KR20040064640A

KR20040064640A - 노이즈필터

Info

Publication number: KR20040064640A
Application number: KR1020040001455A
Authority: KR
Inventors: 우치다카츠유키; 야마모토히데토시; 코다마타카시; 타케나카카즈히코; 오츠키타케히코
Original assignee: 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
Priority date: 2003-01-10
Filing date: 2004-01-09
Publication date: 2004-07-19
Also published as: US20060028303A1; US20040135652A1; CN1518012A; GB0329476D0; GB2397441B; GB2397441A; CN1309160C; US7161446B2; JP2004266784A

Abstract

양호한 저역통과특성을 얻을 수 있음과 아울러, 급준하게 상승하는 삽입손실특성을 갖고, 일정한 주파수 이상으로 큰 감쇠를 얻을 수 있는 노이즈필터를 제공한다.

산화물 자성재료로 이루어지는 자성체층(2a∼2h)과, 자성체층(2a∼2h)의 사이에 교대로 형성된 선로도체(3∼5)와 접지도체(6)로 이루어지고, 접지도체(6)를 접지한 상태로 선로도체(3∼5)에 전기신호를 통과시킴으로써, 고주파수의 노이즈를 자성체층(2a∼2h)의 자성손실(μ")을 이용해서 감쇠시킨다.

Description

노이즈필터{NOISE FILTER}

본 발명은, 전자잡음장해를 억제하는 것에 바람직한 노이즈필터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 고영역측의 주파수성분을 흡수함으로써 감쇠시킬 수 있는 노이즈필터에 관한 것이다.

노이즈필터로서, 예를 들면 도 26에 나타내는 바와 같은 것이 종래에 알려져 있다.

이 노이즈필터(100)는, 금속선(101)과, 금속선(101)의 양단에 전기적으로 접속된 전극부(102)와, 외장부(103)를 구비하고 있다. 전극부(102)는 외장부(103)로 피복되어 있다. 외장부(103)는 소결페라이트 분말로 된 분말자성체에 수지를 혼합한 수지페라이트로 이루어진다. 소결페라이트는, {(μ')-j(μ")}로 나타내어지는 복소투자율에 있어서의 자성손실(μ")의 주파수 한계선에 비제한된 것이다.

이 노이즈필터(100)는, 1㎓를 초과하는 수㎓정도의 주파수에 대해서도 노이즈 제거가 가능한 범위가 유효하고, 고주파수 영역에서도 감쇠량을 향상시킬 수 있도록 하고 있다.(특허문헌 1 참조).

또, 다른 노이즈필터로서, 예를 들면 도 27에 나타내는 바와 같은 것이 종래알려져 있다.

이 노이즈필터(110)는, 원통형상 외부도체로서의 금속원통(111)의 중심을 관통하도록 내부도체(112)를 동축상으로 배치하고, Si-Fe계 자성체분말을 주성분으로 하는 복합자성체(114)를 금속원통(111)과 내부도체(112) 사이에 설치한 것이다.

복합자성체(114)의 주성분인 Si-Fe계 자성체분말로서는, 복소비투자율(μr'-jμr") 및 복소비유전율(εr'-jεr") 비늘조각 형상의 Si-Fe계 합금을 사용하고 있다.

노이즈필터(110)는 기본적으로 분포정수회로이므로, ㎓대에 있어서 집중정수회로 구성인 노이즈필터와 같은 공진현상에 의한 삽입감쇠특성의 열화를 일으키지 않는다. 또한, Si-Fe계 자성체분말을 주성분으로 하는 복합자성체(114)는, μr'을 높은 주파수까지 유지시킬 수 있다. 그것에 따라, μr"의 산형의 현상도 고주파화할 수 있고, 결과적으로 ㎒대에서 ㎓대에 있어서의 삽입감쇠특성을 양호하게 할 수 있게 하고 있다(특허문헌 2 참조).

또한, 다른 노이즈필터로서, 예를 들면 도 28에 나타내는 바와 같은 것이 종래 알려져 있다.

이 노이즈필터(120)는, 고주파영역의 고주파성분을 확실하게 흡수할 수 있는 로우패스필터(low-pass filter)이다. 그 구성은, 어스용 전극(121)과, 신호선용 전극(122)과, 절연기체(123)로 이루어진다. 어스용 전극(121)과 신호선용 전극(122)은, 절연기체(123)에 각각 설치되어 있는 것이다. 절연기체(123)는 강자성 금속분말과 절연수지를 혼합한 복합부재로 이루어진다.

이 절연기체(123)의 흡수작용에 의해, 신호전극을 지나는 주파수신호에 포함되는 고주파영역의 불필요한 고주파성분을 확실하게 흡수하도록 하고 있다(특허문헌 3 참조).

(특허문헌 1)

일본 특허공개 2000-91125호 공보(도 1)

(특허문헌 2)

일본 특허공개 평11-273924호 공보(도 1)

(특허문헌 3)

일본 특허공개 평8-78218호 공보(도 1)

그러나, 종래의 노이즈필터(100)에 있어서는, 이하와 같은 문제점이 있었다.

노이즈필터(100)는 금속선(101)의 주위에 자성체로 이루어지는 외장부(103)가 형성되어 있는 것에 의해, 도체에 투자율에 따른 인덕턴스가 발생해 임피던스 소자로서 작용하는 것이다. 기판배선 등의 전송선로에 노이즈필터(100)를 직렬로 삽입함으로써 임피던스 미스매치가 생기고, 노이즈를 반사시켜서 억제하는 것이다. 이 노이즈필터(100)의 임피던스에는, 외장부(103)를 구성하는 자성체의 복소투자율{(μ'）-j(μ")}이 기여하고 있기 때문에, 자성손실(μ")이 발현되지 않는 주파수대에 있어서도 노이즈 억제효과가 나타나 버린다. 즉, 삽입손실특성이 저 주파에서 발생하여 버리기 때문에, 저역통과특성이 저하된다고 하는 문제점이 있었다.

또한, 노이즈필터(110) 및 노이즈필터(120)에 있어서는, 이하와 같은 문제점이 있었다.

이들 노이즈필터(110, 120)는, 복합자성체(114) 또는 절연기체(123)를 구성하는 자성재료로서, 자성체 분말을 사용한 것이다. 따라서, 자성손실(μ")의 급준한 증가가 생기지 않고, 삽입손실특성도 급준하게는 상승하지 않아, 일정한 주파수 이상으로 큰 감쇠를 얻는 것은 곤란하다고 하는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기 문제점을 해결하는 것이며, 양호한 저역통과특성을 얻을 수 있는 노이즈필터를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 급준하게 상승하는 삽입손실특성을 갖고, 일정한 주파수 이상에서 큰 감쇠를 얻을 수 있는 노이즈필터를 제공하는 것을 목적으로 한다.

도 1은 본 발명의 노이즈필터의 제1실시예를 나타내는 분해사시도이다.

도 2는 본 발명의 노이즈필터의 제1실시예를 나타내는 사시도이다.

도 3은 시료No.1∼3의 μ', μ"의 주파수 의존성의 측정결과를 나타내는 도면이다.

도 4는 시료No.4∼10의 μ', μ"의 주파수 의존성의 측정결과를 나타내는 도면이다.

도 5는 시료No.1∼3의 주파수-삽입손실 특성을 나타내는 도면이다.

도 6은 시료No.4∼10의 주파수-삽입손실 특성을 나타내는 도면이다.

도 7은 임피던스 주파수특성을 나타내는 도면이다.

도 8은 주파수-삽입손실 특성을 나타내는 도면이다.

도 9는 본 발명의 제1실시예에 있어서의 변형예를 나타내는 분해사시도이다.

도 10은 본 발명의 제1실시예에 있어서의 변형예를 나타내는 사시도이다.

도 11은 본 발명의 제1실시예에 있어서의 다른 변형예를 나타내는 것이다.

도 12는 본 발명의 제1실시예에 있어서의 또 다른 변형예를 나타내는 것이다.

도 13은 본 발명의 제1실시예에 있어서의 또 다른 변형예를 나타내는 것이다.

도 14는 본 발명의 제2실시예를 나타내는 분해사시도이다.

도 15는 본 발명의 제2실시예를 나타내는 사시도이다.

도 16은 본 발명의 제3실시예를 나타내는 분해사시도이다.

도 17은 본 발명의 제3실시예를 나타내는 사시도이다.

도 18은 본 발명의 제3실시예에 있어서의 변형예를 나타내는 분해사시도이다.

도 19는 본 발명의 제3실시예에 있어서의 다른 변형예를 나타내는 평면도이다.

도 20은 본 발명의 제3실시예에 있어서의 또 다른 변형예를 나타내는 분해사시도이다.

도 21은 본 발명의 제4실시예를 나타내는 분해도이다.

도 22는 본 발명의 제4실시예를 나타내는 사시도이다.

도 23은 도 22에 있어서의 X-X'선 단면도이다.

도 24는 본 발명의 제5실시예를 나타내는 사시도이다.

도 25는 본 발명의 제6실시예에 있어서의 변형예를 나타내는 것이다.

도 26은 종래예를 나타내는 일부파쇄 사시도이다.

도 27은 다른 종래예를 나타내는 단면도이다.

