JPH06308035A - ディスプレイパネル用検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 ディスプレイパネル１を保持するバックアッ
プ部材９と、ディスプレイパネル１の端子部２の入力端
子に接触するプローブ３…を有するプローブカード４
と、保持されたディスプレイパネル１の下面に光を照射
するバックライト６と、上記入力端子とプローブ３…と
の接触状態を観察する観察ユニット５とを備え、上記観
察ユニット５が、ディスプレイパネル１とバックライト
６間に設けられるとともに、上記バックアップ部材９
の、上記入力端子とプローブ３…との接触部分に対応す
る部分に欠切が形成されている。 【効果】 プローブカード４の形状にかかわらず、ディ
スプレイパネル１の表示品位等の検査を良好に行うこと
ができ、検査精度を向上させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、フラットディスプレイ
に用いられるＬＣＤ（Liquid Crystal Display) パネル
やＥＬ（Electro Luminescence) パネル等のディスプレ
イパネルの表示品位等を検査するディスプレイパネル用
検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、フラットディスプレイの製造
工程において、周辺機器接続前のディスプレイパネルの
表示品位等を検査するディスプレイパネル用検査装置と
して、図９に示すように、ディスプレイパネル５１の端
子部５２に接触して表示信号を出力するプローブカード
５３と、この端子部５２とプローブカード５３との接触
部分を観察する観察ユニット５４と、上記ディスプレイ
パネル５１の下面に光を照射するバックライト５５と、
点灯表示したディスプレイパネル５１の点灯表示状態等
の表示品位を検出する表示品位検出ユニット５６とを備
えたものがある。

【０００３】上記プローブカード５３には、図１１に示
すように、上記端子部５２の入力端子５２ａ…それぞれ
に接触する探針（プローブ）５８…が設けられている。
また、このプローブカード５３は、プローブ５８…の入
力端子５２ａ…との接触側を、図１０に示すように、プ
ローブ５８…の取り付け台としての基台５７の端部側か
ら突出して設けられ、これによって、上記観察ユニット
５４の先端に取り付けられた顕微鏡５９により、プロー
ブ５８…と入力端子５２ａ…との接触部分を上方から観
察し得る構成となっている。

【０００４】このように、プローブ５８…と入力端子５
２ａ…との接触部分を上方から観察し得るものとして、
例えば図１２に示すように、顕微鏡５９を先端に取り付
けたロボットアーム６１を自在に移動させ、所望する接
触部分をプローブ５８…側から観察する装置が一般的に
使用されている。

【０００５】また、上記ディスプレイパネル５１は、図
９に示すように、端子部５２の入力端子５２ａ…の形成
面と反対側の面に当接するバックアップ部材６０によっ
て吸着保持されている。このバックアップ部材６０は、
ディスプレイパネル５１の表示領域５１ａに相当する部
分が開口され、バックライット５５からの光がディスプ
レイパネル５１の下面に照射し得る構成となっている。

【０００６】上記バックライト５５によって照射された
ディスプレイパネル５１は、上記表示品位検出ユニット
５６のＣＣＤ（Charge Coupled Device)カメラ（図示せ
ず）により、その表示品位が検出され、この検出データ
に基づいて画像処理部（図示せず）で画像処理が施さ
れ、ディスプレイパネル５１の表示領域５１ａにおける
欠陥箇所が抽出・判定される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のディ
スプレイパネル用検査装置では、プローブ５８…と入力
端子５２ａ…との接触部分の観察をプローブカード５３
の上方から行っているので、プローブカード５３の形状
によっては、プローブカード５３自身がプローブ５８…
と入力端子５２ａ…との接触部分での影となる場合があ
り、このような場合、接触部分の観察を行うことができ
ないという問題が生じる。

