KR19980020101A

KR19980020101A - 액정표시소자의 ito 박막 패턴의 단락 및 오픈 검사방법

Info

Publication number: KR19980020101A
Application number: KR1019960038452A
Authority: KR
Inventors: 황상만
Original assignee: 손욱; 삼성전관 주식회사
Priority date: 1996-09-05
Filing date: 1996-09-05
Publication date: 1998-06-25

Abstract

본 발명은 액정표시소자의 ITO박막 패턴의 단락 및 오픈 검사방법에 관한 것으로서, 기판상에 적층된 전극용 ITO박막 패턴의 단락 및 오픈을 두 개의 탐침을 갖는 저항측정기를 사용하여 액정표시소자의 ITO박막 패턴의 단락 및 오픈 검사방법에 있어서, 두 개의 탐침을 측정하고자 하는 ITO박막 패턴에 소정간격 이격되게 배치시키고, 도전성 물질을 기체상태로 분사하는 이온분사기를 구비하여 탐침과 ITO박막 패턴의 이격공간에 도전성 물질을 기체상태로 분사하여 ITO박막 패턴의 단락 및 오픈을 검사하는 것을 그 특징으로 한다. 따라서, 측정대상인 ITO박막 패턴과의 비접촉식에 의한 단락 및 오픈 측정이 수행됨으로써, ITO박막 패턴의 손상없이 그 측정시간이 단축된다.

Description

액정표시소자의 ITO박막 패턴의 단락 및 오픈 검사방법

도 1은 액정표시소자의 제조공정에서 종래의 ITO박막 패턴의 단락 및 오픈 검사방법을 도시한 것이고,

도 2는 액정표시소자의 제조공정에서 본 발명에 따른 ITO박막 패턴의 단락 및 오픈 검사방법을 도시한 것이다.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1, 11: ITO 박막 패턴2, 12: 기판

3, 13: 저항측정기4, 14: 탐침

15: 이온 분사기16: 도전성 이온 물질

[발명의상세한설명]

[발명의목적]

[발명이속하는기술분야및그분야의종래기술]

본 발명은 액정표시소자의 ITO박막 패턴의 단락 및 오픈 검사방법에 관한 것으로서, 상세하게는 검사하고자 하는 패턴과 저항측정기의 탐침과의 비접촉식에 의해 액정표시소자의 ITO박막 패턴의 단락 및 오픈 검사방법에 관한 것이다.

액정표시소자(LCD)의 일반적인 구조는 약정층 상 하에 전극용 ITO박막패턴이 각각 마련되고, 액정층과 접하지 않는 전극용 ITO박막 패턴의 상면과 하면에 유리와 같은 기판이 위치된다. 액정표시소자는 액정의 구동방식에 따라 전극용 ITO박막의 패턴이 결정되고, 이 ITO박막의 패턴에 화소단위로 인가되는 전압의 온/오프에 의해 액정을 구동한다.

이와 같은 액정표시소자는 유리와 같은 기판위에 ITO박막을 형성시킨다음 설정된 전극패턴에 따라 식각에 의해 ITO박막 패턴을 형성하고, 그 위에 절연층을 형성한 후 액정을 봉입하여 제작되는데, 식각에 의해 ITO박막 패턴을 형성하는 과정에서 일부 패턴이 단락 또는 오픈될 경우가 발생한다.

이와 같이 패턴이 단락 또는 오픈될 경우에는 정상적인 신호처리에 의한 화상의 구현에 장해가 발생하기 때문에 디스플레이소자에 있어서는 치면적이다. 따라서, 식각에 의한 ITO박막 패턴을 형성한 이후, 반드시 전극용 ITO박막 패턴의 단락/오픈검사를 수행하여 그 불량을 가려내야한다.

도 1에 종래의 ITO박막 패턴의 단락 및 오픈 검사방법을 도시하였다.

도시된 바와 같이, 종래의 ITO박막패턴(1)의 단락 및 오픈 검사방법에 있어서는 저항측정기(3)의 탐침(4)을 검사하고자 하는 패턴부위에 접촉시켜 ITO박막 패턴(1)에 흐르는 전류를 검출함으로써 단락 및 오픈을 측정한다.

이와 같은 패턴의 단락/오픈 검사방법은 탐침(4)을 측정하고자 하는 ITO박막패턴(1)부위에 먼저 접촉시킨 후 저항 측정기(3)에 마련된 표시기를 통해 표시되는 눈금을 통해 단락 및 오픈상태를 확인하고, 다음 패턴부위에 다시 탐침(4)을 접촉시키는 작업이 반복된다. 이와 같은 접촉식 패턴 단락 및 오픈검사방법에 있어서, 측정시간을 줄이기 위해 탐침을 고정시킨상태에서 기판(2)을 화살표 방향으로 빠른 속도로 이동 시키게 되면 탐침(4)에 의해 ITO박막패턴(1)에 흠집이 생겨 오믹특성등이 변하게 되거나, 심할 경우 균열 등을 초래할 수 있다. 이와 같은 이유로 인해 패턴의 단락 및 오픈검사에 소요되는 측정시간을 일정수준 이하로 줄일수 없다.

