JPH0829361A - Lcdパネル画質検査装置 - Google Patents
Lcdパネル画質検査装置Info
- Publication number
- JPH0829361A JPH0829361A JP6185484A JP18548494A JPH0829361A JP H0829361 A JPH0829361 A JP H0829361A JP 6185484 A JP6185484 A JP 6185484A JP 18548494 A JP18548494 A JP 18548494A JP H0829361 A JPH0829361 A JP H0829361A
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- Japan
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- lcd
- ccd
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- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 斜めから見たLCD画像をLCDパネル全面
に渡って焦点を合わせて取り込み、ゆがみを生じた画面
から全LCD画素の位置をCCD画素アドレスとして得
て、LCD画像を忠実に取り込み、視角依存欠陥を判定
する。 【構成】 CCDエリアセンサを内蔵しLCDの明暗を
斜めから測定する第2CCDカメラに、LCDパネル全
面に対して焦点を合わせるレンズ系として、ティルトレ
ンズ系またはシフトレンズ系を内蔵する。また、CCD
画素上においてゆがんだ画像を正常なLCD画像に変換
するため、キャリブレーションパターンを発生するLC
D駆動部、CCD画素の測定値をA/D変換する画像測
定部、LCD全画素のサンプリングアドレスを実数とし
て求めるLCD画素のCCDアドレス設定手段、サンプ
リングアドレスを用いて近傍補間しLCD画素数サイズ
の画像に変換するプリサンプリング処理手段を設ける。
に渡って焦点を合わせて取り込み、ゆがみを生じた画面
から全LCD画素の位置をCCD画素アドレスとして得
て、LCD画像を忠実に取り込み、視角依存欠陥を判定
する。 【構成】 CCDエリアセンサを内蔵しLCDの明暗を
斜めから測定する第2CCDカメラに、LCDパネル全
面に対して焦点を合わせるレンズ系として、ティルトレ
ンズ系またはシフトレンズ系を内蔵する。また、CCD
画素上においてゆがんだ画像を正常なLCD画像に変換
するため、キャリブレーションパターンを発生するLC
D駆動部、CCD画素の測定値をA/D変換する画像測
定部、LCD全画素のサンプリングアドレスを実数とし
て求めるLCD画素のCCDアドレス設定手段、サンプ
リングアドレスを用いて近傍補間しLCD画素数サイズ
の画像に変換するプリサンプリング処理手段を設ける。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、視角依存欠陥を検出で
きる光学装置を具備したLCDパネル画質検査装置に関
するものである。
きる光学装置を具備したLCDパネル画質検査装置に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】LCD(Liquid Crystal Display)パネ
ル欠陥のうち、LCDパネル10正面から観測したとき
の、白及び黒の点欠陥、線欠陥は、従来のLCDパネル
画質検査装置で検出可能であった。しかし、LCDパネ
ル欠陥の中に図8に示すように斜めから見たときに発見
される視角依存欠陥がある。従来の検査装置でLCDパ
ネル10を斜めから観測すると一部にしか焦点が合わず
測定検査することができない。そのため、視角依存欠陥
については、目視検査に頼っている。
ル欠陥のうち、LCDパネル10正面から観測したとき
の、白及び黒の点欠陥、線欠陥は、従来のLCDパネル
画質検査装置で検出可能であった。しかし、LCDパネ
ル欠陥の中に図8に示すように斜めから見たときに発見
される視角依存欠陥がある。従来の検査装置でLCDパ
ネル10を斜めから観測すると一部にしか焦点が合わず
測定検査することができない。そのため、視角依存欠陥
については、目視検査に頼っている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】以上述べたように、通
常のレンズは正面から見る事を基本にしているため、斜
めにして1部に焦点を合わせると他の部分の焦点が合わ
なくなる。また、斜めから見て取り込んだ画像は、正面
から見て取り込んだ画像に比べて、取り込み画像にゆが
みを生じる。本発明は、斜めから見たLCD画像をLC
Dパネル10全面に渡って焦点を合わせて取り込み、ゆ
