KR20010078142A - 건조장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 박판형의 워크(10; work)의 건조 공정에 있어서, 워크(10)가 물결치거나 굴곡되는 것을 방지하고, 워크(10)의 평탄도를 포함하는 정밀도를 양호하게 유지할 수 있는 동시에, 복수의 워크(10)를 조밀하게 반송하여 효율 좋게 건조할 수 있는 건조장치를 제공하는 것이다.

행거(14)가, 매달릴 때에 수평인 상변(14b)과 연직인 좌우의 2변(14c, 14d)을 포함하는 적어도 3변측으로부터 워크(10)를 보유하도록 프레임 형상으로 설치되고, 3변측의 각 변(14b, 14c, 14d)에는 워크(10)를 끼워 보유하는 클립(15)이 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

Description

건조장치{Dryer}

본 발명은 건조장치에 관한 것이다.

종래의 건조장치로서는, 도 11에 도시하는 바와 같이, 체인 등으로 구성된, 무한궤도(60)에, 워크를 보유하기 위한 부재인 워크받이 프레임(62)이 다수 고정된 것이, 실용화되어 있다. 상면을 통과하는 워크받이 프레임(62) 사이에 워크(64)가 보유되고, 그 워크(64)가, 건조실(66)내에서 열풍에 노출된 상태에서 반송됨으로써건조된다.

그러나, 상기 워크받이 프레임(62)은, 지지를 위해 접촉할 수 있는 면적이 작게 제한되는 워크, 예를 들면, 반도체 장치용 등의 기판에는 적절하지 않다. 또한, 워크가 반도체 장치용 등의 기판으로, 박판형의 가요성이 큰 경우에는, 워크가 굴곡하기 쉽기 때문에, 워크받이 프레임(62)과 같이 워크(64; work)를 하방으로부터 받드는 것으로써 지지하여 보유하는 것은 기본적으로 어렵다.

또한, 워크받이 프레임(62)에 보유된 워크(64)의 바로 아래에 무한궤도(60)에 의한 운동 기구가 위치하게 되기 때문에, 건조 공기의 흐름이 제한되어, 효율적인 건조가 어렵다.

이것에 대해서는 워크(64)를 매달아 반송하는 것이 유효하다.

그런데, 상기 종래의 기구를 이용하는 경우(무한궤도(60)에 워크 보유용 부재인 행거를 고정하고, 무한궤도(60)의 하면을 통과하는 행거를 사용하는 경우)에는, 무한궤도(60) 자체의 작동에 의한 발진(먼지발생), 더욱이 무한궤도(60)가 휘지 않도록 접촉하여 지지하는 구성과의 활주식 접촉에 의한 발진 등, 무한궤도(60)의 기구가 커다란 발진원이되어, 워크(64)의 상방으로부터 강하하는 발진으로 인해 건조실내가 오염된다.

이 발진에 의한 오염은, 정밀한 가공을 행하는 기술분야에서는 대단히 큰 문제가 되고 있다. 예를 들면, 워크가 반도체 장치용 패키지를 형성하기 위한 기판인 경우, 반도체 장치용 패키지는, 반도체 칩이 장착되어 고정되는 것이기 때문에, 먼지가 없는 깨끗한 공간(고청정 공기)내에서 가공할 필요가 있다. 기판의 제조공정에서는, 사진 또는 인쇄기술이 응용되지만, 그 때는 가열·건조 공정이 필수가 된다. 그 가열·건조 공정에 있어서의 건조실에 대해서도, 높은 청정도(고공기 청정도)가 요구되는 것은 물론이다. 이 때문에, 건조실에 공급되는 열풍은, 높은 청정 효율을 갖추는 필터(HEPA 필터)를 통과시켜 청정화되어 있다.

또한, 무한궤도에 워크 보유용 부재인 행거를 고정하여 사용하는 경우에는, 행거가 하측을 통과할 때에 워크를 보유하게 되고, 귀환하는 행거는 당연히 상측을 통과하게 되어 장치 등이 높아진다. 이 때문에, 제조 설비의 설치 공간에 대하여 높이가 제한되는 공장에서는 적절하게 설치할 수 없다.

더욱이, 행거가 무한궤도에 고정되는 형태에서는, 보수 관리가 어렵고, 또한, 행거 자체의 형태를 자유롭게 설정하는 것이 어렵다.

이것에 대해서는, 본원 발명의 발명자가 개발하여, 일본 특개평11-294955호에 의해서 개시된 건조장치가 있다. 그 건조장치가, 본원 발명의 배경기술이 되기 때문에, 이하에 상세하게 설명한다.

도 12는 본원 발명의 건조장치에 따른 배경기술을 개략적으로 설명하는 측면도이고, 도 13은 그 부분 정면도이다. 상기 건조장치는, 반도체 장치용의 패키지에 사용되는 기판의 건조 공정에 사용된다.

12는 건조실이고, 박판형의 워크인 기판(10)을 매단 상태로 보유하는 행거(14)를 개재시켜, 그 기판(10)을 통과시켜 건조시키는 공간이다.

상기 건조실(12)에는, 도 13에 도시하는 바와 같이, 인접하여 설치되고, 가열되어 건조된 공기를 발생할 수 있는 동시에, 그 공기를 송풍하는 장치(건조공기송풍장치(20))에 의해서, 건조공기가 도입된다. 그로써, 기판(10)을 가열 및/또는 건조한다. 건조공기 송풍장치(20)에 의한 송풍은, 건조실(12)에 삽입된 공기를 회수·순환하여, 일부는 급배기되지만, 순환 송풍하도록 되어 있어, 에너지를 절약할 수 있다.

행거(14)는 클립(15)으로 기판(10)을 매단 상태로 보유한다. 본 배경기술의 행거는, 도 13에 도시하는 바와 같이, 띠형의 부재를 그 양단부에 있어서 키형으로 굴곡시키고, 양단이 반송용의 귀부(14a)에 형성되며, 한 쌍의 클립(15)이, 하방에서 개폐 가능하게 고정되어 있다. 이와 같이 행거(14)가 설치되어 있는 것으로, 간단한 구성이지만, 자동화에 적절하게 대응할 수 있다. 또한, 행거(14)는 올려놓아져 있는 것으로 고정되지 않고, 각각을 독립적으로 취급할 수 있기 때문에, 보수 관리가 용이하고, 그 교체도 용이하게 행할 수 있다.

18은 기판의 공급장치이며, 기판(10)을 행거(14)에 보유시키는 동시에, 건조실(12)로 보낸다.

본 배경기술의 기판의 공급장치(18)는, 화살표(A; 도 12)에 도시하는 바와 같이 공급용 컨베이어 등에서 전공정으로부터 수평으로 보내져 온 기판(10)을, 상기 행거(14)에 보유시켜, 승강장치에 의해서 상승하는 승강 부재를 경유하여 매단 상태가 되도록, 화살표(B)로 나타내는 바와 같이 건조실(12)의 입구로 반입한다. 이로써, 기판(10)에 적용되는 가공공정을, 전공정으로부터 건조 공정으로 양호하게 이행할 수 있다. 또한, 기판의 공급장치는 도 14에 도시하는 기판의 배출장치와 거의 동일한 구성을 구비하는 것이며, 상세한 것에 대해서는 후술한다.

22는 이송장치이며, 건조실(12)내에 배치되어, 다수(복수)의 행거(14)가 기판(10)을 보유한 상태에서 소정의 간격을 두고 일렬로 올려놓아지는 재치부(24)와, 복수의 행거(14)를 실어 이송 방향으로 1 피치분씩 보내도록, 상승 이동, 이송 방향으로의 1 피치분의 수평 이동, 하강 이동, 이송 방향과는 반대 방향으로의 1 피치분의 수평 이동의 순으로 작동하는 이송용 작동부(26)를 구비한다. 도 13에 도시하는 바와 같이, 행거(14)는 한 쌍의 귀부(14a)에서, 재치부(24)에 실려지고, 이송용 작동부(26)에 지지되어 이송된다.

본 배경기술의 이송 장치(22)에서는 재치부(24)가 기체(11)에 고정되어 있고, 이송용 작동부(26)가, 현수(suspension) 부재(26a)를 경유하여 상방으로부터 보유되는 동시에, 상하 동작 수단(27)에 의해서 상하 방향으로 왕복 동작(C1)되고, 수평 동작 수단(28)에 의해서 수평방향으로 왕복 동작(C2)된다. 그 상하 방향의 왕복 동작(C1) 및 수평방향의 왕복 동작(C2)의 합성에 의해서, 상기와 같은 이송용 작동부(26)의 이송 동작(소위 박스 이송)이 이루어지고, 복수의 행거(14)를 동시에 이송 방향(화살표 C)으로, 1피치분씩 보낼 수 있다. 이와 같이 본 발명에 따른 건조장치에 있어서, 복수의 행거(14)를 박스 이송에 의해서 반송하기 때문에, 상방에서의 발진을 대폭 저감할 수 있어, 높은 청정 공간에서의 가공을 요하는 기판(10)의 가공 등에 유효하다.

