KR20030051379A - 유기 재료의 이송 방법 및 장치 - Google Patents

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Abstract

하나 이상의 유기 발광(OLED) 장치의 제조시에 가요성 도너 요소로부터 기판상에 유기 재료를 이송하여 유기 재료의 층을 형성하는 방법은, 가요성 도너 요소가 챔버를 제 1 및 제 2 공동을 분할하도록 이송 스테이션에 의해 규정되는 대기압상태의 챔버 내에 이격된 관계로 가요성 도너 요소 및 기판을 제공하는 단계와, 제 1 및 제 2 공동 내의 압력차를 변화시켜 가요성 도너 요소를 기판과의 접촉 관계로 이송하는 단계와, 제 2 공동의 상부면을 한정하는 투명 윈도우를 제공하는 단계와, 투명 윈도우를 통해 기판과 접촉하는 가요성 도너 요소상에 방사 에너지를 공급하여 가요성 도너 요소가 열을 흡수하고 그리고 유기 재료를 기판상에 이송하도록 하는 단계를 포함한다.

Description

유기 재료의 이송 방법 및 장치{METHOD FOR TRANSFERRING OF ORGANIC MATERIAL FROM A DONOR TO FORM A LAYER IN AN OLED DEVICE}
본 발명은 유기 발광 장치(OLED: organic light-emitting devices)로도 공지된 유기 전장발광(EL) 장치에 관한 것으로서, 특히 그러한 장치에서 유기 층의 형성을 용이하게 하는 방법 및 장치에 관한 것이다.
적색, 녹색 및 청색 컬러 화소(보통 RGB 화소라 칭함) 등의 컬러 화소의 열을 갖는 컬러 또는 순색(full color) 유기 전장발광(EL) 디스플레이에 있어서, RGB 화소를 생성하기 위해서 컬러 생성 유기 EL 매체가 필요하다. 기본 EL 장치는 보통 양극, 음극 및 양극과 음극 사이에 끼워진 유기 EL 매체를 구비한다. 유기 EL 매체는 유기 박막의 하나 이상의 층으로 구성될 수도 있고, 그 층 중 하나는 주로 발광 또는 전장발광을 발생시킨다. 이러한 특정한 층은 통상 유기 EL 매체의 방사 층이라 칭한다. 유기 EL 매체 내에 존재하는 다른 유기 층은 주로 전자 반송 기능을 제공할 수도 있고, 그리고 (구멍 반송을 위한) 구멍 반송 층(hole transport layer) 또는 (전자 반송을 위한) 전자 반송 층이라 칭한다. 순색 유기 EL 디스플레이 패널에 RGB 화소를 형성하는데 있어서는, 유기 EL 매체의 방사 층 또는 전체의 유기 EL 매체를 정밀하게 패턴화 하는 장치를 고안할 필요가 있다.
통상적으로, 전장발광 화소는 미국 특허 제 5,742,129 호에 도시된 바와 같이 새도우 마스킹(shadow masking) 기법에 의해 디스플레이상에 형성된다. 이것은효과적이기는 하지만, 몇가지 단점을 갖는다. 새도우 마스킹을 이용하여 고 해상도의 화소를 달성하기는 어렵다. 또한, 기판과 새도우 마스크 사이에 정렬의 문제점이 있고, 화소가 적절한 위치에 형성되도록 주의해야 한다. 기판의 크기를 증가시키는 것이 바람직한 경우, 새도우 마스크를 조작하여 적절히 배치된 화소를 형성하기가 어렵다. 새도우 마스크법의 추가의 단점은 마스크 구멍이 시간이 지남에 따라 막히게 될 수 있다는 것이다. 마스크 구멍의 막힘은 EL 디스플레이상의 비 기능 화소의 바람직하지 않은 결과로 이어진다.
새도우 마스크법에는 일 측면이 몇 인치 이상의 치수를 갖는 EL 장치를 제조하는 경우 특히 명확해지는 추가의 문제점이 존재한다. EL 장치를 정확하게 형성하기 위해 필요한 정밀도(±5 마이크로미터의 구멍 위치)로 큰 새도우마스크를 제조하는 것은 극히 어렵다.
