CN108928118B - 喷嘴板、液体喷射头、液体喷射装置以及喷嘴板的制造方法 - Google Patents

喷嘴板、液体喷射头、液体喷射装置以及喷嘴板的制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种对被形成在表面(喷嘴面(23))上的防液膜(40)的劣化进行抑制的喷嘴板(21)、液体喷射头(记录头(3))、液体喷射装置(打印机(1))以及喷嘴板(21)的制造方法。喷嘴板(21)在一个面(喷嘴面(23))侧开口有喷射液体的喷嘴(22)，所述喷嘴板(21)的特征在于，在一个面(喷嘴面(23))侧形成有包含交联的氟树脂的防液层(40)。

Description

喷嘴板、液体喷射头、液体喷射装置以及喷嘴板的制造方法
技术领域
本发明涉及一种在表面实施了防液处理的喷嘴板、液体喷射头、液体喷射装置以及喷嘴板的制造方法。
背景技术
液体喷射装置为具备液体喷射头并从开设于液体喷射头的喷嘴板上的喷嘴喷射出各种液体的装置。作为该液体喷射装置，例如具有喷墨式打印机或喷墨式绘图仪等的图像记录装置，但是，最近，能够使极少量的液体准确地喷落于预定位置处的特性也被活用在各种制造装置中。例如，被应用在制造液晶显示器等滤色器的显示器制造装置、形成有机EL(Electro Luminescence：电致发光)显示器或FED(场致发光显示器)等的电极的电极形成装置、制造生物芯片(生物化学元件)的芯片制造装置中。并且，通过图像记录装置用的记录头来对液状的油墨进行喷射，并通过显示器制造装置用的颜色材料喷射头来对R(Red：红色)或G(Green：绿色)或B(Blue：蓝色)的各种颜色材料的溶液进行喷射。此外，通过电极形成装置用的电极材喷射头来对液状的电极材料进行喷射，通过芯片制造装置用的生物体有机物喷射头来对生物体有机物的溶液进行喷射。
在如此的液体喷射装置中，存在有从喷嘴被喷射的液滴的一部分附着在喷嘴板的表面(详细而言，为喷射液滴侧的表面)上的情况。尤其是，当液体附着在喷嘴的附近时，有可能会产生液滴的飞翔方向因与从喷嘴被喷射出的液滴发生干涉而弯曲等的不良情况。目前公开了一种为了抑制这种不良情况而在喷嘴板的表面上形成防液膜的液体喷射头(参照专利文献1)。
另外，在通过擦拭器等而对喷嘴板的表面进行擦拭的擦拭动作中，有可能会使喷嘴板的表面的防液膜被擦掉。尤其是，在作为进行喷射的液体而使用包含氧化钛等颜料的油墨的情况下，该油墨中所包含的颜料以研磨剂的方式来发挥作用，从而使因擦拭动作而导致的防液膜的磨损变得显著。其结果是，有可能无法在喷嘴板的表面得到足够的防液性。
在先技术文献
专利文献1：日本特开2014-124874号公报
发明内容
本发明是鉴于这种情况而被完成的，其目的在于提供一种能够对被形成在表面的防液层的劣化进行抑制的喷嘴板、液体喷射头、液体喷射装置以及喷嘴板的制造方法。
本发明的喷嘴板是为了实现上述目的而提出的，其在一个面侧开口有喷射液体的喷嘴，所述喷嘴板的特征在于，在所述一个面侧形成有包含交联的氟树脂的防液层。
根据该结构，由于形成有包含氟树脂的防液层，因此能够对喷嘴板的一个面侧赋予防液性。此外，由于防液层包含交联的氟树脂，因此与未交联的氟树脂相比能够提高耐磨损性。其结果是，能够抑制喷嘴板的一个面侧的防液性的劣化。
在上述结构中，优选为，所述防液层与所述一个面侧交联。
根据该结构，能够提高防液层向喷嘴板的粘合性(紧贴性)。其结果是，能够抑制防液层的剥离。
此外，在上述各个结构的任意一个结构中，优选为，在所述一个面侧形成有进行保护以免受所述液体影响的保护层，所述防液层被层压在所述保护层上。
根据该结构，即便在防液层的一部分中产生了针孔、裂缝等的缺陷，也能够通过保护层来对喷嘴板的一个面侧进行保护。
并且，在上述结构中，优选为，所述保护层具有导电性。
根据该结构，能够减少喷嘴板的一个面侧的带电量。
此外，在上述各个结构的任意一个结构中，优选为，所述喷嘴具有包含所述开口的第一部分、和与所述第一部分连通的第二部分，所述第一部分中的所述开口的直径大于所述第二部分的直径，所述防液层被形成在所述第一部分上。
根据该结构，能够对喷嘴的开口的边缘的防液层发生磨损的情况进行抑制。
并且，在所述结构中，优选为，所述第一部分被形成为对所述开口的边缘的角部进行了切除的形状。
或者，优选为，所述第一部分被形成为对所述开口的边缘的角部进行了倾斜倒角加工的形状。
或者，优选为，所述第一部分被形成为对所述开口的边缘的角部进行了圆角加工的形状。
根据这些结构，使喷嘴板的第一部分的加工变得容易。
此外，本发明的液体喷射头的特征在于，具备上述各个结构中的任意一个结构的喷嘴板。
根据该结构，能够提高液体喷射头的可靠性。
并且，本发明的液体喷射装置的特征在于，具备上述结构的液体喷射头。
根据该结构，能够提高液体喷射装置的可靠性。
并且，本发明的喷嘴板的制造方法为，在开口有对液体进行喷射的喷嘴的一个面侧形成有包含交联的氟树脂的防液层的喷嘴板的制造方法，所述喷嘴板的制造方法的特征在于，包括：未交联氟树脂含有层层压工序，将包含交联前的未交联氟树脂的未交联氟树脂含有层层压在所述一个面侧；交联工序，在氧浓度为预定值以下的低氧气氛下，对所述未交联氟树脂含有层在进行了加热的状态下照射放射线，以使交联前的所述未交联氟树脂交联而形成所述防液层。
根据该方法，能够在喷嘴板的一个面侧形成提高了耐磨损性的防液层。由此，能够制作出防液层的劣化被抑制了的喷嘴板。
在上述方法中，优选为，包括去除工序，所述去除工序为将被形成在所述喷嘴内的所述防液层的至少一部分去除的工序。
根据该方法，能够对喷嘴被防液层堵塞的情况进行抑制。
另外，在所述方法中，优选为，在所述去除工序中，通过以使掩膜从所述一个面侧与所述防液层重叠的状态而从所述一个面侧照射离子束或者放射线，从而去除被形成在所述喷嘴内的所述防液层的至少一部分，其中，所述掩膜在与所述喷嘴对应的位置处形成有贯穿孔。
根据该方法，能够容易地去除喷嘴内的防液层。
此外，在上述方法中，优选为，所述去除工序通过从与所述一个面侧为相反侧的面侧照射离子束或者放射线，从而去除被形成在所述喷嘴内的所述防液层的至少一部分。