【０００８】また、バックライト５５によってディスプ
レイパネル５１の下面に光を照射するとき、ディスプレ
イパネル５１を保持するバックアップ部材６０自身が影
となる場合があり、このような場合、ディスプレイパネ
ル５１の表示領域５１ａの周縁部が中央付近より暗くな
り、ディスプレイパネル５１の表示領域５１ａでの光量
が均等でなくなる。このため、ディスプレイパネル５１
の表示状態を適切に検出することができず、検査精度に
影響を与え、正確な表示品位の判定を行うことができな
いという問題が生じる。このため、検査精度を向上させ
るには、光量の補正を行う必要がある。しかしながら、
光量の補正を行う補正装置を別に設ける必要があるの
で、ディスプレイパネル用検査装置が複雑なものとな
り、装置の製造費を向上させるという問題が生じる。

【０００９】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
であって、その目的は、プローブカードの形状に関わら
ずプローブと入力端子との接触状態を観察することがで
き、光量補正装置を用いることなく、ディスプレイパネ
ルに照射される光量を均等にすることができ、検査精度
が向上するようなディスプレイパネル用検査装置を提供
することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１記載のディスプ
レイパネル用検査装置は、透明電極を有するディスプレ
イパネルの端子部の端子群形成面と反対側の面に当接し
て保持する保持部材と、上記端子群に接触する接触部材
を有し、ディスプレイパネルに表示信号を出力する表示
信号出力手段と、上記ディスプレイパネルの下面に光を
照射する照射手段と、上記端子群と接触部材との接触状
態を観察する観察手段と、上記表示信号出力手段によっ
て表示信号が出力されるとともに、上記照射手段によっ
て光が照射されたディスプレイパネルの表示状態を検査
する表示状態検査手段とを備えたディスプレイパネル用
検査装置において、上記観察手段が、保持されたディス
プレイパネルと上記照射手段との間に設けられるととも
に、上記保持部材の、端子群と接触部材との接触部分に
対応する部分が欠切されていることを特徴としている。

【００１１】また、請求項２記載のディスプレイパネル
用検査装置は、透明電極を有するディスプレイパネルの
端子部の端子群形成面と反対側の面に当接して保持する
保持部材と、上記端子群に接触する接触部材を有し、デ
ィスプレイパネルに表示信号を出力する表示信号出力手
段と、上記ディスプレイパネルの下面に光を照射する照
射手段と、上記端子群と接触部材との接触状態を観察す
る観察手段と、上記表示信号出力手段によって表示信号
が出力されるとともに、上記照射手段によって光が照射
されたディスプレイパネルの表示状態を検査する表示状
態検査手段とを備えたディスプレイパネル用検査装置に
おいて、上記保持部材の、上記端子部との当接部分が、
上記照射手段に向かって拡がるテーパ状に形成されてい
ることを特徴としている。

【００１２】

【作用】上記の構成によれば、観察手段が、ディスプレ
イパネルと照射手段との間に設けられるとともに、保持
部材の、端子群と接触部材との接触部分に対応する部分
が欠切されていることで、端子群と接触部材との接触部
分を、ディスプレイパネルの下面側、即ち端子群側から
観察することができる。これによって、表示信号出力手
段自身が、接触部分における影とならずに、常に、端子
群と接触部材との接触部分を良好に観察することができ
るので、表示信号出力手段の形状にかかわらず、ディス
プレイパネルの表示品位等の検査を良好に行うことがで
き、検査精度を向上させることができる。

【００１３】また、上記の構成によれば、保持部材の、
ディスプレイパネルの端子部との当接部分が、例えば表
示品位検査手段に備えられ、ディスプレイパネルの表示
品位を検出するＣＣＤカメラの、照射手段に対する対角
立体画角の１／２の角度にαの角度を加えた傾斜角度を
有する、上記照射手段側に向かって拡がるテーパ状に形
成されていることで、保持部材自身が照射手段による照
射光の遮蔽物とならなくなる。これによって、保持部材
の、ディスプレイパネルの端子部との当接部分近傍、即
ちディスプレイパネルの表示領域の周縁部の光量を向上
させることができる。したがって、光量補正装置を用い
ることなく、ディスプレイパネルの表示領域全域の光量
を均等にすることができるので、ディスプレイパネルの
表示状態を正確に検出することができ、ディスプレイパ
ネル用検査装置の構造を簡素なものとし、製造費を低減
させることができる。この結果、表示品位等の検査を良
好に行うことができるとともに、検査精度を向上させる
ことができる。