30은 기판의 배출장치이고, 이송장치(22)에 의해서 건조실(12)내를 보내져 온 행거(14)의 기판(10)에 걸리는 보유 상태를 해제시켜서 행거(14)와 기판(10)을 분리시킨다.

본 배경기술의 기판의 배출장치(30)는 건조실(12)내에서 행거(14)를 개재시켜 매달린 상태로 보내져서 건조실(12)의 출구까지 온 기판(10)을 승강장치에 의해서 하강하는 승강부재를 경유하여 화살표(D; 도 12)로 도시하는 바와 같이 이송하고, 수평이 된 상태로 하여, 화살표(E)로 도시하는 바와 같이 배출용 컨베이어에 의해서 반출한다. 이로써, 기판(10)에 적용되는 가공 공정을, 건조 공정으로부터 다음 공정으로 양호하게 이행할 수 있다. 기판의 배출장치(30)의 세부 사항은 도 14에 의거하여 후술한다.

32는 귀환 장치이며, 기판의 배출장치(30)에 의해서 기판(10)과 분리된 행거(14)를 기판의 공급장치(18)로 되돌리도록 작동한다.

본 배경기술의 귀환 장치(32)는 무한궤도의 일 예인 체인(33)에 의해서 구성되어 있고, 서보 모터 등에 의해서 구동되며, 행거(14)를 기판의 공급장치(18)로 양호하게 되돌린다. 즉, 기판의 배출장치(30)의 행거(14)와 기판(10)을 분리시키는 위치로부터, 행거(14)를 점선의 화살표(F)로 도시하는 바와 같이 하강시키고, 체인(33)상에 설치되어 있는 캐치부(34)에 둔다. 그리고, 그 행거(14)는 체인(33)의 구동에 의해서 점선의 화살표(G)로 도시하는 바와 같이 기판의 공급장치(18)측으로 보내지고, 캐치부(34)로부터 화살표(H)로 도시하는 바와 같이 상승되어, 기판의 공급장치(18)의 기판(10)이 행거(14)에 보유되는 위치로 보내진다.

다음에, 도 14에 의거하여, 기판의 배출장치(30) 및 기판의 공급장치에 대하여 설명한다. 도 14는 워크인 기판의 배출장치(30)의 상세를 설명하는 측면도이다.

상기 기판의 배출장치(30)는, 재치부(24)상에서 간헐적으로 반송되어 온 기판(10) 및 그 기판(10)을 보유한 행거(14)를 받아들여, 기판(10)과 행거(14)를 분리시키는 동시에, 기판을 수평방향으로 배출한다.

40은 척 이송 장치이며, 행거(14)를 처킹(chucking)하고, 그 행거(14)와 기판(10)을 보유한 상태에서, 하강하면서 90도 회전하여, 기판(10)을 수평상태에 위치시킨다.

38은 긁어모음 장치이며, 클릭부(click; 38a)가 실린더 장치(39)에 의해서 왕복 동작 가능하게 설치되어 있고, 재치부(24)상을 반송하여 상기 건조실(12)의 출구까지 보내져 온 행거(14)를, 척 이송 장치(40)의 척(42)까지, 긁어모아서 위치시킨다. 클릭부(38a)의 선단은, 래칫(ratchet) 기구로 되어 있고, 행거(14)를 긁어모을 때에 로크되고, 긁어모음 방향과 반대방향으로 이동할 때는 회전할 수 있도록 구성되어 있다.

상기 척 이송 장치(40)는 상하 방향으로 연장되는 가이드 구멍(44)과, 중도부에 경사면(46a)을 가지는 가이드 홈(46)과, 가이드 구멍(44)에 끼워져서 상하 동작하는 이동 본체부(45)와, 행거(14)를 파지하는 척(42)과, 기판(10)을, 보유클릭(48a) 등을 경유하여 보유하기 위해서 기판(10)에 대응하여 설치된 보유판(48)과, 그 보유판(48)에 설치되어 가이드 홈(46)을 따라 이동 가능한 이동롤러(49) 등의 구성을 구비한다.

척(42)과 보유판(48)은 일체적으로 설치되는 동시에 이동 본체부(45)에 회 전 가능하게 장착되어 있다. 이로써, 이동 본체부(45)가 하강할 때에 이동롤러(49)가 가이드 홈(46)에 안내되어 양호하게 이동할 수 있고, 척(42) 및 보유판(48)이 90도 회전하여, 보유판(48)이 수평으로 보유된다. 이와 같이 보유판(48)을 수평으로 하는 동시에, 그 보유판(48)에 장착된 보유클릭(48a)에 의해서 지지하는 것으로, 2점 쇄선으로 도시한 바와 같이, 기판(10)을 수평으로 보유할 수 있다.

이동 본체부(45)를 상하 동작시키는 구동 수단으로서는, 본 배경기술에서는, 체인 기구를 사용하고 있다. 50은 체인이고, 이동 본체부(45)에 연결되어 있다. 51은 스프로킷이고, 체인(50)이 걸려서 회전하도록, 상하에 한 쌍이 배치되어 있다. 52는 전동 모터이고, 체인에 의해서 상측의 스프로킷(51)을 회전 구동하도록 연계되어 있다.

척(42) 및 보유클릭(48a)을 개폐하는 구동수단은 실린더 장치, 솔레노이드 장치 등의 이미 알려진 구동 장치를 선택적으로 사용하면 좋다.

또한, 보유수단으로서는 본 실시예와 같은 척(42) 및 보유클릭에 한정되지 않고서, 진공(감압)에 의한 흡착수단을 이용하여도 좋은 것은 물론이다.

다음에, 행거(14)와 기판(10)을 분리하여, 각각을 이송하는 기구에 대하여 설명한다.

척 이송 장치(40)에 의해서, 하강하는 동시에 90도 선회된 기판(10)은, 승강장치인 실린더 장치(53)에 의해서 상승된 컨베이어(54)의 상면에 의해서 받아들여진다.

이 상태에서, 행거(14)의 클립(15)의 하방에 위치하는 클립이 해제용의 실린더 장치(55)의 로드(55a)가 신장하고, 클립(15)을 눌러서 행거(14)에 의한 기판(10)의 클립이 해제되며, 기판(10)은 컨베이어(54)에만 지지된 상태로 된다.

그렇게 하면, 컨베이어(54)의 롤러(54a)가 회전하여, 기판(10)이 배출된다.

또한, 척 이송 장치(40)에 의해서, 하강하는 동시에 90도 선회된 행거(14)는, 상하 동작할 수 있는 상하 이동체(56)에 180도 선회 가능하게 설치된 선회 받이부(58)에 의해서, 받아들여지는 동시에 파지된다.

그리고, 선회 받이부(58)는 180도 선회하는 동시에, 실린더 장치(57)의 구동에 의한 상하 이동체(56)의 하강 동작에 따라 하강한다.

이로써, 행거(14)는 귀환 장치(32)의 체인(33)에 고정된 행거(14)용의 캐치부(34)로 이송되게 된다. 그리고, 선회 받이부(58)의 파지가 해제되는 것에 의해 캐치부(34)로 받아들여진 행거(14)는 귀환 장치(32)가 구동하는 것에 의해, 상기 기판의 공급장치(18)측으로 반송된다.

상기 기판의 배출장치(30)는 매달려진 행거(14) 및 기판(10)을 수평으로 하여, 양자를 분리하여 배출하는 것이지만, 이들의 동작을 반대로 사용하면, 상기 기판의 공급장치(18)로서 적합하게 이용할 수 있다.

또한, 본 배경기술에 따른 기판의 공급장치(18)의 경우에는, 행거(14)가 최초의 방향을 향한 상태로 공급되기 때문에, 선회 받이부(58)에 관하여, 행거(14)를 180도 선회시키는 기능을 요하지 않는 점이, 기판의 배출장치(30)와 다른 점이다.

이상과 같이, 상기 기판의 공급장치(18)의 구성은 기판의 배출장치(30)의 구성과 기본적으로 동등한 것으로 되기 때문에, 설명을 생략한다.

다음에, 행거(14)의 이동 공정에 착안하여 기재한 도 15 및 도 16에 의거하여, 기판(10)의 건조 공정에 대하여 설명한다. 도 15는 이상에서 설명한 실시예에 따른 행거(14)의 이동 공정을 도시하고 있다. 또한, 행거(14)는 본체편(15a)과, 그 본체편(15a)에 회전 가능하게 축착(軸着)된 클립편(15b), 그 클립편(15b)을 항상 닫는 방향으로 가압하는 스풀링(15c)으로 이루어지는 클립(15)을 구비한다.

우선, 상기 기판의 공급장치(18)에서는 기판(10)이 화살표(A) 방향으로 공급되고, 행거(14)는 기판(10)을 클립할 수 있는 방향(이하, 「기본 방향 」이라고 한다)을 향하여 위치되어 있다.

다음에, 기판(10)을 보유(클립)한 행거(14)는 매달려진 방향(이하, 「현수 방향」이라고 한다)을 향하여, 화살표(C) 방향으로 상기 재치부(24)상을 이동한다.

