KR20050105084A - 알칼리 세정제 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 내알루미늄부식성이 우수한 신규한 세정제, 세정방법 및 세정된 전자부품을 제공한다.
알칼리성분(A), 질소원자를 함유하지 않는 수평균 분자량 92~400의 3~8가의 다가 알코올(B) 및 질소원자를 함유하지 않는 수평균 분자량 62~250의 2가 알코올(C1)과 질소원자를 함유하지 않는 수평균 분자량 32~500의 1가 알코올(C2)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 1종류의 알코올(C)를 함유하는 알칼리 세정제; 상기 세정제를 사용하여 초음파 세정, 샤워 세정, 스프레이 세정, 침지 및 침지 요동으로부터 선택되는 1종류 이상의 방법으로 세정하는 것을 특징으로 하는 전자부품, 전기부품 또는 알루미늄 건재의 세정방법; 상기 세정방법으로 세정하여 린스한 후, 건조하여 얻어지는 전자부품, 전기부품 또는 알루미늄 건재;이다.
Description
본 발명은 전자부품, 금속부품, 세라믹부품 등에 부착되어 있는 유지류, 수지, 파티클 등을 제거하는 데 사용되는 알칼리 세정제, 더욱 상세하게는 액정패널의 수직배향 폴리이미드막(특히 반소성막)의 박리액으로서 사용되는 알칼리 세정제에 관한 것이다.
종래부터, 알칼리 세정제는 중성 세정제에 비해 유지류, 수지, 파티클 등을 제거하는 능력이 우수하기 때문에 전자부품, 금속부품, 세라믹부품 등 생산현장에 있어서 폭넓게 사용되고 있다. 그러나, 알칼리 세정제는 알루미늄 등의 비철금속을 용이하게 부식시키기 때문에 알루미늄이 부품의 일부 또는 전부에 사용되고 있는 전자부품 등의 세정에는 사용할 수 없는 것이 현재 상태였다. 예를 들면, 전자부품 특히 액정패널의 폴리이미드 배향막은 지금까지 수평배향 타입이었지만, 광시야각 액정패널의 요망이 강해짐에 따라 수직배향 타입의 폴리이미드 배향막이 증가하는 추세에 있다. 수평배향 타입의 폴리이미드 배향막 유리기판은 완전소성(소성온도: 약 180℃) 전의 반소성 상태(약 80℃에서 탈용제한 반경화막)라면, 그 불량품은 N-메틸피롤리돈 등의 용제로 알루미늄 박막(배선)을 부식하지 않고 배향막을 박리할 수 있지만, 수직배향 타입의 폴리이미드 배향막의 경우에는 상기 반소성 상태이더라도 용제로는 폴리이미드 배향막(반소성)을 박리할 수 없기 때문에 알칼리 세정제를 사용하여 배향막 박리를 행하고 있다(특허문헌-1 참조). 그 때, 유리기판의 알루미늄 박막(배선)은 부식하기 때문에 알루미늄 박막부분을 왁스 등으로 보호하여 세정하고, 이어서 탄화수소 등의 용제로 왁스 제거하여 기판을 재생시키거나, 배향막과 동시에 알루미늄 박막을 완전하게 박리·용해시키고 나서 유리기판만을 재생시키는 방법이 취해지고 있었다.
[특허문헌-1] 일본국 특허공개 제(평)6-306661호 공보
본 발명의 목적은 내알루미늄부식성이 우수한 신규한 세정제, 세정방법 및 세정된 전자부품을 제공하는 데 있다.
본 발명자는 상기 목적을 달성하기 위해 예의 연구한 결과 본 발명에 도달하였다.
즉, 본 발명은 알칼리성분(A), 질소원자를 함유하지 않는 수평균 분자량 92~400의 3~8가의 다가 알코올(B) 및 질소원자를 함유하지 않는 수평균 분자량 62~250의 2가 알코올(C1)과 질소원자를 함유하지 않는 수평균 분자량 32~500의 1가 알코올(C2)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 1종류의 알코올(C)로 된 알칼리 세정제; 상기 세정제를 사용하여 초음파 세정, 샤워 세정, 스프레이 세정, 침지 및 침지요동으로부터 선택되는 1종류 이상의 방법으로 세정하는 것을 특징으로 하는 전자부품, 전기부품 또는 알루미늄 건재의 세정방법; 상기 세정방법으로 세정하고, 린스한 후 건조하여 얻어지는 전자부품, 전기부품 또는 알루미늄 건재;이다.