도 28은 또 다른 종래예를 나타내는 사시도이다.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >

1 : 노이즈필터 2a∼2h : 자성체층

3∼5 : 선로도체 6 : 접지도체

7 : 신호용 전극 8 : 접지용 전극

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 노이즈필터의 주된 요지는, 층상의 장성체로 적층체가 형성되고, 적층된 자성체층의 최상층과 최하층에 접지도체가 형성되며, 각 자성체층 사이에 선로도체와 접지도체가 각각 교대로 형성되며, 자성체층은 산화물 자성체로 구성되어, 자성손실(μ")이 발현되는 주파수보다 낮은 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키지 않고, 자성손실(μ")이 발현되는 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키는 것을 특징으로 한다.

이 노이즈필터에 따르면, 자성손실(μ")이 급준하게 상승하고, 자성손실(μ")이 상승하는 주파수 이상에서 큰 감쇠를 얻을 수 있다. 또한, 자성손실(μ")이 발현되는 주파수보다 낮은 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키지 않고, 자성손실(μ")이 발현되는 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키는 것으로부터, 양호한 저역통과특성을 얻을 수 있다.

본 발명의 노이즈필터의 실시형태로서는 이하와 같은 것이 있다.

제1실시형태의 노이즈필터는, 층상의 자성체로 적층체가 형성되고, 상기 적층된 자성체층의 최상층과 최하층에 접지도체가 형성되며, 상기 각 자성체층 사이에 상기 선로도체와 접지도체가 교대로 형성되고, 상기 각 자성체층 사이에 형성된 상기 각 선로도체는 직렬로 접속되어 있고, 상기 자성체층은 산화물 자성재료로 구성되어, 자성손실(μ")이 1을 초과하는 주파수가 80㎒이상이며, 자성손실(μ")이 발현되는 주파수보다 낮은 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키지 않고, 자성손실(μ")이 발현되는 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키는 것을 특징으로 하는 것이다.

제1실시형태의 노이즈필터에 따르면, 적층된 자성체층의 최상층과 최하층에 접지도체를 형성하고, 각 자성체층 사이에 선로도체와 접지도체를 교대로 형성함으로써, 각 층의 선로도체를 각각 자성체층 사이에 배치할 수 있음과 아울러, 접지도체에 의해 각 층의 선로도체를 그 전체길이에 걸쳐 덮을 수 있다. 이 때문에, 각 층의 선로도체를 통과하는 신호를 접지도체 사이에 가둘 수 있어, 통과대역에서의 신호의 감쇠를 방지할 수 있다. 또한, 겹쳐지는 복수의 자성체층의 최상층과 최하층에 접지도체를 배치함으로써, 외부로부터 선로도체 속으로 노이즈가 혼입하는 것을 막을 수 있고, 신호를 확실하게 전달할 수 있다. 또한, 모든 선로도체의 폭치수를 거의 동일한 값으로 설정함과 아울러, 모든 자성체층의 두께치수를 거의 동일한값으로 설정했을 경우에는, 각 층의 선로도체에 대한 특성임피던스를 서로 대략 일치시킬 수 있다. 이 때문에, 서로 직렬접속된 선로도체의 전체에 걸쳐 특성임피던스를 대략 일정값으로 설정할 수 있기 때문에, 선로도체의 도중에서 노이즈에 반사가 생길 일이 없어 노이즈의 공진을 억제할 수 있고, 외부의 회로와의 임피던스 정합을 용이하게 취할 수 있다. 또한, 각 자성체층 사이에 개재되어 있는 각 선로도체가 직렬접속되어 있음으로써, 전송선로의 전체길이를 길게 할 수 있어 선로도체를 통과하는 노이즈의 감쇠량을 증가시킬 수 있다.

또한, 제1실시형태에 있어서, 상기 선로도체는 지그재그형상의 것, 소용돌이 형상의 것이 있다. 또한, 상기 선로도체는, 상기 적층된 복수의 자성체층 사이에 형성되어 있고, 자성체층의 적층방향을 중심축으로 한 코일형상의 것이 있다.

선로도체가 지그재그형상 또는 소용돌이형상이면, 선로도체를 직선상으로 형성했을 경우에 비하여 그 길이치수를 증가시킬 수 있고, 노이즈의 감쇠량을 증가시킬 수 있다. 또한, 선로도체가 코일형상이면, 노이즈필터의 두께치수는 증대하는 경향이 있지만, 노이즈필터의 바닥면적을 코일의 개구면적과 같은 정도로 설정할 수 있다. 이 때문에, 좁은 접지장소에 대해서도 노이즈필터를 배치할 수 있다. 또한, 선로도체를 직선상으로 형성했을 경우에 비하여, 그 길이치수를 증가시킬 수 있고, 노이즈의 감쇠량을 증가시킬 수 있다.

제2실시형태의 노이즈필터는 층상의 자성체가 적층되고, 상기 적층된 자성체층의 최상층과 최하층에 접지도체가 형성되고, 상기 각 자성체층 사이에 상기 선로도체와 접지도체가 교대로 형성되며, 상기 각 자성체층 사이에 형성된 상기 각 선로도체의 일단측은 서로 다른 신호입력용 전극에 접속되고, 상기 각 선로도체의 타단측은 서로 다른 신호출력용 전극에 접속되며, 상기 자성체층은 산화물 자성재료로 구성되어, 자성손실(μ")이 1을 초과하는 주파수가 80㎒이상이며, 자성손실(μ")이 발현되는 주파수보다 낮은 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키지 않고, 자성손실(μ")이 발현되는 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키는 것을 특징으로 하는 것이다.

제2실시형태의 노이즈필터에 따르면, 각 선로도체를 각각 개별로 로우패스필터로서 동작시킬 수 있고, 전체로서 노이즈필터 어레이를 구성할 수 있다. 또한, 복수의 선로도체는 각각 독립된 로우패스필터로서 동작하여, 선로도체의 도중에 임피던스의 부정합이 생기는 일이 없다. 이 때문에, 선로도체의 도중에서 노이즈에 반사가 일어나는 일이 없어, 노이즈의 공진을 억제할 수 있음과 아울러, 외부의 회로와의 임피던스 정합을 용이하게 취할 수 있다.

또한, 제3실시형태로서, 제2실시형태에 따른 노이즈필터에 있어서, 상기 각 자성체층 사이에 형성된 상기 각 선로도체는 서로 다른 특성임피던스를 갖는 형태가 있다.

이 경우, 복수종류의 특성임피던스를 가진 배선에 대해서도 임피던스 정합시킨 상태로 접속할 수 있다. 또, 일부 또는 모든 선로도체를 병렬접속함으로써, 특성임피던스의 종류수를 증가시킬 수 있고, 노이즈필터가 적용가능하게 되는 배선의 종류를 늘릴 수 있다.

또한, 제4실시형태로서, 제1 또는 제2실시형태에 따른 노이즈필터에 있어서,상기 접지도체를 끼워넣도록 형성된 유전체층과, 상기 선로도체를 끼워넣도록 형성된 자성체층으로 이루어지는 형태가 있다.

이 경우, 노이즈필터의 구조를 바꾸지 않고 특성임피던스를 변화시킬 수 있다. 회로기판선로에 따른 소정의 특성임피던스를 얻음으로써 반사에 의한 영향을 최대한 억제할 수 있다. 또, 선로도체와 접지도체 사이의 절연내압을 높일 수 있으므로, 선로도체와 접지도체 사이의 층을 얇게 형성할 수 있고, 노이즈필터를 소형화할 수 있다.

또한, 제5실시형태의 노이즈필터는, 자성체층과, 상기 자성체층의 주면 상에 간격을 두고 병설된 2이상의 선로도체를 구비하고 있고, 상기 자성체층은 산화물 자성재료로 구성되어, 자성손실(μ")이 1을 초과하는 주파수가 80㎒이상이며, 자성손실(μ")이 발현되는 주파수보다 낮은 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키지 않고, 자성손실(μ")이 발현되는 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키는 것을 특징으로 하는 것이다.

이 노이즈필터에 의해, 자성손실(μ")이 발현되는 주파수보다 낮은 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키지 않고, 자성손실(μ")이 발현되는 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키는, 양호한 저역통과특성을 갖는 노이즈필터를 제공할 수 있다.

또한, 제6실시형태의 노이즈필터는, 자성체층과, 상기 자성체층의 주면상에 상기 자성체층을 끼우도록 대향해서 형성된 적어도 1쌍의 선로도체를 구비하고 있고, 상기 자성체층은 산화물 자성재료로 구성되어, 자성손실(μ")이 1을 초과하는주파수가 80㎒이상이며, 자성손실(μ")이 발현되는 주파수보다 낮은 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키지 않고, 자성손실(μ")이 발현되는 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키는 것을 특징으로 하는 것이다.

또, 자성체로서, 이 자성체에 홀이 형성되어 있고, 홀 내에 유리, 수지, 또는 유리와 수지의 복합재료 중 어느 하나가 충전되어 있는 것을 채용해도 좋다. 이 경우, 외견의 투자율과 유전율을 조정하여, 특성임피던스를 바꾸지 않고 자성손실(μ")의 상승 주파수를 조정할 수 있다.

각 실시형태의 노이즈필터는, 상기 선로도체의 일단측이 서로 다른 신호입력용 전극에 접속되고, 상기 선로도체의 타단측이 서로 다른 신호출력용 전극에 접속되게 된다.