【００１４】

【実施例】本発明の一実施例について図１ないし図８に
基づいて説明すれば、以下の通りである。

【００１５】本実施例に係るディスプレイパネル用検査
装置は、図１に示すように、ディスプレイパネル１の端
子部２と接触する接触部材としての探針（プローブ）３
…を有し、上記ディスプレイパネル１に表示信号を出力
する表示信号出力手段としてのプローブカード４と、上
記端子部２とプローブ３…との接触状態を観察する観察
手段としての観察ユニット５と、上記ディスプレイパネ
ル１の下面に光を照射する照射手段としてのバックライ
ト６、ディスプレイパネル１の点灯状態等の表示品位を
検出する表示品位検出手段としての表示品位検出ユニッ
ト７とを備えている。

【００１６】上記ディスプレイパネル１は、ＩＴＯ（in
dium-tin oxide) 等からなる透明電極が形成された一対
のガラス基板８・８からなり、図３に示すように、上記
透明電極上に形成された端子群としての入力端子２ａ…
がディスプレイパネル１の周縁部に形成された端子部２
で露出し、それぞれが、上記プローブカード４のプロー
ブ３…と接触し得る構成となっている。これによって、
プローブカード４から出力された表示信号が、ディスプ
レイパネル１に供給される。

【００１７】また、上記プローブカード４は、図８
（ａ）に示すように、ポリカーボネイト等からなる基台
１０上に、上記プローブ３…、ディスプレイパネルを点
灯駆動させる駆動用ドライバ等が内蔵されたＴＡＢ（Ta
pe Automated Bonding) １１、印刷配線ボードＰＷＢ
（Printed Writing Board)１２を備えており、通常、こ
のプローブカード４がプローブカード取り付け台１３上
に複数個取り付けられたユニット構造のものが、ディス
プレイパネル用検査装置で使用される。

【００１８】上記プローブ３…は、複数のタングステン
等の導電性を有する針状部材からなり、それぞれが接触
しないように、上記基台１０で支持され、その一端側
は、上記ＴＡＢ１１に接続されると共に、ＴＡＢ１１の
圧着固定に伴って基台１０上に固定される。このＴＡＢ
１１には、印刷配線ボードＰＷＢ１２が接続され、ＴＡ
Ｂ１１を介してプローブ３…にディスプレイパネルの点
灯表示信号を供給するようになっている一方、他端側
は、略Ｌ字状に折曲され、図３に示すように、それぞれ
のプローブ３の先端部３ａ…が、ディスプレイパネル１
のそれぞれの入力端子２ａ…に接触し得る構成となって
いる。これにより、ディスプレイパネルの点灯表示によ
って行われる表示品位検査において、ディスプレイパネ
ル１の各入力端子２ａ…それぞれに表示信号を出力でき
るようになっている。このことから、入力端子２ａ…の
短絡を、容易に検出することができる。

【００１９】また、ディスプレイパネル１は、図１に示
すように、端子部２の入力端子２ａ…の露出面とは反対
面に、保持部材としてのバックアップ部材９が当接する
ことによって吸着保持されている。このバックアップ部
材９は、図４に示すように、ディスプレイパネル１の端
子部２の形成パターンに対応するように欠切９ａ…が形
成されており、端子部２の入力端子２ａ…をディスプレ
イパネル１の下面側からバックアップ部材９を介して目
視し得る構成となっている。これによって、バックアッ
プ部材９が遮蔽物とならずに、図２に示すように、ディ
スプレイパネル１の端子部２とプローブカード４のプロ
ーブ３…との接触状態を下方から、観察ユニット５によ
り観察できる。