고해상도의 유기 EL 디스플레이를 패턴화하는 방법은 그랜드(Grande) 등의 미국 특허 제 5,851,709 호에 개시되어 있다. 이 방법은 1) 대향된 제 1 면 및 제 2 면을 갖는 기판을 제공하는 단계와, 2) 기판의 제 1 면 위에 투광성 단열층을 형성하는 단계와, 3) 단열층 위에 광 흡수층을 형성하는 단계와, 4) 제 2 면으로부터 단열 층까지 연장된 개구의 열을 기판에 제공하는 단계와, 5) 광 흡수층상에 형성된 전달 가능한 컬러 형성 유기 도너 층(organic donor layer)을 제공하는 단계와, 6) 기판의 구멍과 장치의 대응 컬러 화소 사이에 배향 관계로 도너 기판과 디스플레이 기판을 정밀하게 정렬하는 단계와, 7) 개구 위의 광 흡수 층에 충분한 열을 생성하여 도너 기판상의 유기 층을 디스플레이 기판으로 전달하는방사선원(radiation source)을 이용하는 단계로 이루어져 있다.
변형예로, 비 패턴화된 도너 시트와 레이저 등의 정밀한 열원을 이용하여 도너 시트로부터 기판까지 유기 재료를 이송하는 방법이 개시되어 있다. 워크(Wolk) 등의 일련의 특허(미국 특허 제 6,114,088 호, 제 6,140,009 호, 제 6,214,520 호, 및 제 6,221,553 호)는 도너의 선택된 부분을 레이저 광선으로 가열함으로써 EL 장치의 발광 층을 도너 시트로부터 기판까지 이송할 수 있는 방법을 개시하고 있다.
공통 양도된 미국 특허 제 5,937,272 호에서, 탕(Tang)은 EL 재료의 증착에 의해 다색 화소(예컨대, 적색, 녹색 및 청색 하위 화소)를 박막 트랜지스터(TFT) 어레이 기판상에 패턴화 하는 방법을 개시하고 있다. 그러한 EL 재료는 지지체상의 도너 피복 또는 구멍 마스크를 사용하여 선택된 패턴으로 기판에 부착되거나(전술한 미국 특허 제 5,937,272 호의 도 1 참조), 또는 도너 층에 통합될 수도 있다(전술한 미국 특허 제 5,937,272 호의 도 4, 5, 6 참조).
EL 재료의 이송은 도너와 기판 사이의 감압 환경에서 실행되어 도너로부터의 재료의 균일한 이송을 보장하고 그리고 이송된 재료의 오염을 최소화하는 것이 바람직하다. 또한, 이송된 재료의 구역 및 위치를 규정하는데 있어서 해상도를 최대화하기 위해서, 도너 층 및 기판(분리되는 경우에는 구멍)은 아주 근접하게 유지되어야 한다. 일예로서, 상술한 탕의 특허는 기판 표면에 근접하거나 기판상에 유지된 구멍 또는 도너 층을 개시하고 있다.
저압 이송 환경 요건과 고해상도 이송 요건의 양자를 충족해야 하는 경우 어려움이 발생한다.
탕의 특허의 경우에, 감압은 도너와 기판 양자를 동일한 진공실 내에 설치하는 것에 의해 달성된다. 이 방법으로는 도너와 기판 사이의 공간에 감압을 달성하는 것은 용이하지만, 방법의 요건에 긴밀하게 연관되도록 유지하기는 어렵다. 도너와 기판 사이에 진공을 도입함으로써 도너를 기판에 유지하는 방법은 진공실에 사용될 수 없으므로, 다른 방법을 고려해야 한다.
공통 양도된 아이스버그(Isberg) 등의 유럽 특허 출원 제 1 028 001 A1 호는 도너와 기판 사이에 점착 촉진 층의 추가의 사용을 개시하고 있다. 이것은 탕의 특어에 필요한 긴밀한 접촉을 촉진시키지만, 점착 촉진 층은 접착제 형태의 불순물을 도입할 수 있으므로 불리할 것이다.
수동 판에 의해 가해지는 것과 같은 기계적 압력을 사용할 수 있지만, 이것은 필요한 마이크로미터 오차에 대해 전체의 표면에 걸쳐 균일하게 유지하기는 어렵다. 공기나 다른 유체로부터의 압력은 양호하게 작용하지만, 진공 실의 상태를 방해받지 않게 유지할 필요가 있기 때문에 그러한 압력의 사용은 어렵다.
