KR100673305B1 - 페이스트 도포기의 칼럼 위치 교정방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (9)
- 화상카메라를 칼럼의 길이방향으로 이동시키면서 기판에 표시된 교정마크를 2개 이상 인식하는 인식단계;화상카메라에 인식된 각 교정마크를 일직선으로 이은 가상의 축과 화상카메라의 이동경로에 해당하는 칼럼의 길이방향 축이 서로 평행한지를 판단하는 판단단계; 그리고,화상카메라에 인식된 각 교정마크를 일직선으로 이은 가상의 축과 칼럼의 길이방향 축이 서로 평행하도록 칼럼을 교정하는 위치교정단계:를 포함하여 이루어지는 페이스트 도포기의 제어방법.
- 제 1항에 있어서,상기 위치보정단계는 상기 칼럼의 일단은 고정한 체로, 타단을 움직여 칼럼의 수평을 조정하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기의 제어방법.
- 제 1항에 있어서,칼럼이 2개 이상 설치된 경우, 상기 인식단계부터 위치보정단계로 이루어진 교정의 과정이 각 칼럼에 대하여 수행되었는지를 판단하는 확인단계가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기의 제어방법.
- 본체를 구성하는 프레임;상기 프레임의 상면에 구비되는 테이블;상기 테이블의 상부에 설치되며 그 상부면에 페이스트가 도포될 모(母)기판이 안착되는 스테이지;상기 테이블의 양측에 상기 프레임의 전·후 방향으로 길이를 갖도록 각각 배치되는 LM가이드;상기 LM가이드를 따라 이동가능하도록 설치됨과 더불어 상기 양 LM가이드의 사이를 가로질러 설치되는 적어도 1개 이상의 칼럼;상기 칼럼의 양단부를 상기 LM가이드를 따라 각각 구동시키는 제2 가동자;상기 칼럼의 길이방향을 따라 이동가능하도록 설치되어 상기 스테이지에 안착된 유리기판상에 형성된 교정마크를 인식하는 칼럼교정용 화상카메라; 그리고,상기 칼럼교정용 화상카메라를 상기 칼럼의 길이방향으로 구동시키는 구동수단;을 포함하여 이루어지는 페이스트 도포기.
- 두개의 칼럼 사이의 거리를 측정하되, 적어도 두 지점 이상 측정하는 측정단계;상기 측정단계에서 측정된 각 거리의 차이값을 구하는 판단단계;상기 측정단계에서 측정되는 각 거리가 서로 같도록 상기 판단단계에서 구한 차이값을 근거로 하여 상기 칼럼들이 서로 평행하도록 교정하는 칼럼 정렬단계; 그리고,모(母)기판을 회전시켜 모기판의 회로패턴과 두 칼럼의 길이방향 축이 서로 평행하도록 정렬시키는 기판 정렬단계;를 포함하여 이루어지는 페이스트 도포기의 제어방법.
- 삭제
- 제 5 항에 있어서,상기 칼럼 정렬단계는,두 개의 칼럼 중 일측 칼럼을 고정시키고 타측 칼럼을 이동시키거나, 또는, 상기 두 개의 칼럼 모두를 이동시켜 교정하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기의 제어방법.
- 본체를 구성하는 프레임;상기 프레임의 상면에, 지면에 대하여 평행한 방향으로 소정각도 회전 가능하게 설치되는 테이블;상기 테이블의 상부에 설치되며 그 상부면에 페이스트가 도포될 모(母)기판이 안착되는 스테이지;상기 테이블의 양측에 상기 프레임의 전/후방향으로 길이를 갖도록 배치되는 LM가이드;상기 LM가이드를 따라 이동가능하도록 설치됨가 더불어 상기 양 LM가이드의 사이를 가로질러 설치되는 적어도 2개 이상의 칼럼;상기 칼럼들의 양단부를 상기 LM가이드를 따라 각각 구동시키는 제2 가동자; 그리고,마주보는 두 칼럼의 적어도 두 곳 이상의 지점 사이의 거리를 측정하는 거리측정수단;을 포함하여 이루어지는 페이스트 도포기.
- 제 8 항에 있어서,상기 거리측정수단은, 레이저 변위센서인 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
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