KR20040110861A - 페이스트 도포기 및 그 제어 방법 - Google Patents

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KR20040110861A
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Abstract

본 발명은 페이스트 도포기 및 그 제어 방법에 관한 것이다. 본 발명은 기판을 탑재하는 스테이지와, 상기 기판과 상대 운동하면서 상기 기판에 소정 형상의 페이스트 패턴을 도포하는 노즐과, 상기 노즐의 토출구에 대향되는 소정 위치에 설치되어 교환된 노즐의 위치를 직접 계측하는 계측수단과; 상기 계측수단에서 게측된 데이터를 이용하여 상기 교환 노즐의 위치 변동에 따른 보정 위치를 환산하는 제어부를 포함하여 구성되는 페이스트 도포기를 제공한다.

Description

페이스트 도포기 및 그 제어 방법{Paste Dispenser and Method for Controlling the same}
본 발명은 페이스트 도포기 및 그 제어 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 페이스트 도포기에서 노즐이 교환된 경우에 교환된 노즐의 위치를 정확하게 보정하는 노즐 위치 보정 장치를 구비한 페이스트 도포기 및 그 제어방법에 관한 것이다.
일반적으로 페이스트 도포기는 저항 페이스트, 실링 페이스트 등과 같은 각종 페이스트를 기판에 소정 형상 즉 원하는 패턴으로 도포하는 장치이다.
페이스트 도포기는 기판이 장착되는 스테이지와, 상기 기판에 페이스트를 도포하는 노즐을 가지는 헤드 유닛으로 나눌 수 있다. 그리고, 헤드 유닛에는 페이스트를 수용하고 있는 페이스트 수납통과 상기 페이스트 수납통과 연통하며 기판에 페이스트를 토출하는 노즐을 포함하여 구성된다. 즉, 페이스트 도포기는 기판과 노즐의 상대 위치 관계를 변화시켜 가면서 기판에 소정 형상의 페이스트 패턴을 형성하게 된다.
한편, 페이스트 수납통에 있는 페이스트가 다 사용되면 페이스트 수납통 및 노즐을 교환(이하 총칭하여 "노즐 교환"이라 함)하게 된다. 또한, 하나의 기판에 페이스트 페턴을 형성하는 것을 완료한 다음에 또 다른 기판에 페이스트 패턴을 형성할 때에 페이스트 수납통 및 노즐을 교환하는 것이 일반적이다.
노즐을 교환할 때, 페이스트 수납통이나 노즐의 가공 정밀도, 페이스트 수납통에 대한 노즐의 조립 정밀도 등의 영향 때문에 노즐 교환 전후에 있어서 기판에 대한 노즐(정확히는 노즐의 토출구)의 상대 위치가 변동된다. 그런데, 페이스트 패턴 형성시에는 정밀도가 요구되며, 따라서 교환된 노즐의 위치를 보정하는 것이 바람직하다.
교환된 노즐의 위치를 보정하는 기술이 한국공개특허 제1997-003540호에 기재되어 있다. 상기 공개특허에 의하면, 교환된 노즐 위치를 보정하기 위하여 스테이지에 노즐 교정용 더미 기판을 탑재하고, 상기 더미 기판 상에 다수의 점상 페이스트 또는 교차하는 직선상 페이스트를 실제로 토출한다. 실제로 토출된 페이스트 패턴의 위치를 화상인식 카메라로 계측하여 교환한 노즐의 위치를 보정한다. 보정이 완료되면, 실 기판을 이용하여 원하는 페이스트 패턴을 형성하게 된다.
그러나 앞에서 설명한 종래의 기술은 다음과 같은 문제점이 있었다.
첫째, 종래 기술에서는 노늘 교정용 더미 기판에 실제로 토출된 페이스트를 계측하여 교환된 노즐의 위치를 보정한다. 즉, 종래 기술에서는 더미 기판을 스테이지에 탈착하여야 하여, 실제로 상기 더미 기판에 페이스트를 토출하여야 한다. 따라서, 무용한 공정 시간에 소요된다는 문제점이 있었다.
둘째, 종래 기술에서는 더미 기판을 사용하고 페이스트를 실제로 토출시켜야 하므로 비용 증가를 초래한다는 문제점이 있었다.