【００２０】尚、上記バックアップ部材９の欠切９ａに
限ることなく、例えば、バックアップ部材９の端子部２
との接触面をガラス等で形成することによって、端子部
２の入力端子２ａ…をディスプレイパネル１の下面側か
らバックアップ部材９を介して目視し得るものも可能で
ある。

【００２１】また、図１に示すように、上記バックアッ
プ部材９の端子部２との当接部分９ｂは、下方に設けら
れたバックライト６に向かって拡がるテーパ状に形成さ
れている。これによって、バックライト６からの光が、
バックアップ部材９自身が影とならずにディスプレイパ
ネル１の表示領域１ａの周縁部に照射できるようになっ
ている。尚、この当接部分９ｂのテーパの角度について
は、後で詳細に述べる。

【００２２】上記観察ユニット５は、図１に示すよう
に、ディスプレイパネル１とバックライト６との間に設
けられており、ディスプレイパネル１側に向かって設け
られた対物レンズ１８を有する顕微鏡１９と、この顕微
鏡１９によって観察されたプローブ３…と入力端子２ａ
…との接触状態を検出するＣＣＤ（Charge Copuled Dev
ice)カメラ２０とを備え、これら顕微鏡１９とＣＣＤカ
メラ２０とは、駆動アーム２１に取り付けられ、これに
よって、所望する位置に自在に移動させることができ、
プローブ３…と入力端子２ａ…との接触状態をバックア
ップ部材９の欠切９ａ…を介して観察し得る構成となっ
ている。但し、上記ＣＣＤカメラ２０によって検出され
た接触状態は、図示しない観察用モニタによって観察さ
れる。

【００２３】尚、上記観察ユニット５は、ディスプレイ
パネル１とバックライト６との間を自在に移動し得る構
成となっているが、検査実行時には上記バックライト６
による照射光を遮らない位置に移動するようになってい
る。これによって、バックライト６からの光がディスプ
レイパネル１の表示領域１ａに出来るだけ均等に照射さ
せることができ、上記表示品位検出ユニット７による検
出が正確に行えるようになっている。

【００２４】また、上記表示品位検出ユニット７は、図
１に示すように、保持されたディスプレイパネル１の上
方に配設され、点灯表示されたディスプレイパネル１の
点灯状態を検出し、図示しない画像処理部において、検
出データに基づいて画像処理を施し、ディスプレイパネ
ル１の表示領域１ａにおける欠陥箇所を抽出・判定等の
表示品位の検査を行うようになっている。尚、点灯状態
を検出する検出手段として、例えばＣＣＤカメラが好適
に使用される。

【００２５】ここで、上記バックアップ部材９の当接部
分９ｂにおけるテーパ角度について、図５および図６を
参照しながら以下に説明する。

【００２６】一般に、ディスプレイパネル１の表示領域
１ａにおける表示状態を精度良く検査するには、バック
ライト６からの光を表示領域１ａに対して均等に照射
し、表示領域１ａの何れの部分においても光量の低下が
見られないことが望ましい。

【００２７】また、バックライト６の照射面には、通
常、散乱板等を配置しており、その照射光は散乱光とな
る為、図５に示すように、ディスプレイパネルを有効に
照射するのはＣＣＤカメラの対角立体画角θで規定され
る第一有効照射領域２２よりも広い範囲の第二有効照射
領域２３の光である。即ち、第一有効照射領域２２と第
二有効照射領域２３の間の領域から発っせられる光をパ
ネルへの照射光として有効に作用している。

【００２８】また、図６（ａ）に示すように、バックア
ップ部材９の端子部２に当接している当接部分９ｂをＣ
ＣＤカメラの対角立体画角θの１／２の角度でバックラ
イト６に向かって拡がるテーパ状に形成すると、第一有
効照射領域２２と第二有効照射領域２３の間の領域から
発っせられる光を上記当接部分９ｂが障害物となって遮
蔽する為、図６（ｂ）に示す実線の輝度分布となる。

