KR100711887B1 - 레이저 열전사 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 도너필름의 전사층을 어셉터기판 상에 전사하는 레이저 열전사 장치에 관한 것이다. 본 발명은 유기발광소자의 발광층을 형성하는 레이저 열전사 장치에 있어서, 상기 유기발광소자의 화소정의영역이 형성되고, 자석을 포함하는 어셉터기판 및 상기 화소정의영역으로 전사될 유기발광층을 구비하는 각 도너필름이 순차적으로 이송되어 적층되는 기판스테이지; 상기 도너필름에 레이저를 조사하는 레이저 발진기; 상기 기판스테이지와 상기 레이저 조사장치 사이에 설치되며, 레이저를 통과시키는 투명한 재질의 투과부를 구비하고, 상기 기판과 자기력을 형성하는 자석을 구비하는 밀착프레임; 및 상기 밀착프레임을 상기 기판스테이지 방향으로 이동하게 하는 밀착프레임 이동수단;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
레이저 열전사, 도너필름, 어셉터기판, 자기력, 라미네이팅

Description

레이저 열전사 장치{Laser induced thermal imaging apparatus}
도 1은 종래기술에 따른 레이저 열전사 장치를 도시하는 단면도.
도 2는 본 발명에 따른 레이저 열전사 장치의 일실시예를 도시하는 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 레이저 열전사장치에 장착되는 유기발광소자 제조용 어셉터기판의 일실시예를 보이는 단면도.
도 4는 본 발명에 사용되는 레이저 열전사장치의 레이저 발진기의 일실시예를 보이는 구조도.
도 5는 도 2의 A-A'선에 따른 단면도.
도 6은 본 발명에 따른 본 발명에 따른 레이저 열전사 장치의 밀착판 이송수단을 보이는 사시도.
도 7은 본 발명에 따른 레이저 열전사 장치의 사용방법을 설명하는 흐름도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 레이저 열전사장치 110 : 기판스테이지
120 : 레이저 발진기 130 : 밀착프레임
133, 133a, 133b, 133c, 133d : 투과부
140 : 밀착프레임 이동수단 150 : 챔버
200 : 도너필름 300 : 어셉터기판
본 발명은 레이저 열전사 장치 및 이를 이용한 유기발광소자의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 자기력을 이용하여 도너필름과 어셉터기판을 라미네이팅하는 공정을 포함하는 레이저 열전사 장치 및 상기 장치를 이용한 유기발광소자의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 적용분야는 특정 산업분야에 한정되는 것은 아니고, 다양하게 적용될 수 있지만, 유기발광소자 제작시 유기 발광층등을 형성하는 데 유용할 것으로 예상된다. 유기발광소자는 제 1 전극과 제 2 전극사이에 발광층을 형성하고, 전극 사이에 전압을 인가함으로써, 발광층에서 정공과 전자가 합쳐짐으로써 자체발광하는 소자이다. 이하에서는 유기발광소자에 사용되는 레이저 열전사 장치를 기준으로 본 발명의 종래기술 및 본 발명의 구성등이 설명될 것이나 이에 한정되는 것은 아니다.
레이저 열전사법은 기재기판, 광열변환층, 및 전사층을 포함하는 도너기판에 레이저를 조사시켜 기재기판을 통과한 레이저를 광열변환층에서 열로 변화시켜 광열변환층을 변형팽창시킴으로써, 인접한 전사층을 변형팽창시켜, 어셉터기판에 전사층이 접착되어 전사되게 하는 방법이다.
레이저 열전사법을 실시할 경우, 전사가 이루어지는 챔버 내부는 발광소자 형성시의 증착공정과 동조되도록 하기위하여 진공상태가 이루어지는 것이 바람직하 나, 종래에 진공상태에서 레이저 열전사를 행하는 경우 도너기판과 어셉터기판 사이에 이물질이나 공간이 생기게 되어 전사층의 전사가 잘 이루어지지 않는 문제점이 있다. 따라서, 레이저 열전사법에 있어서, 도너기판과 어셉터기판을 라미네이팅시키는 방법은 중요한 의미를 가지며 이를 해결하기 위한 여러가지 방안이 연구되고 있다.
도 1은 상술한 문제점을 해결하기 위한 종래기술에 따른 레이저 열전사 장치의 부분단면도이다. 이에 따르면, 레이저 열전사 장치(10)는 챔버(11) 내부에 위치하는 기판스테이지(12) 및 챔버(11) 상부에 위치한 레이저 조사장치(13)를 포함하여 구성된다.