본 발명에 있어서의 알칼리성분(A)로서는 (A1) 금속 수산화물[알칼리금속 수산화물(수산화리튬, 수산화나트륨 및 수산화칼륨 등), 알칼리토류금속 수산화물(수산화칼슘, 수산화마그네슘 및 수산화바륨 등)], (A2) 탄산염[알칼리금속 탄산염(탄산나트륨 및 탄산칼륨 등), 알칼리토류금속 탄산염(탄산칼슘, 탄산마그네슘 및 탄산바륨 등)], (A3) 인산염[알칼리금속 인산염(피로인산나트륨, 피로인산칼륨, 트리폴리인산나트륨 및 트리폴리인산칼륨 등), 알칼리토류금속 인산염(피로인산칼슘, 피로인산마그네슘, 피로인산바륨, 트리폴리인산칼슘, 트리폴리인산마그네슘 및 트리폴리인산바륨 등)], (A4) 규산염[알칼리금속 규산염(규산나트륨 및 규산칼륨 등), 알칼리토류금속 규산염(규산칼슘, 규산마그네슘 및 규산바륨 등)], (A5) 암모니아, (A6) 히드록실아민, (A7) 하기 화학식 1로 나타내어지는 유기 알칼리 및 이들의 혼합물 등을 들 수 있다.
식중, R1은 탄소수 1~24, 바람직하게는 1~14의 탄화수소기, R2, R3 및 R
4는 각각 수소원자, 탄소수 1~24, 바람직하게는 1~14의 탄화수소기 또는 화학식 2로 나타내어지는 기로, R5는 탄소수 2~4의 알킬렌기, p는 1~6의 정수를 나타낸다.
화학식 1에 있어서, R1로서는 직쇄 또는 분지의 포화 또는 불포화 탄화수소기, 지환식 탄화수소기 및 방향고리 함유 탄화수소기 등을 들 수 있다.
직쇄 또는 분지의 포화 탄화수소기로서는, 알킬기(메틸기, 에틸기, n-, i-, sec- 및 t-부틸기, 옥틸기, 2-에틸헥실기 및 옥타데실기 등); 직쇄 또는 분지의 불포화 탄화수소기로서는 알케닐기(비닐기, 프로페닐기, 알릴기 및 부테닐기 등); 지환식 탄화수소기로서는, 시클로알킬기(시클로헥실기 등); 방향고리 함유 탄화수소기로서는, 아릴기(페닐기 및 나프틸기 등), 아랄킬기(벤질기 및 페네틸기 등), 알킬아릴기(메틸페닐기, 에틸페닐기, 노닐페닐기, 메틸나프틸기 및 에틸나프틸기 등) 등을 들 수 있다.
이들 탄화수소기 중에서는, 세정성의 관점에서 바람직한 것은 알킬기 및 알케닐기이다.
R1의 탄소수가 24 이하이면 세정성(또는 박리성, 이하 동일)이 우수하다.
R2, R3 및 R4가 탄화수소기인 경우의 탄화수소기로서는 R1과 동일한 것을 들 수 있고, 바람직한 것도 동일하다. R2, R3 및 R4의 탄소수가 24 이하이면 세정성이양호하다.
화학식 2에 있어서, R5로서는 예를 들면 에틸렌기, 프로필렌기 및 부틸렌기 등의 탄소수 2~4의 알킬렌기를 들 수 있다.
R5의 탄소수가 4 이하이면 세정성이 양호하다. p는 1~6(바람직하게는 1~3)의 정수이고, p가 6 이하이면 세정성이 양호하다.
유기 알칼리(A7)의 예로서는 적어도 1개의 탄화수소기가 질소원자에 결합한 하기 (1)~(5)의 양이온과 하이드로옥사이드 음이온의 염 및 이들의 혼합물을 들 수 있다.
(1) 탄화수소기를 4개 포함하는 4급 암모늄 양이온
탄소수 1~6의 알킬기를 4개 포함하는 테트라하이드로카르빌암모늄[예를 들면, 테트라메틸암모늄, 테트라에틸암모늄, 트리메틸에틸암모늄, 테트라(n- 또는 i-)프로필암모늄, 테트라(n-, i- 또는 t-)부틸암모늄, 테트라펜틸암모늄 및 테트라헥실암모늄 등];
탄소수 1~6의 알킬기를 3개 포함하는 테트라하이드로카르빌암모늄[예를 들면, 트리메틸헵틸암모늄, 트리메틸옥틸암모늄, 트리메틸데실암모늄, 트리메틸도데실암모늄, 트리메틸스테아릴암모늄, 트리메틸벤질암모늄, 트리에틸헥실암모늄, 트리에틸옥틸암모늄, 트리에틸스테아릴암모늄, 트리에틸벤질암모늄, 트리부틸암모늄, 트리부틸옥틸암모늄 및 트리헥실스테아릴암모늄 등];
탄소수 1~6의 알킬기를 2개 포함하는 테트라하이드로카르빌암모늄[예를 들면, 디메틸디옥틸암모늄, 디에틸디옥틸암모늄 및 디메틸디벤질암모늄 등],
탄소수 1~6의 알킬기를 1개 포함하는 테트라하이드로카르빌암모늄[예를 들면, 메틸트리옥틸암모늄, 에틸트리옥틸암모늄 및 메틸옥틸디벤질암모늄 등].