根据该方法，能够更加容易地去除喷嘴内的防液层。
并且，在上述各个方法中的任意一个方法中，优选为，在所述交联工序之后，还包括对所述防液层的表面进行研磨的研磨工序。
根据该方法，即使因放射线的照射而使防液层的表面受到了损坏，也能够将受到了损坏的部分去除。
此外，在上述各个方法中的任意一个方法中，优选为，所述未交联氟树脂含有层层压工序包括：分散体涂敷工序，将分散体涂敷在所述一个面侧，其中，所述分散体包含所述未交联氟树脂的颗粒和使所述未交联氟树脂的颗粒分散的分散介质；干燥工序，从被涂敷在所述一个面侧的所述分散体中使所述分散介质蒸发。
根据该方法，能够制作出针孔、裂缝等缺陷较少的平滑的未交联氟树脂含有层。由此，能够制作出缺陷较少的平滑的防液层。
并且，在上述方法中，优选为，所述分散体中所包含的所述未交联氟树脂的平均粒径为，被形成在所述一个面侧的所述防液层的膜厚的一半以下。
根据该方法，能够对因未交联氟树脂的颗粒所引起的表面的凹凸进行抑制，并且能够制作出更平滑的防液层。
或者，在上述各个方法中的任意一个方法中，优选为，所述未交联氟树脂含有层层压工序包括使包含所述未交联氟树脂的树脂片紧贴于所述一个面的薄片配置工序。
根据该方法，能够容易地将未交联氟树脂含有层层压在一个面侧。
并且，在上述各个方法中的任意一个方法的所述交联工序中，优选为，在从所述喷嘴进行抽吸的同时使所述未交联氟树脂交联。
根据该方法，能够在喷嘴的内部形成防液层。
另外，在上述各个方法中的任意一个方法中，优选为，交替重复实施所述未交联氟树脂含有层层压工序和所述交联工序至少两次以上。
根据该方法，即使在防液层较厚的情况下，也能够对防液层的厚度的不匀进行抑制。
附图说明
图1为对打印机的结构进行说明的立体图。
图2为对记录头的结构进行说明的主要部分的剖视图。
图3为将喷嘴板的剖面放大了的示意图。
图4为对喷嘴板的制造方法进行说明的剖面的状态转变图。
图5为对喷嘴板的制造方法进行说明的剖面的状态转变图。
图6为对交联工序中的放射线的照射进行说明的示意图。
图7为对去除工序进行说明的喷嘴板的剖面的示意图。
图8为对去除工序进行说明的喷嘴板的剖面的示意图。
图9为对去除工序的改变例进行说明的喷嘴板的剖面的示意图。
图10为对去除工序的改变例进行说明的喷嘴板的剖面的示意图。
图11为对研磨工序进行说明的喷嘴板的剖面的示意图。
图12为对第二实施方式中的喷嘴板的制造方法进行说明的剖面的状态转变图。
图13为对第二实施方式的喷嘴板的制造方法进行说明的剖面的状态转变图。
图14为对第二实施方式的喷嘴板的制造方法进行说明的剖面的状态转变图。
图15为对第二实施方式的喷嘴板的制造方法进行说明的剖面的状态转变图。
图16为对喷嘴板的第一改变例进行说明的示意图。
图17为对喷嘴板的第二改变例进行说明的示意图。
图18为对喷嘴板的第三改变例进行说明的示意图。
图19为对第三实施方式的喷嘴板的制造方法进行说明的剖面的状态转变图。
图20为对第三实施方式的喷嘴板的制造方法进行说明的剖面的状态转变图。
图21为对第三实施方式的喷嘴板的制造方法进行说明的剖面的状态转变图。
图22为对第三实施方式的喷嘴板的制造方法进行说明的剖面的状态转变图。
图23为对第三实施方式的喷嘴板的制造方法进行说明的剖面的状态转变图。
图24为对第三实施方式的喷嘴板的制造方法进行说明的剖面的状态转变图。
具体实施方式
以下，参照附图对用于实施本发明的方式进行说明。此外，在以下叙述的实施方式中，虽然作为本发明的优选的具体例而进行了各种限定，但是在以下的说明中只要不存在表示特别对本发明进行限定的含义的记载，则本发明的范围并不局限于这些方式。此外，在下文中，作为液体喷射头的一种而列举出被搭载于作为液体喷射装置的一种的喷墨式打印机(以下，打印机)1中的喷墨式记录头(以下，记录头)3为例进行说明。
图1为打印机1的立体图。打印机1是对记录纸等记录介质2(喷落对象的一种)的表面喷射油墨(液体的一种)从而实施图像等的记录的装置。该打印机1具备记录头3、安装有该记录头3的滑架4、使滑架4沿主扫描方向移动的滑架移动机构5、将记录介质2向副扫描方向转送的输送机构6等。在此，上述的油墨被存积在作为液体供给源的墨盒7中。该墨盒7以相对于记录头3而可拆卸的方式被安装。此外，也可以将墨盒配置于打印机的主体侧，并采用通过油墨供给软管而从该墨盒向向记录头供给的结构。
上述的滑架移动机构5具备正时带8。并且，该正时带8由DC电机等脉冲电机9驱动。因此当脉冲电机9工作时，滑架4在被架设于打印机1上的导向杆10上被导引，从而在主扫描方向(记录介质2的宽度方向)上往复移动。滑架4的主扫描方向上的位置通过作为位置信息检测单元的一种的线性编码器(未图示)来进行检测。线性编码器将其检测信号、即编码器脉冲(位置信息的一种)发送到打印机1的控制部中。
在相对于记录介质2被输送的区域(或者，印刷区域)而向主扫描方向的一端侧(图1中，为右侧)偏移了的位置处，设定有作为记录头3的待机位置的初始位置。在该初始位置处设置有罩11以及擦拭器12。罩11是对在初始位置处待机的记录头3的喷嘴面23(后述)进行密封的、例如由弹性体构成的部件。此外，擦拭器12是对在初始位置处待机的记录头3的喷嘴面23进行擦拭的部件。本实施方式中的擦拭器12由合成橡胶等弹性体构成，并被形成为刮板状。此外，作为擦拭器12，也能够使用由棉、丝等布匹构成的薄片状的部件。此外，本实施方式中的擦拭器12被构成为，沿着喷嘴22的配置方向即喷嘴列方向而对喷嘴面23进行擦拭。
接下来，对记录头3进行说明。图2为对记录头3的结构进行说明的主要部分的剖视图。图3为将喷嘴板21放大了的剖面的示意图。另外，由于记录头3的结构在与喷嘴列方向正交的方向上大体左右对称，因此在图2中仅示出一方的结构。此外，在图3中，以与图2相反地使喷嘴面23成为上方的方式而示出。并且，在以下的说明中，为了便于说明，以将头外壳16侧作为上方(或者上侧)并将喷嘴面23侧作为下方(或者下侧)的方式而进行说明。如图2所示，本实施方式中的记录头3以层压有致动器单元14以及流道单元15的状态而被安装于头外壳16中。
