종 표시능력이 우수하다. 그리고, PDP 장치는 다른 표시장치보다 대형화가 용이하고, 박형의 발광형 표시장치로써 향후 고품질 디지털 텔레비젼으로서 가장 적합한 특성을 갖추고 있는 것으로 평가되 고 있어 CRT를 대체할 수 있는 디스플레이 장치로 각광받고 있다.
PDP 장치는 전극에 인가되는 직류 또는 교류 전압에 의하여 전극 사이의 가스에서 방전이 발생하고, 여기에서 수반되는 자외선의 방사에 의하여 형광체를 여기시켜 발광하게 된다.
그러나, PDP 장치는 그 구동 특성상 전자파 및 근적외선의 방출량이 많고 형광체의 표면반사가 높을 뿐 아니라 봉입가스인 헬륨(He)이나 제논(Xe)에서 방출되는 오렌지 광으로 인해 색순도가 음극선관에 미치지 못하는 단점이 있다.
따라서, PDP 장치에서 발생되는 전자파 및 근적외선에 의해 인체에 유해한 영향을 미치고 무선 전화기나 리모콘 등의 정밀기기의 오동작을 유발할 수도 있다. 이러한 PDP 장치를 사용하기 위해서는, PDP 장치로부터 방출되는 전자파와 근적외선의 방출을 소정치 이하로 억제하는 것이 요구되고 있다. 이를 위해, 전자파 및 근적외선을 차폐하는 동시에 반사광을 감소시키고 색순도를 향상시키기 위해 전자파 차폐, 근적외선 차폐, 빛 표면 반사방지 및/또는 색순도 개선 등의 기능을 갖는 PDP 필터를 채용하고 있다.
따라서, PDP 장치는 가스방전현상이 일어나는 방전셀을 포함하는 패널 어셈블리와, 전자파 및 근적외선을 차폐하는 PDP 필터로 구성되어 있다.
또한, 이러한 PDP 필터는 패널 어셈블리의 전면부에 장착되기 때문에 투명성도 동시에 만족해야 한다.
한편, PDP 장치에 있어서 구동회로 및 교류 전류 전극에 흐르는 전류와, 플라즈마 방전을 위한 전극 사이게 걸리는 고전압은 전자파 발생의 주원인이 된다. 이때 발생하는 주된 전자파의 주파수 영역은 30 내지 200MHz이며, 이러한 전자파를 차폐하기 위한 전자파 차폐층으로서, 가시광선에 대한 고투과율 및 저반사율 특성을 유지하는 투명 도전막이나 도전성 메쉬가 주로 사용된다.
먼저, 도전성 메시로 구성된 전자파 차폐층의 경우, 전자파를 차폐하는 데는 튀어난 특성을 나타낸다. 그리고, ITO로 대표되는 투명 도전막으로 구성된 전자파 차폐층의 경우, 일반적으로 금속박막과 고굴절 투명박막이 교대로 코팅되는 다층박막 형태를 띄고 있다. 이때 금속박막으로는 은(Ag) 또는 은을 주성분으로 하는 합금이 주로 이용된다.
이하, 도 1a 내지 도 1c를 참조하여, 종래 기술에 의한 도전성 메쉬를 포함하는 전자파 차폐 필름의 제조방법을 설명한다. 도 1a 내지 도 1c는 종래 기술에 의한 전자파 차폐 필름의 제조방법을 순차적으로 나타낸 단면도들이다.
우선 도 1a에 도시된 바와 같이, 적절한 점도를 가지는 접착제(20)를 이용하여 금속박막(30)을 라이네이팅(Laminating)법에 의해 투명기판(10) 상에 접합한다. 여기서, 투명기판(10)은 일반적으로 PET(PolyEthylene Terephthalate) 필름을 사용한다.
도 1b에 도시된 바와 같이, 금속박막(30) 상에 포토레지스트를 도포한 후, 사진공정(노광 공정 및 현상 공정)을 통하여 포토레지스트를 패터닝(Patterning)하여 포토레지스트 패턴(40)을 형성한다.
도 1c를 참조하면, 포토레지스트 패턴(40)를 식각마스크로 하여 금속박막(30)을 식각하여 전자파 차폐막 패턴(32)을 형성한다. 식각마스크로 사용한 포토레 지스트 패턴(40)을 제거한 후, 투명기판(10) 상의 전자파 차폐막 패턴(32)을 흑화처리한다. 여기서, 전자파 차폐막 패턴(32)은 인체에 유해한 전자파를 차폐하는 역할을 한다. 전자파 차폐막 패턴(32)은 전자파 차폐율이 높은 금속박막을 사용하는 것이 일반적이다. 다만, 금속박막을 이용하여 전자파 차폐막 패턴(32)을 형성하는 경우, 금속박막이 일반적으로 가지는 특성인 높은 가시광선 반사율이 문제가 된다. 특히, 전자파 차폐막 패턴(32)으로 널리 사용되는 구리의 경우 가시광선에 대여 60% 이상의 반사율을 가지게 되는데, 이러한 전자파 차폐막 패턴(32)을 포함하는 PDP 필터를 PDP 장치에 장착하는 경우 휘도가 현저하게 떨어지게 된다. 따라서, 이러한 금속의 반사율을 줄이기 위해 전자파 차폐막 패턴(32)을 흑화처리한다.
도 1c를 참조하면, 종래 기술에 의한 전자파 차폐막 패턴(32)은 투명기판(10)과 마주보는 면을 제외한 3면이 흑화처리된다. 일반적으로 전자파 차폐막 패턴(32)의 흑화 처리된 부분이 사용자(또는 시청자) 쪽을 향하게 한다. 따라서, 사용자가 보는 쪽에서는 PDP 장치의 가시광선에 대한 반사율을 낮추는 효과가 있다.
