JP4570756B2 - 液晶基板の支持装置 - Google Patents

液晶基板の支持装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4570756B2
JP4570756B2 JP2000304285A JP2000304285A JP4570756B2 JP 4570756 B2 JP4570756 B2 JP 4570756B2 JP 2000304285 A JP2000304285 A JP 2000304285A JP 2000304285 A JP2000304285 A JP 2000304285A JP 4570756 B2 JP4570756 B2 JP 4570756B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
base
liquid crystal
crystal substrate
support device
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2000304285A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2002107689A (ja
Inventor
秀樹 池内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Micronics Japan Co Ltd
Original Assignee
Micronics Japan Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Micronics Japan Co Ltd filed Critical Micronics Japan Co Ltd
Priority to JP2000304285A priority Critical patent/JP4570756B2/ja
Publication of JP2002107689A publication Critical patent/JP2002107689A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4570756B2 publication Critical patent/JP4570756B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示パネルのような液晶基板を受けかつ支持するように液晶基板の検査装置に用いられる支持装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶パネルの検査装置においては、検査すべき液晶基板をバックライトユニットの上に配置された受け具に支持させて支持する支持装置を備えている。支持装置は、受け具に受けた液晶基板を通電用のプローブユニットに対し三次元的に移動させると共に液晶基板に垂直の軸線の周りに角度的に回転させる検査ステージに装着される。
【0003】
【解決しようとする課題】
しかし、従来のこの種の支持装置では、バックライトユニット及び受け具が所定の形状の表示領域及び所定の寸法を有する液晶基板に適用されるにすぎないから、検査装置で検査可能の液晶基板の種類と同数の支持装置を用意しておかねばならず、検査装置自体が高価になる。
【0004】
それゆえに、本発明の目的は、各種の形状及び寸法の液晶基板に容易に及び廉価に対応することができるようにすることにある。
【0005】
【解決手段、作用及び効果】
本発明に係る液晶基板の支持装置は、上面を有するベースと、検査すべき液晶基板を受ける上面であって前記ベースの前記上面と平行の上面を前記ベースの上方に有する、前記ベースの上側に取り外し可能に配置された受け具と、前記ベースに対する前記受け具の位置を規制する一対の位置規制部材であって前記ベースの前記上面に該上面と平行な面内の第1の方向に間隔をおいて配置され、前記ベースの前記上面と平行な面内を前記第1の方向と交差する第2の方向へ平行に伸びる一対の位置規制部材とを含む。前記受け具は、前記位置規制部材の上又は前記位置規制部材の間に位置されており、前記位置規制部材は前記第1の方向に相対的に移動可能に前記ベースの前記上面に配置されている。
【0006】
受け具は、位置規制部材の上に配置されるか、位置規制部材の間に配置されて、液晶基板を受ける。位置規制部材の間隔及びベースに対する位置規制部材の位置は、位置規制部材を第1の方向へ相対的に移動させることにより、変更することができる。
【0007】
寸法又は表示領域の形状が異なる液晶基板に変更されるときは、位置規制部材の間隔又はベースに対する位置規制部材の位置が新たな液晶基板に応じた値又は位置に調整されると共に、新たな液晶基板に応じた受け具がベースに配置される。
【0008】
上記の結果、本発明によれば、高価なベースを複数種類の液晶基板で共通に使用することができるから、検査装置自体が廉価になる。
【0009】
