KR20020017936A

KR20020017936A - 절단기

Info

Publication number: KR20020017936A
Application number: KR1020010033254A
Authority: KR
Inventors: 우마하시타카유키
Original assignee: 세키야 겐이치; 가부시기가이샤 디스코
Priority date: 2000-06-16
Filing date: 2001-06-13
Publication date: 2002-03-07
Also published as: JP4616969B2; IL143723A0; KR100538699B1; JP2001358093A

Abstract

복수개의 피가공물을 수용하는 카세트를 지지하기 위하여 카세트 장착영역에 배열설치된 카세트지지수단과, 척킹영역과 절단영역 사이를 실질적 수평방향으로 움직이도록 배열설치되는 척테이블과, 세정영역에 배열설치된 세정수단과, 상기 절단영역에 위치하는 상기 척테이블상에 척으로 고정되어 있는 피가공물을 절단하기 위한 절단수단과, 피가공물 반송수단을 구비하는 절단기(cutting machine). 카세트 장착영역과 척킹영역과 세정영역은 소정방향으로 연장되는 제 1 직선 상에 이 순서대로 배치되어 있고, 척킹영역과 절단영역은 제 1 직선에 대하여 실질적 수직으로 연장되는 제 2 직선 상에 배치되어 있다.

Description

절단기{CUTTING MACHINE}

본 발명은 반도체 웨이퍼를 다이스(dice)하는 다이서(dicer)와 같은 절단기(cutting machine)에 관한 것이다.

일본국 특개평 11-26402호 공보 및 일본국 특개평 11-74228호 공보에는, 반도체 웨이퍼를 격자상으로 배열된 절단라인을 따라 절단하는, 즉 다이스하는 다이서가 개시되어 있다. 이러한 다이서에서는 카세트 장착영역(bearing area), 대기영역, 척킹영역(chucking area), 절단영역 및 세정영역이 배치되어 있다. 카세트 장착영역에는 카세트지지수단이 배열설치되고, 대기영역에는 임시지지수단이 배열설치되고, 세정영역에는 세정수단이 배열설치되어 있다. 다이서에는 척킹영역과 절단영역 사이를 실질상 수평으로 이동가능하게 배열설치된 척테이블, 절단영역에 위치하는 척테이블 위에 척으로 고정되어 있는 피가공물을 다이스하기 위한 절단수단, 제 1 반송수단, 제 2 반송수단 및 제 3 반송수단도 배열설치되어 있다. 카세트지지수단 위에는 복수개의 피가공물, 보다 상세하게 프레임의 중앙개구내에 장착테이프을 통하여 장착된 반도체 웨이퍼를 수용하는 카세트가 놓여진다. 카세트 내의 피가공물은 제 1 반송수단에 의해 카세트에서 임시지지수단 위로 반출된다. 다음으로, 제 2의 반송수단에 의해 척킹영역으로 반송되고, 척테이블 상에 척된다. 그리고, 척테이블과 함께 절단영역으로 이동시켜, 절단영역에서 절단수단에 의해 다이스된다. 그런 후에 척테이블과 함께 척킹영역에 이동되고, 그리고 제 3 반송수단에 의해 척테이블에서 세정영역으로 반송된다. 다음으로 세정영역에서 세정수단에 의해 세정되고, 제 2 반송수단에 의해 세정영역에서 임시지지수단 상으로 반송된다. 그리고, 제 1 반송수단에 의해 임시지지수단에서 카세트에 반입된다.

그리고, 상술한 것과 같은 종래의 다이서에는 카세트 장착영역, 대기영역, 척킹영역, 절단영역 및 세정영역의 상대적 배치가 반드시 합리적인 것은 아니고, 기계 전체가 충분히 소형화되어 있지 않다는 문제가 존재한다. 피가공물을 고능률로 다이스하기 위해서는 상기 일본국 특개평 11-26402호 공보 및 일본국 특개평 11-74228호 공보에 개시되어 있는 것같이, 2개의 절단수단, 즉 제 1 절단수단과 제 2 절단수단을 배열설치하고, 단일의 피가공물에 제 1 절단수단과 제 2 절단수단의 쌍방을 작용시키는 것이 요구되지만, 특히 제 1 절단수단과 제 2 절단수단을 배열설치하는 경우, 제 1 절단수단 및/또는 제 2 절단수단의 일부가 국부적으로 돌출하는 상태로 되고, 기계의 소위 설치스페이스를 충분히 작게 하는 것이 불가능하다. 알려진 바와 같이 다이서는 통상 소위 클린룸 내에 배치되는 것이 필요하고 이러한 점에서도 다이서를 가급적 소형화하는 것이 강하게 요구된다.

따라서 본 발명의 주된 목적은 다이서와 같은 절단기에 있어서, 기계의 각 영역의 배치를 개량하여 기계전체를 충분히 소형화시키는 것에 있다.

본 발명의 다른 목적은 절단되고 세정된 피가공물이 절단 부스러기에 의해 다시 오염되어 버리는 등은 문제를 발생시키지 않고, 상기 주된 목적을 달성하는 것에 있다.

본 발명자는 예의 검토를 거듭한 결과, 카세트 장착영역과 척킹영역과 세정영역을 평면도에서 소정방향으로 연장되는 제 1 직선 상에 그 순서대로 배치하고, 척킹영역과 절단영역을 평면도에서 제 1 직선에 대하여 실질상 수직하게 연장되는 제 2 직선 상에 배치하는 것에 의해 상기 주된 목적을 달성할 수 있다는 것을 발견하였다.

도 1은 본 발명에 따라 구성된 절단기의 하나의 실시형태인 다이서를 도시한 사시도이다.

도 2는 도 1의 다이서의 일부를 하우징을 잘라내고 도시한 사시도이다.