이하, 본 발명의 실시예에 의한 노이즈필터에 대해서 상세하게 설명한다.

도 1 및 도 2는 제1실시예를 나타내는 것이다. 1은 노이즈필터이고, 노이즈필터(1)는 자성체층(2a∼2h), 선로도체(3∼5), 접지도체(6), 신호용 전극(7), 접지용 전극(8)에 의해 대략 구성되어 있다.

2는 노이즈필터(1)의 외형을 구성하는 대략 각기둥형상의 적층체이고, 상기 적층체(2)는, 예를 들면 8매의 자성체층(2a∼2h)으로 구성된다. 적층체(2)는 산화물 자성재료로 이루어지는 대략 사각형의 판상으로 형성된 그린시트의 상태의 것을 적층하여 압착한 후, 이들 자성체층(2a∼2h)을 소성함으로써 형성되어 있다.

선로도체(3∼5)는, 자성체층(2b, 2c) 사이, 자성체층(2d, 2e) 사이, 자성체층(2f, 2g) 사이에 각각 형성되어 있다. 선로도체(3∼5)는, 예를 들면 은페이스트, 팔라듐 등의 도전성 금속재료에 의해 대략 띠형상으로 형성되어, 자성체층(2a∼2h)의 표면에 그 폭방향을 향해서 왕복해서 사행한 대략 지그재그형상으로 형성되어 있다.

여기에서, 상층측에 위치하는 자성체층(2b, 2c) 사이의 선로도체(3)는, 그 일단측이 자성체층(2a∼2h)의 길이방향 일단측으로 연장된 전극부(3A)를 갖는다. 그리고, 선로도체(3)의 타단측에는, 자성체층(2c, 2d)을 각각 관통하는 비아홀(via hole; 3B)을 갖는다. 또, 자성체층(2d, 2e) 사이의 선로도체(4)는, 그 일단측이 비아홀(3B)을 통해서 선로도체(3)에 접속하기 위한 접속부(4A)를 갖고, 타단측이 자성체층(2e, 2f)을 각각 관통하는 비아홀(4B)을 갖는다. 하층측에 위치하는 자성체층(2f, 2g) 사이의 선로도체(5)는, 그 일단측이 비아홀(4B)을 통해서 선로도체(4)에 접속하기 위한 접속부(5A)를 갖고 있다. 선로도체(5)는 그 타단측이 자성체층(2a∼2h)의 길이방향 일단측으로 연장된 전극부(5B)을 갖고 있다. 각 비아홀(3B, 4B) 내에는 은페이스트, 팔라듐 등의 도전성 금속재료가 충전되고, 선로도체(3∼5)는 서로 직렬접속되어 있다. 또, 각 전극부(3A, 5B)는 각각 신호용 전극(7)에 접속되어 있다. 또한 도시하지 않지만, 선로도체(3∼5)는 자성체층(2a∼2h)의 길이방향을 향해서 왕복해서 사행하도록 형성되어 있어도 좋다.

접지도체(6)는 각 층의 선로도체(3∼5)를 끼우도록 자성체층(2a∼2h) 사이에 각각 형성되어 있다. 각 접지도체(6)는 자성체층(2b∼2g)의 최상층과 최하층에 각각 배치됨과 아울러, 자성체층(2b∼2g) 사이에 선로도체(3∼5)와 교대로 적층되어 있다.

각 접지도체(6)는, 예를 들면 은페이스트, 팔라듐 등의 도전성 금속재료를 사용해서 대략 사각형의 평판상으로 형성되고, 자성체층(2b∼2g)을 대략 전체면에 걸쳐서 덮고 있다. 또한, 각 접지도체(6)에는, 자성체층(2b, 2c)의 길이방향 중간위치에, 폭방향 양단측을 향해서 혀모양으로 돌출해서 연장되는 전극부(6A)를 갖고, 전극부(6A)는 접지용 전극(8)에 접속되어 있다.

신호용 전극(7)은 적층체(2)의 길이방향 양단측에 각각 설치되어 있다. 신호용 전극(7)은 적층체(2)의 끝면에 형성되어 있음과 아울러, 그 표면, 이면 및 측면에도 형성되어 있고, 적층체(2)의 양단측에 캡형상으로 형성되어 있다. 그리고, 신호용 전극(7)은, 예를 들면 적층체(2)의 양단측에 도전성 금속재료를 도포한 후에, 이 도전성 금속재료를 베이킹함으로써 형성되어, 선로도체(3∼5)의 전극부(3A 및 5B)에 접속되어 있다.

접지용 전극(8)은 적층체(2)의 길이방향 중간위치에서 폭방향의 양단측에 각각 설치되어 있다. 접지용 전극(8)은, 대략 "ㄷ"자형상을 하며, 적층체(2)의 측면에서 적층체(2)의 두께방향을 따라 띠형상으로 연장됨과 아울러, 그 일부가 적층체(2)의 표면과 이면에 연신되어 있다. 그리고, 접지용 전극(8)은, 예를 들면적층체(2)의 측면측에 도전성 금속재료를 도포한 상태로 베이킹함으로써 형성되어, 접지도체(6)의 전극부(6A)에 접속되어 있다.

본 실시예에 의한 노이즈필터(1)는 상술한 바와 같이 구성되는 것이며, 다음에 그 동작에 대해서 설명한다.

우선, 신호가 전달되는 배선이 설치된 기판상에 노이즈필터(1)가 배치되어 있다. 배선상에 신호용 전극(7)이 각각 접속되어 있고, 접지용 전극(8)은 접지단자에 접속되어 있다. 이것에 의해, 신호는 선로도체(3∼5)를 통해서 전달됨과 아울러, 접지도체(6)는 접지전위에 유지된다.

여기에서, 자성체층(2a∼2h)을 구성하는 산화물 자성재료는, 선로도체(3∼5)를 통과하는 신호의 주파수가 높아짐에 따라서 자성손실(μ")을 발생한다. 노이즈필터(1)는, 이 자성손실(μ")에 의한 흡수특성에 의해 노이즈를 억제하여, 저역통과형 필터를 구성하는 것이다.

노이즈필터(1)와 같은 구성에 있어서는, 자성손실(μ")이 생기고 있지 않은 주파수대에서는, 투자율이 대략 일정하고, 또 유전율은 주파수에 관계없이 대략 일정하기 때문에, 선로에 분포적으로 거의 일정한 인덕턴스와 용량이 생긴다. 이러한 선로는, 분포정수선로로 되고, Zo=√(ΔL/ΔC)로 나타내어지는 특성임피던스를 갖게 된다. 노이즈필터(1)의 특성임피던스와, 노이즈필터(1)를 삽입하는 회로기판 등의 특성임피던스를 합치면 반사를 일으키지 않고 파형에의 영향도 억제된다.

노이즈 억제효과는 전송선로의 전파정수(ν=α+jβ)의 감쇠정수(α)에 관한 항에 의해 자성손실이 증가하는 주파수로부터 얻어진다. 또한, 산화물 자성재료를사용함으로써 급준한 삽입손실특성을 얻을 수 있다. 또한 급준한 삽입손실특성을 얻기 위해서는, 자성손실(μ")이 1을 초과하는 주파수를 80㎒이상으로 하는 것이 바람직하다.

다음에, 자성체층(2a∼2h)의 제조방법에 대해서 설명한다. 산화물 자성재료의 출발원료로서, Fe₂O₃분말, ZnO분말, NiO분말, CuO분말, Co₃O₄분말을 준비한다.

Fe₂O₃분말, ZnO분말, NiO분말, CuO분말, Co₃O₄분말을 사용하여, 표 1의 시료No.1∼10의 조성이 되도록 산화물 원료를 칭량한다. 칭량원료분말을 혼합하고, 혼합물에 대하여 0.5∼1.5배 중량의 순수와 0.5∼2.5wt%의 분산제와 함께, 1㎜φ의 PSZ제 볼을 50vol% 충전한 볼밀에 투입하고, 20시간 혼합을 행한다. 이때, PSZ제 볼의 마모에 의해, 0.02∼0.2wt%정도의 ZrO₂, 0.0006∼0.006wt%정도의 Y₂O₃이 혼입되는 일이 있지만, 특성상 특별히 문제는 없다. 이 혼합 슬러리를 스프레이 드라이에 의해 약 150∼250℃에서 건조한 후, 박스에 충전하고, 700℃에서 2시간 임시소성을 행하였다. 임시소성시의 승온속도는 200℃/h, 강온속도는 700℃에서 500℃까지는 200℃/h이고, 500℃이하는 자연방치 냉각한다. 얻어진 임시소성분말을 원료에 대하여 0.5∼1.5배 중량의 순수와 1.0∼3.0wt%의 분산제와 함께, 1㎜φ의 PSZ제 볼을 50vol% 충전한 볼밀에 투입하고, 48시간 분쇄한다. 이때, PSZ제 볼의 마모에 의해, 0.05∼0.5wt%정도의 ZrO₂, 0.0015∼0.015wt%정도의 Y₂O₃이 혼입되는 일이 있지만, 특성상 특별히 문제는 없다. 분쇄 슬러리에, 아크릴수지 바인더를 첨가하고, 건조, 입자화하여, 1700㎏/㎠의 성형압력의 유압식 프레스로 지름 20㎜, 내경 10㎜, 높이 2㎜의 트로이달 링으로 성형했다. 이것을 최고온도가 900℃로 되는 소정의 프로파일로 대기중에서 소성해서 측정용 시료를 만들었다. 이 측정용 시료에 대해서 임피던스 애널라이저(아지렌트테크놀로지 4291A)로 μ', μ"의 주파수 의존성을 측정했다. 그 결과를 도 3, 도 4에 나타낸다.