前記ベースは第1の光通過領域を上部に有するバックライトユニットを含み、前記受け具は、前記バックライトユニットの前記第1の光通過領域に対向して配置された光拡散板を含むことができる。そのようにすれば、高価なバックライトユニットを複数種類の液晶基板で共通に使用することができるから、検査装置自体がより廉価になる。
【0010】
支持装置は、さらに、前記位置規制部材の相対的移動を前記第1の方向に規制する一対のガイドであって前記第2の方向に間隔をおいて前記第1の方向へ伸びる、前記ベースの前記上面に配置されたガイドを含むことができる。そのようにすれば、位置規制部材の間隔を高精度に及び容易に変更することができる。
【0011】
支持装置は、さらに、前記ベースに対する前記位置規制部材の位置を解除可能に位置決める1以上の維持具を含むことができる。そのようにすれば、検査の間、ベースに対する位置規制部材の移動が維持具により防止されて、振動に起因する位置規制部材の間隔の変化が防止されるから、正確な検査をすることができる。
【0012】
前記受け具は、取り外し可能に前記ベースに装着されていてもよいし、前記位置規制部材の間に配置されていてもよい。
【0013】
支持装置は、さらに、前記受け具を前記位置規制部材又は前記ベースに対し解除可能に位置決める複数の位置決めピンを含むことができる。そのようにすれば、位置規制部材又はベースに対する受け具の位置決めを容易にかつ正確に行えるから、受け具の交換作業が容易になる。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1から図4を参照するに、支持装置10は、長方形の形状を有する液晶表示パネルのような液晶基板12の点灯検査装置に液晶基板12を受けかつ支持するチャックトップとして用いられる。
【0015】
液晶基板12は、長方形の形状を有する複数の表示領域14を有している。各表示領域14は、液晶が封入された長方形の形状を有しており、また図示の例では幅方向が同一方向となるように一列に整列されている。各表示領域14は、後に周囲の領域と共に矩形の液晶表示パネルに分割される。
【0016】
液晶基板12は、また、点灯検査装置のプローブユニット16が電気的に接続される複数の電極(図示せず)を、各表示領域14の周りの箇所のうち、各表示領域14の長手方向における一方の縁部に対応する箇所に一列に有する。
【0017】
各プローブユニット16は、液晶基板12の電極に押圧される複数の接触子を電気絶縁性ブロックに組み付けた公知のものであり、電気絶縁性ブロックにおいて基板18に組み付けられている。基板18は、支持装置10の上方に対応する箇所に開口20を有する。
【0018】
点灯検査装置は、また、上記した接触子と液晶基板12の電極との相対的な位置合わせをするために液晶基板12に形成されたアライメントマーク(図示せず)を撮影するテレビカメラのようなアライメントカメラ22を基板20に組み付けている。
【0019】
点灯検査装置が作業者の肉眼による目視点灯検査用である場合、液晶基板12は基板18の上方から開口20を介して目視により良否を判定される。しかし、点灯検査装置が自動検査装置である場合、液晶基板12は、基板18の上方から開口20を介してテレビカメラ24で全ての表示領域14を含む広い範囲を一括して撮影され、その出力信号が処理されることにより各表示領域14又は液晶基板12全体の良否を判定される。
【0020】
図示の例では、一般的なテレビカメラ24を示しているが、そのようなテレビカメラ24の代わりに、複数の受光素子を一列に配置したラインセンサを用い、このラインセンサを液晶基板12の長手方向又は幅方向へ移動させつつ、液晶基板12を撮影するようにしてもよい。
【0021】
支持装置10は、ベース30と、ベース30の上面に第1の方向に間隔をおいて配置された長尺の一対の位置規制部材32と、液晶基板12を受けるべく位置規制部材32を介してベース30に組み付けられた受け具34であって補助部材36及び補助部材36に装着された光拡散板38を備える受け具34と、光拡散板38の上面に配置されたマスク40と、両位置規制部材32の相対的な移動を一方向に制限する一対のガイド42と、ベース30に対する位置規制部材32の位置を解除可能に維持する複数の維持具44とを含む。
【0022】
ベース30は、上方に開放する箱状の容器内に複数の光源を収容したバックライトユニットであり、板状の外形を有する。ベース30は、光源からの光が上方へ通過することを許す光通過領域46を容器の上壁に形成している。光通過領域46は、液晶基板12の幅寸法より大きい幅寸法と液晶基板の長さ寸法とほぼ同じ長さ寸法とを有する矩形の開口により形成されている。開口すなわち光通過領域46は、透明板48により閉塞されている。
【0023】
位置規制部材32は、L字状の断面形状を有する長尺部材により形成されている。位置規制部材32は、ベース30に対する受け具34の位置を規制するように、ベース30の上に光通過領域46と平行の面内の第1の方向に間隔をおいて配置されており、さらに光通過領域46と平行の面内を第1の方向と交差する第2の方向へ平行に伸びている。