기판스테이지(12)는 챔버(11)로 도입되는 어셉터기판(14)과 도너필름(15)을 각각 순차적으로 위치시키기위한 스테이지이다.
이 때, 어셉터기판(14)과 도너필름(15)이 그 사이에 이물질이나 공간없이 라미네이팅되게 하기 위하여, 이 경우 레이저 열전사가 이루어지는 챔버(11)내부를 진공으로 유지하지 않고, 기판스테이지(12) 하부에 호스(16)를 연결하여 진공펌프(P)로 빨아들여서, 어셉터기판(14)과 도너필름(15)을 합착시킨다.
그러나 이러한 종래기술에 있어서도 어셉터기판(14)과 도너필름(15) 사이의 이물질(1)과 공간이 발생하는 것을 완전히 방지하지 못하고, 더욱이 챔버(11) 내부의 진공상태를 유지하지 못하게 됨으로써, 제품의 신뢰성과 수명에 좋지 못한 영향을 미치는 것으로 알려져 있다.
본 발명은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하고, 본 출원인에 의해 제안된 기술적 사상을 보다 완전하게 하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 자기력을 이용하여 진공조건에서도 어셉터기판과 도너필름을 완전하게 라미네이팅 가능한 레이저 열전사 장치를 제공하는 것이다.
본 발명은 유기발광소자의 발광층을 형성하는 레이저 열전사 장치에 있어서, 상기 유기발광소자의 화소정의영역이 형성되고, 자석을 포함하는 어셉터기판 및 상기 화소정의영역으로 전사될 유기발광층을 구비하는 각 도너필름이 순차적으로 이송되어 적층되는 기판스테이지; 상기 도너필름에 레이저를 조사하는 레이저 발진기; 상기 기판스테이지와 상기 레이저 조사장치 사이에 설치되며, 레이저를 통과시키는 투명한 재질의 투과부를 구비하고, 상기 기판과 자기력을 형성하는 자석을 구비하는 밀착프레임; 및 상기 밀착프레임을 상기 기판스테이지 방향으로 이동하게 하는 밀착프레임 이동수단;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 유기발광소자의 발광층을 형성하는 레이저 열전사 장치에 있어서, 상기 유기발광소자의 화소정의영역이 형성되고, 자성체를 포함하는 어셉터기판 및 상기 화소정의영역으로 전사될 유기발광층을 구비하는 각 도너필름이 순차적으로 이송되어 적층되는 기판스테이지; 상기 도너필름에 레이저를 조사하는 레이저 발진기; 상기 기판스테이지와 상기 레이저 조사장치 사이에 설치되며, 레이저를 통과시키는 투명한 재질의 투과부를 구비하고, 상기 기판스테이지와 자기력을 형성하는 자석을 구비하는 밀착프레임; 및 상기 밀착프레임을 상기 기판스테이지 방향 으로 이동하게 하는 밀착프레임 이동수단;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 유기발광소자의 발광층을 형성하는 레이저 열전사 장치에 있어서, 상기 유기발광소자의 화소정의영역이 형성되고, 자석을 포함하는 어셉터기판 및 상기 화소정의영역으로 전사될 유기발광층을 구비하는 각 도너필름이 순차적으로 이송되어 적층되는 기판스테이지; 상기 도너필름에 레이저를 조사하는 레이저 발진기; 상기 기판스테이지와 상기 레이저 조사장치 사이에 설치되며, 레이저를 통과시키는 투명한 재질의 투과부를 구비하고, 상기 기판스테이지와 자기력을 형성하는 자성체를 구비하는 밀착프레임; 및 상기 밀착프레임을 상기 기판스테이지 방향으로 이동하게 하는 밀착프레임 이동수단;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 레이저 열전사장치의 분해사시도이다. 이에 따르면, 레이저 열전사장치(100)는 기판스테이지(110), 레이저 발진기(120), 밀착프레임(130), 밀착프레임 이동수단(140), 및 챔버(150)를 포함하여 구성된다.
먼저, 챔버(150)는 통상의 레이저 열전사 장치(100)에서 사용되는 챔버(150)를 사용할 수 있고, 챔버(150) 내부에는 적어도 기판스테이지(110) 및 밀착프레임(130)등이 장착된다. 챔버(150) 내에는 도너필름(200) 및 어셉터기판(300)이 이송되며 이를 위하여 챔버(150) 외부에는 도너필름(200) 및 어셉터기판(300)을 챔버 (150)내부로 이송하기 위한 이송수단(미도시)이 구비된다. 상기 챔버(150) 내부는 진공 상태를 유지하는 것이 유기발광소자 제조공정상 유리하나, 이에 제한되는 것은 아닌다.