공통 양도된 2001년 12월 21일자 필립스(Philips) 등이 출원한 미국 특허 출원 제 10/021,410 호는 이 문제를 다루기 위한 장치 및 방법을 제공한다. 이 특허 출원은 진공 실내에서 도너와 기판의 양자에 예비 부하가 가해질 때 도너와 기판사이에 균일하고 긴밀한 접촉을 제공하는 장치 및 방법을 개시하고 있다.
그러나, 제조의 용이함을 위해, 도너와 기판을 대기압 상태에서 취급하고 그리고 실제의 이송 과정 중에만 필요한 감압 상태를 제공하는 것이 종종 바람직하다. 이 경우에, 도너 및 기판을 사용하여 진공실의 일부분을 형성하는 진공 억제법이 자주 사용된다. 이 진공실이 비워지는 경우, 진공실 외부의 대기압이 도너 및 기판을 함께 밀어낸다. 그러나, 이러한 상황에서, 실제로 낮은 이송 압력의 이송 환경을 달성하는데 있어서 어려움이 발생한다. 압력이 감소되기 시작함에 따라, 도너 및 기판은 함께 긴밀하게 압축되어 그들 사이의 간격의 추가의 펌프작용에 대한 시일을 형성한다. 간격 내의 압력은 높고 예측 불가능한 상태로 유지되며, 고품질의 EL 재료 이송에 부적합할 수도 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 유기 재료를 도너로부터 기판으로 이송하는 향상된 방법을 제공하는 것이다. 이 목적은, 유기 재료를 가요성 도너 요소로부터 기판상으로 이송하여 하나 이상의 OLED 장치를 제조하는데 있어서 유기 재료의 층을 형성하는 방법을 제공하는 것에 의해 달성되는 바, 상기 방법은,
(a) 가요성 도너 요소가 챔버를 제 1 공동 및 제 2 공동으로 분할하도록 이송 스테이션에 의해 규정된 대기압하에서 챔버 내에 이격된 관계로 가요성 도너 요소 및 기판을 제공하는 단계와,
(b) 제 1 공동과 제 2 공동 사이의 압력 차이를 변화시켜 가요성 도너 요소를 기판과 접촉하는 관계로 이동시키는 단계와,
(c) 제 1 공동의 상부면을 규정하는 투명 윈도우를 제공하는 단계와,
(d) 투명 윈도우를 통해 기판과 접촉하는 가요성 도너 요소상에 방사 에너지를 공급하여 가요성 요소가 열을 흡수하고 유기 재료를 기판상으로 이송하도록 하는 단계를 포함한다.
본 발명의 다른 목적은 본 발명의 방법의 적용을 용이하게 하는 장치를 제공하는 것이다.
이러한 방법의 이점은 도너 및 기판을 거의 대기압 상태로 처리하는 것이 가능하다는 것이다. 그것은 실제의 이송 과정 중에 감압을 제공하고, 도너와 기판 사이에 작은 간격을 제공하여 이송된 패턴의 해상도를 향상시키고, 그리고 높은 처리량으로 이송 공정을 달성할 수 있다. 이 방법의 추가의 이점은 방사선원과 도너 사이에 방해되지 않는 광로(optical path)를 제공한다는 것이다.
도 1은 본 발명에 사용될 수 있는 도너의 단면도,
도 2는 펌프 다운 형상에서의 본 발명에 따라 설계된 장치의 일 실시예의 단면도,
도 3은 이송 형상에서의 상기 장치의 단면도,
도 4는 펌프 다운 형상에서의 본 발명에 따라 설계된 장치의 다른 실시예의 단면도,
도 5는 이송 형태에서의 상기 장치의 단면도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 기판22 : 제 1 고정부
24, 32, 38 : 가스켓26 : 펌프 포트
28 : 제 2 고정부30 : 제 1 공동
34 : 투명 윈도우40 : 제 2 공동
44, 46 : 진공 펌프50 : 방사 에너지
100 : 가요성 도너 요소200 : 이송 스테이션 장치
도 1을 참조하면, 본 발명에 따라 유기 재료 이송에 사용되는 가요성 도너 요소(100)의 단면도가 도시되어 있다. 그것은 가요성 중합 시트일 수 있는 지지체(12)를 포함한다. 지지체(12)의 한 표면상에는 방사선 흡수재(14)가 피복되고, 그 위에는 유기 재료(16)가 피복되어 있다. 이러한 피복며는 이송면(18)을 형성하며, 지지체(12)의 다른 표면은 비 이송면(20)을 형성한다. 방사선 흡수재(14)는 스펙트럼의 소정 부분의 방사선을 흡수하고 열을 발생시키는 것이 가능하다. 방사선 흡수재(14)는 미국 특허 제 5,578,416 호에 명시된 염료와 같은 염료나, 탄소와 같은 안료, 또는 니켈, 크롬, 티탄 등의 금속일 수 있거나, 단층 또는 다층 구조체의 재료의 조합을 포함할 수 있다. 유기 재료(16)는 구멍 주입 재료, 구멍 반송 재료, 전자 운송 재료, 방사 재료, 호스트 재료(host material) 또는 이들 재료의 조합일 수 있다.
