KR19980703216A - 잉크젯 프린터 헤드와 그 제조방법과 잉크 - Google Patents

잉크젯 프린터 헤드와 그 제조방법과 잉크 Download PDF

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Abstract

노즐판(1)의 면에 형성된 노즐(11)로부터 잉크 방울을 토출시키는 잉크젯 프린터 헤드에서, 상기 노즐면상에는 금속층(13)과 유황 화합물층(154)이 형성되어 있다. 금속층(13)의 금원자에 유황 화합물층(14)의 유황원자가 공유 결합적으로 결합되고 발수성이 있는 박막이 형성된다. 노즐면에 잉크가 잔류하지 않으므로 잉크 방울이 잔류 잉크에 끌려 토출 방향이 변경 등의 폐해가 없어진다.

Description

잉크젯 프린터 헤드와 그 제조 방법과 잉크
잉크젯 프린터에서는 고속인자, 저소음, 고인자품위 등이 요구되고 있다. 잉크젯 프린터 헤드에도 고성능이 공급된다. 이와 같은 요구를 만족시키기 위해서는 잉크젯 프린터 헤드의 노즐면의 상태가 매우 중요하다.
노즐면에는 잉크, 종이 가루 등이 부착되는 경우가 있다. 이들 부착물이 존재하면, 노즐로부터 잉크 방울이 토출(吐出)도리 때 잉크 방울이 이들 부착물에 이끌려 본래의 토출 방향이 아닌 방향으로 토출되게 된다. 부착물의 부착량이 많아지면 잉크 방울이 형성되지 않는다. 이러한 폐해를 없애기 위해서는 노즐면에 잉크를 튕기는 성질, 발(撥)잉크성(즉, 발수성(撥水性))을 부여하는 것이 중요하다. 노즐면에 발잉크성을 부여함으로써 잉크, 종이 가루 등의 부착을 줄일 수 있다. 이 발잉크성을 부여하는 기술로는 노즐면에 실리콘계의 화합물이나 불소계의 화합물을 형성하는 방법이 제안되어 있다.
하지만, 실리콘계의 화합물 등이 형성된 노즐면은 여러가지의 잉크에 대해 내성이 없다고 하는 문제가 있었다. 실리콘계의 화합물은 실록산 결합(SI-O)을 기본 구조로 하고 있다. 이 실록산 결합은 알칼리에 의핸 절단되기 쉽다. 이 때문에 알칼리 성분을 포함하고 있는 잉크에 대해서는, 노즐면의 내성이 결핍되어 있다. 즉, 잉크젯 프린터에 사용되는 잉크는 물을 기초로 하고 있으며, 그리고 이물에 염료, 용제, 계면활성제 등의 많은 성분이 부가되어 있다. 염료는 산과 알칼리의 염이다. 염은 물에서 전리되어 알칼리를 발생한다(암모늄이온, 나트륨이온, 칼슘이온 등). 또한, 용제도 종이에의 침투를 좋게 하기 위해 종이의 섬유를 용해시킬 수 있도록 화학적 활성이 높은 것이 사용된다. 이와 같은 용제는 당연하지만 실리콘 화합물을 분해하는 작용도 가지고 있다.
또한, 불소계의 화합물은 노즐면과의 밀착력이 약하다. 이 때문에 노즐면에 부착된 잉크, 종이의 가루 등을 닦아내는 프린터 헤드에 대한 청소 동작(이하, 와이핑이라고 약칭함)에 의해 이 화합물이 노즐면으로부터 용이하게 벗겨지는 문제가 있었다. 일단, 발잉크성을 가지고 있는 막이 제거되면 간편한 방법으로 재처리를 행할 수는 없다. 이 때문에 잉크젯 프린터 헤드의 다른 부분이 정상으로 동작하고 있는 경우에도 잉크젯 프린터 헤드 전체를 교환해 주어야 했다.
본 발명은 잉크젯 프린터 헤드에 관한 것으로, 특히 잉크 방울을 선택적으로 기록 매체에 부착하는 잉크젯 프린터 헤드의 노즐면의 개량에 관한 것이다.
도 1은 잉크젯 프린터의 전체 사시도.
도 2는 잉크젯 프린터 헤드의 구조를 설명하는 사시도.
도 3은 잉크젯 프린터 헤드의 주요부 사시도(부분 단면도).
도 4는 잉크젯 프린터 헤드의 동작 원리도.
도 5는 실시 형태1에서의 노즐판의 단면도.
도 6은 티올분자와 금의 결합의 설명도.
도 7은 유황원자와 금원자의 결합의 설명도.
도 8은 금표면에서의 티올분자의 배치의 설명도.
도 9는 발잉크성이 없는 잉크젯 프린터 헤드에서의 토출 설명도.
도 10은 발잉크성이 있는 잉크젯 프린터 헤드에서의 토출 설명도.
도 11은 실시 형태1에서의 중간층이 설치된 노즐판의 단면도.
도 12는 실시 형태2에서의 노즐내에 발잉크성층이 설치된 노즐판의 단면도.
도 13은 실시 형태3에서의 노즐에 단차가 설치된 노즐판의 단면도.
도 14는 실시 형태4에서의 발열 소자를 사용한 잉크젯 프린터 헤드의 사시도.
본 발명의 제1의 목적은 발수성을 가지고 있고 잉크 방울의 토출 성능의 열화가 적은 잉크젯 프린터 헤드와 그 제조 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 제2의 목적은 노즐면의 마모에 대해 발수성의 열화가 적은 잉크젯 프린터 헤드와 이 헤드용의 잉크를 제공하는데 있다.
[발명의 개시]
제1발명은 제1목적을 해결한다. 즉, 제1발명은 노즐면에 형성된 노즐로부터 잉크 방울을 토출시키는 잉크젯 프린터 헤드에 있어서, 상기 노즐면상에 형성되어 있는 금속을 포함하고 있는 금속층과, 이 금속층상에 형성되어 잇는 유황 화합물로 구성된 유황 화합물층을 구비하고 있는 발수층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드이다.
제2발명은 제1목적을 해결한다. 즉, 상기 발수층은 상기 노즐면을 형성하고 있는 부재와 상기 금속층 사이에 니켈, 크롬, 탄탈 또는 티타늄 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 중간층을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 잉크젯 프린터 헤드이다.
제3발명은 제2목적을 해결한다. 즉, 상기 노즐의 내벽에 상기 발수층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 잉크젯 프린터 헤드이다.
제4발명은 제2목적을 해결한다. 즉, 상기 노즐이 상기 노즐면에 설치된 오목부(凹部)의 내부에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 잉크젯 프린터 헤드이다.
제5발명은 제1목적을 해결한다. 즉, 잉크가 충전되어 있는 캐비티와, 이 캐비티에 체적 변화를 일으키는 가압 장치를 구비하고 있고, 상기 캐비티의 체적 변화에 의해 상기 노즐로부터 잉크 방울이 토출되는 것을 특징으로 하는 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 잉크젯 프린터 헤드이다.
제6발명은 제1목적을 해결한다. 즉, 상기 가압 장치는 압전 소자로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항 5에 기재된 잉크젯 프린터 헤드이다.
제7발명은 제1목적을 해결한다. 즉, 상기 가압 장치는 발열 소자에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항 5에 기재된 잉크젯 프린터 헤드이다.
제8발명은 제1목적을 해결한다. 즉, 상기 유황 화합물은 티올화합물인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드이다.
제9발명은 제1목적을 해결한다. 즉, 상기 티올화합물이 하기의 구조인 것을 특징으로 하는 청구항 8에 기재된 잉크젯 프린터 헤드이다.
R-S-H (R은 탄화수소기를 나타냄)
제10발명은 제1목적을 해결한다. 즉, 상기 티올화합물의 R이 이하의 구조인 것을 특징으로 하는 청구항 8에 기재된 잉크젯 프린터 헤드이다.
CnH2n+1-
제11발명은 제1목적을 해결한다. 즉, 상기 티올화합물의 R이 이하의 구조인 것을 특징으로 하는 청구항 8에 기재된 잉크젯 프린터 헤드이다.
CnF2n+1-
제12발명은 제1목적을 해결한다. 즉, 상기 티올화합물이 R이 이하의 구조인 것을 특징으로 하는 청구항 8에 기재된 잉크젯 프린터 헤드이다.
CnF2n+1-CmH2m-
제13발명은 제1목적을 해결한다. 즉, 상기 유황 화합물이 하기의 2종류의 티올분자의 혼합물로 이루어진 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 잉크젯 프린터 헤드이다.
R1-SH, R2-SH (R1과 R2는 서로 상이한 화학 구조식으로 이루어짐을 나타냄)
제14발명은 제1목적을 해결한다. 즉, 상기 유황 화합물이 하기의 화학 구조식으로 이루어진 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 잉크젯 프린터 헤드이다.
HS-R3-SH
제15발명은 제1목적을 해결한다. 즉, 상기 유황 화합물이 하기의 화학 구조식으로 이루어진 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 잉크젯 프린터 헤드이다.
R4-S-S-R4
제16발명은 제1목적을 해결한다. 즉, 상기 티올화합물의 R1 및/또는 R2가 이하의 화학 구조식인 것을 특징으로 하는 청구항 13에 기재된 잉크젯 프린터 헤드이다.
CnF2n+1-
제17발명은 제1목적을 해결한다. 즉, 상기 티올화합물의 R1 및/또는 R2가 이하의 화학 구조식인 것을 특징으로 하는 청구항 13에 기재된 잉크젯 프린터 헤드이다.
CnF2n+1-CmH2m-
제18발명은 제1목적을 해결한다. 즉, 상기 티올화합물이 R3이 이하의 화학구조식인 것을 특징으로 하는 청구항 14에 기재된 잉크젯 프린터 헤드이다.
제19발명은 제1목적을 해결한다. 즉, 상기 티올화합물이 R3이 이하의 화학구조식인 것을 특징으로 하는 청구항 14에 기재된 잉크젯 프린터 헤드이다.
제20발명은 제1목적을 해결한다. 즉, 상기 티올화합물이 R3이 이하의 화학구조식인 것을 특징으로 하는 청구항 14에 기재된 잉크젯 프린터 헤드이다.
제21발명은 제1목적을 해결한다. 즉, 상기 티올화합물의 R3이 이하의 화학구조식인 것을 특징으로 하는 청구항 14에 기재된 잉크젯 프린터 헤드이다.