头外壳16为合成树脂制的箱体状部件，在其内部形成有向各个压力室30供给油墨的液体导入通道18。该液体导入通道18与后述的共用液室25一起作为贮存有供形成了多个的压力室30共用的油墨的空间。在本实施方式中，与并列设置为两列的压力室30的列相对应地形成有两条液体导入通道18。此外，在头外壳16的下侧(流道单元15侧)的部分处，形成有从该头外壳16的下表面(流道单元15侧的面)起至头外壳16的高度方向上的中途为止呈正方体状凹陷的收纳空间17。其被构成为，当流道单元15以被定位了的状态而被接合在头外壳16的下表面上时，被层压在后述的连通基板24上的致动器单元14被收纳在收纳空间17内。并且，在收纳空间17的顶面的一部分处开设有使头外壳16的外侧的空间和收纳空间17连通的插穿开口19。未图示的FPC(柔性印刷电路基板)等配线基板穿过该插穿开口19而被插穿到收纳空间17内，并与该收纳空间17内的致动器单元14连接。
本实施方式中的流道单元15具有连通基板24以及喷嘴板21。喷嘴板21为，被接合在连通基板24的下表面(与压力室形成基板29为相反侧的面)上的硅制的基板(例如，单晶硅基板)。在本实施方式中，通过该喷嘴板21而将后述的成为共用液室25的空间的下表面侧的开口密封。此外，在喷嘴板21上呈直线状(列状)开设有多个喷嘴22。由该多个喷嘴22构成的喷嘴22的列(即，喷嘴列)在喷嘴板21上被形成为两列。构成各个喷嘴列的喷嘴22从一端侧的喷嘴22起至另一端侧的喷嘴22为止以与点形成密度相对应的间距沿着例如主扫描方向而等间隔地设置。另外，也能够将喷嘴板接合在连通基板的从共用液室向内侧偏移了的区域处，并通过例如具有可挠性的柔性薄片等部件而将成为共用液室的空间的下表面侧的开口密封。此外，在以下的说明中，将喷嘴22进行开口的喷嘴板21的外侧的表面(图2中的下表面，相当于本发明中的一个面)称为喷嘴面23。
如图3所示，在本实施方式中的喷嘴板21的表面上，例如形成有由热氧化膜(SiO2)以及层压在其上的氧化钽膜(TaOx)或氮化钽膜(TaN)等构成的保护层39。该保护层39具有耐油墨性，且为对喷嘴板21的表面进行保护的层。此外，作为该保护层39，优选为氮化钽膜(TaN)等具有导电性的膜。只要以这种方式而在保护层39中使用具有导电性的膜，并且例如将该保护层39与未图示的固定板(对记录头3进行固定的板)或接地线等导通，则即使如后述那样形成有包含氟树脂的防液层40，也能够对喷嘴面23带电的情况进行抑制。换言之，能够减少喷嘴板21的喷嘴面23侧的带电量。另外，保护层39可以是由一个层构成的单层结构，也可以是多层层压而成的层压结构。当由多个层构成的情况下，只要以最表面的层具有耐油墨性即可。此外，该保护层39也可以被形成在喷嘴22的内表面或与喷嘴面23为相反侧的面上。
在喷嘴面23中的保护层39的表面层压有防液层40。在本实施方式中，防液层40被形成在喷嘴面23的整个面上。该防液层40为包含交联的氟树脂的层，且具有防液性。即，防液层40相对于油墨的接触角为90°以上。此外，防液层40也与喷嘴面23(详细而言，喷嘴面23的保护层39)交联，从而被接合在喷嘴面23上。另外，防液层40并非必须被形成在喷嘴面23的整个面上，只要跨及喷嘴面23中的至少形成有喷嘴22的区域而形成即可。此外，如图3所示，在本实施方式中，在喷嘴22的内周面的喷嘴面23侧的开口附近也形成有防液层40。因此，喷嘴22内的油墨的弯液面与形成了该防液层40的区域相比而被形成在露出了内侧的保护层39的区域内。
在此，作为具有防液性的氟树脂，例如，能够使用聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙烯和全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)、四氟乙烯和六氟丙烯共聚物(FEP)或者将这些物质质组合而成的树脂。此外，作为氟树脂，优选为不具有可聚合性基的树脂。如此，通过使用不具有可聚合性基的氟树脂，从而能够对不必要的物质因聚合反应而结合的情况进行抑制，进而能够抑制防液性的下降。并且，优选为，防液层40的厚度(膜厚)为1μm以上且70μm以下。通过以这种方式对膜厚进行设定，从而能够得到足够的耐久性。另外，关于形成防液层40的方法，将在下文进行详细叙述。
如图2所示，连通基板24为构成流道单元15的上部(头外壳16侧的部分)的硅制的基板。在该连通基板24上，通过各向异性蚀刻等而形成有：与液体导入通道18连通且存积有供各个压力室30共用的油墨共用液室25、经由该共用液室25而将来自液体导入通道18的油墨分别供给到各个压力室30中的独立连通通道26、以及对压力室30和喷嘴22进行连通的喷嘴连通通道27。共用液室25为沿着喷嘴列方向的长条的空腔部，并与并列设置有两列的压力室30的列相对应地被形成为两列。此外，独立连通通道26以及喷嘴连通通道27沿着喷嘴列方向而被形成有多个。
如图2所示，本实施方式中的致动器单元14通过层压有压力室形成基板29、振动板31、作为致动器的一种的压电元件32以及密封板33而以被单元化的状态被接合在连通基板24上。另外，致动器单元14被形成为小于收纳空间17，以便能够收纳在收纳空间17内。
压力室形成基板29是构成致动器单元14的下部(流道单元15侧的部分)的硅制的基板(例如，单晶硅基板)。该压力室形成基板29上通过各向异性蚀刻而沿板厚方向使一部分被去除，并且为了形成压力室30，从而沿着喷嘴列方向并排设置有多个空间。该空间以下方通过连通基板24而被划分并且上方通过振动板31而被划分的方式构成了压力室30。此外，该空间即压力室30与被形成为两列的喷嘴列相对应地被形成为两列。各个压力室30为在与喷嘴列方向正交的方向上较长的空腔部，且长度方向上的一侧的端部上连通有独立连通通道26，另一侧的端部上连通有喷嘴连通通道27。
