KR20070106920A

KR20070106920A - 표시용 패널의 처리장치

Info

Publication number: KR20070106920A
Application number: KR1020070040260A
Authority: KR
Inventors: 케이이찌 쿠라쇼; 쿠니히로 미즈노
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2006-05-01
Filing date: 2007-04-25
Publication date: 2007-11-06
Also published as: TW200742840A; JP4884828B2; TWI338772B; JP2007298787A; KR100812408B1

Abstract

본 발명은, 중간의 비디오카메라의 촬영영역 내의 결함 화소의 어드레스를 구할 수 있도록 하는데 있다. 처리장치는, 표시용 패널을 받아 이것을 점등시키는 패널받음장치와, 상기 패널받음장치에 받아진 패널을 이에 대하여 각도를 갖는 제1 방향에서 촬영하는 복수의 비디오카메라로서 패널과 평행한 제2 방향으로 정렬된 복수의 비디오카메라를 포함한다. 패널받음장치는, 패널을 받는 패널받이와, 상기 패널받이에 받아진 패널에 통전하는 최소한 하나의 프로브 유닛과, 프로브 유닛에 배치된 최소한 하나의 마커로서 제2 방향으로 서로 이웃하는 2개의 비디오카메라로 촬영 가능한 좌표위치 참조용 마크를 갖는 마커를 갖춘다.

표시용 패널, 처리장치, 패널받음장치, 프로브 유닛, 마커, 비디오카메라, 마크

Description

표시용 패널의 처리장치{Apparatus for Processing Display Panel}

도1은 본 발명에 따른 처리장치의 한 실시예를 나타내는 정면도이다.

도2는 도1에 나타낸 처리장치를 하우징 프레임을 제거한 상태로 나타낸 평면도이다.

도3은 프로브 유닛의 한 실시예를 나타내는 사시도이다.

도4는 마커 근방의 한 실시예를 나타내는, 일부를 분해한 사시도이다.

도5는 프로브 유닛 및 마커와 패널과의 관계를 나타내는 평면도이다.

도6은 도5에서의 6-6선을 따라서 절단한 단면도이다.

도7은 비디오카메라의 촬영영역을 설명하기 위한 도면이다.

도8은 어드레스의 특정방법을 설명하기 위한 도면으로, (A)는 서로 이웃하는 비디오카메라의 한 쪽 촬영영역과 패널과의 일부를 나타내고, (B)는 서로 이웃하는 비디오카메라의 다른 쪽 촬영영역과 패널과의 일부를 나타낸다.

도9는 마크와 표시화소의 위치관계를 설명하기 위한 도면으로, (A)는 비디오카메라의 촬영영역과 패널과의 일부를 나타내고, (B)는 (A)에서의 9B 부분의 확대도이다.

* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *

10: 처리장치 12: 표시용 패널

14, 16: 유리기판 18: 전극의 배치영역

20: 하우징 프레임 22: 검사 스테이지

24: 지지대 26: 스테이지 본체

28: 백라이트 유닛 30: 패널받이

32: 지지 베이스 34: 받음 베이스

36: 지주 38: 수납용기

40: 받음부 42: 플랜지(flange)부

44, 46: 프로브 유닛 48, 50: 마커(marker)

52, 54, 56: 비디오카메라 52a, 54a, 56a: 촬영영역

52b, 54b, 56b: 중복촬영영역 58: 화상처리장치

60: 프로브 블록 62: 프로브 베이스

64: 프로브 스테이지 66: 접촉자

68: 블록 본체 70: 얼라이먼트(alignment) 카메라

72: 설치 베이스 74: 고정부재

76: 판부재 78: 마크(mark)

80, 82: 나사부재 84: 긴 구멍

86, 88: 중복촬영영역 90, 92, 94, 96: 표시화소

98: 결함화소

발명의 분야

본 발명은, 액정표시패널과 같은 표시용 패널의 최소한 결함화소 어드레스(address)를 구하기 위한 처리장치에 관한 것이다.

발명의 배경

액정표시패널과 같은 표시용 패널은, 일반적으로 그 패널에 그 배면에서 빛을 조사함과 동시에 표시화소에 통전하여, 패널을 점등시키고, 각 표시화소가 정상으로 점등되었는지 아닌지를 확인하는 점등검사가 이루어진다.

그와 같은 점등검사에는, 점등된 패널의 점등상태를 작업자의 육안에 의해 확인하는 육안점등검사와, 점등된 패널의 점등상태를 비디오카메라에 의해 촬영하고, 그 출력신호를 이용하여 화상 처리함으로써 확인하는 자동점등검사가 있다.

어느 점등처리장치에 있어서도, 결함화소의 존재가 확인되면, 그 결함화소는 리페어(repair) 장치에서 수리된다. 이 수리 시에는, 결함화소를 그 어드레스로 특정하기 때문에, 결함화소의 어드레스를 알 필요가 있다.

자동점등검사장치의 하나로서, 각 표시화소를 점등시켜, 그 점등상태를 비디 오카메라로 촬영하고, 그 화상신호를 처리하고, 그에 의해 결함화소의 유무를 확인하는 것이 있다(특허문헌 1).