시료No.	조성	μ"상승주파수
	Fe₂O₃	μ"상승주파수	ZnO	NiO	CuO	Co₃O₄
	㏖%	wt%	㎒
1	48.0	29.0	14.5	8.5	0	1.2
2	48.0	27.5	16.0	8.5	0	7.4
3	48.0	26.0	17.5	8.5	0	8.0
4	48.0	25.0	18.5	8.5	0	18.0
5	48.0	10.0	33.5	8.5	0	31.7
6	48.0	5.0	38.5	8.5	0	53.5
7	48.0	1.0	42.5	8.5	0	83.3
8	48.0	25.0	18.5	8.5	2.0	117.2
9	48.0	25.0	18.5	8.5	3.0	247.9
10	48.0	25.0	18.5	8.5	5.0	469.1

다음에, 도 1, 도 2에 나타낸 노이즈필터의 제조방법에 대해서 설명한다.

상기와 같은 방법으로 작성한 임시소성분말을, 임시소성분말에 대하여 0.3∼1.0배 중량의 순수와 0.5∼3.5wt%의 분산제와 함께, 1㎜φ의 PSZ제 볼을 50vol% 충전한 볼밀에 투입하여 48시간 분쇄하고, 아크릴수지 바인더, 가소제, 소포제 등을 첨가해서 12시간 더 혼합한다. 얻어진 원료 슬러리를 닥터 블레이드(doctor blade)를 사용하여, PET필름상에 두께 10∼150㎛(한점이면 된다; 예를 들면 100㎛)의 띠형상의 시트로 성형하고, 건조실의 주위에 배치한 전열히터로 건조한다. 건조온도는 40∼100℃로 하고 필요에 따라서 팬 송풍을 행한다. 송풍은 열풍이 바람직하다. 건조후의 띠형상의 시트를 사방 100㎜로 구멍을 뚫는다. 이 중, 소정의 매수에 대해서, 스크린인쇄에 의해, 은페이스트로 지그재그형상 도체패턴 및, 그라운드 전극패턴을 인쇄한다. 인쇄한 시트를 도 1과 같이 지그재그형상 도체패턴을 끼워넣도록 그라운드 전극을 배치하여, 지그재그형상 도체패턴을 3층 적층하였다. 지그재그형상 도체패턴은 비아홀을 통해서 직렬로 접속된다. 또한, 그 상하에 외층시트를 소정의 매수씩 적층하여 얻어진 시트블록의 상하를 고무로 끼우고, 1000㎏/㎠로 설정한 정수압 프레스로 압착한다. 압착후의 두께는 1.5㎜로 되도록 외층시트의 매수를 조절한다. 적층, 압착한 것을 4.0㎜(길이)×2.0㎜(폭)×1.5㎜(두께)의 칩형상으로 커트하였다. 이들을 최고온도가 900℃로 되는 소정의 프로파일로 소성한다. 소성은 통상 대기중에서 행하지만, 산소분압을 19vol%이하로 한 분위기에서도 양호한 소결체를 얻을 수 있다.

소성후의 소자 사이즈는, 3.2㎜(길이)×1.6㎜(폭)×1.2㎜(두께)이며, 지그재그형상 도체의 길이는 약 20㎜이다. 소성후, 칩 끝부에 지그재그 도체패턴 접속용 외부전극, 칩 측면에 그라운드 전극접속용의 외부전극을 형성했다.

또, 실시예에서는, 인쇄시트의 적층은 1층의 시트로 행하고 있지만, 소정의 층간격을 얻기 위해서 도체패턴이 인쇄되어 있지 않은 시트를 복수층 적층해도 좋다. 또한, 자성체층은, 스크린인쇄를 반복해서 소정 두께의 자성체층을 얻는, 인쇄공법에 의해 형성되어도 좋다.

시작(試作)한 시료를 네트워크 애널라이저(아지렌트테크놀로지 8753D)에 접속하여, 삽입손실특성을 조사했다. 그 결과를 도 5, 도 6에 나타낸다. 도 5, 도 6으로부터, 삽입손실은 μ"의 상승주파수가 높을수록 급준한 특성이 얻어지는 것을 알았다. 또한, 각 시료의 지그재그 도체패턴과 그라운드 전극간의 층간격을 각각바꾸어 작성하고, 자성손실(μ")이 증가하기 시작할 때까지의 주파수(μ'가 대략 일정값을 나타내는 주파수영역)에서의 특성임피던스가, 시료No.1에서는 약 190Ω, 시료No.2에서는 약 130Ω, 시료No.3에서는 약 90Ω, 시료No.4∼10에서는 약 50Ω로 되도록 했다.

시료No.4∼10과 같이, 80㎒이상에서 μ"가 상승하는 경우, 특히 양호한 삽입손실특성이 얻어진다.

또, 비교로서 임피던스 소자를 삽입했을 경우의 삽입손실특성과의 비교를 행했다. 비교에 사용한 시료는, 시료No.7과 같은 재료를 사용하고, 그라운드 전극을 인쇄하지 않은 시트를 적층한 이외는 시료No.7과 같은 구성으로 작성하였다(비교예 1). 즉, 지그재그형상 도체패턴만이 소자 내부에 구성된 형상으로 되어 있다.

이 소자의, 임피던스 주파수특성을 도 7에 나타낸다. 또한, 시료No.7과 비교예 1의 삽입손실의 비교를 도 8에 나타낸다.

동일 자성재료를 사용하고 있지만, 비교예 1은 μ"가 발현되지 않는 주파수에서부터 삽입손실이 발생하고, 단자전극간의 부유용량에 의해 500㎒이상에서는 임피던스가 저하하고, 삽입손실도 저하한다. 시료No.7에서는, μ"가 증가하는 주파수에서부터 삽입손실이 발생하고, ㎓대의 고주파까지 효과가 지속된다.

또, 본 실시예에 있어서는 Ni-Cu-Zn계 페라이트 소결체를 사용하고 있지만, Mg-Cu-Zn계 페라이트, Ni-Mg-Cu-Zn계 페라이트, Cu-Zn계 페라이트 등을 사용해도 좋다.

도 9, 도 10은 제1실시예에 있어서의 변형예를 나타내는 것이다. 도 9에 나타낸 바와 같이, 본 변형예에 있어서는, 접지도체(6)의 전극부(6A)가, 자성체층(2b, 2c)의 길이방향 양단측을 향해서 연장되도록, 자성체층(2b, 2c)의 폭방향 양단측에 형성되어 있다. 또한, 도 10에 나타낸 바와 같이, 신호용 전극(7)이, 적층체(2)의 폭방향 중간위치에서 길이방향의 양단측에 각각 설치되어 있고, 접지용 전극(8)이, 신호용 전극(7)의 양측에 각각 설치되어 있다. 신호용 전극(7)과 접지용 전극(8)은 단락을 막기 위해서, 소정의 간격을 갖도록 설치되어 있다. 본 변형예는, 특히 코플래너(coplanar) 가이드와의 접속에 적합한 것이다.

도 11은 제1실시예에 있어서의 다른 변형예를 나타내는 것이다. 도 11에 나타낸 바와 같이, 본 변형예에 있어서는, 선로도체(3∼5)가 직선상으로 형성된 것이다.

도 12는 제1실시예에 있어서의 또 다른 변형예를 나타내는 것이다. 도 12에 나타낸 바와 같이, 본 변형예에 있어서는, 선로도체(3∼5)가 소용돌이형상으로 형성된 것이다.

도 13은 제1실시예에 있어서의 또 다른 변형예를 나타내는 것이다. 도 13에 나타낸 바와 같이, 본 변형예에 있어서는, 선로도체(3∼5)가 꺾임부를 갖는 대략 원호상 또는 "ㄷ"자상을 하고 있다. 선로도체(3∼5)는 자성체층을 적층함으로써 적층된 자성체층 사이에 형성되어 있고, 자성체층의 적층방향을 중심축으로 한 코일상으로 형성된다.

또한, 도 9∼도 13에 있어서, 도 1과 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙이고 있고, 상세한 설명은 대략한다.

도 14∼도 15는 제2실시예를 나타내는 것이다. 본 실시예에 의한 노이즈필터는, 자성체층 사이에는 동일층에 위치해서 제1의 선로도체와 제2의 선로도체를 형성하고, 이들 제1, 제2의 선로도체와 접지도체를 자성체층 사이에 교대로 적층하여 복수층의 제1의 선로도체를 직렬접속함과 아울러, 이들 제1의 선로도체와는 독립해서 복수층의 제2의 선로도체를 직렬접속한 것이다.

11은 본 실시예에 의한 노이즈필터이고, 상기 노이즈필터(11)는 자성체층(12a∼12j), 제1의 선로도체(13∼16), 제2의 선로도체(17∼20), 접지도체(21), 제1의 신호용 전극(22), 제2의 신호용 전극(23)에 의해 대략 구성되어 있다.