振动板31例如由被形成在压力室形成基板29的上表面上的由二氧化硅(SiO2)构成的弹性膜以及被形成在该弹性膜上的由氧化锆(ZrO2)构成的绝缘体膜构成。该振动板31中的与各个压力室30相对应的区域为允许挠曲变形的驱动区域35，并层压有压电元件32。本实施方式中的压电元件32是所谓的挠曲模式的压电元件。该压电元件32例如在在振动板31上依次层压有下电极层、压电体层以及上电极层。该上电极层和下电极层中的任意一方成为以共用的方式被形成在各个压电元件32上的共用电极，另一方成为在各个压电元件32中单独形成的独立电极。并且，当在下电极层与上电极层之间施加了与两个电极的电位差相应的电场时，则压电元件32朝向远离或接近喷嘴22的方向进行挠曲变形。由此，压力室30的容积发生变化，从而使该压力室30内的油墨产生压力变动。并且，通过利用该压力变动，从而能够将压力室30内的油墨从喷嘴22喷射。另外，本实施方式中的压电元件32与沿着喷嘴列方向并列设置为两列的压力室30相对应地沿着该喷嘴列方向而被形成为两列。
如图2所示，密封板33为，被接合在压力室形成基板29的上表面(详细而言为振动板31的上表面)上的由单晶硅、金属或者合成树脂等构成的基板。在该密封板33的下表面上，形成有从该密封板33的下表面起凹陷至密封板33的板厚方向上的中途为止的压电元件收纳空间36。并且，压电元件32的列被收纳在该压电元件收纳空间36内。在本实施方式中，与被形成为两列的压电元件32的列相对应地形成有两列压电元件收纳空间36。此外，在两个压电元件收纳空间36之间的部分处形成有在板厚方向上贯穿密封板33的开口。在该开口内，连接有经由插穿开口19而被插穿进来的配线基板的端子和从压电元件32起延伸的配线的端子。
接下来，对记录头3的制造方法、尤其是喷嘴板21的制造方法进行详细说明。另外，在本实施方式中，例示了在将防液层40形成于成为喷嘴板21的基板41(例如，硅晶片)上之后再分割成各个喷嘴板21的方法。图4以及图5为表示喷嘴板21的制造工序的、喷嘴板21(基板41)的剖面的状态转变图。此外，图6是对交联工序中的放射线的照射进行说明的示意图。
首先，在成为喷嘴板21的基板41的预定的位置处形成喷嘴22。喷嘴22例如通过激光、波希法等被形成为贯穿喷嘴板21的状态。接下来，在基板41的表面形成保护层39。保护层39通过例如在利用热氧化而在喷嘴板21的表面形成热氧化膜(SiO2)后利用溅射法、ALD法(原子层堆积法)、化学气相生长法、真空蒸镀法等形成例如氧化钽膜(TaOx)等的层而形成。
如果在喷嘴板21上形成了保护层39，则如图4所示，在未交联氟树脂含有层层压工序中，于喷嘴面23侧形成(层压)包含交联前的未交联氟树脂的未交联氟树脂含有层43。具体而言，经历分散体涂敷工序和干燥工序，所述分散体涂敷工序将使不具有重合基的未交联氟树脂颗粒在分散介质(使未交联氟树脂的颗粒分散的液体。在本实施方式中为水类的液体)中分散成胶质状的分散体(例如，PTFE分散体、PFA分散体、FEP分散体等)形成(涂敷)于喷嘴面23上，所述干燥工序使被形成在喷嘴面23上的分散体干燥(即，从分散体中使分散介质蒸发)。由此，如图4所示，由未交联氟树脂构成的未交联氟树脂含有层43被形成在喷嘴面23上。另外，在分散体涂敷工序中，作为将分散体均匀地涂敷在喷嘴面23上的方法，例如可以采用如下方法，即，通过雾化式喷射而将分散体以雾状进行喷射从而涂布在喷嘴面23上的喷涂法、向喷嘴面23上供给分散体并通过使基板41高速旋转而利用离心力将分散体形成为薄膜状的旋涂法、将基板41浸渍于分散体的溶液中的浸涂法等。此时，分散介质在干燥工序中被去除，因此优选将分散体涂敷成与作为目标的防液层40的膜厚相比而更厚。此外，优选为，分散体中包含的未交联氟树脂颗粒的平均粒径在作为目标的防液层40的膜厚的一半以下。若如此设置，则能够对因此在未交联氟树脂含有层43的表面形成因未交联氟树脂颗粒而引起的凹凸的情况进行抑制。其结果为，能够制作出更平滑的防液层40。在本实施方式中，使用包含平均粒径为0.15μm～0.35μm的未交联氟树脂颗粒的分散体。
如果在喷嘴面23侧形成了未交联氟树脂含有层43，则向对未交联氟树脂含有层43进行交联从而形成防液层40的交联工序转移。在该交联工序中，在氧浓度为预定值以下低氧气氛下(例如，氧浓度为1000ppm以下)对未交联氟树脂含有层43进行加热。例如，在未交联氟树脂含有层43由PTFE构成的情况下，加热至其熔点即327℃以上。此外，在未交联氟树脂含有层43由PFA构成的情况下，加热至其熔点即310℃以上。并且，在未交联氟树脂含有层43由FEP构成的情况下，加热至其熔点即275℃以上。并且，如图5以及图6所示，在该状态(即，在低氧气氛下对基板41进行加热的状态)下，向未交联氟树脂含有层43照射例如50kGy～300kGy的照射量的放射线。由此，未交联氟树脂含有层43被交联，从而形成防液层40。另外，图5中的箭头标记表示放射线的照射图像。此外，作为放射线，能够使用α线、β线、γ线、X射线、电子线等。
在此，参照图6对放射线的照射方法进行说明。另外，图6中的阴影部分表示放射线的照射范围，虚线所示的区域表示成为喷嘴板21的区域。本实施方式中的放射线的照射范围被设定为在相对于基板41的相对移动方向(参照图6中的空心箭头标记)大致正交的方向上较长的线状。此外，基板41以使放射线的照射范围的长度方向和喷嘴列方向即擦拭器12所进行的擦拭方向(图6中的箭头标记的方向)一致的方式被配置。并且，在对放射线进行照射的同时使基板41相对于放射线而进行相对移动。由此，放射线被照射在基板41的整个面上，从而使基板41的整个面的未交联氟树脂含有层43交联。其结果为，在图3所示的喷嘴面23上形成包含交联的氟树脂的防液层40。即，在喷嘴板21的喷嘴面23上形成有提高了耐磨损性的防液层40。此外，喷嘴面23的保护层39与防液层40发生交联反应，从而使防液层40被牢固地接合于喷嘴面23上。另外，由于同时被照射有放射线的范围同时发生交联反应，因此容易使结合变得牢固。因此，能够通过以本实施方式的方式而使放射线的照射范围的长度方向与擦拭器12所进行的擦拭方向一致，从而提高了该擦拭方向上的防液层40的耐磨损性。其结果为，能够进一步提高喷嘴板21相对于擦拭动作的耐久性。由此，进一步提高打印机1的可靠性。