제22발명은 제1목적을 해결한다. 즉, 상기 티올화합물의 R4가 이하의 화학구조식인 것을 특징으로 하는 청구항 15에 기재된 잉크젯 프린터 헤드이다.
CnF2n+1-CmH2m-
제23발명은 제1목적을 해결한다. 즉, 상기 티올화합물의 R4가 이하의 화학구조식인 것을 특징으로 하는 청구항 15에 기재된 잉크젯 프린터 헤드이다.
CnF2n+1-
제24발명은 제1목적을 해결한다. 즉, 청구항 1및 청구항 2에 기재된 노즐부재가 실리콘 또는 세락믹으로 조성된 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드이다.
제 25발명은 제1목적을 해결한다. 즉, 노즐 부재의 노즐면상에 금속층을 형성하는 공정과, 상기 금속층이 형성되 기초재를 유황 화합물이 용해된 용액에 침지(浸漬)하는 공정을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드의 제조 방법이다.
제26발명은 제2목적을 해결한다. 즉, 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 잉크젯 프린터 헤드에 사용되는 잉크에 있어서, 유황 화합물을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 잉크이다.
제27발명은 제1목적을 해결한다. 즉, 청구항 1에 기재된 유황 화합물층은 이 유황 화합물층 표면에서의 물의 정적(靜的)인 접촉각이 약 100도 이상이 되는 재료를 사용하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명을 실시하기 위한 최량의 형태를, 도면을 참조하여 설명한다.
(실시 형태 1)
도 1에는 본 실시 형태의 잉크젯 프린터 헤드가 사용되는 프린터의 사시도가 도시되어 있다. 이 도면에 도시된 바와 같이 본 실시 형태의 잉크젯 프린터(100)는 본체(102)가 본 발명에 따른 잉크젯 프린터 헤드(101), 트레이(103) 등을 구비하고 있다. 용지(105)는 트레이(103)에 재치(載置)되어 있다. 도시되지 않은 컴퓨터로부터 인자용 데이터가 공급되면 도시되지 않은 내부 롤러가 용지(105)를 본체(102)내로 받아 들인다. 용지(105)는 롤러의 부근을 통과할 때, 상기 도면에서 화살표 방향으로 구동되는 잉크젯 프린터 헤드(101)에 의해 인자되어 배출구(104)로부터 배출된다. 잉크젯 프린터 헤드(101)로부터의 잉크 방울이 토출이 정확하게 행해지지 않으면 용지(105)에 인자되는 문자 등의 더러워지거나 흐려진다.
도 2에는 본 실시 형태의 잉크젯 프린터 헤드의 구조를 설명하는 사시도가 도시되어 있다. 이 도면에 도시된 바와 같이, 잉크젯 프린터 헤드(101)는 노즐(11)에 설치된 노즐판(1), 및 진동판(3)이 설치된 유로(流路)기판(2)이 하우징(5)에 구성되어 있다. 유로기판(2)는 가압실 기판이라고도 하며, 캐비티(가압실)(21), 측벽(22) 및 잉크통(23) 등이 형성되어 있다. 본 발명의 특징은 이 잉크젯 프린터 헤드의 노즐판의 표면의 가공에 관한 것이다.
또한, 본 실시 형태에서는 잉크를 저장하는 잉크통이 유로기판에 설치되어 있지만, 노즐판을 다층 구조로 하고 그 내부에 잉크통을 설치해도 된다.
도 3에는 노즐판(1), 유로기판(2) 및 진동판(3)이 적층되어 구성된 잉크젯 프린터 헤드의 주요부의 구조에 대한 사시도가 도시되어 있다. 이해가 용이하도록 부분 단면이 도시되어 있다. 이 도면에 도시된 바와 같이, 잉크젯 프린터 헤드의 주요부는 유로기판(3)이 노즐판(1)과 진동판(3)에서 삽입된 구조를 가지고 있다. 유로기판(3)은 실리콘 단결정 기판 등을 에칭함으로써 각각의 가압실로서 기능하는 캐비티(21)가 복수개 설치되어 있다. 각각의 캐비티(21) 사이는 측벽(22)으로 분리되어 있다. 각각의 캐비티(21)는 공급구(24)를 통해 잉크통(23)에 연계되어 있다. 노즐판(1)에는 유로기판(3)의 캐비티(21)에 상당하는 위치에 노즐(11)이 설치되어 있다. 진동판(3)은 예컨대 열산화막 등에 의해 구성되어 있다. 진동판(3)상의 캐비티(21)에 상당하는 위치에는 압전소자(4)가 형성되어 있다. 또한, 진동판(3)에는 잉크 탱크 입구(31)도 설치되어 있다. 압전소자(4)는 예컨대 PZT 소자 등을 상부 전극 및 하부 전극(도시되지 않음)에 삽입된 구조를 가지고 있다. 이하, 도 3의 A-A 라인에서의 잉크젯 프린터 헤드의 단면도를 기초로 설명한다.
도 4를 참조하여, 잉크젯 프린터 헤드의 동작 원리를 설명한다. 잉크는 하우징(5)의 잉크 탱크로부터 진동판(3)에 설치된 잉크 탱크 입구(31)를 통해 잉크통(23)내에 공급된다. 이 잉크통(23)으로부터 공급구(24)를 통해 각각의 캐비티(21)로 잉크가 유입된다. 압전 소자(4)는 그 상부 전극과 하부 전극 사이에 전압이 인가되면 그 체적이 변한다. 이 체적 변화는 진동판(3)을 변형시키고 캐비티(21)의 체적을 변화시킨다. 전압이 인가되지 않는 상태에서는 진동판(3)의 변형은 없다. 하지만, 전압이 인가되면 상기 도면에 파선으로 도시된 변형 후의 진동판(3b)의 위치나 변형 후의 압전소자(4b)의 위치까지 변형된다. 캐비티(21)내의 체적이 변하면 캐비티에 채워진 잉크(6)의 압력이 높아져 노즐(11)로부터 잉크 방울(61)이 토출된다.
도 5에는 본 실시 형태에서의 노즐판의 층구조의 단면도가 도시되어 있다. 이 도면은 도 3 및 도 4의 노즐 부근을 확대한 단면도이다. 부호 1a는 본 형태의 노즐판을 나타낸 것이다. 노즐판(1a)은 노즐 부재(12)의 잉크 방울 토출측에 금속층(13)과 유황 화합물층(14)이 적층되어 구성되어 있다. 도 2 및 도 3과 동일한 구성에는 동일 부호가 부여되어 있다. 노즐(11a)에는 잉크의 계면 장력에 의해 잉크의 메니스커스(meniscus)(62a)가 발생되고 있다. 즉, 캐비티(21)에 채워진 잉크는 유황 화합물층(14)의 발잉크성에 의해 노즐판(1a)의 표면으로 확장되지 않고 노즐(11a)에 메니스커스(62a)를 발생하는데 그친다.
노즐 부재(12)로는 금속층 사이에 일정한 결합력을 가지고 있는 것이면 된다. 예컨대, 유리나 금속판을 사용할 수 있다. 제조 원가를 줄이고 노즐 구멍 등의 미세 가공이 용이해지도록 실리콘이나 세라믹을 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 실리콘이나 세라믹을 사용하는 경우에는, 본 실시예 형태에서 후술되는 바와 같이 중간층을 설치하면 바람직하다(도 11 참조).
금속층(13)의 조성은 화학적·물리적인 안정성 측면에서 금(Au)이 바람직하다. 기타, 유황 화합물을 화학적으로 흡착하는 은(Ag), 동(Cu), 인듐(In), 갈륨-비소(Ga-As) 등의 금속도 된다. 노즐 부재(12)상에의 금속층(13)의 형성은 스퍼터링법, 증착법, 도금법 등의 공지 기술이 사용될 수 있다. 금속이 박막을 일정한 두께(예컨대, 0.1㎛)로 균일하게 형성할 수 있는 성막법이면 그 종류에 특별한 제한은 없다.
금속층(13)의 위에는 유황 화합물층(14)이 형성된다. 유황 화합물층(14)의 형성은 유황 화합물을 용해하여 용액으로 하고 이 속에 금속층(13)이 형성된 노즐판(1a)을 침지(immersion)함으로써 행해진다.
이때, 유황 화합물은 유황(S)을 포함하고 있는 유기물 중에서, 티올 관능기를 1이상 포함하고 있는 화합물 또는 2황화물 결합(disulfide; S-S 결합)을 행하는 화합물을 총칭한다. 이들 유황 화합물은 용액내에서 또는 휘발 조건하에서 금등의 금속 표면상에 자발적으로 화학 흡착되고, 2차원 결정구조에 가까운 단분자막을 형성한다. 이 자발적인 화학흡착에 의해 만들어진 분자막을 자기집합화막, 자기조직화막 또는 셀프 어셈블리(self assembly)막이라고 하는데, 현재 기초 연구 및 그 응용 연구가 진행되고 있다. 본 실시 형태에서는 특히 금(Au)을 가정하였지만, 상기 다른 금속 표면에도 마찬가지고 자기집합화막이 형성된다.
유황 화합물로는 티올(Thiol) 화합물이 바람직하다. 티올화합물이란 메르캅트기(-SH)를 가지고 있는 유황 화합물(R-SH; R은 알킬기 등의 탄성수소기)의 총칭을 말한다.
도 6에 기초하여 유황 화합물의 형성 방법을 설명한다. 이 도면은 금속층으로서 금을 사용하고, 유황 화합물 층으로서 티올 화합물을 사용한 경우이다. 티올화합물은 도 6의 (a)에 도시된 바와 같이, 머리 부분은 알킬기 등이고, 꼬리 부분은 메르캅트기이다. 이는 1∼10mM의 에탄올 용액으로 용해된다. 이 용액으로 도 6의 (b)와 같이, 성막된 금의 막을 침지한다. 이대로, 실온에서 1시간 정도 방치하면 티올 화합물이 금의 표면에 자발적으로 집합된다(도 6의 (c)). 그리고, 금의 표면에 2차원적으로 티올 분자의 단분자막이 형성된다(도 6의 (d)).