(2) 탄화수소기를 3개 포함하는 3급 아민 양이온
탄소수 1~6의 알킬기를 3개 포함하는 트리하이드로카르빌아민 양이온[예를 들면, 트리메틸아민 양이온, 트리에틸아민 양이온 및 트리부틸아민 양이온 등];
탄소수 1~6의 알킬기를 2개 포함하는 트리하이드로카르빌아민 양이온[예를 들면, 디메틸옥틸아민 양이온, 디메틸스테아릴아민 양이온, 디에틸옥틸아민 양이온, 디부틸옥틸아민 양이온 및 디메틸벤질아민 양이온 등];
탄소수 1~6의 알킬기를 1개 포함하는 트리하이드로카르빌아민 양이온[예를 들면, 메틸디옥틸아민 양이온, 에틸디옥틸아민 양이온 및 메틸옥틸벤질아민 양이온 등].
(3) 탄화수소기를 2개 포함하는 2급 아민 양이온
탄소수 1~6의 알킬기를 2개 포함하는 디하이드로카르빌아민 양이온[예를 들면, 디메틸아민 양이온, 디에틸아민 양이온, 디부틸아민 양이온 및 디헥실아민 양이온 등]; 탄소수 1~6의 알킬기를 1개 포함하는 디하이드로카르빌아민 양이온[예를 들면, 메틸옥틸아민 양이온, 에틸옥틸아민 양이온, 부틸옥틸아민 양이온, 헥실옥틸아민 양이온, 메틸스테아릴아민 양이온, 메틸벤질아민 양이온 및 에틸벤질아민 양이온 등]
(4) 탄화수소기를 1개 포함하는 1급 아민 양이온
모노하이드로카르빌(탄소수 1~6)아민 양이온, 예를 들면 메틸아민 양이온, 에틸아민 양이온, 부틸아민 양이온 및 헥실아민 양이온 등
(5) 옥시알킬렌기를 포함하는 양이온
(i) 옥시알킬렌기를 1개 가지는 양이온[예를 들면, 히드록시에틸트리메틸아민 양이온, 히드록시에틸트리에틸아민 양이온, 히드록시프로필트리메틸아민 양이온, 히드록시프로필트리에틸아민 양이온, 히드록시에틸디메틸에틸아민 양이온 및 히드록시에틸디메틸옥틸아민 양이온 등]
(ii) 옥시알킬렌기를 2개 가지는 양이온[예를 들면, 디히드록시에틸디메틸아민 양이온, 디히드록시에틸디에틸아민 양이온, 디히드록시프로필디메틸아민 양이온, 디히드록시프로필디에틸아민 양이온, 디히드록시에틸메틸에틸아민 양이온, 디히드록시에틸메틸옥틸아민 양이온 및 비스(2-히드록시에톡시에틸)옥틸아민 양이온 등]
(iii) 옥시알킬렌기를 3개 가지는 양이온[예를 들면, 트리히드록시에틸메틸아민 양이온, 트리히드록시에틸에틸아민 양이온, 트리히드록시에틸부틸아민 양이온, 트리히드록시프로필메틸아민 양이온, 트리히드록시프로필에틸아민 양이온 및 트리히드록시에틸옥틸아민 양이온 등]
알칼리성분(A) 중, 세정성과 린스성의 관점에서 바람직한 것은 (A1) 및 (A7)이다. (A1) 중 세정성의 관점에서 바람직한 것은 알칼리금속 수산화물, 더욱 바람직한 것은 수산화나트륨 및 수산화칼륨이다. (A7) 중 세정성과 린스성의 관점에서 바람직한 것은 상기 (1) 및 (2)의 염, 더욱 바람직한 것은 (1)의 염, 특히 바람직한 것은 탄소수 1~6의 알킬기를 4개 포함하는 테트라알킬암모늄하이드로옥사이드, 가장 바람직한 것은 테트라메틸암모늄하이드로옥사이드 및 테트라에틸암모늄하이드로옥사이드이다.
상기 화합물은 혼합물로서 사용하는 것도 가능하다.
본 발명에 있어서의 질소원자를 함유하지 않는 수평균 분자량 92~400[수평균 분자량, 이하 Mn이라고 약기, 측정은 겔 투과 크로마토그래피(GPC)에 의한다]의 3~8가의 다가 알코올(B)로서는, 3~8가의 지방족 다가 알코올(글리세린, 트리메틸올에탄, 트리메틸올프로판, 디글리세린, 트리글리세린, 테트라글리세린, 펜타글리세린, 크실리톨, 소르비톨 및 수크로오스 등) 및 이들의 알킬렌옥사이드(탄소수 2~3)부가물(부가몰수 1~7몰) 등을 들 수 있다.