另外，放射线的照射范围并不局限于上述例示的范围。例如，也能够以使基板41整体全部进入到放射线的照射范围的方式进行设定，从而不移动基板41而通过一次的放射线的照射来使全部的成为喷嘴板21的区域中的未交联氟树脂含有层43交联。此外，也可以采用如下方式，即，以使放射线的照射范围与一个或者多个成为喷嘴板21的区域匹配的方式进行设定，从而通过使照射范围相对移动并分多次照射放射线而使全部的成为喷嘴板21的区域中的未交联氟树脂含有层43交联。并且，也可以通过使用以点状进行照射的放射线而在使基板41相对移动的同时对各个喷嘴板21的喷嘴22的周边进行照射，从而仅使被形成在喷嘴22的周边的未交联氟树脂含有层43交联。
并且，在防液层40的厚度较厚的情况下或喷嘴22的直径相对较小的情况下、或者分散体的粘度较低等的情况下，有可能因进入到喷嘴22内的防液层40而使喷嘴22的开口面积变小，从而无法正常喷射油墨。此外，也有可能因防液层40而使喷嘴22的整个开口被堵塞。因此，优选为，在交联工序之后，再经历将被形成在喷嘴22内的防液层40的至少一部分去除的去除工序。作为将被形成在喷嘴22内的防液层40去除的方法，例如存在如下的方法：使在与喷嘴22相对应的位置处形成有贯穿孔45的掩膜44从喷嘴面23侧与防液层40重叠，并在该状态下从喷嘴面23侧照射离子束或者放射线，从而将被形成在喷嘴22内的防液层40的至少一部分去除。图7是对使用了离子束的防液层40的去除进行说明的示意图。另外，图7中的空心箭头标记表示离子束的照射图像。掩膜44是由钼、钨等不会被离子束破坏的材质构成的板状的部件。如图7所示，在该掩膜44中，于和喷嘴22相对应的位置处形成有贯穿孔45。另外，本实施方式中的贯穿孔45的直径被形成为稍小于喷嘴22的直径。并且，在去除工序中，以使喷嘴22的中心与贯穿孔45的中心对齐的方式而使掩膜44相对于基板41进行位置匹配，从而将掩膜44配置在防液层40上。在该状态下，从掩膜44的上方(与基板41为相反侧)照射离子束。由此，能够容易地将未被掩膜44覆盖的部分即露出于贯穿孔45的部分的防液层40去除。其结果为，如图8所示，喷嘴22内的防液层40的一部分被去除，喷嘴22的开口被扩展。因此，能够对由于喷嘴22的一部分或者全部被防液层40堵塞而导致油墨的喷射不良进行抑制。另外，虽然在本实施方式中，在喷嘴22的内周面的喷嘴面23侧的开口附近少量残留了防液层40，但也能够通过对掩膜44的贯穿孔45的大小进行调节而将喷嘴22内的防液层40全部去除。
在上述的方法中，只要在基板41上形成了防液层40，则通过刀具等对各个喷嘴板21进行分割。由此，制作出了在喷嘴面23上形成有防液层40的喷嘴板21。之后，将被分割出的喷嘴板21接合于连通基板24的下表面上，并将致动器单元14接合于连通基板24的上表面上。并且，通过以使致动器单元14被收纳于收纳空间17内的方式而将头外壳16安装在连通基板24上，从而制成记录头3。
如此，由于在本发明的喷嘴板21的喷嘴面23侧形成有包含氟树脂的防液层40，因此能够对喷嘴板21的喷嘴面23侧赋予防液性。另外，由于防液层40包含交联的氟树脂，因此与未交联的氟树脂相比，能够提高耐磨损性。其结果为，能够对喷嘴板21的喷嘴面23的防液性的劣化进行抑制。其结果为，使喷嘴板21的对于由擦拭器12所进行的擦拭动作的耐久性提高，进而使记录头3以及打印机1的可靠性提高。此外，由于防液层40通过与喷嘴面263交联而被接合在喷嘴面23上，因此能够提高防液层40向喷嘴板21的粘合性(紧贴性)。其结果为，能够抑制防液层40的剥离。并且，在制造喷嘴板21时(具体而言，未交联氟树脂含有层层压工序)由于采用将分散体形成于喷嘴面23上的方法，因此能够制作出针孔、裂缝等缺陷较少的平滑的未交联氟树脂含有层43。其结果为，能够制作出缺陷较少的平滑的防液层40。并且，即使在防液层40的一部分上产生了针孔、裂缝等的缺陷，也能够由于喷嘴面23被保护层39覆盖而通过保护层39来对喷嘴板21的喷嘴面23进行保护。
并且，喷嘴板21的制造方法并不局限于上述的第一实施方式。例如，图9以及图10中例示了去除工序的改变例。在本改变例的去除工序中，如图9所示，从与喷嘴面23为相反侧的面侧照射离子束。由此，离子束不与喷嘴面23接触，因此喷嘴面23的防液层40未被去除，另一方面，由于离子束与喷嘴22内的防液层40接触，因此如图10所示，被形成在喷嘴22内的防液层40的至少一部分被去除。由此，喷嘴22的开口被扩展，从而能够对由于喷嘴22被防液层40堵塞而导致的油墨的喷射不良进行抑制。另外，通过对离子束的强度、照射时间等进行调节，从而能够对残留在喷嘴22内的防液层40的量进行调节。在本实施方式中，如图10所示，虽然在喷嘴22的内周面的喷嘴面23侧的开口附近少量残留了防液层40，但也可以将喷嘴22内的防液层40完全去除。
此外，在当使未交联氟树脂交联时的放射线的强度较强的情况下，喷嘴面23的防液层40的表面有可能受到损坏。尤其是，由于根据未交联氟树脂含有层43的厚度从而为了使之交联所需的放射线的强度也升高，因此在希望加厚防液层40的厚度的情况下防液层40的表面容易受到损坏。在如此的情况下，如图11所示，优选为，在交联工序后实施研磨工序，从而对防液层40的表面进行研磨。另外，图11中的虚线表示研磨前的防液层40。作为对防液层40进行研磨的方法，例如能够使用CMP(化学机械研磨)法或照射离子束的方法等。如此，通过对防液层40进行研磨，即使防液层40的表面受到了损坏，也能够将该受损的部分去除。此外，能够对防液层40的厚度进行调节。另外，研磨工序只要在交联工序之后，则可以在任何的时机实施。例如，既可以在分割成各个喷嘴板21之前的基板41的状态下实施，也可以在分割成了各个喷嘴板21之后，在接合了致动器单元14或连通基板24的状态下实施。
并且，在图12～图15中的第二实施方式的喷嘴板21的制造方法中，通过交替重复实施未交联氟树脂含有层层压工序和交联工序来形成防液层40。若具体说明，则首先与第一实施方式同样地在基板41上形成喷嘴22以及保护层39。接下来，在第一未交联氟树脂含有层层压工序中，与第一实施方式中的未交联氟树脂含有层层压工序同样地将第一未交联氟树脂薄层43a形成在喷嘴面23上。并且，与第一实施方式中的交联工序同样，在第一交联工序中，在低氧气氛下对第一未交联氟树脂薄层43a进行加热，并照射放射线(参照图12)。由此，使第一未交联氟树脂薄层43a交联，从而在喷嘴面23上形成第一防液薄层40a。