셋째, 종래 기술에서는 노즐의 위치를 직접 보정하지 않고, 토출된 페이스트를 이용하여 간접적으로 보정하므로 위치 보정의 정확성이 저하될 우려가 있었다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 더미 기판을 사용하지 않고도 노즐 위치를 교정할 수 있는 페이스트 도포기 및 그 제어방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 공정 지연 시간의 단축 및 생산 원가의 절감이 가능한 페이스트 도포기 및 그 제어방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 노즐 위치 보정의 정확성을 향상시킬 수 있는 페이스트 도포기 및 그 제어방법을 제공하는 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 페이스트 도포기의 구성을 개략적으로 도시한 사시도
도 2는 본 발명에 따른 페이스트 도포기의 제어 구성을 개략적으로 도시한 블록도
도 3은 본 발명에 따른 페이스트 도포기의 제어 방법을 도시한 흐름도
도 4는 도 3의 게측수단 위치 보정 방법을 도시한 흐름도
도 5는 도 3의 교환 노즐 위치 보정 방법을 도시한 흐름도
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 프레임 12 : 컬럼
20 : X축 테이블 30 : Y축 테이블
40 : 스테이지 50 : 헤드 유닛
70 : 제어부 80 : 입출력수단
552 : 페이스트 수납통 554 : 노즐
90 : 계측수단
상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 기판을 탑재하는 스테이지와; 상기 기판과 상대 운동하면서 상기 기판에 소정 형상의 페이스트 패턴을 도포하는 노즐과; 상기 노즐의 토출구에 대향되는 소정 위치에 설치되어, 교환된 노즐의 위치를 직접 계측하는 계측수단과; 상기 계측수단에서 게측된 데이터를 이용하여, 상기 교환 노즐의 위치 변동에 따른 보정 위치를 환산하는 제어부를 포함하여 구성되는 페이스트 도포기를 제공한다. 또한, 상기 페이스트 도포기는 상기 교환 노즐을 상기 보정 위치로 이동시키는 이동수단을 더욱 포함하는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 계측수단은 화상인식장치인 것이 바람직하다.
한편, 상기 제어부는 상기 노즐 중 하나인 기준 노즐을 중심으로 상기 계측수단의 위치를 보정하는 것이 바람직하며, 상기 기준 노즐은 고정된 것이 더욱 바람직하다.
한편, 상기 계측수단은 상기 스테이지의 소정 위치에 설치되고, 상기 계측수단의 위치 보정시에 상기 스테이지가 상기 기준 노즐으로 이동하는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 교환 노즐의 위치 보정시에 상기 스테이지가 상기 교환 노즐로이동하는 것이 바람직하다.
한편, 상기 계측수단은 상기 스테이지의 소정 위치에 설치되고, 상기 계측수단의 위치 보정시에 상기 기준 노즐이 상기 스테이지로 이동할 수도 있다. 그리고, 상기 교환 노즐의 위치 보정시에 상기 교환 노즐이 상기 스테이지로 이동할 수도 있다.
본 발명의 다른 실시형태에 의하면, 본 발명은 노즐의 위치를 직접 계측하는 계측수단의 위치를 보정하는 계측수단 위치 보정 단계와; 상기 계측수단을 이용하여, 교환 노즐의 위치를 보정하는 교환 노즐 위치 보정 단계를 포함하는 페이스트 도포기의 제어 방법을 제공한다.
그리고, 상기 계측수단 위치 보정 단계는 상기 계측수단을 기준 노즐의 위치로 상대 운동시키는 단계와; 상기 계측수단에서 계측된 데이터를 이용하여 상기 계측수단의 보정 위치를 환산하는 단계를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 교환 노즐 위치 보정 단계는 계측수단을 교환 노즐의 위치로 상대 운동시키는 단계와; 상기 계측수단에서 계측된 데이터를 이용하여 상기 교환 노즐의 보정 위치를 환산하는 단계를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 교환 노즐 위치 보정 단계는 상기 교환 노즐을 보정 위치로 이동시키는 단계를 더욱 포함하는 것이 바람직하다.
