KR20050029312A - 전자파 차폐용 시트 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 전자파 차폐용 시트(1)는, 투명기재와, 이 투명기재의 한쪽 면에 적층된 금속을 갖도록 되어 있다. 상기 금속층은, 메쉬모양의 메쉬부(103)와, 이 메쉬부(103)를 둘러싸는 메쉬모양의 메쉬 외주부(104) 및, 이 메쉬 외주부(104)를 에워싸는 접지용 프레임부(101)를 갖도록 되어 있다. 그리고, 상기 메수 외주부(104)의 메쉬를 구성하는 라인폭은, 메쉬부(103)로부터 접지용 프레임부(101)를 향해 점차 폭이 커지도록 되어 있다. 본 발명의 전자파 차폐용 시트(1)는, 제조에서 조립까지의 전 공정에서 접히거나 단선 등이 발생하기 어렵기 때문에 핸들링적성이 뛰어나게 된다.

Description

전자파 차폐용 시트{ELECTROMAGNETIC WAVE SHIELDING SHEET}

본 발명은 전자파를 차폐(shielding)하기 위한 시트에 관한 것으로, 보다 상세하게는 CRT, PDP 등의 디스플레이의 전면에 배치해서 당해 디스플레이에서 발생하는 전자파를 차폐하기 위한 시트에 관한 것이다.

(기술의 개요)

근래 들어 전기전자기기의 기능의 고도화와 이용의 증가에 수반해서 전자기적인 노이즈방해(E1ectro Magnetic Interference; EMI)가 증가하고 있다. 전자파노이즈는 크게 나누어 전도(傳導)노이즈와 방사(放射)노이즈가 있다.

전도노이즈를 제거하는 방법에는 노이즈필터 등을 이용하는 방법이 있다. 한편, 방사노이즈를 제거하는 방법에는, 전자기적으로 공간을 절연할 수 있도록 금속케이스를 이용하거나, 회로기판 사이에 금속판을 삽입하거나, 케이블을 금속박으로 감는 등의 방법이 있다. 이들 방법은 회로나 전원블록의 전자파 차폐에 효과가 있다. 그러나, 이들 부재는 불투명하기 때문에 CRT나 플라즈마 디스플레이 패널(PDP라고도 함) 등의 디스플레이의 전면(前面)에서 발생하는 전자파의 차폐에는 적합하지가 않다.

플라즈마 디스플레이 패널은 데이터전극과 형광층을 가진 유리와 투명전극을 가진 유리와의 조합체이다. 이와 같은 플라즈마 디스플레이 패널이 작동하면, 전자파, 근적외선 및 열이 대량으로 발생하게 된다.

통상적으로 전자파를 차폐하기 위해 플라즈마 디스플레이 패널의 전면에는 전면판이 설치된다. 디스플레이 전면에서 발생하는 전자파를 차폐하기 위해서는 3OMHz∼lGHz의 전자파에 관해 30dB 이상의 기능이 필요하다.

또, 디스플레이 전면에서 발생하는 파장 800∼1,100nm의 근적외선도 또한 기타 VTR 등의 기기를 오작동시킬 수가 있다. 따라서, 근적외선도 전자파와 마찬가지로 차폐할 필요가 있게 된다.

또한, 디스플레이에 표시된 화상을 시인하기 쉽도록 하기 위해, 전자파 차폐용 전면판(시트)은 금속메쉬의 라인부가 보이지 않고, 또 메쉬의 엉크러짐이 없는, 즉 적당한 투명성(가시광투과성, 가시광선투과율)을 가져야 할 필요가 있다.

그리고 또, 플라즈마 디스플레이 패널은 일반적으로 대형화면을 특징으로 하고 있는바, 즉 전자파 차폐용 시트의 크기(외형치수)도 예컨대 37형에서는 621×831mm, 42형에서는 983×583mm이고, 더 대형인 사이즈도 있다. 그 때문에, 전자파 차폐용 시트의 제조에서 디스플레이로 조립될 때까지의 각 공정에서, 접지용 프레임과 메쉬부의 경계가 단선(斷線)되기가 쉬워, 핸들링적성이 지극히 나빠지게 된다.

(선행기술)

전자파 차폐용 전면판(시트)에는 전자파 차폐성과, 적당한 투명성(가시광의 투과율)과, 뛰어난 핸들링적성이 요구되고 있다.

디스플레이화상의 시인성(視認性)을 향상시키기 위해, 기판과 투명앵커층 및 멧쉬패턴형상의 무전해도금층으로 이루어지고, 이 무전해도금에 의해 무전해도금층 하의 투명앵커층이 흑색패턴로 변해지고 있는 전자파실드재료가 일본국 특개평5-283889호 공보에 개시되어 있다.

또, 전자파 차폐 시트의 금속메쉬의 표면에 산화동 피막을 형성시켜, 외부광의 반사를 억제하는 방법이 일본국 특개소61-15480호 공보에 개시되어 있다.

또, 전자파 차폐 시트의 금속메쉬를 포토레지스트(photoresist)법으로 형성시킬 때에 쓰여지는 흑색레지스트를, 메쉬를 개공(開孔)한 후에도 그대로 잔존시켜 메쉬의 라인부를 검게 해놓는 방법이 일본국 특개평09-293989허 공보에 개시되어 있다.

더구나, 동박(銅箔)에 기하학적도형을 포트리소그래피법으로 형성시킨 동박부착 플라스틱필름을 플라스틱판에다 적층시킨 전자파 차폐 구성체가 일본국 특개평10 -335885호 공보에 개시되어 있다.

메쉬모양의 금속층을 이용하는 상기 방법 어느 것도 모두 금속메쉬의 라인폭이 일정해지도록 하는 것을 목표로 작성되어 있다. 그러나, 실제로는 메쉬부와 접지용 프레임부의 경계부분에서의 메쉬 및 라인에 엄크러짐이 발생하는 것은 특히 반송시에 피하기가 어렵다. 또, 메쉬부와 접지용 프레임부의 경계부분에서는 강도가 극단적으로 불연속적으로 변화하게 된다. 그 때문에, 전자파 차폐용 시트의 제조공정으로부터 디스플레이로 조립될 때까지의 각 공정에서, 상기 경계부분에 집중하는 응력에 의해 절곡(折曲)이나 단선이 발생하는 일이 있게 된다, 즉, 핸들링적성이 지극히 나쁘게 된다. 그 때문에 고가의 부품을 쓸모없게 만드는 경우가 많다고 하는 결점이 있다.

도 1은, 본 발명의 1실시예의 전자파 차폐용 시트의 평면도,

도 2는, 본 발명의 1실시예의 전자파 차폐용 시트의 일부를 모식적으로 나타낸다 사시도,

도 3a은, 도 2의 A-A선 단면도이고, 도 3b는도 2의 B-B선 단면도,

도 4는, 도전재층의 구성을 설명한 단면도,

도 5a는, 권취롤에서의 가공을 설명한 평면도,

도 5b는, 동측면도,

도 6은, 본 발명의 1실시예의 메쉬외주부의 일부의 확대평면도,

도 7은, 디스플레이면에 첩착된 본 발명의 1실시예의 전자파 차폐용 시트의 단면도이다.

본 발명은 상기한 점을 감안하여 발명된 것으로, CRT,PDP와 같은 디스플레이의 전면에다 배치해서 디스플레이에서 발생하는 전자파를 차폐하는 한편, 메쉬의 엉크러짐이 일어나지 않아 디스플레이화상의 양호한 시인성을 유지할 수 있고, 또 대형이라 하더라도 제조에서 조립까지의 전 공정에서 메쉬의 라인이 절곡되는 등의 불량이 발생하지 않아 핸들링적성이 뛰어난 전자파 차폐용 시트를 제공함에 그 목적이 있다.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 전자파 차폐용 시트는, 투명기재와, 상기 투명기재의 한쪽 면에 적층된 금속층을 갖추되, 이 금속층이, 메쉬모양의 메쉬부와, 이 메쉬부를 에워싸는 메쉬모양의 메쉬외주부와, 상기 메쉬외주부를 에워싸는 접지용 프레임을 갖고서, 상기 메쉬 외주부의 메쉬를 구성하는 라인의 라인폭이 메쉬부에서 접지용 프레임을 향해 점차 폭이 커지도록 되어 있는 것을 특징으로 한다.

이상과 같이 구성된 본 발명의 전자파 차폐용 시트는, CRT, PDP와 같은 디스플레이의 전면에 배치되었을 때, 당해 디스플레이에서 발생되는 전자파를 차폐하는 한편, 메쉬의 흐트러짐이 없어 디스플레이화상의 양호한 시인성을 유지할 수 있고, 또 대형 이더라도 제조에서 조립까지의 전 공정에서 메쉬의 라인의 접히거나 하는 등의 불량이 발생하지 않는, 즉 핸들링적성이 우수해지게 된다.

일반적으로는, 상기 메쉬부의 메쉬를 구성하는 라인의 라인폭은 일정하게 되어 있다. 그리고, 상기 메쉬 외주부는 상기 접지용 프레임부에서 상기 메쉬부를 향하는 방향으로 1∼50개, 특히 1∼25개의 메쉬를 포함하도록 하는 것이 바람직하다.

또 상기 메쉬 외주부는, 상기 접지용 프레임부에서 상기 메쉬부를 향하는 방향으로, O.15∼15mm, 특히 O.3∼7.5mm의 폭을 갖도록 하는 것이 바람직하다.

또, 바람직하기로는, 상기 메쉬 외주부의 메쉬를 구성하는 라인의 라인폭이, 메쉬부에서 접지용 프레임부를 향해 연속적으로 폭이 넓어지도록 되어 있다. 또는, 상기 메쉬 외주부의 메쉬를 구성하는 라인의 라인폭은, 메쉬부에서 접지용 프레임부로 향해, 단계적으로 폭이 넓어지도록 되어 있는 것이 바람직하다. 이들의 경우, 핸들링적성이 지극히 좋고, 절곡되거나 꺾여짐이 발생하지 않게 되어 고가의 부품을 쓸모없게 만들지 않게 된다.