如果形成了第一防液薄层40a，则在第二未交联氟树脂含有层层压工序中与第一未交联氟树脂含有层层压工序同样地将第二未交联氟树脂薄层43b再次形成于喷嘴面23上。由此，如图13所示，第二未交联氟树脂薄层43b被层压在第一防液薄层40a上。在该状态下，在第二交联工序中，与第一交联工序同样地在低氧环气氛下对第二未交联氟树脂薄层43b进行加热并照射放射线(参照图14)。由此，使第二未交联氟树脂薄层43b被交联，从而形成第二防液薄层40b。此外，使第一防液薄层40a与第二防液薄层40b交联。其结果为，如图15所示，形成由第一防液薄层40a和第二防液薄层40b构成的防液层40。另外，之后的工序由于与上述的第一实施方式相同，因此省略说明。
如此，通过交替重复实施未交联氟树脂含有层层压工序和交联工序来形成防液层40，从而与实施一次未交联氟树脂含有层层压工序以及交联工序的情况相比，能够抑制未交联氟树脂含有层43以及防液层40的厚度的偏差(不匀)。此外，由于能够抑制未交联氟树脂含有层43的厚度的偏差，因此也能够抑制交联反应的进展程度的偏差，进而能够抑制防液层40的硬度的偏差。如此的效果尤其在防液层40的厚度较厚的情况下变得较为显著。重要的是，由于被一次形成的未交联氟树脂含有层43的厚度越厚，则其厚度越容易出现偏差，因此在本实施方式中，通过将形成未交联氟树脂含有层43的工序分成多个工序，从而使一次形成的未交联氟树脂含有层43的厚度较薄，进而对其厚度出现偏差的情况进行了抑制。
另外，虽然在第二实施方式中，重复实施两次未交联氟树脂含有层层压工序和交联工序，但是并不局限于此。也可以交替重复进行两次以上的未交联氟树脂含有层层压工序和交联工序。此外，在各个未交联氟树脂含有层层压工序(在第二实施方式中，第一未交联氟树脂含有层层压工序以及第二未交联氟树脂含有层层压工序)中，在通过浸涂法而将分散体涂敷在喷嘴面23上的情况下，在将基板41浸渍于分散体的溶液中之后，优选为，以使将基板41从该溶液中提起的方向(以下，记作浸渍方向)互不相同的方式进行设置。例如，设为第一未交联氟树脂含有层层压工序中的浸渍方向与第二未交联氟树脂含有层层压工序中的浸渍方向大致正交。只要以这种方式进行设置，则即使在有可能产生因浸涂法而实现的分散体的涂敷不匀的情况下，也能够对防液层的厚度的偏差进行抑制。并且在各个交联工序(在第二实施方式中，第一交联工序以及第二交联工序)中，优选为，使基板41的相对于放射线的照射的相对移动方向各不相同。例如，设定为第一交联工序中的基板41的相对移动方向与第二交联工序中的基板41的相对移动方向大致正交。只要如此设置，则能够对防液层的硬度的偏差进行抑制。此外，在各个未交联氟树脂含有层层压工序，尤其是在第一未交联氟树脂含有层层压工序以后的未交联氟树脂含有层层压工序(例如，第二未交联氟树脂含有层层压工序)中，优选为，涂敷在喷嘴面23上的分散体的溶液是氟类惰性液体或包含表面活性剂等的液体。如果如此设置，则能够更平滑地将第二防液薄层形成在容易与液体相排斥的第一防液薄层上。
并且，虽然在上文中，以喷嘴22的内周面的喷嘴面23侧的开口附近薄薄地残留有防液层40的方式构成，但是并不局限于此。例如，在图16～图18所例示的喷嘴板21的改变例中，以如下方式构成，即，在喷嘴22的内周面的喷嘴面23侧的开口附近残留有更多的防液层40。另外，图16是对喷嘴板21的第一改变例进行说明的示意图。此外，图17是对喷嘴板21的第二改变例进行说明的示意图。并且，图18是对喷嘴板21的第三改变例进行说明的示意图。
若具体地进行说明，则如图16所示，在第改变例中，喷嘴22具备第一部分46和第二部分47。第一部分46为包含喷嘴面23侧的开口的部分，且为成为喷嘴22的基础的喷嘴板21以及保护层39大于第二部分47的直径的部分。换言之，由喷嘴板21以及保护层39形成的喷嘴22(狭义为喷嘴，相当于本发明的喷嘴)具有从喷嘴22的延伸方向(本改变例中的喷嘴板21的板厚方向)的中途起朝向喷嘴面23侧的开口扩径了的第一部分46。即，在成为喷嘴22的基础的喷嘴板21以及保护层39中，第一部分46的开口的直径被形成为大于第二部分47的直径。第二部分47是与第一部分46连通的部分，并沿着与喷嘴面23垂直的方向从与第一部分46连接的位置起延伸至与喷嘴面23为相反侧的面侧的中途为止。另外，如图19～图24所示，将喷嘴22的第二部分47夹在中间并与第一部分46为相反侧的部分、且为与喷嘴面23侧为相反侧的包括开口的部分被形成为，与第一部分46的直径相比而更大的直径。重要的是，喷嘴22的与喷嘴面23侧为相反侧的开口直径被形成为大于喷嘴22的喷嘴面23侧的开口径。另外，也可以将喷嘴22的喷嘴面23侧的开口直径形成为与喷嘴22的喷嘴面23侧为相反侧的开口直径相同的大小的直径。或者，也可以将喷嘴22的喷嘴面23侧的开口直径形成为大于喷嘴22的与喷嘴面23侧为相反侧的开口直径。
此外，如图16所示，本改变例中的第一部分46的内表面被形成为从喷嘴面23侧的开口的边缘起下降一级的阶梯状(换言之，向与喷嘴面23侧为相反侧进深的阶梯状)。即，第一部分46被形成为，对喷嘴板21的喷嘴面23侧的开口的边缘的角进行了切除的状态。另外，这种阶梯状的切除可以通过利用蚀刻等对喷嘴板21进行加工而形成。并且，在该第一部分46的内部形成有防液层40。在本实施方式中，使喷嘴22的喷嘴面23侧的部分中的第二部分47的内表面与被形成在第一部分46上的防液层40的表面在大致相同的位置处对齐。换言之，喷嘴22(包括防液层40的表面的广义的喷嘴)的喷嘴面23侧的部分(即，使第一部分46与第二部分47匹配的部分)被笔直地形成。另外，也可以采用如下结构(即，在喷嘴22的第一部分46形成阶梯的结构)，即，防液层40的表面被形成在与喷嘴22的第二部分47的内表面不同的位置(例如，与该内表面相比而靠内侧或外侧的位置)处。