도 3은 도 1의 다이서에 의해 다이스된 반도체웨이퍼가 장착테이블을 매개로 프레임에 창작되어 있는 상태를 도시한 사시도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

A : 카세트장착영역 B : 척킹영역

C : 세정영역 D : 절단영역

2 : 하우징 4 : 주부(主部)

6 : 침강부 8 : 돌출부

10 : 카세트지지수단 12 : 상벽

14 : 개구(開口) 16, 82 : 승강대

18, 58, 106 : 안내레일 19, 64, 100, 112 : 수나사축

20, 104, 114, 126 : 모터 22 : 피가공물

24 : 카세트 26 : 프레임

28 : 장착테이프 30 : 반도체웨이퍼

34 : 측벽 36 : 수납홈

40, 42, 44, 46 : 개구 48 : 임시지지수단

50, 66 : 지지부재 52 : 척테이블

54 : 지지베이스 56 : 지지블럭

60, 98 : 슬라이드블럭 68, 84 : 척부재

70, 86 :파지기구 72, 88 : 가동파지피스

74 : 중공보호닥트 76 : 세정수단

90 : 분사노즐 92 : 지지기판

94 : 절단수단 108 : 승강블럭

118 : 절단유니트 120 : 케이스

124 : 절단블레이드 128 : 촬상수단

132 : 제 1 반송수단 134 : 제 2 반송수단

136 : 제 3 반송수단 146 : 슬라이드암

170 : 흡착기

본 발명에 의하면, 상기 주된 목적을 달성하는 절단기로써, 복수개의 피가공물을 수용하는 카세트를 지지하기 위하여 카세트 장착영역에 배열설치된 카세트지지수단과, 척킹영역과 절단영역 사이를 실질적 수평방향으로 움직이도록 배열설치되는 척테이블과, 세정영역에 배열설치된 세정수단과, 상기 절단영역에 위치하는 상기 척테이블 상에 척으로 고정되어 있는 피가공물을 절단하기 위한 절단수단과, 피가공물 반송수단을 구비하는 절단기(cutting machine)에 있어서, 상기 카세트 장착영역과 상기 척킹영역과 상기 세정영역은 평면도에서 소정방향으로 연장되는 제 1 직선 상에 상기 순서대로 배치되어 있고, 상기 척킹영역과 상기 절단영역은 평면도에서 상기 제 1 직선에 대하여 실질적으로 수직으로 연장되는 제 2 직선 상에 배치되어 있고, 상기 카세트에 수용되어 있는 피가공물이 상기 피가공물 반송수단에 의해 상기 카세트에서 상기 척킹영역으로 반출되고, 상기 척킹영역에서 상기 척테이블 상에 척으로 고정되고, 상기 척테이블과 함께 상기 절단영역으로 이송되고, 상기 절단영역에서 상기 절단수단에 의해 절단되고, 이어서 상기 척테이블과 함께 상기 척킹영역으로 되돌아오고, 피가공물 반송수단에 의해 상기 척테이블 상에서 상기 세정수단으로 반송되고, 상기 세정수단에 의해 세정되고, 그 후에 상기 피가공물 반송수단에 의해 상기 세정수단에서 상기 척킹영역으로 반송되고, 그리고 상기 피가공물 반송수단에 의해 상기 카세트에 반입되는 것을 특징으로 하는 절단기가 제공된다.

필요에 따라서, 상기 척킹영역에 피가공물을 임시로 지지하기 위한 임시지지수단을 배치하고, 상기 카세트에서 반출된 절단하려는 피가공물을 최초로 상기 임시지지수단 위에 올려 놓고, 다음에 상기 임시지지수단 위에서 상기 척테이블 위로 반송시키고, 그리고 절단되고 세정된 피가공물을 상기 세정수단에서 상기 임시지지수단 위로 반송하고, 다음으로 상기 카세트에 반입되도록 하는 것이 가능하다. 바람직하게는, 상기 임시지지수단은 상기 척킹영역에 위치되어 있는 상기 척테이블의 상방에 배치된 한 쌍의 지지부재로 구성되어 있고, 상기 한 쌍의 지지부재는 서로 소정간격을 두고 위치하여 양자간에 걸쳐서 피가공물이 지지되는 작용위치와, 상기 작용위치에서 서로 이격(離隔)되는 방향으로 이동시켜서 양자간을 통하여 피가공물을 하강시키는 것을 허용하는 비작용위치와의 사이를 이동할 수 있다.

상기 다른 목적을 달성하기 위하여, 바람직하게는, 상기 피가공물 반송수단은 제 1 반송수단, 제 2 반송수단 및 제 3 반송수단을 포함하고, 제 1 반송수단은 절단하려는 피가공물을 상기 카세트에서 상기 임시지지수단 위로 반출하고, 또 절단하고, 세정한 후에 상기 임시지지수단 위로 반송된 피가공물을 상기 임시지지수단 위에서 상기 카세트에 반입하고, 제 2 반송수단은 상기 카세트에서 반출되어 상기 임시지지수단 위에 지지된 절단하려는 피가공물을 상기 임시지지수단에서 상기 척테이블 위로 반송하고, 절단하고, 세정한 피가공물을 상기 세정수단에서 임시지지수단 위로 반송하고, 상기 제 3 반송수단은 절단된 후에 상기 척테이블과 함께 상기 척킹영역으로 되돌아온 피가공물을 상기 척테이블 위에서 상기 세정수단으로 반송한다.

바람직한 실시형태에 있어서는, 피가공물은 반도체웨이퍼이고, 상기 절단수단은 반도체웨이퍼를 다이스(dice)한다. 상기 절단수단은 제 1 절단수단 및 제 2절단수단을 포함하고, 상기 제 1 절단수단 및 제 2 절단수단의 각각은 회전축 및 회전축에 장착된 절단블레이드를 구비하고, 상기 회전축은 종렬(tandem) 배치되고 동시에 제 1 직선에 평행하게 연장되고, 상기 절단블레이드는 상기 회전축의 상호 마주보는 단부(端部)에 장착되어 있다.

이하, 본 발명에 따라 구성된 절단기의 바람직한 실시형태인 다이서를 도시하고 있는 첨부도면을 참조하여 좀더 자세히 설명한다.

도 1을 참조하여 설명하면, 도시한 다이서는 전체를 번호 2로 표시한 하우징을 구비하고 있다. 이 하우징(2)은 대략 직육면체 형상인 주부(主部)(4)를 포함하고 있다. 주부(4)의 일측 절반부의 전방부에는 대략 정육면체 형상의 침강부(沈降部)(6)가 형성되어 있고, 주부(4)의 타측 절반부에는 상방이 돌출된 직육면체 형상의 돌출부(8)가 형성되어 있다. 하우징(2)의 일측 절반부에는 카세트 장착영역(A), 척킹영역(B) 및 세정영역(C)이 순서대로 배치되어 있다. 카세트 장착영역(A)은 하우징(2)의 일측 절반부의 전방부(즉, 상기 침강부(6))에 위치하고, 척킹영역(B)은 하우징(2)의 일측 절반부 중간부에 위치하고, 세정영역(C)은 하우징(2)의 일측 절반부 후방부에 위치하고 있다. 카세트 장착영역(A), 척킹영역(B) 및 세정영역(C)은 평면도에서 실질상 전후방향으로 연장한 일직선 상에 배치되어 있는 것이 중요하다. 좀더 자세하게는 카세트 장착영역(A)의 중심(a), 척킹영역의 중심(b), 및 세정영역의 중심(c)은 평면도에서 실질상 전후방향으로 연장한 직선(L1) 위에 위치시켜 놓는 것이 중요하다. 하우징(2)의 타측 절반부에 형성되어 있는 상기 돌출부(8) 내에는 절단영역(D)(도 2를 참조)이 배열설치되어 있다. 평면도에서 절단영역(D)과상기 척킹영역(B)을 통과하는 직선은 상기 카세트 장착영역(A), 척킹영역(B) 및 세정영역(C)을 통과하는 직선에 대하여 실질상 수직으로 연장되는 것이 중요하다. 좀더 자세하게는 평면도에서 절단영역(D)의 중심(d)과 척킹영역(B)의 중심(b)을 통과하는 직선(L2)은 상기 직선(L1)에 대하여 수직인 것이 중요하다. 설명의 편의상, 본 명세서에 있어서, 상기 직선(L2)의 연장방향을 X축 방향, 상기직선(L1)의 연장방향을 Y축 방향, 연직방향을 Z축 방향으로 칭한다.