도 2는 본 발명에 사용될 수 있는 이송 스테이션 장치(200)의 개략적 단면도이다. 제 1 고정부(22)는 강성재로 제조된다. 그것은 가요성 도너 요소(100) 및 기판(10)에 대해 기계적 지지를 제공한다. 제 1 고정부(22)는 가스켓(24) 및 진공 펌프(46)에 연결된 펌프 포트(26)를 구비하며, 가스켓은 그에 맞게 기계 가공된 홈 안에 끼워맞춤되어, 가요성 도너 요소(100)에 대해 가압될 때 가요성 도너 요소와 함께 기밀 시일을 제공할 수 있다. 역시 강성재로 제조된 제 2 고정부(28)는 각각 그에 맞게 기계가공된 홈 안에 끼워맞춤되는 가스켓(32, 38)과, 진공 펌프(44)에 연결된 펌프 포트(36)를 구비한다. 고정부(22, 28)는 챔버(48)를 규정한다. 진공 챔버(44, 46)는 개별적으로 제어되는 밸브(도시 안됨)를 통해 펌프 포트(26, 36)에 접속되는 하나의 단일 펌프일 수 있다. 투명 윈도우(34)는 유기 재료를 가요성 도너 요소(100)로부터 기판(10)으로 이송하기 위해 사용되는 방사 에너지를 투과시키는 강판이다. 투명 윈도우(34)는 제 2 고정부(28)에 대해 유지되고 그리고 가스켓(32)에 대해 가압되어 제 2 고정부(28)와 함께 기밀 시일을 형성하는 수단(도시 안됨)을 구비한다.
가요성 도너 요소(100)는 제 1 고정부(22)와 제 2 고정부(28) 사이에 설치되고, 그리고 가요성 도너 요소(100)와 제 1 고정부(22) 사이에 또한 가요성 도너 요소(100)와 제 2 고정부(28) 사이에 기밀 시일을 형성하는 수단(도시 안됨)과 함께 유지된다. 가요성 도너 요소(100) 및 제 1 고정부(22)는 제 1 공동(30)을 형성하고, 가요성 도너 요소(100)와 제 2 고정부(28)와 투명 윈도우(34)는 제 2 공동(40)을 형성한다. 기판(10)은 도면에 도시되지 않은 수단에 의해 제 1 공동(30) 내의 제 1 고정부(22)에 장착되고, 가요성 도너 요소(100)로부터 기판(10)으로의 유기 재료의 이송을 허용하는 관계로 가요성 도너 요소(100)의 이송면(18)을 향해 배치된다.
가요성 도너 요소(100)와 기판(10) 사이의 틈새는 유기 재료의 적절한 이송에 필요한 감압을 신속히 달성할 수 있는 것을 보장하도록 펌핑하는 것을 용이하게 할 정도로 크게 유지된다.
도 2는 고정부(22 또는 28)가 소정 위치로 이동한 이송 스테이션(200)의 펌프 다운 형상을 도시한 것으로서, 여기서 가요성 도너 요소(100) 및 기판(10)은 적절히 탑재되고, 공동(30, 40)이 형성되며, 양측 공동의 소개가 시작되었다. 제 1 공동(30)은 소망의 이송 압력을 달성하도록 소개된다. 제 2 공동(40)은 가요성 도너 요소(100)와 기판(10) 사이의 틈새가 크게 유지되는 것을 보장하기 위해 2개의 챔버 사이에 작은 압력차를 유지하여 가요성 도너 요소(100)의 왜곡을 최소화하도록 소개된다. 가요성 도너 요소(100)가 적절한 이송 압력을 달성하기 전에 기판(10)에 대해 가압되는 경우, 그들 사이의 간격은 감소되며 적절한 이송 압력을 달성하기 위한 시간이 감소될 것이다. 이것은 매우 바람직하지 않다.