그리고, 화살표(D) 방향으로, 기판(10)을 보유한 행거(14)가 이동하는 것에 의해, 행거(14)가 90도 회전하는 동시에, 기판(10)이 수평으로 되어 상기 기판의 배출장치(30)에 올려놓아진다. 그래서, 행거(14)로부터 기판(10)이 멀어지고, 기판(10)은 화살표(E) 방향으로 배출된다. 이 때, 기판(10)은, 기판의 공급장치(18)에 공급된 상태로부터 반전된 상태로 되어 배출된다. 또한, 행거(14)는 기본방향으로부터 180도 반전한 반전 방향을 향하고 있다.

다음에, 행거(14)는 화살표(F1)로 도시하는 바와 같이 반전되어 기본 방향으로 되돌아가고, 또한 화살표(F2) 방향으로 하강하여, 상기 귀환 장치(32)로 받아들여진다 상기 귀환 장치(32)에서는, 행거(14)를, 화살표(G) 방향으로 이동시켜서 상기 기판의 공급장치(18)측으로 반송한다. 그래서, 행거(14)는 또한 화살표(H)로도시하는 바와 같이 상승되어, 최초의 위치로 되돌아가며, 하나의 행거(14)의 반송에 따른 공정의 1 사이클이 완료한다. 이 사이클을 순차 반복하는 것으로 다수의 기판(10)을 효율이 좋게 반송하여 건조할 수 있다.

이상의 반송동작에 의하면, 기판(10)을, 공급된 상태로부터 반전한 상태로 배출할 수 있다.

다음에, 도 16에 의거하여, 기판(10)의 건조 공정에 따른 다른 패턴에 대하여 설명한다. 도 16에 도시된 행거(14)의 이동 공정은, 도 15의 열과 비교하여 기판의 배출장치(30)에서의 반송 패턴이 다르고, 다른 반송 패턴은 동일하다. 도 15의 예와 동일한 반송 패턴의 부분에는, 동일한 기호(화살표)를 붙이고 설명을 생략한다.

기판(10)을 보유한 행거(14)가, 상기 건조실(12)로부터 반출되어 화살표(DX) 방향으로 이동하는 것에 의해, 행거(14)가 시계방향으로 90도 회전하는 동시에, 기판(10)이 수평으로 되어 상기 기판의 배출장치(30)에 올려놓아진다. 그래서, 행거(14)로부터 기판(10)이 멀어지고, 기판(10)은 화살표(EX) 방향으로 배출된다. 이 때, 기판(10)은, 그 표면 및 이면의 방향이 기판의 공급장치(18)에 공급된 상태와 동일한 상태로 배출된다. 또한, 행거(14)도, 기본방향으로 되돌아가고 있다.

다음에 행거(14)는 화살표(F)로 도시하는 바와 같이 하강하여, 상기 귀환 장치(32)로 받아들여지고, 그 귀환 장치(32)를 경유하여, 도 15의 예와 같이 최초의 위치로 되돌아갈 수 있다.

이상의 반송조작에 의하면, 기판(10)을 그 표리면의 방향이 기판의공급장치(18)에 공급된 상태와 동일한 상태로 배출할 수 있다.

그러나, 이상의 배경기술에 따른 건조장치에서는 기판(10)의 1변인 상단(상변)만에 대하여, 클립(15; 2개)으로 보유하는 것으로, 기판(10)이 더욱 얇아진 경우는 물결치거나 굴곡되어 버려, 기판(10)의 정밀도를 유지할 수 없다. 또한, 건조장치내에서 인접하는 기판(10)끼리의 간격을 좁히면, 기판(10)의 하단측끼리가 변형하여 접촉하여 버리는 등, 양호하게 가열 및/또는 건조할 수 없다는 과제가 있었다.

즉, 기판(10)이, 예를 들면 50μm 정도의 두께의 박판 시트형이면, 기판(10)소재 자체의 강성이 없어져 변형하기 쉬워진다. 그리고, 기판(10) 소재의 표면(또는 이면)에, 여러가지 처리에 의해서 배선 또는 절연부 등이 다른 재질로 형성된 층과의 열팽창 계수 또는 열수축율의 차이의 영향을 받기 쉽게 되어, 더욱 변형하기 쉽게 된다. 이 때문에, 기판(10)의 1변만을 보유하여 건조 공정을 행하면, 기판(10)이 변형하여 그 평탄도를 포함하는 점도가 저하하는 동시에, 기판(10)을 건조장치내에서 효율적으로 반송할 수 없다.

또한, 이상의 「건조」라는 의미는, 표면이 점성이 있는 끈적 끈적한 상태로부터 마른 상태로 되는 것, 또는 용제가 기화하는 것을 포함한다. 예를 들면, 열경화성 수지가 온풍에 의해서 가열되어 경화하는 경우가 있다.

또한, 기판(10)에 인쇄되는 레지스트 잉크나 은 페이스트 등 광경화성을 가지는 것의 수지재(절연성 수지재, 도전성 수지재를 포함한다)에 의해서는, 열 건조를 행하기에 앞서서 또는 열 건조후에 UV 건조를 행할 필요도 있었다. 이 경우, 복수의 행거(14)에 개개로 보유된 기판(10)을 피치 이송하여 열 건조하는 건조장치본체에 대하여, UV 건조장치를 장착하는 경우, 1매씩 기판(10)의 양면에 UV광을 조사하여 건조시키기 위해서, 장치 본체측의 이송 동작과 동기를 취할 필요나 이송장치 본체측의 반송기구와 간섭이 생기지 않도록 동작의 정합성을 확보할 필요가 있었다.

그래서, 본 발명의 목적은, 박판형의 워크의 건조 공정에 있어서, 워크가 물결치거나 굴곡되어 버리는 것을 방지하고, 워크의 평탄도를 포함하는 정밀도를 양호하게 유지할 수 있는 동시에, 복수의 워크를 조밀하게 반송하여 효율 좋게 건조할 수 있는 건조장치, 및 워크의 종류에 따라서 UV 건조장치가 장착되어도 원활한 이송 동작을 실현할 수 있는 건조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

도 1은 본 발명의 건조장치에 따른 일 실시예를 개략적으로 설명하는 측면도.

도 2는 도 1의 실시예의 부분 정면도.

도 3은 본 발명의 건조장치에 따른 행거(hanger)의 일 실시예를 설명하는 정면도.

도 4는 도 3의 행거의 우측면도.

도 5는 도 3의 A-A선을 따른 확대 단면도.

도 6은 도 3의 B-B선을 따른 확대 단면도.

도 7은 도 3의 행거의 평면도.

도 8은 도 3의 C-C선을 따른 확대 단면도.

도 9는 본 발명에 따른 기판의 공급장치의 일 실시예를 설명하는 측면도.

도 10은 본 발명에 따른 행거의 이동 공정의 일 실시예를 설명하는 측면도.

도 11은 종래 기술을 설명하는 측면도.

도 12는 배경기술에 따른 건조장치를 개략적으로 도시하는 측면도.

도 13은 도 12의 배경기술의 부분 정면도.

도 14는 도 12의 배경기술에 따른 기판의 배출장치를 설명하는 측면도.

도 15는 도 12의 배경기술에 따른 행거의 이동 공정을 설명하는 측면도.

도 16은 다른 배경기술에 따른 행거의 이동 공정을 설명하는 측면도.

도 17은 다른 예에 따른 UV 건조장치를 장착한 건조 장치 본체의 부분 정면도.

도 18은 도 17의 건조장치의 상면도.

도 19는 도 17의 건조장치의 우측면도.

* 도면의 주요 부분에 대한 간단한 부호의 설명 *

10 : 기판 14 : 행거

14a : 귀부 14b : 상변

14c : 좌변 14d : 우변

14e : 하변 14f : 돌출부

15 : 클립

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 다음의 구성을 구비한다.

즉, 본 발명에 따른 건조장치는, 직사각형 박판형의 워크를 매단 상태로 보유하는 행거와, 워크를 행거에 보유시키는 동시에, 건조실로 보내는 워크의 공급장치와, 건조실의 길이방향으로 배치되고, 복수의 행거가 워크를 각각 보유한 상태에서 소정의 간격을 두고 일렬로 재치되는 재치부 및 복수의 행거를 실어 이송 방향으로 간헐적으로 보내기 위해서, 행거를 싣기 위한 상승 이동, 행거를 실어 이송 방향으로 수평 이동, 행거를 내리게 하기 위한 하강 이동, 이송 방향과는 반대 방향으로 수평 이동의 순으로 작동하는 이송용 작동부를 구비하는 이송장치와, 해당이송 장치에 의해서 보내진 행거의 워크에 적용된 보유 상태를 해제시켜 행거와 워크를 분리시키는 동시에, 워크를 건조실로부터 배출하는 워크의 배출장치와, 해당 워크의 배출장치에 의해서 워크와 분리된 행거를, 워크의 공급장치로 되돌리도록 보내는 귀환 장치를 구비하는 건조장치에 있어서, 행거가, 매달릴 때에 수평인 상변과 연직인 좌우의 2변을 포함하는 적어도 3변측으로부터 워크를 보유하도록 프레임형으로 설치되고, 3변측의 각 변에는 워크를 끼워 보유하는 그립(grip)이 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

이 때문에, 박판형의 워크의 건조 공정에 있어서, 워크가 물결치거나 굴곡되어 버리는 것을 방지하고, 워크의 평탄도를 포함하는 정밀도를 양호하게 유지할 수 있는 동시에, 복수의 워크를 조밀하게 반송하여 효율 좋게 건조할 수 있다.

