KR960039251A - 액정표시체용 기판의 검사장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 큰 사이즈가 LCD용 기판을 트러블을 발생시키는 일 없이 확실하고 안정되게, 또한 고능률로 검사할 수 있는 액정표시체용 기판의 검사장치에 관한 것으로서, 복수장의 액정표시체용 기판이 수납된 카세트를 받아들이기 위한 로더부와, 기판이 재치되는 재치대를 갖고, 이 재치대상의 기판에 형성된 전극패드에 접촉자를 접촉도통시켜 기판의 패턴회로에 테스트신호를 보내고, 그 전기적 특성을 검사하기 위한 프로버부와, 기판을 지지하여 반송하기 위한 아암부를 갖고, 이 아암부에 의해 로더부의 카세트로부터 미검사의 가판을 한 장씩 꺼내어 프로버부의 재치대에 재치하고, 또한 프로버부의 재치대로부터 검사완료의 기판을 들어올려서 상기 로더부의 카세트에 수납하는 반송수단을 갖고, 로더부는 적어도 반송수단에 의한 기판의 반송상황을 감시하고, 또한 반송수단의 반송동작을 제어하는 제1 제어수단을 구비하고, 프로버부는 기판의 검사상황을 감시하고, 또한 검사 동작을 제어하는 제2 제어수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

Description

액정표시체용 기판의 검사장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제5도는 본 발명의 실시 형태에 관련되는 기판검사장치를 나타내는 블록도, 제6도는 기판 반송중의 아암부분을 나타내는 사시도.

Claims (11)

1. 복수장의 액정표시체용 기판이 수납된 카세트를 받아들이기 위한 로더부와, 상기 기판이 재치되는 재치대를 갖고, 이 재치대상의 상기 기판에 형성된 전극패드를 접촉자를 접촉도통시켜서 기판의 패턴회로에 테스트신호를 보내고, 그 전기적 특성을 검사하기 위한 프로버부와, 상기 기판을 지지하여 반송하기 위한 아암부를 갖고, 이 아암부에 의해 상기 로더부의 카세트로부터 미검사의 기판을 한장씩 꺼내어 상기 프로버부의 재치대에 재치하고, 또한 상기 프로버부의 재치대로부터 검사완료의 기판을 들어올려서 상기 로더부의 카세트에 수납하는 반송수단을 갖고, 상기 로더부는 적어도 상기 반송수단에 의한 기판의 반송상황을 감시하고, 또한 상기 반송수단의 반송동작을 제어하는 제1 제어수단을 구비하고, 상기 프로버부는 기판의 검사상황을 감시하고, 또한 검사동작을 제어하는 제2 제어수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 액정표시체용 기판의 검사장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 제어수단을 촬상수단과, 상기 촬상수단으로부터 보내어지는 촬상신호를 화상처리하는 화상처리수단과, 상기 화상처리수단의 처리신호를 기초로 하여 처리화상을 표시하는 표시수단을 구비하고, 또한 상기 제1 및 제2 제어수단을 각각 상기 로더부 및 상기 프로버부에 이웃하는 위치에 설치한 것을 특징으로 하는 액정표시체용 기판의 검사장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 표시수단은 처리화상이 표시되는 화면과, 상기 화면의 시인각도를 바꾸는 조정수단을 갖는 것을 특징으로 하는 액정표시체용 기판의 검사장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 카세트는 적어도 수납된 기판의 공통의 검사정보를 포함하는 제1 식별부호르 갖고, 상기 기판은 적어도 기판의 개별적인 검사정보를 포함하는 제2 식별부호를 갖고, 상기 제1 식별부호를 판독하기 위해 상기 로드부에 설치된 제1 판독수단과, 상기 제2 식별부호를 판독하기 위해 상기 로드부의 카세트로에서 상기 프로버부에 도달하기까지의 반송경로에 설치된 제1 판독수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시체용 기판의 검사장치.
5. 복수장의 액정표시체용 기판이 수납된 카세트를 받아들이기 위한 로더부와, 상기 기판이 재치되는 재치대를 갖고, 상기 재치대상의 상기 기판에 형성된 전극패드에 접촉자를 접촉도통시켜서 기판의 패턴회로에 테스트 신호를 보내고, 그 전기적 특성을 검사하기 위한 프로버부와, 상기 기판을 지지하여 반송하기 위한 아암부를 갖고, 상기 아암부에 의해 상기 로더부의 카세트로부터 미검사의 기판을 한장씩 꺼내어 상기 프로버부의 재치대에 재치하고, 또한 상기 프로버부의 재치대로부터 검사완료의 기판을 들어올려서 상기 로더부의 카세트에 수납하는 반송수단을 갖고, 상기 카세트는 적어도 수납된 기판의 공통의 검사정보를 포함하는 제1 식별부호를 갖고, 상기 기판은 적어도 기판의 개별적인 검사정보를 포함하는 제2 식별부호를 갖고, 상기 제1 식별부호를 판독하기 위해 상기 로드부에 설치된 제1 판독수단과, 상기 제2 식별부호를 판독하기 위해 상기 로드부의 카세트로에서 상기 프로버부에 도달하기까지의 반송경로에 설치된 제2 판독수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시체용 기판의 검사장치.
6. 제5항에 있어서, 또한 상기 제2 판독수단에 의하여 판독 가능한 부호를 검사완료의 기판에 붙이는 부호부가수단을 갖는 것을 특징으로 하는 액정표시체용 기판의 검사장치.
7. 제5항에 있어서, 상기 로더부는 카세트를 재치하기 위한 복수의 카세트재치부를 갖는 것을 특징으로 하는 액정표시체용 기판의 검사장치.
8. 제5항에 있어서, 상기 반송수단은 상하 2단의 아암을 갖고, 한쪽의 아암에서 미검사의 기판을 상기 프로버부에 반입하고, 또한 다른쪽의 아암으로 검사완료의 기판을 상기 프로버부로부터 반출하는 것을 특징으로 하는 액정표시체용 기판의 검사장치.
9. 제5항에 있어서, 상기 로더부는 적어도 상기 반송수단에 의한 기판의 반송상황을 감시하고, 또한 상기 반송수단의 반송동작을 제어하는 제1 제어수단을 구비하고, 상기 프로버부는 기판의 검사상황을 감시하고, 또한 검사동작을 제어하는 제2 제어수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 액정표시체용 기판의 검사장치.
10. 제9항에 있어서, 상기 제1 제어수단은 상기 제1 식별부호의 판독 결과를 기초로 하여 상기 반송수단을 자동조작모드에서 매뉴얼조작모드로 전환하는 것을 특징으로 하는 액정표시체용 기판의 검사장치.
11. 제9항에 있어서, 상기 제2 제어수단은 상기 제2 식별부호의 판독 결과를 기초로 하여 상기 반송수단을 자동조작모드에서 매뉴얼조작모드로 전환하는 것을 특징으로 하는 액정표시체용 기판의 검사장치.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.