도 3은 이송 스테이션 장치(200)의 이송 형상을 도시하고 있다. 소망의 이송 압력을 달성한 후에, 제 2 공동(40) 내의 압력은 증가한다. 증가된 압력은 가요성 도너 요소(100)를 기판(10)과 접촉 관계로 가압한다. "접촉 관계"라는 용어는 가요성 도너 요소(100)가 기판(10) 또는 기판(10)상의 스페이서에 결합하는 것을 의미한다. 변형예로, 비드(bead) 등의 스페이서 요소가 가요성 도너 요소(100)상에 형성될 수 있다. 이송을 위한 실제의 틈새 간격은 기판(10) 또는 가요성 도너 요소(100)상의 절연체(standoff)의 높이에 의해 결정될 수 있다. 작은 틈새 간격은 고해상도의 이송 공정을 달성하는데 필요하다. 투명 윈도우(34)를 통해 방사 에너지(50)가 가해지고, 이 방사 에너지는 방사 흡수층(14)에 의해 흡수되어 가요성 도너 요소(100)로부터 기판(10)으로의 유기 재료의 이송을 유발한다.
제 2 공동(40) 내의 압력 증가는 챔버에 대기로의 배출구를 형성하는 것에 의해 달성될 수 있거나, 또는 가압된 용기로부터 가스를 도입하는 것에 의해 달성될 수 있다. 이송 공정이 완료되면, 제 1 공동(30) 및 제 2 공동(40)의 양자는 배기될 수 있고, 제 1 공동(30)과 제 2 공동(40) 사이의 압력 균형이 다시 달성되며, 가요성 도너 요소(100)는 본질적으로 최초의 평탄한 상태로 복원된다. 그 다음, 제 1 고정부(22) 및 제 2 고정부(28)는 사용된 가요성 도너 요소(100) 및 기판(10)을 제거하도록 분리될 수 있다. 그 다음, 새로운 도너 및 기판 부분이 탑재되어 공정을 반복할 수 있다. 방사 에너지(50)가 투명 창(34)을 통해 가해진다는 점이 주목할만하다. 공동(40)은 소개되어야 하므로, 투명 윈도우(34)는 공동 외측으로부터의 대기압에 견딜 필요가 있다. 투명 윈도우(34)는 강해야 하며, 그것의 두께는 두꺼워야 한다. 이송될 기판의 면적이 넓을수록, 투명 창(34)은 두꺼워야 한다. 두꺼운 투명 창(34)은 방사선원(52)과 가요성 도너 요소(100) 사이의 작동 거리를 증가시키는데, 이것은 어떤 방사선원에 의해서는 달성하기가 어려울 수 있다. 집중 스캐닝 비임 공급원이 사용되는 경우, 두꺼운 투명 윈도우(34)는 방사 에너지빔의 가능한 수차(aberration)로 인해 집중 및 스캐닝을 어렵게 할 것이다. 또한, 크고 두꺼운 투명 요소(34)를 용인할 수 있는 정도로 광학적으로 완벽하게 제조하는 것은 어렵다.