또한, 클립은 상기 각 변에 대하여 2개씩 배치되어 있어서, 워크를 양호하게 뻗은 상태로 균형있게 행거로 보유할 수 있다.

또한, 워크의 공급장치는 되돌려진 행거를 매달아 지지하는 행거의 지지수단과, 해당 매달려서 연직인 상태로 보유된 행거로 워크를 보내어 보유시키는 워크의 이송 수단을 구비한 것으로, 워크를 행거에 양호하게 보유시킬 수 있다. 즉, 이 워크의 공급장치에 의하면, 워크를, 중력 방향에 따라서 늘어뜨린 상태에서 행거에 보유시킬 수 있다. 이 때문에, 워크를, 중력에 의한 휘어짐의 발생을 방지하면서 양호하게 뻗은 상태로, 행거에 보유시킬 수 있다.

또한, 워크의 이송 수단은 복수의 흡착 패드를 구비한 흡착수단과, 상기 흡착 패드에 워크가 흡착 보유된 채로 상기 행거에 접촉 및 이탈 동작시켜 상기 워크를 상기 행거로 보유시키는 이접 수단을 구비한 것에 의해, 워크가 물결치거나 굴곡되지 않도록 해당 워크를 뻗은 상태에서 행거로 보유시킬 수 있다.

또한, 흡착 패드가 워크를 흡착한 상태에서 외측으로 변위하도록 가압하는 변위 가압 수단을 구비한 경우에는, 행거로 워크를 정밀도 좋게 받아들여서 보유할 수 있다.

또한, 행거에는, 재치부에 지지되어 인접하는 행거끼리 보유된 워크끼리의 접촉을 방지하도록, 간격 부재를 설치함으로써, 복수의 워크를 조밀하게 반송할 수 있고, 효율 좋게 건조할 수 있다.

또한, 건조장치 본체의 워크 반송 방향 상류측 또는 하류측에 UV 건조장치가 일체로 장착되어 있는 경우에는, 워크의 일 예로서 기판을 구성하는 자외선 경화형의 수지재를 건조시킬 수 있고, 다양한 기판재료의 건조에 사용할 수 있어, 범용성이 향상된다.

또한, UV 건조장치는 재치부의 도중에 행거를 매달아 두는 현수부가 설치되고, 해당 현수부에 매달린 행거에 보유된 워크의 양측에 설치된 UV광 조사부가 UV광을 조사하면서 주사하여 UV 건조하는 것에 의해 효율적으로 UV 건조가 행해진다. 이 경우, 행거를 피치 이송하는 이송장치에, 선두측의 행거만을 수평 이송 조작과 동기를 잡아 현수부로 이송하는 이송 수단 및 앞서 UV 건조된 워크를 보유하는 행거를 현수부로부터 받아들여 보내는 이송 수단이 설치되어 있기 때문에 처리량을 향상시킬 수 있고, 더욱이, 건조장치 본체측의 피치 이송 동작과 동기를 잡아 워크를 1매씩 UV 건조장치로 보내어 워크 양면에서 UV 건조를 행할 수 있기 때문에, 건조장치 본체에 UV 건조 장치가 장착되어 원활한 이송 동작을 실현할 수 있는 현저한 효과를 나타낸다.

이하, 본 발명의 적합한 실시예에 대하여 첨부된 도면과 함께 상세히 기술한다.

상기 건조장치는, 예를 들면 상술한 바와 같은 반도체 장치용의 패키지에 사용되는 기판의 건조 공정에 사용된다.

또한, 본 실시예는, 도 12 내지 도 16에 도시한 배경기술의 발명을 기본으로 하는 것으로, 배경기술과 동일한 구성에 대해서는, 동일한 부호를 붙여서 설명을 생략한다.

14는 행거이고, 직사각형 박판형의 워크인 기판(10)을 매단 상태로 보유한다. 또한, 기판(10)은, 예를 들면 50μm 정도의 반도체 장치용의 패키지를 형성하기 위해서, 적층되어 이용되는 것이다.

본 실시예의 행거(14)는 도 3 내지 도 8에 도시하는 바와 같이, 매달렸을 때에 수평인 상변(14b)과 연직인 좌우의 2변(14c, 14d)으로 되는 적어도 3변을 개재시켜 기판(10)을 보유하도록 프레임형으로 설치되고, 그 3변(14b, 24c, 14d)의 각각에는 기판(10)을 끼워 보유하는 클립(15)이 설치되어 있다.

또한, 본 실시예에서는 도 3에 도시하는 바와 같이, 클립(15)이 각 변(14b, 14c, 14d)에 대하여 2개씩 배치되어 있다. 이로써, 기판(10)을 양호하게 뻗은 상태로 균형 맞게, 행거(14)로 보유할 수 있다.

본 실시예의 행거의 형태는 도 3에 도시하는 바와 같이, 막대형의 부재를 그양단부에 있어서 키형상으로 굴곡시키고, 양단이 반송용의 귀부(14a, 14a)에 형성되어 있다. 양 귀부(14a, 14a)의 하방에는 상변(14b)이 설치되고, 좌우에는 상변(14b)에 직교하여 하방으로 연장되도록 측변인 좌변(14c), 우변(14d)이 형성되어 있다. 또한, 그 좌우의 변(14c, 14d)의 하방에는, 상변(14b)과 평행하게 연장되는 하변(14e)이 설치되고, 그 양 끝이, 상기 귀부(14a)와 마찬가지로 좌우로 돌출한 돌출부(14f, 14f)에 형성되어 있다. 상기 상방의 양단의 귀부(14a, 14a)와, 돌출부(14f, 14f)는 행거(14)가 반송될 때에 운동체(이송용 작동부(26), 캐치부(34) 등)에 결합되는 부분이고, 그것에 의해서, 행거(14)가 반송(이동)되도록 되어 있다.

이와 같이, 본 실시예의 행거(14)는 귀부(14a, 14a)와, 돌출부(14f, 14f)를 구비하지만, 기본적으로는, 기판(10)의 형상에 대응한 직사각형의 프레임형체(16)에 형성되어 있다.

또한, 상변(14b) 및 좌우의 변(14c, 14d)에 대해서는, 그 형상적 안정성 및 구조적 강도를 충분하게 확보하기 위해서, 평면내에서 평행하게 막대형상 부재에 의해서 2중으로 설치되어 있다.

또한, 기판(10)의 크기는, 2중으로 설치된 상변(14b) 및 좌우의 변(14c, 14d)의 내측과, 하변(14e)에 의해서 형성되는 직사각형 프레임체의 내주보다도 1주 크게 설정되어 있다. 따라서, 기판(10)은 그 주변 가장자리부만이 행거(14)에 접촉되어 지지된다. 이로써, 기판(10)은 내부의 배선 패턴 등이 손상하지 않고서, 적절하게 보유된다.

또한, 각 클립(15)은 기판(10)을 끼우는 개폐부가 안쪽에서 개폐 가능하게, 각 변(14b, 14c, 14d)상에 안쪽을 향하여 설치되어 있다. 더욱 상세하게는, 기판(10)의 주변 가장지리부를 받아서 지지하기 위해서, 2중으로 설치된 각 변(14b, 14c, 14d)상에 고정된 평판부(16a)의 위에, 클립(15)이 고정되어 있다.

이와 같이 행거(14)가 설치되어 있는 것으로, 간단한 구성이지만, 자동화에 적절하게 대응할 수 있다. 또한, 행거(14)는 재치되는 것으로, 종래 기술과 같이 운동체(무한궤도)에 고정되어 있는 것은 없으며, 각각이 독립하여 취급할 수 있기 때문에, 보수관리가 용이하고, 그 교체도 용이하게 행할 수 있다.

또한, 행거(14)의 형태는, 본 실시예와 같은 기판(10)의 3변에 대하여 클립(15)에 의해서 보유하는 것에 한정되는 것은 아니며, 4변의 전체면으로부터 보유하도록 형성되어 있어도 좋은 것은 물론이다.

또한, 본 실시예의 행거(14)에는, 재치부(24)에 지지되어 인접하는 행거(14)끼리 보유된 기판(10)끼리(또는 기판(10)과 그 기판(10)을 보유하고 있지 않는 행거(14))의 접촉을 방지하도록, 좌우에 한 쌍의 간격 부재를 상하의 모서리부에 설치하고 있다. 70a는 상부의 간격부재이고, 좌우에 한 쌍이 설치되고, 70b는 하부의 간격부재이며, 좌우에 한 쌍이 설치되어 있다.

이들의 간격부재(70a, 70b)에 의해서, 상호의 접촉에 의해서 움직임이 규제되고, 인접하는 행거(14)끼리가 상대적으로 크게 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 예를 들면, 1변이 500mm 정도의 기판(10)에 대하여, 행거(14)를 40mm 정도의 간격으로 양호하게 병렬시킬 수 있다. 또한, 기판(10)은, 복수의 클립(15)에 의해서양호하게 끼워 보유되어 있기 때문에, 인접하는 것 끼리가 굴곡하여 간섭하는 일도 없다. 이로써, 기판(10)과, 그 기판(10)을 보유하고 있지 않는 인접하는 행거(14)와의 접촉을 양호하게 방지할 수 있다.