이들 중 세정성과 린스성의 관점에서 바람직한 것은 글리세린, 디글리세린 및 트리글리세린이다.
본 발명에 있어서의 질소원자를 함유하지 않는 Mn 62~250의 2가 알코올(C1)로서는, 알칸디올(탄소수 2~8의 알칸디올: 에틸렌글리콜, 1,2-프로필렌글리콜, 1,3-프로필렌글리콜, 1,4-부탄디올, 1,6-헥산디올 및 네오펜틸글리콜 등), 지환식 디올(탄소수 6~15의 디올: 시클로헥산-1,2-, 1,3- 및 1,4-디올, 시클로펜탄-1,2- 및 1,3-디올과 수소첨가 비스페놀 A 등), 분자 중에 에테르기를 1개 가지는 디올(디에틸렌글리콜 및 디프로필렌글리콜 등) 및 이들의 혼합물을 들 수 있다. (C1)의 분자량은 바람직하게는 62 이상 150 미만이다.
본 발명에 있어서의 질소원자를 함유하지 않는 Mn 32~500의 1가 알코올(C2)로서는 탄소수 1~12의 지방족 알코올 및 상기 알코올에 탄소수 2~4의 알킬렌옥사이드를 부가한 화합물 및 이들의 혼합물을 들 수 있다. 탄소수 1~12의 지방족 알코올로서는 구체적으로는 메탄올, 에탄올, 이소프로판올 및 부탄올 등을 들 수 있고, 상기 알코올에 탄소수 2~4의 알킬렌옥사이드를 부가한 화합물로서는 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르 및 디에틸렌글리콜모노부틸에테르 등을 들 수 있다.
(C) 중에서는, 세정성과 내부식성의 관점에서 바람직한 것은 하기 화학식 3으로 나타내어지는 2가 또는 1가 알코올이다.
식중, R6은 수소원자 또는 탄소수 1~12, 바람직하게는 1~4의 탄화수소기이고, A1은 탄소수 2~4, 바람직하게는 2 또는 3의 알킬렌기이며, n은 1~4, 바람직하게는 1 또는 2의 정수를 나타낸다.
화학식 3으로 나타내어지는 알코올 중, 더욱 바람직한 것은 (C1) 중 프로필렌글리콜 및 디프로필렌글리콜, (C2) 중 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르 및 트리에틸렌글리콜모노메틸에테르이고, 특히 바람직한 것은 프로필렌글리콜, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노메틸에테르 및 이들 중 2종류 이상의 병용이다.
본 발명의 세정제에 있어서의 (A), (B) 및 (C)의 함유량은 세정성과 내부식성의 관점에서 (A), (B) 및 (C)의 합계 중량을 기준으로, (A)는 바람직하게는 0.1~25%(이하에 있어서 %는 중량%를 나타낸다), 더욱 바람직하게는 0.2~10%이고, (B)는 바람직하게는 1~25%, 더욱 바람직하게는 2~15%이며, (C)는 바람직하게는 60~95%, 더욱 바람직하게는 75~93%이다. 또한, (A)와 (B)의 중량비는 세정성과 내부식성의 관점에서 바람직하게는 1/99~50/50, 더욱 바람직하게는 20/80~50/50이다.
본 발명의 세정제에는 (A), (B) 및 (C) 이외에, 필요에 따라 추가로 계면활성제(D), 아미드기 함유 친수성 용제(E), 기타 첨가제(F) 및/또는 물을 함유할 수 있다.
계면활성제(D)로서는 비이온 계면활성제(D1), 음이온 계면활성제(D2), 양이온 계면활성제(D3), 양성 계면활성제(D4) 및 이들의 혼합물을 들 수 있다. 단, (D1)에는 (B) 및 (C)의 범위의 알코올은 포함되지 않는다. 또한, (D3)에는 화학식 1로 나타내어지는 유기 알칼리는 포함되지 않는다.