도 1과 함께 도 2를 참조하여 설명하면, 카세트 장착영역(A)에는 카세트지지수단(10)이 배열설치되어 있다. 그 자체는 주지의 형태인 카세트지지수단(10)은 하우징(2)의 침강부(6)의 상벽(12)에 형성되어 있는 개구(開口)(14)를 통하여 승강(昇降)이동하도록 하는 승강대(16)를 구비하고 있다. 도 2에 도시한 것과 같이, 하우징(2) 내에는 실질상 연직으로 연장되는 2개의 안내레일(18)이 고정되어 있고, 승강대(昇降臺)(16)에는 피안내(被案內)홈(도시하지 않음)이 형성되어 있고, 승강대(16)의 피안내홈을 안내레일(18)에 미끄러져 이동하도록 맞물려있어서 승강대(16)가 안내레일(18)을 따라 승강할 수 있도록 장착되어 있다. 하우징(2) 내에는, 실질상 연직으로 연장되는 수나사축(19)이 회전가능하게 장착되어 있고, 승강대(16)에는 수나사축(19)에 나사결합되는 암나사부재(도시하지 않음)가 고정되어 있다. 수나사축(19)에는 전동모터(20)가 연결되어 있어, 전동모터(20)에 의해 수나사축(19)을 정방향 및 역방향으로 회전시킴으로써 승강대(16)가 승강된다.

상기 카세트지지수단(10)의 승강대(16)에는 복수의 피가공물(22)을 수용하는 카세트(24)가 놓인다. 도시된 실시형태에서 피가공물(22)은 도 3에 도시한 것과 같이, 중앙에 장착개구(裝着開口)가 형성되어 있는 프레임(26)에 장착테이프(28)를 매개로 장착되어 있는 반도체웨이퍼(30)이다. 반도체웨이퍼(30)의 표면에는 격자모양으로 배열된 절단라인 즉 스트리트(32)가 형성되어 있고, 스트리트(32)에 의해 구획된 사각형영역의 각각은 전자회로가 형성되어 있는 칩을 구성하고 있다. 상기 카세트(24)는 한 쌍의 측벽(34)을 포함하고, 이 측벽(34)의 내면에는 상하방향으로 소정간격을 두고 수평하게 연장하는 복수개의 수납홈(36)이 형성되어 있다. 피가공물(22)은 프레임(26)의 양측 가장자리를 한쌍의 측벽(34)에 쌍을 이루는 수납홈(36)에 삽입됨으로써, 상하방향으로 소정간격을 두고 실질상 수평으로 연장하는 형태로 수납된다(도 1 및 도 2에 있어서는 도면의 간략화를 위해 1매의 피가공물(22)만을 도시하고 있다). 승강대(16)의 승강에 의해, 카세트(24)의 수납홈(36)의 각 쌍이 소정 높이로 위치되고, 나중에 다시 언급하는 것과 같이, 소정 높이에 위치되어 있는 수납홈(36)의 각 쌍에서 절단하려는 피가공물(22)이 반출되고, 또 절단되고, 세정된 피가공물(22)이 소정 높이에 위치되어 있는 한 쌍의 수납홈(36)에 반입된다.

도 1에 명확하게 도시한 것과 같이, 하우징(2)의 일측 절반부의 상벽(38)에는 상기 척킹영역(B) 및 상기 세정영역(C)에 대응되고 비교적 큰 원형개구(開口)(40, 42)가 형성되고, 또 카세트 장착영역(A)에서 원형개구(40)까지 Y축 방향으로 연장한 좁고 긴 개구(44), 및 원형개구(40)에서 원형개구(42)까지 Y축 방향으로 연장한 좁고 긴 개구(46)가 형성되어 있다. 척킹영역(B)과 관련되고, 따라서 원형개구(40)와 관련되어, 상벽(38) 위에는 임시지지수단(48)이 배열설치되어 있다. 이 임시지지수단(48)은 X축 방향으로 간격을 두고 배열설치된 한 쌍의 지지부재(50)를 포함하고 있다. 한 쌍의 지지부재(50)는 X축방향으로 이동가능하게 장착되어 있고, 도 1에 실선으로 표시한 비작용위치와 이점쇄선으로 표시한 작용위치에 선택적으로 위치하게 된다. 나중에 다시 언급하는 바와 같이, 한 쌍의 지지부재(50)가 작용위치에 위치되어 있는 때에는 카세트(24)에서 반출된 피가공물(22)이 한 쌍의 지지부재(50)에 걸쳐져 실리고(다시 말하면 피가공물(22)에 있어서 프레임(26)의 양측 가장자리가 한 쌍의 지지부재(50)에 지지되고), 한 쌍의 지지부재(50)가 비작용위치로 이동되어 상호 이격(離隔)되면 한 쌍의 지지부재(50) 사이 및 원형개구(40)를 통하여 피가공부(22)를 승강시킬 수 있게 된다.