12는 노이즈필터(11)의 외형을 구성하는 대략 각기둥형상의 적층체이고, 상기 적층체(12)는, 예를 들면 10매의 자성체층(12a∼12j)을 적층함으로써 형성되어 있다. 그리고 자성체층(12a∼12j)은 대략 사각형의 판형상으로 형성되어, 산화물 자성재료에 의해 형성되어 있다.

13∼16은 제1의 선로도체이고, 각 세트의 자성체층(12b, 12c) 사이, 자성체층(12d, 12e) 사이, 자성체층(12f, 12g) 사이, 자성체층(12h, 12i) 사이에 각각 위치해서 합계 4층으로 형성되어 있다. 상기 선로도체(13∼16)는, 도전성 금속재료에 의해 소용돌이형상으로 형성됨과 아울러, 적층체(12)의 두께방향에 대하여 서로 대향하는 위치에 배치되어 있다.

여기에서, 선로도체(13)의 일단측은, 적층체(12)의 길이방향 일단측을 향해서 연장된 전극부(13A)를 이루고, 선로도체(13)의 타단측은, 소용돌이의 중심측에위치해서 자성체층(12c, 12d)을 관통하는 비아홀(13B)이 형성되어 있다.

또한, 선로도체(14)의 일단측은, 소용돌이의 중심측에 위치해서 비아홀(13B)을 통해서 선로도체(13)에 접속하기 위한 접속부(14A)가 형성되고, 선로도체(14)의 타단측은, 소용돌이의 외주측에 위치해서 자성체층(12e, 12f)을 관통하는 비아홀(14B)이 형성되어 있다. 마찬가지로, 선로도체(15)의 일단측은, 소용돌이의 외주측에 위치해서 접속부(15A)가 형성되고, 선로도체(15)의 타단측은, 소용돌이의 중심측에 위치해서 비아홀(15B)이 형성되어 있다.

또한, 선로도체(16)의 일단측은, 소용돌이의 중심에 위치해서 비아홀(15B)을 통해서 선로도체(15)에 접속하기 위한 접속부(16A)가 형성됨과 아울러, 선로도체(16)의 타단측은, 소용돌이의 외주측에 위치해서 적층체(12)의 길이방향 타단측을 향해서 연장된 전극부(16B)를 이루고 있다.

그리고, 각 비아홀(13B, 14B, 15B) 내에는 은페이스트, 팔라듐 등의 도전성 금속재료가 충전되고, 선로도체(13∼16)는 서로 직렬접속되어 있다.

17∼20은 제2의 선로도체이고, 각 세트의 자성체층(12b, 12c) 사이, 자성체층(12d, 12e) 사이, 자성체층(12f, 12g) 사이, 자성체층(12h, 12i) 사이에 각각 위치해서 합계 4층으로 형성되어 있다. 상기 선로도체(17∼20)는, 제1의 선로도체(13∼16)와 다른 위치로 해서 제1의 선로도체(13∼16)로부터 적층체(12)의 폭방향으로 위치가 어긋나서 배치되어, 제1의 선로도체(13∼16)에 대하여 절연되어 있다. 또한, 선로도체(17∼20)는, 도전성 금속재료에 의해 소용돌이형상으로 형성됨과 아울러, 적층체(12)의 두께방향에 대하여 서로 대향하는 위치에 배치되어 있다.

그리고, 제2의 선로도체(17∼20)는, 제1의 선로도체(13∼16)와 거의 같은 형상으로써 형성되고, 선로도체(17)의 일단측에는 전극부(17A)가 형성되고, 선로도체(17)의 타단측에는 비아홀(17B)이 형성되어 있다. 마찬가지로 선로도체(18, 19)의 일단측에는 접속부(18A, 19A)가 형성되고, 선로도체(18, 19)의 타단측에는 비아홀(18B, 19B)이 형성되어 있다. 또한, 선로도체(20)의 일단측에는 접속부(20A)가 형성되고, 선로도체(20)의 타단측에는 전극부(20B)가 형성되어 있다.

그리고, 각 비아홀(17B, 18B, 19B) 내에는 은페이스트, 팔라듐 등의 도전성 금속재료가 충전되고, 선로도체(17∼20)는 서로 직렬접속되어 있다.

21은 접지도체이고, 제1의 선로도체(13∼16) 및 제2의 선로도체(17∼20)를 각 층마다 끼우도록 자성체층(12a∼12j)의 사이에 각각 형성되어 있다. 각 접지도체(21)는 자성체층(12b∼12i)의 최상층과 최하층에 각각 배치됨과 아울러, 자성체층(12b∼12i) 사이에 제1의 선로도체(13∼16), 제2의 선로도체(17∼20)와 교대로 적층되어 있다.

그리고, 접지도체(21)는 도전성 금속재료를 사용해서 대략 사각형의 평판형상으로 형성되고, 자성체층(12b∼12i)을 대략 전체면에 걸쳐서 덮고 있다. 또한, 접지도체(21)에는 제1실시예에 의한 접지도체(6)와 거의 마찬가지로 폭방향 양단측을 향해서 돌출한 전극부(21A)가 형성되고, 상기 전극부(21A)는 후술의 접지용 전극(24)에 접속되어 있다.

22는 제1의 신호용 전극으로, 적층체(12)(자성체층(12a∼12j))의 길이방향양단측에 각각 설치되어 있다. 상기 신호용 전극(22)은, 도전성 금속재료에 의해 형성되고, 신호용 배선에 접속되는 것이다. 또, 한쪽의 신호용 전극(22)은 선로도체(13)의 전극부(13A)에 접속됨과 아울러, 다른쪽의 신호용 전극(22)은 선로도체(16)의 전극부(16B)에 접속되어 있다.

23은 제2의 신호용 전극으로, 적층체(12)(자성체층(12a∼12j))의 길이방향 양단측에 각각 설치되어 있다. 상기 신호용 전극(23)은, 도전성 금속재료에 의해 형성되고, 제1의 신호용 전극(22)에 대하여 적층체(12)의 폭방향으로 위치가 벗어나서 설치되며, 제1의 신호용 전극(22)에 대하여 절연되어 있다. 또한, 한쪽의 신호용 전극(23)은 선로도체(17)의 전극부(17A)에 접속됨과 아울러, 다른쪽의 신호용 전극(23)은 선로도체(20)의 전극부(20B)에 접속되어 있다.

그리고, 예를 들면 한쪽의 신호용 전극(22, 23)은 신호입력용 전극을 이루고, 다른쪽의 신호용 전극(22, 23)은 신호출력용 전극을 이루고 있다. 또한, 한쪽의 신호용 전극(22, 23)을 신호출력용으로 사용하거나, 신호용 전극(22, 23)을 신호입력용으로 사용해도 좋다.

24는 접지용 전극으로, 적층체(12)의 폭방향의 양단측에 각각 설치되어 있다. 상기 접지용 전극(24)은, 도전성 금속재료에 의해 형성되어, 접지도체(21)의 전극부(21A)에 접속되어 있다.

이와 같이 구성되는 본 실시예에서도, 상기 제1실시예와 거의 같은 작용효과를 얻을 수 있다. 또한, 제1, 제2의 선로도체(13∼16, 17∼20)를 각각 독립해서 형성했기 때문에, 단일한 적층체(12) 내에 제1의 선로도체(13∼16)로 이루어지는 로우패스필터와, 제2의 선로도체(17∼20)로 이루어지는 로우패스필터를 설치할 수 있다. 이 때문에, 노이즈필터(11)는, 전체로서 2개의 로우패스필터를 갖는 노이즈필터 어레이를 구성할 수 있기 때문에, 2개의 로우패스필터를 개별로 형성했을 경우에 비하여 접지도체(21), 접지용 전극(24) 등을 공유할 수 있어, 노이즈필터(11)를 소형화할 수 있다.

도 16∼도 17은 제3실시예를 나타내는 것이다. 본 실시예에 의한 노이즈필터는, 겹쳐지는 복수의 자성체층의 최상층과 최하층에 접지도체를 형성하고, 각 자성체층 사이에 선로도체와 접지도체를 교대로 형성하여, 복수층의 선로도체의 일단측은 서로 다른 신호입력용 전극에 접속되고, 복수층의 선로도체의 타단측은 서로 다른 신호출력용 전극에 접속되는 것을 특징으로 하고 있다.

31은 본 실시예에 의한 노이즈필터이고, 상기 노이즈필터(31)는 자성체층(32a∼32j), 제1∼제4의 선로도체(33∼36), 접지도체(37), 제1∼제4의 신호용 전극(38∼41), 접지용 전극(42)에 의해 대략 구성되어 있다.

32는 대략 각기둥형상의 적층체이고, 노이즈필터(31)의 외형을 구성한다. 상기 적층체(32)는, 예를 들면 10매의 자성체층(32a∼32j)을 적층함으로써 형성되어 있다. 그리고, 자성체층(32a∼32j)은, 대략 사각형의 판형상으로 형성되고, 산화물 자성재료에 의해 형성되어 있다.