특허문헌 1 : 일본 특허공개2004-333214호 공보

최근의 패널은, 그 대형화에 따라, 표시화소수가 많아지고 있다. 그와 같은 패널은, 비디오카메라의 촬영화소수가 표시화소수의 증대만큼은 많아져 있지 않기 때문에, 하나의 패널을 하나의 비디오카메라로 촬영할 수 없다.

상기 문제 때문에, 하나의 패널을 한 방향으로 정렬된 최소한 3개의 비디오카메라로 분할하여 촬영하는 것이 생각되고 있다.

다수의 표시화소를 동시에 점등시키는 간이형 자동점등검사장치에 있어서, 복수의 비디오카메라를 이용하는 경우, 양단 가장자리에 위치하는 2개의 비디오카메라는, 패널의 끝 가장자리를 시야 내 즉 촬영영역 내에 넣고, 그들의 촬영영역 내의 결함화소가 패널의 끝 가장자리로부터 몇 번째의 화소에 상당하는지를 확인함으로써, 각 촬영영역 내의 결함화소의 어드레스를 구할 수 있다.

그러나 중간에 위치하는 비디오카메라는, 패널의 끝 가장자리를 그 촬영영역 내에 넣을 수 없다. 이 때문에, 중간 비디오카메라의 촬영영역 내의 결함화소의 어드레스를 구할 수 없다.

또, 육안점등검사에 의해 결함화소의 존재를 확인한 패널도, 결함화소의 어드레스를 알 수 없기 때문에, 결함화소의 수리를 행하기 전에, 결함화소의 어드레스를 구하지 않으면 안 된다.

상기와 같이 결함화소의 어드레스를 구하는 것은, 자동점등검사장치뿐만 아 니라, 육안점등검사장치, 리페어 장치 등의 처리장치에 있어서도 요구된다.

본 발명의 목적은, 중간의 비디오카메라의 촬영영역 내의 결함화소의 어드레스를 구할 수 있도록 하는데 있다.

본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.

발명의 요약

본 발명에 따른 처리장치는, 표시용 패널을 받아 이것을 점등시키는 패널받음장치와, 상기 패널받음장치에 받아진 패널을 이에 대하여 각도를 갖는 제1 방향에서 촬영하는 복수의 비디오카메라로서 상기 패널과 평행한 제2 방향으로 정렬된 복수의 비디오카메라를 포함한다. 상기 패널받음장치는, 패널을 받는 패널받이와, 상기 패널받이에 받아진 패널에 통전하는 최소한 하나의 프로브 유닛과, 상기 프로브 유닛에 배치된 최소한 하나의 마커로서 상기 제2 방향으로 서로 이웃하는 2개의 비디오카메라로 촬영 가능한 좌표위치 참조용 마크를 갖는 마커를 갖춘다.

상기 마커는, 상기 제1 및 제2 방향과 교차하는 제3 방향으로 돌출하는 선단부를 가지고 있고, 이 선단부에 상기 마크를 가질 수 있다. 그와 같이 하면, 마크가 제3 방향에서 패널에 접근하기 때문에, 제3 방향에서의 비디오카메라의 촬영영 역을 유효하게 이용할 수 있다.

상기 마커는, 이것을 상기 제1 방향으로 관통하고 상기 제2 방향으로 긴 긴 구멍을 가지고 있고, 또 상기 긴 구멍을 관통하여 상기 프로브 유닛에 결합된 나사부재에 의해 상기 프로브 유닛에 설치되어 있어도 좋다. 그와 같이 하면, 나사부재에 의한 조임을 느슨하게 하여, 마크 홀더를 프로브 유닛에 대하여 긴 구멍의 길이의 범위 내에서 제2 방향으로 변위시킴으로써, 제2 방향에서의 마크의 위치를 조정할 수 있다.

상기 제1 방향에서의 상기 마크의 위치는, 상기 패널받이에 받아진 패널의 동방향에서의 위치와 거의 같게 할 수 있다. 그와 같이 하면, 제2 방향으로 서로 이웃하는 2개의 비디오카메라의 초점을 패널에 맞추는 것만으로, 그들 비디오카메라의 초점이 마크에도 맞추어진다.

상기 마크는 패널에 설치된 전극의 배치위치에 있고 상기 전극에 대하여 상기 비디오카메라 쪽에 위치되어 있어도 좋다.

상기 프로브 유닛은, 상기 제2 방향으로 긴 프로브 베이스와, 상기 프로브 베이스에 이것의 길이방향으로 간격을 두고 배치된 복수의 프로브 블록으로서 각 프로브 블록이 패널의 전극에 접촉되는 복수의 접촉자를 갖춘 복수의 프로브 블록을 갖출 수 있다.

상기 마커는, 상기 제1 및 제2 방향과 교차하는 제3 방향으로 돌출하는 상태로 상기 프로브 베이스에 설치된 마크 홀더와, 상기 마크 홀더에 설치된 판부재로서 상기 마크가 형성된 판부재를 갖출 수 있다.

본 발명에 따른 처리장치는, 최소한 제1, 제2 및 제3 비디오카메라를 포함할 수 있고, 또 이들 비디오카메라에 의한 상기 제2 방향에서의 촬영가능영역은, 상기 제2 방향에서의 일단에 위치된 제1 비디오카메라는, 최소한 상기 패널의 한쪽 끝 가장자리에서 상기 마크의 위치까지, 상기 제2 방향에서의 다른 쪽 끝에 위치된 제2 비디오카메라는, 최소한 상기 패널의 다른 쪽 끝 가장자리에서 상기 마크의 위치로 향하는 도중의 위치까지, 상기 제2 방향에서의 중간에 위치된 제3 비디오카메라는, 최소한 상기 마크의 위치에서 상기 제2 비디오카메라에 의한 촬영영역인 상기 제2 방향에서의 일단(一端)쪽 위치까지로 할 수 있다.