도 1과 함께 도 2를 참조하여 설명을 계속하면, 하우징(2) 내에는 척킹영역(B)과 절단영역(D) 사이를 X축 방향으로 실질상 수평하게 이동가능한 척테이블(52)이 배열설치되어 있다. 상술하면, 하우징(2) 내에는 실질상 수평하게 연장한 정지지지베이스(54)가 배열설치되어 있고, 상기 지지베이스(54) 위에는 X축 방향으로 간격을 두고 한 쌍의 지지블럭(56)(그 일방만을 도 2에 도시하고 있다)이 고정되어 있다. 한 쌍의 지지블럭(56) 사이에는 Y축방향으로 간격을 두고 X축 방향으로 연장한 한 쌍의 안내레일(58)이 고정되어 있다. 한 쌍의 안내레일(58)에는 슬라이드블럭(60)이 장착되어 있다. 슬라이드블럭(60)의 하면(下面)에는 X축 방향으로 연장한 한 쌍의 피안내홈(도시하지 않음)이 형성되어 있고, 상기 한 쌍의 피안내홈을 한 쌍의 안내레일(58)에 맞물리도록 함으로써, 슬라이드블럭(60)은 안내레일(58)을 따라 X축 방향으로 이동가능하게 장착되어 있다. 한 쌍의 지지블럭(56)사이에는, 또한 X축 방향으로 연장한 수나사축(64)이 회전 가능하게 장착되어 있다. 한편, 슬라이드블럭(60)의 하면에는 암나사부재(도시하지 않음)가 고정되어 있고, 상기 암나사부재가 수나사축(64)에 나사결합 되어져 있다. 수나사축(64)에는 전동모터(도시하지 않음)가 연결되어 있고, 전동모터의 정방향 또는 역방향으로 회전시킴으로써 슬라이드블럭(60)이 안내레일(58)을 따라 X축방향으로 이동된다. 슬라이드블럭(60)에는 원통상 지지부재(66)가 고정되어 있고, 지지부재(66)에는 척부재(68)가 실질상 연직으로 연장한 중심축선을 중심으로 회전가능하게 장착되어 있다. 지지부재(66) 내에는 척부재(68)를 회전시키기 위한 전동모터로서 바람직한 회전구동원(도시하지 않음)이 배열설치되어 있다. 원판형상인 척부재(68)는 다공성 세라믹과 같은 다공성재료로 형성되어 있다. 척부재(68)에는 X축방향으로 돌출되어 있는 한 쌍의 파지기구(70)가 부설되어 있다. 상기 파지기구(70)의 각각은 가동파지편(movable grip piece)(72)을 포함하고 있고, 가동파지편(72)은 에어 액츄에이터(air actuator)와 같은 작동수단(도시하지 않음)에 의해 도 2에 도시한 비파지위치(non-gripping position)와 상기 비파지위치에서 내측으로 선회된 파지위치(gripping position)에 선택적으로 위치된다. 척테이블(52)이 도 2에 도시한 것과 같이 척킹영역(B)에 위치되어 있는 때, 척부재(68)는 하우징(2)의 상벽(38)에 형성되어 있는 상기 개구(40)와 정합(整合)하여 위치한다. 상기 슬라이드블럭(60)에는 슬라이드블럭(60)의 이동에 상응하여 도 2에서 실선으로 표시한 상태와 이점쇄선으로 표시한 상태 사이를 적절히 변형시키는 중공보호닥트(hollow protective duck)(74)가 설치되어 있다. 다공성 재료로 형성되어 있는 척부재(68)는 지지부지(66), 슬라이드블럭(60) 및 중공보호닥트(74) 내에 배열설치되어 있는 흡인로(도시하지 않음)를 통하여 적당한 흡인원(도시하지 않음)에 선택적으로 연통된다. 상기 파지기구(70)의 가동파지편(72)을 이동시키는 작동수단을 위한 전기배선도, 지지부재(66), 슬라이드블럭(60) 및 중공보호닥트(74)까지 연장되어져 있다.

상기 세정영역(C)에는 세정수단(76)이 배열설치되어 있다. 도 2에 명확하게 도시된 것과 같이, 그 자체는 주지의 형태로 좋은 세정수단(76)은 상기 지지베이스(54)상에 고정된 원통형상의 격벽(78)과 그 격벽(78)내에 회전가능하게 배열설치되어 있는 척킹기구(80)를 포함하고 있다. 척킹기구(80)는 도 2에서 도시한 상승위치와 이러한 상승위치에서 소정량만큼 하강시킨 하강위치 사이를 승강이동시키는 승강대(82)를 포함하고 있다. 이 승강대(82)의 상단(上端)에는 원판형상인 척부재(84)가 고정되어 있다. 척부재(84)는 다공성 세라믹과 같은 다공성 재료로 구성되어 있고, 승강대(82) 내에 배열설치되어 있는 흡인로(吸引路)(도시하지 않음)를 통하여 적당한 흡인원(吸引源)(도시하지 않음)에 선택적으로 연통된다. 승강대(82)에는 척부재(84)의 주변에 배열설치된 4개의 파지기구(86)도 배열설치되어 있다. 파지기구(86)의 각각은 가동파지편(88)을 포함하고, 가동파지편(88)은 전자 솔레노이드와 같은 작동수단(도시하지 않음)에 의해 도 2에 도시한 비파지위치와 이러한 비파지위치에서 내측으로 선회된 파지위치에 선택적으로 위치된다. 또한 세정수단(76)은 순수(純水)이어도 되는 세정액체를 분사하기 위한 분사노즐(90)을 포함한다. 그 분사노즐(90)은 지지베이스(54)에서 상방으로 실질상 연직으로 연장되는 기부(基部)에서 대략 U자 형상으로 연장하는 만곡부(彎曲部)를 포함한다. 나중에 다시 언급하는 것과 같이, 세정의 경우에는 분사노즐(90)의 선단에서 척부재(84) 상에 흡착되어 있는 피가공물(22)로 향하여 세정액이 분사된다. 이 때 분사노즐(90)을 그 기부의 중심축선을 중심으로 적당히 왕복선회운동할 수 있다. 세정수단(76)의 척부재(84)는, 하우징(2)의 상벽(38)에 형성되어 있는 상기 개구(42)(도 1)와 정합하여 위치된다.

