KR930001822Y1 - 액정표시소자의 패턴불량 검사장치 - Google Patents

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KR930001822Y1
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Abstract

내용 없음.

Description

액정표시소자의 패턴불량 검사장치
도면은 본고안의 패턴불량 검사 장치의 개략도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 모니터 2 : CCD카메라
5 : X-Y 구동테이블 8 : 마이크로프로세서
9 : 진공라인 10 : 흡착판
10a : 윗판 12 : 흡착구멍
본고안은 액정표시소자의 패턴불량 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 액정표시소자의 기판 위에 형성되는 박막트랜지스터의 패턴상태를 전면에 걸쳐 신속하고도 정확하게 검사를 할 수 있도록 한 액정표시소자의 패턴불량검사 장치에 관한 것이다.
일반적으로 동작전압이 낮은 평판디스플레이 및 평판텔레비젼 기판에는 액정에 전계효과를 부여하기 위한 수단으로 박막트랜지스터가 형성된다.
이러한 박막트랜지스터는, 유리기판상에 비정질 반도체층, 오믹층, 절연막, 게이트전극, 화소 등이 여러공정을 거쳐 형성되어 이루어지는데, 각 공정 사이마다 사진식각이 행하여지기 때문에, 비정질반도체층과 절연막 사이의 개면상태가 불량해지기 쉽고, 이로 인하여 트랜지스터의 스위치 특성이 나쁘게 됨은 물론, 유리기판과 비정질 반도체층 사이의 개면에 작용하는 응력이 커져 불량제품이 발생하게 되는 한 요인이 되고 있다.
따라서, 박막트랜지스터를 제조할 때에는 각 공정마다 그 패턴상태를 검사하여 패턴의 양, 불량을 판정하는 패턴검사가 함께 수행된다.
종래에는 이러한 패턴 불량검사를 실시함에 있어, 현미경을 이용하여 작업자가 직접 패턴상태를 검사하였다.
그러나, 이러한 방식의 패턴 검사방식은 기판에 형성된 패턴 전체가 일거에 관찰되지 않게 때문에, 하나의 기판을 검사하기 위하여는, 이를 부분적으로 수회에 걸쳐 관찰을 하여야 하기 때문에 검사시간이 많이 소요되고, 또 작업자가 직접 눈으로 관찰을 하기 때문에, 정확한 검사가 사실상 불가능하였다.
본고안은 상기한 바와같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 고안의 목적은 신속하고도 정확한 검사를 행할 수 있는 액정표시소자의 패턴불량 검사장치를 제공하는 데 있다.
상기한 바와같은 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 모니터와 전기적으로 연결된 CCD카메라를 통상의 X-Y 구동테이블에 수직 설치함과 아울러, 그 아래측에 진공라인과 연통되는 흡착판을 고정 설치하여서 된 액정 표시소자의 패턴불량 검사장치를 제공한다.
이하, 본고안의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 따라 더욱 상세히 설명한다.
도면은 본 고안의 패턴불량 검사장치의 개략 정면도로서, 부호(1)은 모니터를 나타낸다.
모니터(1)에는 CCD카메라(2)가 전기적으로 연결되어 있다.
상기한 CCD카메라(2), X 구동축(3)과 Y 구동축(4)을 갖는 통상의 X-Y 구동테이블(5)에 수직막대(6)를 개재하여 연결되어 있다.
X-Y 구동테이블(5)에는 상기한 X, Y 구동축(3), (4)를 구동시키기 위한 모터 등의 구동수단(7)이 부착 설치되고, 이 구동수단(7)은, 마이크로 프로세서(8)과 전기적으로 연결되어 있다.
상기한 CCD카메라(2)의 아래쪽에는 진공라인(9)와 연통되는 흡착판(10)이 받침대(11) 상에 수평 설치되어 있다.
상기한 흡착판(10)은 흡착구멍(12)가 다수개 뚫려 있는 윗판(10a)와 진공라인(9)를 상기한 다수개의 흡착공(12)와 연통시키기 위한 홈(13)이 형성된 아래판(10b)로 이루어져 있다.
이와같이 구성되는 본고안의 검사장치는, 검사코자 하는 기판(L)을 흡착판(10)의 윗판(10a) 상에 올려 놓은 다음, 진공 라인(9)와 연결 설치된 진공펌프(도시생략)을 구동시켜 이 진공펌프에서 발생되는 진공압으로 기판(L)을 윗판(10a)에 흡착시킨다.
이때 발생되는 진공압은 윗판(10a)에 뚤려 있는 다수개의 흡착구멍(12)에 전체적으로 작용하게 되므로 기판(L)은 흔들림이 없는 확고히 고정된 상태로 된다.
그 다음, 모니터(1)을 온시키고, 마이크로 프로세서(8)을 온시키면, 이 마이크로 프로세서(8)에 입력된 프로그램에 따라 구동수단(7)이 정역 구동을 하게 된다.
이와같이 구동수단(7)이 정역구동을 함에 따라 X 구동축(3)과 Y 구동축(4)가 회전을 하게 되어 이들 구동축(3), (4)에 결합된 수직막대(6)이 X축 방향 또는 Y축 방향으로 이동을 하게 된다.
수직막대(6)의 이동에 따라, 아래끝단에 고정설치된 CCD카메라(2)도 함께 이동하게 되어, 흡착판(10) 상에 흡착 고정되어 있는 기판(L)의 패턴을 촬영하게 되는데 이때 CCD카메라(2)에 의해 촬영된 패턴들이 모니터(1)에 나타나게 된다.
이와같이 모니터(1)에 기판(L)의 패턴들이 나타나게 되므로 관측자는 기판(L)의 패턴 불량 유무를 용이하게 관측할 수가 있기 때문에, 예를 들어 감광제 패턴을 관측한 결과 불량으로 판단되면, 그 다음공정인 에칭을 하지 않으면 된다.
이상과 같이 본 고안은 박막트랜지스터를 제조함에 있어, 각 공정 마다 형성되는 패턴의 검사를 용이하게 할 수 있으며, 마이크로프로세서에 의해 CCD카메라를 X축, Y축 방향으로 이동시키게 되므로, 기판의 전 패턴을 빠른 시간내에 관측할 수 있어 검사시간을 절약할 수 있음은 물론, 정확한 관찰을 할 수 있다.

Claims (1)

  1. 모니터(1)과 전기적으로 연결된 CCD카메라(2)가 마이크로 프로세서(8)에 의해 구동제어되는 X-Y 구동테이블(5)에 수직 설치되고, 상기한 CCD카메라(2)의 아래쪽에, 흡착공(12)가 다수개 뚫려 있는 윗판(10a)를 갖는 흡착판(10)과 연통 설치됨을 특징으로 하는 액정 표시소자의 패턴 불량 검사장치.
KR2019890016359U 1989-11-06 1989-11-06 액정표시소자의 패턴불량 검사장치 KR930001822Y1 (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020081769A (ko) * 2001-04-19 2002-10-30 윤건구 출입문을 갖는 강아지집

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