본 발명에 따른 처리장치는, 각각이 상기 마크를 갖는, 상기 제2 방향으로 간격을 둔 최소한 제1 및 제2 마커와, 최소한 제1, 제2 및 제3 비디오카메라를 포함할 수 있고, 또 이들 비디오카메라에 의한 상기 제2 방향에서의 촬영가능영역은, 상기 제2 방향에서의 한쪽 끝에 위치된 제1 비디오카메라는, 최소한 상기 패널의 한쪽 끝 가장자리에서 상기 제2 방향에서의 한쪽에 위치하는 제1 마크의 위치까지, 상기 제2 방향에서의 다른 쪽 끝에 위치된 제2 비디오카메라는, 최소한 상기 패널의 다른 쪽 끝 가장자리에서 상기 제2 방향에서의 다른 쪽에 위치된 제2 마크의 위치로 향하는 도중의 위치까지, 상기 제2 방향에서의 중간에 위치된 제3 비디오카메라는, 최소한 상기 제1 마크의 위치에서 상기 제2 마크의 위치까지라 할 수 있다.

게다가, 본 발명에 따른 처리장치는, 상기 패널받음장치 및 상기 비디오카메라를 지지하는 하우징을 포함할 수 있다.

발명의 상세한 설명

[용어에 대해서]

본 발명에 있어서는, 도1에서, 상하방향을 상하방향 또는 Z방향(제1 방향)이라 하고, 좌우방향을 X방향 또는 좌우방향(제2 방향)이라 하고, 종이의 뒷면방향을 전후방향 또는 Y방향(제3 방향)이라 한다. 그러나 그들 방향은, 피검사체를 처리장치에 배치하는 자세, 즉 처리장치에 배치된 피검사체의 자세에 따라 다르다.

따라서 상기의 방향은 실제의 처리장치에 따라, X방향 및 Y방향이, 수평면, 수평면에 대하여 경사하는 경사면, 및 수평면에 수직인 수직면의 어느 한 면내가 되도록 결정해도 좋고, 그들 면의 조합이 되도록 결정해도 좋다.

[실시예]

도1∼도6을 참조하면, 처리장치(10)는 표시용 패널(12)을 통전회로에 접속하고, 점등검사와 같은 통전 시험을 함과 동시에, 결함화소의 어드레스를 구하는 자동점등 처리장치로서 이용된다.

표시용 패널(12)은, 사각형의 형상을 갖고 있고, 또 사각형의 변의 몇 개에 대응하는 가장자리의 각각에 복수의 전극을 갖춘다. 도시한 예에서는, 표시용 패널(12)은 액정을 봉입(封入)한 액정표시패널이고, 또 서로 이웃하는 2개의 가장자리의 각각에 복수의 전극을 대응하는 가장자리의 길이방향으로 간격을 두고 갖고 있다.

도6에 나타낸 바와 같이, 패널(12)은, 액정을 두개의 유리판(14, 16) 사이에 봉입하고 있다. 아래쪽 유리기판(14)은, 박막 트랜지스터를 위쪽 유리기판(16)쪽 면(윗면)에 설치하고 있고, 그 같은 면의 서로 이웃하는 2개의 가장자리에 복수의 전극을 배치하고 있다. 위쪽 유리기판(16)은 아래쪽 유리기판(14) 쪽과 반대쪽 면(윗면)을 표시면으로 하고 있고, 또 아래쪽 유리기판(14)보다 전극의 배치영역(18) 분(分)만큼 작게 하여, 전극을 노출시키고 있다.

처리장치(10)는, 하우징 프레임(20)에 설치된 검사 스테이지(22)를 포함한다. 검사 스테이지(22)는 지지대(24)를 스테이지 본체(26)의 위에 설치하고, 지지대(24)에 백라이트 유닛(28)을 배치하고, 패널(12)을 받는 패널받이(30)를 지지대(24)의 위에 설치하고 있다.

지지대(24)는 사각형의 판의 형상을 갖는 지지 베이스(32)와 사각형의 판의 형상을 갖는 받음 베이스(34)를, 이들이 상하방향으로 간격을 두고 평행한 상태로 복수의 지주(36)에 의해 설치되어 있다.

받음 베이스(34)는, 이것의 중앙영역을 두께방향으로 관통하는 사각형의 개구(도시하지 않음)에 의해, 판틀 형상으로 형성되어 있다. 이에 의해, 개구를 통하여 위쪽으로 개방하는 공간이 지지대(24)에 형성되어 있다. 개구는, 검사해야할 패널(12)과 거의 같은 크기를 갖는다.

스테이지 본체(26)는, 지지대(24) 및 패널받이(30)를, X, Y 및 Z의 세 방향으로(삼차원적으로) 변위시킴과 동시에, Z방향으로 연장하는 θ축선 주위로 각도적으로 회전시키는 XYZθ 스테이지이다.