하지만, 전자파 차폐막 패턴(32)의 패널 어셈블리 쪽은 흑화처리가 안되어 있기 때문에, PDP 장치의 고휘도화를 이루기 어려운 문제가 있다. 즉, PDP 장치의 패널 어셈블리에서 발생된 빛이 전자파 차폐막 패턴(32)에 의해 반사되어 다시 패널 어셈블리로 입사됨으로써 빛의 중첩이 발생한다. 그 결과, 휘도가 낮아지게 되어 PDP 장치의 화면 표시능력이 열악해지는 문제점이 있다.
또한, 전자파 차폐막 패턴을 구비한 PDP 필터에 대한 다른 종래기술로는 1997년 10월 16일자로 일본내 특허출원된 특개평 제11-119675호, '전자파 차폐판의 제조방법'을 예로 들 수 있다.
이 선행 특허에 따른 종래의 전자파 차폐판의 경우도 사용자가 보는 쪽만이 흑화처리된 1면 흑화처리된 전자파 차폐판의 구조를 가진다. 따라서, 도 1a 내지 도 1c에서 설명한 종래 기술과 마찬가지로, 패널 어셈블리에서 발생된 빛이 전자파 차폐판에 의해 반사되어 다시 패널 어셈블리로 입사되어 PDP 장치의 휘도의 성능이 저하되는 문제점을 가지고 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 전자파 차폐 필름의 구조를 개선하여 휘도를 향상시킬 수 있는 전자파 차폐 필름을 제공하고자 하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는, 이러한 전자파 차폐 필름을 이용한 PDP 필터를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제는, 이러한 전자파 차폐 필름을 이용한 PDP 장치를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제는, 이러한 전자파 차폐 필름의 제조방법을 제공하고자 하는 것이다.
본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 전자파 차폐 필름은, 투명기판과, 상기 투명기판 상에 형성되고, 상기 투명기판을 향한 면이 흑화처리된 전자파 차폐막 패턴과, 상기 전자파 차폐막 패턴 상에 형성된 흑색 도전막 패턴을 포함한다.
상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 PDP 필터는 이러한 전자파 차폐 필름을 포함한다.
상기 또 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 PDP 장치는 이러한 PDP 필터를 포함한다.
상기 또 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 전자파 차폐 필름의 제조방법은, (a) 도전기판 상에 비도전막을 형성하는 단계와, (b) 상기 비도전막을 패터닝하여 비도전막 패턴을 형성하는 단계와, (c) 상기 비도전막 패턴에 의해 노출된 상기 도전기판 상에 흑색 도전막 패턴을 형성하는 단계와, (d) 상기 흑색 도전막 패턴 상에 전자파 차폐막 패턴을 형성하는 단계와, (e) 상기 전자파 차폐막 패턴을 산화하여 흑화처리하는 단계와, (f) 일면에 점착제가 형성된 투명기판을 이용하여 상기 흑색 도전막 패턴 및 전자파 차폐막 패턴을 상기 도전기판으로부터 분리하는 단계를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태 로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 본 발명의 실시예를 도 2 내지 도 11b을 참조하여 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 PDP 장치를 나타내는 분해사시도이다. 본 발명의 일 실시예에 의한 PDP 장치(160)의 구조는 도 2에 도시된 바와 같이, 케이스(110)와, 케이스(110)의 상부를 덮는 커버(150)와, 케이스(110) 내에 수용되는 구동 회로 기판(120), 가스방전현상이 일어나는 방전셀을 포함하는 패널 어셈블리(Panel assembly)(130) 및 PDP 필터(140)로 구성된다. PDP 필터(140)는 투명기판 위에 도전성이 우수한 재료로 형성된 도전층이 구비되며, 이 도전층은 커버(150)를 통하여 케이스(110)로 접지된다. 즉, 패널 어셈블리(130)로부터 발생된 전자파가 사용자에게 도달하기 전에, 이를 PDP 필터(140)의 도전층을 통해서 커버(150)와 케이스(110)로 접지시키는 것이다.
이하, 이러한 PDP 필터에 사용되는 전자파를 차폐하는 전자파 차폐 필름의 제조방법을 설명한다.
도 3 내지 도 11b은 본 발명의 일 실시예에 의한 PDP 필터의 제조과정은 순차적으로 나타낸 단면도들이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 도전기판(200) 상에 비도전막(210)을 형성한다.
여기서, 도전기판(200)은 후속하는 전해도금 공정에서 전류가 흐르는 전극 역할을 한다. 예를 들어, 도전기판(200)으로는 스테인리스 재질(SUS 304 혹은 SUS 430 재질), 니켈 기판 또는 구리 기판 등을 사용할 수 있다. 도전기판(200)은 쉬트형태(Sheet type) 이거나 PDP 필터의 제조공정의 연속성을 고려하여 후프형태(Hoop type)로 사용할 수 있다.
이러한 도전기판(200)은 전기가 흐를 수 있으면 그 기능을 만족하게 되므로, 도전기판(200)을 얇게 제작할 수 있다. 따라서, 도전기판(200)의 두께가 100 ~ 200 ㎛ 정도일 경우, 이러한 도전기판(200)의 강도를 보강하기 위해 도전기판(200)의 일면에 보조기판(미도시)를 접합할 수 있다. 여기서, 도전기판(200)과 보조기판은 적절한 점도를 가지는 접착제를 이용하여 라미네이팅(Laminating)법으로 접합할 수 있다. 그리고, 본 발명의 일 실시예에서 보조기판(미도시)이란, 적당한 내열성을 가지는 동시에 도전기판의 형태를 유지해 줄 수 있는 유리기판이나 기타 고분자 기판 등이 사용될 수 있다.