이와 같이 간격부재(70a, 70b)를 구비하는 것으로, 복수의 기판(10)을 조밀하게 반송할 수 있고, 효율 좋게 건조할 수 있다. 또한, 복수의 행거(14)끼리 간격을 양호하게 좁히는 것이 가능하므로, 장치의 소형화를 도모하는 것도 가능하게 된다.

18은 기판의 공급장치이고, 기판(10)을 행거(14)에 보유시키는 동시에, 건조실(12)로 보내는 워크의 공급장치이다.

상기 기판의 공급장치(18)는, 매달려서 연직인 상태로 지지된 행거(14)에 대하여 기판(10)을 보유시키도록, 행거(14)를 매단 연직인 상태로 지지하는 행거의 지지수단(72)과, 기판(10)을 그 기판(10)의 면이 연직인 상태에 행거(14)로 보내는 워크의 이송 수단인 기판의 이송 수단(74)과, 기판(10)이 보유된 행거(14)를 건조실(12)내로 보내는 기구를 구비한다.

본 실시예의 행거 지지수단(72)은 귀환 장치(32)에 의해서 기판의 공급장치(18)의 바로 아래에 보내져 온 행거(14)를 들어올려, 행거(14)에 기판(10)을 보유시키는 높이 위치까지 들어올리는 리프팅 수단(76)과, 그 리프팅 수단(76)에 의해서 들어 올려진 행거(14)를, 그 행거(14)의 상부로 고정상태로 보유하는 상부 보유 수단(77)과, 행거(14)의 하부에서 보유하는 하부 보유 수단(78)을 구비한다.

리프팅 수단(76)은, 행거(14)의 양 귀부(14a, 14a)를, 하측으로부터 들어올리도록 걸어서 지지하고, 직선형의 상하 가이드(76a)를 따라서 상하 동작 가능하게 좌우에 설치된 한 쌍의 상하 동작 지지부(76b)와, 그 상하 동작 지지부(76b)를 상하 구동시키는 구동기구를 구성 요소로 한다. 상기 구동기구는, 상하 방향으로 길게 배치된 체인장치인 무한궤도(76c)와, 그 무한궤도(76c)를 구동시키는 구동수단인 구동 모터(76d)로 구성되며, 무한궤도(76c)에 상하 동작 지지부(76b)가 고정되고, 그 상하 동작 지지부(76b)가 상하 구동하도록 되어 있다.

또한, 79는 경사면 가이드로서, 행거(14)의 하변(14e)이 뜨지 않도록 가이드하는 면으로 되어 있다.

본 실시예의 상부 보유 수단(77)은, 행거(14)의 양 귀부(14a, 14a)를 상하 방향으로부터 끼워 강력하게 보유(일시 고정)하는 것으로 되어 있다.

또한, 본 실시예의 하부 보유 수단(78)은 이송 방향의 전방측의 규제부(78a)와, 후방측의 규제부(78b)에 의해서, 돌출부(14f, 14f)의 두께에 상당하는 간격이 형성되는 것으로 구성되어 있다. 이로써, 행거(14)의 돌출부(14f, 14f)를, 행거(14)의 이송 방향으로 이동하지 않도록 규제할 수 있고, 행거(14)의 하부를 양호하게 보유할 수 있다.

또한, 본 실시예의 기판의 이송 수단(74)은, 화살표(A; 도 1)에 도시하는 바와 같이 공급용 컨베이어 등으로 전(前)공정으로부터 수평으로 보내져 온 기판(10)을 행거(14)로 공급하기 위해서, 도 9에 도시하는 바와 같이, 복수의 흡착 패드(80a)를 구비하여 기판(10)을 흡착 보유하는 흡착수단(80), 그 흡착수단(80)을이동시키는 이동기구(81), 흡착수단(80)을 수평방향으로 왕복 동작시켜 행거(14)에 이접시키는 이접 동작 수단(82) 및 클립(15)을 열도록 클립(15)의 외측을 가압하는 가압장치(83) 등을 구비한다.

기판의 이송 수단(74)의 이동기구(81)는, 직선형의 상하 가이드(81a)를 따라 상하 동작 가능하게 설치된 상하동작체(81b)와, 그 상하동작체(81b)를 상하 구동시키는 구동기구와, 수평부, 굴곡부, 연직부가 연속적으로 설치된 갈고리형의 가이드(81c)를 구성 요소로 한다. 상기 이동기구(81)는 상하 방향으로 길게 배치된 체인장치인 무한궤도(81d)와, 그 무한궤도(81d)를 구동시키는 구동수단인 구동 모터(81e)로 구성되며, 무한궤도(81d)에 상하동작체(81b)가 고정되며, 그 상하동작체(81b)가 상하 구동하도록 되어 있다.

또한, 갈고리형의 가이드(81c)에는, 흡착수단(80)의 기부(80b)에 고정된 롤러(80c)가 결합되어 있다. 이로써, 흡착수단(80)이 그 흡착면이 수평의 상태로부터 상승하여 연직의 상태가 되도록 안내된다.

기판의 이송 수단(74)을 행거(14)에 대하여 이접 동작시키는 이접 동작 수단(82)은, 기부(80b)에 대하여 흡착수단(80)을 이접 동작시키는 실린더 장치(82a)와, 그 이접 동작을 안내하는 직선 동작 가이드(82b)를 구성 요소로 한다. 이로써, 흡착수단(80)에서 연직인 상태로 흡착·보유한 기판(10)을, 행거(14)에 접촉할 때까지 수평방향으로 이동시킬 수 있다.

또한, 기판의 이송 수단(74)의 가압장치(83)는 기부(80b)에 고정되고, 복수의 클립(15)의 수에 대응하여 설치된 복수의 실린더 장치에 의해서 구성되어 있다.상기 가압장치(83)가, 상기 이접 동작 수단(82)이 작동하기 전에 신장하는 것에 의해 클립(15)을 그 후단을 가압함으로써 연다. 즉, 클립(15)의 스풀링(15c)의 가압력에 저항하여, 선단이 열리도록 클립(15)을 회동시킨다. 그리고, 이접 동작 수단(82)이 작동하여 기판(10)을 행거(14)에 접촉시킨 후에, 가압장치(83)가 수축하는 것에 의해, 클립(15)에 의해서 기판(10)이 끼워지고, 이로써, 행거(14)에 기판(10)이 보유된다.

이상의 구성에 의해서, 보유면이 연직인 상태로 보유된 행거(14)에. 기판(10)을 보유시킬 수 있다. 달리 말하면, 행거(14)의 연직인 보유면에 기판면이 평행한 상태, 즉 연직인 상태에서, 기판(10)을, 행거(14)에 보유시킬 수 있다. 따라서, 기판(10)이 그 기판면이 중력방향으로 평행하고, 늘어뜨려진 상태에서, 행거(14)에 보유된다. 이것에 의하면, 기판(10)에 대하여, 휘어짐을 발생하도록 중력이 작용하는 것을 방지할 수 있고, 양호하게 뻗은 상태로, 행거에 보유시킬 수 있다.

또한, 본 실시예의 기판(10)이 보유된 행거(14)를 건조실(12)내로 보내는 기구는, 행거(14)를 재치부(24)의 높이로 상기 상부 보유 수단(77)을 개재시켜 상승시키는 상승장치(84)와, 행거(14)를 재치부(24)의 위로 슬라이드시켜 이동하도록 가압하는 실린더 장치(86)로 구성되어 있다. 이것에 의하면, 행거(14)에서 기판면이 연직이 되도록 보유된 기판(10)을, 건조실(12)의 입구로 반입할 수 있다. 즉, 기판(10)에 걸리는 가공 공정을, 전공정으로부터 건조 공정으로 양호하게 이행할 수 있다.

또한, 기판의 이송 수단(74)으로서는, 복수의 흡착 패드(80a)를 구비하는 흡착수단(80)과, 기판(10)이 물결치거나 굴곡되는 것을 방지하기 위해서 기판(10)을 뻘은 상태에서 행거(14)로 보유시키도록, 복수의 흡착 패드(80a)를, 기판(10)을 흡착한 상태에서 외측으로 변위시키도록 가압하는 변위 가압 수단을 구비하여도 좋다.

상기 변위 가압 수단에 의하면, 기판(10)이 양호하고 평탄하게 뻗어진 상태에서, 그 기판(10)을 행거(14)로 양호하게 보유할 수 있고, 기판(10)의 정밀도를 양호하게 유지할 수 있다.

더욱이, 일단, 상변(12b) 및 좌우의 변(14c, 14d)에 설치된 모든 클립(15)에 의해서, 연직으로 세운 상태의 행거(14)에, 기판(10)을 세운 상태로 보유시킨 후, 상변(12b)에 설치된 클립(15)을 제외한 나머지를 다시 열고, 기판(10)이 중력으로 충분하게 신장하는 부분에서, 다시 끼워서 보유하여도 좋다. 이로써도, 중력의 힘을 이용하는 것이기 때문에 약간 약하지만, 기판(10)을 뻗은 상태로 양호하게 보유할 수 있고, 기판(10)의 정밀도를 양호하게 유지할 수 있다.