がみを生じた画面から全LCD画素の位置をCCD(Ch
argeCoupled Device )画素アドレスとして得て、LC
D画像を忠実に取り込み、視角依存欠陥を判定するLC
Dパネル画質検査装置を実現することを目的としてい
る。
常のレンズは正面から見る事を基本にしているため、斜
めにして1部に焦点を合わせると他の部分の焦点が合わ
なくなる。また、斜めから見て取り込んだ画像は、正面
から見て取り込んだ画像に比べて、取り込み画像にゆが
みを生じる。本発明は、斜めから見たLCD画像をLC
Dパネル10全面に渡って焦点を合わせて取り込み、ゆ
がみを生じた画面から全LCD画素の位置をCCD(Ch
argeCoupled Device )画素アドレスとして得て、LC
D画像を忠実に取り込み、視角依存欠陥を判定するLC
Dパネル画質検査装置を実現することを目的としてい
る。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明においては、CCDエリアセンサを内蔵しL
CDの明暗を正面から測定する第1CCDカメラと、C
CDエリアセンサを内蔵しLCDの明暗を斜めから測定
する第2CCDカメラを設けている。第2CCDカメラ
は、LCDの明暗を斜めから測定するため、通常のレン
ズ系では1部に焦点を合わせると他の部分の焦点が合わ
なくなる。そこで、斜めから見たときLCDパネル全面
に対して焦点を合わせるレンズ系として、ティルトレン
ズ系またはシフトレンズ系を内蔵する。
に、本発明においては、CCDエリアセンサを内蔵しL
CDの明暗を正面から測定する第1CCDカメラと、C
CDエリアセンサを内蔵しLCDの明暗を斜めから測定
する第2CCDカメラを設けている。第2CCDカメラ
は、LCDの明暗を斜めから測定するため、通常のレン
ズ系では1部に焦点を合わせると他の部分の焦点が合わ
なくなる。そこで、斜めから見たときLCDパネル全面
に対して焦点を合わせるレンズ系として、ティルトレン
ズ系またはシフトレンズ系を内蔵する。
【0005】また、第2CCDカメラは、LCD画像を
斜めから見るため、CCD画素上においてゆがみを生じ
た画像になる。このゆがんだCCD画素上の画像を正常
なLCD画像に変換するため、検査対象LCDパネルに
キャリブレーションパターンやテストパターンを表示す
るLCD駆動部を設け、CCD画素で測定した明暗をA
/D変換する画像測定部を設け、上記キャリブレーショ
ンパターンの認識パターンを使用してLCD画素とそれ
に対応するCCD画素の位置を実数で特定し、上記認識
パターンのCCDアドレスからLCD全画素のサンプリ
ングアドレスを実数として求めるLCD画素のCCDア
ドレス設定手段を設け、LCDパネルの画像をCCDに
より測定し、上記サンプリングアドレスを用いて近傍補
間をし、LCDパネルの画素数サイズの画像に変換する
プリサンプリング処理手段を設けている。
斜めから見るため、CCD画素上においてゆがみを生じ
た画像になる。このゆがんだCCD画素上の画像を正常
なLCD画像に変換するため、検査対象LCDパネルに
キャリブレーションパターンやテストパターンを表示す
るLCD駆動部を設け、CCD画素で測定した明暗をA
/D変換する画像測定部を設け、上記キャリブレーショ
ンパターンの認識パターンを使用してLCD画素とそれ
に対応するCCD画素の位置を実数で特定し、上記認識
パターンのCCDアドレスからLCD全画素のサンプリ
ングアドレスを実数として求めるLCD画素のCCDア
ドレス設定手段を設け、LCDパネルの画像をCCDに
より測定し、上記サンプリングアドレスを用いて近傍補
間をし、LCDパネルの画素数サイズの画像に変換する
プリサンプリング処理手段を設けている。
【0006】LCDパネルの画像として得られた各LC
D画素の明暗データにより欠陥を判定する欠陥判定手段
を設け、全体の流れを制御する制御部と、LCD画像の
表示及び制御操作状況を表示する表示部を設けて、LC
Dパネル画質検査装置を実現している。
D画素の明暗データにより欠陥を判定する欠陥判定手段
を設け、全体の流れを制御する制御部と、LCD画像の
表示及び制御操作状況を表示する表示部を設けて、LC
Dパネル画質検査装置を実現している。
【0007】
【作用】上記のように構成されたLCDパネル画質検査
装置では、斜めから見たLCD画像をLCDパネル全面
に渡って焦点を合わせて取り込み、ゆがみを生じた画面
から全LCD画素の位置をCCD画素アドレスとして得
て、LCD画像を忠実に取り込み、視角依存欠陥を判定
することができる。
装置では、斜めから見たLCD画像をLCDパネル全面
に渡って焦点を合わせて取り込み、ゆがみを生じた画面
から全LCD画素の位置をCCD画素アドレスとして得
て、LCD画像を忠実に取り込み、視角依存欠陥を判定
することができる。