주로 도 2를 참조하여 설명하면, 상기 지지베이스(54) 위에는 Y축방향으로 연장되는 직립(直立) 지지기판(92)이 고정되어 있다. 상기 지지기판(92)의 중앙부에는 척테이블(52)을 받아 넣기 위한 비교적 큰 절개홈(93)이 형성되어 있다. 지지기판(92)에는 한 쌍의 절단수단, 즉 제 1 절단수단(94a)과 제 2 절단수단(94b)가 장착되어 있다. 좀더 자세하게 설명하면, 지지기판(92)의 내면에는 상하방향으로 간격을 두고 Y축방향으로 연장하는 한 쌍의 안내레일(96)이 배열설치되어 있다. 제 1 절단수단(94a)의 슬라이드블럭(98a)과 제 2 절단수단(94b)의 슬라이드블럭(98b)의 외면에는 Y축방향으로 연장하는 한 쌍의 피안내홈(도시하지 않음)이 형성되어 있고, 이러한 한 쌍의 피안내홈을 한 쌍의 안내레일(96)에 결합시킴으로써, 슬라이드블럭(98a)과 슬라이드블럭(98b)이 한 쌍의 안내레일(96)에 Y축방향으로 슬라이드될 수 있게 장착된다. 지지기판(92)의 전면에는 또한 Y축방향으로 연장하는 수나사축(100a, 100b)이 베어링부재(102a, 102b)를 매개로 회전가능하게 장착되어 있다. 수나사축(100a, 100b)은 일직선 상에 배치되어 있다. 한편, 슬라이드블럭(98a, 98b)의 후면에는 암나사부재(도시하지 않음)가 고정되어 있고, 이 암나사부재가 수나사축(100a, 100b)에 나사결합된다. 수나사축(100a, 100b)에는 전기모터(104a,104b)가 접속되어 있고, 전기모터(104a, 104b)에 의해 수나사축(100a, 100b)을 회전시키면, 슬라이드블럭(98a, 98b)이 한 쌍의 안내레일(96)을 따라 Y축방향으로 이동된다. 슬라이드블럭(98a, 98b)의 각각의 전면에는 Y축방향으로 간격을 두고 실질상 연직으로 즉 Z축방향으로 연장하는 한 쌍의 안내레일(106a, 106b)이 배열설치되어 있다. 승강블럭(108a, 108b)의 외면에는 Z축방향으로 연장한 한 쌍의 피안내홈이 형성되어 있고, 이러한 한 쌍의 피안내홈을 한 쌍의 안내레일(106a, 106b)에 결합시킴으로써, 승강블럭(108a, 108b)이 슬라이드블럭(98a, 98b)에 Z축방향으로 승강가능하도록 장착되어 있다. 슬라이드블럭(98a, 98b)에는 또한 Z축방향으로 연장된 수나사축(112a, 112b)이 회전가능하게 장착되어 있다. 한편 승강블럭(108a, 108b)의 후면에는 암나사부재(도시하지 않음)가 고정되어 있고, 상기 암나사부재가 수나사축(112a, 112b)에 나사결합되어 있다. 수나사축(112a, 112b)에는 전동모터(114a, 114b)가 접속되어 있어, 전동모터(114a, 114b)에 의해 수나사축(112a, 112b)을 회전시키면, 승강블록(108a, 108b)이 한 쌍의 안내레일(110a, 110b)을 따라 승강운동된다.

승강블럭(108a, 108b)의 각각에는 연결블라켓(116a, 116b)을 통하여 절단유니트(118a, 118b)가 장착되어 있다. 절단유니트(118a, 118b)의 각각은 대략 직육면체 형상의 케이스(120a, 120b)를 포함한다. 케이스(120a, 120b)에는 Y축 방향으로 연장된 회전축(케이스(120b)에 장착된 회전축(122b)만을 도 2에 도시하고 있다)이 회전가능하게 장착되어 있다. 이러한 회전축은 종렬(tandem) 배치되어 있다. 회전축의 내측단부, 즉 상호 마주보는 단부에는 절단블레이드(회전축(122b)에 고정되어있는 절단블레이드(124b)만을 도 2에 도시하고 있다)가 고정되어 있다. 절단블레이드는 다이아몬드 숫돌입자를 포함하는 얇은 원판으로 구성되는 것이 가능하다. 회전축(122a, 122b)의 외측단에는 전동모터(126a, 126b)가 접속되어 있다. 케이스(120a, 120b)에는 또한 현미경을 포함한 촬상수단(128a, 128b)도 부설되어 있다.

도 1을 참조하여 설명을 계속하면, 도시한 다이서에는 또한 제 1 반송수단(132), 제 2 반송수단(134) 및 제 3 반송수단(136)도 배열설치되어 있다. 제 1 반송수단(132)에 대하여 설명하면, 상기 지지베이스(54) 상에는 Y축방향으로 연장한 안내레일(도시하지 않음)이 고정되고, 또한 Y축방향으로 연장된 수나사축(140)이 회전가능하게 장착되어 있다. 수나사축(140)의 한쪽 끝에는 전동모터(144)가 접속되어 있다. 제 1 반송수단(132)은 슬라이드암(slide arm)(146)을 포함하고 있다. 상기 슬라이드암(146)에는 Y축방향으로 연장된 피안내홈(도시하지않음)과 Y축방향으로 연장된 암나사구멍이 형성되어 있다. 피안내홈을 상기 안내레일에 맞물리게 하고, 암나사구멍을 수나사축(140)에 나사결합시킴으로써, 슬라이드암(146)이 Y축방향으로 슬라이드 가능하게 장작된다. 전동모터(144)에 의해 수나사축(140)을 회전시켜, 슬라이드암(146)이 Y축방향으로 왕복슬라이드 된다. 슬라이드암(146)의 선단에는 파지수단(148)이 장착되어 있다. 이 파지수단(148)은 피가공물(22)에서의 프레임(26)의 한 가장자리부를 선택적으로 파지하기 위한 한 쌍의 파지편을 갖는다.

제 2 반송수단(134)은 슬라이드암(152)을 포함하고 있다. 하우징(2)에 있는돌출부(8)의 일측벽(153)에는 Y축방향으로 좁고 길게 연장된 슬롯(155)이 형성되어 있고, 슬라이드암(152)은 이러한 슬롯(155)을 통하여 연결되어 있다. 돌출부(8) 내에 있어서, 슬라이드암(152)의 기부는 제 1 반송수단(132)의 슬라이드암(146)에 관한 장착 및 구동수단과 동일한 장착 및 구동수단(도면의 복잡화를 피하기 위해 도시를 생략한다)에 의해, Y축방향으로 슬라이드 가능하게 장착되고 전동모터의 정방향 및 역방향으로 회전됨으로써 Y축방향으로 왕복 슬라이드된다. 슬라이드암(152)의 선단부 하면에는 지지부재(154)가 고정되어 있고, 그 지지부재(154)에는 승강부재(156)가 장착되어 있다. 지지부재(154)와 승강부재(156)의 사이에는 공기압실린더기구인 승강이동수단(도시하지 않음)이 개재(介在)되어 있고, 이러한 승강이동수단에 의해 승강부재(156)가 승강이동한다. 승강부재(156)의 하단에는 X축방향으로 연장된 연결부재(158)가 고정되고, 연결부재(158)의 양단에는 Y축방향으로 연장되는 판상부재(160)가 고정되고, 판상부재(160)의 각각의 양단 하면에는 흡착기(162)가 장착되어 있다. 흡착기(162)의 각각은 적당한 흡인로(도시하지 않음)를 매개로 흡인원(도시하지 않음)에 선택적으로 연통된다.