따라서, 상술한 본 발명에 따르면, 더미 기판에 페이스트를 토출하지 않고도 교환되 노즐의 위치를 정확하게 보정하는 것이 가능하게 된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 상기의 목적을 실현할 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.
도 1은 본 발명에 페이스트 도포기의 바람직한 실시예를 개략적으로 도시한 사시도이다. 이를 참조하여, 먼저 본 발명에 따른 페이스트 도포기의 구성을 설명하면 다음과 같다.
프레임(10)의 상부에는 X축 방향으로 이동 가능하게 X축 테이블(20)이 설치되며, 상기 X축 테이블(20)에는 Y축 방향으로 이동 가능하게 Y축 테이블(30)이 설치되며, 상기 Y축 테이블(30)에는 θ축 방향으로 회전 가능하게 θ축 테이블(미도시)이 설치된다. θ축 테이블에는 기판이 흡착되는 스테이지(40)가 설치된다. 그리고, 프레임(10)의 대략 중간 위치에는 컬럼(12)이 설치되며, 상기 컬럼(12)에는 Z축 방향으로 이동 가능하며 페이스트를 토출하는 노즐을 구비한 다수의 헤드 유닛(50)이 설치되며, 또한 컬럼(12)에는 스테이지(40)에 흡착된 기판을 정위치로 교정하는 역할을 하는 얼라인 카메라(60)가 설치된다.
한편, 각각의 헤드 유닛(50)에는 페이스트가 충진된 페이스트 수납통(552) 및 노즐(554)이 설치된다. 또한, 헤드 유닛(50)에는 노즐(554)의 위치를 X, Y, Z축 방향으로 이동시킬 수 있도록 하는 노즐용 X, Y, Z축 모터(상세 도시 생략)가 각각 설치된다. 또한, 헤드 유닛(50)에는 기판을 스테이지에 탑재후 설정된 노즐과 기판과의 간격을 정확히 맞추기 위하여 높이를 더욱 미세하게 조정할 수 있는 별도의 미세 조정용 Z축 모터가 설치될 수도 있다.
한편, 스테이지(40)의 소정 위치에는 교환된 노즐의 위치를 보정할 때 사용되는 계측수단(90)이 설치된다. 상기 계측수단(90)으로서는 카메라와 같은 화상인식장치가 사용되는 것이 바람직하다. 도 1에서는 스테이지(40)의 일측면에 계측수단(90)이 설치된 것을 도시하였으나, 계측수단(90)의 설치위치는 이에 한정되지 않는다. 즉, 게측수단(90)은 노즐(노즐의 토출구)(554)에 대향하도록 설치되어 노즐의 위치를 직접 계측할 수 있는 위치에 설치되면 된다. 예를 들어, 스테이지(40)의 소정 부분을 절개하고, 이 부분에 계측수단을 설치하는 것도 가능하다.
한편, 상술한 바와 같이, 컬럼(12)에는 다수의 헤드 유닛(50)이 설치되는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 1개의 기판의 다수의 페이스트 패턴을 형성하는 경우에 헤드 유닛(50)을 다수개로 구성하면 공정 속도를 단축시킬 수 있기 때문이다. 다수의 헤드 유닛(50)이 설치되는 경우에는 적어도 1개의 헤드 유닛(50a)은 컬럼(12)에 고정되고, 나머지 헤드 유닛(50b)어 X축 방향 즉 컬럼(12)을 따라서 이동 가능하게 설치되는 바람직하다.
도 2는 본 발명에 따른 페이스트 도포기의 제어 구성을 개략적으로 도시한 블록도이다. 이를 참조하여, 본 발명에 따른 페이스트 도포기의 제어 구성을 설명한다.
중앙처리장치 역할을 하는 제어부(70)에는 계측수단(90), 모터 컨트롤러(3) 및 입출력수단(80)이 각각 연결된다. 그리고, 상기 모터 컨트롤러(3)에는 스테이지용 X축 드라이버(3a), Y축 드라이버(3b), ??축 드라이버(3c)가 연결된다. 또한, 모터 컨트롤러(3)에는 노즐용 X축 드라이버(3d), Y축 드라이버(3e), Z축 드라이버(3f)가 각각 연결된다.