이러한 도전기판(200)에 대하여 알칼리 세정을 실시한다. 알칼리 세정액으로는, 예를들어, 약 20% 정도 희석된 KOH 용액을 사용할 수 있다. 알칼리 세정은 도전기판(200)에 잔류하는 유기물을 제거하기 위하여 수행하는 것이다. 알칼리 세정이 끝난 도전기판(200)은 수세조에서 약 1~2분간 수세정을 실시한다. 그 후 도전기판(200)에 대하여 산 세정을 실시한다. 산 세정액은 약 10% 정도로 희석된 황산 용액을 사용할 수 있다. 산세정이 끝난 도전기판(200)은 수세조에서 수세정을 실시한 후, 압축 공기로 건조시킨 후 자연건조한다.
그리고, 이러한 도전기판(200) 상에 비도전막(210)을 형성한다.
여기서, 비도전막(210)으로는, 후속하는 전자파 차폐막 패턴을 형성하기 위한 전해도금 공정(도 5 내지 도 8 참조)에서 도전기판(200)에 흐르는 전류를 방해하여 도전기판(200) 상에 도금되는 것을 방지하는 역할을 할 수 있는 절연물질이면 그 적용이 가능하다. 비도전막(210)과 도전기판(200)과의 접착력 및 비도전막(210)에 대한 패터닝(Patterning)의 편리성 등을 고려하여, 비도전막(210)으로는 포토레지스트(Photo resist) 등을 사용하는 것이 바람직하다. 비도전막(210)은 무전해도금법(Electroless plating), 스퍼터링(Sputtering), 진공증착법(Evaporation), 스핀코팅법(Spin-coating), 롤코팅법(Roll-coating), 슬릿다이법(Slit-die or slot die) 등으로 형성할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 있어서 비도전막(210)으로 포토레지스트를 사용하는 경우 비도전막(210)은 스핀코팅법(Spin-coating), 롤코팅법(Roll-coating), 슬릿다이법(Slit-die or slot die)에 의해 형성될 수 있으며, 기판의 대형화를 감안하면 롤 코팅법이나 슬릿 다이법을 사용하는 것이 더욱 바람직하다. 여기서, 슬릿 다이법는 다이 끝단과 도전기판의 갭(gap)을 일정한 간격으로 유지한 상태에서 도포 다이가 정속으로 주행하면서 공급된 도포액을 슬릿 다이를 이용하여 기판위에 일정한 양을 균일하게 도포해 주는 방식이다.
포토레지스트는 파지티브(Positive) 포토레지스트 또는 네가티브(Negative) 포토레지스트를 사용할 수 있고, 포토레지스트의 도포두께는 포토레지스트의 특성에 따라 변할 수 있다. 포토레지스트가 형성된 후에는 솔벤트(Solvent) 성분을 제거하기 위해 포토레지스트를 핫 플레이트(Hot plate)에서 소프트 베이크(Soft bake)를 수행하여 경화한다. 경화된 포토레지스트는 UV와 패턴이 형성되어 있는 마 스크(Mask)를 이용하여 선택적으로 노광 공정을 수행하고, UV가 조사된 영역과 조사되지 않은 영역을 구별하기 위하여 핫 플레이트에서 하드 베이크(Hard bake)를 수행하여 열경화한다. 최종적으로 형성된 비도전막(210)은 3∼15 ㎛의 두께로 형성할 수 있고, 바람직하게는 15 ㎛ 이하의 두께로 형성할 수 있다.
도 4a를 참조하면, 비도전막(210)을 도전기판(200) 상에 형성한 후 사진공정(노광/현상)을 거쳐서 비도전막(210)을 패터닝하여 비도전막 패턴(212)을 형성한다.
도 4b는 본 발명의 일 실시예에 의한 비도전막 패턴을 나타낸 사시도이다. 도 4b의 비도전막 패턴(212)은 메쉬타입의 전자파 차폐막 패턴을 형성하기 위한 형상이다. 비도전막 패턴(212)은 전자파 차폐막 패턴을 형성하기 위한 전해도금공정(도 5 내지 도 8 참조)에서 전자파 차폐막 패턴을 형성하기 위한 몰드(Mold)로 사용된다. 따라서, 비도전막 패턴(212)의 형상은 전자파 차폐막 패턴의 형상에 따라 변할 수 있다. 예를 들어, 메쉬타입(Mesh type), 라인타입(Line type) 등의 전자파 차폐막 패턴의 형상에 따라 비도전막 패턴(212)의 형상도 변화할 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 비도전막 패턴(212)에 의해 노출된 도전기판(200) 상에 제1 시드층(Seed layer)(220)를 형성한다. 여기서, 제1 시드층(220)은 후속 공정에서 형성되는 흑색 도전막 패턴과 도전기판(200)과의 접촉력을 향상시키는 역할을 한다(도 6 참조). 제1 시드층(220)으로는 니켈, 크롬, 철, 구리 등의 금속 물질과, 산화 인듐, 산화 크롬, 산화 주석, 산화 은, 산화 코발트, 산화 수은, 산화 이리듐 등의 산화 계열의 금속 물질과, 황화 크롬, 황화 팔라듐, 황화 니켈, 유화 동, 황화 코발트, 유화 철, 황화 탄탈, 황화 티탄 등의 금속 유화물을 사용할 수 있다. 후속하는 흑색 도전막 패턴과의 접촉력 및 도전성을 고려하여, 본 발명의 일 실시예에서는 제1 시드층(220)으로 니켈 금속을 사용할 수 있다. 이러한 제1 시드층(220)은 순수, 염화니켈 및 염산을 포함하는 도금액을 이용하여 전해도금에 의해 형성할 수 있다. 제1 시드층(220)은 약 500 Å 이하의 두께로 바람직하게는 약 100 Å 이하의 두께로 형성할 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 비도전막 패턴(212) 사이에 형성된 제1 시드층(220) 상에 흑색 도전막 패턴(230)을 형성한다. 여기서, 흑색 도전막 패턴(230)은 가시광선의 전자파 차폐 필름에 대한 반사율을 낮추는 역할뿐만 아니라, 도전성 물질로 이루어져 있기 때문에 전자파를 차폐하는 역할을 할 수도 있다. 흑색 도전막 패턴(230)으로는, 니켈, 코발트, 크롬 등 계열의 금속을 사용할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서는 공정의 편의성, 흑화처리의 효과, 전자파 차폐 기능 등을 고려하여, 흑색 도전막 패턴(230)으로 흑색 니켈을 사용하는 것이 바람직하다.