백라이트 유닛(28)은, 백색 전구나 백색 형광등과 같은 복수의 백라이트(도 시하지 않음)를 위쪽으로 개방하는 수납용기(38)에 수용하고 있다. 수납용기(38)는, 지지대(24)의 상기 공간에 배치되고, 지지 베이스(32)에 설치되어 있다.

패널받이(30)는, 짧은 사각통 형상을 한 받음부(40)와, 받음부(40)의 하부에 설치된 사각 플랜지부(42)를 갖는 척 톱(chuck top)이고, 받음부(40)가 상하방향으로 개방하도록, 플랜지부(42)에 있어서 받음 베이스(34)에 설치되어 있다. 받음부(40)는 패널(12)을 해제 가능하게 흡착하도록 진공원(源)에 접속된 흡착 홈을 윗면에 갖고 있다.

또, 처리장치(10)는, 패널받이(30)에 받아진 패널(12)에 통전하는 2개의 프로브 유닛(44, 46)과, 한쪽 프로브 유닛(44)에 X방향으로 간격을 두고 배치된 2개의 마커(48, 50)와, 패널받이(30)에 받아진 패널(12)을 위쪽에서 촬영하는 최소한 3개의 비디오카메라(52, 54, 56)와, 이들 비디오카메라(52, 54, 56)의 출력신호를 이용하여 표시화소의 정부(正否)를 판정하는 화상처리장치(58)를 포함한다.

프로브 유닛(44 및 46)의 각각은 복수의 프로브 블록(60)을 X방향 또는 Y방향으로 긴 판상의 프로브 베이스(62)에 X방향 또는 Y방향으로 간격을 두고 배치하고, X방향 또는 Y방향으로 긴 판상의 프로브 베이스(62)를 X방향 또는 Y방향으로 긴 프로브 스테이지(64)에 지지시키고 있다.

각 프로브 블록(60)은, 패널(12)의 전극에 접촉되는 복수의 접촉자(66)를 프로브 베이스(62)에 지지된 블록 본체(68)에 설치한 공지의 것이다. 도시한 예에서는, 프로브 유닛(44)은 X방향으로 간격을 둔 4개의 프로브 블록(60)을 갖추고 있고, 프로브 유닛(46)은 Y방향으로 간격을 둔 2개의 프로브 블록(60)을 갖추고 있 다.

각 프로브 스테이지(64)는, 이것의 길이방향에서의 위치를 수동으로 조정 가능하게 하우징 프레임(20)에 나사로 고정되어 있다. 프로브 유닛(44, 46)은 접촉자(66)가 패널(12)의 전극에 접촉 가능하도록, 프로브 스테이지(64)에 있어서 하우징 프레임(20)에 지지되어 있다.

또, 프로브 유닛(44)은 하나의 얼라이먼트 카메라(70)를 갖추고 있고, 프로브 유닛(44)은 또 2개의 얼라이먼트 카메라(70)를 갖추고 있다. 각 얼라이먼트 카메라(70)는, 패널(12)에 설치되어 있는 얼라이먼트 마크를 촬영하도록 대응하는 프로브 베이스(62)에 설치되어 있다.

각 얼라이먼트 카메라(70)의 출력신호는, 도시하지 않은 제어장치에 있어서, 패널(12)의 얼라이먼트 마크가 대응하는 얼라이먼트 카메라(70)의 시야 내 즉 촬영영역 내의 소정의 위치(기준위치)가 되도록, 패널(12)을 검사 스테이지(22)로 변위시키는 신호의 발생에 이용된다.

마커(48, 50)의 각각은, 크랭크(crank) 형상으로 구부려진 설치 베이스(72)와, 설치 베이스(72)의 선단부 아래쪽에 설치된 판상의 고정부재(74)와, 고정부재(74)에 설치된 장방형의 판부재(76)와, 판부재(76)의 선단부 윗면에 설치된 마크(78)를 갖춘다.

마크(78)는, 표시화소의 좌표위치의 참조에 이용되는 것이고, 판부재(76)의 선단부 윗면과 다른 광학적 특성을 갖고 있다. 마크(78)는, 포토리소그래피 기술, 전기도금기술, 일렉트로포밍 기술 등을 이용하여 형성할 수 있다.

도시한 예에서는, 마크(78)는 삼각형의 형상을 갖고 있고, 또 삼각형의 정점(頂点)(정각)이 패널(12)의 표시화소를 가리키도록, 정점을 표시화소 쪽으로 향하고 있다. 그러나 마크(78)는 화살표와 같은 다른 마크여도 좋다.

판부재(76)는, 투명, 반투명 또는 불투명의 유리판이고, 마크(78)가 고정부재(74)에서 앞쪽으로 돌출한 상태로 고정부재(74)의 아래면에 접착되어 있다. 고정부재(74)는 마크(78)가 설치 베이스(72)에서 앞쪽으로 돌출한 상태로 설치 베이스(72)의 아래쪽에 복수의 나사부재(80)에 의해 설치되어 있다.

마커(48, 50)의 각각은, 설치 베이스(72)가 X방향으로 서로 이웃하는 2개의 프로브 블록(60) 사이에 위치함과 동시에, 마크(78)를 X방향으로 서로 이웃하는 2개의 비디오카메라(52, 54 또는 54, 56)로 촬영 가능하게, 설치 베이스(72)의 후단부에서 복수의 나사부재(82)에 의해 프로브 베이스(62)에 설치되어 있다.