도 7에는 티올 화합물의 단분자막이 형성된 때의 분자간 결합의 모양이 도시되어 있다. 금속 표면에서의 유황원자의 화학흡착의 반응 메카니즘은 완전하게는 설명되어 있지 않다. 하지만, 유기 유황 화합물은 예컨대 금(O)의 표면에서 Au(1) 티올라트(RS-Au+)로 되어 흡착되는 구조가 고려된다. 도 7에 도시된 바와 같이, 금속층(13)의 금원자와 유황 화합물층(14)의 유황 원자와의 결합은 공유결합에 가깝고(40-45 Kcal/mol), 매우 안정된 분자막이 형성된다.
또한, 이러한 유기분자의 자기 조직화는 유기 분자막에 의해 개체 표면 기능화 기술로서, 소재 표면의 광택내기, 윤활, 유윤(濡潤)성, 내식(耐蝕), 표면 촉매 작용 등의 분야로의 확장이 고려된다. 또한, 분자소자, 생물 소자 등의 마이크로일렉트로닉스분야 및 바이오일렉트로닉스 분야에의 응용이 장차 크게 기대되고 있다.
도 8에는 금속층(13) 표면에 형성된 유황 화합물의 단분자막의 모양이 도시되어 있다. 이 도면에 도시된 바와 같이, 유황 화합물층(14)은 단분자로 구성되어 있기 때문에, 그 막두께는 매우 얇다(예컨대, 2nm 정도). 이 유황 화합물은 매우 치밀하게 집합화되어 있으므로, 물의 분자는 유황 화합물층(14)에 들어갈 수 없다. 이 때문에, 이 유황 화합물층(14)은 발잉크성(발수성)을 갖게 된다.
도 9에 도시된 바와 같이, 발잉크성이 없는 잉크젯 프린터 헤드에서는, 노즐면에 잉크(6)가 주입되는 경우가 있었다. 이 경우에, 잉크(6)의 장력에 의해 토출되는 잉크 방울(61a)이 노즐판(1')에 평행한 방향으로 이끌려 노즐판에 수직으로 토출되지 않는 경우가 있었다.
이에 대해, 본 발명이 적용된 잉크젯 프린터 헤드에서는 노즐면이 발잉크성을 가지고 있다. 도 10에 도시된 바와 같이, 잉크(6)는 노즐면에서 항상 튕겨져 노즐(11)내에 메니스커스(62)로서 체류한다. 이 때문에, 토출되는 잉크 방울(61b)이 잉크의 장력에 의해 끌리지 않고, 노즐(11)로부터 수직으로 토출된다. 또한, 노즐면이 발잉크성을 가지고 있기 때문에, 조즐면으로 튄 잉크는 노즐면으로 화장되지 않고 입자로 되어 체류한다. 이 때문에, 고무 등의 탄성체를 사용한 와이핑에 의해 용이하게 불필요한 잉크 방울을 제거할 수 있다.
[중간층의 형성]
도 11에는 중간층이 설치된 노즐판의 층구조의 단면도가 도시되어 있다. 위에서 설명한 바와 같이, 기초재인 노즐 부재에 실리콘이나 세라믹을 사용하는 경우에, 노즐 부재와 금속막 사이에 중간층을 설치하는 편이 결합력이 강해진다. 이 도면에서, 도 10과 동일한 부재에는 동일 부호가 부여되어 있으며, 그 설명은 생략한다.
노즐 부재(12b)는 실리콘 또는 세라믹으로 조성되어 있다.
중간층(15)은 노즐 부재와 금속막 사이의 결합력을 강화시키는 소재, 예컨대 니켈(Ni), 크롬(Cr), 탄탈(Ta)중 어느 하나, 또는 이들의 합금이면 바람직하다. 중간층을 설치하면, 노즐 부재나 금속층의 결합력이 증가되고 기계적인 마찰에 대한 유황 화합물층이 박리되기가 어려워진다.
[잉크]
잉크젯 프린터 헤드에 사용되는 잉크(6)에는, 상기 유황 화합물을 혼입해 두면 바람직하다. 유황 화합물을 혼입해 두면, 물리적 충격 등에 의해 유황 화합물층의 일부가 결손되어도 잉크에 혼입된 유황 화합물은 결손된 장소의 금속층의 표면에 재결합된다. 즉, 자기수복(自己修復)기능을 갖게 할 수 있다.
이러한 자기수복성이 있는 발잉크 처리는 예가 없고 유저가 특별한 수복 작업을 하지 않아도 된다. 이때, 본 실시 형태와 같이 금속층을 금으로 형성두면 바람직하다. 금은 전성(展性)이 우수하고, 상처가 나도 금의 재료가 손실되는 경우는 적다. 또한, 내약품성(耐藥品性)이 우수하므로, 노즐 부재의 내약품성도 향상되기 때문이다.
다음에, 본 실시 형태에서의 잉크젯 프린터 헤드의 제조 방법의 바람직한 실시예를 설명한다.
(1) 실시예 1(청구항 1, 청구항 10에 대응)
본 실시예에서는 티올화합물(R-SH)의 탄화수소기(R)로서, 알킬기 CnH2n+1-를 적용했다(n=18인 경우).
① 노즐이 형성된 스테인레스강으로 된 노즐판에 스퍼터링법으로 0.5㎛ 두께의 금막을 형성한다.
② C18H37SH를 에틸알콜로 용해하고 1mM 용액을 작성한다.
③ 금속이 형성된 노즐판을, C18H37SH가 용해된 1mM의 에틸알콜 용액에 담그고, 25℃서 10분간 침지한다.
④ 노즐판을 꺼낼 에틸알콜로 린스(rinse)한다.
⑤ 노즐판을 건조시킨다.
[발잉크성]: 발잉크성을 평가하여 잉크와의 접촉각을 측정하였다. 평가에 사용된 잉크는 표면 장력이 2 종류의 잉크(A, B)를 사용하였다. 잉크(A)의 표면 장력은 35 dyn/㎝이고, 잉크(B)의 표면 장력은 19 dyn/㎝ 이다. 잉크(A)의 접촉각은 90°였고, 잉크(B)와의 접촉각은 60°였다.
[밀착성]: 밀착성의 평가로서, 노즐판 표면을 고무 경도 60°의 클로로프렌 고무에 의해 100g/㎝의 가중을 부가하고, 5000회 문지르고, 그 후의 잉크의 노즐에 대한 접촉각을 측정하였다. 모두 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[내잉크성]: 내잉크성의 평가로서, 티올 화합물이 형성된 노즐판을 잉크에 넣고, 60℃의 분위기하에서 6일간의 침지를 행하고, 그 후의 접촉각을 측정하였다. 어느 것이나 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[실제 시험]: 티올화합물이 형성된 노즐판을 사용하여, 도 10에 도시된 잉크젯 프린터 헤드를 제작하였다. 이 잉크젯 프린터 헤드를 응답 주파수 10㎑로 연속 10만회 구동하였다. 그 결과, 잉크 방울은 정규 방향으로 토출되고, 토출 방향의 변경 등의 이상은 없었다.
(2) 실시예 2(청구항 2, 청구항 10에 대응)
본 실시예는 실리콘 부재로서 실리콘을 사용하고 티올화합물(R-SH)의 R로서 알킬기 CnH2n+1-을 적용하고 있다.(n=18인 경우). 또한, 본 실시예에서는 중간층을 Cr로 형성하였다.
① 노즐이 형성된 실리콘(Si)으로 된 노즐판에, 스퍼터링법으로 0.52㎛ 두께의 중간층인 Cr막을 형성한다.
② 또한, 스퍼터링법으로 0.5㎛ 두께의 금막을 Cr막상에 형성한다.
③ C18H37SH를 에틸알콜로 용해하고 1mM 용액을 작성한다.
④ 금막이 형성된 노즐판을 C18H37SH가 용해된 1mM의 에틸알콜 용액에 담그고 25℃에서 10분간 침지한다.
⑤ 노즐판을 꺼내 에틸암폴로 린스한다.
⑥ 노즐판을 건조시킨다.
[발잉크성]: 발잉크성을 평가하여 잉크와의 접촉각을 측정하였다. 평가에 사용된 잉크는 표면 장력이 상이한 2종류의 잉크(A, B)를 사용하였다. 잉크(A)의 표면 장력은 35 dyn/㎝이다. 잉크(B)의 표면 탈력(脫力)은 19 dyn/㎝이다. 잉크(A)의 접촉각은 90°였고, 잉크(B)와의 접촉각은 60°였다.
[밀착성]: 밀착성의 평가로서, 노즐판 표면을 고무 경도 60°의 클로로프렌 고무에 의해 100g/㎝의 가중을 부가하고, 5000회 문지르고, 이 후의 접촉각을 측정하였다. 어느 것이나 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[내잉크성]: 내잉크성의 평가로서, 티올화합물이 형성된 노즐판을 잉크에 담그고, 60℃의 분위기하에서 6일간의 침지를 행하고, 이후의 접촉각을 측정하였다. 어느 것이나 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[실제 시험]: 티올화합물과 상기 중간층이 형성된 노즐판을 사용하고, 도 11에 도시된 잉크젯 프린터 헤드를 제작하였다. 이 잉크젯 프린터 헤드를 응답 주파수 10㎑로 연속 10만회 구동하였다. 잉크 방울은 정규 방향으로 토출되고, 토출 방향의 변경 등의 이상은 없었다.
(3) 실시예 3(청구항 2, 청구항 10에 대응)
본 실시예는 상기 실시예 2의 Cr의 중간층 대신에, NiCr의 합금막을 형성하였다.
① 노즐이 형성된 실리콘(Si)으로 된 노즐판에 스퍼터링법으로 0.2㎛ 두께의 NiCr막을 형성한다.
② 또한, 스퍼터링법으로 0.5㎛ 두께의 금막을 NiCr막상에 형성한다.
③ C18H37SH를 에틸 알콜로 용해하고 1mM용액을 작성한다.
④ 금각이 형성된 노즐판을 C18H37SH가 용해된 1mM의 에틸알콜 용액에 담그고, 25℃에서 10분간 침지한다.
⑤ 노즐판을 꺼내 에틸 알콜로 린스한다.
⑥ 노즐판을 건조시킨다.
[발잉크성]: 발잉크성을 평가하여 잉크와의 접촉각을 측정하였다. 평가에 사용된 잉크는 표면 장력이 상이한 2종류의 잉크(A, B)를 사용하였다. 잉크(A)의 표면 장력은 35 dyn/㎝,, 잉크(B)의 표면 장력은 19 dyn/㎝이다. 잉크(A)의 접촉각은 90°였고, 잉크(B)와의 접촉각은 60°였다.