또, 바람직하기로는, 상기 금속층의 적어도 한쪽 면이 흑화처리되는 것이 좋다. 이 경우, 메쉬 자체가 검어지기 때문에, 액자모양의 흑색인쇄를 하는 공정도 필요하지 않고, 디스플레이화상의 양호한 시인성을 장기간에 걸쳐 유지할 수 있게 된다(화면의 눈부심이 방지된다). 이 경우, 상기 금속층의 적어도 흑화처리된 면에 녹방지층이 설치되는 것이 바람직하다.

또, 바람직하기로는, 상기 메쉬부 및 상기 메쉬 외주부의 적어도 메쉬의 개구부가 수지로 충전(充塼)되어, 상기 금속층이 실질적으로 평탄화되어 있는 것이 좋다. 이 경우, 메쉬의 개구부의 요철이 메워질 수 있기 때문에, 여러 가지 작업성이 향상될 수 있게 된다.

이 경우, 상기 수지는, 파장 570∼605nm의 가시대역(可視帶域)의 광을 흡수하는 색조보정용 광선흡수제 및/또는 파장 800∼1100nm의 근적외대역(近赤外帶域)의 광을 흡수하는 근적외선 흡수제를 함유하고 있는 것이 바람직하다.

또, 바람직하기로는, 적어도 한쪽 면에 파장 570∼605nm인 가시대역의 광을 흡수하는 색조보정용 광선흡수제층 및/또는 파장 800∼11OOnm의 근적외대역의 광을 흡수하는 근적외선 흡수제층이 설치되는 것이 좋다.

한편, 본 발명의 전자파 차폐 시트는, 그 기재면을 PDP 디스플레이 쪽에설치 할 수가 있는바, 이 경우에는 전극의 인출공수를 줄일 수 있게 된다.

이하, 본 발명의 실시예에 대해 도면을 참조해서 상세히 설명한다.

(전체의 구성)

도 1은 본 발명의 1실시예에 따른 전자파 차폐용 시트의 평면도이고, 도 2는 본 발명의 1실시예에 다른 전자파 차폐용 시트의 일부를 모식적으로 나타낸 사시도이다.

도 1에 도시된 것과 같이, 본 발명에 따른 전자파차폐용 시트(1)는, 안쪽 중심부에 존재하는 메쉬부(103)와 가장 바깥쪽 외주부에 존재하는 접지용 프레임(101)으로 갖도록 되어 있다. 접지용 프레임부(101)는 디스플레이에 설치되었을 경우에 접지가 되도록 되어 있다.

메쉬부(103)에서는, 도 2에 도시된 것과 같이, 기재(11)의 한쪽 면에 접착제층(13)을 매개로 도전재층(109)이 적층(積層)되어 있다. 이 도전재층(109)은 복수의 개구부(105)가 조밀하게 배열된 메쉬모양으로서, 이들 각 메쉬는 개구부(105)의 프레임을 이루는 라인(107)으로 구성되어 있다. 이하, 라인(107)의 폭은 라인폭(W)이라 칭하고, 라인과 라인과의 간격은 피치(P)라 칭하기로 한다.

메쉬(103)와 접지용 프레임부(101) 사이에 메쉬 외주부(104)가 배치되어 있는바, 이 메쉬 외주부(104)도 메쉬부(103)와 대략 마찬가지 메쉬모양으로 되어 있으나, 이 메쉬 외주부(104)의 각 메쉬의 라인의 라인폭은 메쉬부(103)에서 접지용 프레임부(101)를 향해 점차 폭이 커지도록 되어 있다.

(층의 구성)

도 3a는 도 2의 A-A선 단면도이고, 도 3b는 도 2의 B-B선 단면도이다. 도 4는 도전재층의 구성을 설명하는 단면도이다.

도 3a는 개구부를 횡단하는 단면을 나타낸 것으로, 개구부(105)와 라인(107)이 교대로 구성되어 있다. 도 3b는 라인(107)을 종단하는 단면을 나타낸 것으로, 도전재층(109)으로 이루어진 라인(107)이 연속해서 형성되어 있다. 도전재층(109)은 금속층(21)을 갖고서 적어도 그 관찰면, 본 실시예에서는 양면에 흑화처리가 되도록 되어 있다. 그리고 흑화처리된 면(23A 및/또는 23B)을 덮도록 녹방지층(25A 및/또는 25B)이 형성되어 있는바, 이 녹방지층(antirust layer)은 적어도 흑화처리된 면에만 형성되도록 하면 된다.

상기 녹방지층(25A, 25B)은, 금속층(21) 및 흑화처리된 면(23A, 23B)의 녹방지기능을 가짐과 더불어 흑화처리된 면(23A, 23B)의 탈락도 방지하게 된다.

또, 금속층(21)을 에칭가공해서 메쉬를 형성할 때에, 기재(11)에 인접하는 녹방지층(25A)이 개구부(105)에도 남겨지도록 에칭하면, 녹방지층(25A)이 부식액으로부터 기재(11) 및 접착제층(13)도 보호될 수 있게 된다. 금속층(21)의 다른쪽 면에 흑화처리된 면(23B) 및 녹방지층(25B)을 배치하는 것은 임의이다. 즉, 양면에 흑화처리된 면(23A, 23B) 및 녹방지층(25A, 25B)을 배치하는 것도 임의이다. 요컨대, 적어도 관찰측에 흑화처리된 면 및 녹방지층을 설치하는 것 및, 기재(11) 측 전면(개구부과 라인부 모두)에 녹방지층(25A)을 설치하는 것이 바람직하다.

(발명의 요점)

본 발명의 전자파 차폐용 시트(1)에서는, 메쉬부(103)와 접지용 프레임부(101) 사이에 메쉬 외주부(104)가 배치되도록 구성되어 있다. 이 메쉬 외주부(104)에서의 메쉬의 라인(107)의 직선부의 라인폭(W)이 메쉬부(103)에서 접지용 프레임부(101)를 향해 점차 커지도록 되어 있다.

메쉬 외주부(104)를 형하는 영역은, 접지용 프레임부(101)의 내주에서 메쉬부(103)를 향해 1∼50메쉬 또는 0.15∼15mm 정도, 바람직하기로는 1∼25 메쉬 또는 O.3∼7.5mm, 보다 바람직하기로는 3∼20메쉬 또는 1.5∼6.0mm의 부분이다.

라인폭은, 연속적(도 6 참조) 또는 단계적(도 1 참조)으로 커지도록(넓어지도록) 되어 있다. 라인폭이 단계적으로 커지도록 된 경우, 도 1과 같이 1단계라도 좋지만, 응력의 집중을 효과적으로 분산시키기 위해서는 2단계 이상인 쪽이 바람직하다.

메쉬 외주부(104)의 라인(107)의 라인폭(W)이 메쉬부(103)에서 접지용 프레임부(101)를 향해 점차 커지게 됨으로써, 메쉬부에서 접지용 프레임부까지 강도(剛度)가 서서히 변하게 된다. 즉, 종래에는 극단적이었던 강도의 변화가 대폭 완화될 수 있게 된다. 그에 따라, 당해 전자파 차폐용 시트의 제조공정에서부터 디스플레이로 조립되는 공정까지의 각 공정에서의 핸들링적성이 대단히 좋아지게 된다. 즉, 접히거나 꺾이는 일이 일어나지 않게 되어 접지용 프레임부와 메쉬부의 경계부분 등에서 메쉬의 단선이 발생하는 것도 방지됨으로써, 고가의 부품을 쓸모없게 만들지 않게 된다.

플라즈마 디스플레이 패널은 일반적으로 대형화면인 것을 특징으로 하고 있다. 그 때문에, 전자파 차폐용 시트의 크기(외형치수)는, 예컨대, 37형에서는 620×830mm 정도, 42형에서는 580×980mm 정도이고, 그보다 큰 사이즈도 있다. 그 때문에, 전자파 차폐용 시트의 제조공정에서부터 디스플레이로의 조립공정까지 각 공정에서의 핸들링적성이 지극히 중요하다. 그런데, 종래의 전자파 차폐용 시트에서는, 접지용 프레임부와 메쉬부의 경계부분에서 단선이 되거나 꺽여지거나 해서, 고가의 부품을 쓸모가 없도록 하는 일이 있었다.

한편, 본 명세서에서는, 본 발명의 전자파 차폐용 시트를 주로 CRT, PDP 등의 디스플레이에 이용하는 것에 대해 설명하였으나, 본 발명의 전자파 차폐용 시트는 디스플레이 이외의 장치로부터 나오는 전자파를 차폐하는 용도에도 사용 될 수 있다.

(제조방법의 개략)

먼저 적어도 관찰하는 쪽인 관찰측에 흑화처리층 및 녹방지층이 형성된 도전재층(109)을 준비한다. 이 도전재층(109)을 투명한 필름형상 기재(11)의 한쪽 면에다 접착제를 매개로 적층한 후, 도전재층(109)에 레지스트층을 메쉬패턴모양으로 형성시키고, 레지스트층으로 덮여져 있지 않은 부분의 도전재층(109)을 에칭으로 제거한 다음 레지스트층을 제거하는, 이른바 포토리소그래피법으로 제조하면 된다.

본 실시예에 따른 전자파 차폐용 시트는, 기존의 셰도우마스크 등의 시트형상 부재의 에칭설비를 사용할 수가 있다. 또, 제조공정의 대부분을 연속적으로 실행할 수가 있기 때문에, 품질 및 제품수율이 높고, 생산효율이 높은 생산을 할 수 있게 된다.