33은 제1의 선로도체이고, 자성체층(32b, 32c) 사이에 형성되어 있다. 상기 선로도체(33)는, 도전성 금속재료를 사용해서 가는 띠형상으로 형성됨과 아울러, 적층체(32)의 폭방향으로 복수회에 걸쳐서 사행(왕복)한 지그재그형상을 하고 있다. 그리고, 선로도체(33)의 양단측에는, 적층체(32)의 길이방향 양단측을 향해서 각각 연장된 전극부(33A)가 형성되고, 이들의 전극부(33A)는, 예를 들면 적층체(32)의 폭방향 일단측에 배치되어 있다.

34는 제2의 선로도체이고, 자성체층(32d, 32e) 사이에 형성되어 있다. 상기 선로도체(34)는, 예를 들면 제1의 선로도체(33)와 같은 폭치수를 갖고, 제1의 선로도체(33)와 마찬가지로 도전성 금속재료를 사용해서 가는 띠형상으로 형성됨과 아울러, 적층체(32)의 폭방향으로 복수회에 걸쳐서 사행한 지그재그형상으로 형성되고, 그 양단측에는, 적층체(32)의 길이방향 양단측을 향해서 각각 연장된 전극부(34A)가 형성되어 있다. 그리고, 이들 전극부(34A)는, 제1의 전극부(33A)와는 다른 위치로 해서 예를 들면 적층체(32)의 폭방향 중앙측에 배치되어 있다.

35는 제3의 선로도체이고, 자성체층(32f, 32g) 사이에 형성되어 있다. 상기 선로도체(35)는, 예를 들면 제1의 선로도체(33)와 같은 폭치수를 갖고, 제1의 선로도체(33)와 마찬가지로 도전성 금속재료를 사용해서 사행한 지그재그형상으로 형성되며, 그 양단측에는, 적층체(32)의 길이방향 양단측을 향해서 각각 연장된 전극부(35A)가 형성되어 있다. 그리고, 이들 전극부(35A)는, 제1, 제2의 전극부(33A, 34A)와는 다른 위치로 해서 예를 들면 제2의 전극부(34A)와 적층체(32)의 폭방향 타단과의 중간부위에 배치되어 있다.

36은 제4의 선로도체이고, 자성체층(32h, 32i) 사이에 형성되어 있다. 상기 선로도체(36)는, 예를 들면 제1의 선로도체(33)와 같은 폭치수를 갖고, 제1의 선로도체(33)와 마찬가지로 도전성 금속재료를 사용해서 사행한 지그재그형상으로 형성되고, 그 양단측에는, 적층체(32)의 길이방향 양단측을 향해서 각각 연장된 전극부(36A)가 형성되어 있다. 그리고, 이들 전극부(36A)는, 제1∼제3의 전극부(33A∼35A)와는 다른 위치로 해서 예를 들면 적층체(32)의 폭방향 타단측에 배치되어 있다.

37은 접지도체이고, 제1∼제4의 선로도체(33∼36)를 끼우도록 자성체층(32a∼32j)의 사이에 각각 형성되어 있다. 각 접지도체(37)는, 자성체층(32b∼32i)의 최상층과 최하층에 각각 배치됨과 아울러, 자성체층(32b∼32i) 사이에 선로도체(33∼36)와 교대로 적층되어 있다.

그리고, 접지도체(37)는, 도전성 금속재료를 사용해서 대략 사각형의 평판형상으로 형성되고, 자성체층(32b∼32i)을 대략 전체면에 걸쳐서 덮고 있다. 또한, 접지도체(37)에는 제1실시예에 의한 접지도체(6)와 대략 동일하게 폭방향 양단측을 향해서 돌출한 전극부(37A)가 형성되고, 상기 전극부(37A)는 후술의 접지용 전극(42)에 접속되어 있다.

38∼41은 각각 제1∼제4의 신호용 전극이고, 도전성 금속재료에 의해 형성되어 있다. 상기 제1∼제4의 신호용 전극(38∼41)은, 적층체(32)의 길이방향 양단측의 측면에 위치해서 각각 한쌍씩 설치되어 있다. 그리고, 제1∼제4의 신호용 전극(38∼41)은, 적층체(32)의 폭방향에 대하여 서로 다른 위치로 해서 예를 들면 적층체(32)의 폭방향 일단측에서 타단측을 향해서 순차 배치되어, 상호의 사이가 절연되어 있다.

또, 제1의 신호용 전극(38)은 제1의 선로도체(33)의 전극부(33A)에 접속되고, 제2의 신호용 전극(39)은 제2의 선로도체(34)의 전극부(34A)에 접속되며, 제3의 신호용 전극(40)은 제3의 선로도체(35)의 전극부(35A)에 접속되고, 제4의 신호용 전극(41)은 제4의 선로도체(36)의 전극부(36A)에 접속되어 있다.

그리고, 한쌍씩 설치된 제1∼제4의 신호용 전극(38∼41)에 있어서, 일단은 신호입력용 전극을 이루고, 다른쪽 단은 신호출력용 전극을 이루고 있다.

42는 접지용 전극이고, 적층체(32)의 폭방향의 양단측에 각각 설치되어 있다. 상기 접지용 전극(42)은 도전성 금속재료에 의해 형성되어, 접지도체(37)의 전극부(37A)에 접속되어 있다.

이와 같이 구성되는 본 실시예에서도, 상기 제1실시예와 대략 같은 작용효과를 얻을 수 있다. 또한, 본 실시예에서는, 복수층의 선로도체(33∼36)는 서로 다른 신호용 전극(38∼41)에 접속하기 때문에, 복수층의 선로도체(33∼36)를 각각 개별로 로우패스필터로서 작동시킬 수 있고, 전체로서 노이즈필터 어레이를 구성할 수 있다.

또한, 본 실시예에서는, 복수층의 선로도체(33∼36)는 각각 개별로 로우패스필터를 구성하기 때문에, 로우패스필터의 개수를 증가시킬 경우라도 자성체층(32a∼32j)의 매수를 증가시키면 족하다. 이 때문에, 노이즈필터(31) 내에 다수의 로우패스필터를 설치했을 경우라도 노이즈필터(31)를 소형화할 수 있다.

또한, 본 실시예에서는 비아홀을 사용할 필요가 없기 때문에, 비아홀이 불연속점으로 되어 임피던스의 부정합이 생기는 일이 없다. 이 때문에, 선로도체(33∼36)의 도중에서 노이즈에 반사가 일어나는 일이 없어, 노이즈의 공진을 억제할 수 있음과 아울러, 외부의 회로에 대하여 임피던스 정합을 용이하게 취할 수 있다. 또한, 자성체층(32a∼32j)에 비아홀이 형성되어 있지 않기 때문에, 선로도체(33∼36)를 자성체층(32a∼32j)의 전체면에 걸쳐서 배치할 수 있다. 이 때문에, 선로도체(33∼36)의 길이치수를 길게 할 수 있고, 노이즈의 감쇠량을 증가시킬 수 있다. 또한, 비아홀의 구멍가공 등을 행할 필요가 없기 때문에, 제조공정을 간략화해 제조가격을 저감할 수 있다.

또, 본 실시예에서는, 선로도체(33∼36) 사이에는 접지도체(37)가 형성되어 있기 때문에, 접지도체(37)에 의해 이웃하는 선로도체(33∼36) 사이에서의 크로스토크를 방지할 수 있어, 신호를 확실하게 전파할 수 있다.

또, 본 실시예에서는, 복수층의 선로도체(33∼36)는 각 층마다 각각 독립되어 있기 때문에, 입력용의 신호용 전극(38∼41)과 출력용의 신호용 전극(38∼41)은 대향할 필요가 없고, 독립해서 배치할 수 있기 때문에 설계 자유도를 높일 수 있다.

도 18은 제3실시예에 있어서의 변형예를 나타내는 것이다. 도 18에 나타낸 바와 같이, 본 변형예에 있어서는, 선로도체(33∼36)가 직선상으로 형성된 것이다.

도 19는 제3실시예에 있어서의 다른 변형예를 나타내는 것이다. 도 19에 나타낸 바와 같이, 본 변형예에 있어서는, 선로도체(33∼36)가 소용돌이형상으로 형성된 것이다.

도 20은 제3실시예에 있어서의 또 다른 변형예를 나타내는 것이다. 도 20에 나타낸 바와 같이, 본 변형예에 있어서는, 선로도체(33∼36)가 서로 다른 폭치수를갖도록 형성된 것이다. 이 경우, 복수층의 선로도체(33∼36)는 서로 다른 특성임피던스를 갖기 때문에, 복수종류의 특성임피던스를 가진 배선에 대해서도 각 층의 선로도체(33∼36)를 임피던스 정합시킨 상태로 접속할 수 있다. 또한, 선로도체(33∼36)는 서로 다른 특성임피던스를 갖기 때문에, 각 선로도체(33∼36)를 독립해서 사용할 때에는, 선로도체(33∼36)의 층수에 따라서 4종류의 특성임피던스를 가진 로우패스필터를 형성할 수 있다.

이것에 더해서, 복수층의 선로도체(33∼36) 중, 2층∼3층 또는 모든 층(4층)의 선로도체를 병렬 접속해서 사용할 때에는, 특성임피던스를 예를 들면 10종류 증가시킬 수 있다. 이 때문에, 선로도체(33∼36)의 특성임피던스를 모두 같은 값으로 설정했을 때에 비하여 특성임피던스의 종류를 늘릴 수 있기 때문에, 적용할 수 있는 배선의 종류를 늘릴 수 있다.