另外，在第二改变例中，如图17所示，第一部分46的内表面被形成为对喷嘴22的开口的边缘的角部进行了倾斜倒角加工的形状，即C倒角形状。这种倒角形状例如能够通过利用蚀刻等对喷嘴板21进行加工而形成。并且，在本改变例中，也在该第一部分46的内部形成有防液层40。此外，在本改变例中，喷嘴22的喷嘴面23侧的部分中的第二部分47的内表面与被形成在第一部分46上的防液层40的表面也在大致相同的位置处对齐。另外，由于其他的结构等与上述的第一改变例相同，因此省略说明。
并且，在第三改变例中，如图18所示，第一部分46的内表面被形成为对喷嘴22的开口的边缘的角部进行了圆角加工的形状，即R倒角形状。在本改变例中，未在喷嘴板21上形成R倒角形状，而是在保护层39上形成R倒角形状。如此的倒角形状能够通过对保护层39的厚度进行调节并在被成膜于角部处的保护层39的表面带有圆角而形成。另外，也能够通过蚀刻等在喷嘴板21自身上形成R倒角形状。并且，在本改变例中，也在该第一部分46的内部形成有防液层40。此外，在本改变例中，也使喷嘴22的喷嘴面23侧的部分中的第二部分47的内表面与被形成在第一部分46上的防液层40的表面于大致相同的位置处对齐。另外，其他结构等由于与上述的第一改变例相同，因此省略说明。
如上述第一～第三改变例那样，能够通过在第一部分46上形成防液层40而对喷嘴22的喷嘴面23侧的开口的边缘处的防液层40发生磨损的情况进行抑制。由此，能够对喷嘴面23的喷嘴开口的边缘处的防液性的劣化进行抑制。即，能够增厚因擦拭器12的擦拭动作而容易磨损的喷嘴22的喷嘴面23侧的开口的边缘处的防液层40的厚度，因此即使该区域内的防液层40发生了磨损，也能够保持防液性。其结果为，能够更为可靠地对油墨附着在喷嘴面23的喷嘴22的开口的边缘处的情况进行抑制。因此，能够对因附着在喷嘴面23上的油墨与从喷嘴22被喷射出的墨滴发生干涉而使墨滴的飞翔方向发生弯曲等的不良情况进行抑制。此外，由于以上文所述的方式而将第一部分46的内表面形成为阶梯状、C倒角形状或者R倒角形状，因此能够通过蚀刻或保护层39的制膜而容易地制作出第一部分46。换言之，喷嘴板21的第一部分46的加工变得容易，进而喷嘴板21的加工变得容易。并且，通过以第二以及第三改变例的方式而将第一部分46的内表面形成为倒角形状，从而在交联工序中当从上方照射放射线时，放射线容易接触到该第一部分46的内表面。其结果为，第一部分46的内表面的保护层39与防液层40容易发生交联反应，从而将防液层40牢固地固定在第一部分46上。
并且，在上述的第一实施方式以及第二实施方式中的喷嘴板21的制造方法中，虽然使用分散体来形成未交联氟树脂层43乃至防液层40，但是并不局限于此。在图19～图24所示的第三实施方式的喷嘴板21的制造方法中，使用树脂片48来形成防液层40。另外，虽然第三实施方式中的喷嘴板21的制造方法也能够应用在上述的各个实施方式以及各个改变例所例示的任意喷嘴板21中，但在下文中，以图16所示的第一改变例的喷嘴板21为例进行说明。图19～图24为喷嘴板21(基板41)的剖面的状态转变图。
首先，与第一实施方式同样在基板41上形成喷嘴22以及保护层39。此时，在喷嘴22上也形成第一部分46等。接下来，在未交联氟树脂含有层层压工序中，将包含交联前的未交联氟树脂的未交联氟树脂含有层43层压在喷嘴面23侧。具体而言，如图19所示，以使喷嘴面23侧朝向上方的方式将基板41装载于载物台49上。另外，在该载物台49上安装有未图示的抽吸泵以及未图示的加热机构。另外，在载物台49的内部形成有与抽吸泵连接的未图示的气体流道。因此，如果抽吸泵进行工作，则载物台49上的基板41等将被吸附于载物台49侧。此外，如果加热机构进行工作，则载物台49将被加热，从而载物台49上的基板41等将被加热。接下来，在被装载于载物台49上的基板41上，重叠地配置包含不具有重合基的未交联氟树脂的树脂片48(例如，PTFE片、PFA片、FEP片等)。
在此，如图19所示，如果仅仅简单地将树脂片48配置在基板41的喷嘴面23上，则有可能会使该树脂片48挠曲或起皱，从而在基板41与树脂片48之间产生缝隙。因此，在本实施方式中，如图20所示，通过利用抽吸泵的工作经由喷嘴22(参照图20中的空心箭头标记)而对树脂片48进行抽吸，从而将该树脂片48吸附在基板41上。由此，树脂片48紧贴在基板41的喷嘴面23上。即，未交联氟树脂含有层43被层压在喷嘴面23侧。另外，只要能够使树脂片48紧贴于基板41的喷嘴面23，则并不局限于通过抽吸泵来对树脂片48进行抽吸的方法。例如，可以采用如下方法，即，通过夹紧器而对基板41和树脂片48进行夹持，或者利用静电力使基板41与树脂片48紧贴，或者将树脂片48夹于中间并利用透明的板从基板41的上方进行按压的方法。此外，也能够采用如下的方法，即：在使树脂片48紧贴于基板41的喷嘴面23的状态下，通过加热机构的动作进行加热从而使树脂片48的一部分熔敷在喷嘴面23上且临时固定。另外，将树脂片48配置于喷嘴面23上并使该树脂片48被吸附(紧贴)在喷嘴面23上的工序相当于本发明中的薄片配置工序。
如果将树脂片48吸附在了基板41上并将未交联氟树脂含有层43层压在喷嘴面23侧，则向使未交联氟树脂含有层43交联从而形成防液层40的交联工序转移。如图21所示，在本实施方式中，在通过泵的动作而将树脂片48向载物台49侧(参照图21中的空心箭头标记)抽吸的同时，通过加热机构的动作而以与第一实施方式中的交联工序相同的条件对未交联氟树脂含有层43(即树脂片48)进行加热。并且，在该状态下，与第一实施方式中的交联工序同样地向未交联氟树脂含有层43照射放射线(参照图21中的箭头标记)。由此，未交联氟树脂含有层43被交联，从而成为防液层40。在此，在本实施方式中，由于在使抽吸泵进行动作而从喷嘴22侧对树脂片48进行抽吸的同时，使未交联氟树脂含有层43交联，因此如图22所示，形成覆盖喷嘴22的部分的防液层40向载物台49侧挠曲的状态。由此，在喷嘴22具有第一部分46的结构中，未交联氟树脂含有层43容易进入到喷嘴22的第一部分46中并发生交联。即，容易将防液层40形成在第一部分46上。