기판스테이지(110)는 어셉터기판(300)과 도너필름(200)이 순차적으로 수납되는 받침대이다. 본 발명에서 어셉터기판(300)은 유기발광소자의 화소정의영역이 형성되고, 자석을 포함하도록 구비된다. 자석은 후술할 밀착프레임과 자기력을 형성하기 위해 구비되므로, 밀착프레임(130)에 자석이 구비될 경우, 어셉터기판(300)에는 자성체가 구비되어도 무방할 것이다.
어셉터기판(300) 상에는 자석 또는 자성체가 다양한 방식으로 구비될 수 있다. 가장 간단하게는, 어셉터기판(300)의 상부면 또는 하부면에 자성층(320)을 형성함으로써 구비될 수 있고, 도 3은 자성층이 형성된 유기발광소자의 어셉터기판의 단면도이다. 이에 따르면, 자성층(320)은 버퍼층(330)과 기재기판(310) 사이에 구비된다. 또한, 자성을 가진 나노입자를 분산시켜 어셉터기판을 제작할 수 있고, 작은 자석들을 원형 또는 종횡으로 배열하여 위치시킬 수도 있을 것이므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다. 미설명된 도면부호, 340 및 350은 각각 평탄화층과 화소정의막이다.
한편, 기판스테이지(110)는 이동되기 위한 구동수단(미도시)을 더 구비할 수 있다. 기판스테이지(110)가 이동될 경우 레이저 발진기(120)는 일방향으로만 레이저를 조사하도록 구성될 수 있다. 예컨데, 레이저가 세로방향으로 조사되고, 가로방향으로 기판스테이지(110)를 이동시키는 구동수단을 더 구비할 경우, 도너필름 (200) 전면적에 대해 레이저가 조사될 수 있다.
또한, 기판스테이지(110)는 어셉터기판(300) 및 도너필름(200)을 수납하여 장착시키는 장착수단을 구비할 수 있다. 장착수단은 이송수단에 의해 챔버(150)내로 이송되어온 어셉터기판(300) 및 도너필름(200)이 기판스테이지의 정해진 위치에 정확히 장착되도록 한다.
본 실시예에서, 장착수단은 관통홀(410, 510), 가이드바(420, 520), 이동플레이트(430, 530), 지지대(440, 540), 및 장착홈(450, 550)을 포함하여 구성될 수 있다. 이 때, 가이드바(420)는 이동플레이트(430) 및 지지대(440)와 동반하여 상승 또는 하강운동하는데, 가이드바(420)가 관통홀(410)을 통과하여 상승하면서 어셉터기판(300)을 수용하고, 하강하면서 어셉터기판(300)을 기판스테이지(110) 상에 형성된 장착홈(450)에 안착시키게 되는 구조이다. 상기 장착수단은 당업자에 의해 다양하게 변형실시될 수 있으므로 이에 대한 상세한 설명은 지면상 생략한다.
레이저 발진기(120)는 챔버(150)의 외부 또는 내부에 설치될 수 있으며, 레이저가 상부에서 비춰질 수 있도록 설치되는 것이 바람직하다. 레이저 발진기(120)의 개략적인 구성도인 도 4에 따르면, 본 실시예에서 레이저 발진기(120)는 CW ND:YAG 레이저(1604nm)를 사용하고, 2개의 갈바노미터 스캐너(121, 123)를 구비하며, 스캔렌즈(125) 및 실린더렌즈(127)를 구비하나 이에 제한되는 것은 아니다.
밀착프레임(130)은 전자석, 영구자석, 또는 자성체를 포함하여 구성되어, 기판스테이지의 자석과 자기력을 형성하여 기판스테이지(110)와 밀착프레임(130) 사이에 위치하는 도너필름(200)과 어셉터기판(300)을 강력하게 라미네이팅한다.