【0008】
【実施例】視角依存欠陥を判定するためには、まず、斜
めから見たときLCDパネル10全面に対して焦点を合
わせるレンズ系を必要としている。その目的を達成する
レンズ系として、ティルトレンズ系とシフトレンズ系が
ある。
めから見たときLCDパネル10全面に対して焦点を合
わせるレンズ系を必要としている。その目的を達成する
レンズ系として、ティルトレンズ系とシフトレンズ系が
ある。
【0009】(a) ティルトレンズ系 CCD画素面に対して斜めとなるLCDパネル面の全体
にわたって焦点を合わせたい時に使用できるレンズ系と
してティルトレンズ系がある。このレンズ系は、CCD
面とレンズ光軸の垂直関係を崩し、図2(a)のように
レンズ面を傾けて、LCDパネル面とレンズ光軸が交わ
る角度を垂直に近づけると、CCD面と平行でないLC
Dパネル面全体に焦点を合わせることができる。
にわたって焦点を合わせたい時に使用できるレンズ系と
してティルトレンズ系がある。このレンズ系は、CCD
面とレンズ光軸の垂直関係を崩し、図2(a)のように
レンズ面を傾けて、LCDパネル面とレンズ光軸が交わ
る角度を垂直に近づけると、CCD面と平行でないLC
Dパネル面全体に焦点を合わせることができる。
【0010】(b) シフトレンズ系 図2(b)のようにCCD面とLCDパネル面が平行に
なるように固定し、レンズ鏡筒をLCDパネルの方向へ
シフトさせると、ゆがんでいたLCDパネル画面が正面
から見た時の画面のようになる。なお、このレンズ系に
おいて、LCDパネル面全体に焦点を合わせることがで
きる。
なるように固定し、レンズ鏡筒をLCDパネルの方向へ
シフトさせると、ゆがんでいたLCDパネル画面が正面
から見た時の画面のようになる。なお、このレンズ系に
おいて、LCDパネル面全体に焦点を合わせることがで
きる。
【0011】上記(a)及び(b)で得られたLCD画
像はゆがんでいることがある。しかし、LCD画像がゆ
がんでいたとしても、次の処理によってLCDパネルの
各画素を測定し、LCD画像を得ることができる。 キャリブレーションパターンの輝点について、LC
D画素とそれに対応するCCD画素のアドレスを特定す
る。まず、図3に示すキャリブレーションパターンを6
40×480画素のLCDパネル上に表示する。キャリ
ブレーションパターンは、図3に示すLCD画素のアド
レスに25個の輝点を表示する。そして、例えば、15
34×1024画素のCCDエリアセンサを使用し、L
CD1画素に対して縦横それぞれ3個、合わせて9個の
CCD画素でLCDの明暗を測定する。LCDの輝点は
図4(a)のようなイメージでCCD画素に取り込む。
この輝点のアドレスを正確に求めるために以下の方法を
用いる。CCDによる測定画像の輝点の近傍から明るさ
の最大値を探し、その画素を中心とする。図5(a)の
ように、その中心の画素をXn とし、その左右の画素
Xn−1 及びXn+1 の明るさの測定値に注目する。
図5(b)の斜線部分の左右の面積を等しく分けるとこ
ろをX方向の求めるアドレスとする。これを計算式で表
すと次のようになる。 X方向の求めるアドレス=Xn +(Hn+1 −Hn−
1 )/2Hn 同じことを上下つまりY方向の画素についても行うこと
により輝点のY方向のアドレスを求める。これを25個
の輝点について行い、LCD画素25個の輝点のCCD
アドレスであるXアドレス及びYアドレスを算出する。
像はゆがんでいることがある。しかし、LCD画像がゆ
がんでいたとしても、次の処理によってLCDパネルの
各画素を測定し、LCD画像を得ることができる。 キャリブレーションパターンの輝点について、LC
D画素とそれに対応するCCD画素のアドレスを特定す
る。まず、図3に示すキャリブレーションパターンを6
40×480画素のLCDパネル上に表示する。キャリ
ブレーションパターンは、図3に示すLCD画素のアド
レスに25個の輝点を表示する。そして、例えば、15
34×1024画素のCCDエリアセンサを使用し、L
CD1画素に対して縦横それぞれ3個、合わせて9個の
CCD画素でLCDの明暗を測定する。LCDの輝点は
図4(a)のようなイメージでCCD画素に取り込む。
この輝点のアドレスを正確に求めるために以下の方法を
用いる。CCDによる測定画像の輝点の近傍から明るさ
の最大値を探し、その画素を中心とする。図5(a)の
ように、その中心の画素をXn とし、その左右の画素
Xn−1 及びXn+1 の明るさの測定値に注目する。
図5(b)の斜線部分の左右の面積を等しく分けるとこ
ろをX方向の求めるアドレスとする。これを計算式で表
すと次のようになる。 X方向の求めるアドレス=Xn +(Hn+1 −Hn−
1 )/2Hn 同じことを上下つまりY方向の画素についても行うこと
により輝点のY方向のアドレスを求める。これを25個