도 4는 본 발명에 따라 설계된 다른 실시예를 나타내는 이송 장치(300)를 도시한다. 그것은 큰 기판이 사용되는 경우에 특히 적절하다. 이송 스테이션 장치(300)는 펌프 다운 형상으로 도시되어 있다. 이 이송 스테이션 장치(300)의 작동은, 투명 윈도우(34)가 가동 도어(42)로 대체된 것을 제외하고는 상술한 것과 본질적으로 동일하다. 도 5는 이송 형상에서의 이러한 이송 스테이션 장치(300)를 도시한 것이다. 제 1 공동(30)에서 이송 압력이 달성된 후에, 그리고 제 2 공동(40)이 대기중에 배기된 후에, 도어(42)가 개방되어 가요성 도너 요소(100)를 방사 에너지원(52)에 노출시킨다. 이것은, 방사 에너지 빔(50)이 가요성 도너 요소(100)에 방해받지 않고 접근하는 것을 가능하게 한다. 방사 에너지원(52)과 가요성 도너 요소(100) 사이의 작동 거리는 감소될 수 있고, 더 이상의 수차 문제는 존재하지 않는다. 이송 공정이 완료된 후에, 제 1 공동(30)은 제 1 고정부(22)와 제 2 고정부(28)의 분리와 사용된 가요성 도너 요소(100)와 기판(10)의 제거를 허용하도록 배기될 수 있다. 그 다음, 도어(42)가 제 2 고정부(28)에 다시 폐쇄되어 상술한 과정을 반복할 수 있다. 이 실시예에서, 도어(42)는 방사 에너지를 투과시킬 필요는 없고, 이것은 단순히 장치의 구조를 간단하게 할 수 있다.
본 발명은 도너 및 기판을 거의 대기압 상태로 처리하는 것이 가능하므로, 실제의 이송 과정 중에 감압을 제공하고, 도너와 기판 사이에 작은 간격을 제공하여 이송된 패턴의 해상도를 향상시키고, 그리고 높은 처리량으로 이송 공정을 달성할 수 있다.

Claims (13)

  1. 하나 이상의 유기 발광 장치의 제조시에 가요성 도너 요소로부터 기판상으로 유기 재료를 이송하여 유기 재료의 층을 형성하는 방법에 있어서,
    (a) 가요성 도너 요소가 챔버를 제 1 공동 및 제 2 공동으로 분할하도록 가요성 도너 요소와 기판을 이송 스테이션에 의해 규정되는 대기압 상태의 챔버 내에 이격된 관계로 제공하는 단계와,
    (b) 제 1 공동과 제 2 공동 사이의 압력 차를 변화시켜 가요성 도너 요소를 기판과 접촉 관계로 이동시키는 단계와,
    (c) 제 1 공동의 상부면을 규정하는 투명 윈도우를 제공하는 단계와,
    (d) 투명 윈도우를 통해 기판과 접촉 상태에 있는 가요성 도너 요소상에 방사 에너지를 공급하여 가요성 도너 요소가 열을 흡수하고 그리고 유기 재료를 기판상으로 이송하도록 하는 단계를 포함하는
    유기 재료의 이송 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 공동과 상기 제 2 공동 사이의 상대 압력을 변화시켜 가요성 도너 요소를 기판과의 접촉 상태로부터 이동시키고 그리고 기판 및 가요성 도너 요소를 챔버로부터 이동시키는 단계를 더 포함하는
    유기 재료의 이송 방법.
  3. 하나 이상의 유기 발광 장치의 제조시에 가요성 도너 요소로부터 기판상으로 유기 재료를 이송하는 방법에 있어서,
    (a) 가요성 도너 요소가 챔버를 제 1 공동 및 제 2 공동으로 분할하도록 이송 스테이션에 의해 규정되는 대기압 상태의 챔버와 이격된 관계로 가요성 도너 요소 및 기판을 제공하는 단계와,
    (b) 상기 제 1 공동 및 상기 제 2 공동 내의 압력을 감소시킴과 동시에 상기 공동 사이에 작은 압력 차를 유지하여 상기 가요성 도너 요소의 왜곡을 감소시키는 단계와,
    (c) 상기 제 2 공동 내의 압력을 증가시켜 가요성 도너 요소를 기판과의 접촉 관계로 이동시키는 단계와,
    (d) 상기 제 2 공동의 상부면을 규정하는 투명 윈도우를 제공하는 단계와,
    (e) 상기 투명 윈도우를 통해 기판과 접촉한 가요성 도너 요소상에 방사 에너지를 공급하여 가요성 도너 요소가 열을 흡수하고 그리고 유기 재료를 기판상으로 이송하도록 하는 단계를 포함하는
    유기 재료의 이송 방법.