또한, 밀착프레임(130)은 레이저가 통과할 수 있는 투명한 재질의 투과부(133)를 구비하는데, 도 5는 투과부(133)의 구성을 도시한 도 2의 A-A' 단면도이다. 밀착프레임 투과부(133)의 밀착프레임의 이에 따라 밀착프레임(130)은 레이저가 소정위치에만 조사될 수 있는 마스크 역할을 동시에 수행할 수도 있다. 투과부(133)의 투명재료에는 제한이 없으나, 유리 또는 폴리머가 사용되는 것이 바람직할 것이다. 또한, 투과부(133)에는 자석이 포함되지 못하므로, 투과부(133)의 면적은 밀착프레임(130) 전체 면적의 1% 내지 50%로 하여 밀착프레임(130)의 자기력이 도너필름과 어셉터기판을 라미네이팅하는 적정수준으로 유지시키는 것이 바람직하다.
밀착프레임(130)은 전사될 유기발광층에 따라 유기발광소자의 각 서브화소를 형성하게될 적어도 하나의 투과부(133)가 형성된 밀착프레임(130)들이 서로 교환되면서 운전된다.
밀착프레임 이동수단(140)은 밀착프레임(130)을 기판스테이지 방향으로 왕복이동하게 하는 수단으로서, 다양하게 제작될 수 있으나, 도 6에 도시된 실시예에 따르면, 거치홈(142)을 구비한 거치대(141)와 챔버(150) 상면에서 거치대(141)에 연결되는 연결바(143) 및 연결바(143)와 이에 연결된 거치대(141)를 상하로 구동시키는 구동수단(미도시)을 포함한다. 이 때, 밀착프레임(130)은 도시된 바와 같이 이동수단에 의해 이동될 경우 거치돌부(134)를 구비한 트레이(135)에 장착되어 이동된다.
한편, 제 1 밀착프레임과 제 2 밀착프레임의 교환은 로봇팔등의 교환수단이 이용될 수 있다. 예컨데, 거치대 위에 놓여 있는 제 1 밀착프레임으로 제 1 서브화 소 및 제 2 서브화소를 형성한 후, 로봇팔이 제 1 밀착프레임을 거치대로부터 외부로 이송시키고, 제 2 밀착프레임을 거치대에 위치시킴으로써 교환이 이루어질 수 있다.
다음으로, 도 2 및 도 7을 참조하면서, 전술한 레이저 열전사 장치에 의하여 유기발광소자를 형성하는 방법을 설명한다. 유기발광소자의 발광층을 형성하는 데 있어서, 전술한 레이저 열전사장치를 이용하는 방법은, 어셉터기판 이송단계(ST100), 도너필름 이송단계(ST200), 밀착프레임 밀착단계(ST300), 유기층 전사단계(ST400), 밀착프레임 분리단계(ST500)를 포함한다.
어셉터기판 이송단계(ST100)는 기판스테이지(110) 상에 유기발광층이 형성될 어셉터기판(300)을 위치하는 단계이다. 어셉터기판(300)에는 도너필름으로부터 전사될 발광층이 형성될 화소영역이 정의되어 있다.
도너필름 이송단계(ST200)는 어셉터기판(300) 상으로 전사될 발광층이 구비되어 있는 제 1 도너필름을 이송하는 단계이다. 이 때, 발광층은 어느 1 색상으로 구성될 수 있고, 예를 들어 R일 수 있다.
밀착프레임 밀착단계(ST300)는 도너필름의 유기발광층을 전사하기 위한 레이저가 통과되는 투과부가 형성되며 자석 또는 자성체를 포함하는 밀착프레임을 기판스테이지를 향해 자기적 인력으로 밀착하는 단계이다. 이로써, 그 사이에 위치하는 도너필름과 어셉터기판이 라미네이팅 된다. 이 때, 전자석이 어셉터기판 또는 밀착프레임에 포함되어 있는 경우라면 밀착프레임은 1차적으로는 밀착프레임 이동수단에 의해 밀착프레임을 어셉터기판상으로 이동시켜서 밀착하고, 2차적으로 보다 강력하게 자기적 인력으로 어셉터기판과 밀착하는 것이 바람직하다.
전사단계(ST400)는 제 1 밀착프레임의 투과부를 통해 제 1 도너필름 상으로 레이저를 조사하여, 제 1 도너필름에 구비된 제 1 색상 유기발광층을 팽창시켜 어셉터기판의 화소영역으로 전사하는 단계이다. 이 때, 투과부 중 화소영역으로만 레이저가 조사될 수 있도록 레이저 조사범위가 조절된다.
밀착프레임 분리단계(ST500)는 밀착프레임을 어셉터기판으로부터 밀착프레임이동수단을 사용하여 분리하는 단계로, 전자석이 어셉터기판 또는 밀착프레임에 포함되어 있는 경우 1차적으로 자기적 척력으로 분리하고, 2차적으로 밀착프레임 이동수단에 의해 챔버 상부로 밀착프레임을 상승시키는 것이 바람직하다.