또한, 제3실시예에 있어서, 각각의 로우패스필터의 특성임피던스를 다른 값으로 설정하기 위해서는, 선로도체(33∼36)의 폭치수뿐만 아니라 자성체층(32b∼32i)의 두께치수를 서로 다르게 하는 구성으로 하여도 좋고, 선로도체(33∼36)의 폭치수와 자성체층(32b∼32i)의 두께치수 양쪽을 상위하게 하는 구성으로 하여도 좋다.

도 21∼도 23은 제4실시예를 나타내는 것이다. 본 실시예에 의한 노이즈필터는, 자성체층 중에 유전체층이 개재되는 것을 특징으로 하고 있다.

51은 본 실시예에 의한 노이즈필터이고, 상기 노이즈필터(51)는 자성체층(53a∼53f), 유전체층(54a∼54h), 선로도체(55∼57), 접지도체(58), 신호용 전극(59), 접지용 전극(60)에 의해 대략 구성되어 있다.

52는 대략 각기둥형상의 적층체이고, 노이즈필터(1)의 외형을 구성한다. 상기 적층체(52)는, 예를 들면 6매의 자성체층(53a∼53f)과, 8매의 유전체층(54a∼54h)을 서로 겹쳐서 적층한 상태로 프레스한 후, 이들 자성체층(53a∼53f)과 유전체층(54a∼54h)을 소성함으로써 형성되어 있다.

자성체층(53a∼53f)과 유전체층(54a∼54h)은, 각각 2매씩 교대로 적층되고, 자성체층(53a, 53b) 사이에는 선로도체(55)가, 자성체층(53c, 53d) 사이에는 선로도체(56)가, 자성체층(53e, 53f) 사이에는 선로도체(57)가 형성되고, 유전체층(54a, 54b) 사이, 유전체층(54c, 54d) 사이, 유전체층(54e, 54f) 사이, 유전체층(54g, 54h) 사이에는 접지도체(58)가 각각 형성되어 있다.

또한, 자성체층(53a∼53f)은 대략 사각형의 판형상으로 형성되어, 산화물 자성재료에 의해 형성되어 있고, 유전체층(54a∼54h)은 대략 사각형의 판형상으로 형성되어 유전재료에 의해 형성되어 있다.

또, 자성체층(53a∼53f) 및 유전체층(54a∼54h)의 적층매수, 적층순서는 본 실시예에 한정되는 것이 아니고, 예를 들면 도체 등이 인쇄되어 있지 않은 층이 자성체층(53a∼53f) 및 유전체층(54a∼54h)의 각 층의 사이에 형성되어 있어도 좋다.

그 밖의 구성은 제1실시예와 공통이기 때문에 설명을 생략한다.

이렇게 구성되는 본 실시예에서도, 상기 제1실시예와 대략 같은 작용효과를 얻을 수 있다. 또한, 본 실시예에서는, 자성체층 중에 유전체층이 개재되어 있기 때문에, 노이즈필터의 구조를 크게 바꾸지 않고 특성임피던스가 다른 노이즈필터를얻을 수 있다.

본 발명에 있어서의 노이즈필터의 특성임피던스(Zo)는, Zo=√(ΔL/ΔC)의 관계로 표시되고, 특성임피던스(Zo)는 선로도체의 인덕턴스와, 선로와 접지도체 사이의 커패시턴스에 의해 결정된다. 다시 말해, 노이즈필터(51)에 있어서, 자성체층 중에 유전체층을 개재시켰을 경우, 개재시킨 유전체층의 유전율이 자성체층의 유전율보다 낮으면, 노이즈필터를 자성체층만으로 구성했을 때와 비교해서 특성임피던스는 높아지고, 개재시킨 유전체층의 유전율이 자성체층의 유전율보다 높을 경우, 노이즈필터를 자성체층만으로 구성했을 때와 비교해서 특성임피던스는 낮아진다. 이것을 이용하여, 노이즈필터(51)의 특성임피던스와, 노이즈필터(51)를 삽입하는 회로기판 등의 특성임피던스를 합치면, 반사에 의한 영향을 최대한 억제할 수 있다.

또, 유전체 재료는, 자성체 재료에 비해서 일반적으로 절연내압이 높기 때문에 유전체층에 접지도체를 끼워넣도록 형성하고, 자성체층에 선로도체를 끼워넣도록 형성한 노이즈필터(51)에 있어서는, 선로도체와 접지도체 사이의 절연내압을 높일 수 있다. 따라서, 선로도체와 접지도체 사이의 층을 얇게 형성할 수 있고, 노이즈필터(51)를 소형화할 수 있다.

도 24는 제5실시예를 나타내는 것이다. 도 24에 나타낸 바와 같이, 제5실시예에 의한 노이즈필터(71)는, 자성체층(72)과, 자성체층(72)의 표면에 형성되어 같은 높이위치에 간격을 두고 병설된 선로도체(73a, 73b)로 이루어지는 것을 특징으로 하고 있다.

이와 같이 구성되는 본 실시예에서도, 상기 제1실시예와 거의 같은 작용효과를 얻을 수 있다.

도 25는 제6실시예를 나타내는 것이다. 도 25에 나타낸 바와 같이, 제6실시예에 있어서는, 선로도체(73a)와 선로도체(73b)가 자성체층(72)을 개재해서 서로 대향하도록 형성된 것이다.

본 발명의 노이즈필터에 있어서, 자성체층에 홀을 형성하고, 홀 내에 유리, 수지, 또는 유리와 수지의 복합재료 중 어느 하나를 충전시킨 구성으로 하여도 좋다.

이러한 자성체층을 제조하는 방법을, 제1실시예에서 설명한 내용을 바탕으로 설명한다.

제1실시예에 있어서, 임시소성분말에 홀 형성용의 비드를 첨가하고, 그 외는 제1실시예와 마찬가지로 처리함으로써 홀을 갖는 자성체를 얻을 수 있다. 구체적으로는, 비드로서 소성시에 비산하는 재료, 예를 들면, 수지, 카본 등을 사용한다. 비드의 지름으로서는, 예를 들면, 수㎛∼수십㎛의 범위의 것을 임의로 선택하면 된다. 비드지름의 크기는, 형성되는 홀의 크기에 비례한다. 또 비드의 첨가량에 의해, 자성체 중에 있어서의 홀이 차지하는 체적이 결정된다. 따라서, 홀에 충전시키는 유리, 수지, 또는 유리와 수지의 복합재료의 점유체적을 고려해서 홀 형성용의 비드의 지름, 양을 조정하면 된다. 홀을 형성하는 구성에 대해서는, 도 1, 도 2에나타낸 노이즈필터, 도 9∼도 13에 나타낸 노이즈필터, 도 14, 도 15에 나타낸 노이즈필터, 도 16, 도 17에 나타낸 노이즈필터, 도 18에 나타낸 노이즈필터, 도 20에 나타낸 노이즈필터, 도 21, 도 22에 나타낸 노이즈필터, 도 24에 나타낸 노이즈필터, 및 도 25에 나타낸 노이즈필터에 적용할 수 있다.

이와 같이 구성되는 본 실시예에서도, 상기 제1실시예와 거의 같은 작용효과를 얻을 수 있다. 또한, 본 실시예에서는, 산화물 자성재료로서 자성체층에 홀을 형성하고, 홀 내에 유리, 수지, 또는 유리와 수지의 복합재료 중 어느 하나를 충전시키고 있기 때문에, 외관상의 투자율과 유전율을 조정하여 특성임피던스를 바꾸지 않고 자성손실(μ")의 상승주파수를 조정할 수 있다.

통상, 자성재료에 있어서는, 투자율(μ)을 변화시키면 그것에 따라 자성손실(μ")의 상승주파수도 변화된다. 따라서, 본 발명에 있어서의 노이즈필터에 있어서도, (μ")의 상승주파수를 변화시킬 경우에는 산화물 자성재료의 투자율(μ)을 변화시킬 필요가 있다. 한편, 본 발명에 있어서의 노이즈필터의 특성임피던스(Zo)는, Zo＝√(ΔL/ΔC)의 관계로 표시되고, 특성임피던스(Zo)는 선로도체의 인덕턴스와, 선로와 접지도체 사이의 커패시턴스에 의해 결정된다. 따라서, 산화물재료의 투자율(μ)을 변화시키면, 이것에 따른 특성임피던스(Zo)도 변화되어 버린다고 하는 문제가 있었다.

이것에 대하여 본 실시예에 있어서는, 자성체층에 홀을 형성하고, 홀 내에 유리, 수지, 또는 유리와 수지의 복합재료 중 어느 하나를 충전시켜, 홀 내에 충전시킨 유리, 수지, 또는 유리와 수지의 복합재료의 유전율(ε)을 조정함으로써, 특성임피던스가 같고, 자성손실(μ")의 상승주파수가 다른 노이즈필터를 얻을 수 있다.

본 발명은, 이상 설명한 바와 같이 구성되는 것으로, 이하에 기재하는 바와 같은 효과를 이루는 것이다.