다음에는, 본 발명에 따른 전자파차폐용 시트(1)의 각 층의 재료 및 형성에 대해 설명한다.

(도전재층)

본 실시예에 다른 전자파 차폐용 시트의 도전재부(109)에서는, 금속층(21)의 적어도 한쪽 면이 흑화처리되어 흑화처리면(23A 및/또는 23B)으로 되어 있고, 또 이 흑화처리면(23A 및/또는 23B)상에 녹방지층(25A 및/또는 25B)이 설치되도록 구성되어 있다.

도전재부(109)는, 접착제를 매개로 투명필름으로 이루어진 기재(11)와 적층시켜지게 된다. 적층된 후에는 포토리소그래피법에 의해 도전재부(109)가 메쉬모양으로 가공된다. 필요에 따라서는 금속층 쪽이 평탄화되고, 또 필요에 따라 특정 파장의 가시광선 및/또는 근적외선을 흡수하는 광선흡수제층이 설치된다.

이와 같은 도전재부(109)를 가진 전자파 차폐용 시트를 디스플레이의 전면에 배치하면, 디스플레이에서 발생하는 전자파가 차폐되는 한편, 메쉬의 농담얼룩이 없고, 흑색 또는 백색의 점모양 또는 선모양의 결점이 극히 적고, 적당한 투명성을 가져, 즉 디스플레이에 표시된 화상의 양호한 시인성을 유지할 수가 있게 된다.

전자파를 차폐하는 도전재층(109)으로는, 예컨대 금, 은, 동, 철, 알미늄, 니켈, 크롬 등 충분히 전자파를 차폐할 수 있을 정도의 도전성을 가진 금속층(21)이 이용된다. 금속층(21)은 단체(單體)가 아니라 합금 또는 다층(多層)인 것이라도 좋다. 금속층(21)으로는, 철의 경우에는 저탄소 림드강(low-carbon rimmed steel)이나 저탄소 알미늄강과 같은 저탄소강, Ni-Fe 합금, 인바(Invar) 합금이 좋다. 또 캐소딕(cathodic)전착을 실행하는 경우에는 전착을 하기가 쉽기 때문에 동박(銅箔) 또는 동합금박(電解銅箔)이 바람직하다. 이 동합금박으로는, 압연동박, 전해동박이 사용될 수 있으나, 두께의 균일성, 흑화처리층 및/또는 크로메이트(처리)층과의 밀착성 및 10㎛ 이하의 박막화가 될 수 있다는 점에서 전해동박이 바람직하다.

이 금속층(21)의 두께는 1∼100㎛ 정도, 바람직하기로는 5∼20㎛가 되는 것이 좋다. 그 이하의 두께에서는 포토리소그래피법에 의한 메쉬가공은 쉽지만, 금속의 전기저항치가 증가해서 전자파 차폐 효과가 훼손되게 된다. 한편, 그 이상에서는 소망하는 고정밀의 메쉬모양이 얻어지지 않게 되고, 그 결과 실질적인 개구율(開口率)이 낮아져 광선투과율이 저하되고, 시야각(視野角)도 좁혀져, 화상의 시인성이 나빠지게 된다.

금속층(21)의 표면거칠기로는 Rz값으로 O.5∼10㎛이 바람직하다. 표면거칠기(Rz)는, JIS-B0601에 준거해서 10번 측정한 값의 평균치이다. 그 이하에서는 흑화처리를 하더라도 외부광이 경면반사(鏡面反射)를 해서 화상의 시인성이 나빠지게 된다. 한편, 그 이상에서는 접착제나 레지스트 등을 도포할 때 표면 전체에 퍼지지가 않아 기포가 발생하거나 하게 된다.

(흑화처리)

전자파차폐용 시트(1)에 입사하는 햇빛이나 전등불빛과 같은 외부광을 흡수해서 디스플레이의 화상시인성을 향상하기 위해서는, 메쉬모양 도전재층(109)의 관찰측에다 흑화처리를 해서 콘트라스트감을 나타낼 필요가 있다.

이 흑화처리(Blackening Treatment)는 금속층면을 조화(粗化) 및/또는 흑화(黑化)하여 실행하는바, 구체적으로는 금속산화물이나 금속황화물의 형성이나 기타 여러 가지의 수법이 적용될 수 있다.

철(鐵)의 경우에는, 통상적으로 스팀 중에서 450∼470℃ 정도의 온도로 10∼20분 간 쬐어 1∼2㎛ 정도의 산화막(흑화막)을 형성시키거나, 농초산 등의 약품처리로 산화막(흑화막)을 형성시켜도 좋다.

또, 동박의 경우에는, 동박을 황산이나 황산구리 및 황산코발트 등으로 된 전해액 중에서 음극전해처리를 해서 양이온성 입자를 부착시키는 캐소딕전착이 바람직하다. 이 양이온성 입자를 형성함으로써 조화(粗化)를 실현함과 동시에 흑색이 얻어질 수 있게 된다. 상기 양이온성 입자로는, 동입자나 동과 다른 금속과의 합금입자 등이 적용될 수 있으나, 동-코발트 합금입자가 바람직하다.

본 명세서에서는, 조화처리 및 흑색화(黑色化)처리를 합하여 흑화처리(黑化處理)라 부르기로 한다.

이 흑화처리의 바람직한 흑색농도는 O.6 이상이다. 한편, 흑색농도의 측정방법으로는, COLOR CONTROL SYSTEM의 GRETAG SPM100-11(일본국 키모토사의 상품명)을 써서, 관찰시야각 10°, 관찰광원(觀察光源) D50, 조명형식으로 농도표준 ANSI의 T로 설정하고서 백색 캘리브레이션(white calibration) 후에 시험편을 측정하기로 한다. 또, 당해 흑화처리의 광선반사율로는 5% 이하가 바람직하다. 광선반사율은, JIS-K7105에 준거해서 헤이즈미터(Haze Meter) HM 150(일본국 무라카미색채사의 상품명)을 가지고 측정하기로 한다.

(합금입자)

상기 양이온성 입자로는, 동입자나 동과 다른 금속과의 합금입자가 적용될 수 있으나, 바람직하기로는 동-코발트 합금입자이다.

동-코발트 합금입자를 쓰게 되면, 흑화의 정도가 현저하게 향상되어 가시광선을 잘 흡수하게 된다. 전자파차폐용 시트의 시인성을 평가하는 광학특성으로, 색조(色調)를 JIS-Z8729에 준거한 표색계 「L*, a*, b*, △E* 」로 나타내었다. 이 「a*」 및 「b*」의 절대치가 작은 쪽이 도전재부(109)가 비시인성으로 되고, 화상의 콘트라스트감이 높아져, 결과적으로 화상의 시인성이 우수해지게 된다. 동-코발트 합금입자를 이용하면 동입자와 비교해서 「a*」 및 「b*」를 거의 "0"에 가까워질 수 있게 된다.

또, 동-코발트 합금입자의 평균입자지름은 O.11㎛가 바람직하다. 그 이상에서는 동-코발트 합금입자의 입자지름을 크게 하면 금속박(21)의 두께가 얇아져, 기재(11)와 적층시키는 공정에서 동박이 절단되거나 해서 가공성이 나빠지고, 또 밀집입자(密集粒子)의 외관의 조밀성이 나빠져 얼룩무늬가 눈에 띄게 된다. 그 이하의 입자직경에서는 조화가 부족하기 때문에, 광흡수에 의한 외광반사 방지효과가 부족해서 화상의 시인성이 나빠지게 된다.

(녹방지층)

금속층(21) 및/또는 흑화처리면(23A, 23B)에서의 녹방지기능 및 흑화처리면의 탈락이나 변형이 일어나는 것을 방지하기 위해, 적어도 흑화처리면을 가진 금속박면에다 녹방지층(25A 및/또는 25B)을 형성시킨다. 이 녹방지층(25A, 25B)으로는, 닉켈 및/또는 아연 및/또는 동의 산화물, 또는 크로메이트처리층이 적용될 수 있다. 니켈 및/또는 아연 및/또는 동의 산화물의 형성은 공지의 도금법으로도 좋고, 두께로는 O.001∼1㎛ 정도, 바람직하기로는 0.001∼0.1㎛으로 하는 것이 좋다.

(크로메이트처리)

이 크로메이트처리(chromate treatment)는, 피처리재에 크로메이트처리액을 도포해서 실행한다. 이 도포방법으로는, 롤코팅법, 커튼코팅법, 스퀴즈코팅법, 정전무화법(靜電霧化法), 침지법 등이 적용될 수 있다. 도포 후에는 물로 세정하지 않고 건조시키면 된다. 크로메이트처리를 한쪽 면에 실시하는 경우에는 롤코팅법 등으로 한쪽 면에다 도포하고, 양쪽 면에 실시하는 경우에는 침지법을 이용할 수 있다. 크로메이트처리액으로는, 통상적으로 Cr0₂를 3g/l 함유한 수용액을 사용한다. 기타 무수크롬산 수용액에 다른 옥시칼본산 화합물을 첨가해서 6가크롬의 일부를 3가크롬으로 환원시킨 크로메이트처리액도 사용할 수 있다.

6가크롬의 부착량의 다소에 따라 담황색(淡黃色)에서 황갈색으로 착색이 되는바, 3가크롬은 무색이어서, 3가와 6가크롬을 관리하면 실용상 문제가 없는 투명성이 얻어질 수 있게 된다.

옥시칼본산 화합물(oxycarboxylic compound)로는, 주석산, 마론산, 구연산, 유산, 글루콜릭산, 글리세린산, 트로파산, 벤질산, 히드록시 길초산(hydroxyvalerianic acid) 등을 단독 또는 병용해서 쓰게 된다. 환원성은 화합물에 따라 다르기 때문에, 첨가량은 3가크롬으로의 환원성에 기해 결정하게 된다.

