KR100696932B1 - 페이스트 도포기 및 그 제어방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 기판면의 수직방향을 따라 상/하 이동가능한 메인 헤드유닛과;상기 메인 헤드유닛에 장착되고, 상기 기판면의 수직방향을 따라 상기 메인 헤드유닛과 상대이동 가능한 서브 헤드유닛과;기판면의 수직방향을 따라 이동되는 상기 메인 헤드유닛과 서브 헤드유닛 사이의 위치변화량을 디지털 신호로 출력하는 위치측정센서를 포함하여 구성되는 페이스트 도포기.
- 제1항에 있어서,상기 위치측정센서는 상기 메인 헤드유닛과 서브 헤드유닛 사이의 위치변화량을 측정하기 위해 방출되는 빛을 반사시키는 반사부와, 상기 반사부에서 반사된 빛을 받아들이는 수광부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
- 제2항에 있어서,상기 반사부는 상기 메인 헤드유닛과 서브 헤드유닛 중의 하나에 설치되고, 상기 수광부는 나머지 일측에 설치되는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 서브 헤드유닛은 상기 메인 헤드유닛에 구비된 서브구동부와 연결된 상태로 이동하다가, 상기 서브 헤드유닛이 기판면에 접촉하는 경우 상기 서브구동부와 연결된 상태가 해제 가능하게 된 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
- 제4항에 있어서,상기 서브구동부는 ZZ축 모터와 상기 ZZ축 모터에 의하여 기판면의 수직방향을 따라 이동하는 구동브래킷을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
- 제5항에 있어서,상기 서브 헤드유닛은 노즐이 장착된 페이스트 수납통을 지지하는 지지부재와, 상기 지지부재를 상기 구동브래킷과 연결시키는 헤드브래킷을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
- 제6항에 있어서,상기 서브 헤드유닛의 하향 이동시, 상기 노즐이 기판면에 접촉되어 하향 이동이 제한되면, 상기 구동브래킷과 상기 헤드브래킷의 연결은 해제되는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
- 제6항에 있어서,상기 구동브래킷의 상향 이동시, 상기 노즐이 기판면에서 떨어지는 순간에 상기 구동브래킷과 상기 헤드브래킷이 접촉되어 연결되는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
- 제 4항에 있어서,상기 페이스트 도포기는 상기 메인 헤드유닛에 장착되며, 상기 기판과 노즐사이의 수직거리를 측정하는 변위센서를 더욱 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
- 기판면의 수직방향을 따라 상/하 이동가능한 메인 헤드유닛과;상기 메인 헤드유닛을 구동시키는 메인구동부와;상기 메인 헤드유닛에 장착되고, 상기 기판면의 수직방향을 따라 상기 메인 헤드유닛과 상대이동 가능한 서브 헤드유닛과;상기 서브 헤드유닛을 구동시키는 서브구동부와;상기 메인 헤드유닛과 상기 서브 헤드유닛 사이의 위치 변화량을 측정하는 위치측정센서와;상기 위치측정센서의 측정결과에 따라 상기 메인 헤드유닛과 서브 헤드유닛의 동작을 제어함으로써 상기 서브 헤드유닛에 장착된 노즐과 기판면 사이의 수직거리를 설정하는 제어부를 포함하여 구성되는 페이스트 도포기.
- 제1항 또는 제2항의 페이스트 도포기에 구비된 메인 헤드유닛과 서브 헤드유닛을 기판면의 수직방향을 따라 하향 이동시키는 제1단계와;상기 제1단계의 이동결과 상기 서브 헤드유닛에 장착된 노즐이 기판면과 접촉되었는가를 판단하는 제2단계와;상기 제2단계의 판단결과에 따라 상기 메인 헤드유닛에 장착된 구동브래킷을이동시키는 제3단계와;상기 제3단계의 구동브래킷의 이동결과에 따른 상기 서브 헤드유닛과 메인 헤드유닛 사이의 위치변화량을 측정하는 제4단계를 포함하는 페이스트 도포기의 제어방법.
- 제10항에 있어서,상기 페이스트 도포기의 제어방법은 상기 제4단계에서 측정한 측정값을 기초로 상기 서브 헤드유닛의 위치를 보정하는 제5단계를 더욱 포함하는 페이스트 도포기의 제어방법.
- 제11항 또는 제12항에 있어서,상기 제4단계에서 상기 메인 헤드유닛과 서브 헤드유닛에 장착된 위치측정센서는 상기 메인 헤드유닛과 서브 헤드유닛 사이의 위치변화량을 디지털 신호로 출력하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기의 제어방법.
- 제11항 또는 제12항에 있어서,상기 제2단계의 판단결과 상기 노즐이 기판면에 접촉되었으면, 상기 제3단계에서는 상기 구동브래킷을 상향 이동시키고, 상기 제4단계에서는 상기 구동브래킷과 상기 서브 헤드유닛의 헤드브래킷이 결합되는 위치를 측정하여 상기 서브 헤드유닛과 메인 헤드유닛 사이의 위치변화량을 산출하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기의 제어방법.
- 제11항 또는 제12항에 있어서,상기 제2단계의 판단결과 상기 노즐이 기판면에서 떨어져 있으면, 상기 제3단계에는 상기 구동브래킷을 하향 이동시키고, 상기 제4단계에서는 상기 구동브래킷과 상기 서브 헤드유닛의 헤드브래킷이 분리되는 위치를 측정하여 상기 서브 헤드유닛과 메인 헤드유닛 사이의 위치변화량을 산출하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기의 제어방법.
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