之后，在去除工序中，将覆盖喷嘴22或者进入到喷嘴22内的防液层40去除。例如，如图23所示，与第一实施方式中的去除工序的改变例同样从与喷嘴面23为相反侧的面侧照射离子束(参照图23中的空心箭头标记)。由此，如图24所示，覆盖喷嘴22或者进入到喷嘴22内的防液层40被去除，从而形成了第一改变例中所例示的喷嘴22。另外，与第一实施方式中的去除工序同样，也能够通过将在与喷嘴22相对应的位置处形成有贯穿孔的掩膜从喷嘴面23侧与防液膜40重叠，并在该状态下从喷嘴面23侧照射离子束或者放射线，从而将与喷嘴22相对应的区域的防液层40去除。此外，也能够与第一实施方式同样地通过在交联工序之后实施研磨工序，从而对防液层40的表面进行研磨。并且，即使在使用了树脂片48的情况下，也能够与第二实施方式中的喷嘴板21的制造方法同样地通过交替地重复进行未交联氟树脂含有层层压工序和交联工序而形成防液层40。另外，之后的工序等由于与上述的第一实施方式相同，因此省略说明。
如此，在本实施方式中，由于也在喷嘴板21的喷嘴面23上形成包含氟树脂的防液层40，因此能够对喷嘴板21的喷嘴面23侧赋予防液性。此外，由于防液层40包含交联的氟树脂，因此与未交联的氟树脂相比，能够提高耐磨损性。其结果为，能够对喷嘴板21的喷嘴面23的防液性的劣化进行抑制。此外，由于防液层40通过与喷嘴面23交联而被接合在喷嘴面23上，因此能够提高防液层40向喷嘴板21的粘合性(紧贴性)。其结果为，能够抑制防液层40的剥离。并且，在本实施方式中，由于未交联氟树脂含有层层压工序包括薄片配置工序，并在该薄片配置工序中使树脂片48紧贴于喷嘴面23，因此能够容易地将未交联氟树脂含有层43层压在喷嘴面23侧。此外，由于使用树脂片48形成未交联氟树脂含有层43，因此能够制作出针孔、裂缝等缺陷较少的平滑的防液层40。并且，在交联工序中，由于在从喷嘴22侧对未交联氟树脂含有层43(即树脂片48)进行抽吸的同时使该未交联氟树脂层43交联，从而在第一部分46处形成防液层40，因此能够更加可靠地在第一部分46的内部形成防液层40。另外，即便在使用分散体而形成了未交联氟树脂含有层43的情况下，也能够在从喷嘴22侧对未交联氟树脂含有层43进行抽吸的同时使该未交联氟树脂层43交联。即使在这种情况下，也能够更可靠地在第一部分46的内部形成防液层40。
此外，虽然在上述的各个实施方式中例示了硅制的喷嘴板21，但是并不局限于此。例如，也能够采用金属制的喷嘴板。并且，在喷嘴板本身具有耐油墨性的情况下，也可以去掉喷嘴板的表面的保护层。在该情况下，防液层被直接交联并接合在喷嘴板的表面上。此外，在上述的各个实施方式中，虽然作为使压力室30内的油墨产生压力变动的驱动元件而例示了所谓的挠曲振动型的压电元件，但是并不局限于此。例如，也能够采用所谓为纵向振动型的压电元件、发热元件、利用静电力使压力室的容积发生变动的静电致动器等的各种致动器。
并且，虽然在上文中，作为液体喷射装置而以具备作为液体喷射头的一种的喷墨式记录头3的喷墨式打印机1为例进行了说明，但是本发明也能够应用在具备其他液体喷射头的液体喷射装置。例如，在具备被用于液晶显示器等的滤色器的制造中的颜色材料喷射头的液体喷射装置、具备被用于有机EL(Electro Luminescence)显示器、FED(场致发光显示器)等的电极形成中的电极材喷射头的液体喷射装置、具备被用于生物芯片(生物化学元件)的制造中的生物体有机物喷射头的液体喷射装置等中也能够应用本发明。在显示器制造装置用的颜色材料喷射头中，作为液体的一种而喷射R(Red：红色)·G(Green：绿色)·B(Blue：蓝色)的各种颜色材料的溶液。此外，在电极形成装置用的电极材喷射头中，作为液体的一种而喷射液状的电极材料，在芯片制造装置用的生物体有机物喷射头中，作为液体的一种而喷射生物体有机物的溶液。
符号说明
1…打印机，2…记录介质，3…记录头，4…滑架，5…滑架移动机构，6…输送机构，7…墨盒，8…正时带，9…脉冲电机，10…导向杆，11…罩，12…擦拭器，14…致动器单元，15…流道单元，16…头外壳，17…收纳空间，18…液体导入通道，19…插穿开口，21…喷嘴板，22…喷嘴，23…喷嘴面，24…连通基板，25…共用液室，26…独立连通通道，27…喷嘴连通通道，29…压力室形成基板，30…压力室，31…振动板，32…压电元件，33…密封板，35…驱动区域，36…压电元件收纳空间，39…保护层，40…防液层，40a…第一防液薄层，40b…第二防液薄层，41…基板，43…未交联氟树脂含有层，43a…第一未交联氟树脂薄层，43b…第二未交联氟树脂薄层，44…掩膜，45…贯穿孔，46…第一部分，47…第二部分，48…树脂片，49…载物台。

Claims (9)

1.一种喷嘴板，其特征在于，
在一个面侧开口有喷射液体的喷嘴，
所述喷嘴板具有：
保护层，其被层压在所述一个面上，并对所述一个面进行保护以免受所述液体影响；
防液层，其被层压在所述保护层的表面上，并包含交联的氟树脂，
关于第一位置和与所述第一位置相比而远离所述喷嘴的第二位置，
所述第一位置处的所述保护层被设置于与所述第二位置处的所述保护层相比靠层压方向的内侧，
所述第一位置处的所述防液层被设置于在所述层压方向上与所述第二位置处的所述防液层相同的位置。
2.如权利要求1所述的喷嘴板，其特征在于，
所述防液层与所述一个面侧交联。
3.如权利要求1所述的喷嘴板，其特征在于，
所述保护层具有导电性。
4.如权利要求1所述的喷嘴板，其特征在于，
所述喷嘴具有包含所述开口的第一部分、和与所述第一部分连通的第二部分，
所述第一部分中的所述开口的直径大于所述第二部分的直径，
所述防液层被形成在所述第一部分上。
5.如权利要求4所述的喷嘴板，其特征在于，
所述第一部分被形成为对所述开口的边缘的角部进行了切除的形状。
6.如权利要求4所述的喷嘴板，其特征在于，
所述第一部分被形成为对所述开口的边缘的角部倾斜地进行了倒角加工的形状。
7.如权利要求4所述的喷嘴板，其特征在于，
所述第一部分被形成为对所述开口的边缘的角部进行了圆角加工的形状。
8.一种液体喷射头，其特征在于，具备权利要求1所述的喷嘴板。
9.一种液体喷射装置，其特征在于，具备权利要求8所述的液体喷射头。
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