구체적으로는, 알서프(ALSURF) 1000(일본국 니폰페인트사의 크로메이트 처리제 상품명), PM-284(일본국 니폰파커라이징사의 크로메이트 처리액 상품명) 등이 이용될 수 있다. 한편, 크로메이트 처리를 흑화처리면(층)상에 실시한 경우에는, 녹방지효과에 더해 흑화처리 강조의 효과도 나타낸다.

흑화처리면 및 녹방지층은, 이들이 관찰측에 설치되는 경우 콘트라스트를 향상시켜 디스플레이의 화상의 시인성을 좋아지게 한다. 또, 다른쪽 면, 즉 디스플레이면 쪽에 설치되는 경우에는, 디스플레이에서 발생하는 미광(迷光)을 억제하기 때문에 역시 화상의 시인성을 향상시키게 된다.

(기재)

기재(11)의 재료로는, 사용조건이나 제조상의 조건을 만족시키는 투명성, 절연성, 내열성, 기계적 강도 등이 있다면 여러 가지 재료가 사용될 수 있다. 예컨대, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리부틸렌 테레프탈레이트, 폴리에틸렌 나프타레이트, 폴리에틸렌 테레프탈레이트-이소프탈레이트 공중합체, 테레프탈산-시크로헥산디메타놀-에틸렌글리콜 공중합체, 폴리에틸렌 테레프탈레이트/폴리에틸렌 나프타레이트의 공압출필름과 같은 폴리에스텔계 수지, 나일론6, 나일론66, 나일론610과 같은 폴리아미드계 수지, 폴리프로필렌, 폴리메틸펜텐과 같은 폴리오레핀계 수지, 폴리염화비닐과 같은 비닐계 수지, 폴리아크릴레이트, 폴리메타아크릴레이트, 폴리메틸메타아크릴레이트와 같은 아크릴계 수지, 폴리이미드, 폴리아미드이미드, 폴리에텔이미드와 같은 이미드계 수지, 폴리아릴레이트, 폴리슬폰, 폴리에텔슬폰, 폴리페닐렌에텔, 폴리페니렌슬피드(PPS), 폴리아라미드, 폴리에텔케톤, 폴리에텔니트릴, 폴리에텔에텔케톤, 폴리에텔슬파이드와 같은 엔지니어링 수지, 폴리카보네이트, 폴리스티렌과 같은 스티렌계 수지 등이 이용될 수 있다.

상기 기재(11)는 이들 수지를 주성분으로 하는 공중합수지 또는 혼합체(합금을 포함)나, 복수 층으로 이루어진 적층체이어도 좋다. 또, 상기 기재(11)는 연신필름이어도, 미연신필름이어도 좋으나, 강도를 향상시키는 목적으로 1축 방향 또는 2축 방향으로 연신(延伸)한 필름이 바람직하다. 상기 기재(11)의 두께는 통상적으로 12∼1000㎛ 정도가 적용될 수 있지만, 50∼700㎛이 적합하고, 100∼500㎛가 가장 적합하다. 그 이하의 두께에서는 기계적 강도가 부족해서 뒤로 휘어지거나 느슨해지거나 하고, 그 이상에서는 과잉의 성능이 되어 제조비용 면에서도 불필요하게 된다.

또, 상기 기재(11)는, 이들 수지의 적어도 1층으로 이루어진 필름, 시트, 보드형태로 사용되는바, 이들 형상을 본 명세서에서는 필름이라 총칭하기로 한다. 일반적으로, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리에틸렌 나프타레이트과 같은 폴리에스텔계 필름이 투명성과 내열성이 좋고 제조비용도 싸기 때문에 흔히 사용되고 있는바, 그 중 폴리에틸렌 테레프탈레이트가 가장 적당하다. 또, 투명성은 높을수록 좋지만, 바람직하기로는 가시광선투과율 80% 이상인 것이 좋다.

상기 기재필름은, 도포하기에 앞서 도포면에다, 코로나방전처리, 플라즈마처리, 오존처리, 프레임처리, 플라이머(앵커코팅, 접착촉진제, 접착용이제(易接着劑)로도 불림)도포처리, 예열처리, 먼지제거처리(dusting processes), 증착처리, 알카리처리 등의 접착용이처리를 실시하여도 좋다. 상기 수지필름은 필요에 따라 충전제, 가소제, 대전방지제 등의 첨가제가 가해질 수 있다.

(적층법)

기재(11)와 도전재층(109)의 적층(라미네이트라고도 함)법으로는, 기재(11) 또는 도전재층(109)의 한쪽에 접착제 또는 점착제를 도포하고, 필요에 따라 건조시키고, 가열하거나 또는 가열하지 않고 가압을 한다. 그 후 필요에 따라 30∼80℃ 온도 하에서 에이징(養生)을 할 수도 있다. 또, 기재(11) 자신 또는 기재(11)가 복수 층으로 이루어진 경우에 도전층(109)과의 적층면이, 예컨대 아이오노머(ionomer)수지, 에틸렌-초산비닐 공중합체, 에틸렌-아크릴산 공중합체, 에틸렌-아크릴산에스텔 공중합체와 같은 열접착성 수지라면, 가열 하에서 가압하는 것만으로도 좋다. 이 경우, 접착제층(13)은 생략될 수 있다.

또 기재(11)상에 무전해도금, 무전해도금과 전해도금의 병용, 증착 등의 수단으로 직접 도전재층(109)을 형성시켜도 좋다. 이 경우에도 점착제층(13)을 생략하여도 된다.

(접착제)

접착제로는, 특히 한정되는 것은 아니지만, 예컨대 아크릴수지, 폴리에스텔 수지, 우레탄 수지, 염화비닐-초산비닐 공중합체 수지 등이 적용될 수 있다. 또, 에칭액에 의한 염색이나 열화가 적고 가공적성이 좋은 열경화형 수지를 이용한, 당업자가 드라이라미네이션법이라 부르는 방법이 바람직하다. 그리고, 자외선(UV)과 같은 전리방사선에서 경화(반응)하는 UV경화형 수지도 바람직하다.

(드라이라미네이션)

드라이라미네이션법(Dry Lamination proess)이라 함은, 내부에 접착제가 분산 또는 용해된 용매가 도포되어 건조된 첩합기재(貼合基材)를 겹쳐 적층시킨 후 30∼120℃에서 수 시간∼수일 간 에이징함으로써 접착제를 경화시켜 2가지 종류의 재료를 적층시키는 방법을 말한다.

또, 드라이라미네이션법을 개량한 난솔벤트라미네이션법도 이용할 수 있다. 이는 용매에다 분산 또는 용해시키지 않고 접착제 자신을 도포해서 건조시킨 첩합기재를 30∼120℃에서 수 시간∼수일 간 에이징함으로써 접착제를 경화시켜 2가지 종류의 재료를 적층시키는 방법이다.

드라이라미네이션법 또는 난솔벤트라미네이션법에 쓰이는 접착층의 접착제로서는, 열 또는 자외선ㆍ전자선과 같은 전리방사선으로 경화시키는 접착제가 적용될 수 있다. 열경화접착제로는 구체적으로 2액경화형 수지의 접착제를 들 수 있는바, 예컨대 폴리에스텔우레탄계 수지, 폴리에텔우레탄계 수지, 아크릴우레탄계 수지와 같은 우레탄계 접착제, 아크릴계 접착제, 폴리에스텔계 접착제, 폴리아미드계 접착제, 폴리초산비닐계 접착제, 에폭시계 접착제, 고무계 접착제 등이 적용될 수 있으나, 2액경화형 우레탄계 접착제가 가장 적합하다.

이 2액경화형 우레탄계 수지로는, 구체적으로 다관능 이소시아네이트와 히드록실기함유 화합물(폴리올)과의 반응에 의해 얻어지는 폴리머가 쓰여질 수 있다. 즉, 예컨대 다관능 이소시아네이트로는, 토리렌디이소시아네이트, 디페닐메탄디이소시아네이트, 폴리메틸렌폴리페니렌폴리이소시아네이트, 이소호론디이소시아네이트와 같은 방향족 폴리이소시아네이트, 또는 헥사메틸렌디이소시아네이트, 키실렌디이소시아네이트, 이소호론디이소시아네이트 등의 지방족(내지 지방고리족) 폴리이소시아네이트와 같은 다관능 이소시아네이트 등이 쓰인다. 이들 폴리이소시아네이트로는, 상기 이소시아네이트의 다량체(3량체 등)나 부가체(addition polymer)를 이용할 수 있다. 또, 히드록실기함유 화합물로는, 폴리에텔계 폴리올, 폴리에스텔계 폴리올, 폴리아크릴레이트 폴리올과 같은 히드록실기 함유의 화합물이 쓰여질 수 있다. 이들 다관능 이소시아네이트와 히드록실기 함유 화합물의 반응으로 얻어지는 2액형 우레탄계 수지를 사용할 수도 있다.

바람직하기로는, 에칭액에 의한 염색이나 열화가 없는 스티렌-마레인산 공중합폴리머로 변성된 폴리에스텔폴리우레탄과 지방족 폴리이시시아네이트를 배합한 접착제가 쓰일 수 있다.

상기와 같은 드라이라미네이션법에서는, 이들을 주성분으로 하는 접착제 조성물을 유기용매로 용해 또는 분산시켜, 이를 예컨대 롤코팅, 리버스롤코팅, 그라비아코팅, 그라비아리버스코팅, 그라비아옵셋코팅, 키스코팅(kiss coating), 와이어바(wire bar)코팅, 콤마(comma)코팅, 나이프(knife)코팅, 딥(dip)코팅, 플로우(flow)코팅, 스프레이코팅과 같은 코팅법으로 도포하고서, 용제 등을 건조시켜 본 발명의 라미네이션용 접착층을 형성할 수 있게 된다. 바람직하기로는 롤코팅과 리버스롤코팅법이 쓰일 수 있다.