【0024】
位置規制部材32は、第2の方向に間隔をおいて第1の方向へ伸びるようにベース30の上に組み付けられたガイド42に第1の方向に相対的に移動可能に受けられている。ガイド42は、図示の例では、ガイドレールである。
【0025】
補助部材36は、上方への光の通過を許す光通過領域50(図4を参照)を有する長方形の形状を有する枠の形に形成されており、また光通過領域50が光通過領域46と対向するように長方形の長い辺に対応する各辺部分において両位置規制部材32の上に複数のねじ部材52により組み付けられている。光通過領域50は、液晶基板12よりやや小さい矩形の形状を有する。
【0026】
補助部材36は、液晶基板の縁部を真空的に吸着する複数の吸着溝54に連通された穴56(図4を参照)を長方形の長い辺に対応する各辺部分に有する。補助部材36の穴56は、位置規制部材32に形成された穴58に連通されている。位置規制部材32の穴58は、吸引ポンプのような吸引源に接続される。穴56,58の間の気密性は、位置規制部材32に配置されたオーリング60(図4を参照)により維持される。
【0027】
光拡散板38は、液晶基板12とほぼ同じ大きさの長方形の形状を有しており、また補助部材36の光通過領域50を閉鎖する状態に、接着剤のような適宜な手段により補助部材36に装着されている。光拡散板38は、図示の例では補助部材36の内側に配置されているが、補助部材36の上面に配置されていてもよい。
【0028】
マスク40は、液晶基板12とほぼ同じ大きさの長方形の形状を有しており、また液晶基板12の表示領域14に個々に対応する複数の光通過領域62を有する。各光通過領域62は、対応する表示領域14とほぼ同じ大きさ及び形状を有する。光通過領域62は、図示の例では矩形の開口である。
【0029】
マスク40は、図示の例では光を通過させない黒色のシート材料のようないわゆる光不透過性のシート状材料から形成されており、また光通過領域46,50に対向する状態に光拡散板38の上面に接着剤ような適宜な手段により装着されている。しかし、マスク40は、図5に示すように、不透明領域を光拡散板38の上面に印刷することにより形成してもよい。
【0030】
維持具44は、位置規制部材32のねじ穴に上方から螺合されて下端をガイド42の上面に押圧されるねじ部材である。各位置規制部材32は、ねじ部材52が螺合されるねじ穴64と、補助部材36を位置規制部材32に対し解除可能に位置決める1以上の位置決めピン66とを有する。各位置決めピン66は、位置規制部材32の上面に組み付けられており、また補助部材36に形成された穴に嵌合される。
【0031】
支持装置10は、これに受けた液晶基板12をプローブユニット16に対し三次元的に移動させると共に液晶基板12に垂直な軸線の周りに角度的に回転させる検査ステージに組み付けられる。液晶基板12は、光拡散板38に載せられて、長方形の2つの辺部分に形成された複数の吸着溝54に吸着される。
【0032】
支持装置10に支持された液晶基板12は、ベース30内の光源で発生した光を光拡散板38及びマスク40を介して背面に受ける。液晶基板12の反光照射面(図においては、上面)における各表示領域14の輝度むら、色むら等の光の状態は、その表示領域14の良否により大きく異なる。このため、液晶基板12は、その反光照射面における光の状態を作業者による目視検査又はテレビカメラ24のような撮像装置を用いた自動検査により確認することによって、良否を判定される。
【0033】
液晶基板12に照射される光は、光拡散板38を経ることにより散乱された散乱光となる。そのような散乱光のうち、マスク40の光通過領域62を経た光は対応する表示領域に照射されるが、光通過領域62の周りの領域に達した光は対応する表示領域14に照射されない。その結果、液晶基板12の各表示領域14を通過する光の状態はその周りの領域に対応する光の影響を受けず、したがって各表示領域14の良否を正確に判定することができる。
【0034】
支持装置10においては、マスク40が光拡散板38の光出射面(液晶基板12側の面)に配置されているから、マスク40と液晶基板12とが接近し、それにより各表示領域14を通過する光の状態はその周りの領域に対応する光の影響をより受けず、各表示領域14の良否をより正確に判定することができる。しかし、マスク40を光拡散板38の光入射面側に配置してもよい。
【0035】
検査の間、ベース30に対する位置規制部材32の移動が維持具44により防止されるから、振動に起因する位置規制部材32の間隔の変化及びベース30に対する位置規制部材32の位置の変化が防止される。これにより、受け具34及び液晶基板12がベース30に対して位置決められるから、正確な検査をすることができる。
【0036】
寸法が異なる液晶基板又は表示領域の形状が異なる液晶基板に変更するとき、補助部材36、拡散板38及びマスク40を含む受け具34が新たな液晶基板の種類に応じた受け具に交換される。
【0037】