22는 이송장치이고, 건조실(12)내에 배치되며, 다수(복수)의 행거(14)가 기판(10)을 보유한 상태에서 소정의 간격을 두고 일렬로 재치되는 재치부(24)와, 복수의 행거(14)를 실어 이송 방향으로 1피치분씩 간헐적으로 보내도록, 행거(14)를 싣기 위한 상승 이동, 행거(14)를 실어 이송 방향으로의 1 피치분의 수평 이동, 행거(14)를 내리게 하기 위한 하강 이동, 이송 방향이란 반대방향으로의 1 피치분의 수평 이동의 순으로 작동하는 이송용 작동부(26)를 구비한다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 행거(14)는, 한 쌍의 귀부(14a)에서, 재치부(24)에 싣고, 이송용 작동부(26)에 지지되어 보내진다. 또한, 재치부(24) 및 이송용 작동부(26)의 행거(14)가 실리는 상면에는, 귀부(14a)가 양호하게 위치하여 옆으로 미끄러지지 않도록, V자형의 오목부가, 일정 간격으로 재치되는 행거(14)의 수에 대응하여 형성되어 있다. 또한, 기판(10)은 재치부(24)에 다수가 매달리지만, 도 1에서는 생략하여 기재하고 있다.

본 실시예의 이송 장치(22)에서는, 재치부(24)가 기체(11)에 고정되어 있고, 이송용 작동부(26)가, 현수 부재(26a)를 개재시켜 상방으로부터 보유되는 동시에, 상하 동작 수단(27)에 의해서 상하 방향으로 왕복 동작되고, 수평 동작 수단(28)에 의해서 수평방향으로 왕복 동작(C2)된다. 그 상하 방향의 왕복 동작(C1), 및 수평방향의 왕복 동작(C2)의 합성에 의해서, 상기와 같은 이송용 작동부(26)의 이송 동작(이른바 박스 이송)이 이루어지고, 복수의 행거(14)를 동시에 이송 방향(화살표 C)으로, 1 피치분씩 보낼 수 있다. 이와 같이 본 발명에 따른 건조장치에 있어서, 복수의 행거(14)를 박스 이송에 의해서 반송하기 때문에, 상방에서의 발진을 대폭 저감할 수 있고, 높은 청정 공간에서의 가공을 요하는 기판(10)의 가공 등에 유효하다.

또한, 이송장치(22)의 이송용 작동부(26)를 상하 방향, 수평방향으로 구동하는 구동장치로서는, 캠 기구, 직동 가이드 기구, 나사식의 구동기구, 라크·피니온, 체인 또는 타이밍 벨트 등을 사용한 동기기구, 동력으로서의 전동 모터 또는 실린더 장치 등, 이미 알려진 운동기구를 선택적으로 사용하여 구성하면 좋다.

30은 기판의 배출장치이고, 이송장치(22)에 의해서 건조실(12)내를 보내져 온 행거(14)의 기판(10)에 걸리는 보유를 해제시켜서 행거(14)와 기판(10)을 분리시킨다.

본 실시예의 기판의 배출장치(30)는, 건조실(12)내에서 행거(14)를 개재시켜 매달린 상태로 보내지고 건조실(12)의 출구까지 온 기판(10)을, 승강장치에 의해서 하강하는 승강부재를 개재시켜 화살표(D; 도 1)로 도시하는 바와 같이 이송하며, 수평으로 한 상태로 하고, 화살표(E)로 도시하는 바와 같이 배출용 왕복 동작 장치에 의해서 반출한다. 이로써, 기판(10)에 걸리는 가공 공정을, 건조 공정으로부터 다음 공정으로 양호하게 이행할 수 있다.

상기 기판의 배출장치(30)는, 배경기술에서 설명한 도 14의 배출장치(30)와 기본적으로 동일한 기능을 구비하는 것으로, 공통의 구성을 갖는다. 그래서, 이하에서는, 도 14의 배출장치(30)와 상이한 점을 설명하여, 공통의 구성, 및 그것에 의한 작용에 대해서는, 설명을 생략한다.

본 실시예의 기판의 배출장치(30)는 행거(14)를, 반전하지 않고서, 엎어놓도록 하여 하강시킨 상태인 채로, 귀환 장치(32)의 캐치부(34)에 둔다. 이 때문에, 배경기술과 같은 180도 반전하는 선회 받이부(58)가 없고, 단지 행거(14)를 받아 상하 동작하는 상하 이동체를 구비한다.

또한, 도 14의 배출장치(30)의 컨베이어(54) 대신에, 기판(10)을 상하 동작하여 받고, 이송 방향으로 직선 왕복 동작하여 기판(10)을 배출하는 배출용 왕복 동작 장치가 설치되어 있다.

또한, 본 실시예의 귀환 장치(32)는, 기본적으로 배경기술의 귀환 장치(32)와 동일하게 구성되어 있고, 기판의 배출장치(30)에 의해서 기판(10)과 분리된 행거(14)를, 기판의 공급장치(18)로 되돌리도록 동작한다.

단, 본 실시예의 귀환 장치(32)는, 점선의 화살표(G)로 도시하는 바와 같이체인(33)의 구동에 의해서 이송한 기판(10)을 상기 리프팅 수단(76)으로 넘겨주는 점에서, 배경기술의 귀환 장치와 상이하다. 또한, 리프팅 수단(76)은, 상술한 바와 같이, 행거(14)를, 들어올려 기판(10)을 보유하는 높이 위치까지 들어올린다.

상기 귀환 장치(32)에 체인기구를 이용하면, 체인(33)을 한 방향으로 이동시키는 간단한 구성으로, 자동화에 적절하게 대응할 수 있다. 또한, 본 실시예에서는, 이송 장치(22)에 의한 1회의 이송(1 피치분의 이송)에 대응하고, 하나의 행거(14)를 기판의 배출장치(30)측으로부터 한번에 기판의 공급장치(18)측으로 되돌리는 것이며, 행거(14)를 유효하게 이용할 수 있다. 이것에 대하여, 종래 기술의 난에서 설명한 바와 같은, 무한궤도에 고정된 행거 등의 보유용 부재는, 반수 이상이 사용되지 않고, 이동하고 있을 뿐이며, 그 보유용 부재의 가동 효율이 나빠진다.

다음에, 행거(14)의 이동 공정에 착안하여 기재한 도 10에 의거하여, 기판(10)의 건조 공정에 대하여 설명한다. 도 10은, 이상에 설명한 실시예에 따른 행거(14)의 이동 공정을 도시하고 있다. 또한, 행거(14)는, 평판부(16a)상에 고정된 본체편(15a)과, 그 본체편(15a)에 회동 가능하게 축착된 클립편(15b), 그 클립편(15b)을 항상 닫히는 방향으로 가압하는 스풀링(15c)으로 이루어지는 클립(150을구비한다.

우선, 상기 기판의 공급장치(18)에서는, 화살표(A) 방향으로 공급된 기판(10)이 화살표(B) 방향으로 이동되어 세워지고, 행거(14)는 화살표(H) 방향으로 들어 올려지고 세워진 상태로 보유된다. 그리고, 기판(10)이 B1 방향으로 이동되어, 행거(14)에 가압된다.

다음에, 기판(10)을 보유(클립)한 행거(14)는, 매달린 방향(이하, 「현수 방향」이라고 한다)을 향하여, 화살표(C) 방향으로 상기 재치부(24)상을 이동한다.

그리고, 화살표(D) 방향으로, 기판(10)을 보유한 행거(14)가 이동하는 것으로, 행거(14)가 90도 회전되는 것으로, 행거(14) 및 기판(10)이 수평으로 된다. 그래서, 행거(14)로부터 기판(10)이 멀어져(화살표 D1), 기판(10)은 화살표(E) 방향으로 배출된다. 이 때, 기판(10)은, 기판의 공급장치(18)에 공급된 상태로부터 반전된 상태로 되어 배출된다.

다음에, 행거(14)는, 화살표(F)로 도시하는 바와 같이 하강되고, 귀환 장치(32)로 받아들여진다. 귀환 장치(32)에서는 행거(14)를, 화살표(G) 방향으로 이동시켜 상기 기판의 공급장치(18)측으로 반송한다. 그리고, 행거(14)는 상술한 바와 같이 또한 화살표(H)로 도시하는 바와 같이 상승되어, 기판(10)을 보유하는 높이 위치에 보유된다. 이로써, 하나의 행거(14)의 반송에 걸리는 공정의 1 사이클이 완료한다. 이 사이클을 순차 반복하는 것으로 다수의 기판(10)을 효율이 좋게 반송하여 건조할 수 있다.

이상의 반송 패턴에 의하면, 기판(10)을, 공급된 상태로부터 반전한 상태에서 배출할 수 있다.

다음에 도 17 내지 도 19를 참조하여 UV 건조장치를 설치한 경우에 대하여 설명한다.