상기 접착층의 막두께로는, O.1∼20㎛(건조상태) 정도, 바람직하기로는 1∼10㎛인 것이 좋다. 이 접착층이 형성되고 나서, 즉시 첩합기재를 적층한 후, 30∼1200℃에서 수 시간∼수일 간 에이징함으로써 접착제를 경화시킨다. 그에 따라 기재가 접착되게 된다. 이 접착제가 도포되는 면은, 기재쪽이거나 도전재부쪽 중 어느 쪽이라도 좋다. 바람직하기로는, 조화되어 있는 동박 쪽이 좋다. 이 경우, 접착제는 조면(粗面)의 전체에 걸쳐 펼쳐져 기포가 발생하는 것이 억제될 수 있게 된다.

난솔벤트라미네이션법은, 기본적으로는 드라이라미네이션법과 마찬가지이지만, 접착제 조성물을 유기용매에 용해 또는 분산시키지 않고 그대로 쓰이게 된다. 더구나, 필요에 따라서는 점도를 저하시키기 위해 접착제조성물이 조성물을 가열가온하는 경우도 있다.

(점착제)

점착제(粘着劑)로는, 공지의 감압(感壓; pressure sensitive)으로 접착하게 되는 공지의 점착제가 적용될 수 있다. 점착제로는, 특히 한정되지 않고, 예컨대 천연고무계, 브틸고무나 폴리이소프렌, 폴리이소부틸렌, 폴리클로로프렌, 스티렌-부타디엔 공중합수지와 같은 합성고무계 수지, 디메틸폴리실록산 등의 실리콘계 수지, 아크릴계 수지, 폴리초산 비닐에틸렌-초산비닐 공중합체 등의 초산비닐계 수지, 우레탄계 수지, 아크릴로니트릴, 탄화수소수지, 알킬페놀 수지, 로진이나 로진트리그리세리드, 수소화로진과 같은 로진계 수지가 적용될 수 있다.

(고무계 점착제)

여기서 고무계 점착제는, 클로로프렌고무, 니트릴부타디엔고무, 아크릴고무, 스티렌부타디엔고무, 스티렌이소프렌스티렌, 스티렌부타디엔 스티렌, 스티렌에틸렌부타디엔스티렌, 부틸고무, 폴리이소부틸렌고무, 천연고무, 폴리이소프렌고무와 같은 점착고무의 1가지 또는 복수에다 페놀계 수지, 변성페놀 수지, 케톤수지, 알키드(alkyd)수지, 로진계 수지, 쿠마론(coumarone)수지, 스티렌계 수지, 석유수지, 염화비닐계 수지와 같은 점착부여재를 1가지 또는 복수를 배합한 것이 유효하다.

상기 고무계 점착제는 아크릴계 접착재에 비해 내약품성과 내팽윤성, 내온도성, 점착성 및 박리강도에서 우수하기 때문에, 접착부분이 산성 또는 알칼리성 물질에 노출되어도 박리가 생기지 않는다. 또, 고무계 점착재는 산성 또는 알카리성 용액 중에서 가수분해를 거의 발생시키지 않아 점착수명이 길다.

(점착제층의 형성)

이들 수지 또는 이들의 혼합물을 라텍스, 물분산액, 또는 유기용매액으로 해서, 스크린인쇄 또는 콤마코팅 등의 공지의 인쇄 또는 코팅법으로 인쇄 또는 도포하고서, 필요에 따라 건조시킨 후, 한쪽의 재료와 겹쳐 가압하게 된다.

(권취롤에서의 가공)

도 5a 및 도 5b는 권취롤에서부터의 가공을 설명하는 평면도 및 측면도이다. 보다 상세하게는, 도 5a는 평면도로서, 권취롤에서 풀려나와 신장된 상태를 나타내는 것으로, 전자파 차폐용 시트(1)가 일정 간격 면부착(배치)되어 있다. 도 5b는 측면도로서, 권취롤에서 풀려나와 신장된 상태를 나타내는 것으로, 도전재층(109)이 기재(11)에 적층되어 있다.

구체적인 적층 방법으로서는, 먼저, 권취롤에서 신장된 도전재층(109)에다 상기와 같은 흑화처리면 및 녹방지층을 형성시킨다. 그리고, 녹방지층에 접착제를 도포해서 건조시킨 후에, 기재(11)를 겹쳐지도록 해서 가압한다. 그리고, 필요에 따라, 30∼80℃ 의 분위기에서 수시간∼수일 간 에이징(양생, 경화)을 실행하고, 다시 권취롤형상으로 권취(卷取)한다.

(포토리소그래피법)

상기 적층체의 도전재층면에다 레지스트층을 메쉬패턴형상으로 형성하고서, 레지스트층으로 덮여있지 않은 부분의 도전재층을 에칭으로 제거한 후, 레지스트층을 제거한다(포토리소그래피법). 그에 따라, 도전재층이 메쉬모양으로 된다.

상기와 같이, 기재(11)와 도전재층(109)의 적층체의 도전재층(109)이, 포토리소그래피법에 의해 메쉬모양으로 된다. 이 공정도, 롤형상으로 감겨진 대상의 적층체에 대해 이루어지게 된다. 즉, 적층체를 느슨하지 않게 신장시켜, 연속적 또는 간헐적으로 반송하면서 마스킹, 에칭, 레지스트박리의 각 처리를 실시하게 된다.

(마스킹)

예컨대 감광성 레지스트를 도전재층(109)상에 도포하고서, 건조시킨 후, 소정의 패턴(메쉬의 라인부)으로 된 판(포토마스크)에 밀착시켜 노광하고, 물에서 현상하고, 경막처리 등을 시행하고서, 베이킹을 한다.

레지스트의 도포에 대해서는, 신장된 대상의 적층체(기재(11)와 도전재층(109))를 연속적 또는 간헐적으로 반송시키면서, 그 도전재층(109) 면에, 카제인, PVA, 제라틴과 같은 감광성 레지스트를 디핑(침치), 커튼코팅, 플로우코팅 등의 방법으로 도포한다. 또, 레지스트를 도포하는 대신 드라이필름 레지스트를 사용하여도 좋다. 이 경우, 작업성이 향상될 수 있다. 베이킹은 카제인 레지스트의 경우 200∼300℃에서 실행된다. 더구나, 이 온도는 적층체가 뒤로 휘어지는 것을 막기 위해 될 수 있으면 낮은 온도에서 실행되는 것이 바람직하다.

(에칭)

마스킹을 시행한 후 에칭을 한다. 이 에칭에 쓰이는 에칭액으로는, 에칭을 연속해서 실행하게 되는 본 발명에는, 순환사용이 쉽게 이루어질 수 있는 염화 제2철, 염화제2동의 용액이 바람직하다. 또, 이 에칭공정은, 띠형상으로 연속하는 강재, 특히 두께 20∼80㎛의 박판(薄板)을 에칭하는 컬러TV브라운관용 쉐도우마스크를 형성하는 공정과 기본적으로 마찬가지 공정으로 실행된다. 따라서, 당해 쉐도우마스크를 제조하는 기존의 제조설비를 이용할 수 있고, 마스킹에서 에칭까지가 일관해서 연속 생산할 수가 있어, 효율이 대단히 좋아지게 된다. 에칭을 한 후에는 수세(水洗), 알카리액에 의한 레지스트박리, 세정을 하고 나서, 건조시키면 된다.

(메쉬)

메쉬부(103)는, 라인(107)으로 둘러싸인 복수의 개구부(105)로 되어 있다. 개구부(105)의 형상은 특히 한정되지 않고, 예컨대 정3각형, 2등변3각형 등의 3각형, 정방형, 장방형, 마름모꼴, 사다리꼴 등의 4각형, 5각형, 6각형, 8각형 등의 다각형, 원형, 타원형 등이 적용될 수 있다. 이들 개구부를 복수로 조합해서 메쉬모양이 되도록 한다.

개구율과 메쉬의 비시인성(非視認性) 및 화상의 시인성의 관점에서, 메쉬부(103)의 라인(107)의 직선부에서의 폭은 소정치 ±30%의 범위 내가 되도록 한다. 또, 투명기판과 직교하는 라인(107)의 절단면 형상에서의 윗바닥(107U)과 아랫바닥(107B)을 잇는 곡면측면부(107S)의 곡률반경(r)이 상기 금속층 두께(t)의 1.5∼3.0배가 되도록 한다. 바람직하기로는, 메쉬부(103)의 라인폭(W)의 소정치가 5∼25㎛의 범위 내에서 선택한 일정한 값으로 하고, 라인 사이의 피치는 150∼500㎛의 범위 내에서 선택한 일정한 값이 되도록 한다. 또, 메쉬부(103)의 외주에서 메쉬 외주부(104)를 구성하는 1∼50메쉬의 부분, 또는 0.15∼15mm의 부분에 대해서는, 뒤에 설명되는 바와 같이 접지용 프레임부(101) 방향을 향해 라인폭이 점차 커지도록 되어 있다.

일반적으로, 대형의 플라즈마 디스플레이 패널에 쓰이는 전자파차폐용 시트에는, 수천 줄 이상의 직선라인이 형성되고서 각각 교차하도록 되어 있다. 이들 라인의 라인폭의 불균일을 억제하고, 또 라인절단면 형상에서의 윗바닥과 아랫바닥을 잇는 곡면측면부의 곡률반경을 규제함으로써, 전자파차폐성과 적당한 투명성을 갖도록 하는데 더해서, 메쉬의 농담얼룩이 적고, 흑색과 백색의 점모양 및 선모양 결점이 적고, 표시광의 눈부심이 적으며, 외부광의 반사가 억제된다고 하는, 뛰어난 화상의 시인성을 가진 전자파차폐용 시트(1)를 얻을 수가 있게 된다.