その際、図6に示すように、両位置規制部材32が新たな液晶基板に応じて相寄る方向又は相離れる方向へ相対的に移動されて、両位置規制部材32の間隔及びベース30に対する位置規制部材32及び受け具34の位置(ひいては、ベース30やプローブユニット16に対する液晶基板12の位置)が新たな液晶基板に応じた値及び位置に調整された後、新たな液晶基板に応じた受け具が位置規制部材32を介してベース30に装着される。このため、高価なベース30や位置規制部材32を複数種類の液晶基板で共通に使用することができ、検査装置自体が廉価になる。
【0038】
図7、図8及び図9に示すように、新たな液晶基板12aの寸法が元の液晶基板12の寸法と同じである場合は、元のマスク40を新たな液晶基板12aに応じた光通過領域62aを有するマスク40aに交換するだけでもよい。この場合、位置規制部材32の間隔は変更しなくてもよいが、位置規制部材32をベース30に対して移動させて、ベース30に対する新たな液晶基板60aの位置を調整してもよい。
【0039】
位置規制部材32の間隔及びベース30に対する位置規制部材32の位置を調整する際、位置規制部材32の移動はガイド42により第1の方向に規制される。このため、位置規制部材32の間隔及びベース30に対する位置規制部材32の位置を高精度に及び容易に変更することができる。
【0040】
受け具34を交換するとき、補助部材36が位置決めピン66によりベース30に対し位置決められるから、位置規制部材32又はベース30に対する受け具34の位置決めを容易にかつ正確に行えるから、受け具の交換作業が容易になる。
【0041】
図8から図10を参照するに、支持装置70は、吸着溝54が各位置規制部材32に形成されていることと、受け具72が異なることと、位置決めピン66がベース30に組み付けられていることとを除いて、図1から図4に示す支持装置10と同様に形成されている。
【0042】
受け具72は、角柱状の補助部材74を長方形の光拡散板38の長手方向の各端部に装着し、光拡散板38の上面にマスク40を装着している。補助部材74は、位置決めピン66が嵌合される穴を有する。
【0043】
受け具72は、両位置規制部材32の間に配置され、両位置規制部材32に挟み込まれる。これによりベース30に対する受け具34の位置が規制される。液晶基板12は、受け具72の上面と両位置規制部材72の上面の一部とに載せられて、吸着溝54に吸着され、その状態で光拡散板38による散乱光を背面に受ける。
【0044】
図10に示すように、寸法が異なる液晶基板又は表示領域の形状が異なる液晶基板12aに変更するとき、補助部材76、拡散板38及びマスク40を含む受け具72が新たな液晶基板12aの種類に応じた受け具72aに交換される。
【0045】
受け具の交換の際、両位置規制部材32が新たな液晶基板に応じて相寄る方向又は相離れる方向へ相対的に移動されて、両位置規制部材32の間隔及びベースに対する位置規制部材及び受け具の位置が新たな液晶基板に応じた値及び位置に調整された後、新たな液晶基板に応じた受け具72aが位置規制部材32によりベース30に装着される。
【0046】
上記の実施例では、液晶基板を受け具に水平に受けているが、支持装置を検査装置に傾斜した状態又は直立した状態に配置して、液晶基板を受け具に斜めの状態又は直立した状態に受けるようにしてもよい。また、受け具、特に拡散板及びマスクは、検査すべき液晶基板に応じて、正方形のように、長方形以外の他の矩形の形状を有していてもよい。
【0047】
本発明は、液晶表示パネルの点灯検査装置のみならず、薄膜トランジスタが形成されたガラス基板の検査装置にも適用することができる。それえゆえに、本発明は、上記実施例に限定されなず、本発明の趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る液晶基板の支持装置を備えた点灯検査装置の要部を示す斜視図である。
【図2】図1に示す装置で用いる支持装置の一実施例を示す斜視図である。
【図3】図2に示す支持装置の分解斜視図である。
【図4】図2に示す支持装置の断面図である。
【図5】マスクを光拡散板に印刷した受け具の一実施例を示す斜視図である。
【図6】図2に示す支持装置の位置規制部材をベースに対して移動させる状態を説明するための斜視図である。
【図7】図2に示す支持装置においてマスクのみを交換する例を説明するための斜視図である。
【図8】本発明に係る支持装置の他の実施例を示す斜視図である。
【図9】図8に示す支持装置の断面図である。
【図10】図8に示す支持装置において他の受け具に交換する例を説明するための斜視図である。
【符号の説明】
10.70 支持装置
12,12a 液晶基板
14,14a 表示領域
16 プローブユニット
30 ベース(バックライトユニット)
32 位置規制部材
34,72 受け具
36,74 補助部材
38 光拡散板
40,40a マスク
42 ガイド
44 維持具
46,50,62,62a 光通過領域
48 透明板
52 ねじ部材
54 吸着溝
56,58 穴
60 オーリング
64 ねじ穴
66 位置決めピン