본 발명은 상기 실시예를 기준으로 주로 설명되어졌으나, 발명의 요지와 범위를 벗어나지 않고 많은 다른 가능한 수정과 변형이 이루어 질 수 있다. 예컨데,밀착판 이동수단의 구성 변경, 투과부의 형상변경, 자석 또는 자성체 배열의 변경등은 당업자가 용이하게 도출할 수 있는 변경일 것이다.
본 발명에 따른 레이저 열전사장치에 따르면, 진공하에서 자력을 이용하여 도너기판과 어셉터기판을 라미네이팅 할 수 있게 되어 유기발광소자의 이전 공정과 동일하게 진공상태를 유지할 수 있을 뿐만아니라, 도너기판과 어셉터기판 사이에 이물질이나 빈공간을 생기게 하지 않으면서 라미네이팅하여 유기발광소자의 발광층 전사가 보다 효율적으로 이루어지게 하는 효과가 있다. 또한, 밀착프레임에 레이저가 조사되는 부분이 단순한 개구가 아니라, 투명한 재질로 채워지는 투과부로 구성 됨으로써, 밀착프레임의 강도를 유지할 수 있게된다.
전술한 발명에 대한 권리범위는 이하의 청구범위에서 정해지는 것으로써, 명세서 본문의 기재에 구속되지 않으며, 청구범위의 균등범위에 속하는 변형과 변경은 모두 본 발명의 범위에 속할 것이다.

Claims (15)

  1. 유기발광소자의 발광층을 형성하는 레이저 열전사 장치에 있어서,
    상기 유기발광소자의 화소정의영역이 형성되고, 자석을 포함하는 어셉터기판 및 상기 화소정의영역으로 전사될 유기발광층을 구비하는 각 도너필름이 순차적으로 이송되어 적층되는 기판스테이지;
    상기 도너필름에 레이저를 조사하는 레이저 발진기;
    상기 기판스테이지와 상기 레이저 조사장치 사이에 설치되며, 레이저를 통과시키는 투명한 재질의 적어도 하나의 투과부를 구비하고, 상기 기판과 자기력을 형성하는 자석을 구비하는 밀착프레임; 및
    상기 밀착프레임을 상기 기판스테이지 방향으로 이동하게 하는 밀착프레임 이동수단;을 포함하여 구성되는 레이저 열전사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    적어도 상기 기판스테이지와 상기 밀착프레임을 내부에 포함하는 진공챔버를 포함하여 구성되는 레이저 열전사 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판스테이지를 이동시키는 구동수단이 더 구비되는 레이저 열전사 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 밀착프레임의 상기 투과부의 전체 면적은 상기 밀착프레임의 면적의 1% 내지 50%인 것을 특징으로 하는 레이저 열전사 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 밀착프레임에 구비되는 자석은 전자석 또는 영구자석인 것을 특징으로 하는 레이저 열전사 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 밀착프레임의 투과부는 유리 또는 투명폴리머인 것을 특징으로 하는 레이저 열전사 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판에 구비되는 자석은 전자석 또는 영구자석인 것을 특징으로 하는 레이저 열전사 장치.
  8. 유기발광소자의 발광층을 형성하는 레이저 열전사 장치에 있어서,
    상기 유기발광소자의 화소정의영역이 형성되고, 자성체를 포함하는 어셉터기판 및 상기 화소정의영역으로 전사될 유기발광층을 구비하는 각 도너필름이 순차적 으로 이송되어 적층되는 기판스테이지;
    상기 도너필름에 레이저를 조사하는 레이저 발진기;
    상기 기판스테이지와 상기 레이저 조사장치 사이에 설치되며, 레이저를 통과시키는 투명한 재질의 투과부를 구비하고, 상기 기판스테이지와 자기력을 형성하는 자석을 구비하는 밀착프레임; 및
    상기 밀착프레임을 상기 기판스테이지 방향으로 이동하게 하는 밀착프레임 이동수단;을 포함하여 구성되는 레이저 열전사 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    적어도 상기 기판스테이지와 상기 밀착프레임을 내부에 포함하는 진공챔버를 포함하여 구성되는 레이저 열전사 장치.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 자성체는 Fe, Ni, Cr, Fe2O3, Fe3O4, CoFe2O4 및 그 혼합물로 구성되는 군에서 선택되는 하나인 레이저 열전사 장치.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 밀착프레임에 구비되는 자석은 전자석 또는 영구자석인 것을 특징으로 하는 레이저 열전사 장치.