본 발명의 일 실시예에 의한 흑색 도전막 패턴(230) 중 흑색 니켈을 형성하기 위해서 전해도금법을 사용할 수 있다. 이러한 전해도금에 사용되는 도금액으로는, 황산 니켈, 황산니켈암모늄, 황산아연, 티오시안산나트륨 등을 혼합한 혼합액을 사용할 수 있다. 이 경우 도금액은 pH를 5.6에서 5.9로 유지하는 것이 바람직하다. 흑색 니켈은 상온에서뿐만 아니라 약 50 ~ 55℃ 사이의 고온에서도 도금을 수행할 수 있다. 이러한 도금액으로부터의 석출물인 흑색 니켈은 흑색을 나타내며, 니켈과 아연과의 합금에 다량의 유황을 함유시킨 유화니켈의 혼합물질로 구성될 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 의한 흑색 니켈은 무전해도금법에 의해서 형성될 수 있다. 이러한 무전해 도금액으로는 염화 니켈과 Ni-P, Ni-B 등의 혼합제를 섞은 도금액을 사용할 수 있다. 일반적으로, 무전해도금에 비하여 전해도금이 반응속도가 빠르기 때문에, 전해도금에 의해 흑색 니켈을 형성하는 것이 더욱 바람직하다.
본 발명의 일 실시예에서 제1 시드층(220)은 흑색 도전막 패턴(230)을 전해도금하기 위해 미리 형성하는 층으로 사용될 수 있을 뿐만 아니라, 도전기판(200)과 흑색 도전막 패턴(230)의 결합력을 높이는 역할을 할 수 있다. 따라서, 도전기판(200)을 이루는 물질과 흑색 도전막 패턴(230)을 이루는 물질이 전해도금에 의해서 일정한 결합력을 가질 수 있다면 제1 시드층(220)을 형성하지 않고 직접 도전기판(200) 상에 흑색 도전막 패턴(230)을 형성할 수도 있다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 도전기판(200)으로 SUS 304를 사용하고 흑색 도전막 패턴(230)으로 흑색 니켈을 사용하는 경우, SUS 304와 흑색 니켈은 결합력이 약하기 때문에 제1 시드층(220)을 이용하는 것이 바람직하다.
그 후, 도 7에 도시된 바와 같이, 비도전막 패턴(212) 사이에 형성된 흑색 도전막 패턴(230) 상에 제2 시드층(240)를 형성한다. 여기서, 제2 시드층(240)은 후속 공정에서 형성되는 전자파 차폐막 패턴과 도전기판(200) 또는 흑색 도전막 패턴(230)과의 접촉력을 향상시키는 역할을 한다(도 8 참조). 제2 시드층(240)으로는 니켈, 크롬, 철, 구리 등의 금속 물질과, 산화 인듐, 산화 크롬, 산화 주석, 산화 은, 산화 코발트, 산화 수은, 산화 이리듐 등의 산화 계열의 금속 물질과, 황화 크롬, 황화 팔라듐, 황화 니켈, 유화 동, 황화 코발트, 유화 철, 황화 탄탈, 황화 티탄 등의 금속 유화물을 사용할 수 있다. 후속하는 전자파 차폐막 패턴과의 접촉력 및 도전성을 고려하여, 본 발명의 일 실시예에서는 제2 시드층(240)으로 니켈 금속을 사용할 수 있다. 이러한 제2 시드층(240)은 순수, 염화니켈 및 염산을 포함하는 도금액을 이용하여 전해도금에 의해 형성할 수 있다. 제2 시드층(240)은 약 500 Å 이하의 두께로 바람직하게는 약 100 Å 이하의 두께로 형성할 수 있다.