마크(78)는, 대응하는 마커(48 또는 50)가 프로브 베이스(62)에 설치된 상태에서, 패널받이(30)에 받아진 패널(12)의 표시면의 Z방향에서의 높이 위치와 거의 같은 높이 위치와, 패널(12)의 전극의 배치위치(18)의 비디오카메라(52, 54, 56)쪽 위치로 유지된다.

각 나사부재(82)는, 설치 베이스(72)에 설치된 긴 구멍(84)(도3 및 4를 참조)을 관통하여, 프로브 베이스(62)에 결합되어 있다. 각 긴 구멍(84)은 X방향으로 길다. 이 때문에, 프로브 베이스(62)에의 나사부재(82)에 의한 마커의 조임을 느슨하게 하여, 마커(48 또는 50)를 프로브 베이스(62)에 대하여 긴 구멍(84)의 길이의 범위 내에서 X방향으로 변위시킴으로써, X방향에서의 마크(78)의 위치를 용이하고 정확하게 조정할 수 있다.

비디오카메라(52, 54, 56)는, 도7∼도9에 나타낸 바와 같이, 패널받이(30)에 받아진 패널(12)의 Y방향의 전(全)범위가 시야 즉 촬영영역에 들어가고, X방향의 일단(一端) 및 타단(他端)에 위치하는 표시화소(90 및 92)가 X방향의 양단에 위치하는 비디오카메라(52 및 56)의 촬영영역(52a 및 56a)에 들어가고, 양 마커(48 및 50)의 마크(78)가 각각 비디오카메라(52, 54 및 54, 56)의 촬영영역(52a, 54a 및 54a, 56a)에 들어가는 상태로, X방향으로 간격을 두고 하우징 프레임(20)에 설치되어 있다.

상기의 결과, X방향으로 서로 이웃하는 2개의 비디오카메라(52 및 54 또는 54 및 56)의 촬영영역(52a, 54a 또는 54a, 56a)의 일부가 중복된다.

도7∼도9에, X방향으로 서로 이웃하는 2개의 비디오카메라(52, 54 및 54, 56)의 중복촬영영역을 각각 부호 86 및 88로 나타내는 범위로 나타내고, X방향에서의 비디오카메라(52, 54 및 56)의 촬영영역(52a, 54a 및 56a)의 범위를 각각 부호 52b, 54b 및 56b로 나타낸다.

마커(48 및 50)는, 각각 그들의 마크(78)가 중복촬영영역(86 및 88)에 들어가도록, X방향에서의 위치가 조정된다.

X방향에서의 마커(48 및 50)의 위치 조정은, 검사 스테이지(22)와 프로브 유닛(44 및 46)과, 비디오카메라(52, 54, 56)가 하우징 프레임(20)에 설치된 상태에서 하기와 같이 하여 행해진다.

먼저, 프로브 베이스(62)에의 양 나사부재(82)의 비틀어 넣는 양이 작아져, 나사부재(82)에 의한 프로브 베이스(62)에의 설치 베이스(72)의 조임이 느슨해진다.

계속해서, 도8 및 도9에 나타낸 바와 같이, 마크(78)가 X방향으로 서로 이웃하는 2개의 비디오카메라(52, 54(또는 54, 56))의 중복촬영영역 범위(86(또는 88)) 내의 특정의 표시화소(94(또는 96))를 가리키는 위치로, 마커(48(또는 50))가 변위된다.

그 후, 양 나사부재(82)가 프로브 베이스(62)에 비틀어 넣어진다.

비디오카메라(52, 54, 56)의 촬영영역 및 마커(48, 50)의 위치가 상기와 같이 조정된 후, 패널(12)의 검사가 하기와 같이 실행된다.

먼저, 패널(12)이 패널받이(30)에 놓이고, 그 상태로 패널(12)에 설치된 얼라이먼트 마크가 얼라이먼트 카메라(70)에 의해 촬영된다. 각 얼라이먼트 카메라(70)의 출력신호는 화상처리장치(58)로 보내져 화상 처리된다.

계속해서, 그들 얼라이먼트 마크가 대응하는 얼라이먼트 카메라(70)의 촬영영역 내의 소정의 위치에 위치하도록, 패널(12)이 검사 스테이지(22)에 의해 변위된다. 이에 의해, 각 접촉자(66)의 침선이 패널(12)의 전극의 위쪽에 위치된다.

이어서, 백라이트 유닛의 각 백라이트가 점등되고, 패널(12)이 검사 스테이지(22)에 의해 상승되고, 그 전극이 접촉자(66)의 침선에 눌린다. 이 때, 마커(48, 50)가 X방향으로 서로 이웃하는 프로브 블록(60) 사이에 배치되어 있기 때문에, 마커(48, 50)가 전극과 침선과의 누름에 방해되지 않는다.

계속해서, 상기 상태로, 패널(12)의 모든 표시화소 또는 다수의 표시화소가 접촉자(66)를 통하여 동시에 통전된다. 이에 의해, 패널(12)이 점등된다. 이 때문에, 검사 스테이지(22)와 프로브 유닛(44 및 46)은 표시용 패널을 받아 이것을 점등시키는 패널받음장치의 한 구성요소로서 작용한다.

이어서, 패널(12)의 점등상태가, 마크(78)와 함께 비디오카메라(52, 54, 56)에 의해 촬영된다.