[밀착성]: 밀착성의 평가로서, 노즐판 표면을 고무 경도 60°의 클로로프렌 고무에 의해, 100g/㎝의 가중을 부가하고, 5000회 문지르고, 그 후의 잉크의 노즐에 대한 접촉각을 측정하였다. 모두 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[내잉크성]: 내잉크성의 평가로서, 티올화합물이 형성된 노즐판을 잉크에 넣고, 60℃의 분위기하에서 6일간의 침지를 행하고, 그 후의 접촉각을 측정하였다. 어느 것이나 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[실제 시험]: 티올화합물과 상기 합금막이 형성된 노즐판을 사용하여, 도 11에 도시된 잉크젯 프린터 헤드를 제작하였다. 이 잉크젯 프린터 헤드를 응답 주파수 10㎑ 로 연속 10만회 구동하였다. 잉크 방울은 정규방향으로 토출되며, 토출방향의 변경 등의 이상은 없었다.
(4) 실시예 4(청구항 1, 청구항 11에 대응)
본 실시예에서는 티올화합물(R-SH)의 R로서 CnF2n+1-을 적용하였다(n=12인 경우).
① 노즐이 형성된 스테인레스강으로 된 노즐판내 스퍼터링법으로 0.5㎛ 두께의 금층을 형성한다.
② C12F25SH를 C8F18로 용해하여 1mM 용액을 제작한다.
③ 금층이 형성된 노즐판을 C12F25SH가 용해된 1mM의 C8F18 용액에 담그고 25℃에서 10분간 침지한다.
④ 노즐판을 꺼내 C8F18로 린스한다.
⑤ 노즐판을 건조시킨다.
[발잉크성]: 발잉크성을 평가하여 잉크와의 접촉각을 측정하였다. 평가에 사용한 잉크는 표면 장력이 상이한 2종류의 잉크(A, B)를 사용하였다. 잉크(A)의 표면 장력은 35 dyn/㎝, 잉크(B)의 표면 장력은 19 dyn/㎝이다. 잉크(A)의 접촉각은 110°였고, 잉크(B)와의 접촉각은 70°였다.
[밀착성]: 밀착성의 평가로서, 노즐판 표면을 고무 경도 60°의 클로로프렌 고무에 의해, 100g/㎝의 가중을 부가하고, 5000회 문지르고, 그 후의 접촉각을 측정하였다. 모두 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[내잉크성]: 내잉크성의 평가로서, 티올화합물이 형성된 노즐판을 잉크에 넣고, 60℃의 분위기하에서 6일간의 침지를 행하고 그 후의 접촉각을 측정하였다. 어느 것이나 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[실제 시험]: 티올화합물이 형성된 노즐판을 사용하여, 도 10에 도시된 잉크젯 프린터 헤드를 제작하였다. 이 잉크젯 프린터 헤드를 응답 주파수 10㎑ 로 연속 10만회 구동하였다. 그 결과, 잉크 방울은 정규 방향으로 토출되며, 토출 방향의 변경 등의 이상은 없었다.
(5) 실시예 5(청구항 1, 청구항 12에 대응)
본 실시예에서는, 티올화합물(R-SH)의 R로서, CnF2n+1-CmH2m-을 적용하였다(n=12, m=2인 경우).
① 노즐이 형성된 스테인레스강으로 된 노즐판내 스퍼터링법으로 0.5㎛ 두께의 금층을 형성한다.
② C12F25-C2H4SH를 C8F18로 용해하여 1mM 용액을 제작한다.
③ 금층이 형성된 노즐판을 C12F25-SH가 용해된 1mM의 C8F18 용액에 담그고 25℃에서 10분간 침지한다.
④ 노즐판을 꺼내 C8F18로 린스한다.
⑤ 노즐판을 건조시킨다.
[발잉크성]: 발잉크성을 평가하여 잉크와의 접촉각을 측정하였다. 평가에 사용한 잉크는 표면 장력이 상이한 2종류의 잉크(A, B)를 사용하였다. 잉크(A)의 표면 장력은 35 dyn/㎝이고 잉크(B)의 표면 장력은 19 dyn/㎝이다. 잉크(A)의 접촉각은 110°였고, 잉크(B)와의 접촉각은 70°였다.
[밀착력]: 밀착력의 평가로서, 노즐판 표면을 고무 경도 60°의 클로로프렌 고무에 의해, 100g/㎝의 가중을 부가하고, 5000회 문지르고, 그 후의 접촉각을 측정하였다. 모두 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[내잉크성]: 내잉크성의 평가로서, 티올화합물이 형성된 노즐판을 잉크에 넣고 60℃의 분위기하에서 6일간의 침지를 행하고 그 후의 접촉각을 측정하였다. 어느 것이나 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[실제 시험]: 티올화합물이 형성된 노즐판을 사용하여 도 10에 도시된 잉크젯 프린터 헤드를 제작하였다. 이 잉크젯 프린터 헤드를 응답 주파수 10㎑ 로 연속 10만회 구동하였다. 그 결과, 잉크 방울은 정규 방향으로 토출되며, 토출 방향의 변경 등의 이상은 없었다.
(6) 실시예 6 (청구항 1, 청구항 12에 대응)
본 실시예에서는, 티올화합물(R-SH)의 R로서, CnF2n+1-CmH2m-을 적용하였다(n=10, m=11인 경우).
① 노즐이 형성된 스테인레스강으로 된 노즐판내 스퍼터링법으로 0.5㎛ 두께의 금층을 형성한다.
② 티올화합물(C10F21C11H22SH)를 에틸알콜로 용해하고, 1mM 용액을 작성한다.
③ 금막이 형성된 노즐 부재를 티올화합물이 용해된 1mM의 에틸알콜에 담그고 25℃에서 10분간 침지한다.
④ 노즐 부재를 꺼내, 에틸알콜로 린스한다.
[발잉크성]: 발잉크성을 평가하여 잉크와의 접촉각을 측정하였다. 평가에 사용된 잉크는 표면 장력이 상이한 2종류의 잉크(A, B)를 사용하였다. 잉크(A)의 표면 장력은 35 dyn/㎝이고, 잉크(B)의 표면 장력은 19 dyn/㎝이다. 잉크(A)의 접촉각은 9°, 잉크(B)와의 접촉각은 60°였다.
[밀착성]: 밀착성의 평가로서, 노즐 부재의 표면을 고무 경도 60°의 클로로프렌 고무에 의해 100g/㎝의 가중을 부가하고, 5000회 문지르고, 그 후의 접촉각을 측정하였다. 모두 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[내잉크성]: 내잉크성의 평가로서, 티올화합물이 형성된 노즐 부재를 잉크에 넣고 60℃의 분위기하에서 6일간의 침지를 행하고, 그 후의 접촉각을 측정하였다. 어느 것이나 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[실제 시험]: 티올화합물이 형성된 노즐판을 사용하여, 도 10에 도시된 잉크젯 프린터 헤드를 제작하였다. 이 잉크젯 프린터 헤드를 응답 주파수 10㎑ 로 연속 10만회 구동하였다. 잉크 방울은 정규 방향으로 토출되며, 토출 방향의 변경 등의 이상은 없었다.
(7) 실시예 7 (청구항 2, 청구항 13, 청구항 16 및 청구항 17에 대응)
본 실시예에서는 2종류의 상이한 티올화합물의 혼합물에 의해 노즐판을 성형하였다.
① 노즐이 형성된 실리콘(Si)으로 된 노즐판에 스퍼터링법으로 0.2㎛ 두께의 Ni층을 형성한다.
② Ni막이 형성된 노즐판에 스퍼터링법으로 0.5㎛ 두께의 금막을 형성한다.
③ C10F21(CH2)11SH 및 C10F21SH 각각의 동일 몰(mol)을 디클로로메탈 용액에 담그고, 이들 혼합물의 1mM 용액을 작성한다.
④ 금막이 형성된 노즐판을 C10F21(CH2)11SH 및 10F21SH 혼합물의 1mM 디클로로메칸 용액에 담그고, 25℃에서 10분간 침지한다.
⑤ 노즐판을 꺼내 디클로로메탄으로 린스한다.
⑥ 노즐판을 건조시킨다.
[발잉크성]: 발잉크성을 평가하여 잉크와의 접촉각을 측정하였다. 평가에 사용된 잉크는 표면 장력이 상이한 2종류의 잉크(A, B)를 사용하였다. 잉크(A)의 표면 장력은 35 dyn/㎝이고, 잉크(B)의 표면 장력은 19 dyn/㎝이다. 잉크(A)의 접촉각은 100°였고, 잉크(B)와의 접촉각은 70°였다.
[밀착성]: 밀착성의 평가로서, 노즐판 표면을 고무 경도 60°의 클로로프렌 고무에 의해, 100g/㎝의 가중을 부가하고, 5000회 문지르고, 그 후의 잉크의 노즐에 대한 접촉각을 측정하였다. 모두 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[내잉크성]: 내잉크성의 평가로서, 티올화합물이 형성된 노즐판을 잉크에 넣고, 60℃의 분위기하에서 6일간의 침지를 행하고 그 후의 접촉각을 측정하였다. 어느 것이나 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[실제 시험]: 티올화합물과 중간층이 형성된 노즐판을 사용하여, 도 11에 도시된 잉크젯 프린터 헤드를 제작하였다. 이 잉크젯 프린터 헤드를 응답 주파수 10㎑ 로 연속 10만회 구동하였다. 잉크 방울은 정규 방향으로 토출되며, 토출 방향의 변경 등의 이상은 없었다.
(8) 실시예 8 (청구항 2, 청구항 14 및 청구항 18에 대응)
본 실시예에서는 구조식 HS-R-SH의 R이,
로 표현되는 유황 화합물을 노즐판에 형성하였다(n=10인 경우).
① 노즐이 형성된 실리콘(Si)으로 이루어진 노즐판에 스퍼터링법에 의해 0.2㎛ 두께의 Cr 막을 형성한다.
② 또한, 스퍼터링법에 의해 0.5㎛ 두께의 금막을 Cr막상에 형성한다.