【００２９】そこで、当接部分９ｂをＣＣＤカメラの対
角立体画角θの１／２の角度に光を十分に照射し得る角
度（マージン）αを加えた角度でテーパ状に形成するこ
とが考えられえている。これによって、バックライト６
の照射領域が、前記の第一有効照射領域２２から第二有
効照射領域２３に拡がる。

【００３０】これにより、図６（ｂ）に示すように、デ
ィスプレイパネル１の表示領域１ａの周縁部Ｘ−Ｙ領域
の輝度が増加し、表示領域１ａの光量を均等にすること
ができる。

【００３１】尚、一般に、表示領域１ａにおける光量低
下は、上記バックアップ部材９の当接部分９ｂを対角立
体画角θの１／２とした場合では、バックライト６の面
発光の均一性に左右されるが、概ね５〜１０％である。
また、ディスプレイパネルの表示不均一性は、概ね５〜
１０％である。これにより、表示領域１ａにおける光量
低下は、表示品位検査の判定に大きな影響を与える。し
たがって、上記のマージンαを約１０°とすれば、表示
領域１ａにおける光量の低下を無視し得るレベルとする
ことができる。

【００３２】また、上記ディスプレイパネル用検査装置
に使用される表示信号出力手段として、前記のプローブ
カード４の他に、例えば、図８（ｂ）に示すように、プ
ローブカード４のプローブ３…に換えて導電性を有する
板状の接触子１５…を備えたフレキシブル基板を使用し
たプローブカード１４がある。上記接触子１５は、フレ
キシブル基板上に添着された緩衝性の例えばゴム等を介
在して設けられ、これによって、弾力性が付与され、デ
ィスプレイパネル１の端子部２の入力端子２ａの形成パ
ターンに対応させて接触させるようになっている。

【００３３】また、図８（ｃ）に示すように、プローブ
１７…一本一本にスプリングを内蔵させて、弾力性を付
与し、ディスプレイパネル１の端子部２の入力端子２ａ
の形成パターンに対応させて接触させるようになってい
るプローブカード１６がある。

【００３４】以上、図８（ｂ）・（ｃ）に示すようなプ
ローブカード１４および１６では、それぞれの接触部材
である接触子１５…およびプローブ１７…が、基台１０
に覆われるように形成されている。これによって、入力
端子２ａと接触子１５…およびプローブ１７…との接触
状態は、基台１０が障害物となり、上方から観察するこ
とができない。

【００３５】ところが、本発明では、ディスプレイパネ
ル１の端子部２の入力端子２ａ…とプローブ３…との接
触状態を観察する観察ユニット５が、ディスプレイパネ
ル１とバックライト６との間に設けられ、さらに、バッ
クアップ部材９に欠切９ａ…が設けられていることで、
入力端子２ａ…とプローブ３…との接触状態を、ディス
プレイパネル１の下面側、即ち入力端子２ａ…側から観
察することができる。

【００３６】これによって、プローブカード４自身が、
接触部分における影となることを防ぐことができるの
で、常に、端子群と接触部材との接触部分を良好に観察
することができる。したがって、表示信号出力手段とし
てのプローブカードの形状にかかわらず、ディスプレイ
パネルの表示品位等の検査を良好に行うことができ、検
査精度を向上させることができる。

【００３７】また、バックアップ部材９の端子部２との
当接部分９ｂが、ＣＣＤカメラのバックライト６に対す
る対角立体画角θの１／２の角度にαの角度を加えた傾
斜角度で、バックライト６側に向かって拡がるテーパ状
に形成することで、バックアップ部材９自身がバックラ
イト６による照射光の遮蔽物とならなくなる。これによ
って、バックアップ部材９の当接部分９ｂ近傍、即ちデ
ィスプレイパネル１の表示領域１ａの周縁部の光量を向
上させることができる。したがって、従来のように光量
補正装置によって光量を補正する必要がなく、ディスプ
レイパネル１の表示領域１ａ全域の光量を均等にするこ
とができるので、ディスプレイパネル１の表示状態を正
確に検出することができ、この結果、表示品位等の検査
を良好に行うことができるとともに、検査精度を向上さ
せることができる。また、光量補正装置を設ける必要が
ないので、装置の簡略化を図るとともに、製造費の低減
化を図ることができる。