(D1)로서는, 예를 들면, 알킬렌옥사이드 부가형 비이온 계면활성제[고급 알코올(탄소수 8~18), 알킬페놀(탄소수 10~24), 고급 지방산(탄소수 12~24) 또는 고급 알킬아민(탄소수 8~24) 등에 직접 알킬렌옥사이드[탄소수 2~4, 예를 들면 에틸렌옥사이드(이하 EO라고 약기), 프로필렌옥사이드, 부틸렌옥사이드, 이하 동일]를 부가시킨 것(Mn 158~200,000); 폴리옥시알킬렌글리콜(Mn 150~6,000)에 고급 지방산(탄소수 12~24) 등을 반응시킨 것; 디올[상기 (C1)로서 예시한 것] 또는 3~8가의 다가 알코올[상기 (B)로서 예시한 것] 등의 수산기 함유 화합물에 고급 지방산(탄소수 12~24)을 반응시켜서 얻어진 에스테르화물에 알킬렌옥사이드를 부가시킨 것(Mn 250~30,000), 고급 지방산(탄소수 8~24)아미드에 알킬렌옥사이드를 부가시킨 것(Mn 200~30,000), 다가 알코올(상기의 것)알킬(탄소수 8~60)에테르에 알킬렌옥사이드를 부가시킨 것(Mn 120~30,000) 등] 및 다가 알코올(탄소수 3~20)형 비이온 계면활성제[다가 알코올 지방산(탄소수 8~60)에스테르, 다가 알코올알킬(탄소수 8~60)에테르, 지방산(탄소수 8~60)알칸올아미드 등] 등을 들 수 있다.
(D2)로서는, 예를 들면, 카르복실산(탄소수 8~22의 포화 또는 불포화 지방산) 또는 그의 염, 카르복시메틸화물의 염[탄소수 8~16의 지방족 알코올 및/또는 그의 EO(1~10 몰)부가물 등의 카르복시메틸화물의 염 등], 황산에스테르염[고급 알코올 황산에스테르염(탄소수 8~18의 지방족 알코올의 황산에스테르염 등) 등], 고급 알킬에테르 황산에스테르염[탄소수 8~18의 지방족 알코올의 EO(1~10 몰)부가물의 황산에스테르염], 황산화유(천연의 불포화 유지 또는 불포화 밀랍(wax)을 그대로 황산화하여 중화한 염), 황산화 지방산에스테르(불포화 지방산의 저급 알코올에스테르를 황산화하여 중화한 염), 황산화 올레핀(탄소수 12~18의 올레핀을 황산화하여 중화한 염), 설폰산염[알킬벤젠설폰산염, 알킬나프탈렌설폰산염, 설포숙신산디에스테르형, α-올레핀(탄소수 12~18)설폰산염, 이게폰 T형 등] 및 인산에스테르염[고급 알코올(탄소수 8~60) 인산에스테르염, 고급 알코올(탄소수 8~60) EO부가물 인산에스테르염, 알킬(탄소수 4~60)페놀 EO부가물 인산에스테르염 등]을 들 수 있다.
상기의 염으로서는, 알칼리금속(나트륨, 칼륨 등)염, 알칼리토류금속(칼슘, 마그네슘 등)염, 암모늄염, 알킬아민(탄소수 1~20)염 및 알칸올아민(탄소수 2~12, 예를 들면 모노-, 디- 및 트리에탄올아민)염 등을 들 수 있다.
(D3)로서는 제4급 암모늄염형[테트라알킬(탄소수 4~100) 암모늄염, 예를 들면, 라우릴트리메틸 암모늄클로라이드, 디데실디메틸 암모늄클로라이드, 디옥틸디메틸 암모늄브로마이드, 스테아릴트리메틸 암모늄브로마이드; 트리알킬(탄소수 3~80)벤질 암모늄염, 예를 들면 라우릴디메틸벤질 암모늄클로라이드(염화벤잘코늄); 알킬(탄소수 2~60)피리디늄염, 예를 들면 세틸피리디늄클로라이드; 폴리옥시알킬렌(탄소수 2~4)트리알킬 암모늄염, 예를 들면 폴리옥시에틸렌트리메틸 암모늄클로라이드; 사파민형 제4급 암모늄염, 예를 들면 스테아라미드에틸디에틸메틸 암모늄메토설페이트], 아민염형[지방족 고급 아민(탄소수 12~60, 예를 들면 라우릴아민, 스테아릴아민, 세틸아민, 경화 우지(牛脂)아민, 로진(rosin)아민 등)의 무기산(염산, 황산, 질산 및 인산 등)염 또는 유기산(탄소수 2~22, 예를 들면 초산, 프로피온산, 라우릴산, 올레산, 안식향산, 숙신산, 아디프산, 아젤라인산)염; 저급 아민(탄소수 1~11)의 고급 지방산(탄소수 12~24, 예를 들면 스테아르산, 올레산)염; 지방족 아민(탄소수 1~30)의 EO부가물 등의 무기산(상기의 것)염 또는 유기산(상기의 것)염; 3급 아민류(트리에탄올아민모노스테아레이트, 스테아라미드에틸디에틸메틸에탄올아민 등)의 무기산(상기의 것)염 또는 유기산(상기의 것)염 등] 등을 들 수 있다.