  4. 하나 이상의 유기 발광 장치의 제조시에 가요성 도너 요소로부터 기판상으로 유기 재료를 이송하여 유기 재료의 층을 형성하는 방법에 있어서,
    (a) 제 1 고정부 및 제 2 고정부를 제공하고 상기 제 1 및 제 2 고정부를 결합하도록 이동시켜 챔버를 갖는 이송 스테이션을 형성하는 단계와,
    (b) 가요성 도너 요소가 챔버를 제 1 공동 및 제 2 공동으로 분할하도록 가요성 도너 요소 및 기판을 대기압 상태의 챔버 내에 이격된 관계로 제공하는 단계와,
    (c) 상기 가요성 도너 요소의 왜곡을 방지하면서 상기 제 1 및 제 2 공동 내의 압력을 감소시키는 단계와,
    (d) 상기 제 2 공동 내의 압력을 증가시켜 상기 가요성 도너 요소를 기판과의 접촉 관계로 이동시키는 단계와,
    (e) 상기 제 2 공동 내에 상기 제 2 공동의 상부면을 규정하는 투명 윈도우를 제공하는 단계와,
    (f) 상기 투명 윈도우를 통해 상기 기판과 접촉하는 가요성 도너 요소상에 방사 에너지를 공급하여 상기 가요성 도너 요소가 열을 흡수하고 또 유기 재료를 기판상으로 이송하도록 하는 단계를 포함하는
    유기 재료의 이송 방법.
  5. 하나 이상의 유기 발광 장치의 제조시에 가요성 도너 요소로부터 기판상에 유기 재료를 이송하여 유기 재료의 층을 형성하는 방법에 있어서,
    (a) 제 1 및 제 2 고정부를 제공하고 상기 제 1 및 제 2 고정부를 결합하도록 이동시켜 챔버를 갖는 이송 스테이션을 형성하는 단계로서, 상기 제 2 고정부는 도어 요소를 구비하며, 상기 도어 요소는 챔버의 일부분을 한정하고 그리고 폐쇄위치로부터 개방된 방사 수용 위치로 이동 가능한, 제 1 및 제 2 고정부의 이동단계와,
    (b) 가요성 도너 요소가 챔버를 제 1 및 제 2 공동으로 분할하도록 대기압 상태의 챔버 내에 이격된 관계로 가요성 도너 요소와 기판을 제공하는 단계와,
    (c) 상기 가요성 도너 요소의 왜곡을 방지하면서 제 1 및 제 2 공동내의 압력을 감소시키는 단계와,
    (d) 상기 제 2 공동 내의 압력을 증가시켜 상기 가요성 도너 요소를 기판과의 접촉 관계로 이동시키고 그리고 도오 요소를 개방된 방사 수용 위치로 이동시키는 단계를 포함하는
    유기 재료의 이송 방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 방사 에너지는 레이저광에 의해 제공되고, 상기 레이저광은 기판으로의 유기 재료의 적절한 이동을 발생시킬 패턴으로 스캐닝되는
    유기 재료의 이송 방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 유기 재료는 구멍 주입 재료, 구멍 반송 재료, 전자 반송 재료, 방사 재료 또는 그의 조합을 포함하는
    유기 재료의 이송 방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 유기 재료는 적어도 2개의 성분을 포함하며, 그 중 하는 호스트 재료인
    유기 재료의 이송 방법.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 방사선 흡수재는 유기 재료의 패턴화된 이송을 유발하도록 선택된 패턴화된 층의 형태로 되어 있는
    유기 재료의 이송 방법.
  10. 하나 이상의 유기 발광 장치의 제조시에 가요성 도너 요소로부터 기판으로 유기 재료를 이송하여 유기 재료의 층을 형성하는 방법에 있어서,
    (a) 대기압 상태의 챔버를 구비한 이송 스테이션과,
    (b) 가요성 도너 요소가 챔버를 제 1 및 제 2 공동으로 분할하도록 챔버 내에 이격된 관계로 가요성 도너 요소 및 기판을 제공하는 수단과,
    (c) 2개의 공동 사이에 압력차를 형성하여 가요성 도너 요소를 기판과의 접촉 관계로 이동시키는 수단과,
    (d) 상기 제 2 공동의 상부면을 형성하는 투명 윈도우와,
    (e) 투명 윈도우를 통해서 상기 기판과 접촉하는 가요성 도너 요소상에 방사 에너지를 공급하여 가요성 도너 요소가 열을 흡수하고 또 유기 재료를 기판상으로이송하도록 하는 수단을 포함하는
    유기 재료 이송 장치.