도 8에 도시된 바와 같이 도전기판(200)에 전기를 흐르게 하여 전해도금에 의해 전자파 차폐막 패턴(250)을 형성한다. 전자파 차폐막 패턴(250)은 제2 시드층(240)에 의해 비도전막 패턴(212)이 형성되지 않은 도전기판(200)에 형성될 수 있다. 따라서, 비도전막 패턴(212)에 의해 형성된 패턴 모양과 동일한 전자파 차폐막 패턴(250)을 형성할 수 있다. 여기서 전자파 차폐막 패턴(250)으로는 전자파를 차폐할 수 있는 도전성 물질을 사용할 수 있다. 예를 들어, 전자파 차폐막 패턴(250)으로는 구리, 크롬, 니켈, 은, 몰리브덴, 텅스텐, 알루미늄, 철 등 전기전도성이 우수하고 가공성이 있는 금속이면 모두 사용 가능하다. 그 중 가격, 전기전도성, 가공성 면에서 구리와 니켈이 바람직하다. 더욱 바람직하게는 구리를 사용할 수 있다. 이 때 전자파 차폐막 패턴(250)의 균일한 패턴 모양을 형성하기 위해 전자파 차폐막 패턴(250)의 두께는 주위에 형성된 비도전막 패턴(212)의 두께보다 작은 것이 바람직하다. 이러한 전자파 차폐막 패턴(250)의 두께는 0.5~40㎛가 바람직하고, 보다 바람직한 것은 3~10㎛이다. 이보다 얇은 것은 전자파 차폐능력이 떨어질 수 있고 이 보다 두꺼운 경우 제조 시간이 길어질 수 있다. 패널 어셈블리(130)로부터 발생하는 전자파를 전부 흡수하기 위해서는, 도전성 전자파 차폐막 패턴(250)이 소정치 이상의 두께를 필요하지만, 도전성 금속박막의 두께가 두꺼워질수록 가시광선투과율이 낮아지므로 이를 감안하여 적절한 두께로 형성하는 것이 바람직하다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 전자파 차폐막 패턴(250)으로서 구리를 사용하는 경우, 황산구리, 황산, 염화나트륨 등을 혼합한 도금액을 사용할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서 제2 시드층(240)은 전자파 차폐막 패턴(250)을 전해도금하기 위해 미리 형성하는 층으로 사용될 수 있을 뿐만 아니라, 흑색 도전막 패턴(230)과 전자파 차폐막 패턴(250)의 결합력을 높이는 역할을 할 수 있다. 따라서, 흑색 도전막 패턴(230)을 이루는 물질과 전자파 차폐막 패턴(250)을 이루는 물질이 전해도금에 의해서 일정한 결합력을 가질 수 있다면 제2 시드층(240)을 형성하지 않고 직접 흑색 도전막 패턴(230) 상에 전자파 차폐막 패턴(250)을 형성할 수도 있다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 흑색 도전막 패턴(230)으로 흑색 니켈을 사용하고 전자파 차폐막 패턴(250)으로 Cu를 사용하는 경우, 흑색 니켈과 Cu는 결합력이 약하기 때문에 제2 시드층(240)을 이용하는 것이 바람직하다.
이 후, 도전기판(200) 상에 잔류하는 도금액을 완전히 제거하기 위해 순수를 이용하여 도전기판(200) 상의 결과물을 충분히 세정한다. 그리고, 도 9에 도시된 바와 같이, 비도전막 패턴(212)을 제거한다. 비도전막 패턴(212)을 제거하기 위해, 습식 식각 또는 건식 식각을 사용할 수 있으나, 비도전막 패턴(212)과 전자파 차폐막 패턴(250)에 대하여 선택비가 높은 식각방법을 사용하는 것이 바람직하다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 비도전막 패턴(212)으로 포토레지스트를 사용하고 전자파 차폐막 패턴(250)으로 도전성 물질을 사용하는 경우, 통상적인 포토레지스트 스트립(Stripe) 공정 등을 통하여 비도전막 패턴(212)을 제거할 수 있다.
이와 같은 도 3 내지 도 9의 공정을 거치게 되면, 도전기판(200) 위에 제1 시드층(220), 흑색 도전막 패턴(230), 제2 시드층(240) 및 전자파 차폐막 패턴(250)이 순차적으로 형성된다. 도전기판(200) 위에 형성된 전자파 차폐막 패턴(250)에 대하여 흑화(黑化) 처리를 실시하는 것이 바람직하다. 흑화처리는 전자파 차폐막 패턴(250)의 표면반사를 방지하는 역할을 한다. 이와 같이, 전자파 차폐막 패턴(250)에 대하여 흑화처리를 하면, 전자파 차폐막 패턴(250) 중 도전기판(200)을 향한 면을 제외하고 측벽을 포함하여 3면이 흑화처리된다. 전자파 차폐막 패턴(250)에서 도전기판(200)을 향한 면에는 흑색 도전막 패턴(230)이 위치하여 있으므로, 결과적으로 전자파 차폐막 패턴(250)에 대하여 4면이 모두 흑화처리되는 것으로 볼 수 있다. 이상에서는 비도전막 패턴(212)을 도전기판(200)으로부터 제거한 후 전자파 차폐막 패턴(250)을 흑화처리하는 경우를 설명하였다. 다만, 본 발명에 있어서 흑화처리는 이에 한정되지 않으며, 도전기판(200) 상에 비도전막 패턴(212)을 제거하지 아니한 상태에서 전자파 차폐막 패턴(250)을 흑화처리한 후 비도전막 패턴(212)을 제거할 수도 있다. 이 경우에는 전자파 차폐막 패턴(250)의 측벽은 흑화처리가 되지 않으므로, 결과적으로 전자파 차폐막 패턴(250)에서 사용자측을 향한 면과 패널 어셈블리를 향한 면에 대하여 2면이 흑화처리되는 것으로 볼 수 있다. 본 발명은 가시광선에 대한 반사율이 낮은 전자파 차폐 필름을 형성하는 것을 목적으로 한다. 이를 위해서는 적어도 전자파 차폐 필름의 사용자측을 향한 면과 패널 어셈블리를 향한 면을 흑화처리하는 것이 필요하다. 본 발명의 실시예들에 있어서, 4면 흑화처리 또는 2면 흑화처리는 모두 본 발명의 목적을 달성하기에 적합하다.