비디오카메라(52, 54, 56)에 의한 촬영 시, Z방향에서의 마크(78)의 위치가 패널(12), 특히 그 표시화면의 동(同)방향에서의 위치와 거의 같기 때문에, 비디오카메라(52, 54, 56)의 초점을 패널(12), 특히 그 표시화면에 맞추는 것만으로, 그들 비디오카메라(52, 54, 56)의 초점이 마크(78)에도 맞추어진다.

또, 비디오카메라(52, 54, 56)에 의한 촬영 시, 마커(48, 50)가 Y방향으로 돌출하는 선단부에 마크(78)를 갖고 있기 때문에, 마크(78)가 Y방향에서 패널(12)에 접근시킬 수 있고, 그에 의해 Y방향에서의 비디오카메라(52, 54, 56)의 촬영영역을 유효하게 이용할 수 있다.

게다가, 비디오카메라(52, 54, 56)에 의한 촬영 시, 마크(78)가 전극의 배치위치(18)에 있고 전극에 대하여 비디오카메라(52, 54, 56) 쪽에 위치되어 있기 때문에, 마크(78)가 Y방향에서 패널(12)에 접근하고, 그 결과 Y방향에서의 비디오카메라(52, 54, 56)의 촬영영역도 유효하게 이용할 수 있다.

비디오카메라(52, 54, 56)의 출력신호는, 결함화소의 유무의 확인을 위해, 화상처리장치(58)로 보내져 화상 처리된다. 결함화소의 유무의 확인은, 휘도나 색상이 주위와 다른 부분이 존재하는지 아닌지의 간이검사를 함으로써 행할 수 있다.

결함화소가 존재하면, 다음에 그 화소의 X 및 Y 어드레스(이차원 좌표위치)가 화상처리장치(58)에 의해 구해진다.

[결함화소의 X 어드레스]

결함화소가 비디오카메라(52)의 촬영영역(52a) 내의 화소일 때는, X 어드레스는 패널(12)의 가장 왼쪽 끝 가장자리에서 결함화소가 포함되는 화소 열까지의 화소열수를 계산하는, 즉 결함화소가 포함되는 화소 열에서 패널(12)의 왼쪽 끝 가장자리까지 존재하는 화소열수를 계산함으로써 구할 수 있다.

결함화소가 비디오카메라(54)의 촬영영역(54a) 내의 화소(98)(도8을 참조)일 때는, X 어드레스는, 먼저 촬영영역(52a) 내에서 패널(12)의 가장 왼쪽 끝 가장자리에서 마크(78)에 의해 가리켜진 화소(94)가 포함되는 화소 열까지 존재하는 화소열수를 계산하고, 이어서 촬영영역(54a) 내에서 마크(78)에 의해 가리켜진 화소(94)가 포함되는 화소 열에서 결함화소(98)가 포함되는 화소 열까지 존재하는 화소열수를 계산하고, 계산한 양 화소열수를 가산함으로써 구할 수 있다.

결함화소가 비디오카메라(56)의 촬영영역(56a) 내의 화소일 때는, X 어드레스는, 패널(12)의 가장 오른쪽 끝 가장자리에서 결함화소가 포함되는 화소 열까지의 화소열수를 계산함으로써 구할 수 있다.

결함화소가 비디오카메라(54)의 촬영영역(54a) 내의 화소(98)(도8을 참조)일 경우, 구한 X 어드레스의 정부(正否)는, 먼저 촬영영역(56a) 내에서 패널(12)의 가장 오른쪽 끝 가장자리에서 마크(78)에 의해 가리켜진 화소(94)가 포함되는 화소 열까지 존재하는 화소열수를 계산하고, 이어서 촬영영역(54a) 내에서 마크(78)에 의해 가리켜진 화소(94)가 포함되는 화소 열에서 결함화소(98)가 포함되는 화소 열까지 존재하는 화소열수를 계산하고, 계산한 양 화소열수를 가산함으로써 확인할 수 있다.

구한 X 어드레스의 정부의 확인을 하지 않는 경우에는, 한쪽 마커(48 또는 58)를 이용하지 않아도 좋다. 이 경우, 마커(48 또는 50)를 통하여 2개의 서로 이웃하는 비디오카메라에 의해 마크(78)를 중복하여 촬영하면 된다.

[결함화소의 Y 어드레스]

비디오카메라(52, 54, 56)의 촬영영역 내의 결함화소의 Y 어드레스는, Y방향에서의 패널(12)의 끝 가장자리가 비디오카메라(52, 54, 56)의 촬영영역 내에 들어 있으면, Y방향에서의 패널(12)의 끝 가장자리에서 결함화소가 포함되는 화소 열까지의 화소열수를 계산함으로써 구할 수 있다.

그러나, 패널(12)을 Y방향에서도 복수의 비디오카메라로 분할하여 촬영하고, 게다가 그 중의 최소한 하나의 비디오카메라의 촬영영역 내에 제3 방향에서의 패널의 끝 가장자리가 포함되지 않는 경우를 생각할 수 있다. 그 경우는, 상기와 같은 마커를 Y방향으로 서로 이웃하는 비디오카메라로 중복하여 촬영 가능하게 배치하고, 상기 X 어드레스와 동일하게 하여 결함화소의 Y 어드레스를 구하면 된다.