(D4)로서는 아미노산형 양성 계면활성제[고급 알킬아민(탄소수 12~18)의 프로피온산나트륨 등], 베타인형 양성 계면활성제[알킬(탄소수 12~18)디메틸 베타인, 알킬(탄소수 12~18)디히드록시에틸 베타인, 야자유 지방산아미드프로필 베타인 등], 황산에스테르염형 양성 계면활성제[고급 알킬(탄소수 8~18)아민의 황산에스테르나트륨염, 히드록시에틸이미다졸린 황산에스테르나트륨염 등], 설폰산염형 양성 계면활성제(펜타데실설포타우린, 이미다졸린설폰산 등), 인산에스테르염형 양성 계면활성제[글리세린 고급 지방산(탄소수 8~22)에스테르화물의 인산에스테르아민염] 등을 들 수 있다.
(D1)~(D4) 중에서는 세정성과 내부식성의 관점에서 바람직한 것은 (D1) 및 (D2), 더욱 바람직한 것은 (D1)이다. (D)의 함유량은 세정제의 전체중량을 기준으로 통상 30% 이하, 바람직하게는 1~20%이다.
아미드기 함유 친수성 용제(E)는 20℃에 있어서의 물에 대한 용해도(g/100 g H2O)가 3 이상이고, 분자 중에 아미드기를 1개 이상 함유하는 수용성 아미드로, 2-피롤리돈 및 N-알킬(탄소수 1~3)-2-피롤리돈 등을 들 수 있다. 이들 중, 세정성과 린스성의 관점에서 바람직한 것은 N-메틸-2-피롤리돈, N-에틸-2-피롤리돈, N-n-프로필-2-피롤리돈 및 N-이소프로필-2-피롤리돈, 더욱 바람직한 것은 N-메틸-2-피롤리돈이다.
(E)의 함유량은 세정제의 전체중량을 기준으로, 세정성, 린스성 및 내부식성의 관점에서 바람직하게는 30% 이하, 더욱 바람직하게는 1~20%이다.
물의 함유량은 세정제의 전체중량을 기준으로, 세정성, 린스성 및 내부식성의 관점에서 바람직하게는 39% 이하, 더욱 바람직하게는 1~38%, 특히 바람직하게는 2~30%이다.
기타 첨가제(F)로서는 방청제[아민(탄소수 6~30, 예를 들면 시클로헥실아민, 라우릴아민, 스테아릴아민 등)의 EO(2~10 몰)부가물, 크롬산염, 아질산염, 아민(탄소수 6~30)의 고급 지방산(탄소수 8~30)염, 디카르복실산(탄소수 12~24)의 알칼리금속(나트륨, 칼륨 등)염, 디카르복실산(탄소수 12~24)의 알칸올아미드(예를 들면, 도데세닐숙신산 디에탄올아미드), 디카르복실산(탄소수 12~24)의 알칸올아미드알칼리금속염(예를 들면, 도데세닐숙신산 디에탄올아미드나트륨염) 등], 산화방지제[페놀화합물(2,6-디-t-부틸-4-메틸페놀 등), 함황화합물(디라우릴티오디프로피오네이트 등), 아민화합물(옥틸화디페닐아민 등), 인화합물(트리페닐포스파이트 등) 등], 금속이온 봉쇄제(에틸렌디아민 4초산나트륨, 구연산나트륨 등) 등을 들 수 있다.
(F)의 함유량은 세정제의 전체중량을 기준으로, 방청제는 통상 20% 이하, 바람직하게는 0.5~10%, 산화방지제는 통상 5% 이하, 바람직하게는 0.1~1%, 금속이온 봉쇄제는 통상 20% 이하, 바람직하게는 0.5~10%이다.
본 발명의 세정제의 중량을 기준으로 하는, (D), (E) 및 (F)의 합계 함유량은 통상 40% 이하, 바람직하게는 30% 이하, 더욱 바람직하게는 20% 이하이다.
본 발명의 세정제의 25℃에 있어서의 점도는 통상 2~300 ㎟/s, 세정성 및 린스성의 관점에서 바람직하게는 3~100 ㎟/s, 더욱 바람직하게는 4~50 ㎟/s이다. 점도는 오스트발트(Ostwald) 또는 우벨로데(Ubbelohde) 등의 점도계로 측정할 수 있다.
본 발명의 세정제의 pH(10% 수용액)는 통상 10~14, 세정성 및 내부식성의 관점에서 바람직하게는 10.5~13.5이다.
본 발명의 세정제는 각종 금속, 예를 들면, 철, 구리, 니켈, 알루미늄 및 이들 중 2종류 이상으로 된 합금에 대한 부식성이 적다. 특히 비철금속, 특히 알루미늄에 대한 부식성이 적다.
본 발명의 세정제의 알루미늄에 대한 부식속도(mdd)는 하기의 시험방법으로 측정할 수 있다. 바람직한 부식속도는 10 mdd 이하, 특히 5 mdd 이하이다.