이하 설명의 편의를 위해 구리를 포함하는 전자파 차폐막 패턴(250)을 사용하는 경우의 흑화처리에 대하여 설명한다. 물론, 전자파 차폐막 패턴(250)을 구성하는 물질에 따라 흑화처리방법이 바뀔 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 흑화처리는 구리의 표면을 산화시켜 Cu2O 혹은 CuO로 산화시키는 공정이다. 흑화처리의 목적은 크게 두가지로 나눌 수 있다. 첫째, 전자파 차폐막 패턴(250)의 비활성 표면에 산화층을 제공하는 것이다. 구리 표면은 높은 온도에서 대기 및 기타의 구성 요소와 쉽게 반응하여 물을 생성하거나 부식되거나 약한 경계층을 형성하여, 밀착력이 저하되는 문제가 발생한다. 이때 경계층에 잔재한 수분으로 인하여 전자파 차폐막 패턴(250)이 디라미네이션(delamination)된다. 이 경우 흑화처리에 의해 형성되는 산화층은 이러한 수분의 형성이나 부식을 방지하는 역할을 한다. 둘째, 구리가 가지는 가시광선에 대한 반사율을 낮추는 것이다. 구리는 통상 가시광선 영역에서 60% 이상의 반사율을 가지므로 외부 광원에 의해 반사 현상에 의해 시청자 측면에서 눈부심이 발생하거나 휘도가 감소하게 되므로, 전자파 차폐막 패턴(250)을 흑색으로 처리하여 외부광이 반사하지 않고 흡수되도록 한다. 본 발명의 일 실시예에 의한, 흑화처리액은 Cu Black No.444™(한국, 주암도연사 제품)의 원액을 사용한다.
도 10에 도시된 바와 같이, 흑색 도전막 패턴(230)이 형성된 전자파 차폐막 패턴(250)을 도전기판(200)으로부터 분리하기 위한 투명기판(260)를 준비한다.
투명기판(260)의 일면에는 점착제(270)가 형성되어 있어서 이러한 점착제(270)가 형성된 투명기판(260)를 이용하여 흑색 도전막 패턴(230)이 형성된 전자파 차폐막 패턴(250)을 도전기판(200)으로부터 분리한다. 따라서, 도전기판(200) 상에 형성된 전자파 차폐막 패턴(250)은 투명기판(260)에 전사되어 접합하게 된다. 전해도금법에 의해 도전기판(200) 상에 형성된 전자파 차폐막 패턴(250)과 도전기판(200)과의 결합력이 투명기판(260)에 형성된 점착제(270)와의 결합력보다 일반적으로 작기 때문에, 흑색 도전막 패턴(230)이 형성된 전자파 차폐막 패턴(250)을 도전기판(200)으로부터 쉽게 분리할 수 있다.
여기서, 투명기판(250)으로는 일반적으로 두께가 100 내지 200 μm인 강화 또는 반강화 유리 또는 아크릴 같은 투명 플라스틱 재료를 사용하여 제조한다. 유리는 비중이 2.6으로 필터 제조시 경량화가 어렵고 두께가 두꺼워 플라즈마 디스플레이 패널 세트에 장착시 세트의 전체의 무게가 증가한다는 단점이 있으나 비산성 향상에 많은 역할을 한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 투명기판(250)으로는, 유리, 석영 등의 무기화합물성형물과 투명한 유기고분자성형물을 들 수 있으나, 유기고분자성형물은 가볍고 잘 깨지지 않기 때문에 보다 바람직하게 사용할 수 있다.
투명기판(250)으로는 아크릴이나 폴리카보네이트가 일반적으로 사용되지만 본 발명은 이러한 실시예들에 한정되는 것은 아니다. 투명기판(250)은 고투명성과 내열성을 갖는 것이 바람직하며 고분자성형물 및 고분자성형물의 적층체를 투명기판(250)으로 사용할 수 있다. 투명기판(250)의 투명성에 관해서는 가시광선 투과율이 80% 이상인 것이 유리하며, 내열성에 관해서는 유리전이온도가 60℃ 이상인 것이 바람직하다. 고분자성형물은 가시파장영역에 있어서 투명하면 되고, 그 종류를 구체적으로 들면, 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리술폰(PS), 폴리에테르술폰(PES), 폴리스티렌, 폴리에틸렌 나프탈레이트, 폴리아릴레이트, 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리카보네이트(PC), 폴리프로필렌(PP), 폴리이미드, 트리아세틸셀룰로오스(TAC), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA) 등을 들 수 있으나, 이들에 한정되는 것은 아니다. 그 중 가격, 내열성, 투명성 면에서 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET)가 바람직하다.
따라서, 도 11a에 도시된 바와 같이, 결과적으로 투명기판(260) 상에 흑화처리된 전자파 차폐막 패턴(250)과 흑색 도전막 패턴(230)이 형성된 전자파 차폐 필름(300)이 완성된다. 이상에서 설명한 제조 방법에 의해 완성된 전자파 차폐 필름(300)의 구조를 살펴보면 다음과 같다. 전자파 차폐 필름은, 투명기판(260), 투명기판(260)의 일면에 형성된 점착제(270), 흑화처리된 전자파 차폐막 패턴(250), 제2 시드층(240), 흑색 도전막 패턴(230) 및 제1 시드층(220)이 순서대로 적층된 구조를 가진다. 여기서, 최외각에 위치한 제1 시드층(220)은 바람직하게 약 100 Å 이하의 두께로 매우 얇게 형성하므로, 후속하는 세정공정 등으로부터 전자파 차폐 필름(300)으로부터 제거될 수 있다. 따라서, 최종 전자파 차폐 필름(300)의 구조에 서 제1 시드층(220)은 부분적으로 제거되거나 완전히 제거될 수 있다. 도 11b는 도 11a의 전자파 차폐 필름(300)을 나타낸 사시도이다.
