KR20040043864A - 박막 트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- 절연 기판,상기 절연 기판 위에 형성되어 있으며, 게이트선, 상기 게이트선과 연결되어 있으며, 제1 게이트 전극부 및 제2 게이트 전극부를 가지는 게이트 전극을 포함하는 게이트 배선,상기 게이트 배선을 덮는 게이트 절연막,상기 게이트 절연막 상부에 형성되어 있는 상기 제1 게이트 전극부 위에 위치하는 제1 반도체부와 상기 제2 게이트 전극부 위에 위치하는 제2 반도체부를 가지는 반도체층,상기 반도체층 상부에 형성되어 있으며, 상기 게이트선과 교차하는 데이터선, 상기 데이터선에 연결되어 있으며 상기 제1 반도체부에 인접한 제1 소스 전극부와 상기 제2 반도체부에 인접한 제2 소스 전극부를 포함하는 소스 전극, 상기 제1 게이트 전극부를 중심으로 상기 제1 소스 전극부와 마주하며 상기 제1 반도체부에 인접한 제1 드레인 전극부와 상기 제2 게이트 전극부를 중심으로 상기 제2 드레인 전극부와 마주하며 상기 제2 반도체부에 인접한 제2 드레인 전극부를 포함하는 드레인 전극을 포함하는 데이터 배선,상기 드레인 전극과 연결되어 있는 화소 전극을 포함하는 박막 트랜지스터 어레이 기판.
- 제1항에서,상기 제1 게이트 전극부, 상기 제1 반도체부, 상기 제1 소스 전극부 및 상기 제1 드레인 전극부와 상기 제2 게이트 전극부, 상기 제2 반도체부, 상기 제2 소스 전극부 및 상기 제2 드레인 전극부는 각각 분할 노광 영역의 경계선을 중심으로 양쪽에 배치되어 있는 박막 트랜지스터 어레이 기판.
- 제2항에서,상기 게이트 전극, 상기 드레인 전극, 상기 소스 전극 및 상기 반도체층을 포함하는 박막 트랜지스터는 일부의 화소에만 배치되어 있는 박막 트랜지스터 어레이 기판.
- 제1항에서,상기 제1 및 제2 소스 전극과 상기 제1 및 제2 드레인 전극 사이에 각각 위치하는 상기 제1 및 제2 반도체부의 채널부는 ⊂자 모양을 가지는 박막 트랜지스터 어레이 기판.
- 제1항에서,상기 소스 전극과 상기 드레인 전극 사이의 채널부를 제외한 상기 반도체층은 상기 데이터 배선과 동일한 패턴을 가지는 박막 트랜지스터 어레이 기판.
- 기판 위에 게이트선 및 제1 게이트 전극부와 제2 게이트 전극부를 포함하는 게이트 전극을 포함하는 게이트 배선을 형성하는 단계,상기 기판 위에 게이트 절연막을 적층하는 단계,상기 게이트 절연막 상부에 비정질 규소로 제1 반도체부와 제2 반도체부를 포함하는 반도체층을 형성하는 단계,데이터선, 제1 소스 전극부과 제2 소스 전극부를 포함하는 소스 전극 및 제1 드레인 전극부와 제2 드레인 전극부를 포함하는 드레인 전극을 포함하는 데이터 배선을 형성하는 단계,상기 드레인 전극과 연결되는 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하는 박막 트랜지스터 어레이 기판의 제조 방법에 있어서,상기 게이트 배선, 상기 데이터 배선 또는 상기 반도체층은 분할 노광을 이용한 사진 식각 공정으로 형성하며, 상기 분할 노광은 분할 노광 영역의 경계선이 상기 제1 게이트 전극부와 제2 게이트 전극부 사이, 또는 상기 제1 반도체부와 상기 제2 반도체부 사이, 또는 상기 제1 소스 전극과 상기 제2 소스 전극 사이, 또는 상기 제1 드레인 전극과 상기 제2 드레인 전극 사이에 위치하도록 실시하는 박막 트랜지스터 어레이 기판의 제조 방법.
