JP4411588B2 - 欠陥検査装置 - Google Patents
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Description
検査対象1は、液晶パネルディスプレイやプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ装置であり、全表面に黒色表示や白色表示などの表示パターンを表示する。CCD(電荷結合素子)カメラ等の撮像部2は、表示された画像を撮像し、画像処理部4に画像信号を出力する。信号発生部3は画像処理部4の制御下で検査対象に画像を表示させるための表示パターン信号を出力する。画像処理部4は、信号発生部3に対して、所定の表示パターン信号を発生させるための表示データや表示タイミングを制御するタイミング制御信号を出力すると共に、検査対象画面の撮像画像から黒点(未発光欠陥)、白点(輝点欠陥)等の表示欠陥を検出する。表示部5は検査結果を表示又は印字するディスプレイやプリンタ等である。操作部6はキーボードやタッチパネルなどから成り、作業者がこの検査装置を操作する部分である。
しかし、高解像度になると3つのCCDの位置合わせが著しく難しくなるという技術的な問題から3CCDカメラは現時点ではおよそ200万画素程度の解像度のものしか存在しない。
このため、検査対象の4倍以上の高解像度のものが実現できる白黒のCCDを用いた図12に示すような構成の撮像部が採用されている。
図12において、カラーフィルタ7a,7b,7c(7cは図示せず)はフィルタホイール8に取り付けられ、撮像レンズ10と白黒の撮像素子(CCD)9の間に設置される。このフィルタホイール8が回転することによりカラーフィルタのいずれか1つが選択され、CCDに入射する光信号の透過波長範囲を切替える。また、シャッタ11の開閉によりCCDへの光信号の入射をON/OFF制御する。
また、撮像時にフィルタの回転に時間を要すると共に、色ムラ、輝度ムラなどの比較的空間周波数の低い検査にも高解像度のCCDを使用しなければならないため、カラー画像1枚を得るための撮像と撮像データの転送を3回繰り返えす必要がある。従って、検査に時間がかかるという問題があった。
前記フラットパネルディスプレイを撮像し、欠陥を検出する高解像度の白黒カメラと、
前記フラットパネルディスプレイを撮像し、前記欠陥の色を特定する低解像度のカラーカメラと、
位置の基準となるマーカーとして前記フラットパネルディスプレイに所定の間隔で輝点を表示させると共に、前記マーカーの位置情報に基づき前記高解像度の白黒カメラの撮像した欠陥の位置をこの欠陥を囲む4点のマーカーに対する相対位置として求め、射影の関係から、前記低解像度のカラーカメラの撮像した欠陥の位置を前記4点のマーカーに対する相対位置として求める画像処理部と、
を有することを特徴とする欠陥検査装置。
また、高解像度のカメラで微小な点欠陥を検出し、低解像度のカラーカメラでその欠陥の色を特定するので、構造が簡単となり、撮像時間も短く、検査時間を短縮することができる。
また、ここでは、検査対象としてフラットパネルディスプレイを例に用いており、カラーフィルタなどを検査する場合には、カラーフィルタの背後から照明を当てて透過してきた光信号を撮像するようにする。
なお、この画像処理部4aは、画像入力ボードを経由してカメラの信号を取り込むようにした少なくとも1台のコンピュータで構成しても良い。
図2は検査対象の表示エリアにおける輝点欠陥を示した表示例である。輝点欠陥30は検査対象20の表示エリア31で発生した黒表示の際に明るく輝く点の欠陥(輝点欠陥)である。
図3は、検査対象の表示エリアにマーカーを表示させた表示例である。
輝点32が表示した輝点、輝点33が輝点欠陥である。この例では輝点欠陥は右から3列目と4列目の間、上から2行目と3行目の間に存在することが分かる。そこで、その部分を高解像度カメラで撮像した場合の画像の模式図を図4に、3CCDカラーカメラで撮像した場合の画像の模式図を図5に示す。
図4においてA,B,C,Dの各点は検査対象20に表示した輝点であり、P点は輝点欠陥である。A,B,C,Dの各点は検査対象20上では10ピクセル間隔で1ピクセルの大きさで表示されているが、高解像度CCD上では約20ピクセル間隔で4ピクセルの大きさになっている。また、CCDの画素位置に必ずしも一致しているわけでは無い。
図4の画像で、Pの座標を高解像度カメラのCCD上の座標で表す。この座標を(xp,yp)とする。ここで、CCD上の画像の座標系は左上を原点(0,0)とし、右方向をxの正方向、下方向をyの正方向とし、画素を単位としたxy座標系とする。
図4において□ABCD(点A,B,C,Dを頂点とする四角形を示す)を単位正方形とし、Aを原点とした座標系を(l,m)とし、上記の(x,y)座標系との関係を求める。求めた変換行列をKとすると