이와 같은 전자파 차폐 필름(300)에 색보정막, 근적외선 차폐막 및 반사방지막 등을 결합함으로써 PDP 필터(140)가 완성된다.
여기서, PDP 필터(140)는 전자파 차폐 필름(300), 색보정막, 근적외선 차폐막 및 반사방지막이 순서에 상관없이 적층되어 형성된다. 이하, 본 발명의 일 실시예에서는 네온광 차폐기능, 근적외선 차폐기능, 반사방지기능에 대응하는 층들이 각각 별개의 것으로서 분리하여 설명하지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 각 기능을 조합한 하나 또는 그 이상의 층으로 구성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의한 PDP 필터(140)는, 투명기판(260)의 일면에 전자파 차폐막 패턴(250)이 형성된 전자파 차폐 필름(300)과, 투명기판(260)의 타면에 형성된 색보정막, 근적외선 차폐막 및 반사방지막으로 구성된다.
일반적으로 패널 어셈블리(130) 내의 플라즈마로부터 발생하는 빨간색의 가시광선이 오렌지색으로 나타나는 경향이 있다. 색보정막은 이러한 오렌지색을 빨간색으로 색보정하는 역할을 한다. 패널 어셈블리(130) 내의 플라즈마로부터 발생하는 가시광선에 대해 근적외선 차폐막을 거치고 색보정막에서 색보정하는 것보다 색보정막에서 먼저 색보정하는 것이 더 유리하다. 따라서, 바람직하게는 색보정막을 패널 어셈블리(130)에 가까운 쪽으로 배치하는 것이 더 효율적이다. 본 발명의 일 실시예에서는 근적외선 차폐막과 색보정막을 분리하여 설명하였지만, 근적외선 차폐 기능과 네온광 차폐 기능을 모두 가지고 있는 하이브리드 필름(Hybrid film) 타 입을 사용할 수도 있다.
색보정막은 디스플레이의 색재현 범위를 증가시키고, 화면의 선명도를 향상시키기 위해서 불필요하게 방출되는 580~600㎚ 영역의 오렌지광을 흡수하기 위해서 선택 흡수성을 갖는 색소를 사용한다. 이러한 색소로는 염료 혹은 안료를 사용할 수 있다. 색소의 종류는 안트라퀴논계, 시아닌계, 아조계, 스트릴계, 프탈로시아닌계, 메틴계 등의 네온광 차폐기능을 가진 유기색소가 있으며, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니다. 색소의 종류와 농도는 색소의 흡수파장, 흡수계수, 디스플레이에서 요구되는 투과 특성에 의해서 결정되는 것이므로, 특정 수치로 한정되어 사용되지 않는다.
근적외선 차폐막은 패널 어셈블리(130)로부터 발생하여 무선전화기나 리모콘 등의 전자기기의 오동작을 일으키는 강력한 근적외선을 차폐하는 역할을 한다. 근적외선 차폐막은 패널 어셈블리에서 방출되는 근적외선을 차폐하기 위해 근적외선 영역의 파장을 흡수하는 근적외선흡수색소를 함유한 고분자 수지를 사용할 수 있다. 예를 들면, 근적외선흡수색소로서, 시아닌계, 안트라퀴논계, 나프토퀴논계, 프탈로시아닌계, 나프탈로시아닌계, 디이모늄계, 니켈디티올계 등 다양한 성분의 유기염료를 사용할 수 있다. PDP 장치(160)는 넓은 파장영역에 걸쳐서 강력한 근적외선을 발하기 때문에, 넓은 파장영역에 걸쳐서 근적외선을 흡수할 수 있는 근적외선 차폐막을 사용할 필요가 있다.
본 발명의 일 실시예에 의한 반사방지막은 색보정막 및 근적외선 차폐막의 상부에 형성하지만, 본 발명은 이러한 적층 순서에 한정되는 것은 아니다. 바람직 하게는 반사방지막은 PDP 필터(140)가 PDP 장치(160)에 장착되었을 때에 사용자 쪽이 되는 면, 즉 패널 어셈블리(130) 쪽과는 반대쪽 면에 형성되는 것이 효율적이다. 이러한 반사방지막은 외부광의 반사를 줄여서 시인성을 좋게 할 수 있다.
물론, 반사방지막을 PDP 필터(140)의 주면 중 패널 어셈블리(130) 쪽이 되는 면에도 형성함으로써 PDP 필터(140)의 외광반사를 더욱 줄일 수 있다. 또한, 반사방지막을 형성하여 PDP 필터(140)의 외광반사를 줄임으로써, 패널 어셈블리(130)로부터의 가시광선 투과율을 향상시킬 수 있다. 이러한 반사방지막을 형성하기 위해 기재에 반사방지 기능을 가진 막을 도포, 인쇄, 또는 종래 공지의 각종 막형성법에 의해 형성할 수 있다. 또한, 반사방지 기능을 가진 막이 형성되 투명성형물 또는 반사방지 기능을 가진 투명성형물을 임의의 투명한 점착제 또는 접착제를 개재해서 붙임으로써 형성할 수 있다.
반사방지막으로서 구체적으로는, 가시영역에 있어서 굴절률이 1.5이하, 바람직하게는 1.4이하로 낮은, 불소계투명고분자수지나 불화마그네슘, 실리콘계수지나 산화규소의 박막 등을 예를 들면 1/4파장의 광학막두께에 의해서 단일층 형성한 것을 사용할 수 있다. 그리고, 반사방지막으로서 굴절률이 다른, 금속산화물, 불화물, 규화물, 붕화물, 탄화물, 질화물, 황화물 등의 무기화합물 또는 실리콘계수지나 아크릴수지, 불소계수지 등의 유기화합물의 박막을 2층이상 다층적층한 것을 사용할 수 있다.