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101325976B1 (ko) * | 2007-03-08 | 2013-11-07 | 엘지디스플레이 주식회사 | 박막트랜지스터와, 이를 포함하는 어레이기판 및 이의제조방법 |
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Families Citing this family (23)
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KR20050060963A (ko) * | 2003-12-17 | 2005-06-22 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 박막 트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조방법 |
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KR20060016920A (ko) * | 2004-08-19 | 2006-02-23 | 삼성전자주식회사 | 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법 |
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KR101046927B1 (ko) * | 2004-09-03 | 2011-07-06 | 삼성전자주식회사 | 박막 트랜지스터 표시판 |
KR101071257B1 (ko) * | 2004-09-17 | 2011-10-10 | 삼성전자주식회사 | 다중 도메인 박막 트랜지스터 표시판 및 이를 포함하는액정 표시 장치 |
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KR101090252B1 (ko) * | 2004-09-24 | 2011-12-06 | 삼성전자주식회사 | 박막 트랜지스터 표시판 및 그의 제조 방법 |
KR101112549B1 (ko) * | 2005-01-31 | 2012-06-12 | 삼성전자주식회사 | 박막 트랜지스터 표시판 |
US20070028784A1 (en) * | 2005-08-02 | 2007-02-08 | Chen Yee M | Brewing apparatus for preparing foam, froth, or crema under low pressure |
US20070259092A1 (en) * | 2005-08-02 | 2007-11-08 | Chen Yee M | Brewing apparatus for preparing foam, froth, or crema under low pressure |
US8230776B2 (en) * | 2005-08-02 | 2012-07-31 | Electrical & Electronics Ltd. | Brewing apparatus for preparing foam, froth or crema under low pressure |
US20070028783A1 (en) * | 2005-08-02 | 2007-02-08 | Chen Yee M | Brewing apparatus for preparing foam, froth, or crema under low pressure |
KR20070059559A (ko) * | 2005-12-07 | 2007-06-12 | 삼성전자주식회사 | 표시 장치 및 그 제조 방법 |
JP2007241183A (ja) * | 2006-03-13 | 2007-09-20 | Mitsubishi Electric Corp | 表示装置および表示装置の修復方法 |
KR101184640B1 (ko) * | 2006-03-15 | 2012-09-20 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법 |
CN100405198C (zh) * | 2006-09-07 | 2008-07-23 | 友达光电股份有限公司 | 液晶显示面板 |
KR101346921B1 (ko) | 2008-02-19 | 2014-01-02 | 엘지디스플레이 주식회사 | 평판 표시 장치 및 그 제조방법 |
CN103185994B (zh) * | 2011-12-29 | 2015-12-16 | 上海中航光电子有限公司 | 一种双栅型薄膜晶体管液晶显示装置的像素结构 |
KR102022700B1 (ko) * | 2012-08-09 | 2019-11-06 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 및 그를 포함하는 유기 발광 표시 장치 |
CN103000693B (zh) * | 2012-10-08 | 2015-06-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | 薄膜晶体管、显示器件及其制造方法、显示装置 |
KR101987042B1 (ko) * | 2012-11-19 | 2019-06-10 | 엘지디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 기판 |
CN210668370U (zh) * | 2019-12-20 | 2020-06-02 | 北京京东方技术开发有限公司 | 显示面板及显示装置 |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62247569A (ja) * | 1986-04-18 | 1987-10-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置 |
KR970008455B1 (en) | 1988-03-18 | 1997-05-24 | Seiko Epson Corp | Thin film transistor |
JP2925312B2 (ja) | 1990-11-30 | 1999-07-28 | 株式会社東芝 | 半導体基板の製造方法 |
JP2794678B2 (ja) | 1991-08-26 | 1998-09-10 | 株式会社 半導体エネルギー研究所 | 絶縁ゲイト型半導体装置およびその作製方法 |