と表すことができる。
輝点欠陥Pの(l,m)座標系での座標(lp,mp)は(1)式を用いて求めることができる。
と表すことができる。
(1)式で求めた輝点欠陥の座標(lp,mp)を(3)式に代入すると、輝点欠陥の3CCDカラーカメラCCD上の座標(xp1,yp1)を求めることができる。図5の画像で(xp1,yp1)の色を調べることによって、輝点欠陥の色を特定できる。
このことを、図を用いて説明する。
図6は、検査対象20に黒均一画面を表示した場合の輝点欠陥Pの周辺を高解像度カメラで撮像した画像の例を示している。グリッドは高解像度カメラのCCDの1画素を示す。図7は図6とほぼ同一の部分を低解像度3CCDカラーカメラで撮像した場合の画像の例を示している。グリッドは3CCDカメラのCCDの1画素を示す。
この例では輝点欠陥Pが、表示させた輝点Dとほぼ同一部分にあり重なっている。表示させる輝点と輝点欠陥との重なりは、CCD上の座標により判定できるので、そのような場合には高解像度カメラと3CCDカラーカメラのピクセル位置の整合に用いる輝点を通常用いる□ABDCの代わりに□AEIGに変更する。
また、カラーフィルタなどの部材の欠陥検査を行う場合には、無色透明なシートの既知の位置にマーカーが印刷されたものなどを用意して、カラーフィルタと重ねあわせて撮像し、同様に欠陥の検査を行う。
さらに、輝度ムラ、線欠陥、色ムラなどは3CCDカメラの画像を用いて検査する。
従来例の検査装置用カメラの場合と本発明の欠陥検査装置の場合について、撮像の時間の比較をしたものである。従来例の検査用カメラは、白黒344万画素カメラとRGBのカラーフィルタを用いて同一のカメラで欠陥検査と色ムラ、輝度ムラなどのカラー画像検査を行う構成である。これに対して、本発明は欠陥検査用に白黒344万画素カメラを用い、色むら、輝度ムラ検査には86万画素の3CCDカメラを用いるものである。
また、本実施例では図3の輝点の表示を2つのカメラのピクセルの関係を整合させるためにのみ用いたが、輝度が既知の輝点を表示させることにより、輝点欠陥の輝度レベルと表示輝点の輝度レベルの比により、輝点欠陥の輝度を求めることができる。従って、輝度のリファレンスとして用いることもできる。
カメラアレイを構成している各カメラの間隔をそれぞれ広げる。各カメラの視野が少しの重なりを持ってパネルの全表示エリアをカバーするように、カメラアレイ全体を被検査パネルから遠ざける。または、各カメラにズームレンズを搭載しておき、それぞれのズームを上記の条件になるように調整する。各カメラのフォーカスをそれぞれ調整する。カメラアレイを構成するカメラの数にもよるが、このような調整を手動で行うには多大な時間を必要とする。
プレイの近くに設置されたカメラアレイに視野を邪魔されないようにディスプレイの中心軸上に設置するのは困難だが、本発明では実施例にも示したように、ムラ検査用の3CCDカメラをディスプレイの中心軸上に設置することが容易である。
4a 画像処理部
6 操作部
7 表示部
20 検査対象
21 3CCDカラーカメラ
22 撮像レンズ
23 高解像度カメラ
24 撮像レンズ
Claims (4)
- フラットパネルディスプレイの欠陥検査を行う欠陥検査装置において、
前記フラットパネルディスプレイを撮像し、欠陥を検出する高解像度の白黒カメラと、
前記フラットパネルディスプレイを撮像し、前記欠陥の色を特定する低解像度のカラーカメラと、
位置の基準となるマーカーとして前記フラットパネルディスプレイに所定の間隔で輝点を表示させると共に、前記マーカーの位置情報に基づき前記高解像度の白黒カメラの撮像した欠陥の位置をこの欠陥を囲む4点のマーカーに対する相対位置として求め、射影の関係から、前記低解像度のカラーカメラの撮像した欠陥の位置を前記4点のマーカーに対する相対位置として求める画像処理部と、
を有することを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記カメラのいずれか1台を、光軸が前記フラットパネルディスレイの中心線に一致するように設置することを特徴とする請求項1に記載の欠陥検査装置。
- 前記マーカーと欠陥とが重なる場合には、隣接したマーカーを代用して欠陥の位置を求めることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の欠陥検査装置。
- 前記マーカーを既知の輝度により表示し、輝点欠陥の輝度を検出する際のリファレンスとすることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の欠陥検査装置。
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