본 실시예에서는, 열 건조를 행하는 건조장치 본체의 기판 반송 방향 상류측에 UV 건조장치를 장착한 경우에 대하여 설명한다. 또한, 상기 실시예와 동일 부재에는 동일 번호를 붙이고 설명을 원용하기로 한다. 즉, 기판의 공급 장치(18)로부터 보내진 기판(10)은 우선, UV 건조장치에 보내져서 UV 건조가 행해지고, 이어서 건조장치 본체에 보내져서 열 건조가 행해지도록 되고 있다.

우선, 열 건조를 행하는 건조장치 본체측의 이송 장치(22)를 구성하는 이송용 작동부(26)의 작동기구의 일예에 대하여 설명한다. 우선. 상하동작 수단(27)에 대하여 설명하면, 건조장치 본체(90)의 상판(91)에는 편심 캠 구동용 모터(27a)가 설치되어 있다. 상기 편심 캠 구동용 모터(27a)의 모터축에는 기어열을 경유하여 편심 캠(27b)이 2개소에 연계되어 있다. 또한, 상판(91)에는 가이드 샤프트(27c)가 양측에 세워져 있고, 상기 가이드 샤프트(27c)에는 리니어 부시를 개재시켜 캠 접촉 플레이트(27d) 및 현수 플레이트(27e)가 각각 연결되어 있다. 현수 플레이트(27e)는 캠 접촉 플레이트(27d)에 샤프트 지지(리니어 샤프트(R1))에 의해 수평방향으로 이동 가능하게 연계되어 있다. 편심 캠 구동용 모터(27a)가 작동하여 편심 캠(27b)이 캠 접촉 플레이트(27d)를 상하 동작시키면 현수 플레이트(27e)도 추종하여 상하 동작하도록 되어 있다.

현수 플레이트(27e)에는 현수 로드(27f)에 의해 중간 지지 플레이트(27g)가지지되어 있다. 중간 지지 플레이트(27g)에는 이송 플레이트(27h)가 샤프트 지지 (리니어 샤프트(R2))에 의해 수평 방향으로 이동 가능하게 연계되어 있다. 이송 플레이트(27h)는, 기판(10)의 이송 방향으로 전후에 설치되어 있고, 이들은 연결 바(27i)에 의해 길이 방향으로 연결되어 있다. 이송 플레이트(27h)에는, 현수 로드(27j)를 개재시켜 제 1 이동막대(27k)가 양측으로 매달려서 지지되어 있다. 제 1 이동막대(27k)는 재치부(고정막대; 24)의 외측으로 배열되어 배치되어 있고, 편심 캠(27b)이 작동하여 상승 동작하는 것에 의해, 재치부(24)로부터 행거(14)의 귀부(14a)를 지지하여 받아들여지게 되어 있다. 재치부(24)는, 건조장치 본체(90)의 양측 측벽에 설치된 지지 아암(24a)에 지지되어 있다. 재치부(24) 및 제 1 이동막대(27k)에는, 행거(14)의 귀부(14a)를 떨어뜨려 넣은 V자형의 오목부가 등피치 간격으로 길이 방향으로 연속하여 형성되어 있다. 재치부(24) 및 제 1 이동막대(27k)는 오목부 피치를 맞추어서 나란히 배열되어 배치되어 있다.

다음에 수평 이동 수단(28)에 대하여 설명하면, 이송 플레이트(27h)가 연계되어 있는 리니어 샤프트(R2)에는, 제 1 이동막대(27k)를 이송 방향으로 피치 이송하기 위한 리니어드 모터(28a)가 매달려 지지되고 있다. 리니어드 모터(28a)를 작동시키면 링크(28b)를 개재시켜 연결하고 있는 이송 플레이트(27h)가 리니어 샤프트(R2)에 따라서 왕복 동작하도록 되어 있다.

상기 편심 캠 구동용 모터(27a)를 작동시켜 편심 캠(27b)을 회전시키면 캠 접촉 플레이트(27d) 및 현수 플레이트(27e)가 상승하고, 제 1 이동막대(27k)가 재치부(24)에 나란히 배열된 높이로부터 상승하여 해당 재치부(24)로부터 행거(14)의귀부(14a)를 V자형 오목부에 지지하여 주고받아진다. 이 때 리니어 모터(28a)를 작동시켜 제 1 이동막대(27k)가 행거(14)를 지지한 채로 1 피치분 전방으로 보내지고, 편심 캠(27b)이 1회전하면 원래의 높이 위치로 하강 동작한다. 이 때, 행거(14)는 1 피치 이송된 상태에서 재치부(24)로 받아들여진다. 그리고, 리니어 모터(28a)를 작동시켜 제 1 이동막대(27k)가 수평방향으로 원래의 위치까지 되돌아가서, 다음의 이송 동작에 구비한다. 이송용 작동부(26)는 기판의 공급장치(18)로부터 공급된 기판(10)을 동일한 피치 이송 동작(박스 이송 동작)을 반복하는 것에 의해 UV 건조장치(92)측으로 보낸다.

다음에, UV 건조장치(92)는, 건조장치 본체(90)의 기판 이송 방향 상류측에 설치되고, 기판(10)의 열 건조에 앞서서 UV 건조가 행해지도록 되어 있다. UV 건조장치(92)에는, 재치부(24)의 도중에 행거(14)를 매달아 두는 현수부(93)가 설치되어 있다. 상기 현수부(93)는 상단측을 상판(91)에 고정된 현수 로드(94)의 하단에 V자형 오목부(95)가 1개소 형성되어 있고, 해당 V자형 오목부(95)에 행거(14)가 1개씩 매달리도록 되어 있다. 현수부(93)에 매달린 행거(14)에 보유된 기판(10)의 양측에 설치된 UV광 조사부(96)가 UV광을 기판면에 조사하면서 상하 방향으로 주사하는 것에 의해 UV 건조한다. UV광 조사부(96)는, 상하 2개소에 UV 램프(96a, 96b)가 설치되어 있고, 이들은 상하에 배치된 풀리(97a, 97b) 사이에 놓여진 타이밍 벨트(98)에 연장되어 있다. 승강용 모터(99)로부터 타이밍 벨트(100)를 개재시켜 풀리(97a, 97b)에 구동 전달되어 타이밍 벨트(98)가 상하 동작하는 것에 의해 UV 램프(96a, 96b)가 상승 또는 하강하도록 되어 있다.

또한, 이송용 작동부(26)에는, 재치부(24)에 재치된 행거(14)를 피치 이송하는 동안에, 선두측의 행거(14)만을 수평 이송 동작과 동기시켜 UV 건조장치(92)의 현수부(93)로 반입하는 반입 수단으로서 반입 아암(101) 및 앞서 UV 건조된 기판(10)을 보유하는 행거(14)를 현수부(93)로부터 받아들여 하류의 건조장치 본체(90)로 송출하는 송출 수단으로서 송출 아암(102)이 각각 설치되어 있다. 반입 아암(101) 및 송출 아암(102)은, 캠 접촉 플레이트(27d)에 샤프트 지지(리니어 샤프트(R1))에 의해 연계하고 있고, 편심 캠(27b)의 회전에 따라서 상하 동작하도록 되어 있다. 또한, 반입 아암(101) 및 송출 아암(102)은, 제 1 이동막대(27k)의 외측에 나란히 배열되어 설치되고, 리니어 샤프트(R1)에 이송 플레이트(103, 104)를 개재시켜 슬라이드 가능하게 연계하고 있다. 반입 아암(101) 및 송출 아암(102)의 선단부에는, V자형 오목부가 1개소씩 형성된 제 2 이동막대(105, 106)가 형성되어 있다. 상기 제 2 이동막대(105, 106)의 V자형 오목부에는 행거(14)가 1개씩 지지 가능하게 되어 있다. 제 2 이동막대(105, 106)는, 재치부(24)와 제 1 이동막대(27k)의 사이 위치에서, 서로 간섭하지 않도록 해당 제 1 이동막대(27k) 외측으로부터 내측으로 향하여 コ자형으로 굴곡되어 형성되어 있다.

또한, UV 건조장치(92)의 상측에 상당하는 캠 접촉 플레이트(27d)의 위에는, 이송용 모터(107)가 2개소에 설치되어 있고, 구동 풀리(108)에 연계하고 있다. 또한, 캠 접촉 플레이트(27d)상의 기판의 공급장치(18)측 및 건조장치 본체(90)측에는 종동 풀리(109)가 설치되어 있다. 상기 구동 풀리(108)와 종동 풀리(109)의 사이에는 타이밍 벨트(110)가 놓여져 있다. 이송 플레이트(103, 104)는, 타이밍 벨트(110)의 일부에 연결되어 있고, 이송용 모터(107)를 정역 회전 구동시키는 것에 의해, 반입 아암(101) 및 송출 아암(102)이, 리니어 샤프트(R1)에 따라서 왕복 동작하도록 되어 있다.

다음에, 이송용 작동부(26)의 피치 이송 동작과 UV 건조장치(92)로의 이송 동작의 연계에 대하여 설명한다. 재치부(24)의 V자형 오목부에는, 기판의 공급장치(18)로부터 기판(10)을 보유한 행거(14)가 공급되어 빈틈없이 재치되어 있는 것으로 한다.