스테이지용 X, Y, θ축 드라이버(3a, 3b, 3c)는 각각 X, Y, θ축 테이블의운동을 제어한다. 그리고, 노즐용 X, Y, Z축 드라이버(3d, 3e, 3f)는 노즐(554)의 위치를 미세하게 X, Y, Z축 방향으로 각각 제어하게 된다.
상술한 바와 같이 구성되어, 기판과 노즐이 상대 운동하면서 기판에 소정 형상의 페이스트 패턴을 형성하게 된다. 도 1에서는, 노즐(554)이 고정되고 기판 즉 스테이지(40)가 X축 및 Y축으로 운동하여 소정 형상의 페이스트 패턴이 형성되게 된다. 물론, 노즐(554)은 Z축 방향으로 운동 가능하고, 기판과 노즐의 토출구 사이의 간격 등에 의하여 도포될 페이스트 패턴의 폭 및 두께가 결정되게 된다.
페이스트 도포기에 대한 일반적인 운전 방법에 대한 상세한 설명은 생략한다. 도 3을 참조하여, 교환된 노즐의 위치 보정의 측면에서 본 발명에 따른 페이스트 도포기 및 그 제어 방법을 설명하면 다음과 같다.
페이스트 수납통의 페이스트가 소진되면, 새로운 페이스트 수납통 및 노즐이 해당 헤드 유닛에 장착된다. 이때, 종래 기술에서 설명한 바와 같이, 노즐의 위치가 변동하게 되므로, 교환된 노즐(이하 "교환 노즐")의 위치를 보정하게 된다. 교환 노즐의 위치는 X축 및 Y축 방향으로 보정하면 된다. 왜냐하면, 실제로 페이스트를 기판에 도포할 때 노즐용 Z?? 모터에 의하여 실시간으로 기판과 노즐사이의 거리가 제어되기 때문에 교환 노즐의 위치 보정시에는 Z축 방향의 오차는 보정하지 않아도 되기 때문이다.
한편, 교환 노즐의 위치를 실질적으로 보정하기 전에 계측수단의 위치를 먼저 보정하는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 교환 노즐의 위치는 계측수단을 이용하여 보정되는데, 페이스트 도포기의 운전이 계속되면 계측수단의 위치도 변동될 수 있기 때문이다. 즉, 본 발명에 따른 페이스트 도포기의 제어 방법은 계측수단 위치 보정 단계(S3)와, 교환 노즐 위치 보정 단계(S5)를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다. 물론, 직접 교환 노즐의 위치를 보정하는 것도 가능하다.
도 4를 참조하여, 계측수단 위치 보정 단계를 설명하면 다음과 같다.
상술한 바와 같이, 페이스트 도포기의 운전이 계속되면 계측수단의 위치도 변동될 수 있다. 따라서, 교환 노즐의 위치를 보정하기 전에 계측수단의 위치를 먼저 보정하는 것이 바람직하다. 계측수단의 위치는 컬럼에 설치된 다수의 노즐 중의 하나를 기준 노즐로 정하고, 상기 기준 노즐을 이용하여 보정하는 것이 바람직하다. 기준 노즐은 여러 가지 방식으로 정할 수 있으나 기판 정렬시 사용되는 노즐 즉 페이스트 패턴 형성의 기준이 되는 노즐을 기준 노즐로 하는 것이 바람직하다. 상세히 설명하면, 일반적으로 기판이 스테이지로 반입되고 흡착되면, 얼라인 카메라를 이용하여 기판 및 노즐을 정위치로 정렬하게 된다. 즉, 기판의 중심과 소정 노즐(기준 노즐)과의 거리가 소정값이 되도록 기판이 정렬되게 된다. 따라서, 상기 기판 정렬 단계에서 사용되는 노즐을 기준 노즐로 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 기준 노즐은 컬럼에 고정되어, X축 방향으로는 이동하지 않는 것이 더욱 바람직하다.
계측수단 위치 보정 단계를 상세히 설명하면 다음과 같다.