の輝点について行い、LCD画素25個の輝点のCCD
アドレスであるXアドレス及びYアドレスを算出する。
【0012】 LCD全画素のサンプリングアドレス
を作成する。キャリブレーションパターンを取り込んだ
画像は、図4(b)のようにゆがんでいる場合がある
が、4角を輝点とする16の領域に分割される。それぞ
れの領域について、先に求めた4角の輝点のアドレス
と、その輝点のあるLCDパネル10の画素アドレスの
関係から、その領域に含まれるLCDパネル10の画素
がCCD測定画素のどこのアドレスに対応するのかを実
数で求める。これにより、LCDパネル10の全画素が
CCD測定画素のどこのアドレスに対応するのかを表す
サンプリングアドレスが作成できる。
を作成する。キャリブレーションパターンを取り込んだ
画像は、図4(b)のようにゆがんでいる場合がある
が、4角を輝点とする16の領域に分割される。それぞ
れの領域について、先に求めた4角の輝点のアドレス
と、その輝点のあるLCDパネル10の画素アドレスの
関係から、その領域に含まれるLCDパネル10の画素
がCCD測定画素のどこのアドレスに対応するのかを実
数で求める。これにより、LCDパネル10の全画素が
CCD測定画素のどこのアドレスに対応するのかを表す
サンプリングアドレスが作成できる。
【0013】 プリサンプリング処理により、LCD
パネルの画素数サイズの画像に変換する。プリサンプリ
ング対象とするLCDパネルの画像をCCDにより測定
する。その画像に対して先に求めたサンプリングアドレ
スを用いて近傍4画素の線形補間、又は、近傍9画素の
線形補間を行い、測定画像をLCDパネル10の画素数
サイズの画像に変換する。
パネルの画素数サイズの画像に変換する。プリサンプリ
ング対象とするLCDパネルの画像をCCDにより測定
する。その画像に対して先に求めたサンプリングアドレ
スを用いて近傍4画素の線形補間、又は、近傍9画素の
線形補間を行い、測定画像をLCDパネル10の画素数
サイズの画像に変換する。
【0014】 近傍4画素の線形補間 図6(a)のようにサンプリングアドレス22を中心と
して1×1の正方形を考える。この正方形はCCD4画
素の取り込み画像にまたがる。図6(b)及び図6
(c)のように、この各画素の明るさデータ値と各画素
における正方形の重なり合う面積の割合を求め、双方の
値を掛けた値の和がプリサンプリング結果となる。この
計算式は次のようになる。 プリサンプリング結果=da・sa+db・sb+dc
・sc+dd・sd
して1×1の正方形を考える。この正方形はCCD4画
素の取り込み画像にまたがる。図6(b)及び図6
(c)のように、この各画素の明るさデータ値と各画素
における正方形の重なり合う面積の割合を求め、双方の
値を掛けた値の和がプリサンプリング結果となる。この
計算式は次のようになる。 プリサンプリング結果=da・sa+db・sb+dc
・sc+dd・sd
【0015】 近傍9画素の線形補間 図7(a)のようにサンプリングアドレス22を中心と
して2×2の正方形を考える。この正方形はCCD9画
素の取り込み画像にまたがる。図7(b)及び図7
(c)のように、この各画素の明るさデータ値と各画素
における正方形の重なり合う面積の割合を求め、双方の
値を掛けた値の和を4で割ったものがプリサンプリング
結果となる。
して2×2の正方形を考える。この正方形はCCD9画
素の取り込み画像にまたがる。図7(b)及び図7
(c)のように、この各画素の明るさデータ値と各画素
における正方形の重なり合う面積の割合を求め、双方の
値を掛けた値の和を4で割ったものがプリサンプリング
結果となる。
【0016】図1にLCDパネル10を斜めから測定す
るレンズ系を持った第2CCDカメラ32を設けたLC
Dパネル画質検査装置のブロック図を示す。本発明のL
CDパネル画質検査装置は、検査対象LCDパネル10
と、LCDパネル10にキャリブレーションパターンや
各種テストパターンを表示するLCD駆動部11と、C
CDエリアセンサを内蔵しLCDの明暗を正面から測定
する第1CCDカメラ12と、同じくCCDエリアセン
サを内蔵し斜めからLCDの明暗を測定する第2CCD
カメラ32と、CCD画素で測定した明暗をA/D変換
する画像測定部13と、キャリブレーションパターンの
輝点を使用してLCD画素とそれに対応するCCD画素
の位置を特定し、輝点のCCDアドレスからLCD全画
素のサンプリングアドレスを求めるLCD画素のCCD
アドレス設定手段14と、LCDパネルの画像をCCD
により測定し、上記サンプリングアドレスを用いて近傍
線形補間をし、LCDパネルの画素数サイズの画面に変
換するプリサンプリング処理手段15と、LCDパネル
の画像として得られた各LCD画素の明暗データより欠
陥を判定する欠陥判定手段16と、全体の流れを制御す