편심 캠 구동용 모터(27a)가 회전 구동하면, 편심 캠(27b)이 회전하여 캠 접촉 플레이트(27d)를 밀어올리면, 재치부(24)로부터 행거(14)가 제 1 이동막대(27k)에 받아들여지고, 선두측의 1개소만 제 2 이동막대(105)에 주고받아진다. 또한, 현수부(93)에 매달려 먼저 UV 건조가 행해진 행거(14)는 제 2 이동막대(106)에 주고받아진다. 그리고, 리니어 모터(28a)를 작동시켜, 제 1 이동막대(27k)를 V자형 오목부 1 피치분만 전방으로 보낸다. 또한, 이송용 모터(107)를 소정 방향으로 회전 구동시켜 반입 아암(101) 및 송출 아암(102)을 슬라이드시켜, 제 2 이동막대(105)를 UV 건조장치(92)의 현수부(93) 위치까지 이동시켜, 제 2 이동 막대(106)를 건조 장치 본체(90)의 재치부(24) 위치까지 이동시킨다.

편심 캠(27b)이 1회전하면 캠 접촉 플레이트(27d)가 하강 동작하여, 제 1 이동 막대(27k)에 지지된 행거(14)가 1피치분 전방으로 보내진 위치에서 재치부(24)로 주고받아진다. 또한, 제 2 이동막대(105)에 지지된 행거(14)가 현수부(93)로 주고받아지는, 제 2 이동 막대(106)에 지지된 행거(14)가 건조 장치 본체(90)의 재치부(24)의 후단측으로 주고받아진다. 그리고, 리니어드 모터(28a)를 작동시켜, 제 1 이동막대(27k)를 행거(14)에 간섭하지 않는 높이 위치대로 V자형 오목부 1 피치분만 후방으로 되돌아간다. 또한, 이송용 모터(107)를 소정 방향으로 회전 구동시켜 반입 아암(101) 및 송출 아암(102)을 반대측으로 슬라이드시키고, 제 2 이동막대(105)를 재치부(24)의 선두위치까지 행거(14)에 간섭하지 않는 높이 위치인채로 이동시켜, 제 2 이동막대(106)를 건조장치 본체(90)의 현수부(93) 위치까지 이동시킨다.

그 동안에 UV 건조장치(92)는, 승강용 모터(99)를 회전 구동하여 현수부(93)로 새롭게 설치된 기판(10)의 양면으로부터 UV 조사부(96)를 상승 또는 하강할 때에 UV 건조가 행해진다. 그리고, UV 건조가 행해지면, 이상의 동작이 연속하여 반복하여 행해진다.

UV 건조장치(92)와 건조장치 본체(90)의 경계부분이나 해당 건조장치 본체(90)의 하류측 출구 부근은 에어 커턴이 설치되어 있고, 건조장치 본체(90)로부터의 열이 방산하기 어렵게 되어 있다. UV 건조가 행해진 기판(10)은, 건조장치 본체(90)내에서 열풍 건조에 의해 솔더 레지스트 등의 수지재가 열경화(IR 큐어)된다.

상기 구성에 의하면, 열 건조를 요하는 기판(10) 이외에 UV 건조를 요하는 기판(10)도 1의 장치로 건조할 수 있기 때문에, 작업 효율이 좋고, 더욱이 다양한 기판재료의 건조가 가능하게 되므로 범용성을 향상시킬 수 있다.

특히, 행거(14)를 피치 이송하는 이송장치(22)에, 선두측의 행거(14)만을 수평 이송 동작과 동기를 잡아 현수부(93)로 이송하는 반입 아암(101) 및 먼저 UV 건조된 기판(10)을 보유하는 행거(114)를 받아들여 하류측의 건조장치 본체(90)로 송출하는 송출 아암(102)이 설치되어 있기 때문에 스루풋을 향상시킬 수 있고, 더욱이, 건조장치 본체(90)측의 피치 이송 동작과 동기를 잡아 기판(10)을 1장씩 UV 건조장치(92)로 보내주어 기판 양면에서 UV 건조를 행하는 것으로, 기판재료에 따라서 건조장치 본체(90)에 UV 건조장치(92)가 장착되어도 원활한 이송 동작을 실현할 수 있다.

이상, 본 발명의 적합한 실시예에 대하여 여러가지 설명하여 왔지만, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라. 기판(10)을 건조시키는 공정에 관한 것을 중심으로 설명하여 왔지만 이것에 한정되지 않으며, 여러가지 직사각형 박판형의 워크를 가열·건조시키는 공정에 널리 응용할 수 있는 것은 물론이다.

또한, UV 건조장치(92)는 건조장치 본체(90)의 상류측에 한정되지 않고 하류측에 설치되어 있어도 좋은 등, 발명의 정신을 일탈하지 않는 범위에서 많은 변형을 실시할 수 있는 것은 물론이다.

Claims (9)

1. 직사각형 박판형의 워크(10)를 매단 상태로 보유하는 행거(14)와, 상기 워크(10)를 상기 행거(14)에 보유시키는 동시에, 건조실(12)로 보내는 워크의 공급장치(18)와, 상기 건조실(12)의 길이 방향으로 배치되고, 상기 복수의 행거(14)가 상기 워크(10)를 보유한 상태에서 소정의 간격을 두고 일렬로 배치되는 재치부(24), 및 상기 복수의 행거(14)를 실어 이송 방향으로 간헐적으로 보내도록, 행거(14)를 싣기 위해 상승 이동시키고, 행거(14)를 실어 이송 방향으로 수평 이동시키고, 행거(14)를 내리게 하기 위해 하강 이동시키고, 이송 방향과는 반대방향으로 수평 이동시키는 순서로 작동하는 이송용 작동부(26)를 구비하는 이송장치(22)와, 해당 이송 장치(22)에 의해서 보내진 상기 행거(14)의 상기 워크(10)에 적용된 보유 상태를 해제시켜 행거(14)와 워크(10)를 분리시키는 동시에, 워크(10)를 상기 건조실(12)로부터 배출하는 워크의 배출장치(30)와, 해당 워크의 배출장치(30)에 의해서 상기 워크(10)와 분리된 상기 행거(14)를 상기 워크의 공급장치(18)로 되돌리기 위해서 보내는 귀환 장치(32)를 구비하는 건조장치에 있어서,

   상기 행거(14)는 매달렸을 때에 수평인 상변(14b)과 연직인 좌우의 2변(14c, 14d)을 포함하는 적어도 3변측으로부터 상기 워크(10)를 보유하도록 프레임형으로 설치되고, 상기 3변측의 각 변(14b, 14c, 14d)에는 상기 워크(10)를 끼워 보유하는 클립(15)이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 건조장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 클립(15)은 상기 각 변(14b, 14c, 14d)에 대하여 2개씩 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 건조장치.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 워크의 공급장치(18)는 되돌려진 상기 행거(14)를 매달아 지지하는 행거의 지지수단(72)과, 해당 매달려서 연직인 상태로 보유된 행거(14)로 상기 워크(10)를 보내어 보유시키는 워크의 이송 수단(74)을 구비한 것을 특징으로 하는 건조장치.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 워크의 이송 수단(74)은 복수의 흡착 패드(80a)를 구비한 흡착수단(80)과, 상기 흡착 패드(80a)에 워크(10)가 흡착 보유된 채 상기 행거(14)에 이접 동작시켜 상기 워크(10)를 상기 행거(14)로 보유시키는 이접 동작 수단(82)을 구비한 것을 특징으로 하는 건조장치.
5. 제 4 항에 있어서, 상기 흡착 패드(80a)는 상기 워크를 흡착한 상태에서 외측으로 변위하도록 가압하는 변위 가압 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 건조장치.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 행거(14)에는 상기 재치부(24)에 지지되어 인접하는 상기 행거(14)에 보유된 상기 워크(10) 끼리의 접촉을 방지하도록, 간격 부재(70a, 70b)를 설치한 것을 특징으로 하는 건조장치.
7. 제 1 항에 있어서, 상기 건조 장치 본체(90)의 워크 반송 방향 상류측 또는 하류측에 UV 건조장치(92)가 일체로 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 건조장치.
8. 제 7 항에 있어서, 상기 UV 건조장치(92)는 상기 재치부(24)의 도중에 상기 행거(14)를 매달아 두는 현수부(93)가 설치되고, 해당 현수부(93)에 매달린 행거(14)에 보유된 워크(10)의 양측에 설치된 UV광 조사부(96)가 UV광을 조사하면서 주사하는 것에 의해 해당 워크(10)를 UV 건조하는 것을 특징으로 하는 건조장치.
9. 제 8 항에 있어서, 상기 이송장치(22)에는 상기 재치부(24)에 재치된 행거(14)를 피치 이송하는 동안에, 선두측의 행거(14)만을 수평 이송 동작과 동기시켜 상기 현수부(93)로 보내주는 반입 수단(101)과, 먼저 UV 건조된 기판(10)을 보유하는 행거(14)를 현수부(93)로부터 받아들여 하류측으로 송출하는 송출 수단(102)이 각각 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 건조장치.