결함화소의 어드레스는, 비디오카메라(52, 56)에 의해 패널(12)의 끝 가장자리를 촬영하고, 그들의 촬영영역 내에서의 패널 끝 가장자리에서 결함화소까지의 화소열수를 계산함으로써 구하는 대신에, 패널의 끝 가장자리 또는 끝 가장자리에 위치하는 화소를 가리키는 마크를 갖는 다른 마커를 프로브 유닛(44 또는 46)에 설치해 두고, 비디오카메라(52 또는 56)에 의해 다른 마커의 마크를 촬영하고, 그것들의 촬영영역 내에서의 다른 마커의 마크에서 결함화소까지의 화소열수를 계산함으로써 구하도록 해도 좋다.

본 발명은, 패널의 한쪽 끝 가장자리 및 다른 쪽 끝 가장자리의 어느 쪽도 촬영하지 않는 마크(78)를 촬영하는 최소한 하나의 비디오카메라와, 마크(78)를 촬영하는 최소한 하나의 다른 비디오카메라를 X방향 또는 Y방향에 갖춘 처리장치에 적용할 수 있을 뿐만 아니라, 4개 이상의 비디오카메라를 갖춘 처리장치에도 적용할 수 있다.

또, 본 발명은 자동점등검사장치뿐만 아니라, 육안점등검사장치, 리페어 장치 등의 다른 처리장치에도 적용할 수 있다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.

[결함화소의 제2 방향에서의 어드레스]

제2 방향으로 서로 이웃하는 비디오카메라로 공통의 마크를 촬영 가능하면, 예를 들어 한쪽 비디오카메라는 최소한 제2 방향에서의 패널의 끝 가장자리 또는 그것에 대응하는 부분이나 끝 가장자리의 화소를 가리키는 다른 마크에서 본 발명에서 말하는 마크의 위치까지를 시야 즉 촬영영역으로 하고, 다른 쪽 비디오카메라는 최소한 제2 방향에서의 마크의 위치에서 패널의 다른 끝 가장자리쪽 부분까지를 촬영영역으로 할 수 있다.

이에 의해, 제2 방향으로 서로 이웃하는 비디오카메라 중, 한쪽 비디오카메라의 촬영영역 내의 결함화소의 제2 방향에서의 어드레스는, 예를 들어 그 결함화소가 제2 방향에서의 패널의 끝 가장자리 또는 다른 마크로부터 몇 번째의 화소 열(列)에 존재하는가를 확인함으로써 특정할 수 있다.

이에 대하여, 다른 쪽 비디오카메라의 촬영영역 내의 결함화소의 제2 방향에서의 어드레스는, 예를 들어 본 발명에서 말하는 마크의 위치에 대응하는 화소가 제2 방향에서의 패널의 끝 가장자리 또는 다른 마크로부터 몇 번째의 화소 열에 존재하는가를 확인함과 동시에, 다른 쪽 비디오카메라의 촬영영역 내의 결함화소가 제2 방향에서의 마크의 위치에 대응하는 화소 열로부터 몇 번째의 화소 열에 존재하는가를 확인함으로써 특정할 수 있다.

[제3 방향에서의 어드레스]

각 비디오카메라의 촬영영역 내의 결함화소의 제3 방향에서의 어드레스는, 제3 방향에서의 패널의 끝 가장자리가 제2 방향으로 서로 이웃하는 각 비디오카메라의 촬영영역 내에 들어 있으면, 그 결함화소가 제3 방향에서의 패널의 끝 가장자리로부터 몇 번째의 화소 열에 존재하는가를 확인함으로써 특정할 수 있다.

그러나 패널을 제3 방향에서도 복수의 비디오카메라로 분할하여 촬영하고, 게다가 그 중의 최소한 하나의 비디오카메라의 촬영영역 내에 제3 방향에서의 패널의 끝 가장자리가 포함되지 않는 경우를 생각할 수 있다. 그 경우는, 상기와 같은 마커를 제3 방향으로 서로 이웃하는 비디오카메라로 중복하여 촬영 가능하게 배치하고, 상기 제2 방향에서의 어드레스와 동일하게 하여 제3 방향에서의 결함화소의 어드레스를 구하면 된다.

[다른 청구항의 효과]

마커가 제3 방향으로 돌출하는 선단부에 마크를 갖고 있으면, 마크가 제3 방향에서 패널에 접근하기 때문에, 제3 방향에서의 비디오카메라의 촬영영역을 유효하게 이용할 수 있다.

마커가, 이것을 제1 방향으로 관통하고 제2 방향으로 긴 긴 구멍을 갖고 있고, 또 긴 구멍을 관통하여 프로브 유닛에 결합된 나사부재에 의해 프로브 유닛에 설치되어 있으면, 나사부재에 의한 프로브 유닛에의 마커의 조임을 느슨하게 하여, 마커를 프로브 유닛에 대하여 긴 구멍의 길이의 범위 내에서 제2 방향으로 변위시킴으로써, 제2 방향에서의 마크의 위치를 조정할 수 있다.

제1 방향에서의 마커의 위치는, 패널받이에 받아진 패널의 동방향에서의 위치와 거의 같으면, 제2 방향으로 서로 이웃하는 2개의 비디오카메라의 초점을 패널에 맞추는 것만으로, 그들 비디오카메라의 초점이 마크에도 맞추어진다.