【００３８】尚、本発明は、例えば、図７に示すような
ディスプレイパネル用検査装置に採用することも可能で
ある。

【００３９】上記のディスプレイパネル用検査装置で
は、ディスプレイパネル３１をバックアップ部材３２に
よって吸着保持し、プローブカード３３…をディスプレ
イパネル３１の端子部の寸法に合わせて取り付け台３４
に取り付け、このプローブカード３３…の取り付けられ
た取り付け台３４をさらに昇降ユニット３５に取り付け
ている。

【００４０】この昇降ユニット３５は、ディスプレイパ
ネル３１の端子方向に合わせて各一巻ずつ配設され、デ
ィスプレイパネル３１の端子部に上記プローブカード３
３…を接触させるように、昇降し得る構成となってい
る。これによって、ディスプレイパネル３１の端子部に
プローブカード３３…を適切に接触させ、ディスプレイ
パネル３１を点灯表示させている。また、この昇降ユニ
ット３５・３５は、そぞれ架台３６に取り付けられてい
る。

【００４１】また、上記プローブカード３３とディスプ
レイパネル３１の端子部との接触状態を観察するＣＣＤ
カメラ３８を有する観察ユニット３７が設けられ、ディ
スプレイパネル３１載置場所の下方には、バックライト
３９が設けられている。

【００４２】さらに、上記観察ユニット３７を直交ロボ
ット４０に取り付け、数値制御を行うことによってディ
スプレイパネル３１の端子部とプローブカード３３との
接触部分に適切に移動しながら、観察するようになって
いる。

【００４３】以上のようなディスプレイパネル用検査装
置によっても、前記実施例におけるディスプレイパネル
用検査装置と同様の効果を得ることができる。

【００４４】

【発明の効果】請求項１記載の発明のディスプレイパネ
ル用検査装置は、以上のように、透明電極を有するディ
スプレイパネルの端子部の端子群形成面と反対側の面に
当接して保持する保持部材と、上記端子群に接触する接
触部材を有し、ディスプレイパネルに表示信号を出力す
る表示信号出力手段と、上記ディスプレイパネルの下面
に光を照射する照射手段と、上記端子群と接触部材との
接触状態を観察する観察手段と、上記表示信号出力手段
によって表示信号が出力されるとともに、上記照射手段
によって光が照射されたディスプレイパネルの表示状態
を検査する表示状態検査手段とを備え、上記観察手段
が、ディスプレイパネルと照射手段との間に設けられる
とともに、上記保持部材の、上記端子群と接触部材との
接触部分に対応する部分が欠切されている構成である。

【００４５】それゆえ、表示信号出力手段の形状にかか
わらず、ディスプレイパネルの表示品位等の検査を良好
に行うことができ、検査精度を向上させることができる
という効果を奏する。

【００４６】また、請求項２記載の発明のディスプレイ
パネル用検査装置は、以上のように、透明電極を有する
ディスプレイパネルの端子部の端子群形成面と反対側の
面に当接して保持する保持部材と、上記端子群に接触す
る接触部材を有し、ディスプレイパネルに表示信号を出
力する表示信号出力手段と、上記ディスプレイパネルの
下面に光を照射する照射手段と、上記端子群と接触部材
との接触状態を観察する観察手段と、上記表示信号出力
手段によって表示信号が出力されるとともに、上記照射
手段によって光が照射されたディスプレイパネルの表示
状態を検査する表示状態検査手段とを備え、上記保持部
材の、上記端子部との当接部分が、上記照射手段に向か
って拡がるテーパ状に形成されている構成である。