Claims (7)

  1. 上面を有するベースと、検査すべき液晶基板を受ける上面であって前記ベースの前記上面と平行の上面を前記ベースの上方に有する、前記ベースの上側に取り外し可能に配置された受け具と、前記ベースに対する前記受け具の位置を規制する一対の位置規制部材であって前記ベースの前記上面に該上面と平行な面内の第1の方向に間隔をおいて配置され、前記ベースの前記上面と平行な面内を前記第1の方向と交差する第2の方向へ平行に伸びる一対の位置規制部材とを含み、
    前記受け具は、前記位置規制部材の上又は前記位置規制部材の間に位置されており、
    前記位置規制部材は前記第1の方向に相対的に移動可能に前記ベースの前記上面に配置されている、液晶基板の支持装置。
  2. 前記ベースは第1の光通過領域を上部に有するバックライトユニットを含み、
    前記受け具は、前記バックライトユニットの前記第1の光通過領域に対向して配置された光拡散板を含む、請求項1に記載の支持装置。
  3. さらに、前記位置規制部材の相対的移動を前記第1の方向に規制する一対のガイドであって前記第2の方向に間隔をおいて前記第1の方向へ伸びる、前記ベースの前記上面に配置されたガイドを含む、請求項1又は2に記載の支持装置。
  4. さらに、前記ベースに対する前記位置規制部材の位置を解除可能に位置決める1以上の維持具を含む、請求項1,2又は3に記載の支持装置。
  5. 前記受け具は取り外し可能に前記ベースに配置されている、請求項1から4のいずれか1項に記載の支持装置。
  6. 前記受け具は前記位置規制部材の間に配置されている、請求項1から4のいずれか1項に記載の支持装置。
  7. さらに、前記受け具を前記位置規制部材又は前記ベースに対し解除可能に位置決める複数の位置決めピンを含む、請求項1から6のいずれか1項に記載の支持装置。
JP2000304285A 2000-10-04 2000-10-04 液晶基板の支持装置 Expired - Lifetime JP4570756B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000304285A JP4570756B2 (ja) 2000-10-04 2000-10-04 液晶基板の支持装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000304285A JP4570756B2 (ja) 2000-10-04 2000-10-04 液晶基板の支持装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002107689A JP2002107689A (ja) 2002-04-10
JP4570756B2 true JP4570756B2 (ja) 2010-10-27