일반적으로, 패널은 한 쌍의 유리기판을 제1 방향으로 간격을 두고 있고, 또 전극을 비디오카메라와 반대쪽 유리기판의 비디오카메라쪽 면에 설치하고 있음과 동시에, 비디오카메라쪽 유리기판을 그 반대쪽 유리기판보다 전극의 배치영역분(分) 만큼 작게 하여, 전극을 비디오카메라 쪽으로 노출시키고 있다. 이 때문에, 마크가 전극의 배치위치에 있고 전극에 대하여 비디오카메라 쪽에 위치되어 있으면, 마크가 제3 방향에서 패널에 접근하기 때문에, 제3 방향에서의 비디오카메라의 촬영영역을 유효하게 이용할 수 있다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

Claims

표시용 패널을 받아서 이것을 점등시키는 패널받음장치와, 상기 패널받음장치에 받아진 패널을 이에 대하여 각도를 갖는 제1 방향에서 촬영하는 복수의 비디오카메라로서 상기 패널과 평행한 제2 방향으로 정렬된 복수의 비디오카메라를 포함하고,

상기 패널받음장치는, 패널을 받는 패널받이와, 상기 패널받이에 받아진 패널에 통전하는 최소한 하나의 프로브 유닛과, 상기 프로브 유닛에 배치된 최소한 하나의 마커로서 상기 제2 방향으로 서로 이웃하는 2개의 비디오카메라로 촬영 가능한 좌표위치에 참조용 마크를 갖는 마커를 갖춘 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 처리장치.
제1항에 있어서, 상기 마커는 상기 제1 및 제2 방향과 교차하는 제3 방향으로 돌출하는 선단부를 갖고 있고, 이 선단부에 상기 마크를 갖는 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 처리장치.
제1항에 있어서, 상기 마커는, 이것을 상기 제1 방향으로 관통하고 상기 제2 방향으로 긴 긴구멍(長穴)을 갖고 있고, 또 상기 긴구멍을 관통하여 상기 프로브 유닛에 결합된 나사부재에 의해 상기 프로브 유닛에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 처리장치.
제1항에 있어서, 상기 제1 방향에서의 상기 마크의 위치는, 상기 패널받이에 받아진 패널의 동방향에서의 위치와 거의 같은 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 처리장치.
제1항에 있어서, 상기 마크는 패널에 설치된 전극의 배치위치에 있고 상기 전극에 대하여 상기 비디오카메라 쪽에 위치되어 있는 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 처리장치.
제1항에 있어서, 상기 프로브 유닛은, 상기 제2 방향으로 긴 프로브 베이스와, 상기 프로브 베이스에 이것의 길이방향으로 간격을 두고 배치된 복수의 프로브 블록으로서 각 프로브 블록이 패널의 전극에 접촉되는 복수의 접촉자를 갖춘 복수의 프로브 블록을 갖추고,

상기 마커는, 상기 제1 및 제2 방향과 교차하는 제3 방향으로 돌출하는 상태로 서로 이웃하는 프로브 블록 사이에 있고 상기 프로브 베이스에 설치된 마크 홀 더와, 상기 마크 홀더에 설치된 판부재로서 상기 마크가 형성된 판부재를 갖춘 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 처리장치.
제1항에 있어서, 최소한 제1, 제2 및 제3 비디오카메라를 포함하고, 이들 비디오카메라에 의한 상기 제2 방향에서의 촬영가능영역은, 상기 제2 방향에서의 한쪽 끝에 위치된 제1 비디오카메라는, 최소한 상기 패널의 한쪽 끝 가장자리에서 상기 마크의 위치까지이고, 상기 제2 방향에서의 다른 쪽 끝에 위치된 제2 비디오카메라는, 최소한 상기 패널의 다른 쪽 끝 가장자리에서 상기 마크의 위치를 향하는 도중의 위치까지이고, 상기 제 2방향에서의 중간에 위치된 제3 비디오카메라는, 최소한 상기 마크의 위치에서 상기 제2 비디오카메라에 의한 촬영영역인 상기 제2 방향에서의 일단(一端)쪽 위치까지인 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 처리장치.
제1항에 있어서, 각각이 상기 마크를 갖는, 상기 제2 방향으로 간격을 둔 최소한 제1 및 제2 마커와, 최소한 제1, 제2 및 제3 비디오카메라를 포함하고, 이들 비디오카메라에 의한 상기 제2 방향에서의 촬영가능영역은, 상기 제2 방향에서의 한쪽 끝에 위치된 제1 비디오카메라는, 최소한 상기 패널의 한쪽 끝 가장자리에서 상기 제2 방향에서의 한쪽에 위치하는 제1 마크의 위치까지이고, 상기 제2 방향에서의 다른 쪽 끝에 위치된 제2 비디오카메라는, 최소한 상기 패널의 다른 쪽 끝 가 장자리에서 상기 제2 방향에서의 다른 쪽에 위치된 제2 마크의 위치로 향하는 도중의 위치까지이고, 상기 제2 방향에서의 중간에 위치된 제3 비디오카메라는, 최소한 상기 제1 마크의 위치에서 상기 제2 마크의 위치까지인 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 처리장치.
제1항에 있어서, 상기 패널받음장치 및 상기 비디오카메라를 지지하는 하우징을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 처리장치.