JPH05251700A (ja) * | 1992-03-06 | 1993-09-28 | Nec Corp | 薄膜電界効果型トランジスタ |
KR940012665A (ko) | 1992-11-27 | 1994-06-24 | 이헌조 | 더블 게이트 박막 트랜지스터 구조 및 제조방법 |
JPH06258666A (ja) * | 1993-03-04 | 1994-09-16 | Hitachi Ltd | 液晶表示装置 |
JPH06258667A (ja) | 1993-03-05 | 1994-09-16 | Hitachi Ltd | 液晶表示装置 |
CN100477247C (zh) * | 1994-06-02 | 2009-04-08 | 株式会社半导体能源研究所 | 有源矩阵显示器和电光元件 |
JPH08190105A (ja) * | 1995-01-11 | 1996-07-23 | Casio Comput Co Ltd | 表示パネル |
CN1145839C (zh) * | 1995-10-03 | 2004-04-14 | 精工爱普生株式会社 | 薄膜元件的制造方法 |
JPH09171191A (ja) * | 1995-12-20 | 1997-06-30 | Advanced Display:Kk | 液晶表示装置 |
JP3592419B2 (ja) * | 1995-12-21 | 2004-11-24 | 富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社 | 液晶表示パネル |
US5808317A (en) | 1996-07-24 | 1998-09-15 | International Business Machines Corporation | Split-gate, horizontally redundant, and self-aligned thin film transistors |
JP3006586B2 (ja) * | 1998-06-01 | 2000-02-07 | 日本電気株式会社 | アクティブマトリクス型液晶表示装置 |
KR100336884B1 (ko) * | 1998-06-30 | 2003-06-09 | 주식회사 현대 디스플레이 테크놀로지 | 박막트랜지스터액정표시소자 |
KR100577775B1 (ko) * | 1998-06-30 | 2006-08-03 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 박막트랜지스터 어레이 기판의 제조방법 |
JP3592535B2 (ja) * | 1998-07-16 | 2004-11-24 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
JP4796221B2 (ja) * | 1998-11-26 | 2011-10-19 | 三星電子株式会社 | 液晶表示装置用薄膜トランジスタ基板及びその製造方法 |
JP2000162674A (ja) | 1998-11-26 | 2000-06-16 | Rigio Waki | 標準灰色光拡散板とその露出判定法 |
JP2000194006A (ja) * | 1998-12-25 | 2000-07-14 | Sanyo Electric Co Ltd | 液晶表示装置 |
JP2001007342A (ja) * | 1999-04-20 | 2001-01-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置およびその作製方法 |
US6384427B1 (en) * | 1999-10-29 | 2002-05-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electronic device |
JP2001296553A (ja) * | 2000-04-14 | 2001-10-26 | Advanced Display Inc | 表示装置および表示装置の製造方法 |
KR20020042924A (ko) | 2000-12-01 | 2002-06-08 | 주식회사 현대 디스플레이 테크놀로지 | 4 마스크의 패터닝 디자인방법 |
JP3771456B2 (ja) * | 2001-03-06 | 2006-04-26 | 株式会社日立製作所 | 液晶表示装置及び薄膜トランジスタの製造方法 |
JP3415606B2 (ja) | 2001-07-16 | 2003-06-09 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置 |
KR100980008B1 (ko) * | 2002-01-02 | 2010-09-03 | 삼성전자주식회사 | 배선 구조, 이를 이용하는 박막 트랜지스터 기판 및 그제조 방법 |
-
2002
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-
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-
2006
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- 2006-12-18 US US11/612,055 patent/US7288790B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2008
- 2008-03-06 US US12/043,615 patent/US7884365B2/en active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101325976B1 (ko) * | 2007-03-08 | 2013-11-07 | 엘지디스플레이 주식회사 | 박막트랜지스터와, 이를 포함하는 어레이기판 및 이의제조방법 |
KR20160090957A (ko) * | 2015-01-22 | 2016-08-02 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 및 이를 포함하는 표시 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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