  12. 유기발광소자의 발광층을 형성하는 레이저 열전사 장치에 있어서,
    상기 유기발광소자의 화소정의영역이 형성되고, 자석을 포함하는 어셉터기판 및 상기 화소정의영역으로 전사될 유기발광층을 구비하는 각 도너필름이 순차적으로 이송되어 적층되는 기판스테이지;
    상기 도너필름에 레이저를 조사하는 레이저 발진기;
    상기 기판스테이지와 상기 레이저 조사장치 사이에 설치되며, 레이저를 통과시키는 투명한 재질의 투과부를 구비하고, 상기 기판스테이지와 자기력을 형성하는 자성체를 구비하는 밀착프레임; 및
    상기 밀착프레임을 상기 기판스테이지 방향으로 이동하게 하는 밀착프레임 이동수단;을 포함하여 구성되는 레이저 열전사 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    적어도 상기 기판스테이지와 상기 밀착프레임을 내부에 포함하는 진공챔버를 포함하여 구성되는 레이저 열전사 장치.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 자성체는 Fe, Ni, Cr, Fe2O3, Fe3O4, CoFe2O4 및 그 혼합물로 구성되는 군에서 선택되는 하나인 레이저 열전사 장치.
  15. 제 12 항에 있어서,
    상기 어셉터기판에 구비되는 자석은 전자석 또는 영구자석인 것을 특징으로 하는 레이저 열전사 장치.
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Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6042076A (ja) 1983-08-19 1985-03-06 Canon Inc 感熱転写記録方法
JPH07304194A (ja) * 1994-05-11 1995-11-21 Asahi Optical Co Ltd 感熱式記録装置
KR19980028617A (ko) * 1996-10-23 1998-07-15 손욱 미소형상 형성용 전사필름 및 그 장치
JPH11158605A (ja) 1997-12-01 1999-06-15 Anelva Corp 真空成膜装置、そのマスク着脱装置、及びマスク位置合わせ方法
US6688365B2 (en) 2001-12-19 2004-02-10 Eastman Kodak Company Method for transferring of organic material from a donor to form a layer in an OLED device
US6695029B2 (en) 2001-12-12 2004-02-24 Eastman Kodak Company Apparatus for permitting transfer of organic material from a donor to form a layer in an OLED device
KR20060021213A (ko) * 2004-09-02 2006-03-07 삼성에스디아이 주식회사 도너 기판의 제조 방법 및 그를 이용한 유기 전계 발광소자의 제조 방법
KR20060034586A (ko) * 2004-10-19 2006-04-24 삼성에스디아이 주식회사 기판지지 프레임, 상기 프레임을 구비하는 기판지지프레임 조립체, 상기 프레임을 사용한 기판 프레이밍방법, 상기 기판지지 프레임 조립체를 사용한 도너기판제조방법 및 상기 도너기판을 사용한유기전계발광표시장치 제조방법

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6042076A (ja) 1983-08-19 1985-03-06 Canon Inc 感熱転写記録方法
JPH07304194A (ja) * 1994-05-11 1995-11-21 Asahi Optical Co Ltd 感熱式記録装置
KR19980028617A (ko) * 1996-10-23 1998-07-15 손욱 미소형상 형성용 전사필름 및 그 장치
JPH11158605A (ja) 1997-12-01 1999-06-15 Anelva Corp 真空成膜装置、そのマスク着脱装置、及びマスク位置合わせ方法
US6695029B2 (en) 2001-12-12 2004-02-24 Eastman Kodak Company Apparatus for permitting transfer of organic material from a donor to form a layer in an OLED device
US6688365B2 (en) 2001-12-19 2004-02-10 Eastman Kodak Company Method for transferring of organic material from a donor to form a layer in an OLED device
KR20060021213A (ko) * 2004-09-02 2006-03-07 삼성에스디아이 주식회사 도너 기판의 제조 방법 및 그를 이용한 유기 전계 발광소자의 제조 방법
KR20060034586A (ko) * 2004-10-19 2006-04-24 삼성에스디아이 주식회사 기판지지 프레임, 상기 프레임을 구비하는 기판지지프레임 조립체, 상기 프레임을 사용한 기판 프레이밍방법, 상기 기판지지 프레임 조립체를 사용한 도너기판제조방법 및 상기 도너기판을 사용한유기전계발광표시장치 제조방법

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