③
(이하, 분자(A)라고 칭함)를 클로로포름에 용해하여, 1mM 용액을 제작한다.
④ 금막이 형성된 노즐판을 분자(A)가 용해된 1mM의 클로로포름 용액에 담그고, 25℃에서 10분간 침지한다.
⑤ 노즐판을 꺼내 에틸알콜로 린스한다.
⑥ 노즐판을 건조시킨다.
[발잉크성]: 발잉크성을 평가하여 잉크와의 접촉각을 측정하였다. 평가에 사용된 잉크는 표면 장력이 상이한 2종류의 잉크(A, B)를 사용하였다. 잉크(A)의 표면 장력은 35 dyn/㎝, 잉크(B)의 표면 장력은 19 dyn/㎝이다. 잉크(A)의 접촉각은 110°였고, 잉크(B)와의 접촉각은 70°였다.
[밀착성]: 밀착성의 평가로서, 노즐판 표면을 고무 경도 60°의 클로로프렌 고무에 의해 100g/㎝의 가중을 부가하고, 5000회 문지르고, 그 후의 접촉각을 측정하였다. 모두 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[내잉크성]: 내잉크성의 평가로서, 티올화합물이 형성된 노즐판을 잉크에 넣고 60℃의 분위기하에서 6일간의 침지를 행하고 그 후의 접촉각을 측정하였다. 어느 것이나 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[실제 시험]: 티올화합물이 형성된 노즐판을 사용하여 도 11에 도시된 잉크젯 프린터 헤드를 제작하였다. 이 잉크젯 프린터 헤드를 응답 주파수 10㎑ 로 연속 10만회 구동하였다. 잉크 방울은 정규 방향으로 토출되며, 토출 방향의 변경 등의 이상은 없었다.
(9) 실시예 9 (청구항 2, 청구항 14 및 청구항 19에 대응)
본 실시예에서는, 구조식 HS-R-SH의 R이,
로 표현되는 유황 화합물을 노즐판에 형성하였다(n=10, m=11인 경우).
① 노즐이 형성된 스테인레스강으로 된 노즐판에, 스퍼터링법으로 0.5㎛ 두께의 금층을 형성한다.
②
(이하, 분자(B)라고 칭함)를 클로로포름으로 용해하고, 1mM 용액을 제작한다.
③ 금막이 형성된 노즐판을, 분자(B)가 용해된 클로로포름 1mM 용액에 담그고, 25℃에서 10분간 침지한다.
④ 노즐판을 꺼내 에틸알콜로 린스한다.
⑤ 노즐판을 건조시킨다.
[발잉크성]: 발잉크성을 평가하여 잉크와의 접촉각을 측정하였다. 평가에 사용된 잉크는 표면 장력이 상이한 2종류의 잉크(A, B)를 사용하였다. 잉크(A)의 표면 장력은 35 dyn/㎝이고, 잉크(B)의 표면 장력은 19 dyn/㎝이다. 잉크(A)의 접촉각은 110°였고, 잉크(B)와의 접촉각은 70°였다.
[밀착성]: 밀착성의 평가로서, 노즐판 표면을 고무 경도 60°의 클로로프렌 고무에 의해 100g/㎝의 가중을 부가하고, 5000회 문지르고, 그 후의 잉크의 노즐에 대한 접촉각을 측정하였다. 모두 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[내잉크성]: 내잉크성의 평가로서, 티올화합물이 형성된 노즐판을 잉크에 넣고, 60℃의 분위기하에서 6일간의 침지를 행하고, 그 후의 접촉각을 측정하였다. 어느 것이나 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[실제 시험]: 티올화합물이 형성된 노즐판을 사용하여, 도 10에 도시된 잉크젯 프린터 헤드를 제작하였다. 이 잉크젯 프린터 헤드를 응답 주파수 10㎑ 로 연속 10만회 구동하였다. 잉크 방울은 정규 방향으로 토출되며, 토출 방향의 변경 등의 이상은 없었다.
(10) 실시예 10 (청구항 2, 청구항 14 및 청구항 20에 대응)
본 실시예에서는 구조식 HS-R-SH의 R이,
로 표현되는 유황 화합물은 노즐판에 형성하였다.
① 노즐이 형성된 스테인레스강으로 된 노즐판에 스퍼터링법으로 0.5㎛ 두께의 금층을 형성한다.
② 구조식
로 표시된 분자(분자(C)라고 칭함)를 C8F18로 용해하고, 1mM 용액을 제작한다.
③ 금막이 형성된 노즐판을 분자(C)가 용해된 1mM의 C8F18 용액에 담그고, 25℃에서 10분간 침지한다.
④ 노즐판을 꺼내 C8F18로 린스한다.
⑤ 노즐판을 건조시킨다.
[발잉크성]: 발잉크성을 평가하여 잉크와의 접촉각을 측정하였다. 평가에 사용된 잉크는 표면 장력이 상이한 2종류의 잉크(A, B)를 사용하였다. 잉크(A)의 표면 장력은 35 dyn/㎝이고 잉크(B)의 표면 장력은 19 dyn/㎝이다. 잉크(A)의 접촉각은 100°였고, 잉크(B)와의 접촉각은 70°였다.
[밀착성]: 밀착성의 평가로서, 노즐판 표면을 고무 경도 60°의 클로로프렌 고무에 의해, 100g/㎝의 가중을 부가하고, 5000회 문지르고, 그 후의 잉크의 노즐에 대한 접촉각을 측정하였다. 모두 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[내잉크성]: 내잉크성의 평가로서, 티올화합물이 형성된 노즐판을 잉크에 넣고, 60℃의 분위기하에서 6일간의 침지를 행하고, 그 후의 접촉각을 측정하였다. 어느 것이나 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[실제 시험]: 티올화합물이 형성된 노즐판을 사용하여, 도 10에 도시된 잉크젯 프린터 헤드를 제작하였다. 이 잉크젯 프린터 헤드를 응답 주파수 10㎑ 로 연속 10만회 구동하였다. 잉크 방울은 정규 방향으로 토출되며, 토출 방향의 변경 등의 이상은 없었다.
(11) 실시예 11 (청구항 2, 청구항 14 및 청구항 21에 대응)
본 실시예에서는 구조식 HS-R-SH의 R이,
로 표현되는 유황 화합물을 노즐판에 형성하였다.
① 노즐이 형성된 스테인레스강으로 된 노즐판내 스퍼터링법으로 0.5㎛ 두께의 NiCr막을 형성한다.
② 또한, 스퍼터링법으로 0.5㎛ 두께의 금막을 NiCr 막상에 형성한다.
③ 구조식
로 표현되는 분자(분자(D)라고 칭함)를 클로로포름·에틸알콜 혼합용매(70/30Vol%)로 용해하고, 1mM 용액을 제작한다.
④ 금막이 형성된 노즐판을, 분자(D)가 용해된 1mM의 클로로포름·에틸 알콜 혼합 용액에 담그고, 25℃에서 10분간 침지한다.
⑤ 노즐판을 꺼내 클로로포름으로 린스한다.
⑥ 노즐판을 건조시킨다.
[발잉크성]: 발잉크성을 평가하여 잉크와의 접촉각을 측정하였다. 평가에 사용된 잉크는 표면 장력이 상이한 2종류의 잉크(A, B)를 사용하였다. 잉크(A)의 표면 장력은 35 dyn/㎝이고, 잉크(B)의 표면 장력은 19 dyn/㎝이다. 잉크(A)의 접촉각은 105°였고, 잉크(B)와의 접촉각은 70°였다.
[밀착력]: 밀착력의 평가로서, 노즐판 표면을 고무 경도 60°의 클로로프렌 고무에 의해, 100g/㎝의 가중을 부가하고, 5000회 문지르고, 그 후의 잉크의 노즐에 대한 접촉각을 측정하였다. 모두 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[내잉크성]: 내잉크성의 평가로서, 티올화합물이 형성된 노즐판을 잉크에 넣고, 60℃의 분위기하에서 6일간의 침지를 행하고, 그 후의 접촉각을 측정하였다. 어느 것이나 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[실제 시험]: 티올화합물이 형성된 노즐판을 사용하여, 도 11에 도시된 잉크젯 프린터 헤드를 제작하였다. 이 잉크젯 프린터 헤드를 응답 주파수 10㎑ 로 연속 10만회 구동하였다. 잉크 방울은 정규 방향으로 토출되며, 토출 방향의 변경 등의 이상은 없었다.
(12) 실시예 12(청구항 2, 청구항 15 및 청구항 22에 대응)
본 실시예에서는 구조식 R-S-S-R의 R이 CnF2n+1-CmH2m-인 유황 화합물층을 노즐판에 형성하였다(n=10, m=11인 경우).
① 노즐이 형성된 스테인레스강으로 된 노즐판내 스퍼터링법으로 0.2㎛ 두께의 Cr 막을 형성한다.
② 또한, 스퍼터링법으로 0.5㎛ 두께의 금막을 Cr 막상에 형성한다.
③ C10F21-C11H22-S-S-C11H22-C10F21을 디클로로메탄으로 용해하고, 1mM 용액을 제작한다.
④ 금막이 형성된 노즐판을C10F21-C11H22-S-S-C11H22-C10F21이 용해된 1mM의 디클로로메탄 용액에 담그고, 25℃에서 10분간 침지한다.
⑤ 노즐판을 꺼내 에틸알콜로 린스한다.
⑥ 노즐판을 건조시킨다.
[발잉크성]: 발잉크성을 평가하여 잉크와의 접촉각을 측정하였다. 평가에 사용된 잉크는 표면 장력이 상이한 2종류의 잉크(A, B)를 사용하였다. 잉크(A)의 표면 장력은 35 dyn/㎝, 잉크(B)의 표면 장력은 19 dyn/㎝이다. 잉크(A)의 접촉각은 110°였고, 잉크(B)와의 접촉각은 60°였다.
[밀착성]: 밀착성의 평가로서, 노즐판 표면을 고무 경도 60°의 클로로프렌 고무에 의해, 100g/㎝의 가중을 부가하고, 5000회 문지르고, 그 후의 접촉각을 측정하였다. 모두 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[내잉크성]: 내잉크성의 평가로서, 티올화합물이 형성된 노즐판을 잉크에 넣고, 60℃의 분위기하에서 6일간의 침지를 행하고, 그 후의 접촉각을 측정하였다. 어느 것이나 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[실제 시험]: 티올화합물이 형성된 노즐판을 사용하여, 도 11에 도시된 잉크젯 프린터 헤드를 제작하였다. 이 잉크젯 프린터 헤드를 응답 주파수 10㎑ 로 연속 10만회 구동하였다. 잉크 방울은 정규 방향으로 토출되며, 토출 방향의 변경 등의 이상은 없었다.