따라서, 이와 같은 접촉식 측정방법은 개인용 노트북 컴퓨터의 디스플레이소자와 같이 표시해야할 화소수가 많을 경우 그에 대응되는 전극용 ITO박막 패턴(1)수도 증가하여 패턴의 단락 및 오픈검사에 소요되는 시간이 증가된다.

[발명이이루고자하는기술적과제]

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로서, ITO박막 패턴의 단락 및 오픈 검사에 소요되는 측정시간을 줄일수 있는 액정표시소자의 ITO박막 패턴의 단락 및 오픈 검사방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

[발명의구성및작용]

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 액정표시소자의 ITO박막 패턴의 단락 및 오픈 검사방법은 기판상에 적층된 전극용 ITO박막 패턴의 단락 및 오픈을 두 개의 탐침을 갖는 저항측정기를 사용하여 액정표시소자의 ITO박막 패턴의 단락 및 오픈 검사방법에 있어서, 상기 두 개의 탐침을 측정하고자 하는 상기 ITO박막 패턴에 소정간격 이격되게 배치시키고, 상기 두 개의 탐침과 상기 ITO박막 패턴의 이격공간에 도전성 이온물질을 기체상태로 분사하여 ITO박막 패턴의 단락 및 오픈을 검사하는 것을 그 특징으로 한다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액정표시소자의 ITO박막 패턴의 단락 및 오픈 검사방법을 상세히 설명한다.

도시된 바와 같이 단락 및 오픈을 검사하기 위한 측정대상인 ITO박막 패턴(11)이 유리와 같은 기판(12)위에 적층되어 있고, 이 ITO박막 패턴(11)위에 소정간격 이격된 위치에 저항측정기(13)에서 인출된 두 개의 탐침(14)이 배치되며, 이온 분사기(15)로부터 ITO박막 패턴(11)과 탐침(14)의 이격거리(d) 사이에 도전성 이온물질(16)이 개스상태로 분출된다.

저항측정기(13)는 통상적으로 이용되는 측정장치로서 그 본체 내부에 전원과 그 탐침(14)을 통해 흐르는 전류를 검출하여 저항을 측정하는 장치이다.

이와 같이 배치 구성된 저항측정기(13)와 이온분사기(15)에 의해 ITO박막 패턴(11)의 단락 및 오픈을 검사하는 방법을 살펴본다.

먼저 ITO박막 패턴(11)과 탐침(14)과의 이격 거리(d)를 수μm 내지 수 십μm정도 유지시키고, 측정하고자 하는 ITO박막 패턴(11)의 저항값보다 1/50 내지 1/100정도 작은 저항값을 갖는 개스상태의 도전성 이온 물질(16)을 상기 이격거리(d)사이에 분사시킨다. 따라서 저항측정기(13)에 내장된 전압원에 의한 도전 루프가 저항측정기(13)의 본체로부터 본체의 한측에 연결된 탐침(14), 개스상태의 도전성 이온물질(16), ITO박막 패턴(11), 개스상태의 도전성 이온물질(16), 본체의 타측과 연결된 탐침(14)을 연결하도록 형성된다. 이때, 이온 분사기(15)로부터 분사되는 개스상태의 도전성 이온물질(16)이 ITO박막패턴(11) 상면 전체에 걸쳐 분사되지 않고, 탐침(14)이 위치된 부분에만 집중될 수있도록 이온분사기(15)의 분사노즐이 배치되어 저항측정기(13)의 도전루프가 반드시 ITO박막패턴(11)을 거치도록 해야한다.

이온분사기915)의 분사노즐을 통해 배출된 개스상태의 도전성 이온물질(16)이 탐침(14)과 ITO박막패턴(11)의 이격거리(d)의 위치에서 일정거리이상 확산된 거리에서 회수되도록 흡입수단(미도시)이 마련되는게 바람직하다.

따라서 도전성 이온물질(16)이 분사된 상태에서 인지된 정상적인 ITO박막패턴(11)의 저항값을 기준으로 측정된 저항값을 비교하여 패턴의 오픈 유무를 판단하게 된다.

이와 같이 탐침(14)과 측정대상인 ITO박막 패턴(11)과의 비접촉식에 의한 단락 및 오픈 측정방법은 유리기판(12)의 이동속도를 빠르게 할 수 있기 때문에 종래의 측정방법에 비해 측정시간이 단축된다.

[발명의효과]

지금까지 설명된 바와 같이 본 발에 따른 ITO박막 패턴 단락 및 오픈방법이 액정표시소자 제조공정에 도입됨으로써, ITO박막 패턴의 손상없이 그 측정시간이 단축된다.

Claims

기판상에 적층된 전극용 ITO박막 패턴의 단락 및 오픈을 두 개의 탐침을 갖는 저항측정기를 사용하여 액정표시소자의 ITO박막 패턴의 단락 및 오픈 검사방법에 있어서,

상기 두 개의 탐침을 측정하고자 하는 상기 ITO박막 패턴에 소정간격 이격되게 배치시키고, 상기 두 개의 탐침과 상기 ITO박막 패턴의 이격공간에 도전성 이온물질을 기체상태로 분사하여 ITO박막 패턴의 단락 및 오픈을 검사하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 ITO박막 패턴의 단락 및 오픈 검사방법.