제 3 반송수단(136)은 지지암(support arm)(164)을 포함하고, 이 지지암(164)은 실질상 연직으로 연장한 연직부(166)와 그 연직부(166)의 상단에서 실질상 수평하게 연장한 수평부(168)를 포함한다. 상기 지지베이스(54)에는 Y축방향으로 연장된 좁고 긴 슬롯(167)이 형성되어 있고, 지지암(164)의 연직부(166)는 슬롯(167)을 통하여 하방으로 연장된다. 하우징(2)의 하부에는 슬라이드블럭(도면의 간략화를 위하여 도시를 생략한다)이 배열설치되어 있고, 지지암(164)의연직부(166)의 하단부는 슬라이드블럭에 승강가능하게 장착되고, 또한 지지암(164)을 승강하도록 하기위한 승강이동수단(도시하지 않음)이 배열설치되어 있다. 지지암(164)의 연직부(166)의 장착양식은 안내레일과 그것을 결합하는 피안내홈을 포함하는 형태가 바람직하고, 지지암(164)의 승강이동수단은 수나사축과 그것을 나사결합하는 암나사부재를 포함하는 형태가 바람직하다. 지지암(164)의 연직부(166)가 장착되는 슬라이드블럭 자체는 Y축방향으로 이동 가능하게 장착되고, 그리고 슬라이드블럭을 Y축방향으로 슬라이드되도록 하는 슬라이드수단도 배열설치되어 있다. 슬라이드블럭의 장착양식은 안내레일과 그것에 결합되게 하는 피안내홈을 포함하는 형태가 바람직하고, 슬라이드블럭의 슬라이드수단은 수나사축과 그것에 나사결합된 암나사부재를 포함하는 형태가 바람직하다. 상기와 같이 지지암(164)은 Y축방향으로 슬라이드 됨과 동시에 연직방향 즉 Z축방향으로 승강된다. 지지암(164)의 선단에는 Y축방향으로 연장된 돌출편(169)이 형성되어 있고, 그 돌출편(169)의 양단 하면에는 흡착기(170)가 장착되어 있다. 흡착기(170)의 각각은 적당한 흡인로(도시하지 않음)를 매개로 흡인원(도시하지 않음)에 선택적으로 연통된다.

상술한 것과 같이 다이서의 작용을 요약하여 설명하면, 다음과 같다. 카세트지지수단(10)의 승강대(16)가 소요높이로 상승(또는 하강)되고, 승강대(16)에 놓여있는 카세트(24) 내에 수용되어 있는 복수개의 피가공물(22)의 특정의 한 개가 소정높이에 위치된다. 이러한 상태에서, 제 1 반송수단(132)이 도 1에 이점쇄선(132A)으로 표시한 위치까지 이동되고, 그리고 제 1 반송수단(132)의 파지수단(148)이 작동되어, 카세트(24) 내의 상기 특정의 1매의 피가공물(22)에 있는프레임(26)의 한 가장자리부를 파지한다. 다음으로, 제 1 반송수단(132)은 도 1에 이점쇄선(132B)으로 표시한 위치까지 이동된다. 이것에 의해, 파지수단(148)에 파지되어 있는 피가공물(22)은 카세트 장착영역(A)에서 척킹영역(B)까지, 도 1에 이점쇄선으로 표시한 작용위치에 위치되어 있는 임시지지수단(48)의 한 쌍의 지지부재(50) 상으로 이동된다. 그리고, 척킹영역(B)에서 임시지지수단(48) 위에 피가공물(22)이 위치된다. 다음으로, 제 1 반송수단(132)의 파지수단(148)이 피가공물(22)에서 이탈되어, 제 1 반송수단(132)은 실선으로 표시한 대기위치로 이동된다. 이 경우, 제 2 반송수단(134)이 척킹영역(B)까지 Y축방향으로 이동되고, 그리고 척킹영역(B)에서 흡인기(162)가 하강되어 피가공물(22)의 프레임(26)에 밀착된다. 다음에, 흡인기(162)가 흡인원에 연통되어 흡인기(162)에 피가공물(22)이 흡착된다. 그런 후에 임시지지수단(48)의 한 쌍의 지지부재(50)가 실선으로 표시한 비작용위치로 이동되고, 피가공물(22)의 하방에서 후퇴된다. 다음에, 제 2 반송수단(134)의 흡인기(162)가 하강되고, 흡인기(162)에 흡착되어 있는 피가공물(22)이 척테이블(52)의 척부재(68) 위에 위치된다. 그리고, 척부재(68)가 흡인원에 연통되어, 이것에 의해 척부재(68) 위에 피가공물(22)에 있는 반도체웨이퍼(30)가 흡착된다. 또, 척부재(68)에 부설되어 있는 한 쌍의 파지기구(70)의 가동파지편(72)이 파지위치에 있고 프레임(26)을 파지한다. 제 2 반송수단(134)의 흡착기(162)는, 흡인원에서 떨어져 피가공물(22)을 분리시킨 후에 상승된다.

다음으로, 척테이블(52)이 도 2에 이점쇄선(52A)으로 표시한 위치까지 이동된다. 절단유니트(118a, 118b)는 부설되어 있는 촬상수단(128a, 128b)인 현미경이척부재(68) 위의 반도체 웨이퍼(30)의 표면으로 향한 위치에 위치되고, 반도체웨이퍼(30)의 표면의 상(像)이 촬상되고, 이것을 기초로 제 1 절단수단(94a)의 절단블레이드(도시하지 않음) 및 제 2 절단수단(94b)의 절단블레이드(124b)에 대하여 척부재(68) 위의 반도체웨이퍼(30)가 충분히 정밀하게 위치맞춰진다. 이러한 위치맞춤의 경우 척부재(68)가 필요에 따라 X축방향으로 이동되고, 또한 중심축선을 중심으로 하여 회전된다. 그 후 척테이블(52)이 절단영역(D)으로 이동되고, 척부재(68) 상의 흡착되어 있는 반도체웨이퍼(30)의 다이싱이 수행된다. 이러한 다이싱의 경우 척부재(68)는 X축방향으로 이동되고, 제 1 절단수단(94a)의 절단블레이드와 제 2 절단수단(94b)의 절단블레이드(124b)가 동시에 또는 약간의 시간차를 두고 반도체웨이퍼(30)에 작용하여 X축방향으로 연장하는 스트리트(32)를 따라 절단한다. 제 1 절단수단(94a)의 절단유니트(118a) 및 제 2 절단수단(94b)의 절단유니트(118b)는 소요높이로 위치되고 동시에 Y축방향으로 주기적으로 분리 이동된다. X축방향으로 연장한 스트리트(32)를 따라 절단이 종료되면, 척부재(68)가 90도 각도 회전되고, 새롭게 Y축방향으로 연장한 상태에 위치된 스트리트(32)를 따라 절단이 개시된다. 그리고 척부재(68) 위의 반도체웨이퍼(30)가 격자상으로 배열된 스트리트(32)를 따라 절단된다. 프레임(26)과 반도체웨이퍼(30) 사이에 끼워져 있는 장착테이프(28)가 절단되지 않고, 따라서 반도체웨이퍼(30)의 절단 후에도 프레임(26), 장착테이프(28) 및 다이스된 반도체웨이퍼(30)는 일체로 유지된다.