상기 라인폭의 불균일은, 예컨대 라인폭(W)을 14㎛로 하면 14 ± 4.2㎛, 즉 9.8∼18.2㎛로 억제된다. 이 범위 내라면 메쉬의 농담얼룩, 흑색 및/또는 흰색의 점모양 및 선모양 결점이 생기지 않게 된다. 만일, 라인폭에 그 이상의 광협이 있게 되면 메쉬가 농담얼룩으로 된다. 또 라인폭의 불균일 정도가 큰 경우에는, 사람이 디스플레이화상을 관찰했을 때, 라인폭이 넓은 부분은 흑색점 결점으로 되고, 라인폭이 좁은 부분은 흰색점 결점으로서 시인될 수 있게 된다. 전체의 화상에 대해 흰색점 및/또는 흑점이 있게 되면, 사람들이 극히 강한 위화감을 느끼게 된다.

그러나, 본 발명에 따른 전자파차폐용 시트에 의하면, 연속 포토리소그래피법을 이용함으로써, 라인폭의 불균일이 소정의 범위로 되어 있기 때문에, 메쉬의 농담얼룩의 발생이 극히 적어지게 된다. 더구나 전자파차폐성 및 투명성에도 문제가 없게 된다. 또, 메쉬의 농담얼룩이나 흑색 및/또는 흰색의 점모양 및 선모양의 결점은, 레지스트 도포시에 레지스트액의 비말(飛沫)이 필요치 않는 부분에 부착되더라도 발생하게 되지만, 연속 포토리소그래피법에서는 그와 같은 현상이 극히 드물게 일어난다.

또, 라인폭의 제어형태는, 메쉬부(103)와 메쉬 외주부(104)에서는 서로 다르게 된다. 메쉬 외주부(104)에서의 라인(107)의 직선부에서의 라인폭(W)은, 접지용 프레임부(101)를 향해 점차 커지도록 제어된다.

메쉬 외주부(104)는, 메쉬부(103)을 둘러싸도록, 메쉬부(103)와 접지용 프레임부(101) 사이에 위치하게 된다. 즉, 접지용 프레임부(101)의 내주로부터 메쉬부(103)의 중심부를 향해 1∼50 메쉬만큼 또는 O.15∼ 15mm 만큼의 정도, 바람직하기로는 1∼25 메쉬 만큼, 또는 O.3∼7.5mm 만큼, 보다 바람직하기로는 3∼20 메쉬 만큼, 또는 1.5∼6.0mm 만큼이 메쉬 외주부(104)를 이루도록 되어 있다.

메쉬 외주부(104)가 더 이상의 넓은 영역을 가진 경우, 디스플레이의 주변에 검은띠 모양의 프레임이 보여져, 화상이 작게 느껴지게 되고, 또 화상의 시인성이 저하되게 된다. 한편, 메쉬 외주부(104)가 이 보다 작은 영역만을 갖게 된 경우에는, 메쉬의 라인의 강도의 변화가 지나치게 급격해서, 라인의 꺽여짐 등이 발생할 수 있게 된다. 한편, 라인폭이 점차로 커지는 형태로는, 복수의 개구부(105; 셀)에 걸쳐 연속적으로 폭이 커져도 좋고, 또 개구부(105; 셀) 마다 단계적으로 폭이 커지도록 하여도 좋다.

도 6은, 본 실시예에 따른 메쉬 외주부(104)의 일부의 확대평면도이다.

메쉬부(103)의 소정의 라인부(107)의 라인폭은 W이고, 접지용 프레임부(101)를 향해 메쉬 외주부(104)의 라인폭(W1, W2, W3,∼, Wi,∼, Wn 은, W < W1 < W2 < W3 <∼<Wi <∼<Wn 으로 되어 있다.

라인폭이 연속적으로 점차 확대되는 형태에서는, 각 라인폭(W, W1, W2, W3,∼, Wn가 연속으로 확대되게 된다. 즉, 예컨대 1셀에 대응하는 라인폭(Wi(i = 1, ‥‥, n)) 자체가 점차 확대된다.

한편, 라인폭이 단계적으로 확대되는 형태에서는, 예컨대 1셀에 대응하는 라인폭(Wn) 자체는 동일한 폭으로 되어 있다. 이 경우, 확폭의 단수 n은 1 이상 이지만, 바람직하기로는 2 이상이고, 메쉬부(103) 주변 가장자리에 집중하는 응력을 다단계로 분산시킨다.

예컨대 도 6의 예는, n = 5에서 1셀 단위로 되어 단계적으로 폭이 확대되는 경우이다. 또, 라인폭이 확대되는 형태는, 라인의 전부에서 공통일 필요는 없고, 라인마다 W1, W2, W3,∼Wn를 변하게 하여도 좋다.

이와 같은 점차 라인폭을 점차로 커지게 하는 방법으로서는, 도전재층(109)상에 드라이 레지스트를 첩착하거나, 또는 감광성 레지스트를 도포해서 건조시킨 후의 밀착노광에 쓰이는 패턴판상의 패턴을 그와 같은 소망하는 패턴으로 변경하면 된다.

여기서, 패턴판이라 함은, 당업자가 제판필름이라 부르는 것에 상당하는 것으로, 감광성 레지스트가 네가티브형(노광부가 경화되어 잔류하는)의 경우는, 개구부(105)에 상당하는 부분이 불투명하고, 라인(107)에 상당하는 부분이 투명한 제판필름(라인의 네가티브 필름)으로 된다. 이 감광성 레지스트가 포지티브형(미로부가 잔류하는)의 경우는, 제판(製版)필름은 포지티브 필름으로 된다. 상기 패턴판에서, 라인에 상당하는 부분의 폭을, 메쉬부(103)에 대응하는 영역에서는, 소정의 라인폭(W)으로 하고, 그 원주가장자리의 메쉬 외주부(104)에 대응하는 영역에서는, 접지용 프레임부(101)를 향해 점차 W < W1 < W2 < W3 <∼< Wn 으로 하면 된다.

또, 라인이 전자파 차폐용 시트의 단부의 변(하부면)과 이루는 경사각은, 도 1의 예에서는 45°이지만, 그에 한하지 않고, 모아레(moire)의 해소 등을 위해 디스플레이의 화소나 발광특성을 가미해서 적절히 선택할 수 있다.

(평탄화)

메쉬가 형성되면, 메쉬의 라인부(107)가 도전재층(107)의 두께를 갖게 되지만, 개구부(105)는 도전재층이 제거되어 오목부를 이루도록 되어 있다. 즉, 도전재층(109)이 요철상태로 된다. 다음 공정에서 접착제 또는 점착제가 도포되는 경우에는 상기 요철이 접착제 등으로 메워지게 된다. 그러나, 그 때 상기 오목부의 공기가 완전하게는 접착제 등과 치환되지 않고 기포로 잔류하기가 쉽다. 이 기포가 잔류하게 되면, 기포와 접착제(또는 점착제)의 경계면에서 광을 산란시켜 탁도(haziness)가 높아지게 된다. 이 문제를 방지하기 위해서는, 접착에 앞서 미리 상기 오목부를 투명수지로 충전시켜 평탄화하는 것이 바람직하다.

이와 같은 평탄화로는, 투명수지를 오목부에 도포해서 메우는 것인바, 투명수지가 오목부 구석구석까지 침입하지 않으면 기포가 남아 투명성이 나빠지게 된다. 그 때문에, 용제 등으로 희석해서 저점도로 만들어 도포하고서 건조시키거나, 공기를 탈기하면서 도포하거나 한다. 이상과 같이 해서 평탄화층(29; 도 7 또는 도 3 참조)을 형성시킨다.

이 평탄화층(29)은, 투명성이 높고, 메쉬의 도전재와의 접착성도 좋고, 다음 공정의 접착제와의 접착성이 좋은 것이면 좋다. 단, 평탄화층(29)의 표면에 돌기나 오목한 패임이나 얼룩이 있으면, 디스플레이 전면에다 설치했을 때 모아레, 간섭 얼룩, 뉴턴링(Newton ring)이 발생하거나 하기 때문에 바람직하지가 않다. 바람직한 방법으로서는, 수지로서 열경화성 또는 자외선경화수지를 도포한 후, 평면성이 우수하고 박리성(剝離性)이 있는 기재로 적층하고서, 먼저 도포한 도포수지를 열 또는 자외선으로 경화시키고, 박리성 기재를 박리해서 제거한다. 이 경우, 평탄화층(29)의 표면에는 평면성 기재의 표면이 전사되어 평활한 면이 형성된다.

상기 평탄화층(29)의 형성에 쓰이는 수지로는, 특히 한정되지 않고, 각종의 천연 또는 합성수지, 열 또는 전리방사선경화수지 등이 적용될 수 있다. 그러나, 수지의 내구성, 도포성, 평탄화의 용이성, 평면성 등에서 아크릴계의 자외선경화수지가 적합하다.

(NIR흡수제)

그리고, 평탄화층(29)의 형성을 위해 쓰이는 수지에 가시 및/또는 근적외선(near-infrared)의 특정한 파장을 흡수하는 광선흡수제를 첨가하여도 좋다. 가시 및/또는 근적외선의 특정파장을 흡수함으로써, 불쾌감이 억제되고, 화상의 시인성이 향상된다. 근적외선의 특정파장으로는 780∼1200nm 정도, 특히 800∼1100nm의 대역이다. 이 780∼1000nm 파장대역의 80% 이상을 흡수하는 것이 바람직하다.

상기 근적외선 흡수제(NIR흡수제라 함)로는, 특히 한정되지는 않으나, 근적외선대역에서 급격한 흡수가 있고, 가시광선대역의 광투과성이 높으며, 가시광선대역에서 특정한 파장을 크게 흡수하지 않는 색소 등이 적용될 수 있다.