(13) 실시예 13 (청구항 2, 청구항 15 및 청구항 23에 대응)
본 실시예에서는 구조식 R-S-S-R의 R이 CnF2n+1-인 유황 화합물층을 노즐판에 형성하였다(n=10인 경우).
① 노즐이 형성된 스테인레스강으로 된 노즐판내 스퍼터링법으로 0.2㎛ 두께의 Cr 막을 형성한다.
② 또한, 스퍼터링법으로 0.5㎛ 두께의 금막을 Cr 막상에 형성한다.
③ C10F21-S-S-C10F21을 클로로포름에 용해하고, 1mM 용액을 제작한다.
④ 금막이 형성된 노즐판을C10F21-S-S-C10F21이 용해된 1mM의 클로로포름용액에 담그고, 25℃에서 10분간 침지한다.
⑤ 노즐판을 꺼내 클로로포름으로 린스한다.
⑥ 노즐판을 건조시킨다.
[발잉크성]: 발잉크성을 평가하여 잉크와의 접촉각을 측정하였다. 평가에 사용된 잉크는 표면 장력이 상이한 2종류의 잉크(A, B)를 사용하였다. 잉크(A)의 표면 장력은 35 dyn/㎝이고, 잉크(B)의 표면 장력은 19 dyn/㎝이다. 잉크(A)의 접촉각은 100°였고, 잉크(B)와의 접촉각은 60°였다.
[밀착성]: 밀착성의 평가로서, 노즐판 표면을 고무 경도 60°의 클로로프렌 고무에 의해, 100g/㎝의 가중을 부가하고, 5000회 문지르고, 그 후의 잉크의 노즐에 대한 접촉각을 측정하였다. 모두 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[내잉크성]: 내잉크성의 평가로서, 티올화합물이 형성된 노즐판을 잉크에 넣고, 60℃의 분위기하에서 6일간의 침지를 행하고, 그 후의 접촉각을 측정하였다. 어느 것이나 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[실제 시험]: 티올화합물이 형성된 노즐판을 사용하여, 도 11에 도시된 잉크젯 프린터 헤드를 제작하였다. 이 잉크젯 프린터 헤드를 응답 주파수 10㎑ 로 연속 10만회 구동하였다. 잉크 방울은 정규 방향으로 토출되며, 토출 방향의 변경 등의 이상은 없었다.
이상의 본 실시 형태(1)에 의하면 금속층을 노즐면에 형성하고, 또한 유황 화합물을 금속층상에 형성함으로써 발잉크성이 높고 내마모성이 높은 잉크젯 프린터 헤드가 제조된다.
[실시 형태 2]
본 발명의 실시 형태 2는 상기 실시 형태 1과는 달리, 노즐의 내벽에까지 발잉크성이 있는 층을 형성하는 것이다.
도 12에는 본 실시 형태 2의 노즐판에서의 노즐 부근의 확대 단면도가 도시되어 있다. 상기 실시 형태 1(도 5)과 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 부여하고 그 설명을 생략한다. 도 12에 도시된 바와 같이, 본 형태의 노즐판(1C)은 금속층(13) 및 유황 화합물층(14)이 노즐(11c)의 내벽에까지 형성되어 있다. 이 때문에 유황 화합물층(14)의 발잉크성능에 의해 잉크(6)의 메니스커스(62c)를 발생하는 위치가 도 5의 경우보다 캐비티(21) 부근에서 변하고 있다.
또한, 금속층이나 유황 화합물층의 조성에 대해서는, 상기 실시 형태 1과 마찬가지로 고려된다. 또한, 도 12에서는 금속층 및 유황 화합물층에 의해 발잉크성막을 구성하였지만, 도 11에 도시된 중간층이 노즐 부재와 금속층과 사이에 설치된 발잉크성막을 설치해도 된다.
본 실시 형태 2에 의하면, 발잉크성을 구비한 유황화합층(14)이 노즐(11c)의 내부에까지 형성되어 있으므로, 기계적인 충격에 매우 강한 내마모, 내충격성능이 얻어질 수 있다. 특히, 노즐 부재(12)의 표면에 긁히 상처에 영향을 미치도록 한 용도에, 예컨대, 산업용 섬유의 염색, 공업 인쇄 등에 매우 효과적이다. 노즐 부재의 노즐 부분의 표면에 뾰족한 물체가 접촉하고, 노즐 주변에 긁히 상처가 나면 통상적으로 그 부분의 발잉크막이 손상되며 잉크의 메니스커스의 형상이 변하고, 잉크의 토출 성능이 열화된다. 하지만, 이 실시 형태와 같이 노즐(11c)의 내부까지 발잉크막으로 된 내벽(16)을 형성하며, 잉크의 메니스커스(62c)가 노즐 내부에 형성된다. 이에 따라, 표면에 긁힌 상처가 생겨도 잉크의 메니스커스(62c)는 변화하지 않으며, 잉크의 노출 성능도 열화되지 않는다.
다음에, 본 실시 형태에서의 잉크젯 프린터 헤드의 제조 방법에 대한 바람직한 실시예를 설명한다.
실시예 (청구항 3에 대응)
① 노즐이 형성된 스테인레스강으로 된 두께 80㎛ 의 노즐 부재에 스퍼터링법으로 0.5㎛ 두께의 금막을 형성한다. 이때, 타겟에 대해 노즐 부재를 경사 위치에 배치하고 스퍼터링한다. 이에 따라 노즐내 30㎛의 위치까지 금이 성막된다(도 12의 내벽(16)에 상당).
② 티올화합물(C10F21C11H22SH)을 에틸 알콜로 용해하고, 1mM 용액을 작성한다.
③ 금막이 형성된 노즐 부재를 잉크에 넣고, 티올화합물의 1mM 에틸알콜 용액에 담그고, 25℃에서 10분간 침지한다.
④ 노즐 부재를 꺼내 에틸알콜로 린스한다.
[발잉크성]: 발잉크성을 평가하여 잉크와의 접촉각을 측정하였다. 평가에 사용된 잉크는 표면 장력이 상이한 2종류의 잉크(A, B)를 사용하였다. 잉크(A)의 표면 장력은 35 dyn/㎝이고, 잉크(B)의 표면 장력은 19 dyn/㎝이다. 잉크(A)의 접촉각은 90°였고, 잉크(B)와의 접촉각은 60°였다.
[밀착성]: 밀착성의 평가로서, 노즐판 표면을 고무 경도 60°의 클로로프렌 고무에 의해, 100g/㎝의 가중을 부가하고, 5000회 문지르고, 그 후의 접촉각을 측정하였다. 모두 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다. 또한, #500의 사포를 100g/㎝의 하중을 부가하여 1000회 문질렀다. 노즐 부재의 표면의 금막은 소실되고, 잉크와의 접촉각은 10°이하로 되었다. 현미경으로 노즐 내부를 관찰하면 금막의 존재를 확인할 수 있었다.
[실제 시험]: 또한 #500의 사포로 문지른 노즐 부재를 사용하여, 도 10에 도시된 잉크젯 프린터 헤드를 제작하였다. 이 잉크젯 프린터 헤드를 응답 주파수 10㎑ 로 연속 10만회 구동하였다. 잉크 방울은 정규 방향으로 토출되며, 토출 방향의 변경 등의 이상은 없었다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 실시 형태 2에 의하면, 기계적인 충격에 매우 강한 발잉크처리를 실현할 수 있다.
[실시 형태 3]
본 발명의 실시 형태 3은 노즐의 개량에 관한 것이다.
도 13에는 본 실시 형태 3의 노즐판에서의 노즐 부근의 확대 단면도가 도시되어 있다. 상기 실시 형태 1(도 5)과 동일한 부재에 대해서는, 동일한 부호를 부여하고, 그 설명을 생략한다. 도 13에 도시된 바와 같이, 본 형태의 노즐판(1d)은 노즐(11d)의 주위에 단차부(段差部)(17)가 설치되어 있다. 즉, 노즐(11d)의 직경과 동심원상으로 오목부(18)가 형성되어 있다. 단차부(17)와 오목부(18)의 내부에도 금속층(13) 및 유황 화합물층(14)으로 이루어진 발잉크성막을 형성한다.
또한, 금속층이나 유황 화합물층의 조성에 대해서는, 상기 실시 형태 1과 마찬가지로 고려된다. 또한, 도 13에서는, 금속층 및 유황 화합물층에 의해 발잉크성막을 구성하였지만, 도 11에 도시된 중간층이 노즐 부재와 금속층과 사이에 설치되어 있는 발잉크성막을 설치해도 된다.(실시예 참조).
본 실시 형태 3에 의하면, 노즐(11d)을 단차부(17) 및 오목부(18)를 설치함으로써, 노즐판(1d)의 표면에 뾰족한 물건이 접촉해도 오목부(18)내부의 금속층(13) 및 유황 화합물층(14)은 손상되지 않는다. 따라서, 잉크(6)의 메니스커스(62d)에는 변화가 없고 잉크의 토출 성능도 열화되지 않는다.
다음에, 본 실시 형태에서의 잉크젯 프린터 헤드의 제조 방법에 대한 바람직한 실시예를 설명한다.
실시예(청구항 4에 대응)
① 노즐이 형성된 실시콘(Si)으로 된 노즐 부재와 지르코니아세라믹으로 된 노즐 부재에 스퍼터링법으로 0.2㎛ 두께의 Cr 막을 형성한다.
② 또한, 스퍼터링법으로 0.5㎛ 두께의 금막을 Cr 막상에 형성한다.
③ 티올화합물(C10F21C11H22SH)을 에틸 알콜 용해하고, 1mM 용액을 작성한다..
④ 금속막이 형성된 노즐부재를, 티올화합물이 용해된 1mM의 에틸알콜 용액에 담그고, 25℃에서 10분간 침지한다.
⑤ 노즐판을 꺼내 에틸알콜로 린스한다.
