KR20040104161A - 포토레지스트 제거용 씬너 조성물 - Google Patents
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Abstract
Description
구분(중량부) | PGME1 | PGMEA2 | n-PE3 | CXN4 | GBL5 | OP-101566 | R-087 | |
실시예 | 1 | 60 | - | 30 | 10 | - | - | - |
2 | 20 | - | 10 | 70 | - | - | - | |
3 | 80 | - | 10 | 10 | - | - | - | |
4 | 10 | - | 70 | 20 | - | - | - | |
5 | 60 | - | 30 | 10 | - | - | 0.01 | |
6 | 60 | - | 30 | 10 | - | 0.5 | - | |
7 | 60 | - | 30 | 10 | - | 0.5 | 0.01 | |
비교예 | 1 | - | 60 | 30 | 10 | - | - | - |
2 | 60 | - | - | 10 | 30 | - | - | |
3 | 70 | 30 | - | - | - | - | - | |
4 | 50 | - | 50 | - | - | - | - | |
5 | 50 | - | - | 50 | - | - | 0.01 |
구분 | 조성물종류 | 조성물제품명 | 막두께(㎛) |
포토레지스트 | g-라인형 포지티브형 | DTFR-2000 | 1.5 |
g-라인형 포지티브형 | DNR-H100PL | 4 | |
유이 EL용 PI | DL-1003 | 1.5 |
구 분 | 회전속도(rpm) | 시간(sec) |
분배(dispense) 조건 | 500 | 3 |
스핀코팅 | 포토레지스트 두께에 따라 조절 | |
EBR 조건 | 400 | 7 |
400 | 10 | |
500 | 7 | |
500 | 10 |
구 분 | EBR 조건 | 실시예 | 비교예 | ||||||||||
1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | ||
g-라인형 포지티브형 | 400 rpm 7sec | ○ | △ | △ | ○ | ◎ | ○ | ◎ | △ | △ | × | △ | × |
500 rpm 7sec | ◎ | ○ | ○ | ○ | ◎ | ◎ | ◎ | △ | △ | △ | ○ | △ | |
500 rpm 10sec | ◎ | ○ | ○ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ○ | ○ | △ | ○ | △ | |
g-라인형네가티브형 | 400 rpm 7sec | ○ | △ | △ | ○ | ◎ | ○ | ◎ | △ | △ | × | △ | × |
500 rpm 7sec | ○ | ○ | ○ | ○ | ◎ | ◎ | ◎ | △ | △ | × | △ | △ | |
500 rpm 10sec | ◎ | ○ | ○ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ○ | ○ | △ | ○ | △ | |
유기 EL형 PI | 300 rpm 10sec | ○ | ○ | △ | ○ | ◎ | ○ | ◎ | △ | △ | × | △ | × |
40 rpm 10sec | ○ | ○ | ○ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | △ | △ | × | △ | × | |
500 rpm 10sec | ◎ | ○ | ○ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ○ | ○ | △ | ○ | △ |
Claims (11)
- a) 프로필렌글리콜 모노알킬에테르;b) 알킬 에타노에이트; 및c) 씨클로 케톤을 포함하는 포토레지스트 제거용 씬너 조성물.
- 제 1항에 있어서,a) 프로필렌글리콜 모노알킬에테르 10 내지 90 중량부;b) 알킬 에타노에이트 10 내지 70 중량부; 및c) 씨클로 케톤 1 내지 70 중량부를 포함하는 씬너 조성물.
- 제 1항에 있어서,상기 조성물이 d) 플루오리네이티드 아크릴릭 코폴리머; 및 e) 폴리에틸렌옥사이드계 축합물로 이루어진 군으로부터 1 종 이상 선택되는 화합물을 더욱 포함하는 씬너 조성물.
- 제 1항에 있어서,a) 프로필렌글리콜 모노알킬에테르 10 내지 90 중량부;b) 알킬 에타노에이트 10 내지 70 중량부;c) 씨클로 케톤 1 내지 70 중량부; 및d) 플루오리네이티드 아크릴릭 코폴리머 0.001 내지 1 중량부를 포함하는 씬너 조성물.
- 제 1항에 있어서,a) 프로필렌글리콜 모노알킬에테르 10 내지 90 중량부;b) 알킬 에타노에이트 10 내지 70 중량부;c) 씨클로 케톤 1 내지 70 중량부; 및e) 폴리에틸렌옥사이드계 축합물 0.001 내지 1 중량부를 포함하는 씬너 조성물.
- 제 1항에 있어서,a) 프로필렌글리콜 모노알킬에테르 10 내지 90 중량부;b) 알킬 에타노에이트 10 내지 70 중량부;c) 씨클로 케톤 1 내지 70 중량부;d) 플루오리네이티드 아크릴릭 코폴리머 0.001 내지 1 중량부; 및e) 폴리에틸렌옥사이드계 축합물 0.001 내지 1 중량부를 포함하는 씬너 조성물.
- 제 1항에 있어서,상기 프로필렌글리콜 모노알킬에테르가 프로필렌글리콜 모노메틸에테르, 프로필렌글리콜 모노에틸에테르, 프로필렌글리콜 모노프로필에테르, 및 프로필렌글리콜 모노부틸에테르로 이루어진 군으로부터 1 종 이상 선택되는 씬너 조성물.
- 제 1항에 있어서,상기 알킬 에타노에이트가 메틸 에타노에이트, 에틸 에타노에이트, 이소프로필 에타노에이트, 노말프로필 에타노에이트, 및 부틸 에타노에이트로 이루어진 군으로부터 1 종 이상 선택되는 씬너 조성물.
- 제 1항에 있어서,상기 씨클로 케톤이 씨클로 펜타논, 씨클로 헥사논, 및 시클로 헵타논으로 이루어진 군으로부터 1 종 이상 선택되는 씬너 조성물.
- 제 3항에 있어서,상기 플루오리네이티드 아크릴릭 코폴리머는 중량평균분자량이 3000 내지 10000인 씬너 조성물.
- 제 3항에 있어서,상기 폴리에틸렌옥사이드계 축합물이 직쇄 또는 측쇄배열의 C6내지 C12의 알킬기를 가지고 있는 알킬페놀 및 이러한 알킬페놀 1 몰당 5 내지 25 몰의 에틸렌 옥사이드의 축합생성물인 씬너 조성물.
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