여기서, 반사방지막을 단일층으로 형성한 것은 제조가 용이하지만, 다층적층에 비해 반사방지능이 낮다. 다층적층한 것은 넓은 파장영역에 걸쳐서 반사방지능 을 가진다. 이와 같은 무기화합물 박막은 스퍼터링, 이온플레이팅, 이온빔어시스트, 진공증착, 습식코팅 등 종래 공지의 방법에 의해 형성할 수 있고, 유기화합물 박막은 습식코팅 등 종래 공지의 방법에 의해 형성할 수 있다.
예를 들어, 본 발명의 일 실시예에 의한 반사방지막은 SiO2와 같은 저굴절률 산화막과 TiO2 또는 Nb2O5와 같은 고굴절률 산화막을 교대로 적층한 구조를 사용할 수도 있다. 이러한 산화막들은 스퍼터링 또는 습식코팅을 이용하여 형성할 수 있다.
본 발명의 각 층 또는 막을 맞붙일 때에는, 투명한 점착제 또는 접착제를 사용할 수 있다. 구체적인 재료로서, 아크릴계접착제, 실리콘계접착제, 우레탄계 접착제, 폴리비닐부티랄 접착제(PMB), 에틸렌-아세트산비닐계 접착제(EVA), 폴리비닐에테르, 포화무정형 폴리에스테르, 멜라민수지 등을 들 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
상기한 바와 같은 본 발명의 전자파 차폐 필름, 이의 PDP 필터, 이를 포함하는 PDP 장치 및 이의 제조방법에 의하면, 가시광선에 대한 반사율이 높은 전자파 차폐 필름에 대하여 사용자측뿐만 아니라 그 반대측에도 흑화처리를 하여 휘도를 개선하고 외관 품질을 향상시킬 수 있다. 즉, 전자파 차폐 필름을 구성하는 전자파 차폐막 패턴의 주면을 흑화처리하여 2면 또는 4면이 흑화처리된 전자파 차폐 필름에 의하여 PDP 장치의 휘도 성능을 향상시킬 수 있다.

Claims (14)

  1. 투명기판;
    상기 투명기판 상에 형성되고, 상기 투명기판을 향한 면이 흑화처리된 전자파 차폐막 패턴; 및
    상기 전자파 차폐막 패턴 상에 형성된 흑색 도전막 패턴을 포함하는 전자파 차폐 필름.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 흑색 도전막 패턴은 흑색 니켈을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자파 차폐 필름.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 전자파 차폐막 패턴은 구리를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자파 차폐 필름.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 전자파 차폐막 패턴과 상기 흑색 도전막 패턴 사이에 형성된 제1 시드층을 더 포함하고,
    상기 흑색 도전막 패턴 상에 형성된 제2 시드층을 더 포함하는 전자파 차폐 필름.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 제1 시드층 및 상기 제2 시드층은 니켈로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 전자파 차폐 필름.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 전자파 차폐막 패턴은 상기 투명기판을 향한 면과 측벽이 흑화처리된 것을 특징으로 하는 전자파 차폐 필름.
  7. 제1 항 내지 제6 항 중 어느 한 항의 전자파 차폐 필름을 포함하는 PDP 필터.
  8. 제7 항의 PDP 필터를 포함하는 PDP 장치.
  9. (a) 도전기판 상에 비도전막을 형성하는 단계;
    (b) 상기 비도전막을 패터닝하여 비도전막 패턴을 형성하는 단계;
    (c) 상기 비도전막 패턴에 의해 노출된 상기 도전기판 상에 흑색 도전막 패턴을 형성하는 단계;
    (d) 상기 흑색 도전막 패턴 상에 전자파 차폐막 패턴을 형성하는 단계;
    (e) 상기 전자파 차폐막 패턴을 산화하여 흑화처리하는 단계; 및
    (f) 일면에 점착제가 형성된 투명기판을 이용하여 상기 흑색 도전막 패턴 및 전자파 차폐막 패턴을 상기 도전기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 전자파 차폐 필름의 제조 방법.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 (c) 단계는 흑색 니켈 전해도금법으로 상기 흑색 도전막 패턴을 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 전자파 차폐 필름의 제조 방법.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 흑색 니켈 전해도금법은 황산니켈, 황산니켈암모늄, 황산아연 및 티오시안산나트륨을 포함하는 혼합액을 도금액으로 사용하는 것을 특징으로 하는 전자파 차폐 필름의 제조 방법.
  12. 제9 항에 있어서,
    상기 (c) 단계 전에 상기 비도전막 패턴에 의해 노출된 상기 도전기판 상에 제1 시드층을 형성하는 단계를 더 포함하고, 상기 (c) 단계는 상기 제1 시드층 상에 흑색 도전막 패턴을 형성하는 단계이고,
    상기 (d) 단계 전에 상기 흑화된 도전막 패턴 상에 제2 시드층을 형성하는 단계를 더 포함하고, 상기 (d) 단계는 상기 제2 시드층 상에 전자파 차폐막 패턴을 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 전자파 차폐 필름의 제조 방법.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 제1 시드층 및 제2 시드층은 니켈 전해도금법으로 형성하는 것을 특징으로 하는 전자파 차폐 필름의 제조 방법.
  14. 제9 항에 있어서,
    상기 (d) 단계 후, 상기 비도전막 패턴을 제거하는 단계를 더 포함하는 전자파 차폐 필름의 제조 방법.
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