다음으로, 척테이블(52)이 척킹영역(B)으로 되돌아온다. 이와 동시에 또는 그 후에, 도 1에 도시한 대기위치에 위치되어 있는 제 3 반송수단(136)이척킹영역(B)까지 Y축방향으로 이동되고, 다음에 약간 하강되고, 그 흡착기(170)가 피가공물(22)의 프레임(26)에 밀착된다. 그리고, 흡착기(170)가 흡인원에 연통되어 피가공물(22)이 흡착기(170)에 흡착됨과 동시에, 척부재(68)가 흡인원에서 잘라낸 척부재(68) 위에 반도체웨이퍼(30)의 흡착이 해제된다. 또, 척부재(68)에 부설되어 있는 한 쌍의 파지기구(70)의 가동파지편(72)이 비파지위치로 되돌아와 프레임(26)의 파지가 해제된다. 그런 후에 제 3 반송수단(136)이 약간 상승하고 다음에 세정영역(C)까지 제 1 반송수단(132)의 하방을 Y축방향으로 이동된다. 다음에 제 3 반송수단(136)이 하강되고 흡착기(170)에 흡착되어 있는 피가공물(22)이 세정수단(76)에 있는 척부재(84) 위에 놓인다. 그리고, 척부재(84)가 흡인원에 연통되어 피가공물(22)이 척부재(84) 위에 흡착됨과 동시에 제 3 반송수단(136)의 흡착기(170)가 흡인원에서 분리되고, 피가공물(22)이 흡착기(170)에서 이탈된다. 그 후에 제 3 반송수단(136)은 약간 상승되고, 다음으로 대기위치까지 Y축방향으로 이동된다. 한편, 세정영역(C)에 있어서는, 피가공물(22)을 흡착한 척부재(84)가 흡인원에 연통되어 척부재(84) 상에 반도체웨이퍼(30)가 흡착된다. 또 척부재(84)에 부설되어 있는 파지기구(86)의 가동파지편(88)이 파지위치에 있어 프레임(26)이 파지된다. 다음으로 피가공물(22)을 흡착한 척부재(84)가 소용위치까지 하강된다. 그리고, 분사노즐(90)이 왕복선회이동됨과 동시에 분사노즐(90)에서 피가공물(22)을 향하여 순수(純水)이어도 되는 세정액이 분사되고, 또한 척부재(84)가 600 r.p.m 정도의 속도로 회전되고 절단에 의해 생성된 절단 부스러기가 부착되어 있는 피가공물(22)이 세정된다. 다음으로 분사노즐(90)에서의 세정액 분사가 정지되고,척부재(84)를 3000 r.p.m 정도의 속도로 회전하여 피가공물(22)을 스핀건조시킨다.

세정이 종료되면, 척부재(84)가 도 2에 도시한 위치까지 상승한다. 그리고 척부재(84)가 흡인원에서 떨어져 반도체웨이퍼(30)의 흡착이 해제되고, 또한 파지기구(86)의 가동파지편(88)이 비파지위치에 되돌아와 프레임(26)의 파지가 해제되고, 척부재(84)에의 피가공물(22)의 보지(保持)가 해제된다. 이 경우, 제 2 반송수단(134)이 세정영역(C)까지 Y축방향으로 이동되고, 다음에 제 2 반송수단(134)의 흡착기(162)가 하강되어 피가공물(22)에 있는 프레임(26)에 밀착된다. 다음에 흡착기(162)가 흡인원에 연통되고, 흡착기(162)에 피가공물(22)이 흡착된다. 그 후에 제 2 반송수단(134)의 흡착기(162)는 소요높이까지 상승되고, 그리고 Y축방향으로 척킹영역(B)까지 이동된다. 다음에 제 2 반송수단(134)의 흡착기(162)가 하강되고, 도 1에 이점쇄선으로 표시한 작용위치에 위치되어 있는 임시지지수단(48)의 한 쌍의 지지부재(50) 위에 걸쳐 놓인다. 그런 후 흡착기(162)가 흡인원에서 분리되고, 흡착기(162)에서 피가공물(22)이 이탈된다. 다음에 흡착기(162)가 상승된다.

상술한 것과 같이 절단되고, 세정된 피가공물(22)이 임시지지수단(48) 위에 놓이면, 제 1 반송수단(132)이 도 1에 실선으로 표시된 대기위치에서 도 1에 이점쇄선(132B)로 표시한 위치까지 이동되고, 제 1 반송수단(132)의 파지수단(150)이 작동되고, 임시지지수단(48) 상의 피가공물(22)에 있는 프레임(26)의 한 가장자리부를 파지한다. 다음에 제 1 반송수단(132)이 도 1에 이점쇄선(132A)으로 표시된 위치까지 이동된다. 이것에 의해 피가공물(22)은 카세트(24) 내에 삽입된다. 그런 후에 제 1 반송수단(132)의 파지수단(150)이 피가공물(22)에서 이탈되고, 제 1 반송수단(132)은 실선으로 표시한 대기위치로 되돌아온다.

카세트(24) 내에 수용되어 있는 다음에 절단할 피가공물(22)을, 먼저 피가공물(22)이 세정영역(C)에서 세정되고 있는 사이에 카세트(24)에서 임시지지수단(48) 위에 반출되고, 다음에 척테이블(52)에 척으로 고정하고, 그리고 척테이블(52)과 함께 소요 위치에 맞춰진 후에 절단영역(D)에 반송되고, 제 1 절단수단(94a) 및 제 2 절단수단(94b)에 의해 절단을 개시할 수 있다.