또, PDP에서 발광하는 가시광선영역으로는, 일반적으로 네온원자의 발광스펙트럼인 오렌지색이 많기 때문에, 5화상의 색조가 천연색 보다도 오렌지색으로 변이하게 된다. 이를 보정하기 위해 570∼605nm 부근을 어느 정도 흡수하는 특성을 가진 색보정용 광선흡수제를 첨가하는 것이 좋다.

이 근적외선 흡수제로는, 시아닌(cyanine)계 화합물, 프타로시아닌(phthalocyanine)계 화합물, 나프타로시아닌계 화합물, 나프토퀴논(naphthoquinone)계 화합물, 안트라퀴논(anthraquinone)계 화합물, 디티올(dithiol)계 착체, 임모늄계 화합물, 디임모늄계 화합물 등을 들 수 있다.

또, 색보정용 광선흡수제로는, 프타로시아닌계 화합물 등이 쓰인다.

(NIR흡수층)

평탄화층(29)에다 NIR흡수제를 첨가하는 대신 NIR흡수제를 가진 별개의 층(NIR흡수층이라 함)을 적어도 한쪽 면에 설치하여도 좋다.

이 NIR흡수층은 평탄화층(29)쪽 및/또는 반대쪽 기재(11)쪽에 형성될 수 있다. 평탄화층(29)면에 형성되는 경우가 도 3에 도시된 NIR흡수층(31B)이고, 기재(11)면에 형성된 경우가 도 3에 도시된 NIR흡수층(31A)이다. 이들 NIR흡수층(31B) 및 NIR흡수층(31A)은, NIR흡수제를 가진 시판의 필름(예컨대, 일본국 토요방적의 상품명 No2832)을 접착제로 적층하거나, 앞의 NIR흡수제를 바인더에다 함유시켜 도포한 것이다.

이 바인더로는, 폴리에스텔수지, 폴리우레탄수지, 아크릴수지나, 열 또는 자외선 등에 의해 경화되는 에폭시, 아크릴레이트, 메타아크릴레이트, 이소시아네이트기(基) 등의 반응을 이용한 경화형 등이 적용될 수 있다. 또, 색보정용 광선흡수제에 대해서도 마찬가지로 평탄화층(29)과는 별도의 층으로 해서 적층시킬 수도 있다.

(AR층)

그리고, 도시되지는 않았지만, 전자파차폐용 시트의 관찰측에다 반사방지층(Antireflection Layer; AR층이라 함)을 형성시킬 수도 있다. 이 반사방지층은 가시광선의 반사를 방지하기 위한 것으로, 단층과 다층으로 구성된 것이 많이 시판되고 있다. 다층으로 된 것은 고굴절률층과 저굴절률층이 교대로 적층된 것이다. 고굴절률층으로는, 산화니오븀(niobium oxide), 산화티탄, 산화지르코늄, ITO 등이 있고, 저굴절률층으로는, 산화규소물, 불화마그네슘 등이 있다. 또, 외부광을 난반사하는 미세한 요철표면을 가진 층을 가진 반사방지층도 있다.

(하드코팅층, 방오층, 방현층)

그리고, 상기 반사방지(AR)층 부가해서, 하드코팅층, 방오층(防汚層), 방현층(防眩層)을 설치할 수도 있다. 하드코팅층(hard coarting layer)은, JIS-K5400의 연필경도시험으로 H 이상의 경도를 가진 층으로, 폴리에스텔아크릴레이트, 우레탄아크릴레이트, 에폭시아크릴레이트 등의 다관능 아크릴레이트를, 열 또는 전리방사선으로 경화시킨 층일 수 있다. 방오층은, 발수성(撥水性), 발유성(撥油性)의 코팅으로서 실록산(siloxane)계, 불소화 알킬시릴(alkylsilyl)화합물 등이 적용될 수 있다. 방현층은 외부광을 난반사하는 미세한 요철표면을 가진 층이다.

(시트화)

이상과 같이 연속한 대상의 권취롤 형태로 제조되어 온 부재를 절단해서, 1매씩의 전자파차폐용 시트(1)를 얻는다. 이 전자파차폐용 시트(1)를 유리와 같은 투명한 기판에 부착시키고, 또 필요에 따라 NIR흡수층, AR층, 하드코팅층, 방오층, 방현층과 조합시켜 디스플레이 전면판(前面板)으로 만든다.

상기 기판으로는, 대형의 디스플레이에는 두께 1∼1Omm의 충분한 강성을 가진 것을 쓰게 된다. 또, 캐릭터 표시관 등의 소형 디스플레이에는 두께 O.01∼O.5mm의 플라스틱크필름이 사용된다. 즉, 디스플레이의 크기나 용도에 따라 적절히 선택할 수 있다. 여기서는, 전자파차폐용 시트(1)가, 일단 디스플레이 전면판이 되도록 디스플레이의 전면에 설치된다. 그 때문에 기재(11)측이 관찰측으로 된다. 그러나, 전자파 차폐용 시트(1)는 디스플레이의 전면에다 직접 첩착시켜도 좋다.

(직접첩착)

도 7은, 디스플레이면에 첩착되는 본 발명의 전자파 차폐용 시트의 단면도이다. 이 경우에는, 메쉬모양으로 된 금속층(21)쪽이 관찰측으로 되어 있고, 금속박의 양면에 흑화처리층과 녹방지층이 순차로 형성되어 있다. 이 경우, 접지용 프레임부(101)가 바깥쪽으로 노출되어 있기 때문에, 전극을 꺼집어내기가 쉽고, 접지하기도 쉽다. 또, 이 접지용 프레임(101)이 흑화처리된 검은색 면이 관찰측으로 되기 때문에, 전면유리판의 액자(額子)형상으로 실시되던 흑색인쇄가 필요하지 않게 되어, 공정이 단축되고, 제조비용 면에서 유리하다.

(실험예 1)

도전재로서, 표면에 평균입자지름 O.3㎛인 동-코발트 합금입자에 의한 흑화처리가 실시되고, 또 크로메이트(처리)에 의한 방수겸 흑화처리층이 부가된 두께 10㎛의 전해금속이 쓰인다. 이 전도재의 크로메이트(처리)층과, 두께가 100㎛인 2 축연신 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET)필름 A4300(일본 토요방적의 상품명)을, 2 액경화형 폴리우레탄계 접착제로 라미네이트한 후, 56℃에서 4일간 에이징하였다. 접착제로는 폴리올로 이루어진 주제(主劑)의 타케락 A-310과 이소시아네이트로 이루어진 경화제 A-10(모두 일본국 타케다약품의 상품명)을 쓰고, 도포량은 건조 후의 두께로 7㎛로 하였다.

포토리소그래피법에 의한 메쉬의 형성은, 연속한 대상의 부재에 대해 마스킹에서 에칭까지 실행함에 있어, 컬러TV 쉐도우마스크용 제조라인을 유용(流用)하여 실행하였다. 구체적으로는, 먼저 도전재층면 전체에 카제인으로 된 감광성 레지스트를 플로우코팅법으로 도포하였다. 다음 도전재층을 다음 스테이션으로 반송해서, 아래에 기재된 것과 같은 형상을 가진 패턴판 및 고압수은등을 써서 밀착노광시켰다. 그 후, 도전재층을 차례로 각 스테이션으로 반송하면서 물 현상시키고, 경막처리를 하고, 또 100℃에서 버닝처리(burning)를 하였다.

상기 패턴판의 형상은, 메쉬부에서의 개구부가 정사각형이고, 라인폭이 22 ±1㎛, 라인간격(피치)이 300㎛, 바이어스각도가 49°이고, 폭이 5mm인 메쉬 외주부에서의 라인폭이 22㎛로부터 접지용 프레임을 향해 연속적으로 증가하여 접지용 프레임부와 접하는 부분에서 40㎛가 되는 접지용 프레임부(어스부)의 폭이 5mm인 형상을 한 것이었다.

그 다음 도전채층을 스테이션으로 반송하여, 에칭액으로 40℃, 40°보메의 염화제2철 용액을 스프레이법으로 뿜어줌으로써 에칭을 하여 개구부를 형성시켰다. 그 후 도전재층을 차례로 각 스테이션을 반송하면서, 수세하고, 레지스트를 박리하고, 세정한 후, 100℃에서 건조시켰다. 그에 따라, 실험예 1의 전자파차폐용 시트를 얻었다.

(비교예 1)

패턴판의 형상으로서, 메쉬부 및 메쉬 외주부에서의 개구부가 정사각형, 라인폭이 접지용 프레임부까지 모두 같이 22㎛, 라인간격(피치)이 80O㎛, 바이어스 각도가 49°이고, 그 이외는 실험예 1과 마찬가지로 하였다. 그에 의해, 비교예 1의 전자파 차폐용 시트를 얻을 수 있었다.

(실험예 2)

실험예 1의 메쉬부 및 메수 외주부에 아래의 조성으로 된 평탄화층 조성물을 도포하여 개구부 오목부를 충전하였다. 그 후, 두께 50㎛의 SP-PET20-BU(일본국 토세로사의 표면이형처리 PET필름 상품명)를 라미네이트한 후, 고압수은등을 이용해서 200mj/㎠의 노광(365nm 환산)을 하였다. 그리고, SP-PET20-BU를 박리함으로써 메쉬부가 평탄화된 실험예 2의 전자파차폐용 시트를 얻었다. 이 전자파 차폐용 시트는 실험예 1과 마찬가지의 성능을 갖고 있다.

평탄화층 조성물로는, N-비닐-2-피롤리돈 20질량부, 디시클로펜테닐 아크릴레이트 25질량부, 올리고에스텔 아크릴레이트(일본국 토아합성의 M-8060) 52질량부, 1-히드록시시크로헥실 페닐케톤(시바-가이기사의 이루가큐어 184) 3질량부를 사용하였다.