부식 시험방법:
알루미늄 시험편(20 mm×50 mm, 두께 1 mm)을 세정제에 침지하고 50℃에서 1주일간 방치한 후, 순수로 린스한 후 90℃에서 30분간 건조하여 시험편의 중량을 측정하였다. 부식속도는 하기 식에 의해 구하였다.
본 발명의 세정제를 적용할 수 있는 용도는 특별히 한정되지 않으며, 각종 전자부품, 전기부품 및 알루미늄 건재 등의 세정에 사용되고, 바람직하게는 전자부품의 세정, 특히 알루미늄이 부품의 일부 또는 전부에 사용되고 있는 전자부품 등의 세정용으로서 폭넓게 사용할 수 있다. 예를 들면 액정패널용 유리기판(배향막 패턴화 전의 세정, 불량 배향막의 박리 세정), 프린트 기판, 플라스마 디스플레이 유리기판, 서멀헤드 등의 전자부품, 에어콘 냉각핀, 공기청정기 알루미늄 전극판, 전기 면도기날 등의 전기부품, 알루미늄 건재 등을 들 수 있다. 또한, 세정의 대상물(더러움)은 유분, 지문, 수지, 유기 파티클 등의 유기물, 무기 파티클(예를 들면, 유리분말, 세라믹분말, 금속분말 등) 등의 무기물을 들 수 있다. 본 발명의 세정제는 이들 중, 특히 액정패널용 유리기판의 세정(배향막을 박막화하기 전의 유리기판의 세정, 또는 배향막이 불량해진 유리기판의 세정)에 적합하게 사용할 수 있다.
본 발명의 세정제를 사용하여, 예를 들면 액정패널용 유리기판의 배향막을 박리 세정하는 방법으로서는, 초음파 세정, 샤워 세정, 스프레이 세정, 침지, 침지 요동 및 이들의 조합에 의한 세정방법을 적용할 수 있다.
세정시 본 발명의 세정제는 필요에 따라 더욱이 물로 희석되어 사용되어도 되지만, 바람직한 것은 상기 물 함유량의 범위내이다.
세정온도는 통상 10~70℃, 바람직하게는 15~60℃ 정도이다. 세정시간은 통상 0.2~120분, 바람직하게는 0.5~30분이다. 물에 의한 린스온도는 통상 5~90℃, 바람직하게는 10~70℃이고, 린스방법으로서는 상기 세정방법과 동일한 방법을 적용할 수 있다. 린스 후 통상 50~150℃, 바람직하게는 60~100℃이고, 통상 1~120분간, 바람직하게는 3~60분간 가열 건조함으로써 청정한 액정패널용 유리기판이 얻어져 재생 사용할 수 있다.
<실시예>
이하, 실시예에 의하여 본 발명을 상세하게 설명하지만, 본 발명은 이것에 한정되지는 않는다. 또한, 이하에 있어서 부는 중량부를 나타낸다.
실시예 1~7, 비교예 1~3
표 1에 기재된 부수의 각 성분을 1 L 비이커 중에서 실온에서 충분히 교반·혼합하여 실시예 및 비교예의 세정제를 제작하였다.
또한, 표 1 중의 부수는 모두 순분(純分)의 부수이다.
또한, 표 1 중의 약호는 하기와 같다.
A-1: 수산화나트륨
A-2: 테트라메틸암모늄하이드로옥사이드
A-3: 테트라에틸암모늄하이드로옥사이드
B-1: 글리세린
B-2: 디글리세린
C-1: 프로필렌글리콜
C-2: 디에틸렌글리콜모노메틸에테르
C-3: 트리에틸렌글리콜모노메틸에테르
실시예 및 비교예에서 얻어진 세정제의 평가 시험방법을 이하에 나타내고, 평가결과를 표 1에 나타낸다.
1. 배향막 박리성
미리 ITO막(인듐·주석 산화막)을 형성된 유리기판(25×25 mm, 두께 0.75 mm) 상에 폴리이미드 수지를 도포하고, 80℃에서 굽는 작업을 3회 반복하여 반소성의 수직배향 폴리이미드막(막 두께 5 ㎛)이 밀착된 유리기판 시험편을 작성하였다. 시험편을 세정제(25℃)에 소정 시간 침지 후 시험편을 스테인레스 그물바구니 위에 놓아 이온교환수로 1분간 샤워 린스하고, 추가로 안쪽 면에 대해서도 동일하게 린스하였다. 이어서, 시험편을 70℃의 순풍건조기 중에서 10분간 건조 후 현미경으로 관찰하여 배향막 박리성을 다음 5단계로 평가하였다.
<평가기준>
5: 유리기판면에 배향막이 전혀 없음.
4: 유리기판면에 배향막이 흔적 정도 남아 있다.
3: 유리기판면의 일부에 배향막이 조금 남아 있다.