노즐이 교환되면, 교환 노즐은 기준 노즐과의 상대 위치 관계로 결정되는 소정 위치 예를 들어 도포 개시 위치로 이동할 수 있. 또한, 기준 노즐과 교환 노즐간의 위치 관계는 페이스트 도포 조건에 의하여 미리 결정되며, 제어부는 이를 미리 알고 있다.
먼저, 설정된 기준 노즐의 위치로 계측수단이 이동하여 기준 노즐의 토출구를 계측한다(S31). 이때, 실제로는 계측수단이 장착된 스테이지가 기준 노즐의 위치로 이동하게 된다.
계측수단이 소정 위치로 이동이 완료되면, 계측수단은 기준 노즐의 위치를 계측한다. 예를 들어, 기준 노즐을 촬영하고 제어부는 촬영된 이미지를 이미지 프로세싱하여 기준 노즐의 토출구의 위치를 판단한다. 기준 노즐의 토출구의 위치가 촬영된 이미지의 중심에 있지 않으면, 계측수단의 위치가 변동된 것으로 판단하여, 계측수단을 적절히 이동시켜 이미지의 중심에 기준 노즐의 토출구가 있도록 하고, 이때 X, Y 방향으로 움직인 거리를 이용하여 변동된 거리를 환산한다. 물론, 스테이지를 구동하는 스테이지용 X축 및 Y축 드라이버에는 모터 및 엔코더가 연결되므로 변동된 거리를 계산하는 것이 가능하다. 다음에는, 측정된 변동거리를 이용하여 계측수단의 보정 위치를 환산한다(S33). 그 다음에는 계측수단을 보정 위치로 이동시킨다(S35). 계측수단을 보정 위치로 이동하는 대신에 제어부에 기억된 계측수단의 위치를 보정하는 것도 가능하다. 상술한 과정을 거치면, 제어부에 기억된 계측수단의 위치와 실제의 계측수단의 위치가 일치하게 된다.
도 5를 참조하여, 교환 노즐 위치 보정 단계를 설명한다.
먼저, 교환 노즐의 설정된 위치로 계측수단이 이동하여 교환 노즐의 토출구를 계측하여, 설정된 위치에 교환 노즐이 정확히 위치해 있는 지를 파악하여 보정 위치를 환산한다(S51, S53). 물론, 이때에도 교환 노즐과 계측수단과의 위치 관계는 미리 결정되어 제어부에 기억되어 있으며, 보정 위치의 환산 방법은 상술한 계측수단 위치 보정과 동일한 원리이므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
교환 노즐의 보정 위치가 환산되면, 노즐용 X축 및 Y축 드라이버를 이용하여 노즐을 보정 위치로 이동수단을 이용하여 이동시킨다(S55). 그리고, 교환 노즐이 보정된 위치에 이동이 완료되면, 다시 교환 노즐의 위치를 계측하여 보정된 위치가 오차 범위 내에 있는지는 확인하는 것이 바람직하다. 교환 노즐의 보정된 위치가 오차 범위 내에 있으면 교환 노즐의 위치 보정이 완료된다. 교환 노즐의 위치 보정이 완료되면, 실제 기판이 스테이지에 탑재되고 묘화 순서에 맞게 상기 기판에 페이스트를 도포하여 소정 형상의 페이스트 패턴을 형성하게 된다.
한편, 상술한 실시예에서는 편의상 기판이 탑재된 스테이지가 X축 및 Y축 방향으로 운동하고, 노즐은 X축 및 Y축 방향으로 운동하지 않는 페이스트 도포기(이하 "스테이지 이동형")를 도시 및 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 즉, 기판이 장착된 스테이지가 이동하지 않고 노즐이 X축 및 Y축 방향으로 운동하여 기판상에 소정 형상의 페이스트 패턴을 형성하는 페이스트 도포기(이하 "스테이지 고정형")에도 본 발명의 원리는 적용 가능하다.
다만, 스테이지 고정형 페이스트 도포기에서는 통상 컬럼이 Y축 방향으로 이동 가능하고, 모든 헤드 유닛은 X축 방향으로 이동 가능하다. 따라서, 상술한 실시예와는 달리, 계측수단 위치 보정 단계에서 기준 노즐이 계측수단의 위치로 이동하여 기준 노즐로부터 계측수단의 위치를 보정하게 된다. 이때, 기준 노즐은 기판 정렬시 사용되는 노즐을 기준 노즐로 이용하는 것이 바람직하다.