【００４７】それゆえ、ディスプレイパネルの表示領域
全域の光量を均等にすることができるので、ディスプレ
イパネルの表示状態を正確に検出することができ、この
結果、表示品位等の検査を良好に行うことができるとと
もに、検査精度を向上させることができるという効果を
奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例のディスプレイパネル用検査
装置の概略構成図である。

【図２】図１のプローブカードとディスプレイパネルと
の接触状態を示す斜視図である。

【図３】図２におけるプローブカードのプローブとディ
スプレイパネルの入力端子との接触状態を示す斜視図で
ある。

【図４】図１のディスプレイパネルとバックアップ部材
と保持位置関係を示す平面図である。

【図５】図１のバックライットの有効照射領域を示す概
略構成図である。

【図６】図５におけるディスプレイパネルの表示領域に
おける光量とバックアップ部材のテーパの角度との関係
を示すものであり、同図（ａ）は概略構成図であり、同
図（ｂ）は表示領域と輝度との関係を示すグラフであ
る。

【図７】本発明の他の実施例のディスプレイパネル用検
査装置の概略構成図である。

【図８】図１および図７に使用される各種プローブカー
ドを示すものであり、同図（ａ）はプローブカードから
突出した針状のプローブを有するものの斜視図であり、
同図（ｂ）はプローブとしてフレキシブル基板を使用し
たものの斜視図であり、同図（ｃ）はプローブそれぞれ
にスプリングを内蔵したものの斜視図である。

【図９】従来のディスプレイパネル用検査装置の概略構
成図である。

【図１０】図９のプローブカードとディスプレイパネル
との接触状態を示す斜視図である。

【図１１】図１０におけるプローブカードのプローブと
ディスプレイパネルの入力端子との接触状態を示す斜視
図である。

【図１２】図９のディスプレイパネル用検査装置を採用
した検出装置の斜視図である。

【符号の説明】

１ ディスプレイパネル ２ 端子部 ２ａ 入力端子（端子） ３ プローブ（接触部材） ４ プローブカード（表示信号出力手段） ５ 観察ユニット（観察手段） ６ バックライト（照射手段） ７ 表示品位検出ユニット（表示品位検出手段） ９ バックアップ部材（保持部材） ９ａ 欠切 １４ プローブカード（表示信号出力手段） １５ 接触子（接触部材） １６ プローブカード（表示信号出力手段） １７ プローブ（接触部材）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】透明電極を有するディスプレイパネルの端
   子部の端子群形成面と反対側の面に当接して保持する保
   持部材と、 上記端子群に接触する接触部材を有し、ディスプレイパ
   ネルに表示信号を出力する表示信号出力手段と、 上記ディスプレイパネルの下面に光を照射する照射手段
   と、 上記端子群と接触部材との接触状態を観察する観察手段
   と、 上記表示信号出力手段によって表示信号が出力されると
   ともに、上記照射手段によって光が照射されたディスプ
   レイパネルの表示状態を検査する表示状態検査手段とを
   備えたディスプレイパネル用検査装置において、 上記観察手段が、保持されたディスプレイパネルと上記
   照射手段との間に設けられるとともに、上記保持部材
   の、端子群と接触部材との接触部分に対応する部分が欠
   切されていることを特徴とするディスプレイパネル用検
   査装置。
2. 【請求項２】透明電極を有するディスプレイパネルの端
   子部の端子群形成面と反対側の面に当接して保持する保
   持部材と、 上記端子群に接触する接触部材を有し、ディスプレイパ
   ネルに表示信号を出力する表示信号出力手段と、 上記ディスプレイパネルの下面に光を照射する照射手段
   と、 上記端子群と接触部材との接触状態を観察する観察手段
   と、 上記表示信号出力手段によって表示信号が出力されると
   ともに、上記照射手段によって光が照射されたディスプ
   レイパネルの表示状態を検査する表示状態検査手段とを
   備えたディスプレイパネル用検査装置において、 上記保持部材の、上記端子部との当接部分が、上記照射
   手段に向かって拡がるテーパ状に形成されていることを
   特徴とするディスプレイパネル用検査装置。