2: 유리기판면의 대부분에 배향막이 남아 있다.
1: 유리기판 전면에 배향막이 남아 있다.
2. 부식성-1
알루미늄 박막(막 두께 0.1 ㎛)이 밀착된 유리기판 시험편(25×25 mm, 두께 0.75 mm)을 세정제(40℃)에 소정 시간 침지하고, 알루미늄 박막이 완전히 없어져 시험편이 투명해질 때까지의 시간을 측정하여 부식시간으로 하였다.
부식시간이 길수록 내부식성이 좋다.
3. 부식성-2
전술한 알루미늄 시험편에 의한 시험방법으로 부식속도를 측정하였다.
표 1의 비교예 1에 나타내어지는 바와 같이, 알칼리성분과 다가 알코올만으로는 반소성 수직배향 폴리이미드막의 박리는 불충분하고 또한 알루미늄 내식성이 불충분하지만, 본 발명의 세정제(실시예 1~7)는 1~2분으로 반소성 수직배향 폴리이미드막을 박리할 수 있고, 또한 부식시간이 36시간 이상으로 내부식성이 매우 양호하다.
본 발명의 세정제는 내알루미늄부식성이 우수하고, 또한 유분, 지문, 수지 및 파티클을 제거하는 능력도 우수하기 때문에, 액정패널용 유리기판 등의 전자부품의 세정용도 뿐만 아니라, 전기부품, 금속부품 및 건재 등의 세정용도에 적용이 가능하여 매우 유용성이 높다.
본 발명의 세정제는 내알루미늄부식성이 우수하기 때문에, 예를 들면 액정패널용 유리기판의 알루미늄 배선, 컬러필터 부재에 손상을 주지 않고 반소성 수직배향 폴리이미드막을 단시간에 박리·세정할 수 있다. 따라서, 배향막 박리 세정공정(유리기판 재생공정)에 있어서 종래 유리기판의 재생 뿐만 아니라, 알루미늄 배선, 컬러필터 부재도 동시에 재생 사용할 수 있다.
또한, 본 발명의 세정제는 유분, 지문, 수지 및 파티클을 제거하는 능력도 우수하다.
Claims (13)
- 알칼리성분(A), 질소원자를 함유하지 않는 수평균 분자량 92~400의 3~8가의 다가 알코올(B) 및 질소원자를 함유하지 않는 수평균 분자량 62~250의 2가 알코올(C1)과 질소원자를 함유하지 않는 수평균 분자량 32~500의 1가 알코올(C2)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 1종류의 알코올(C)로 된 알칼리 세정제.
- 제1항에 있어서, (A)가 화학식 1로 나타내어지는 유기 알칼리인 세정제.화학식 1화학식 2[식중, R1은 탄소수 1~24의 탄화수소기, R2, R3 및 R4는 각각 수소원자, 탄소수 1~24의 탄화수소기 또는 화학식 2로 나타내어지는 기이고, R5는 탄소수 2~4의 알킬렌기, p는 1~6의 정수를 나타낸다.]
- 제1항 또는 제2항에 있어서, (A)가, 알킬기의 탄소수가 2인 테트라알킬암모늄하이드로옥사이드인 세정제.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, (B)가, 글리세린, 디글리세린 및 트리글리세린으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 1종류의 다가 알코올인 세정제.
- 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, (C)가 화학식 3으로 나타내어지는 알코올인 세정제.화학식 3[식중, R6은 수소원자 또는 탄소수 1~12의 탄화수소기, A1은 탄소수 2~4의 알킬렌기, n은 1~4의 정수를 나타낸다.]
- 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, (A), (B) 및 (C)의 합계중량을 기준으로 (A)를 0.1~25 중량%, (B)를 1~25 중량%, (C)를 60~95 중량% 함유하는 세정제.
- 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 추가로 계면활성제(D), 아미드기함유 친수성 용제(E), 기타 첨가제(F) 및/또는 물을 함유하여 된 세정제.
- 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 세정제의 전체중량을 기준으로 하는 물의 양이 2~30 중량%인 세정제.
- 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 50℃에 있어서의 알루미늄 시험편의 부식속도가 10 mdd 이하인 세정제.
- 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항의 세정제를 사용하여 초음파 세정, 샤워 세정, 스프레이 세정, 침지 및 침지 요동으로부터 선택되는 1종류 이상의 방법으로 세정하는 것을 특징으로 하는 전자부품, 전기부품 또는 알루미늄 건재의 세정방법.
- 제10항에 있어서, 전자부품이 유리기판인 세정방법.
- 제11항에 있어서, 유리기판이 적어도 일부에 알루미늄을 사용한 유리기판인 세정방법.
- 제10항의 세정방법으로 세정하고 린스한 후, 건조하여 얻어지는 전자부품, 전기부품 또는 알루미늄 건재.
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