[발잉크성]: 발잉크성을 평가하여 잉크와의 접촉각을 측정하였다. 평가에 사용된 잉크는 표면 장력이 상이한 2종류의 잉크(A, B)를 사용하였다. 잉크(A)의 표면 장력은 35 dyn/㎝이고, 잉크(B)의 표면 장력은 19 dyn/㎝이다. 2종류의 노즐 부재와 잉크(A)의 접촉각은 모두 90°였고, 잉크(B)와의 접촉각은 60°였다.
[밀착성]: 밀착성의 평가로서, 노즐 부재 표면을 고무 경도 60°의 클로로프렌 고무에 의해 100g/㎝의 가중을 부가하고, 5000회 문지르고, 그 후의 접촉각을 측정하였다. 모두 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[내잉크성]: 내잉크성의 평가로서, 티올화합물이 형성된 노즐 부재를 잉크에 넣고, 60℃의 분위기하에서 10일간의 침지를 행하고, 그 후의 접촉각을 측정하였다. 모두 당초의 접촉각을 유지하며, 박리된 부분도 관찰되지 않았다.
[실제 시험]: 티올화합물이 형성된 노즐판을 사용하여, 도 11에 도시된 잉크젯 프린터 헤드를 제작하였다. 이 잉크젯 프린터 헤드를 응답 주파수 10㎑ 로 연속 10만회 구동하였다. 잉크 방울은 정규 방향으로 토출되며, 토출 방향의 변경 등의 이상은 없었다.
[실시 형태 4]
발열 소자에 의해 동작하는 잉크젯 프린터 헤드의 일예이다. 도 14에는 본 실시 형태의 잉크젯 프린터 헤드의 구조를 설명하는 사시도가 도시되어 있다. 상기 잉크젯 프린터 헤드는 크게 노즐판(7), 유로기판(8) 및 발열 소자 기판(9)으로 구성되어 있다.
노즐판(7)에는 노즐(71)이 설치되어 있다. 이 노즐판(7)에는 실시 형태 1에서 설명한 금속층(13), 유황 화합물층(14) 및 중간층(15), 실시 형태 2에서 설명한 노즐내의 내벽(16), 실시 형태 3에서 설명한 노즐의 단차(17) 및 오목부(18) 모두 적응가능하다.
유로기판(8)에는 캐비티(81), 측벽(82), 잉크통(83) 및 공로급(84)가 형성되어 있다. 이들 구조는 상기 실시 형태 1에서 설명한 유로기판(2)의 구조와 마찬가지로 고려된다. 복수의 캐비티(81)는 인자 밀도에 대응하는 일정 간격으로 배열되어 있다. 각각의 캐비티(81)는 측벽(82)에 의해 분리되어 있다. 캐비티(81)는 유로기판(8)의 측벽과 노즐판(7)과 발열 소자기판(9)에 낀 구조가 된다.
발열 소자 기판(9)에는 각각의 캐버티(81)에 대응하는 위치에 발열 소자(91)가 설치되어 있다. 또한, 잉크를 잉크통(83)에 공급하기 위한 잉크 탱크 입구(92)가 설치되어 있다.
상기 구성에서, 잉크는 도시되지 않은 잉크 탱크로부터 잉크 탱크 입구(92)를 통해 잉크통(83)에 도입된다. 잉크통(83)의 잉크는 또한 공급구(84)를 통해 캐비티(81)에 공급된다. 발열 소자(91)에 전압이 도시되지 않은 구동 회로로부터 전기 신호가 공급되면 발열 소자(91)가 발열한다. 그 결과, 발열된 발열 소자(91)의 캐비티(81)에 채원진 잉크가 기화되고, 기포가 발생된다. 이 기포에 의해, 이 캐비티(81)에 대응해서 설치된 노즐(71)로부터 잉크가 토출된다. 이때, 노즐판(7)의 토출측의 면은, 실시 형태 1∼3에 기재된 구성을 가지고 있으므로, 발잉크성을 갖는다. 이 때문에 노즐면에 잉크가 잔류하게 되며, 토출된 잉크를 노즐면에 평행한 방향으로 이끌며, 그 토출 방향은 변경되지 않는다.
상기와 같이, 본 실시 형태 4에 의하면, 발열 소자가 기포를 발생시켜서 잉크를 토출시키는 형식의 프린터 헤드에도 본 발명을 적용할 수 있다. 이 때문에 실시 형태 1∼3에 기재된 효과가 마찬가지의 효과를 나타낸다.
[실시 형태 5]
본 발명의 실시 형태 5는 유황 화합물층의 분자막에 의해 형성되는 발잉크성 기능을 가지고 있는 표면의 유윤성을 액적(液滴)의 접촉각의 크기로 평가하는 것이다.
표 1에는 유황 화합물로서 티올화합물을 사용하는 잉크젯 프린터 헤드의 물과 잉크와의 접촉각, 내마모성, 잉크의 비상(飛翔)의 안정성 측정결과가 나타내어져 있다. 또한, 본 발명의 잉크젯 프린터 헤드와, 유황 화합물이 설치되지 않는 잉크젯 프린터 헤드의 성능을 비교하기 위해, 노즐면이 금 및 스텐인레스강으로 구성된 경우의 성능도 나타내어져 있다.
표 1에서의 각각의 예의 티올 화합물은 이하의 방법으로 형성되었다.
① 스테인레스강 기판의 표면상에, 금의 박막을 200nm 막 두께로 스퍼터링법으로 형성한다.
② 0.1mM의 표 1의 각각의 조성 티올화합물을 2 황화물의 에탄올 용액에 담그고, 약 1시간 침지한다.
③ 침지후의 기판을 에탄올로 세정하고 실온에서 건조시킨다.
[측정]:
1. 접촉각: 순수한 액적 및 잉크의 액적을 각각의 표면에 얹고, 그 정적접촉각을 실온에서 측정하였다. 접촉각 측정기로는 일본의 협화계면과학(協和界面科學)사가 제조한 CA-D를 사용하였다. 또한, 측정에서 사용한 잉크의 조성은 순수, 에틸렌글리콜, 염료, 분산제(分散劑), pH 조정제로 이루어져 있다. 그 점도는 약 6cps이다.
2. 내마찰성: 표면에 분자막이 형성된 노즐판의 표면을 고무 경도 60도의 클로로프렌 고무에 의해 100g/㎝의 과중을 부가하고, 5000회 문지른 후, 표면의 잉크 방울에 대한 유윤(濡潤) 상태를 측정하였다. 유윤 상태는 i) 마찰 후의 각각의 기판을 잉크액에 침투시켜서 실온에서 5분간 방치, ii) 방치된 기판을 끌어 올리고 표면이 잉크에 오염되어 있는지, 또는 발잉크성을 유지하고 있는지에 의해 판단된다.
3. 잉크 비상의 안정성: 티올화합물층이 형성된 노즐판을 사용한 잉크젯 프린터 헤드를 제조한다. 제조된 헤드의 노즐로부터 잉크 액적을 약 10억 도트 연속해서 비상시킨다. 잉크 비상에 의해 형성된 인자 패턴의 도트 형상을 조사한다. 측정은 잉크 액적의 비행중의 구부림, 세틀라이트(satellite) 발생 등에 의해 비상 안정성의 저하가 발생되고 있는지를 연속적으로 감시하여 행하였다.
상기 실시 형태 5에 의하면, 유황 화합물의 발잉크성을 물과의 접촉각으로 규정할 수 있다. 대체로, 물과의 접촉각이 100°이상인 유황 화합물층을 사용하면, 바람직한 기능을 갖는다는 것을 알 수 있다.
이상의 각각의 실시 형태에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 잉크젯 프린터 헤드와 그 제조 방법과 잉크에 의하면, 발잉크성이 있는 유황 화합물층을 형성할 수 있으므로, 노즐면에 잉크가 잔류하지 않게 된다. 따라서, 잉크면에 잔류한 잔류 잉크에 의해 잉크가 이끌리고, 잉크 방울이 토출 방향이 변경되는 등의 폐해는 생기지 않는다.
또한, 노즐의 내벽에 발잉크성이 있는 층을 형성하거나, 노즐의 주변에 오목부를 설치함으로써, 마모에 대해서도 강해지고 발잉크성을 유지할 수 있다.
또한, 잉크에 유황 화합물을 혼입함으로써, 유황 화합물층이 박리되더라도 자기 수복이 가능해진다.

Claims (27)

  1. 노즐면에 형성된 노즐로부터 잉크 방울을 토출시키는 잉크젯 프린터 헤드에 있어서,
    상기 노즐면상에 형성되어 있는 금속을 포함하고 있는 금속층과, 상기 금속층상에 형성되어 있는 유황 화합물로 이루어진 유황 화합물층을 구비하고 있는 발수층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 발수층은 상기 노즐면을 형성하고 있는 부재와 상기 금속층 사이에 니켈, 크롬, 탄탈 또는 티타늄 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 중간층을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 노즐의 내벽에 상기 발수층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 노즐이 상기 노즐면에 설치되어 있는 오목부의 내부에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
  5. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 잉크가 충전되어 있는 캐비티와, 이 캐비티에 체적 변화를 일으키는 가압 장치를 구비하고 있고, 상기 캐비티의 체적 변화에 의해 노즐로부터 잉크 방울이 토출되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 가압 장치는 압전 소자로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
  7. 제 5항에 있어서, 상기 가압 장치는 발열 소자에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
  8. 상기 유황 화합물은 티올 화합물인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 티올 화합물이 하기의 구조인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
    R-S-H (R은 탄화수소기를 나타냄)
  10. 제 8항에 있어서, 상기 티올화합물의 R이 이하의 구조인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
    CnH2n+1-
  11. 제 8항에 있어서, 상기 티올화합물의 R이 이하의 구조인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
    CnF2n+1-
  12. 제 8항에 있어서, 상기 티올 화합물의 R이 이하의 구조인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
    CnF2n+1-CmH2m-
  13. 제 1항에 있어서, 상기 유황 화합물이 하기의 2종류의 티올 분자의 혼합물로 이루어진 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
    R1-SH, R2-SH (R1과 R2는 서로 상이한 화학 구조식으로 이루어짐을 나타냄)
  14. 제 1항에 있어서, 상기 유황 화합물이 하기의 화학 구조식으로 이루어진 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
    HS-R3-SH
  15. 제 1항에 있어서, 상기 유황 화합물이 하기의 화학 구조식으로 이루어진 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
    R4-S-S-R4
  16. 제 13항에 있어서, 상기 티올 화합물의 R1 및/또는 R2가 이하의 화학 구조식인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
    CnF2n+1-
  17. 제 13항에 있어서, 상기 티올 화합물의 R1 및/또는 R2가 이하의 화학 구조식인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
    CnF2n+1-CmH2m-
  18. 제 14항에 있어서, 상기 티올화합물의 R이 이하의 화학 구조식인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
  19. 제 14항에 있어서, 상기 티올 화합물의 R3이 이하의 화학 구조식인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
  20. 제 14항에 있어서, 상기 티올 화합물의 R3이 이하의 화학 구조식인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
  21. 제 14항에 있어서, 상기 티올 화합물의 R3이 이하의 화학 구조식인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
  22. 제 15항에 있어서, 상기 티올 화합물의 R4가 이하의 화학 구조식인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
    CnF2n+1-CmH2m-
  23. 제 15항에 있어서, 상기 티올 화합물의 R4가 이하의 화학 구조식인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
    CnF2n+1-
  24. 제 1항 및 제 2항에 기재된 노즐 부재가 실리콘 또는 세라믹으로 조성되어 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
  25. 노즐 부재의 노즐면 상에 금속층을 형성하는 공정과;
    상기 금속층이 형성된 기초재를, 유황 화합물이 용해된 용액에 침지하는 공정을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드의 제조 방법.