청구항 1의 발명의 노이즈필터에 따르면, 자성손실(μ")이 급준하게 상승하고, 자성손실(μ")이 상승하는 주파수 이상으로 큰 감쇠를 얻을 수 있다. 또한, 자성손실(μ")이 발현되는 주파수보다 낮은 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키지 않고, 자성손실(μ")이 발현되는 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키는 것으로부터, 양호한 저역통과특성을 얻을 수 있다. 또한, 각 층의 선로도체를 통과하는 신호를 접지도체 사이에 가둘 수 있어, 통과대역에서의 신호의 감쇠를 방지할 수 있다. 또한, 겹쳐지는 복수의 자성체층의 최상층과 최하층에 접지도체를 배치함으로써, 외부로부터 선로도체 속으로 노이즈가 혼입하는 것을 막을 수 있고, 신호를 확실하게 전달할 수 있다.

또한, 모든 선로도체의 폭치수를 거의 동일한 값으로 설정함과 아울러, 모든 자성체층의 두께치수를 거의 동일한 값으로 설정했을 경우에는, 각 층의 선로도체에 대한 특성임피던스를 서로 대략 일치시킬 수 있다. 이 때문에, 서로 직렬접속된 선로도체의 전체에 걸쳐 특성임피던스를 대략 일정값으로 설정할 수 있기 때문에, 선로도체의 도중에서 노이즈에 반사가 생기는 일이 없고, 노이즈의 공진을 억제할 수 있으며, 외부의 회로와의 임피던스 정합을 용이하게 취할 수 있다. 또한, 각 자성체층 사이에 개재되어 있는 각 선로도체가 직렬접속되어 있음으로써 전송선로의 전체길이를 길게 할 수 있고, 선로도체를 통과하는 노이즈의 감쇠량을 증가시킬 수 있다.

청구항 2의 발명의 노이즈필터에 따르면, 또한 급준한 삽입손실특성을 얻을 수 있다.

청구항 3의 발명의 노이즈필터에 따르면, 각 선로도체를 각각 개별로 로우패스필터로서 동작시킬 수 있고, 전체로서 노이즈필터 어레이를 구성할 수 있다. 또한, 복수의 선로도체는 각각 독립된 로우패스필터로서 동작하여, 선로도체의 도중에서 임피던스의 부정합이 생기는 일이 없다. 이 때문에, 선로도체의 도중에서 노이즈에 반사가 생기는 일이 없고, 노이즈의 공진을 억제할 수 있음과 아울러, 외부의 회로와의 임피던스 정합을 용이하게 취할 수 있다.

청구항 4∼5의 발명의 노이즈필터에 따르면, 선로도체를 직선상으로 형성했을 경우에 비하여, 그 길이치수를 증가시킬 수 있고, 노이즈의 감쇠량을 증가시킬 수 있다.

청구항 6의 발명의 노이즈필터에 따르면, 노이즈필터의 바닥면적을 코일의 개구면적과 같은 정도로 설정할 수 있다. 이 때문에, 좁은 접지장소에 대해서도 노이즈필터를 배치할 수 있다. 또한, 선로도체를 직선상으로 형성했을 경우에 비하여, 그 길이치수를 증가시킬 수 있고, 노이즈의 감쇠량을 증가시킬 수 있다.

청구항 7의 발명의 노이즈필터에 따르면, 복수종류의 특성임피던스를 가진 배선에 대해서도 임피던스 정합시킨 상태로 접속할 수 있다. 또한, 일부 또는 모두전송선로를 병렬접속함으로써, 특성임피던스의 종류수를 증가시킬 수 있고, 노이즈필터를 적용할 수 있는 배선의 종류를 늘릴 수 있다.

청구항 8의 발명의 노이즈필터에 따르면, 노이즈필터의 구조를 바꾸지 않고, 특성임피던스를 변화시킬 수 있다. 회로기판선로에 따른 소정 특성임피던스를 얻음으로써 반사에 의한 영향을 최대한 억제할 수 있다.

청구항 9의 발명의 노이즈필터에 따르면, 노이즈필터의 구조를 바꾸지 않고 특성임피던스를 변화시킬 수 있다. 또한, 선로도체와 접지도체 사이의 절연내압을 높일 수 있으므로, 선로도체와 접지도체 사이의 층을 얇게 형성할 수 있고, 노이즈필터를 소형화할 수 있다.

청구항 10의 발명의 노이즈필터에 따르면, 자성손실(μ")이 발현되는 주파수보다 낮은 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키지 않고, 자성손실(μ")이 발현되는 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키는, 양호한 저역통과특성을 갖는 노이즈필터를 제공할 수 있다.

청구항 11의 발명의 노이즈필터에 따르면, 자성손실(μ")이 발현되는 주파수보다 낮은 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키지 않고, 자성손실(μ")이 발현되는 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키는, 양호한 저역통과특성을 갖는 노이즈필터를 제공할 수 있다.

청구항 12의 발명의 노이즈필터에 따르면, 외관상의 투자율과 유전율을 조정하여, 특성임피던스를 바꾸지 않고 자성손실(μ")의 상승주파수를 조정할 수 있다.

Claims

층상의 자성체로 적층체가 형성되고, 상기 적층된 자성체층의 최상층과 최하층에 접지도체가 형성되며, 상기 각 자성체층 사이에 선로도체와 접지도체가 각각 교대로 형성되며, 상기 각 자성체층 사이에 형성된 상기 각 선로도체는 직렬접속되어 있고,

상기 자성체층은 산화물 자성체로 구성되어, 자성손실(μ")이 발현되는 주파수보다 낮은 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키지 않고, 자성손실(μ")이 발현되는 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키는 것을 특징으로 하는 노이즈필터.
제1항에 있어서, 상기 산화물 자성체는, 자성손실(μ")이 1을 초과하는 주파수가 80㎒이상인 것을 특징으로 하는 노이즈필터.
층상의 자성체로 적층체가 형성되고, 상기 적층된 자성체층의 최상층과 최하층에 접지도체가 형성되며, 상기 각 자성체층 사이에 선로도체와 접지도체가 각각 교대로 형성되며, 상기 각 자성체층 사이에 형성된 상기 각 선로도체의 일단측은 서로 다른 신호입력용 전극에 접속되고, 상기 각 선로도체의 타단측은 서로 다른 신호출력용 전극에 접속되며,

상기 자성체층은 산화물 자성재료로 구성되어, 자성손실(μ")이 1을 초과하는 주파수가 80㎒이상이며,

자성손실(μ")이 발현되는 주파수보다 낮은 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키지 않고, 자성손실(μ")이 발현되는 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키는 것을 특징으로 하는 노이즈필터.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 선로도체는 지그재그형상인 것을 특징으로 하는 노이즈필터.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 선로도체는 소용돌이형상인 것을 특징으로 하는 노이즈필터.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 선로도체는, 상기 적층된 자성체층 사이에 형성되어 있고, 자성체층의 적층방향을 중심축으로 한 코일형상인 것을 특징으로 하는 노이즈필터.
제3항에 있어서, 상기 각 자성체층 사이에 형성된 상기 각 선로도체는 서로 다른 특성임피던스를 갖는 것을 특징으로 하는 노이즈필터.
제4항에 있어서, 상기 각 자성체층 사이에 형성된 상기 각 선로도체는 서로 다른 특성임피던스를 갖는 것을 특징으로 하는 노이즈필터.
제5항에 있어서, 상기 각 자성체층 사이에 형성된 상기 각 선로도체는 서로 다른 특성임피던스를 갖는 것을 특징으로 하는 노이즈필터.
제6항에 있어서, 상기 각 자성체층 사이에 형성된 상기 각 선로도체는 서로 다른 특성임피던스를 갖는 것을 특징으로 하는 노이즈필터.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 자성체층 사이에 유전체층이 개재되는 것을 특징으로 하는 노이즈필터.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 접지도체가 끼워넣어지도록 형성된 유전체층과, 상기 선로도체가 끼워넣어지도록 형성된 자성체층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 노이즈필터.
자성체와, 상기 자성체의 주면상에 간격을 두고 병설된 2이상의 선로도체를 구비하고 있고,

상기 자성체는 산화물 자성재료로 구성되어, 자성손실(μ")이 1을 초과하는 주파수가 80㎒이상이며,

자성손실(μ")이 발현되는 주파수보다 낮은 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키지 않고, 자성손실(μ")이 발현되는 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키는 것을 특징으로 하는 노이즈필터.
자성체와, 상기 자성체의 주면상에 상기 자성체를 끼우도록 대향해서 형성된 1쌍 이상의 선로도체를 구비하고 있고,

상기 자성체는 산화물 자성재료로 구성되어, 자성손실(μ")이 1을 초과하는 주파수가 80㎒이상이며,

자성손실(μ")이 발현되는 주파수보다 낮은 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키지 않고, 자성손실(μ")이 발현되는 주파수 범위에서는 전기신호를 감쇠시키는 것을 특징으로 하는 노이즈필터.
제1항 내지 제3항, 제13항, 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 자성체로서, 상기 자성체에 홀이 형성되고, 상기 홀 내에 유리, 수지, 또는 유리와 수지의 복합재료 중 어느 하나가 충전되어 있는 것을 사용한 것을 특징으로 하는 노이즈필터.
제1항 내지 제3항, 제13항, 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 산화물 자성체가 Ni-Cu-Zn 페라이트인 것을 특징으로 하는 노이즈필터.