  11. 하나 이상의 유기 발광 장치의 제조시에 가요성 도너 요소로부터 기판상으로 유기 재료를 이송하여 유기 재료의 층을 형성하는 장치에 있어서,
    (a) 대기압 상태의 챔버를 구비한 이송 스테이션과,
    (b) 가요성 도너 요소가 챔버를 제 1 및 제 2 공동으로 분할하도록 가요성 도너 요소 및 기판을 이격된 관계로 제공하는 수단과,
    (c) 상기 공동 사이에 적은 압력차를 유지하면서 제 1 공동과 제 2 공동 내의 압력을 감소시켜 가요성 도너 요소의 왜곡을 최소화하는 수단과,
    (d) 상기 제 2 공동 내의 압력을 증가시켜 상기 가요성 도너 요소를 기판과의 접촉 관계로 이동시키는 수단과,
    (e) 상기 제 2 공동의 상부면을 형성하는 투명 윈도우와,
    (f) 상기 투명 윈도우를 통해서 기판과 접촉하는 가요성 도너 요소상에 방사 에너지를 공급하여 가요성 도너 요소가 열을 흡수하고 그리고 유기 재료를 기판상으로 이송하도록 하는 수단을 포함하는
    유기 재료 이송 장치.
  12. 하나 이상의 유기 발광 장치의 제조시에 가요성 도너 요소로부터 기판상으로 유기 재료를 이송하여 유기 재료의 층을 형성하는 장치에 있어서,
    (a) 제 1 및 제 2 고정부와 상기 제 1 및 제 2 고정부를 결합하도록 이동시켜 대기압 상태의 챔버를 갖는 이송 스테이션을 형성하는 수단과,
    (b) 상기 가요성 도너 요소가 챔버를 제 1 및 제 2 공동으로 분할하도록 챔버 내에 이격된 관계로 가요성 도너 요소 및 챔버를 제공하는 수단과,
    (c) 상기 가요성 도너 요소의 왜곡을 최소화하면서 제 1 및 제 2 공동 내의 압력을 감소시키는 수단과,
    (d) 상기 제 2 공동 내의 압력을 증가시켜 상기 가요성 도너 요소를 기판과의 접촉 관계로 이동시키는 수단과,
    (e) 상기 제 2 공동의 상부면을 형성하는 상기 제 2 고정부 내의 투명 윈도우와,
    (f) 투명 윈도우를 통해서 기판과 접촉하는 가요성 도너 요소상에 방사 에너지를 공급하여 상기 가요성 도너 요소가 열을 흡수하고 그리고 유기 재료를 기판상으로 이송하도록 하는 수단을 포함하는
    유기 재료 이송 장치.
  13. 하나 이상의 유기 발광 장치의 제조시에 가요성 도너 요소로부터 기판상으로 유기 재료를 이송하여 유기 재료의 층을 형성하는 장치에 있어서,
    (a) 제 1 및 제 2 고정부와, 상기 제 1 및 제 2 고정부를 결합하도록 이동시켜 챔버를 갖는 이송 스테이션을 형성하는 수단으로서, 상기 제 2 고정부는 도어 요소를 구비하며, 상기 도어 요소는 챔버의 일부분을 형성하고 그리고 폐쇄 위치로부터 개방된 방사선 흡수 위치로 이동 가능한, 제 1 및 제 2 고정부 이동 수단과,
    (b) 가요성 도너 요소가 챔버를 제 1 및 제 2 공동으로 분할하도록 대기압 상태의 챔버 내에 이격된 관계로 가요성 도너 요소 및 기판을 제공하는 수단과,
    (c) 상기 가요성 도너 요소의 왜곡을 최소화하면서 상기 제 1 및 제 2 공동 내의 압력을 감소시키는 수단과,
    (d) 상기 제 2 공동 내의 압력을 증가시켜 상기 가요성 도너 요소를 기판과의 접촉 관계로 이동시키고 그리고 도어 요소를 개방된 방사선 수용 위치로 이동시키는 수단과,
    (e) 제 2 고정부내의 개방된 방사선 수용 위치를 통해 기판과 접촉하는 가요성 도너 요소상에 방사 에너지를 공급하여 가요성 도너 요소가 열을 흡수하고 그리고 유기 재료를 기판상으로 이송하도록 하는 수단을 포함하는
    유기 재료 이송 장치.
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