  26. 제 1항 또는 제 2항에 기재된 잉크젯 프린터 헤드에 사용되는 잉크에 있어서, 유황 화합물을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 잉크.
  27. 제 1항에 있어서, 상기 유황 화합물층은 이 유황 화합물층 표면에서의 물의 정적 접촉각이 약 100도 이상이 되는 재료를 사용하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 헤드.
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Families Citing this family (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6409931B1 (en) * 1998-01-26 2002-06-25 Canon Kabushiki Kaisha Method of producing ink jet recording head and ink jet recording head
US6336697B1 (en) 1998-01-28 2002-01-08 Seiko Epson Corporation Liquid jet structure, ink jet type recording head and printer
GB9818891D0 (en) * 1998-08-28 1998-10-21 Xaar Technology Ltd Nozzle plates for ink jet printers and like devices
EP0992552A1 (en) * 1998-10-09 2000-04-12 Eastman Kodak Company Ink additive for jet orifice protection
US6302524B1 (en) * 1998-10-13 2001-10-16 Xerox Corporation Liquid level control in an acoustic droplet emitter
US6325490B1 (en) * 1998-12-31 2001-12-04 Eastman Kodak Company Nozzle plate with mixed self-assembled monolayer
EP1020291A3 (en) * 1999-01-18 2001-04-11 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge head and producing method therefor
US6345880B1 (en) * 1999-06-04 2002-02-12 Eastman Kodak Company Non-wetting protective layer for ink jet print heads
JP3652185B2 (ja) * 1999-10-05 2005-05-25 キヤノン株式会社 液体吐出装置
JP4438918B2 (ja) * 1999-11-11 2010-03-24 セイコーエプソン株式会社 インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法、並びに多環系チオール化合物
US6561624B1 (en) * 1999-11-17 2003-05-13 Konica Corporation Method of processing nozzle plate, nozzle plate, ink jet head and image forming apparatus
US6296344B1 (en) * 1999-12-22 2001-10-02 Eastman Kodak Company Method for replenishing coatings on printhead nozzle plate
US6364456B1 (en) * 1999-12-22 2002-04-02 Eastman Kodak Company Replenishable coating for printhead nozzle plate
JP2001347672A (ja) * 2000-06-07 2001-12-18 Fuji Photo Film Co Ltd インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録ヘッドの製造方法ならびにインクジェットプリンタ
JP2002079666A (ja) * 2000-06-27 2002-03-19 Toshiba Tec Corp インクジェットプリンタヘッド
US6463656B1 (en) * 2000-06-29 2002-10-15 Eastman Kodak Company Laminate and gasket manfold for ink jet delivery systems and similar devices
JP4911834B2 (ja) * 2001-05-29 2012-04-04 株式会社リコー インクジェット記録用インク、インクジェット記録方法およびインクジェット記録用インクカートリッジ
JP2002363456A (ja) * 2001-06-05 2002-12-18 Ricoh Co Ltd インクジェット記録用インク、インクジェット記録方法及びインクジェット記録用インクカートリッジ
CN1298537C (zh) * 2002-06-27 2007-02-07 飞赫科技股份有限公司 喷孔片及其制程
JP4573022B2 (ja) * 2003-08-27 2010-11-04 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドユニット
US7041226B2 (en) * 2003-11-04 2006-05-09 Lexmark International, Inc. Methods for improving flow through fluidic channels
KR100537522B1 (ko) * 2004-02-27 2005-12-19 삼성전자주식회사 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드와 그 노즐 플레이트의제조 방법
KR100561864B1 (ko) * 2004-02-27 2006-03-17 삼성전자주식회사 잉크젯 프린트헤드의 노즐 플레이트 표면에 소수성코팅막을 형성하는 방법
JP4561228B2 (ja) * 2004-08-11 2010-10-13 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射ヘッドのアライメント方法
JP4581600B2 (ja) * 2004-09-28 2010-11-17 ブラザー工業株式会社 インクジェットプリンタ用ヘッド
JP4945990B2 (ja) * 2004-12-02 2012-06-06 大日本印刷株式会社 固体高分子形燃料電池用セパレータ
JP4942138B2 (ja) * 2004-12-28 2012-05-30 キヤノン株式会社 ヘッド清浄化方法およびインクジェット記録装置
JP2007062367A (ja) * 2005-08-01 2007-03-15 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
US7896467B2 (en) 2005-10-28 2011-03-01 Telecom Italia S.P.A. Method of inkjet printing for use in point-of-sale systems
US7658977B2 (en) * 2007-10-24 2010-02-09 Silverbrook Research Pty Ltd Method of fabricating inkjet printhead having planar nozzle plate
US8136922B2 (en) * 2009-09-01 2012-03-20 Xerox Corporation Self-assembly monolayer modified printhead
CN103085479B (zh) * 2013-02-04 2015-12-23 珠海赛纳打印科技股份有限公司 一种墨水喷头及其制造方法
CN104228337B (zh) * 2013-06-20 2017-02-08 珠海赛纳打印科技股份有限公司 液体喷射头和液体喷射装置
CN103935127B (zh) * 2014-04-24 2017-01-11 珠海赛纳打印科技股份有限公司 液体喷头制造方法、液体喷头和打印装置
JP2016159549A (ja) * 2015-03-03 2016-09-05 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
ITUB20159489A1 (it) * 2015-12-28 2017-06-28 St Microelectronics Srl Metodo per il trattamento superficiale di un substrato semiconduttore
CN108928118B (zh) * 2017-05-26 2020-01-14 精工爱普生株式会社 喷嘴板、液体喷射头、液体喷射装置以及喷嘴板的制造方法
CN108501532B (zh) * 2018-04-09 2020-02-14 京东方科技集团股份有限公司 喷墨打印头、打印机、打印机的喷嘴组件及其制作方法
JP7124866B2 (ja) * 2018-05-09 2022-08-24 コニカミノルタ株式会社 インクジェットヘッド及び画像形成方法
CN108501360B (zh) * 2018-06-29 2024-02-09 衡阳师范学院 3d打印喷头及包含该3d打印喷头的打印机
WO2021045773A1 (en) * 2019-09-06 2021-03-11 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Orifice shield
CN115362065A (zh) * 2020-04-14 2022-11-18 惠普发展公司，有限责任合伙企业 具有冲压纳米陶瓷层的流体喷射管芯

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS532694B2 (ko) * 1973-07-02 1978-01-31
JPS515129A (ja) * 1974-07-02 1976-01-16 Pentel Kk Suiseiinkisoseibutsu
JPS5689569A (en) * 1979-12-19 1981-07-20 Canon Inc Ink jet recording head
JPS6191033A (ja) * 1984-10-05 1986-05-09 Seiko Epson Corp 光フアイバ用母材の製造方法
JPH0696582B2 (ja) * 1986-07-15 1994-11-30 日本ピー・エム・シー株式会社 アルド−スのエピ化方法
EP0274216B1 (en) * 1986-12-02 1995-03-01 Canon Kabushiki Kaisha Ink and ink-jet recording process employing the same
US5119116A (en) * 1990-07-31 1992-06-02 Xerox Corporation Thermal ink jet channel with non-wetting walls and a step structure
JP3264971B2 (ja) * 1991-03-28 2002-03-11 セイコーエプソン株式会社 インクジェット記録ヘッドの製造方法
JPH0523645A (ja) * 1991-07-23 1993-02-02 Mitsubishi Paper Mills Ltd 重金属表面を撥油性及び撥水性にする方法
JPH05116325A (ja) * 1991-10-30 1993-05-14 Canon Inc インクジエツト記録ヘツドの製造方法
US5208606A (en) * 1991-11-21 1993-05-04 Xerox Corporation Directionality of thermal ink jet transducers by front face metalization
JPH06191033A (ja) * 1992-12-25 1994-07-12 Canon Inc インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置
JP3169032B2 (ja) * 1993-02-25 2001-05-21 セイコーエプソン株式会社 ノズルプレートとその表面処理方法
JPH06322595A (ja) * 1993-05-10 1994-11-22 Nisshin Steel Co Ltd 撥水性金属材料の製造方法
US5378504A (en) * 1993-08-12 1995-01-03 Bayard; Michel L. Method for modifying phase change ink jet printing heads to prevent degradation of ink contact angles
JPH07246707A (ja) * 1994-03-09 1995-09-26 Citizen Watch Co Ltd インクジェットプリンターヘッド用ノズル板およびその製造方法
US5598193A (en) * 1995-03-24 1997-01-28 Hewlett-Packard Company Treatment of an orifice plate with self-assembled monolayers
JP3573832B2 (ja) * 1995-07-28 2004-10-06 三洋電機株式会社 動画像符号化装置

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WO1997027059A1 (fr) 1997-07-31
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TW426613B (en) 2001-03-21
DE69705004D1 (de) 2001-07-05
DE69705004T2 (de) 2001-09-13

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