る制御部17と、LCD画像の表示及び制御操作状況を
表示する表示部19とで構成される。なお、LCD画素
のCCDアドレス設定手段14とプリサンプリング処理
手段15とは、CCD上でゆがんで見えるLCDパネル
を正常なLCD画像として測定検出するためゆがみ補正
処理手段34と呼ぶ。
るレンズ系を持った第2CCDカメラ32を設けたLC
Dパネル画質検査装置のブロック図を示す。本発明のL
CDパネル画質検査装置は、検査対象LCDパネル10
と、LCDパネル10にキャリブレーションパターンや
各種テストパターンを表示するLCD駆動部11と、C
CDエリアセンサを内蔵しLCDの明暗を正面から測定
する第1CCDカメラ12と、同じくCCDエリアセン
サを内蔵し斜めからLCDの明暗を測定する第2CCD
カメラ32と、CCD画素で測定した明暗をA/D変換
する画像測定部13と、キャリブレーションパターンの
輝点を使用してLCD画素とそれに対応するCCD画素
の位置を特定し、輝点のCCDアドレスからLCD全画
素のサンプリングアドレスを求めるLCD画素のCCD
アドレス設定手段14と、LCDパネルの画像をCCD
により測定し、上記サンプリングアドレスを用いて近傍
線形補間をし、LCDパネルの画素数サイズの画面に変
換するプリサンプリング処理手段15と、LCDパネル
の画像として得られた各LCD画素の明暗データより欠
陥を判定する欠陥判定手段16と、全体の流れを制御す
る制御部17と、LCD画像の表示及び制御操作状況を
表示する表示部19とで構成される。なお、LCD画素
のCCDアドレス設定手段14とプリサンプリング処理
手段15とは、CCD上でゆがんで見えるLCDパネル
を正常なLCD画像として測定検出するためゆがみ補正
処理手段34と呼ぶ。
【0017】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、斜めから見たLCD画像をLCDパネル全
面に渡って焦点を合わせて取り込み、ゆがみを生じた画
面から全LCD画素の位置をCCD画素アドレスとして
得て、LCD画像を忠実に取り込み、視角欠陥を判定す
るLCDパネル画質検査装置を実現している。
ているので、斜めから見たLCD画像をLCDパネル全
面に渡って焦点を合わせて取り込み、ゆがみを生じた画
面から全LCD画素の位置をCCD画素アドレスとして
得て、LCD画像を忠実に取り込み、視角欠陥を判定す
るLCDパネル画質検査装置を実現している。
【図1】本発明のブロック図である。
【図2】本発明に使用されるレンズ系を説明した説明図
である。
である。
【図3】キャリブレーションパターンを説明した説明図
である。
である。
【図4】実施例におけるLCD輝点をCCD画素に取り
込む様子を示した説明図である。
込む様子を示した説明図である。
【図5】実施例における輝点のX方向アドレスを求める
方法を示した説明図である。
方法を示した説明図である。
【図6】実施例におけるLCD画素の明るさを求める近
傍4画素の線形補間の場合の説明図である。
傍4画素の線形補間の場合の説明図である。
【図7】実施例におけるLCD画素の明るさを求める近
傍9画素の線形補間の場合の説明図である。
傍9画素の線形補間の場合の説明図である。
【図8】従来の目視検査の説明図である。
10 LCDパネル 11 LCD駆動部 12 第1CCDカメラ 13 画像測定部 14 LCD画素のCCDアドレス設定手段 15 プリサンプリング処理手段 16 欠陥判定手段 17 制御部 19 表示部 20 LCD輝点 21 CCD画素 22 サンプリングアドレス 32 第2CCDカメラ 34 ゆがみ補正処理手段
Claims (3)
- 【請求項1】 検査対象LCDパネル(10)にキャリ
ブレーションパターンやテストパターンを表示するLC
D駆動部(11)を設け、 CCDエリアセンサを内蔵しLCDの明暗を正面から測
定する第1CCDカメラ(12)を設け、 CCDエリアセンサを内蔵しLCDの明暗を斜めから測
定する第2CCDカメラ(32)を設け、 CCD画素で測定した明暗をA/D変換する画像測定部
(13)を設け、 上記キャリブレーションパターンの認識パターンを使用
してLCD画素とそれに対応するCCD画素の位置を実
数で特定し、上記認識パターンのCCDアドレスからL
CD全画素のサンプリングアドレスを実数として求める
LCD画素のCCDアドレス設定手段(14)を設け、 LCDパネル(10)の画像をCCDにより測定し、上
記サンプリングアドレスを用いて近傍補間をし、LCD
パネルの画素数サイズの画像に変換するプリサンプリン
グ処理手段(15)を設け、 LCDパネルの画像として得られた各LCD画素の明暗
データにより欠陥を判定する欠陥判定手段(16)を設
け、 全体の流れを制御する制御部(17)と、LCD画像の