(실험예 3)

실험예 2의 평탄화층 조성물에다 근적외선 흡수제로서 디올-니켈 복합제 1 질량부를 함유시킨 외에는 실험예 2와 마찬가지로 해서 전자파 차폐용 시트를 얻었다. 이 전자파 차폐용 시트는, 실험예 1과 마찬가지 성능을 가져 디스플레이화상의 시인성이 보더 더 좋아졌다.

(실험예 4)

실험예 2의 평탄화층면에다 NIR필름 No2832(일본국 동양방적사의 근적외선 흡수필름 상품명)를 점착제로 적층시켰다. 그 외에는 실험예 2와 마찬가지로 해서 전자파 차폐용 시트를 얻었다. 이 전자파 차폐용 시트는, 실험예 1과 마찬가지의 성능을 가져, 디스플레이화상의 시인성이 보다 더 좋아졌다.

(실험예 5)

상기 패턴판의 형상으로서, 메쉬부에서의 개구부가 정사각형, 라인폭이 20㎛, 라인간격(피치)이 250㎛, 바이어스 각도가 60°, 5mm폭의 메쉬 외주부에서의 라인폭이 20㎛로부터 접지용 프레임부을 향해 연속적으로 증가해서 접지용 프레임부와 접하는 부분에서 26㎛가 되도록 한 점 이외는 실시예 1과 마찬가지로 하였다. 그에 따라, 실험예 5의 전자파 차폐용 시트를 얻을 수 있었다.

(실험예 6)

상기 패턴판의 형상으로서, 메쉬부에서의 개구부가 정사각형, 라인폭이 20㎛, 라인간격(피치)이 250㎛, 바이어스 각도가 60°이고, 3mm 폭의 메쉬 외주부에서의 라인폭이 20㎛로부터 접지용 프레임부을 향해 연속적으로 증가하여 접지용 프레임부와 접하는 부분에서 26㎛인 점 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 하였다. 그에 따라, 실험예 6의 전자파 차폐용 시트를 얻을 수 있었다.

(실험예 7)

상기 패턴판의 형상으로서, 메쉬부에서의 개구부가 정사각형, 라인폭이 20㎛, 라인간격(피치)이 300㎛, 바이어스 각도가 49°이고, 25메쉬 분의 메쉬 외주부에서의 라인폭이 20㎛로부터 접지용 프레임부를 향해 1셀 마다 1.0㎛씩 단계적으로 증가해서 접지용 프레임부와 접하는 부분에서 45㎛가 되도록 한 점 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 하였다. 그에 따라, 실험예 7의 전자파 차폐용 시트를 얻을 수 있었다.

(실험예 8)

상기 패턴판의 형상으로서, 메쉬부에서의 개구부가 정사각형, 라인폭이 20㎛, 라인간격(피치)이 300㎛, 바이어스 각도가 49°이고, 5메쉬 분의 메쉬 외주부에서의 라인폭이 20㎛로부터 접지용 프레임부를 향해 1셀 마다 3.0㎛씩 단계적으로 증가해서 접지용 프레임부와 접하는 부분에서 35㎛가 되도록 한 점 이외는, 실험예 1과 마찬가지로 하였다. 그에 따라, 실험예 8의 전자파 차폐용 시트를 얻을 수 있었다.

(실험예 9)

동-코발트 합금입자에 의한 흑화처리면 및 크로메이트(처리)층과 반대되는 면에 PET필름을 라미네이트하였다. 그 이외는 실험예 2과 마찬가지로 하였다. 그에 의해 실험예 9의 전자파 차폐용 시트를 얻을 수 있었다.

(결과)

실험예 1에서는, 메쉬부의 라인폭이 22㎛인 레지스트패턴판을 썼더니, 에칭 후의 실제의 메쉬부의 라인폭이 7∼17㎛이었다. 그리고, 에칭 후의 실제의 메쉬 외주부의 라인폭은, 메쉬부와 접하는 부분이 7∼17㎛이고, 접지용 프레임부에 접하는 부분이 17∼29㎛이었다.

비교예 1에서는, 에칭 후의 실제의 메쉬부의 라인폭이, 메쉬부와 접하는 부분에서 접지용 프레임부에 접하기 직전부분까지에서는 10∼16㎛이었으나, 접지용 프레임부에 접하는 부분에서는 5∼20㎛로 오차가 컸다.

또, 실험예 1 및 비교예 1의 전자파 차폐용 시트 각 1O0매에 대해 실험예 2와 같은 순서로 평탄화층을 형성시켰다. 그 결과, 실험예 1의 100매에는 이상 없이 평탄화층이 형성되었지만, 비교예 1에서는 2매에 단선이 발생하여 제품수율이 낮았다.

그리고, 실험예 1 및 비교예 1의 전자파 차폐용 시트 각 100매를, PDP 패널에다 조립하였다. 그 결과, 실험예 1의 100매는 이상 없이 조립될 수 있었지만, 비교예 1에서는 1매에 접혀짐이 발생하고, 1매에는 단선이 발생해서 제품수율이 낮았다.

한편, 실험예∼실험예 8 및 비교예 1의 전자파 차폐용 시트를 전면판에다 가공해서 PDP 디스플레이의 전면에 설치하고서, 화상을 표시하도록 해서 시인성을 평가하였더니, 모두 시인성이 양호하였다.

또, 실험예 9의 전자파 차폐용 시트의 기재면을 점착제로 PDP 디스플레이에 설치하였더니, 눈부심도 없고, 화상의 시인성도 양호하며, 전극을 인출하는 공수도 줄어들고, 액자모양의 흑인쇄도 필요하지 않았다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 전자파차폐용 시트에 의하면, 디스플레이 표면에 장치했을 때, 디스플레이에서 발생하는 전자파를 차폐하고, 또 메쉬의 라인 부분이 비시인성이어서 전자파차폐성 및 투명성의 양 특성을 만족시키고, 또 라인폭이 일정 범위 내에 있기 때문에 농담얼룩이 없고, 디스플레이 화상에 흰색 및/또는 흑색의 점모양, 선모양 결점이 나타나지 않게 된다. 또 메쉬의 곡면측면부의 곡률반경과 메쉬 두께와의 관계를 특정범위 내로 하였기 때문에, 화면의 눈부심이 없어 화상을 양호하게 바라볼 수가 있게 된다.

Claims (13)

1. 투명기재와, 이 투명기재의 한쪽 면에 적층된 금속층을 갖추되, 이 금속층이, 메쉬모양의 메쉬부와, 이 메쉬부를 에워싸는 메쉬모양의 메쉬 외주부 및, 이 메쉬 외주부를 에워싸는 접지용 프레임부를 갖고서, 상기 메쉬 외주부의 메쉬를 구성하는 라인의 라인폭이, 메쉬부에서부터 접지용 프레임부를 향해 점차 폭이 커지도록 된 것을 특징으로 하는 전자파 차폐용 시트.
2. 제1항에 있어서, 상기 메쉬부의 메쉬를 구성하는 라인의 라인폭이 한결같도록 된 것을 특징으로 하는 전자파 차폐용 시트.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 메쉬 외주부가, 상기 접지용 프레임부에서 상기 메쉬부로 향하는 방향으로 1∼50개의 메쉬를 포함하도록 된 것을 특징으로 하는 전자파 차폐용 시트.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 메쉬 외주부가, 상기 접지용 프레임부에서 상기 메쉬부로 향하는 방향으로 O.15∼15mm의 폭을 갖도록 된 것을 특징으로 하는 전자파 차폐용 시트.
5. 제3항에 있어서, 상기 메쉬 외주부가, 상기 접지용 프레임부에서 상기 메쉬부로 향하는 방향으로 1∼25개의 메쉬를 포함하도록 된 것을 특징으로 하는 전자파 차폐용 시트.
6. 제4항에 있어서, 상기 메쉬 외주부가, 상기 접지용 프레임부에서 상기 메쉬부로 향하는 방향으로 O.3∼7.5mm의 폭을 갖도록 된 것을 특징으로 하는 전자파 차폐용 시트.
7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 메쉬 외주부의 메쉬를 구성하는 라인의 라인폭이, 메쉬부에서부터 접지용 프레임부를 향해 연속적으로 폭이 넓어지도록 된 것을 특징으로 하는 전자파 차폐용 시트.
8. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 메쉬 외주부의 메쉬를 구성하는 라인의 라인폭이, 메쉬부에서부터 접지용 프레임부를 향해 단계적으로 폭이 커지도록 된 것을 특징으로 하는 전자파 차폐용 시트.
9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 금속층의 적어도 한쪽 면이 흑화처리되어 있는 것을 특징으로 하는 전자파 차폐용 시트.
10. 제9항에 있어서, 상기 금속층의 적어도 흑화처리된 면에 녹방지층이 형성된 것을 특징으로 하는 전자파 차폐용 시트.
11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 메쉬부 및 상기 메쉬 외주부의 적어도 메쉬의 개구부가 수지로 충전되어 상기 금속층이 실질적으로 평탄화되어 있는 것을 특징으로 하는 전자파 차폐용 시트.
12. 제11항에 있어서, 상기 수지가, 파장 570∼605nm의 가시대역의 광을 흡수하는 색조보정용 광선흡수제 및/또는 파장 800∼1100nm의 근적외 대역의 광을 흡수하는 근적외선 흡수제를 함유하도록 된 것임을 특징으로 하는 전자파 차폐용 시트.
13. 제11항에 있어서, 적어도 한쪽 면에 파장 570∼605nm의 가시대역의 광을 흡수하는 색조보정용 광선흡수제층 및/또는 파장 800∼1100nm의 근적외 대역의 광을 흡수하는 근적외선 흡수제층이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 전자파 차폐용 시트.