상술한 것과 같은 다이서에 있어서, 카세트 장착영역(A), 척킹영역(B), 세정영역(C) 및 절단영역(D)과 함께, 절단영역(D)에서 피가공물(22)을 절단하기 위한 제 1 절단수단(94a) 및 제 2 절단수단(94b)이 바람직하게 배열설치되어 있고, 다이서 전체가 콤팩트하게 구성되어 있는 것이 주목할 만하다. 특히, 상기 일본 특개평 11-26402호 공보 및 특개평 11-74228호 공보에 개시되어 있는 다이서와 비교하면, 국부적으로 돌출되어 있는 부분이 존재하지 않는 것, 소위 대기영역을 배치할 필요가 없고, 이 점에서도 콤팩트화가 실현되어 있는 것이 주목할 만하다. 또한, 절단된 후에 세정되기 전의 피가공물, 따라서 절단부스러기가 부착되어 있는 피가공물의 반송에는 제 3 반송수단(136)만이 사용되고, 한편 절단되기 전 및 세정된 후의 피가공물, 따라서 절단부스러기가 부착되지 않은 피가공물의 반송에는 제 3 반송수단(136)이 사용되지 않고 제 1 반송수단(132) 및 제 2 반송수단(134)이 사용되고, 이것으로 인하여 반송수단을 통하여 절단부스러기가 절단 전 및 세정 후의 피가공물에 이송되지 않는 것도 주목할 만하다.

이상에서 첨부도면을 참조하여, 본 발명에 따라 구성된 절단기의 바람직한 실시형태인 특정의 다이서에 대하여 상술하였지만, 본 발명은 이러한 다이서에 한정되는 것이 아니라 본 발명의 범위에서 일탈하지 않는 각각의 변형 내지 수정이 가능하다.

Claims

복수개의 피가공물을 수용한 카세트를 지지하기 위하여 카세트 장착영역에 배열설치된 카세트지지수단과, 척킹영역과 절단영역 사이를 실질적으로 수평방향으로 이동할 수 있게 배열설치된 척테이블과, 세정영역에 배열설치된 세정수단과, 상기 절단영역에 위치하는 상기 척테이블 위에 척으로 고정되어 있는 피가공물을 절단하기 위한 절단수단과, 피가공물 반송수단을 구비하는 절단기(cutting machine)에 있어서,

상기 카세트 장착영역과 상기 척킹영역과 상기 세정영역은 평면도에서 일정방향으로 연장되는 제 1 직선 상에 이 순서대로 배치되어 있고, 상기 척킹영역과 상기 절단영역은 평면도에서 상기 제 1 직선에 대하여 실질적으로 수직으로 연장되는 제 2 직선 상에 배치되어 있고,

상기 카세트에 수용되어 있는 피가공물이 상기 피가공물 반송수단에 의해 상기 카세트로부터 상기 척킹영역으로 반출되고, 상기 척킹영역에서 상기 척테이블 위에 척으로 고정되고, 상기 척테이블과 함께 상기 절단영역으로 이송되고, 상기 절단영역에서 상기 절단수단에 의해 절단되고, 이어서 상기 척테이블과 함께 상기 척킹영역으로 되돌아오고, 피가공물 반송수단에 의해 상기 척테이블 위에서부터 상기 세정수단으로 반송되고, 상기 세정수단에 의해 세정되고, 그 후에 상기 피가공물 반송수단에 의해 상기 세정수단으로부터 상기 척킹영역으로 반송되고, 그리고 상기 피가공물 반송수단에 의해 상기 카세트로 반입되는 것을 특징으로 하는 절단기.
제 1 항에 있어서,

상기 척킹영역에는 피가공물을 임시로 지지하기 위한 임시지지수단이 배치되어 있고,

상기 카세트로부터 반출된 절단하려고 하는 피가공물은 최초로 상기 임시지지수단 위에 지지되고, 그 다음에 상기 임시지지수단 위에서부터 상기 척테이블 위로 반송되게 하고,

절단되고 세정된 피가공물은 상기 세정수단으로부터 상기 임시지지수단 위로 반송되고, 그 다음에 상기 카세트로 반입되는 것을 특징으로 하는 절단기.
제 2 항에 있어서,

상기 임시지지수단은 상기 척킹영역에 위치되어 있는 상기 척테이블의 상방에 배치된 한 쌍의 지지부재로 구성되어 있고, 상기 한 쌍의 지지부재는 서로 일정 간격을 두고 위치하여 양자간에 걸쳐서 피가공물이 지지되는 작용위치와, 상기 작용위치로부터 서로 이격되는 방향으로 이동시켜서 양자간을 통하여 피가공물을 하강시키는 것을 허용하는 비작용위치와의 사이를 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 절단기.
제 2 항에 있어서,

상기 피가공물 반송수단은 제 1 반송수단, 제 2 반송수단 및 제 3 반송수단을 포함하고,

상기 제 1 반송수단은 절단하려고 하는 피가공물을 상기 카세트로부터 상기 임시지지수단 위로 반출하고, 그리고 절단되고, 세정된 후에 상기 임시지지수단 위로 반송된 피가공물을 상기 임시지지수단 위로부터 상기 카세트로 반입하고,

상기 제 2 반송수단은 상기 카세트로부터 반출되어 상기 임시지지수단 위에 지지된 절단하려고 하는 피가공물을 상기 임시지지수단 위로부터 상기 척테이블 위로 반송하고, 그리고 절단되고, 세정된 피가공물을 상기 세정수단으로부터 상기 임시지지수단 위로 반송하고,

상기 제 3 반송수단은 절단된 후에 상기 척테이블과 함께 상기 척킹영역으로 되돌아온 피가공물을 상기 척테이블 위로부터 상기 세정수단으로 반송하는 것을 특징으로 하는 절단기.
제 1 항에 있어서,

상기 피가공물은 반도체웨이퍼이고, 상기 절단수단은 반도체웨이퍼를 다이스하는 것을 특징으로 하는 절단기.
제 5 항에 있어서,

상기 절단수단은 회전축 및 상기 회전축에 장착된 절단블레이드를 구비하고, 상기 회전축은 상기 제 1 직선에 평행하게 연장되는 것을 특징으로 하는 절단기.
제 5 항에 있어서,

상기 절단수단은 제 1 절단수단 및 제 2 절단수단을 포함하고, 상기 제 1 절단수단 및 상기 제 2 절단수단 각각은 회전축 및 그 회전축에 장착된 절단블레이드를 구비하고, 상기 회전축은 종렬배치되고 동시에 제 1 직선에 평행하게 연장되고, 상기 절단블레이드는 상기 회전축의 서로 대면하는 단부에 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 절단기.