계측수단의 위치 보정이 완료되면, 교환 노즐의 위치를 보정하게 된다. 이때에도, 스테이지 고정형 페이스트 도포기에서는 계측수단이 교환 노즐의 위치로 이동하여 교환노즐의 위치를 상기 계측수단이 파악하여 교환 노즐의 위치를 보정하게 된다.
본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명이 속한 분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 정신을 벗어나지 않고 변형이 가능하고 이러한 변형은 본 발명의 범위에 속한다.
상술한 본 발명에 따른 페이스트 도포기 및 그 제어 방법의 효과를 설명하면 다음과 같다.
첫째, 본 발명에 의하면, 더미 기판의 탈착 작업 및 페이스트 토출 작업이 필요하지 않으므로 작업 손실 시간을 줄일 수 있다는 잇점이 있다. 근래에는 작업 공정의 단축이 대단히 요구되므로 공정 시간의 단축은 전체 공정의 생산성 향상에 기여한다는 이점이 있다. 또한, 더미 기판 및 페이스트의 낭비를 줄일 수 있으므로 생산원가를 절감할 수 있다는 이점이 있다.
둘째, 페이스트 형성없이 교환 노즐의 토출구의 위치를 계측수단으로 확인하여 보정하므로 정확한 위치 보저을 할 수 있다는 이점이 있다.

Claims (13)

  1. 기판을 탑재하는 스테이지와;
    상기 기판과 상대 운동하면서 상기 기판에 소정 형상의 페이스트 패턴을 도포하는 노즐과;
    상기 노즐의 토출구에 대향되는 소정 위치에 설치되어, 교환된 노즐의 위치를 직접 계측하는 계측수단과;
    상기 계측수단에서 게측된 데이터를 이용하여, 상기 교환 노즐의 위치 변동에 따른 보정 위치를 환산하는 제어부를 포함하여 구성되는 페이스트 도포기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 페이스트 도포기는 상기 교환 노즐을 상기 보정 위치로 이동시키는 이동수단을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 계측수단은 화상인식장치인 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제어부는 상기 노즐 중 하나인 기준 노즐을 중심으로 상기 계측수단의 위치를 보정하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
  5. 제4항에 있어서, 상기 기준 노즐을 고정된 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
  6. 제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 계측수단은 상기 스테이지의 소정 위치에 설치되고, 상기 계측수단의 위치 보정시에 상기 스테이지가 상기 기준 노즐으로 이동하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
  7. 제6항에 있어서, 상기 교환 노즐의 위치 보정시에 상기 스테이지가 상기 교환 노즐로 이동하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
  8. 제4항에 있어서, 상기 계측수단은 상기 스테이지의 소정 위치에 설치되고, 상기 계측수단의 위치 보정시에 상기 기준 노즐이 상기 스테이지로 이동하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
  9. 제8항에 있어서, 상기 교환 노즐의 위치 보정시에 상기 교환 노즐이 상기 스테이지로 이동하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
  10. 노즐의 위치를 직접 계측하는 계측수단의 위치를 보정하는 계측수단 위치 보정 단계와;
    상기 계측수단을 이용하여, 교환 노즐의 위치를 보정하는 교환 노즐 위치 보정 단계를 포함하는 페이스트 도포기의 제어 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 계측수단 위치 보정 단계는 상기 계측수단을 기준 노즐의 위치로 상대 운동시키는 단계와; 상기 계측수단에서 계측된 데이터를 이용하여 상기 계측수단의 보정 위치를 환산하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기의 제어 방법.
  12. 제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 교환 노즐 위치 보정 단계는 계측수단을 교환 노즐의 위치로 상대 운동시키는 단계와; 상기 계측수단에서 계측된 데이터를 이용하여 상기 교환 노즐의 보정 위치를 환산하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기의 제어 방법.
  13. 제12항에 있어서, 상기 교환 노즐 위치 보정 단계는 상기 교환 노즐을 보정 위치로 이동시키는 단계를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
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