表示及び制御操作状況を表示する表示部(19)を設
け、 以上を具備することを特徴としたLCDパネル画質検査
装置。 - 【請求項2】 LCDの明暗を斜めから測定する第2C
CDカメラ(32)において、ティルトレンズ系を使用
した、 請求項1記載のLCDパネル画質検査装置。 - 【請求項3】 LCDの明暗を斜めから測定する第2C
CDカメラ(32)において、シフトレンズ系を使用し
た、 請求項1記載のLCDパネル画質検査装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18548494A JP3343445B2 (ja) | 1994-07-14 | 1994-07-14 | Lcdパネル画質検査装置 |
TW084106643A TW410524B (en) | 1994-07-14 | 1995-06-28 | LCD panel image quality examining device and LCD image sampling method |
KR1019950020460A KR0156656B1 (ko) | 1994-07-14 | 1995-07-12 | 화질 검사 장치 |
US08/502,533 US5696550A (en) | 1994-07-14 | 1995-07-14 | Image quality inspection system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18548494A JP3343445B2 (ja) | 1994-07-14 | 1994-07-14 | Lcdパネル画質検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0829361A true JPH0829361A (ja) | 1996-02-02 |
JP3343445B2 JP3343445B2 (ja) | 2002-11-11 |
Family
ID=16171578
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18548494A Expired - Fee Related JP3343445B2 (ja) | 1994-07-14 | 1994-07-14 | Lcdパネル画質検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3343445B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004045675A (ja) * | 2002-07-11 | 2004-02-12 | Yokogawa Electric Corp | 液晶パネル検査装置 |
JP2006520482A (ja) * | 2003-02-03 | 2006-09-07 | フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド | ディスプレイの光学検査のための方法およびシステム |
JP2007121243A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Sharp Corp | 画像表示パネルの検査装置および検査方法 |
JP2008089471A (ja) * | 2006-10-03 | 2008-04-17 | Yokogawa Electric Corp | 欠陥検査装置 |
CN103048872A (zh) * | 2013-01-19 | 2013-04-17 | 杭州图方科技有限公司 | 全自动数控相机检校系统 |
KR101311981B1 (ko) * | 2011-12-30 | 2013-09-30 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 평판 디스플레이 패널 검사 장치 및 방법 |
US9341852B2 (en) | 2010-09-17 | 2016-05-17 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Cell substrate inspection system and method |
JP2020068246A (ja) * | 2018-10-23 | 2020-04-30 | ワイエス株式会社 | 加工検査装置 |
-
1994
- 1994-07-14 JP JP18548494A patent/JP3343445B2/ja not_active Expired - Fee Related
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