Family

ID=18785354

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000304285A Expired - Lifetime JP4570756B2 (ja) 2000-10-04 2000-10-04 液晶基板の支持装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4570756B2 (ja)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04102890A (ja) * 1990-08-22 1992-04-03 Fujitsu Ltd 液晶表示ユニット用試験治具と動作試験方法
JPH06308035A (ja) * 1993-04-21 1994-11-04 Sharp Corp ディスプレイパネル用検査装置
JPH08152587A (ja) * 1994-11-29 1996-06-11 Nikon Corp 基板保持装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04102890A (ja) * 1990-08-22 1992-04-03 Fujitsu Ltd 液晶表示ユニット用試験治具と動作試験方法
JPH06308035A (ja) * 1993-04-21 1994-11-04 Sharp Corp ディスプレイパネル用検査装置
JPH08152587A (ja) * 1994-11-29 1996-06-11 Nikon Corp 基板保持装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2002107689A (ja) 2002-04-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100584840B1 (ko) 칩 스케일 마커 및 마킹위치 보정방법
US7808625B2 (en) Aperture variable inspection optical system and color filter evaluation process
TW201447422A (zh) 液晶面板檢查裝置
WO2013145986A1 (ja) 露光描画装置及び露光描画方法
KR20160025441A (ko) 묘화 장치
JP2007140506A (ja) 液晶表示パネル検査装備の検査ステージ
JP4693581B2 (ja) 基板検査装置及び基板検査方法
US20120212717A1 (en) Exposure apparatus and photo mask
JP4108263B2 (ja) 液晶基板の支持装置
JP4570756B2 (ja) 液晶基板の支持装置
JP3094827B2 (ja) 液晶パネルの貼り合わせ方法および装置
CN211557550U (zh) 一种胶体金免疫层析装置
KR100935241B1 (ko) 주변노광장치 및 그 방법
JP2001255232A (ja) 表示用パネル基板の検査装置
KR101391312B1 (ko) 백라이트유닛 불량검사용 카메라 조립체
KR20030063213A (ko) 선폭 측정 방법 및 선폭 측정 장치
KR100931713B1 (ko) 주변노광장치 및 그 방법
JP2661266B2 (ja) フレキシブルプリント配線板と透明基板の回路位置合せ装置およびその使用方法
CN218584676U (zh) 一种用于膜片的光学检测装置
KR100335378B1 (ko) 갭 센서 및 얼라인 카메라가 일체로 된 노광기
JP3830451B2 (ja) 線幅測定方法及び線幅測定装置
KR100676818B1 (ko) 패널검사장치
JP7193196B2 (ja) 配向膜露光装置用の測定機構、および配向膜露光装置の調整方法
JP4802814B2 (ja) 開口パターンの検査装置
KR102147130B1 (ko) 기판 검사 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070904

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100202

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100223

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100325

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100720

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100811

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130820

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4570756

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250